KR101628185B1 - 유기 el 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 el 밀봉 시스템 - Google Patents

Abstract

OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있고, 이 제조 작업을 효율적으로 행하는 것.
유기 EL 밀봉 장치(12)를 다음과 같이 구성한다. 필름 클램퍼(69a, 69b)로 OLED 기재 필름(21)이 파지되었을 때에, OLED 기재 필름(21)에 맞붙여져 있는 OLED 기판(22)에, 밀봉 롤 필름(19)에 맞붙여진 밀봉 기판(17)이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름(19)을, 유지 수단인 필름 클램퍼(71a) 및 가이드 롤러(57)와, 박리 롤러(63a) 및 필름 클램퍼(7lb)로 파지한다. 또한, 하측 테이블(66)과, 밀봉 기판부착 기구(61)와, 캐리어 박리 기구(63)와, 상측 테이블(67)과, 정전 척판(68)을 포함하여 구성되는 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉한다.

Description

유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템{SEALING APPARATUS FOR ORGANIC EL, MANUFACTURING APPARATUS FOR SEALING ROLL FILM, AND SEALING SYSTEM FOR ORGANIC EL}

본 발명은, 유기 EL(Electro Luminescence) 패널에 밀봉 필름을 부착하는 유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템에 관한 것이다.

종래, 유기 EL, 소위 유기 발광 다이오드(OLED:Organic Light-Emitting Diode)의 패널에 밀봉 기판을 부착하는 기술로서 특허문헌 1에 기재된 기술이 있다. 이 기술은, 유기 EL 조명 장치 등에 사용되는 유기 EL 패널을 제조할 때에, OLED 기판인 복수의 소자 기판을 가지는 소자 머더 기판에, 복수의 밀봉 기판을 가지는 밀봉 머더 기판을 부착한 후, 1쌍의 소자 기판 및 밀봉 기판마다 분단하여 1매의 유기 EL 패널을 얻는 것이다.

이 유기 EL 패널의 특징은, 유기 EL 소자 및 단자 영역이 형성되며, 유리 기판을 베이스로 한 소자 기판과, 그 유기 EL 소자를 피복하는 밀봉 부재와, 밀봉 부재를 통하여 소자 기판에 맞붙여진 밀봉 기판을 구비하고, 유기 EL 소자 및 단자 영역의 사이의 영역에만 배치된 제 1 스페이서를 구비하는 것에 있다. 그리고, 제 1 스페이서로, 분단 공정에 있어서의 응력 집중이나 환경 온도의 변화 등의 외적 스트레스에 의한 유기 EL 패널의 변형을 억제하고, 밀봉 부재의 박리의 발생을 억제하고 있다. 또한, 그 박리에 기인하는 밀봉 부재의 기밀성의 저하를 억제하도록 되어 있다.

또한, 롤에 감긴 필름을 다른 롤에 권취하여 반송하는 롤 투 롤 법을 이용하여, 밀봉 머더 기판상에 복수의 시트 형상 밀봉재를 부착함으로써, 시트 형상 밀봉재를 복수열로 동시에 부착하여, 이 부착에 필요로 하는 택 타임이 단축 가능하게 되어 있다.

WO 2010/024006호 공보

그런데, 특허문헌 1의 유기 EL 패널에 있어서는, 롤 투 롤 법을 이용하고, 복수의 시트 형상 밀봉재를 밀봉 머더 기판상에 부착하여 제조의 효율화를 도모하고 있다. 그러나, 이것은 밀봉 기판의 제조이며, 유기 EL 패널을 제조하기 위해서는, 소자 머더 기판에 밀봉 머더 기판을 부착한 후, 분단하여 1매씩의 유기 EL 패널을 얻을 필요가 있다. 따라서, 유기 EL 패널을 효율적으로 제조할 수 없다는 문제가 있다.

또한, 제 1 스페이서로 1매의 유기 EL 패널로 하기 위한 분단시의 외적 스트레스를 흡수하고 있으나, 분단이 필요한 한, 분단 동작에 의한 스트레스로 유기 EL패널에 어느 정도 장해가 발생할 가능성이 있다. 따라서, OLED 기판인 소자 기판에 밀봉 기판을 고정밀도로 맞붙인 밀봉 상태를 유지할 수 없다는 문제가 있다.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있으며, 이 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있는 유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 장척 형상의 제 1 필름에 복수의 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과, 상기 반송되는 OLED 기재 필름을 정지 상태로 유지하는 제 1 유지 수단과, 장척 형상의 제 2 필름에 복수의 밀봉 기판이 부착된 밀봉 롤 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과, 상기 반송되는 밀봉 롤 필름을 정지 상태로 유지하는 제 2 유지 수단과, 상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비하고, 상기 제 1 유지 수단으로 상기 OLED 기재 필름이 유지되었을 때에, 당해 OLED 기재 필름에 맞붙여져 있는 OLED 기판에, 상기 밀봉 롤 필름에 맞붙여져 있는 밀봉 기판이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름을 상기 제 2 유지 수단으로 유지하고, 상기 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하도록 하였다.

본 발명에 의하면, OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있고, 이 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있는 유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템을 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2a는, 장척 형상의 밀봉 롤 필름의 평면도이다.
도 2b는, 도 2a에 나타낸 A1-A1 단면도이다.
도 3a는, 장척 형상의 OLED 기재 필름의 평면도이다.
도 3b는, 도 3a에 나타낸 A2-A2 단면에 상당하는 유기 EL 소자의 단면도이다.
도 4는, 본 실시형태의 밀봉 롤 필름 제작 장치를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.
도 5는, 롤 필름의 단면 구성을 나타낸 도면이다.
도 6은, 본 실시형태의 밀봉 롤 필름 제작 장치 또는 유기 EL 밀봉 장치의 동작 제어를 행하는 제어 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 7은, 본 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.
도 8은, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 OLED 기판으로의 밀봉 기판 맞붙임 동작의 개시 형태를 나타낸 도면이다.
도 9는, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 OLED 기판으로의 밀봉 기판 맞붙임 동작의 종료 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 밀봉 기판으로부터의 캐리어 필름의 박리 동작의 상태를 나타낸 도면이다.
도 11은, 밀봉 롤 필름 제작 장치에 의한 밀봉 롤 필름의 제조 동작을 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 12는, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 OLED 기판으로의 밀봉 기판의 맞붙임에 의한 밀봉 동작을 설명하기 위한 플로우 차트이다.

이하, 본 발명의 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.

<유기 EL 밀봉 시스템(10)의 구성>

도 1은, 본 발명의 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 시스템(10)의 구성을 나타낸 블록도이다.

유기 EL 밀봉 시스템(10)은, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)와, 유기 EL 밀봉 장치(12)와, 열처리 장치(13)를 구비하여 구성되어 있다. 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 롤 투 롤로 필름 기재에 밀봉 기판(17)(도 2a 및 도 2b 참조)이 부착된 밀봉 롤 필름(19)을 제조한다. 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 롤 투 롤로 반송되는 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)(도 3a 및 도 3b 참조)에, 밀봉 롤 필름(19)의 밀봉 기판(17)을 롤 투 롤로 반송하면서 맞붙여 밀봉함으로써 OLED 밀봉 필름(23)을 제조한다. 열처리 장치(13)는, OLED 밀봉 필름(23)을 가열하여 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)을 밀봉한 상태에서 경화시켜, 이것에 의해 제품 필름(24)을 제조한다.

제품 필름(24)은, 유기 EL 조명 장치 등의 전기 제품에 이용된다. 따라서, 밀봉 기판(17)은, 투명 혹은 소정의 색으로 착색된 투명 필름이며, 후술한 바와 같이 장척 형상의 밀봉 기판 필름(17a)(도 5 참조)으로부터 잘라내어져 형성된다.

도 2a는 장척 형상의 밀봉 롤 필름(19)의 평면도, 도 2b는 도 2a에 나타낸 A1-A1 단면도이다. 밀봉 롤 필름(19)은, 장척 형상의 필름인 세퍼레이터(15)에 점착층(16)을 개재하여 직사각형 형상의 밀봉 기판(17)이 미리 정해진 간격(L1)으로 부착되며, 또한 밀봉 기판(17)의 위에 세퍼레이터(15)의 전체면을 덮도록 캐리어 필름(18)이 부착되어 구성되어 있다. 간격(L1)은, 밀봉 기판(17)의 중심으로부터 인접하는 밀봉 기판(17)의 중심까지의 길이이다.

도 3a는 장척 형상의 OLED 기재 필름(21)의 평면도, 도 3b는 도 3a에 나타낸 A2-A2 단면에 상당하는 유기 EL 소자의 단면도이다.

도 3b에 나타낸 바와 같이, OLED 기재 필름(21)은, 장척 형상의 기판 필름(21a)에, 양극(22a), 유기물 막(22b), 음극(22c)의 각 층을 적층하여 이루어지는 OLED 기판(22)을 미리 정해진 간격으로 복수 부착한 것이다. 또한, 음극(22c)과 양극(22a)의 사이에 전원(Va)에 의해 소저 전위의 전압이 인가되며, 이것에 의해 화살표(Y10)로 나타낸 바와 같이 발광하도록 되어 있다. 이와 같은 구성의 OLED 기판(22)의 음극(22c) 측으로부터 밀봉 기판(17)이 맞붙여지며, OLED 기판(22)이 수분이나 산소에 접촉하지 않도록 밀봉된다. 단, 밀봉 기판(17)은 후술의 도 8에 나타낸 바와 같이 점착층(16)을 개재하여 부착된다.

또한, 기판 필름(21a)에 대한 OLED 기판(22)으로의 부착 간격은, 도 3a에 나타낸 바와 같이, OLED 기판(22)의 중심으로부터 인접하는 OLED 기판(22)의 중심까지의 길이 L1이라고 한다. 또한, OLED 기재 필름(21)의 필름 폭은, 도 2a에 나타낸 밀봉 롤 필름(19)의 캐리어 필름(18)의 필름 폭 보다 약간 넓게 되어 있다.

또한, 도 2a에 나타낸 밀봉 롤 필름(19)에 있어서의 캐리어 필름(18)으로의 밀봉 기판(17)의 부착 간격은 L1로 나타낸 바와 같이, 도 3a의 기판 필름(21a)으로의 OLED 기판(22)의 부착 간격(L1)과 동일하게 된다.

단, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)은 상사형(相似形)이며, 밀봉 기판(17)의 쪽이, 도 3b에 나타낸 바와 같이 OLED 기판(22)을 푹 덮는 것이 가능한 큰 사이즈로 되어 있다.

<밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 구성>

밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 대해 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.

밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 롤 형상으로 감긴 롤 필름(19a)을 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 최상류측의 롤 부착부(31)와, 롤 필름(19a)으로부터 후술한 바와 같이 제조되는 밀봉 롤 필름(19)을 롤 형상으로 권취하는 최하류측의 필름 권취부(32)와, 롤 부착부(31)와 필름 권취부(32)의 사이에 수평 방향으로 배치되는 가이드 롤러(33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h)와, 가이드 롤러(33e∼33h)의 상방측에 배치되는 가이드 롤러(33i, 33j, 33k)를 구비한다.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 상류측의 가이드 롤러(33b)와 함께, 상기 수평 방향에 대하여 수직 방향의 상하로 롤 필름(19a)을 끼우는 닙 롤러(34a) 및 하류측의 가이드 롤러(33g)와 상하로 밀봉 롤 필름(19)을 끼우는 닙 롤러(34b)와, 가이드 롤러(33b, 33c) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35a), 가이드 롤러(33d, 33e) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35b), 가이드 롤러(33f, 33g) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35c) 및 가이드 롤러(33i, 33j) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35d)를 구비한다.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 롤 형상으로 감긴 캐리어 필름(18)을 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 롤 부착부(36)와, 캐리어 필름(18)의 편면에 부착되는 롤 형상으로 감긴 점착 테이프(38)를 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 롤 부착부(39)와, 롤 필름(19a) 및 캐리어 필름(18)의 쌍방을 상하로 끼워 넣어 소정 온도로 가열하는 라미네이트 롤러(37a, 37b)를 구비한다.

캐리어 필름(18)의 편면에 부착된 점착 테이프(38)는, 라미네이트 롤러(37a, 37b)로 가열됨으로써, 롤 필름(19a)에 부착되는 성질을 가진다.

롤 필름(19a)은, 도 5에 단면 구성을 나타낸 바와 같이, 장척 형상 필름인 세퍼레이터(15)에 점착층(16)을 개재하여 세퍼레이터(15)와 동일 형상의 밀봉 기판 필름(17a)이 부착되어 구성되어 있다.

또한, 가이드 롤러(33a∼33k), 닙 롤러(34a, 34b), 댄서 롤러(35a∼35d), 라미네이트 롤러(37a, 37b)를, 단순히 롤러(33a∼33k, 34a, 34b, 35a∼35d, 37a, 37b)라고도 한다.

또한, 캐리어 필름(18), 롤 필름(19a), 밀봉 롤 필름(19), OLED 기재 필름(21), OLED 밀봉 필름(23), 제품 필름(24)도, 단순히 필름(18, 19a, 19, 21, 23, 24)이라고도 한다.

롤 부착부(31)에 세트된 롤 필름(19a)은, 각 가이드 롤러(33a∼33h), 댄서 롤러(35a∼35c) 및 닙 롤러(34a, 34b)에 당접 또는 끼워져 삽입 통과되며, 또한, 롤 부착부(36)에 세트된 캐리어 필름(18)은, 편면에 점착 테이프(38)가 부착되면서 각 가이드 롤러(33i∼33k 및 33f∼33h), 댄서 롤러(35d 및 35c), 라미네이트 롤러(37a, 37b)에 당접 또는 끼워져 삽입 통과된다. 이들 삽입 통과에 의한 통과 과정에서, 라미네이트 롤러(37a, 37b)에 의한 가열로 쌍방의 필름(19a, 18)이 점착 테이프(38)로 맞붙여지며, 이것이 밀봉 롤 필름(19)으로서 필름 권취부(32)에서 권취되는 구성으로 되어 있다.

각 댄서 롤러(35a∼35d)는, 상기한 바와 같이 각 필름(19a, 18, 19)이 통과할 때에, 상하로 이동하여 늘어짐이 생기지 않도록 텐션을 거는 역할을 담당한다.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 상류측의 가이드 롤러(33a, 33b) 간에 배치된 사행 검출 센서(40a) 및 하류측의 가이드 롤러(33g, 33h) 간에 배치된 사행 검출 센서(40b)를 구비하고, 또한, 가이드 롤러(33c, 33d) 간에 상류측으로부터 하류측을 향해 순서대로 하프 컷 기구(41), 불필요한 부분 제거 기구(42), 피더(43)를 구비하여 구성되어 있다.

사행 검출 센서(40a, 40b)는, 각 필름(19a, 19)의 사행을 검출하고, 도시하지 않은 사행 보정부를 구비하여 사행을 보정하는 사행 검출 보정 수단이다.

하프 컷 기구(41)는, 필름(19a)의 상방측에 타발 칼날인 톰슨 칼날(41a), 하방측에 받침대(4lb)를 구비하고, 톰슨 칼날(41a)이 받침대(4lb) 방향으로 하강하여 필름(19a)의 상측 2층의 밀봉 기판 필름(17a) 및 점착층(16)을, 도 2a에 파선으로 나타낸 직사각형 형상으로 타발하도록 구성되어 있다. 이 때, 직사각형 형상으로 타발되는 밀봉 기판(17)의 반송 방향의 양단부에 후술하는 위치 결정용의 마크가 첨부되도록 구성해도 된다. 본 실시형태에서는, 그 마크로서 밀봉 기판(17)의 양단 에지를 적용하도록 되어 있다.

또한, 톰슨 칼날(41a)로 타발한 밀봉 기판(17)의 형상은, 본 실시형태에서는 직사각형 형상으로 하고 있으나, 사각, 원, 삼각, 별 등의 임의 형상이어도 된다. 이들의 형상은, 밀봉 기판(17)을 맞붙이기 전의 기판 형상(OLED 기판(22)의 형상)과 동일한 형상으로 이루어진다. 또한, 톰슨 칼날(41a) 대신, 도시하지 않은 로터리 커터를 사용해도 된다.

불필요한 부분 제거 기구(42)는, 필름(19a)의 상방측에 상하동이 자유로운 점착 테이프부(42a), 하방측에 받침대(42b)를 구비하고, 점착 테이프부(42a)가 받침대(42b) 방향으로 하강하여 밀봉 기판 필름(17a)의 직사각형 형상 이외의 불필요한 부분에 점착하여, 이 점착 부분을 들어올려 벗기도록 구성되어 있다. 그 벗김에 의해, 세퍼레이터(15) 상에 밀봉 기판(17)이 제조된다.

피더(43)는, 필름(19a)을 끼운 상하측에 배치되어 있고, 필름(19a)을 미리 정해진 길이 화살표(Y1)로 나타낸 하류 방향으로 한 구획씩 내보내는 것이다. 그 미리 정해진 길이는, 본 실시형태에서는, 도 2a에 나타낸 길이(L1)라고 한다.

단, 각 필름(19a, 18, 19)의 반송 동작, 사행 검출 센서(40a, 40b)에서의 사행 검출에 의한 사행 보정 동작, 하프 컷 기구(41), 불필요한 부분 제거 기구(42) 및 피더(43)의 각 동작, 라미네이트 롤러(37a, 37b)의 온도 조절 동작 등의 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 관련된 동작 제어는, 도 6에 나타낸 제어 장치(101)에 의해 행해진다.

즉, 제어 장치(101)는, CPU(Central Processing Unit)(101a), ROM(Read Only Memory)(10lb), RAM(Random Access Memory)(101c), 기억 장치(HDD:Hard Disk Drive 등)(101d)를 구비하고, 이들(101a∼101d)이 버스(102)에 접속된 일반적인 구성으로 되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서, 예를 들면 CPU(101a)가 ROM(101b)에 기록된 프로그램(101f)을 실행하여, 제어 장치(101)의 제어를 실현하도록 되어 있다.

<유기 EL 밀봉 장치(12)의 구성>

도 7은 유기 EL 밀봉 장치(12)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.

유기 EL 밀봉 장치(12)는, 진공 환경 중에 배치되는 것이며, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)로 제조된 밀봉 롤 필름(19)을 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 최상류측의 롤 부착부(51)와, 밀봉 롤 필름(19)으로부터 후술한 바와 같이 세퍼레이터(15) 및 밀봉 기판(17)이 박리된 후에 남는 캐리어 필름(18)을 롤 형상으로 권취하는 최하류측의 필름 권취부(52)와, 롤 부착부(51)와 필름 권취부(52)의 사이에 배치되는, 세퍼레이터 박리 롤러(53)와, 박리된 세퍼레이터(15)를 롤 형상으로 권취하는 필름 권취부(54)와, 가이드 롤러(55, 57, 58)와, 댄서 롤러(56)와, 밀봉 기판 부착 기구(61)의 부착 롤러(61a)와, 캐리어 박리 기구(63)의 박리 롤러(63a, 63b)와, 닙 롤러(64)를 구비한다.

단, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 진공 환경 중에 배치되나, 이것은 후술하는 OLED 기판(22)이 수분이나 산소로 열화하는 것에 더해, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙일 때, 그 밀착성을 향상시키는 것을 하나의 목적으로 하고 있다. 또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 진공 환경 중 이외에, 질소(N2) 환경 중에 배치되어도 된다. 즉, OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)이 공기와 수분에 접촉하지 않는 환경이면 된다. 단, 유기 EL 밀봉 장치(12)의 배치 환경이 진공 중인 경우, OLED 기재 필름(21)이 반송되어 오는 진공 환경의 전(前) 공정으로부터, 그대로 반송되는 구성(진공 중에서 진공 중으로의 반송 구성)으로 하면 되므로, 반송 및 밀봉 작업 환경을 용이하게 구성할 수 있다.

또한, 가이드 롤러(55, 57, 58), 댄서 롤러(56), 부착 롤러(61a), 박리 롤러(63a, 63b), 닙 롤러(64)를, 단순히, 롤러(55∼58, 61a, 63a, 63b, 64)라고도 한다.

세퍼레이터 박리 롤러(53)는, 롤 부착부(51)의 상방에, 가이드 롤러(55)와 인접 배치되어 있고, 롤러(53, 55) 간에 밀봉 롤 필름(19)을 통과시켜, 이 밀봉 롤 필름(19)의 세퍼레이터(15)를 롤러(53)의 원호를 따르게 하면서 필름 권취부(54)에서 권취한다. 또한, 캐리어 필름(18) 및 당해 캐리어 필름(18)에 점착 테이프(38)로 부착된 밀봉 기판(17)은 가이드 롤러(55)를 통해 화살표(Y2) 방향의 하류측으로 보내지도록 되어 있다.

이 보내지는 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)은, 롤러(56, 57)를 통해 부착 롤러(61a)로 향하는 도중에, 후술과 같이 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 부착되어 캐리어 필름(18)으로부터 OLED 기판(22)으로 이행하고, 이 후에 남은 캐리어 필름(18)이, 롤러(61a, 63a, 63b, 58, 64)를 통해 필름 권취부(52)에 권취되는 구성으로 되어 있다.

밀봉 기판 부착 기구(61) 및 캐리어 박리 기구(63)는, 유기 EL 밀봉 장치(12)의 하방측에 수평으로 배치된 하측 테이블(66)의 상면에, 쌍방 화살표(Y3)로 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)을 따라, 하류측으로부터 상류측으로, 또는 상류측으로부터 하류측으로 자유롭게 이동 가능하며, 또한 상하 방향으로도 이동 가능하게 부착되어 있다.

또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 하측 테이블(66)로부터 보아 상방측의 OLED 기재 필름(21)을 끼운 대향 위치에, 상측 테이블(67)에 고정된 정전 척판(68)을 구비한다. 상측 테이블(67)은 상하동 가능하게 되어 있다.

정전 척판(68)은, 전압 인가 수단을 구비하는 유전판이며, 이 유전판과 피흡착물인 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)의 상호 간에 전압 인가 수단으로 전압을 인가하고, 이 인가에 의해 상호 간에 발생한 정전기력에 의해 OLED 기판(22)을 흡착하는 것이다.

정전 척판(68)의 상류 및 하류의 양측에는, OLED 기재 필름(21)을 정지 상태로 파지(클램프:유지)하는 필름 클램퍼(69a, 69b)를 구비한다. 또한, 하측 테이블(66)의 상방의 가이드 롤러(57)의 상류측에, 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)을 롤러(57)와 한 쌍이 되어 정지 상태로 파지(유지)하는 필름 클램퍼(71a) 및 박리 롤러(63a)의 하류측에 박리 롤러(63a)와 한 쌍이 되어 정지 상태로 파지(유지)하는 필름 클램퍼(7lb)를 구비한다. 단, 상류측의 필름 클램퍼(71a)는, 캐리어 필름(18)에 부착된 밀봉 기판(17)을 피하는 위치를 파지하는 구조로 되어 있다.

또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 정전 척판(68)의 대향 위치에 밀봉 기판(17)이 배치되었을 때에, 밀봉 기판(17)의 반송 방향 양측에 미리 부착된 마크(여기에서는 마크로서 양측 에지)와, OLED 기판(22)의 미리 부착된 마크(여기에서는 마크로서 양측 에지)를 촬영하는 위치 결정 카메라(72a, 72b)를 구비한다.

즉, 위치 결정 카메라(72a, 72b)는, 밀봉 기판(17)의 양측 에지를 촬영함과 함께, 밀봉 기판(17)을 투과하여 OLED 기판(22)의 양측 에지를 촬영한다. 이 촬영에 의해 밀봉 기판(17)의 양측 에지(마크)가 OLED 기판(22)의 양측 에지(마크)에 일치하고 있는지의 여부를 확인하기 위한 것이다.

하측 테이블(66)은, 쌍방 화살표(Y3)로 나타낸 양측 방향(X) 및 당해 방향(X)과 직교 방향(Y) 및 하측 테이블(66)의 수평면 중심을 축으로서 수평 상태에 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도(θ) 회전하는 XYθ 이동 기능을 가진다.

이 XYθ 이동 기능에 의해, 도 8에 나타낸 바와 같이, 필름 클램퍼(71a) 및 가이드 롤러(57)와, 박리 롤러(63a) 및 필름 클램퍼(7lb)로 파지된 캐리어 필름(18) 상의 밀봉 기판(17)이, XYθ 이동되도록 되어 있다.

이 XYθ 이동시에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, OLED 기재 필름(21)도 필름 클램퍼(69a, 69b)에 의해 파지되어 있고, 상측 테이블(67)이 화살표(Y5)로 나타낸 하측 방향으로 이동하고, 정전 척판(68)이 OLED 기재 필름(21)을 밀어 내림으로써, OLED 기재 필름(21)이 화살표(Y6, Y7)로 나타낸 역방향에 소정의 텐션으로 잡아 당겨진 상태에서 유지 고정되어 있다. 단, 필름 클램퍼(69a, 69b)는, OLED 기재 필름(21)을 파지할 때는, OLED 기판(22) 이외의 부분을 파지하도록 되어 있다.

즉, 도 7에 나타낸 위치 결정 카메라(72a, 72b)로 밀봉 기판(17)과 OLED 기판(22)의 쌍방의 마크의 불일치가 촬영된 경우, 하측 테이블(66)은 XYθ 이동 기능에 의해 밀봉 기판(17)을 이동함으로써, 밀봉 기판(17)의 양측 에지를 도 8에 나타낸 OLED 기판(22)의 양측 에지에 일치시킨다. 즉, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치시킨다.

이 일치 후에, 밀봉 기판 부착 기구(61)를 화살표(Y8)로 나타낸 상측 방향으로 이동시키면서, 부착 롤러(61a)를 캐리어 필름(18)에 당접하여 누르고, 밀봉 기판(17) 면의 하류측 단부를 OLED 기판(22) 면의 대향 단부에 소정의 힘으로 누른다.

이 후에, 부착 롤러(61a)로 밀봉 기판(17)의 단부가 OLED 기판(22)의 단부를 누른 상태에서, 밀봉 기판 부착 기구(61)를 화살표(Y9)로 나타낸 상류 방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 도 9에 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 상측 테이블(67) 보다 상류측까지 이동하면, 정전 척판(68)의 정전기력 등에 의해 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 맞붙여진 상태가 된다.

이 때, 부착 롤러(61a)는, 밀봉 기판(17)의 단부를 OLED 기판(22)에 누르면서 서서히 대향 단부까지 이동하고, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 정전기력으로 맞붙이므로, 도 3b에 나타낸 바와 같이 맞붙임 면에 부분적인 극간 등이 생기지 않아 완전히 밀착 상태로 맞붙여진다. 이 때, 도 9에 나타낸 상측 테이블(67)이 화살표(Y5)의 하측 방향으로 정전 척판(68)을 통하여 OLED 기재 필름(21)을 내리누르고, 화살표(Y6, Y7)로 나타낸 역방향으로 잡아 당겨지는 유지 고정의 힘이, 정전기력에 가해진다. 이 합력(合力)(F0)은, 밀봉 기판(17)과 OLED 기판(22)을 맞붙이는 점착층(16)의 점착력(F1) 보다 강하다. 또한, 점착력(F1)은, 캐리어 필름(18)과 밀봉 기판(17)을 맞붙이고 있는 점착 테이프(38)(도 4 참조)의 점착력(F2) 보다 강하다. 따라서, F0>F1>F2의 관계로 되어 있다.

따라서, 맞붙임 후에, 도 10에 나타낸 바와 같이, 캐리어 박리 기구(63)를 화살표(Y9)로 나타낸 상류측으로 이동시킴으로써, 캐리어 필름(18)을 박리 롤러(63a, 63b)로 잡아당기면서, 파선(18)에서 실선(18)으로 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판(17)으로부터 박리할 수 있다. 단, 밀봉 기판 부착 기구(61)에 의한 밀봉 기판(17)의 맞붙임 및 캐리어 박리 기구(63)에 의한 캐리어 필름(18)의 박리는, 화살표(Y9)와 역방향으로 행해도 된다.

또한, 각 필름(19, 18)의 반송 동작, 각 필름 클램퍼(69a, 69b, 71a, 7lb)의 파지 동작, 위치 결정 카메라(72a, 72b)의 촬영 동작, 하측 테이블(66)의 XYθ 이동 기능의 동작, 상측 테이블(67)의 이동 동작, 밀봉 기판 부착 기구(61) 및 캐리어 박리 기구(63)의 이동 동작 등의 유기 EL 밀봉 장치(12)에 관련된 동작 제어는, 상술한 도 6에 나타낸 제어 장치(101)에서 행해진다. 즉, 도 6의 제어 장치(101)는, 유기 EL 밀봉 장치(12)의 제어 장치와, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 제어 장치의 쌍방을 대표하여 나타낸 것이다.

<밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 동작>

다음으로, 상술한 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 의한 밀봉 롤 필름(19)의 제조 동작을, 도 11에 나타낸 플로우 차트를 참조하여 설명한다. 또한, 설명 중의 각 동작 제어는, 제어 장치(101)에서 행해지는 것으로 한다.

단계(S1)에 있어서, 도 4에 나타낸 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 롤 필름(19a) 및 점착 테이프(38)와 함께 캐리어 필름(18)을 세트한다. 즉, 최상류측의 롤 부착부(31)에 롤 필름(19a)을 세트하고, 이 롤 필름(19a)을, 가이드 롤러(33a∼33h), 댄서 롤러(35a∼35c) 및 닙 롤러(34a, 34b) 및 사행 검출 센서(40a, 40b), 하프 컷 기구(41), 불필요한 부분 제거 기구(42) 및 피더(43)에, 상류측으로부터 순서대로 통과시켜, 최하류측의 필름 권취부(32)에서 권취되어 세트한다.

이것과 동시에, 롤 부착부(36)에 세트한 캐리어 필름(18)의 편면에, 롤 부착부(39)에 세트한 점착 테이프(38)를 부착하면서, 각 가이드 롤러(33i∼33k 및 33f∼33h), 댄서 롤러(35d 및 35c), 라미네이트 롤러(37a, 37b)에 상류측으로부터 순서대로 통과시켜, 필름 권취부(32)에서 권취되어 세트한다.

이들 세트 시에 각 필름(19a, 18, 19)이 통과할 때, 단계(S2)에 있어서, 사행 검출 센서(40a, 40b)에서 필름 사행이 검출되면서 각 필름(19a, 18, 19)이 사행하지 않도록 반송된다. 즉, 사행 보정이 행해지면서 반송된다. 또한, 각 댄서 롤러(35a∼35d)로, 각 필름(19a, 18, 19)에 늘어짐이 생기지 않도록 텐션이 걸린다. 또한, 상기의 사행 보정은, 후술한 밀봉 기판(17)의 형성 동작에 의한 필름 반송에 있어서도 상시 실행된다.

다음으로, 단계(S3)에 있어서, 하프컷 기구(41)의 톰슨 칼날(41a)이, 정지 중의 롤 필름(19a)을 개재하여 받침대(4lb)로 눌러진다. 이 누름에 의해, 필름(19a)의 상측 2층의 밀봉 기판 필름(17a) 및 점착층(16)이, 세퍼레이터(15)를 제외하고, 도 2a에 파선으로 나타낸 직사각형 형상의 밀봉 기판(17)의 프레임형으로 타발된다.

이 후에, 단계(S4)에 있어서, 도 4에 나타낸 피더(43)에 의해 롤 필름(19a)이 길이(L1){도 2a 참조}만큼, 화살표(Y1)로 나타낸 하류측으로 내보내진다.

다음으로, 단계(S5)에 있어서, 불필요한 부분 제거 기구(42)의 점착 테이프부(42a)가 받침대(42b) 방향으로 하강되어, 밀봉 기판 필름(17a)의 밀봉 기판(17) 이외의 불필요한 부분에 점착된다. 이 후에, 점착 테이프부(42a)가 상승되어, 그 점착된 불필요한 부분이 들어 올려져 벗겨지며, 세퍼레이터(15) 상에 밀봉 기판(17)이 제조된다. 또한, 벗겨진 불필요한 부분은 도시하지 않은 회수 기구에 의해 회수된다.

이와 같은 단계(S4와 S5)의 동작이 순차 반복되며, 이것에 의해, 세퍼레이터(15) 상에 점착층(16)으로 부착된 밀봉 기판(17)이 형성되고, 세퍼레이터(15)에 점착 상태에서 하류측으로 반송된다.

이 반송시, 단계(S6)에 있어서, 라미네이트 롤러(37a, 37b)로, 세퍼레이터(15)에 점착된 밀봉 기판(17)의 위에 점착 테이프(38)를 통하여 캐리어 필름(18)이 합쳐진 상태로 가열된다. 이 가열에 의해, 캐리어 필름(18)이 점착 테이프(38)로 밀봉 기판(17) 상에 부착된다. 이것에 의해, 밀봉 롤 필름(19)이 제조되어, 롤 부착부(32)에 권취된다.

<유기 EL 밀봉 장치(12)의 동작>

다음으로, 도 7에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(12)에 의한 OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 맞붙임에 의한 밀봉 동작을, 도 12에 나타낸 플로우 차트를 참조하여 설명한다. 또한, 설명 중의 각 동작 제어는, 도 6에 나타낸 제어 장치(101)에서 행해지는 것으로 한다.

도 12에 나타낸 단계(S11)에 있어서, 상술한 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에서 제조된 밀봉 롤 필름(19)을, 도 7에 나타낸 최상류측의 롤 부착부(51)와 최하류측의 필름 권취부(52)를 포함하는 사이에 세트한다. 이 때, 밀봉 롤 필름(19)을 세퍼레이터 박리 롤러(53)와 가이드 롤러(55)의 사이에 통과시켜, 밀봉 롤 필름(19) 중의 세퍼레이터(15)를 롤러(53)의 원호를 따르게 하면서 필름 권취부(54)에서 권취되어 세트한다. 또한, OLED 기재 필름(21)을 각 필름 클램퍼(69a, 69b)에 삽입 통과하여 세트한다.

다음으로, 단계(S12)에 있어서, 화살표(Y4) 방향으로 이동된 OLED 기재 필름(21)이 필름 클램퍼(69a, 69b)로 클램프되며, 당해 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)이, 정전 척판(68)의 전면의 소정 위치에 세트된다. 또한, 세퍼레이터(15)의 박리 후의 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)이 화살표(Y2) 방향으로 이동되어, 필름 클램퍼(71a, 7lb) 및 롤러(57, 63a)로 클램프됨으로써, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)의 대향 위치에 세트된다.

다음으로, 단계(S13)에 있어서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상측 테이블(67)이 화살표(Y5)로 나타낸 하측 방향으로 이동하고, 정전 척판(68)이 OLED 기재 필름(21)을 내리누름으로써, OLED 기재 필름(21)이 화살표(Y6, Y7)로 나타낸 역방향에 소정의 텐션으로 잡아당겨진 상태로 유지 고정된다.

이 후에, 단계(S14)에 있어서, 각 위치 결정 카메라(72a, 72b)에 의해 밀봉 기판(17)의 양측 에지가 촬영됨과 함께, 밀봉 기판(17)을 투과하여 OLED 기판(22)의 양측 에지가 촬영된다.

단계(S15)에 있어서, 그 촬영에 의해 밀봉 기판(17)의 양측 에지가 OLED 기판(22)의 양측 에지에 일치하고 있는지의 여부가 판단된다. 단, 그 양측 에지의 일치란, 상술한 바와 같이 밀봉 기판(17)의 쪽이 OLED 기판(22) 보다 크므로, 그 부착대(代)를 고려한 것이다. 바꿔 말하면, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치하고 있는지의 여부가 판단된다.

이 판단 결과, 일치하고 있지 않다고 판단(No)된 경우, 단계(S16)에 있어서, 하측 테이블(66)의 XYθ 이동 기능에 의해, 필름 클램퍼(71a, 7lb)로 클립 고정된 캐리어 필름(18) 상의 밀봉 기판(17)이, OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치하도록 XYθ 이동된다.

이 후에, 재차, 단계(S14)에 있어서, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 양측 에지가 촬영되며, 단계(S15)에 있어서, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치하고 있는지의 여부가 판단된다.

이 판단 결과, 일치하고 있다고 판단(Yes)된 경우, 단계(S17)에 있어서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 화살표(Y8)로 나타낸 상방향으로 이동하면서, 부착 롤러(61a)가 캐리어 필름(18)에 당접되어 눌러지며, 밀봉 기판(17) 면의 하류측 단부가 OLED 기판(22) 면의 대향 단부에 소정의 힘으로 눌린다.

이 후에, 단계(S18)에 있어서, 상기의 누름 상태에서, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 부착 롤러(61a)와 함께 화살표(Y9)로 나타낸 상류 방향으로 이동되며, 도 9에 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 부착 롤러(61a)와 함께 상측 테이블(67) 보다 상류측까지 이동된다. 이 이동시에 부착 롤러(61a)의 가압력으로 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 눌러지며, 이 때, 정전 척판(68)의 정전기력에 의해 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 맞붙여진다.

다음으로, 단계(S19)에 있어서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 캐리어 박리 기구(63)가 화살표(Y9)로 나타낸 상류측으로 이동되며, 이것에 의해 캐리어 필름(18)이 박리 롤러(63a, 63b)로 잡아 당겨지면서 밀봉 기판(17)으로부터 박리된다. 이 때, 정전 척판(68)에 OLED 기판(22)을 맞붙이고 있는 합력(F9) 및 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙이고 있는 점착력(F1)이, 캐리어 필름(18)과 밀봉 기판(17)을 맞붙이고 있는 점착 테이프(38)의 점착력(F2) 보다 강하므로, 캐리어 필름(18)이 밀봉 기판(17)으로부터 박리된다.

이것에 의해, 단계(S20)에 있어서, 밀봉 기판(17)에 의해 표면이 밀봉된 OLED 기판(22)이 점착 탑재된 OLED 밀봉 필름(23)이 제조된다.

이 후에는, OLED 밀봉 필름(23)이 도 1에 나타낸 열처리 장치(13)로 가열되며, 이것에 의해 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)을 밀봉 상태로 경화하여, 제품 필름(24)이 제조된다.

<유기 EL 밀봉 장치(12)의 효과>

본 실시형태의 도 7에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(12)에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

유기 EL 밀봉 장치(12)는, 장척 형상의 제 1 필름으로서의 기판 필름(21a)에 복수의 OLED 기판(22)이 부착된 OLED 기재 필름(21)을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과, 그 반송되는 OLED 기재 필름(21)을 정지 상태로 유지하는 필름 클램퍼(69a, 69b)인 제 1 유지 수단과, 장척 형상의 제 2 필름으로서의 캐리어 필름(18)에 복수의 밀봉 기판(17)이 부착된 밀봉 롤 필름(19)을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과, 제 2 반송 수단으로 반송되는 밀봉 롤 필름(19)을 정지 상태로 유지하는, 필름 클램퍼(71a) 및 가이드 롤러(57)와, 박리 롤러(63a) 및 필름 클램퍼(7lb)에 의한 제 2 유지 수단과, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비한다.

단, 제 1 반송 수단은, 필름 클램퍼(69a, 69b)의 양측에 배치되는 도시하지 않은 롤러 기구에 의해 구성되어 있다.

제 2 반송 수단은, 롤 부착부(51)와, 세퍼레이터 박리 롤러(53)와, 필름 권취부(54)와, 가이드 롤러(55, 57, 58)와, 댄서 롤러(56)와, 부착 롤러(61a)와, 박리 롤러(63a, 63b)와, 닙 롤러(64)와, 필름 권취부(52)를 포함하여 구성되어 있다.

밀봉 수단은, 하측 테이블(66)과, 밀봉 기판 부착 기구(61)와, 캐리어 박리 기구(63)와, 상측 테이블(67)과, 정전 척판(68)을 포함하여 구성되어 있다.

그리고, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 제 1 유지 수단으로 OLED 기재 필름(21)이 유지되었을 때에, OLED 기재 필름(21)에 맞붙여져 있는 OLED 기판(22)에, 밀봉 롤러 필름(19)에 맞붙여진 밀봉 기판(17)이 대향하는 상태에, 당해 밀봉 롤 필름(19)을 제 2 유지 수단으로 유지하고, 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하도록 구성되어 있다.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하는 제조 작업을, 롤 투 롤로 연속적으로 행할 수 있으므로, 그 제조 작업의 택 타임을 단축할 수 있다. 따라서, 그 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있다.

또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 서로 대향하는 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 위치를 촬영하는 촬영 수단으로서의 위치 결정 카메라(72a, 72b)와, 제 2 유지 수단으로 유지된 밀봉 롤 필름(19)에 맞붙여져 있는 밀봉 기판(17)을, 수평면 상에서 종횡 및 회전 방향(XYθ 이동)으로 이동시키는 이동 수단으로서의 하측 테이블(66)과, 위치 결정 카메라(72a, 72b)로 촬영된 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 상호 위치가 소정 위치에 일치하고 있지 않은 경우, 하측 테이블(66)로 밀봉 기판(17)을 소정 위치에 일치시키는 XYθ 이동을 행하도록 제어하는 제어 수단으로서의 제어 장치(101)를 더 구비하는 구성으로 하였다.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 고정밀도로 위치 맞춤을 행할 수 있으므로, 고정밀도로 맞붙일 수 있다.

또한, OLED 기재 필름(21)에 있어서의 복수의 OLED 기판(22)의 부착 간격과, 밀봉 롤 필름(19)에 있어서의 복수의 밀봉 기판(17)의 부착 간격을 일치시키는 구성으로 하였다.

일치시키는 구성에 한정될 일은 없으나 일치시키는 구성에 의하면, 롤 투 롤 기구에 있어서, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)을 용이하게 대향시킬 수 있다.

또한, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 형상은, 상술한 바와 같이 밀봉 기판(17)의 쪽이 큰 상사형이다.

이것에 의해, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 쌍방을 대향시킬 때에, 쌍방이 상사형이므로 쌍방의 중심이 맞도록 하면 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다.

또한, 밀봉 수단은, 정전 척판(68)이 전압 인가 수단 및 유전판을 구비하고, 당해 유전판을 OLED 기판(22)에 누르면서 OLED 기판(22)을 밀봉 기판(17)에 당접시켜, 이들 당접한 상호 간에 당해 전압 인가 수단으로 전압을 인가하고, 이 인가에 의해 상호 간에 발생하는 정전기력과, 상기 누름력에 의해 당해 OLED 기판(22)이 부착된 OLED 기재 필름(21)에 생기는 텐션력과의 합력(F0)으로 당해 OLED 기판(22) 및 당해 밀봉 기판(17)을 맞붙이는 구성으로 하였다.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 정전기와 텐션력의 합력(F0)으로 용이하고도 적확하게 맞붙일 수 있다.

또한, 밀봉 수단은, 부착 롤러를 구비하고, 정전기력에 의해 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)을 흡착시킬 때에, 부착 롤러를 당해 밀봉 기판(17)의 하측면의 일단부로부터 타단부로 누르면서 이동시킴으로써, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 쌍방을 맞붙이는 구성으로 하였다.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 접합면에 부분적인 극간 등이 생기지 않아, 완전히 밀착 상태로 맞붙일 수 있다.

또한, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 쌍방을 맞붙이는 힘은, 캐리어 필름(18)에 밀봉 기판(17)을 맞붙이는 힘보다 강하게 되어 있는 구성으로 하였다. 또한, 밀봉 수단은, 캐리어 필름(18)을 밀봉 기판(17)으로부터 박리하는 박리 수단으로서의 캐리어 박리 기구(63)를 구비하고, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 쌍방이 맞붙여진 후에, 캐리어 박리 기구(63)로 밀봉 기판(17)으로부터 캐리어 필름(18)을 박리하는 구성으로 하였다.

이들의 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙인 후에, 밀봉 기판(17)에 부착되어 있는 캐리어 필름(18)을 벗길 때에, 캐리어 필름(18) 만을 용이하게 벗길 수 있다.

<밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 효과>

본 실시형태의 도 4에 나타낸 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 장척 형상의 제 1 필름으로서의 세퍼레이터(15)에, 장척 형상의 밀봉 기판 필름(17a)이 부착된 롤 필름(19a)을, 미리 정해진 간격으로 한 구획씩 롤 투 롤로 반송하는 제 3 반송 수단과, 반송되는 롤 필름(19a)의 한 구획에 있어서의 정지시에, 당해 롤 필름(19a)에 부착된 밀봉 기판 필름(17a) 만(세퍼레이터(15)를 제외)을 미리 정해진 프레임형으로 컷하는 컷 수단으로서의 하프 컷 기구(41)와, 밀봉 기판 필름(17a)에 있어서의 컷 된 프레임형 이외의 불필요한 부분을, 롤 필름(19a)으로부터 제거하는 제거 수단으로서의 불필요한 부분 제거 기구(42)와, 제거 후에 롤 필름에 남은 프레임형에 의한 밀봉 기판(17)의 위로부터, 장척 형상의 제 2 필름으로서의 캐리어 필름(18)을 롤 투 롤로 맞붙임으로써 밀봉 롤 필름(19)을 제조하는 제 4 반송 수단을 구비하는 구성으로 하였다.

단, 제 3 반송 수단은, 최상류측의 롤 부착부(31)와 최하류측의 필름 권취부(32)와, 이들 롤 부착부(31)와 필름 권취부(32)의 사이에, 가이드 롤러(33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h)와, 닙 롤러(34a, 34b)와, 댄서 롤러(35a, 35b, 35c)와, 라미네이트 롤러(37a, 37b)를 포함하여 구성된다.

제 4 반송 수단은, 롤 부착부(36, 39)와, 가이드 롤러(33i, 33j, 33k)와, 댄서 롤러(35d, 35c)와, 라미네이트 롤러(37a, 37b)와, 가이드 롤러(33f, 33g, 33h)와, 닙 롤러(34b)와, 필름 권취부(32)를 포함하여 구성된다.

이 구성에 의하면, 롤 투 롤로 밀봉 기판(17)을 연속적으로 제조하면서, 이들의 밀봉 기판(17)이 캐리어 필름(18)에 부착된 밀봉 롤 필름(19)을 효율적으로 제조할 수 있다.

또한, 상기의 프레임형의 형상은, 밀봉 기판(17)을 맞붙이는 기판 형상과 동일하게 하였다. 이것에 의해, 밀봉 기판(17)을 맞붙이기 전의 기판에 대향시키기 쉬워져, 쌍방 기판의 위치 맞춤을 고정밀도로 행하기 쉬워진다.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 제 3 반송 수단으로 반송되는 롤 필름(19a)의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 센서(40a, 40b)를 포함하는 사행 검출 보정 수단을 더 구비하는 구성으로 하였다.

이 구성에 의하면, 롤 투 롤로 롤 필름(19a)을 반송할 때에, 사행하지 않으므로, 적정하게 반송할 수 있고, 또한, 밀봉 기판(17)을 연속적으로 제조할 때에도 적정하게 제조할 수 있다.

<유기 EL 밀봉 시스템의 효과>

본 실시형태의 도 1에 나타낸 유기 EL 밀봉 시스템(10)은, 상기의 유기 EL 밀봉 장치(12) 및 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)와, 유기 EL 밀봉 장치(12)에 의해 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉한 상태에서, 가열하여 경화시키는 열처리 장치(13)를 구비하는 구성으로 하였다.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉한 후에, 가열하여 경화시키므로, 제품 필름(24)을 적정하게 제조할 수 있다.

단, 열처리 장치(13)에서의 열 경화 대신, 자외선(UV)에 의해 UV 경화하여 제품 필름(24)을 작성하도록 해도 된다. 이 경우, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 사이에 고르게 UV 도포제를 도포하는 것이 필요하게 된다.

또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 여러 가지 변형예가 포함된다. 예를 들면, 상기한 실시형태는 본 발명을 알기 쉽게 설명하기 위해 상세하게 설명한 것이며, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 어떤 실시형태의 구성의 일부를 다른 실시형태의 구성으로 치환하는 것도 가능하며, 또한, 어떤 실시형태의 구성에 다른 실시형태의 구성을 더하는 것도 가능하다. 또한, 각 실시형태의 구성의 일부에 대해, 다른 구성의 추가·삭제·치환을 하는 것이 가능하다.

또한, 상기의 각 구성, 기능, 처리부(제어부), 처리 수단 등은, 그들의 일부 또는 전부를, 예를 들면 집적 회로로 설계하는 등에 의해 하드웨어로 실현해도 된다. 또한, 상기의 각 구성, 기능 등은, 프로세서가 각각의 기능을 실현하는 프로그램을 해석하고, 실행함으로써 소프트웨어로 실현해도 된다. 각 기능을 실현하는 프로그램, 테이블, 파일 등의 정보는, 메모리나, 하드 디스크, SSD(Solid State Drive) 등의 기록 장치, 또는, IC(Integrated Circuit) 카드, SD(Secure Digital memory) 카드, DVD(Digital Versatile Disc) 등의 기록 매체에 둘 수 있다.

또한, 제어선이나 정보선은 설명상 필요하다고 생각되는 것을 나타내고 있으며, 제품상 반드시 모든 제어선이나 정보선을 나타내고 있다고는 할 수 없다. 실제로는 거의 모든 구성이 서로 접속되어 있다고 생각해도 된다.

10: 유기 EL 밀봉 시스템 11: 밀봉 롤 필름 제작 장치
12: 유기 EL 밀봉 장치 13: 열처리 장치
15: 세퍼레이터 16: 점착층
17: 밀봉 기판 18: 캐리어 필름
19: 밀봉 롤 필름 19a: 롤 필름
21: OLED 기재 필름 21a: 기판 필름
22: OLED 기판 22a: 양극
22b: 유기물 막 22c: 음극
23: OLED 밀봉 필름 24: 제품 필름
31, 36, 39, 51: 롤 부착부(제 2∼제 4 반송 수단)
32, 52: 필름 권취부(제 2∼제 4 반송 수단)
33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h, 33i, 33j, 33k, 55, 57, 58: 가이드 롤러(제 2∼제 4 반송 수단)
34a, 34b, 64: 닙 롤러(제 2∼제 4 반송 수단)
35a, 35b, 35c, 35d, 56: 댄서 롤러(제 2∼제 4 반송 수단)
37a, 37b: 라미네이트 롤러 38: 점착테이프
40a, 40b: 사행 검출 센서(사행 검출 보정 수단)
41: 하프 컷 기구 41a: 톰슨 칼날
4lb, 42b: 받침대
42: 불필요한 부분 제거 기구(제거 수단) 42a: 점착 테이프부
43: 피더 53: 세퍼레이터 박리 롤러
54: 필름 권취부
61: 밀봉 기판 부착 기구(밀봉 수단) 61a: 부착 롤러
63: 캐리어 박리 기구(밀봉 수단) 63a, 63b: 박리 롤러
66: 하측 테이블(밀봉 수단)(이동 수단) 67: 상측 테이블(밀봉 수단)
68: 정전 척판(밀봉 수단)
69a, 69b, 71a, 7lb: 필름 클램퍼(제 1 및 제 2 유지 수단)
72a, 72b: 위치 결정 카메라(촬영 수단) 101: 제어 장치(제어 수단)

Claims (12)

1. 장척 형상의 제 1 필름에 복수의 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과,
   상기 반송되는 OLED 기재 필름을 정지 상태로 유지하는 제 1 유지 수단과,
   장척 형상의 제 2 필름에 복수의 밀봉 기판이 부착된 밀봉 롤 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과,
   상기 반송되는 밀봉 롤 필름을 정지 상태로 유지하는 제 2 유지 수단과,
   상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비하고,
   상기 제 1 유지 수단으로 상기 OLED 기재 필름이 유지되었을 때에, 당해 OLED 기재 필름에 맞붙여져 있는 OLED 기판에, 상기 밀봉 롤 필름에 맞붙여져 있는 밀봉 기판이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름을 상기 제 2 유지 수단으로 유지하고, 상기 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하며,
   상기 OLED 기판과 상기 밀봉 기판은, 당해 밀봉 기판의 쪽이 큰 상사형(相似形)이고,
   상기 밀봉 수단은, 전압 인가 수단 및 유전판을 구비하고, 당해 유전판을 상기 OLED 기판에 누르면서 당해 OLED 기판을 상기 밀봉 기판에 당접시켜, 이들 당접한 상호 간에 당해 전압 인가 수단으로 전압을 인가하고, 이 인가에 의해 상호 간에 발생하는 정전기력과, 상기 유전판을 누르는 누름력에 의해 당해 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름에 생기는 텐션력과의 합력(合力)으로 당해 OLED 기판 및 당해 밀봉 기판을 맞붙이는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,
   상기 밀봉 수단은, 부착 롤러를 구비하고, 상기 정전기력에 의해 상기 OLED 기판 및 상기 밀봉 기판을 맞붙일 때에, 상기 부착 롤러를 당해 밀봉 기판의 하면의 일단부로부터 타단부로 누르면서 이동시킴으로써, 당해 밀봉 기판 및 당해 OLED 기판의 쌍방을 맞붙이는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 밀봉 기판 및 상기 OLED 기판의 쌍방을 맞붙이는 힘은, 상기 제 2 필름에 상기 밀봉 기판을 맞붙이는 힘보다 강하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
5. 제 4항에 있어서,
   상기 밀봉 수단은, 상기 제 2 필름을 상기 밀봉 기판으로부터 박리하는 박리 수단을 구비하고, 상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판이 맞붙여진 후에, 당해 박리 수단으로 당해 밀봉 기판으로부터 당해 제 2 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
6. 제 1항에 있어서의 유기 EL 밀봉 장치; 및
   장척 형상의 제 1 필름에, 장척 형상의 밀봉 기판 필름이 부착된 롤 필름을, 미리 정해진 간격으로 한 구획씩 롤 투 롤로 반송하는 제 3 반송 수단과,
   상기 반송되는 롤 필름의 한 구획에 있어서의 정지시에, 당해 롤 필름에 부착된 밀봉 기판 필름만을 미리 정해진 밀봉 기판의 프레임형으로 컷하는 컷 수단과,
   상기 밀봉 기판 필름에 있어서의 상기 컷 된 프레임형 이외의 불필요한 부분을, 상기 롤 필름으로부터 제거하는 제거 수단과,
   상기 제거 후에 상기 롤 필름에 남은 프레임형에 의한 밀봉 기판의 위로부터, 장척 형상의 제 2 필름을 롤 투 롤로 맞붙임으로써 밀봉 롤 필름을 제작하는 제 4 반송 수단을 구비하는 밀봉 롤 필름 제작 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 시스템.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 프레임형의 형상은, 당해 프레임형에 의한 밀봉 기판을 맞붙이는 기판형상과 동일한 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 시스템.
8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
   상기 제 3 반송 수단으로 반송되는 롤 필름의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 보정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 시스템.
9. 장척 형상의 제 1 필름에 복수의 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과,
   상기 반송되는 OLED 기재 필름을 정지 상태로 유지하는 제 1 유지 수단과,
   장척 형상의 제 2 필름에 복수의 밀봉 기판이 부착된 밀봉 롤 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과,
   상기 반송되는 밀봉 롤 필름을 정지 상태로 유지하는 제 2 유지 수단과,
   상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비하고,
   상기 제 1 유지 수단으로 상기 OLED 기재 필름이 유지되었을 때에, 당해 OLED 기재 필름에 맞붙여져 있는 OLED 기판에, 상기 밀봉 롤 필름에 맞붙여져 있는 밀봉 기판이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름을 상기 제 2 유지 수단으로 유지하고, 상기 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 유기 EL 밀봉 장치와,
   장척 형상의 제 1 필름에, 장척 형상의 밀봉 기판 필름이 부착된 롤 필름을, 미리 정해진 간격으로 한 구획씩 롤 투 롤로 반송하는 제 3 반송 수단과,
   상기 반송되는 롤 필름의 한 구획에 있어서의 정지시에, 당해 롤 필름에 부착된 밀봉 기판 필름만을 미리 정해진 밀봉 기판의 프레임형으로 컷하는 컷 수단과,
   상기 밀봉 기판 필름에 있어서의 상기 컷 된 프레임형 이외의 불필요한 부분을, 상기 롤 필름으로부터 제거하는 제거 수단과,
   상기 제거 후에 상기 롤 필름에 남은 프레임형에 의한 밀봉 기판의 위로부터, 장척 형상의 제 2 필름을 롤 투 롤로 맞붙임으로써 밀봉 롤 필름을 제조하는 제 4 반송 수단을 구비하는 밀봉 롤 필름 제작 장치와,
   상기 유기 EL 밀봉 장치에 의해 상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉한 상태에서, 가열하여 경화시키는 열처리 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 시스템.
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