[go: up one dir, main page]

KR101634647B1 - Polymer light emitting diode and method thereof - Google Patents

Polymer light emitting diode and method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101634647B1
KR101634647B1 KR1020140128455A KR20140128455A KR101634647B1 KR 101634647 B1 KR101634647 B1 KR 101634647B1 KR 1020140128455 A KR1020140128455 A KR 1020140128455A KR 20140128455 A KR20140128455 A KR 20140128455A KR 101634647 B1 KR101634647 B1 KR 101634647B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
electrode
polymer light
izto
emitting diode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020140128455A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160036735A (en
Inventor
문두경
허수원
한용운
이의진
Original Assignee
건국대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 건국대학교 산학협력단 filed Critical 건국대학교 산학협력단
Priority to KR1020140128455A priority Critical patent/KR101634647B1/en
Publication of KR20160036735A publication Critical patent/KR20160036735A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101634647B1 publication Critical patent/KR101634647B1/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/83Electrodes
    • H10H20/832Electrodes characterised by their material
    • H10H20/833Transparent materials
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/01Manufacture or treatment
    • H10H20/032Manufacture or treatment of electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/81Bodies
    • H10H20/815Bodies having stress relaxation structures, e.g. buffer layers

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 고분자 발광다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, IZTO(indium zinc tin oxide, 인듐 아연 주석 산화물) 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 고분자 발광다이오드 및 그 제조방법을 제공함으로써, 종래의 ITO 투명전극의 문제점이었던 고온 스퍼터링 공정이 필요하다는 점, 표면조도가 좋지 않다는 점, 높은 결정성으로 인해 유연소자를 제작하기 어렵다는 점 및 낮은 휘도 및 안정성 등의 문제점을 해결하고 높은 휘도를 보이며, 전력효율이 향상되어 소비전력이 감소할 뿐만 아니라 플렉서블 조명이 가능하고 대면적 면광원으로의 적용이 가능함은 물론 안정성이 향상되어 긴 수명을 가지는 고분자 발광다이오드를 제공할 수 있는 효과가 있다.
The present invention relates to a polymer light emitting diode and a manufacturing method thereof.
According to the present invention, there is provided a polymer light emitting diode (LED) using a buffer layer comprising an electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor, A high-temperature sputtering process which is a problem of a conventional ITO transparent electrode is required, surface roughness is poor, difficulty in fabricating a flexible device due to high crystallinity, low luminance and stability, and high luminance , It is possible to provide a polymer light emitting diode having a long lifetime as well as being capable of being applied to a large-area surface light source as well as capable of flexible lighting as well as reducing power consumption by improving power efficiency.

Figure 112014091421006-pat00002
Figure 112014091421006-pat00002

Description

고분자 발광다이오드 및 그 제조방법{POLYMER LIGHT EMITTING DIODE AND METHOD THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a polymer light emitting diode (LED)

본 발명은 고분자 발광다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 IZTO(indium zinc tin oxide, 인듐 아연 주석 산화물) 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 고분자 발광다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a polymer light emitting diode and a method of fabricating the same, and more particularly, to a polymer light emitting diode and a method of fabricating the same. More particularly, the present invention relates to a polymer having a buffer layer containing an electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor Emitting diode and a method of manufacturing the same.

가시광영역(380~780 ㎚의 파장영역)에 대해 80% 이상의 광투과도를 보이고, 비저항이 10-3Ω㎝ 이하의 전도도를 가지는 박막을 투명 전도막(transparent conducting oxide(TCO) film)이라 부른다.A thin film having a light transmittance of 80% or more with respect to the visible light region (wavelength region of 380 to 780 nm) and having a specific resistance of 10 -3? Cm or less is referred to as a transparent conducting oxide (TCO) film.

TCO는 박막은 액정표시장치(liquid crystal display, LCD), 유기발광다이오드(organic light emitting diode, OLED) 등과 같은 다양한 평판디스플레이(flatpanel display, FPD)뿐만 아니라 박막태양전지, 터치패널 스크린(touch panel screen, TPS) 등의 다양한 광전자소자에서 투명 전극재료로 널리 사용 되고 있다.The TCO can be applied to various flat panel displays (FPD) such as liquid crystal display (LCD), organic light emitting diode (OLED) and the like as well as thin film solar cell, touch panel screen , TPS) are widely used as transparent electrode materials in various optoelectronic devices.

이에 따라 현재 많이 연구가 되고 있는 투명 전극용 물질들로는 카드뮴(cadmium), 주석(tin), 인듐(indium), 아연(zinc), 갈륨(gallium) 등이 있으며, 이들을 적용한 투명전극으로는 플루오린이 도핑된 주석 산화물(fluorine-doped tin oxide, FTO), 카드뮴 주석산(cadmium stannate, CTO), 인듐 주석 산화물(indium tin oxide, ITO) 등이 있다. 이 중에서도 인듐 산화물(In2O3)에 산화주석을 도핑시킨 ITO 박막은 저항값이 낮고 투명하여 투명전극 재료로 주로 사용된다.As a result, there have been a lot of studies on transparent electrode materials which are currently being studied, such as cadmium, tin, indium, zinc, and gallium. As the transparent electrode to which these materials are applied, Fluorine-doped tin oxide (FTO), cadmium stannate (CTO), and indium tin oxide (ITO). Among them, the ITO thin film doped with indium oxide (In2O3) with tin oxide has a low resistance and is transparent and is mainly used as a transparent electrode material.

통상적으로, ITO 박막은 In2O3과 SnO2을 9:1(중량%)의 조성으로 제조한 타겟(target)을 사용하고, 유리 기판 위에 스퍼터링(sputtering) 하여 제조한다. 그러나, 광전자소자 시장이 폭발적으로 성장함에 따라 ITO의 수요는 증가하고 있으나, 희유금속인 인듐의 매장량은 감소하고 있어 매년 큰 폭으로 가격이 상승하고 있다.Typically, the ITO thin film is prepared by sputtering a target made of In 2 O 3 and SnO 2 in a composition of 9: 1 (wt%) on a glass substrate. However, as the optoelectronic device market expands explosively, the demand for ITO is increasing, but the reserves of indium, a rare metal, are declining, so prices are rising every year.

또한, 낮은 비저항과 높은 광투과율을 갖기 위해서는 300℃ 이상의 고온 성막 공정이 필요하지만, 높은 공정온도는 투명전극의 패터닝(patterning) 시 식각특성을 저하시키고, 불규칙한 결정성장속도에 따른 거친 표면조도로 인하여 소자의 수명을 감소시키며, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 등 낮은 유리전이온도(glass transition temperature, Tg)를 가지는 유연기판에 적용하기 힘들다는 단점을 가진다. 또한, 고온 성막 공정을 통해 제작된 박막이 결정성을 가지고 있어, 기판이 휘거나 구부릴 경우 박막이 깨지기 쉽다.In order to have a low resistivity and a high light transmittance, a high temperature film forming process of 300 DEG C or more is required, but a high process temperature lowers the etching characteristics during patterning of the transparent electrode, and due to the rough surface roughness depending on the irregular crystal growth rate It has a disadvantage that it is difficult to apply to a flexible substrate having a low glass transition temperature (Tg) such as polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC) and the like. In addition, the thin film produced through the high temperature film forming process has crystallinity, so that the thin film is easily broken when the substrate is warped or bent.

이를 해결하기 위한 방안으로, 최근에는 투명한 전도성 고분자 물질, 카본나노튜브(carbon nano tube, CNT), 그래핀(graphene) 등을 이용하여 투명전극을 제조하는 기술이 연구되고 있다 하지만, 전도성 고분자를 적용한 투명전극은 낮은 전도도와 높은 비저항을 가진다는 단점이 있으며, 탄소나노튜브와 그래핀 등 탄소기반의 투명전극의 경우, 대량생산 및 대면적의 고품질 박막의 형성이 어렵다는 단점을 가진다.Recently, a technique for fabricating a transparent electrode using a transparent conductive polymer material, a carbon nanotube (CNT), or graphene has been researched. However, The transparent electrode has a disadvantage that it has a low conductivity and a high specific resistance. In the case of a carbon-based transparent electrode such as carbon nanotube and graphene, it is difficult to mass-produce and form a high-quality thin film having a large area.

한편, 발광 고분자를 활성층으로 사용하는 고분자 발광다이오드의 경우, 진공 증착법을 사용하는 저분자 발광다이오드에 비해 롤 투 롤 (roll-to-roll) 공정 등 용액공정을 통한 대면적 소자를 제작할 수 있어 초저가, 대량생산이 가능하다.On the other hand, in the case of a polymer light emitting diode using an electroluminescent polymer as an active layer, it is possible to manufacture a large-area device through a solution process such as a roll-to-roll process as compared with a low-molecular light emitting diode using a vacuum deposition process, Mass production is possible.

하지만, 고분자 발광다이오드의 휘도 및 안정성은 저분자 발광다이오드에 비해 낮다.However, the brightness and stability of a polymer light emitting diode is lower than that of a low molecular weight light emitting diode.

본 발명과 관련된 선행기술로는 한국공개특허 제10-2012-0127506호(플렉서블 표시장치 및 그 제조방법), 일본등록특허 제4846726호(스퍼터링 타깃, 투명 도전막 및 투명전극) 등이 있다. Prior art related to the present invention includes Korean Patent Laid-Open No. 10-2012-0127506 (flexible display device and its manufacturing method), Japanese Patent No. 4846726 (sputtering target, transparent conductive film and transparent electrode), and the like.

본 발명자는 IZTO(indium zinc tin oxide, 인듐 아연 주석 산화물) 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 고분자 발광다이오드는 일반 고분자 발광다이오드보다 높은 휘도를 보이며, 특히 전력효율이 향상되어 소비전력이 감소할 뿐만 아니라 플렉서블 조명이 가능하고 대면적 면광원으로의 적용이 가능함은 물론 안정성이 향상되어 기존 고분자 발광다이오드의 단점으로 여겨졌던 짧은 수명문제를 해결할 수 있음을 실험적으로 확인함으로써 본 발명을 완성하게 되었다.The present inventors have found that a polymer light emitting diode (OLED) using a buffer layer including an electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor exhibits a higher luminance than a general polymer light emitting diode, As a result, it is possible to solve the problem of short lifetime, which is considered to be a disadvantage of conventional polymer light emitting diodes. The present invention has been completed.

결국, 본 발명의 목적은 IZTO(indium zinc tin oxide, 인듐 아연 주석 산화물) 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 고분자 발광다이오드를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a polymer light emitting diode using a buffer layer including an electrode including an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor.

또한 본 발명의 다른 목적은 IZTO(indium zinc tin oxide, 인듐 아연 주석 산화물) 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 고분자 발광다이오드 제조방법을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a method of fabricating a polymer light emitting diode (LED) using a buffer layer comprising an electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판;과 상기 기판의 상부에 배치된 IZTO(indium zinc tin oxide) 박막을 포함하는 제1전극;과 상기 제1전극 상부에 배치된 정공수송층;과 상기 정공수송층 상부에 배치된 고분자발광층;과 상기 고분자발광층 상부에 배치된 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층; 및 상기 버퍼층 상부에 배치된 제2전극;을 포함하는 고분자 발광다이오드를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a plasma display panel comprising: a substrate; a first electrode including an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film disposed on the substrate; a hole transport layer disposed above the first electrode; A buffer layer comprising a polymer luminescent layer disposed on the transport layer and a zinc oxide precursor disposed on the polymer luminescent layer; And a second electrode disposed on the buffer layer.

상기 기판은 유리기판 또는 유연기판인 것을 특징으로 한다.Wherein the substrate is a glass substrate or a flexible substrate.

상기 IZTO는 In2O340내지 80중량%, ZnO 10 내지 30중량% 및 SnO210내지 30중량%를 포함하는 것을 특징으로 한다.The IZTO is characterized by containing 40 to 80 wt% of In 2 O 3 , 10 to 30 wt% of ZnO, and 10 to 30 wt% of SnO 2 .

상기 고분자발광층은 10 내지 150㎚로 배치되는 것을 특징으로 한다.And the polymer light emitting layer is disposed at 10 to 150 nm.

상기 버퍼층은 산화아연 전구체(ZnO precursor)와 메탄올을 1:1 내지 1:200의 중량비로 혼합하여 도입하는 것을 특징으로 한다.The buffer layer is formed by mixing zinc oxide precursor and methanol in a weight ratio of 1: 1 to 1: 200.

상기 제2전극은 불화리튬/알루미늄, 불화리튬/칼슘/알루미늄, 칼슘/알루미늄, 불화바륨/알루미늄, 불화바륨/바륨/알루미늄, 바륨/알루미늄, 알루미늄, 금, 은 마그네슘/은, 리튬/알루미늄 전극 중에서 선택되는 것을 특징으로 한다.
The second electrode may be formed of a material selected from the group consisting of lithium fluoride / aluminum, lithium fluoride / calcium / aluminum, calcium / aluminum, barium fluoride / aluminum, barium fluoride / barium / aluminum, barium / aluminum, aluminum, gold, silver / . ≪ / RTI >

또한, 본 발명은 기판의 상부에 IZTO 박막을 형성하는 과정 및 고분자 발광층 상부에 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 형성하는 과정을 포함하는 고분자 발광다이오드 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method for fabricating a polymer light emitting diode, comprising: forming an IZTO thin film on a substrate; and forming a buffer layer including a zinc oxide precursor on the polymer light emitting layer.

상기 IZTO는 In2O340내지 80중량%, ZnO 10 내지 30중량% 및 SnO210내지 30중량%를 포함하는 것을 특징으로 한다.The IZTO is characterized by containing 40 to 80 wt% of In 2 O 3 , 10 to 30 wt% of ZnO, and 10 to 30 wt% of SnO 2 .

상기 버퍼층은 산화아연 전구체(ZnO precursor)와 메탄올을 1:1 내지 1:200의 중량비로 혼합하여 형성하는 것을 특징으로 한다.The buffer layer is formed by mixing a zinc oxide precursor with methanol at a weight ratio of 1: 1 to 1: 200.

상기와 같은 본 발명에 따르면, IZTO(indium zinc tin oxide, 인듐 아연 주석 산화물) 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 고분자 발광다이오드 및 그 제조방법을 제공함으로써, 종래의 ITO 투명전극의 문제점이었던 고온 스퍼터링 공정이 필요하다는 점, 표면조도가 좋지 않다는 점, 높은 결정성으로 인해 유연소자를 제작하기 어렵다는 점 및 낮은 휘도 및 안정성 등의 문제점을 해결하고 높은 휘도를 보이며, 전력효율이 향상되어 소비전력이 감소할 뿐만 아니라 플렉서블 조명이 가능하고 대면적 면광원으로의 적용이 가능함은 물론 안정성이 향상되어 긴 수명을 가지는 고분자 발광다이오드를 제공할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, there is provided a polymer light emitting diode (LED) using a buffer layer comprising an electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor, A high-temperature sputtering process which is a problem of a conventional ITO transparent electrode is required, surface roughness is poor, difficulty in fabricating a flexible device due to high crystallinity, low luminance and stability, and high luminance , It is possible to provide a polymer light emitting diode having a long lifetime as well as being capable of being applied to a large-area surface light source as well as capable of flexible lighting as well as reducing power consumption by improving power efficiency.

도 1 은 본 발명에 따른 IZTO(indium zin tin oxide) 박막을 포함하는 전극과 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층이 도입된 고분자 발광다이오드의 단면도.
도 2 는 IZTO(indium zin tin oxide) 박막을 포함하는 전극의 최적화된 패턴모양.
도 3 은 IZTO(indium zin tin oxide) 박막을 포함하는 전극과 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층의 도입 유무에 따른 고분자 발광다이오드의 I-V 특성을 나타낸 그래프.
도 4 는 IZTO(indium zin tin oxide) 박막을 포함하는 전극과 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층의 도입 유무에 따른 고분자 발광다이오드의 안정성 결과를 나타낸 그래프.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view of a polymer light emitting diode in which a buffer layer including an electrode including an indium zinc tin oxide (IZTO) thin film according to the present invention and a zinc oxide precursor (ZnO precursor) is introduced.
Figure 2 shows an optimized pattern shape of an electrode comprising an indium zinc tin oxide (IZTO) thin film.
FIG. 3 is a graph showing IV characteristics of a polymer light emitting diode according to whether or not a buffer layer including an electrode including an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor is introduced.
FIG. 4 is a graph showing stability results of a polymer light emitting diode according to whether or not a buffer layer including an electrode including an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film and a zinc oxide precursor is introduced.

이하, 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명은 기판;과 상기 기판의 상부에 배치된 IZTO(indium zinc tin oxide) 박막을 포함하는 제1전극;과 상기 제1전극 상부에 배치된 정공수송층;과 상기 정공수송층 상부에 배치된 고분자발광층;과 상기 고분자발광층 상부에 배치된 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층; 및 상기 버퍼층 상부에 배치된 제2전극;을 포함하는 고분자 발광다이오드를 제공한다.The first electrode includes an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film disposed on the substrate, a hole transport layer disposed on the first electrode, and a polymer light emitting layer disposed on the hole transport layer. And a zinc oxide precursor (ZnO precursor) disposed on the polymer light emitting layer; And a second electrode disposed on the buffer layer.

또한, 본 발명은 기판의 상부에 IZTO 박막을 형성하는 과정 및 고분자 발광층 상부에 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 형성하는 과정을 포함하는 고분자 발광다이오드 제조방법을 제공한다. 한편, 상기 고분자 발광다이오드의 구체적인 공정을 살펴보면, (1) 기판의 상부에 IZTO(indium zinc tin oxide) 박막을 포함하는 제1전극을 형성하는 단계;와 (2) 상기 제1전극의 상부에 정공수송층을 형성하는 단계;와 (3) 상기 정공수송층의 상부에 고분자발광층을 형성하는 단계;와 (4) 상기 고분자발광층의 상부에 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 형성하는 단계; 및 (5) 상기 버퍼층의 상부에 제2전극을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어질 수 있다.The present invention also provides a method for fabricating a polymer light emitting diode, comprising: forming an IZTO thin film on a substrate; and forming a buffer layer including a zinc oxide precursor on the polymer light emitting layer. (1) forming a first electrode including an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film on a substrate; and (2) forming a first electrode (3) forming a polymer light emitting layer on the hole transport layer, and (4) forming a buffer layer including a zinc oxide precursor on the polymer light emitting layer. And (5) forming a second electrode on the buffer layer.

본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따라 제조된 고분자 발광다이오드의 개략적인 구조를 나타낸 도 1.에서 알 수 있듯이, 하부로부터 기판(110), 제1 전극(120), 정공수송층(130), 고분자발광층(140), 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층(150) 및 제2 전극(160)이 적층된 구조를 갖는다.As shown in FIG. 1 showing a schematic structure of a polymer light emitting diode manufactured according to a preferred embodiment of the present invention, a substrate 110, a first electrode 120, a hole transport layer 130, a polymer light emitting layer A buffer layer 150 including a ZnO precursor, and a second electrode 160 are stacked.

본 발명에서, 고분자 발광다이오드 제작에 사용되는 기판(110)은 유리 및 석영판 이외에도 PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthelate), PP(polypropylene), PI(polyimide), PC(pilycarbornate), PS(polystylene), POM(polyoxyethlene), AS 수지, ABS 수지 및 TAC(triacetyl cellulose) 등을 포함하는 플라스틱과 같은 유연하고 투명한 물질로 제조될 수 있으며, 본 발명에 있어서 기판은 PI 기판을 사용하였다.In the present invention, the substrate 110 used in the production of the polymer light emitting diode may be made of PET (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate), PP (polypropylene), PI (polyimide), PC (pilycarbornate) such as plastics, such as polystyrene, polystyrene, POM (polyoxyethylene), AS resin, ABS resin, and TAC (triacetyl cellulose). PI substrates are used in the present invention.

한편, 상기 유리기판 또는 유연기판을 세정제, 아세톤, 이소프로판올(IPA)로 순차적으로 세정한 다음 수분 제거를 위해 가열판에서 100 내지 150℃로 1 내지 30분간, 바람직하게는 110℃에서 10분간 건조하고, 기판이 완전히 세정되면 기판 표면을 친수성으로 개질하는 것이 좋다. 상기와 같은 표면 개질을 통해 접합표면 전위를 정공수송층의 표면 전위에 적합한 수준으로 유지할 수 있으며, 개질시 박막의 형성이 용이해지고, 박막의 품질이 향상된다. 이를 위한 전처리 기술로는 ⅰ) 평행평판형 방전을 이용한 표면 산화법 ⅱ) 진공상태에서 UV 자외선을 이용하여 생성된 오존을 통해 표면을 산화하는 방법 ⅲ) 플라즈마에 의해 생성된 산소 라디칼을 이용하여 표면을 산화하는 방법 등이 있으며, 기판의 상태에 따라 상기 방법 중 한 가지를 선택하게 되는데 어떠한 방법을 이용하든 공통적으로 기판 표면의 산소 이탈을 방지하고 수분 및 유기물의 잔류를 최대한 억제해야 전처리의 실질적인 효과를 기대할 수 있다.On the other hand, the glass substrate or the flexible substrate is sequentially cleaned with a cleaning agent, acetone and isopropanol (IPA), and then dried on a heating plate at 100 to 150 ° C for 1 to 30 minutes, preferably 110 ° C for 10 minutes, When the substrate is completely cleaned, it is preferable to modify the surface of the substrate to be hydrophilic. Through such surface modification, the bonding surface potential can be maintained at a level suitable for the surface potential of the hole transport layer, the thin film can be easily formed at the time of modification, and the quality of the thin film can be improved. As a pretreatment technique for this purpose, i) a surface oxidation method using a parallel plate discharge, ii) a method of oxidizing the surface through ozone generated by using ultraviolet rays in a vacuum state, iii) a method of oxidizing the surface by using oxygen radicals generated by plasma Oxidation method. Depending on the state of the substrate, one of the above methods may be selected. In any case, it is necessary to prevent oxygen escape from the surface of the substrate and to keep the moisture and organic matter as much as possible. You can expect.

따라서 본 발명에서는 UV 자외선을 이용하여 생성된 오존을 통해 표면을 산화하는 방법을 사용하였으며, 초음파 세정 후 기판을 오븐에서 소성(baking)하여 건조시킨 다음 챔버로 이송하고 UV 램프를 작동시켜 산소 가스가 UV광과 반응하여 발생하는 오존에 의해 기판을 세정하게 된다. 그러나 본 발명에 있어서 기판 표면의 개질방법은 특별힌 한정시킬 필요는 없으며 기판을 산화시키는 방법이면 어떠한 방법도 무관하다.Accordingly, in the present invention, a method of oxidizing the surface through ozone generated using UV ultraviolet rays is used. After the ultrasonic cleaning, the substrate is baked in an oven, dried, transferred to a chamber, The substrate is cleaned by ozone generated by reaction with UV light. However, in the present invention, the method of modifying the surface of the substrate is not particularly limited, and any method may be used as long as it is a method of oxidizing the substrate.

상기 제1전극(120)은 스퍼터링, E-Beam, 열증착, 스핀코팅, 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 닥터 블레이드 또는 그라비아 프린팅법을 사용하여 IZTO(indium zinc tin oxide) 박막을 포함하는 전극 물질을 상기 기판의 일면에 도포하거나 필름형태로 코팅함으로써 형성된다. 제1전극(120)은 애노드의 기능을 하는 부분으로써, 제2전극(160)에 비해 일함수가 큰 물질로 투명성 및 도전성을 갖는 임의의 물질이 사용될 수 있다. 예를 들어, ITO(indium tin oxide), 금, 은, 플로린이 도핑된 틴 옥사이드(fluorine doped tin oxide, FTO), 알루미늄이 도핑된 징크 옥사이드(aluminium doped zink oxide, AZO), IZO(indium zink oxide), ZnO-Ga2O3,ZnO-Al2O3및 ATO(antimony tin oxide) 등이 있다.The first electrode 120 may be formed by depositing an electrode material containing an indium zinc tin oxide (IZTO) thin film using sputtering, E-beam, thermal evaporation, spin coating, screen printing, inkjet printing, doctor blade or gravure printing By coating on one side of the substrate or by coating in the form of a film. The first electrode 120 functions as an anode and may be made of any material having a higher work function than the second electrode 160 and having transparency and conductivity. For example, a metal oxide such as ITO (indium tin oxide), gold, silver, fluorine doped tin oxide (FTO), aluminum doped zink oxide (AZO), indium zink oxide ), ZnO-Ga 2 O 3 , ZnO-Al 2 O 3, and ATO (antimony tin oxide).

본 발명에 있어서 제1전극(120)은 IZTO(indium zinc tin oxide)를 사용하였으며, In2O340내지 80중량%, SnO210내지 30중량%, ZnO 10 내지 30중량%의 조성으로 설계된 타켓을 이용하여 제작하는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 In2O380중량%, SnO210중량%, ZnO 10중량%의 조성으로 제작하는 것이다.In the present invention, the first electrode 120 is made of IZTO (indium zinc tin oxide), and is designed to have a composition of 40 to 80 wt% of In 2 O 3 , 10 to 30 wt% of SnO 2, and 10 to 30 wt% of ZnO It is more preferable to use a composition of 80 wt% of In 2 O 3 , 10 wt% of SnO 2, and 10 wt% of ZnO.

또한, 상기 제작한 IZTO 타겟을 스퍼터링시, 기판온도를 상온 내지 100℃로 가열하는 것이 바람하며, 더욱 바람직하게는 상온으로 하는 것이다. 한편, 상기 스퍼터링시 아르곤(Ar)과 함께 주입되는 산소의 분압은 0 내지 10%가 바람직하며, 더욱 바람직하게는 0 내지 4%로 하는 것이다.When the IZTO target is sputtered, it is desirable to heat the substrate at a temperature ranging from room temperature to 100 ° C, more preferably room temperature. On the other hand, the partial pressure of oxygen injected together with argon (Ar) during the sputtering is preferably 0 to 10%, more preferably 0 to 4%.

본 발명에 따른 IZTO 투명전극을 적용한 고분자 발광다이오드는 제1전극(120)인 IZTO가 증착된 기판을 패터닝하고, 제1전극(120)의 상부에는 정공수송층(130)이 스핀코팅 또는 딥코팅 등의 방법으로 도입되는데, 본 발명에는 전도성 고분자 용액으로서 폴리(3, 4-에틸렌디옥시티오펜):폴리(4-스티렌설포네이트)[PEDOT:PSS]를 사용하는 것이 바람직하다.The IZTO transparent electrode according to the present invention is fabricated by patterning a substrate on which IZTO is deposited, which is the first electrode 120, and a hole transport layer 130 is formed on the first electrode 120 by spin coating or dip coating Poly (3,4-ethylenedioxythiophene): poly (4-styrenesulfonate) [PEDOT: PSS] is preferably used as the conductive polymer solution in the present invention.

본 발명의 고분자발광층(140)은 독일 Merck사의 green polymer를 사용하였다. 발광층 물질들은 유기용매에 용해시키는데, 바람직하게는 2가지 이상의 끊는점이 다른 유기용매에 용해시킨 용액을 스핀코팅 등의 방법으로 10 내지 150㎚, 바람직하게는 60 내지 120㎚ 두께로 고분자발광층을 도입한다. 이때, 고분자발광층은 딥코팅, 스크린 프린팅, 스프레이 코팅, 닥터블레이드, 브러쉬 페인팅 등의 방법을 응용할 수 있다.The polymer luminescent layer (140) of the present invention was a green polymer of Merck, Germany. The light emitting layer materials are dissolved in an organic solvent, and a polymer luminescent layer is preferably introduced into the solution in which two or more breaking points are dissolved in another organic solvent by spin coating to a thickness of 10 to 150 nm, preferably 60 to 120 nm . At this time, dip coating, screen printing, spray coating, doctor blade, brush painting and the like can be applied to the polymer light emitting layer.

본 발명의 휘도 및 안정성 향상을 위해 도입되는 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층(150)은 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 합성한 후 임의의 농도로 희석하여 사용하였다. 산화아연 전구체(ZnO precursor)는 2-메톡시 에탄올(2-methoxy ethanol) 10ml와 징크 아세테이트 (zinc acetate)0.379g을 플라스크에 넣어 교반한 후, 에탄올 아민 (ethanol amine) 0.0528g을 넣어 80℃에서 2시간 교반하여 제작하였다 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 형성 하기 전, 산화아연 전구체(ZnO precursor) : 메탄올을 1:1 내지 1:200 중량비로, 바람직하게는 1:30 내지 1:70의 중량비로 희석하여 고분자 발광층 상부에 도입한다. 이때, ZnO층은 딥코팅, 스크린 프린팅, 스프레이 코팅, 닥터블레이드, 브러쉬 페인팅 등의 방법을 응용할 수 있다.The buffer layer 150 including the ZnO precursor introduced for improving the brightness and stability of the present invention is prepared by synthesizing a zinc oxide precursor and then diluting it to an arbitrary concentration. The ZnO precursor was prepared by mixing 10 ml of 2-methoxy ethanol and 0.379 g of zinc acetate into a flask and stirring. Then, 0.0528 g of ethanol amine was added thereto, And the mixture was stirred for 2 hours. A zinc oxide precursor (methanol: ZnO precursor: methanol) was added at a weight ratio of 1: 1 to 1: 200, preferably 1:30 to 1: 1, before forming a buffer layer containing a zinc oxide precursor : 70, and introduced into the upper part of the polymer light emitting layer. At this time, the ZnO layer can be applied by dip coating, screen printing, spray coating, doctor blade, brush painting or the like.

제2전극(160)은 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층(150)이 도입된 상태에서 5×10-7torr이하의 진공도를 보이는 열증착기 내부에서 증착된다. 이때 사용가능한 전극재료로는 불화리튬/알루미늄, 불화리튬/칼슘/알루미늄, 칼슘/알루미늄, 불화바륨/알루미늄, 불화바륨/바륨/알루미늄, 바륨/알루미늄, 알루미늄, 금, 은, 마스네슘:은, 또는 리튬:알루미늄 중에서 선택될 수 있으며, 바람직하게는 바륨/알루미늄 구조로 제작된 전극을 사용하는 것이 좋다. 바륨(Ba), 알루미늄(Al)을 각각 진공 증착하여 소자를 제조하는 것이 바람직하다.The second electrode 160 is deposited in a thermal evaporator having a degree of vacuum of 5 × 10 -7 torr or less in a state where the buffer layer 150 including a zinc oxide precursor is introduced. The electrode material usable herein may be lithium fluoride / aluminum, lithium fluoride / calcium / aluminum, calcium / aluminum, barium fluoride / aluminum, barium fluoride / barium / aluminum, barium / aluminum, aluminum, gold, silver, Or lithium: aluminum, and it is preferable to use an electrode made of a barium / aluminum structure. Barium (Ba), and aluminum (Al), respectively, by vacuum deposition.

이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하고자 한다. 이들 실시예는 오로지 본 발명을 예시하기 위한 것으로서, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는 것은 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명할 것이다
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. It should be apparent to those skilled in the art that these embodiments are for illustrative purposes only and that the scope of the present invention is not construed as being limited by these examples

실시예 1.기판세정Example 1. Substrate cleaning

PI(100㎛ 두께, 미스비시 가스 케미칼, 일본) 기판의 표면을 세정하기 위하여 세정제(Alconox, Aldrich, 미국), 아세톤, 이소프로필알코올 순서로 각각 5분간 초음파세정을 실시한 후 질소로 물기를 완전히 불어내고, 가열판에서 110℃로 10분간 건조하여 수분을 제거하였다.To clean the surface of the PI (100 μm thick, MISSBY Gas Chemical, Japan) substrate, ultrasonic cleaning was performed for 5 minutes each in the order of a cleaning agent (Alconox, Aldrich, USA), acetone and isopropyl alcohol, And dried on a hot plate at 110 DEG C for 10 minutes to remove moisture.

PI 기판이 완전히 세정되면, UVO 세정기(UVO cleaner, Ahtech LTS, 한국)에서 10분 동안 표면을 친수성으로 개질하였다.Once the PI substrate was thoroughly cleaned, the surface was hydrophilically modified for 10 minutes in a UVO scrubber (UVO cleaner, Ahtech LTS, Korea).

실시예 2. IZTO(indium zinc tin oxide) 박막을 포함하는 전극의 제조Example 2 Preparation of an electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film

본 발명에 따른 IZTO 박막을 포함하는 전극의 조성은 In2O3가 40내지 80중량%, SnO2가 10내지 30중량%, ZnO가 10내지 30중량%의 조성으로 설계하여 제작하였다. IZTO 박막을 포함하는 전극을 스퍼터링법을 이용하여 증착시 PI 기판은 상온 성막공정을 통해 제조하였다.The composition of the electrode including the IZTO thin film according to the present invention was designed to have a composition of 40 to 80 wt% of In 2 O 3, 10 to 30 wt% of SnO 2, and 10 to 30 wt% of ZnO. The PI substrate was fabricated by the room temperature film formation process when the electrode including the IZTO thin film was deposited by the sputtering method.

또한 본 발명에 따른 IZTO 박막을 포함하는 전극을 제조함에 있어, 아르곤(Ar)과 함께 주입되는 산소의 분압을 3%로 하였다.In preparing the electrode including the IZTO thin film according to the present invention, the partial pressure of oxygen injected with argon (Ar) was 3%.

상기 제조된 PI IZTO 투명전극의 면저항은 20Ω/sq, 광투과도는 82%를 나타내었다.The sheet resistance of the prepared PI IZTO transparent electrode was 20? / Sq and the light transmittance was 82%.

실시예 3. IZTO(indium zinz tin oxide) 박막을 포함하는 전극의 패터닝Example 3. Patterning of an electrode comprising an indium zinc oxide thin film (IZTO) thin film

In0.8Zn0.1Sn0.1 조성의 PI IZTO 투명전극의 patterning 조건을 확립하기 위해 서 최적화 실험을 실시하였다. 세척한 PI IZTO 투명전극 위에 PR(photo resist)를 약 300nm (스핀코팅 : 4000rpm) 두께로 성막 하였으며 80내지 100℃에서 5 내지 15분간 열처리 하였다. 그 후, 코팅된 PR의 노광시간을 55초 내지 70초로 설정하였다. 노광된 PR은 20초 내지 25초로 현상시간 설정하였으며, 에칭시간을 20초 내지 30초로 지정하였다. Patterning된 IZTO는 광학현미경을 통해 검사하여 patterning 조건을 확립하였다. 최적화 조건에서 패터닝 된 IZTO 투명전극을 도 2.에 나타내었다.In order to establish the patterning condition of PI IZTO transparent electrode of In0.8Zn0.1Sn0.1 composition, optimization experiment was performed. A PR (photo resist) film having a thickness of about 300 nm (spin coating: 4000 rpm) was formed on the cleaned PI IZTO transparent electrode and heat-treated at 80 to 100 ° C for 5 to 15 minutes. Then, the exposure time of the coated PR was set to 55 to 70 seconds. The exposed PR was set at a development time of 20 seconds to 25 seconds, and the etching time was set to 20 seconds to 30 seconds. Patterned IZTO was examined through an optical microscope to establish patterning conditions. Figure 2 shows the IZTO transparent electrode patterned under optimized conditions.

실시예 4. PI기반의 IZTO 박막을 포함하는 전극 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 도입한 고분자 발광다이오드의 제조Example 4 Preparation of a Polymer Light Emitting Diode Including a PI-based IZTO Thin Film and a Buffer Layer Including a ZnO Precursor

상기 실시예 3.에서 제작된 패터닝된 PI 기반의 IZTO 투명전극을 이용하여, 다음과 같은 조건으로 고분자 발광다이오드를 제조하였다.Using the patterned PI-based IZTO transparent electrode fabricated in Example 3, a polymer light emitting diode was fabricated under the following conditions.

구체적으로, 전공 수송층 물질인 PEDOT:PSS는 0.45 ㎛ PTFE 실린지 필터로 여과(filtering)하여 24시간 동안 교반하였으며, 고분자 발광층으로 사용되는 green polymer는 클로로벤젠에 0.5 중량% 농도로 용해시켜 24시간 교반한 후, 0.45㎛ PVDF 실린지 필터를 이용하여 여과하였다. 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층은 ZnO 전구체를 메탄올과 1:50로 혼합하여 12시간 교반하였으며, 0.2 ㎛ PVDF 실린지 필터를 이용하여 여과하였다.Specifically, the major transport layer material PEDOT: PSS was filtered with a 0.45 μm PTFE syringe filter and stirred for 24 hours. The green polymer used as the polymer light emitting layer was dissolved in chlorobenzene at a concentration of 0.5 wt% and stirred for 24 hours. And then filtered using a 0.45 [mu] m PVDF syringe filter. The buffer layer containing ZnO precursor was mixed with methanol at a ratio of 1:50 and stirred for 12 hours and filtered using a 0.2 μm PVDF syringe filter.

소자는 PI / IZTO(200㎚) / PEDOT:PSS(40㎚) / Green polymer(80㎚) / ZnO(10㎚) / Ba (2nm) / Al(200㎚)의 구조로 제조하였다.The device was fabricated with a structure of PI / IZTO (200 nm) / PEDOT: PSS (40 nm) / Green polymer (80 nm) / ZnO (10 nm) / Ba (2 nm) / Al (200 nm).

PEDOT:PSS는 140℃에서 10분, 고분자 발광층은 80℃에서 30분, ZnO는 100℃에서 1시간 열처리 하였다. 그 후, 열증착기(thermal evaporator)의 고진공 챔버(1×10-6 torr 이하)로 이송하였으며, Ba (0.2Å/s, 2㎚), Al(5 Å/s, 200㎚) 전극을 증착하였다.PEDOT: PSS was annealed at 140 ° C for 10 minutes, the polymer luminescent layer was annealed at 80 ° C for 30 minutes, and ZnO was annealed at 100 ° C for 1 hour. Thereafter, the substrate was transferred to a high vacuum chamber (1 × 10 -6 torr or less) of a thermal evaporator, and Ba (0.2 Å / s, 2 nm) and Al (5 Å / s, 200 nm) .

실시예 5. Glass 기반의 ITO 박막을 포함하는 전극이 도입된 고분자 발광다이오드의 제조Example 5. Fabrication of Polymer Light Emitting Diodes Incorporating Electrodes Containing Glass-based ITO Thin Films

상기 실시예 4와 동일한 방법 및 조건으로 고분자 발광다이오드를 제조하되, Glass 기반의 ITO 박막을 투명전극으로 도입하여 제조하였다.A polymer light emitting diode was manufactured by the same method and conditions as in Example 4, except that a glass-based ITO thin film was introduced into a transparent electrode.

비교에 1. PI 기반의 IZTO 박막을 포함하는 전극을 도입하고, 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 도입하지 않은 고분자 발광다이오드 제조Comparison 1. Fabrication of Polymer Light Emitting Diodes without introducing a buffer layer containing ZnO precursor by introducing an electrode containing a PI-based IZTO thin film

상기 실시예 4.와 동일한 방법 및 조건으로 고분자 발광다이오드를 제조하되, 산화아연 전구체를 포함하는 버퍼층을 삽입하지 않고 제조하였다.Polymer light emitting diodes were prepared according to the same method and conditions as in Example 4, except that a buffer layer containing a zinc oxide precursor was not inserted.

비교예 2. Glass 기반의 ITO 박막을 포함하는 전극을 도입하고, 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 도입하지 않은 고분자 발광다이오드 제조Comparative Example 2. Fabrication of a polymer light-emitting diode without introducing a buffer layer containing a ZnO precursor by introducing an electrode including a glass-based ITO thin film

상기 실시예 4과 동일한 방법 및 조건으로 고분자 발광다이오드를 제조하되, Glass 기반의 ITO 박막을 투명전극으로 도입하고, 산화아연 전구체를 포함하는 버퍼층을 삽입하지 않고 제조하였다.A polymer light emitting diode was prepared by the same method and conditions as in Example 4 except that a glass-based ITO thin film was introduced as a transparent electrode and a buffer layer containing a zinc oxide precursor was not inserted.

실험예 1. 고분자 발광다이오드 특성 평가Experimental Example 1. Evaluation of Polymer Light Emitting Diode Characteristics

본 발명에 따른 고분자 발광 다이오드의 휘도-전압특성을 측정하여 도 3.에 나타내었다. 또한, 도 4에는 IZTO 박막을 포함하는 전극을 적용한 고분자 발광 다이오드의 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층의 적용 유/무에 따른 안정성 테스트 결과를 나타내었다.The luminance-voltage characteristics of the polymer LED according to the present invention are measured and shown in FIG. 4 shows stability test results of the buffer layer including a zinc oxide precursor (ZnO precursor) of a polymer LED employing an electrode including an IZTO thin film.

[표 1][Table 1]

Figure 112014091421006-pat00001
Figure 112014091421006-pat00001

그 결과, ITO, IZTO박막을 포함하는 전극을 사용한 소자 및 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층 도입 유/무에 따른 소자들 모두 3V에서 불이 켜졌으며, ITO 투명전극에 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 도입하지 않은 비교예 2.의 최대 휘도인 20042 cd/㎠보다 ITO 투명전극에 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 도입한 실시예 5.의 최대휘도가 32800 cd/㎠로 향상된 것을 알 수 있었다. 이는 IZTO를 투명전극으로 적용한 예에서도 동일하였다. 실시예 4. 와 비교예 1.을 비교했을 때, 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용한 실시예 4.의 휘도가 향상된 것을 알 수 있다. 특히, 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 적용 후, IZTO 투명전극을 적용한 소자의 안정성이 크게 향상된 것을 알 수 있었다.(도 4)As a result, devices using electrodes including ITO and IZTO thin films and devices with a buffer layer containing zinc oxide precursor (ZnO precursor) were turned on at 3 V, and zinc oxide precursor The maximum luminance of Example 5 in which a buffer layer containing a ZnO precursor was introduced into an ITO transparent electrode was higher than the maximum luminance of 20042 cd / cm 2 in Comparative Example 2 in which a buffer layer including a ZnO precursor was not introduced 32800 cd / cm < 2 >. This was the same in the case of using IZTO as a transparent electrode. Comparing Example 4 with Comparative Example 1, it can be seen that the luminance of Example 4 in which a buffer layer containing a zinc oxide precursor is applied is improved. Particularly, it was found that the stability of the device using the IZTO transparent electrode after the application of the buffer layer containing the zinc oxide precursor (FIG. 4)

또한, 비교예1.과 2.를 비교했을 때에도, Glass 기반의 ITO에 적용한 고분자 발광소자에 비해 PI 기반의 IZTO에 적용한 소자의 휘도가 더 밝은 것을 확인 할 수 있었다. 따라서, 상온 공정으로 유연기판에 적용 가능한 IZTO 투명전극을 적용하면 기존 고온 공정을 통해 제작되는 Glass 기반의 ITO보다 생산단가를 낮출 수 있으며, 용액공정으로 ZnO를 도입함으로써, 소자의 안정성까지 향상될 수 있는 장점이 있다.
Also, when comparing Comparative Examples 1 and 2, it can be seen that the brightness of the device applied to the PI-based IZTO is brighter than that of the polymer light emitting device applied to the glass-based ITO. Therefore, by applying IZTO transparent electrode applicable to flexible substrate at room temperature process, it is possible to lower the production cost compared with glass-based ITO manufactured through conventional high temperature process, and stability of device can be improved by introducing ZnO as solution process There is an advantage.

이상, 본 발명내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 이러한 구체적인 기술은 단지 바람직한 실시양태일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의해 정의된다고 할 것이다. Having described specific portions of the present invention in detail, those skilled in the art will appreciate that these specific embodiments are merely preferred embodiments and that the scope of the present invention is not limited thereby. something to do. Accordingly, the actual scope of the present invention will be defined by the appended claims and their equivalents.

Claims (9)

기판;
상기 기판의 상부에 배치된 IZTO(indium zinc tin oxide) 박막을 포함하는 제1전극;
상기 제1전극 상부에 배치된 정공수송층;
상기 정공수송층 상부에 배치된 고분자발광층;
상기 고분자발광층 상부에 배치된 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층; 및
상기 버퍼층 상부에 배치된 제2전극;을 포함하며,
상기 버퍼층은 산화아연 전구체(ZnO precursor)와 메탄올을 1:50의 중량비로 혼합하여 도입하는 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드.
Board;
A first electrode comprising an IZTO (indium zinc tin oxide) thin film disposed on the substrate;
A hole transport layer disposed on the first electrode;
A polymer light emitting layer disposed on the hole transport layer;
A buffer layer including a zinc oxide precursor disposed on the polymer light emitting layer; And
And a second electrode disposed on the buffer layer,
Wherein the buffer layer is formed by mixing a zinc oxide precursor and methanol in a weight ratio of 1:50.
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 유리기판 또는 유연기판인 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate is a glass substrate or a flexible substrate.
제 1 항에 있어서,
상기 IZTO는 In2O340내지 80중량%, ZnO 10 내지 30중량% 및 SnO210내지 30중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드.
The method according to claim 1,
Wherein the IZTO comprises 40 to 80 wt% of In 2 O 3 , 10 to 30 wt% of ZnO, and 10 to 30 wt% of SnO 2 .
제 1 항에 있어서,
상기 고분자발광층은 10 내지 150㎚로 배치되는 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드.
The method according to claim 1,
Wherein the polymer light emitting layer is disposed at 10 to 150 nm.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제2전극은 불화리튬/알루미늄, 불화리튬/칼슘/알루미늄, 칼슘/알루미늄, 불화바륨/알루미늄, 불화바륨/바륨/알루미늄, 바륨/알루미늄, 알루미늄, 금, 은 마그네슘/은, 리튬/알루미늄 전극 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드.
The method according to claim 1,
The second electrode may be formed of a material selected from the group consisting of lithium fluoride / aluminum, lithium fluoride / calcium / aluminum, calcium / aluminum, barium fluoride / aluminum, barium fluoride / barium / aluminum, barium / aluminum, aluminum, gold, silver / Wherein the polymer is selected from the group consisting of:
기판의 상부에 IZTO 박막을 형성하는 과정 및 고분자 발광층 상부에 산화아연 전구체(ZnO precursor)를 포함하는 버퍼층을 형성하는 과정을 포함하며,
상기 버퍼층은 산화아연 전구체(ZnO precursor)와 메탄올을 1:50의 중량비로 혼합하여 형성하는 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드 제조방법.
Forming an IZTO thin film on the substrate, and forming a buffer layer including a zinc oxide precursor on the polymer light emitting layer,
Wherein the buffer layer is formed by mixing zinc oxide precursor and methanol in a weight ratio of 1:50.
제 7 항에 있어서,
상기 IZTO는 In2O340내지 80중량%, ZnO 10 내지 30중량% 및 SnO210내지 30중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 발광다이오드 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the IZTO comprises 40 to 80 wt% of In 2 O 3 , 10 to 30 wt% of ZnO, and 10 to 30 wt% of SnO 2 .
삭제delete
KR1020140128455A 2014-09-25 2014-09-25 Polymer light emitting diode and method thereof Expired - Fee Related KR101634647B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140128455A KR101634647B1 (en) 2014-09-25 2014-09-25 Polymer light emitting diode and method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140128455A KR101634647B1 (en) 2014-09-25 2014-09-25 Polymer light emitting diode and method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160036735A KR20160036735A (en) 2016-04-05
KR101634647B1 true KR101634647B1 (en) 2016-07-11

Family

ID=55800015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140128455A Expired - Fee Related KR101634647B1 (en) 2014-09-25 2014-09-25 Polymer light emitting diode and method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101634647B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101964225B1 (en) * 2017-11-28 2019-04-01 엠에스웨이 주식회사 Display device including flexible transparent electrode and manufacturing method therof

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101116847B1 (en) * 2010-11-23 2012-03-06 건국대학교 산학협력단 Inverted opvs using zinc oxide buffer layer and manufacturing method thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101328526B1 (en) * 2012-01-12 2013-11-13 건국대학교 산학협력단 Organic photovoltain polymer and manufacturing method thereof
KR20140006496A (en) * 2012-07-05 2014-01-16 송인성 Polymer light emitting diode and a method of manufacturing it

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101116847B1 (en) * 2010-11-23 2012-03-06 건국대학교 산학협력단 Inverted opvs using zinc oxide buffer layer and manufacturing method thereof

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Soo Won Heo et al., "Enhanced performance in polymer light emitting diodes using an indium-zinc-tin oxide transparent anode by the controlling of oxygen partial pressure at room temperature", Journal*

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101964225B1 (en) * 2017-11-28 2019-04-01 엠에스웨이 주식회사 Display device including flexible transparent electrode and manufacturing method therof

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160036735A (en) 2016-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100270485B1 (en) Transparent conductive laminate and EL light emitting device using same
CN105449106B (en) A kind of transparent electrode and preparation method thereof based on super thin metal
CN106206995B (en) A kind of preparation method and products thereof of Organic Light Emitting Diode scattering layer
JP2006516793A (en) Member for use in creating a light emitting display device
JP2010524172A5 (en)
CN108139643A (en) Electrochromic element and manufacturing method thereof
JP4010587B2 (en) Transparent conductive laminate and electroluminescence light emitting device using the same
US20170110257A1 (en) Flexible ti-in-zn-o transparent electrode for dye-sensitized solar cell, and metal-inserted three-layer transparent electrode with high conductivity using same and manufacturing method therefor
KR101843364B1 (en) Transparent conductive film of water-repellency and plate heater comprising the same
CN102157659A (en) PLED (polymer light-emitting diode) device prepared by all-wet method and preparation method thereof
KR101089566B1 (en) Method of manufacturing antimony tin oxide transparent conductive thin film
KR101634647B1 (en) Polymer light emitting diode and method thereof
KR20070084121A (en) Gas with conductive film and manufacturing method thereof
CN102195006A (en) Flexible electrode based on AZO/graphene/AZO structure and preparation method thereof
KR100989409B1 (en) Multilayer flexible transparent electrode and its manufacturing method
CN1433247A (en) Transparent conductive film, its production process and electroluminescent element with the film
KR101335913B1 (en) Organic light emitting diodes including metal wiring buried substrates, and the preparation method thereof
CN202940274U (en) Multilayer transparent conductive film structure
KR101359913B1 (en) The manufacturing method of low-resistance, high transmittance, flexible FTO(F-doped Tin Oxide) transparent conductive film including carbon nanotubes
KR101149691B1 (en) Transparent conductive film, manufacturing method thereof, solar cell having the same, and flat panel display device having the same
KR101589699B1 (en) Organic light emitting device and method thereof
JP2010225384A (en) Substrate with transparent electrode, and method for manufacturing the same
Schmidt et al. Highly transparent and conductive ZTO/Ag/ZTO multilayer top electrodes for large area organic solar cells
JP2016157810A (en) Organic thin-film solar cells using niobium-doped titanium oxide
CN110797475A (en) Method for preparing double-layer thin film and quantum dot light-emitting diode and preparation method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

AMND Amendment
E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

St.27 status event code: N-2-6-B10-B15-exm-PE0601

AMND Amendment
P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PX0901 Re-examination

St.27 status event code: A-2-3-E10-E12-rex-PX0901

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

PX0701 Decision of registration after re-examination

St.27 status event code: A-3-4-F10-F13-rex-PX0701

X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

Fee payment year number: 1

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190520

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 4

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 5

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 6

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

PC1903 Unpaid annual fee

Not in force date: 20220624

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

K11-X000 Ip right revival requested

St.27 status event code: A-6-4-K10-K11-oth-X000

PC1903 Unpaid annual fee

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20220624

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

PR0401 Registration of restoration

St.27 status event code: A-6-4-K10-K13-oth-PR0401

PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 7

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

R401 Registration of restoration
PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 8

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 9

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

PR1001 Payment of annual fee

Fee payment year number: 10

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000