KR101577219B1 - Luminescence dispaly panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은 제조 공정 중에 유기층 손상 없이 제조할 수 있는 발광 표시 패널을 제공하는 것이다.The present invention provides a light emitting display panel which can be manufactured without damaging the organic layer during the manufacturing process.
본 발명에 따른 발광 표시 패널에서, 하부 기판 상에 위치하는 박막 형태의 제2 전극과 접속되도록 상부 기판 상에 위치하는 보조 전극은 칼라 필터와 중첩되며, 보조 전극은 오버코트층 상에 오버코트층의 표면을 따라 적층된다.In the light emitting display panel according to the present invention, the auxiliary electrode located on the upper substrate to be connected to the second electrode in the form of a thin film located on the lower substrate is overlapped with the color filter, and the auxiliary electrode is formed on the overcoat layer As shown in FIG.
보조 전극, 유기층, 제1 및 제2 전극 An auxiliary electrode, an organic layer, first and second electrodes
Description
본 발명은 제조 공정 중 유기층 손상없이 제조할 수 있는 발광 표시 패널에 관한 것이다. The present invention relates to a light emitting display panel which can be manufactured without damaging the organic layer during the manufacturing process.
다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 이에 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하여 영상을 표시하는 유기 전계 발광 표시 장치(OLED) 등이 각광 받고 있다. OLED는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 종이와 같이 박막화가 가능하다는 장점을 갖고 있다. The image display device that realizes various information on the screen is a core technology of the information communication age and it is becoming thinner, lighter, more portable and higher performance. An organic light emitting display (OLED) for displaying an image by controlling the amount of light emitted from the organic light emitting layer by using a flat panel display capable of reducing weight and volume, which is a disadvantage of a cathode ray tube (CRT) OLED is a self-luminous device using a thin light emitting layer between electrodes and has the advantage of being thin like a paper.
액티브 매트릭스 OLED(AMOLED)는 3색(R, G, B) 서브 화소로 구성된 화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 화상을 표시하게 된다. 각 서브 화소는 유기 전계 발광(OEL) 셀과, 그 OEL 셀을 독립적으로 구동하는 셀 구동부를 구비한다. 셀 구동부는 스캔 신호를 공급하는 게이트 라인과, 비디오 데이터 신호를 공급하는 데이터 라인과, 공통 전원 신호를 공급하는 공통 전원 라인 사이에 접속된 적어도 2개의 박막 트랜지스터와 스토리지 캐패시터로 구성되어 OEL 셀의 제1 전극을 구동한다. OEL 셀은 셀 구동부와 접속된 제1 전극과, 제1 전극 위에 유기층과, 유기층 위에 제2 전극으로 구성된다. In the active matrix OLED (AMOLED), pixels composed of three color (R, G, B) sub-pixels are arranged in a matrix form to display an image. Each sub-pixel includes an organic electroluminescent (OEL) cell and a cell driver for independently driving the OEL cell. The cell driver comprises at least two thin film transistors and a storage capacitor connected between a gate line for supplying a scan signal, a data line for supplying a video data signal, and a common power supply line for supplying a common power supply signal, One electrode is driven. The OEL cell includes a first electrode connected to a cell driver, an organic layer on the first electrode, and a second electrode on the organic layer.
이때, 제2 전극은 스퍼터링 방법으로 증착하여 유기층에 손상을 주게 된다. 이에 따라, 제2 전극 증착 공정시 유기층에 손상을 주게됨으로써 발광 효율이 나빠지게 된다. 또한, 제2 전극은 유기층 상에 증착됨으로써 유기층의 손상을 고려하게 되어 고온 공정에서 진행하기 어렵다.At this time, the second electrode is deposited by a sputtering method to damage the organic layer. As a result, the organic layer is damaged in the second electrode deposition process, resulting in poor luminous efficiency. Also, since the second electrode is deposited on the organic layer, damage to the organic layer is considered and it is difficult to proceed in the high temperature process.
상기와 같은 문제점을 위하여, 본 발명은 제조 공정 중에 유기층 손상 없이 제조할 수 있는 발광 표시 패널을 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention provides a light emitting display panel which can be manufactured without damaging the organic layer during the manufacturing process.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 발광 표시 패널에서, 하부 기판 상에 위치하는 박막 형태의 제2 전극과 접속되도록 상부 기판 상에 위치하는 보조 전극은 칼라 필터와 중첩된다.In order to accomplish the above object, in the light emitting display panel according to the present invention, the auxiliary electrode located on the upper substrate is connected to the color filter so as to be connected to the second electrode of the thin film type located on the lower substrate.
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본 발명에 따른 발광 표시 패널은 하부 기판 상에 박막 트랜지스터, 제1 전극, 유기층, 제2 전극을 형성하며, 상부 기판 상에 적색, 녹색, 청색 칼라 필터, 오버코트층, 보조 전극을 형성하여 상/하부 기판을 진공 합착한다. 이때, 보조 전극은 하부 기판의 제2 전극과 접촉된다. A light emitting display panel according to the present invention includes a thin film transistor, a first electrode, an organic layer, and a second electrode formed on a lower substrate, and red, green and blue color filters, an overcoat layer, The lower substrate is vacuum bonded. At this time, the auxiliary electrode is in contact with the second electrode of the lower substrate.
제2 전극은 유기층에 영향주지 않을 정도의 두께를 가지는 박막 형태로 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법 또는 열증착 방법 및 스퍼터링 방법의 조합 방법으로 형성함으로써 유기층에 손상을 방지할 수 있다. The second electrode may be formed by a thermal deposition method, a sputtering method, or a combination of a thermal deposition method and a sputtering method in the form of a thin film having a thickness that does not affect the organic layer, thereby preventing damage to the organic layer.
또한, 제2 전극과 접속되는 보조 전극을 상부 기판 상에 형성함으로써 유기층을 고려하지 않고 고온 공정이 가능하며, 고온 공정이 가능함으로써 막 특성을 향상시킬 수 있다. Further, since the auxiliary electrode connected to the second electrode is formed on the upper substrate, the high temperature process can be performed without considering the organic layer, and the film characteristic can be improved by enabling the high temperature process.
그리고, 본 발명에 따른 발광 표시 패널은 백색 광으로 발광하는 유기층을 이용하여 적색, 녹색, 청색를 표시함으로써 색재현율이 향상되며, 전면 발광을 함으로써 개구율을 향상시킬 수 있다. The light-emitting display panel according to the present invention displays red, green, and blue light by using an organic layer that emits white light, thereby improving the color reproduction rate and improving the aperture ratio by performing front emission.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 1 내지 도 8를 참조하여 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 8. FIG.
도 1은 본 발명에 따른 발광 표시 패널의 한 화소에 대한 등가 회로도이다. 또한, 도 2는 도 1에 도시된 발광 표시 패널의 한 화소에 대한 수직 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 유기층을 나타낸 단면도이 다.1 is an equivalent circuit diagram of a pixel of a light emitting display panel according to the present invention. FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of one pixel of the light emitting display panel shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an organic layer of the light emitting display panel according to the first embodiment of the present invention.
발광 표시 패널의 한 화소는 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과 접속된 스위치 박막 트랜지스터(T1)와, 스위치 박막 트랜지스터(T1) 및 전원 라인(PL)과 OEL 셀과 접속된 구동 박막 트랜지스터(T2)와, 전원 라인(PL)과 스위치 박막 트랜지스터(T1)의 드레인 전극 사이에 접속된 스토리지 커패시터(C)와, 구동 박막 트랜지스터(T2)와 접속된 OEL 셀을 포함한다. One pixel of the light emitting display panel includes a switch thin film transistor T1 connected to a gate line GL and a data line DL, a switch thin film transistor T1 and a power supply line PL, A storage capacitor C connected between the power supply line PL and the drain electrode of the switch thin film transistor T1 and an OEL cell connected to the driving thin film transistor T2.
스위치 박막 트랜지스터(T1)의 게이트 전극은 게이트 라인(GL)과 접속되고 소스 전극은 데이터 라인(DL)과 접속되며 드레인 전극은 구동 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 전극 및 스토리지 캐패시터(C)와 접속된다. 구동 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극은 전원 라인(PL)과 접속되고 드레인 전극은 OEL 셀의 전극 중 어느 하나와 접속된다. 스토리지 캐패시터(C)는 전원 라인(PL)과 구동 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 전극 사이에 접속된다. The gate electrode of the switch thin film transistor T1 is connected to the gate line GL, the source electrode thereof is connected to the data line DL and the drain electrode thereof is connected to the gate electrode of the driving TFT T2 and the storage capacitor C . The source electrode of the driving thin film transistor T2 is connected to the power supply line PL and the drain electrode is connected to one of the electrodes of the OEL cell. The storage capacitor C is connected between the power supply line PL and the gate electrode of the driving thin film transistor T2.
스위치 박막 트랜지스터(T1)는 게이트 라인(GL)에 스캔 펄스가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 스토리지 캐패시터(C) 및 구동 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 전극으로 공급한다. 구동 박막 트랜지스터(T2)는 게이트 전극으로 공급되는 데이터 신호에 응답하여 전원 라인(PL)으로부터 OEL 셀로 공급되는 전류(I)을 제어함으로써 OEL 셀의 발광량을 조절하게 된다. 그리고, 스위치 박막 트랜지스터(T1)가 턴-오프되더라도 스토리지 캐패시터(C)에 충전된 전압에 의해 구동 박막 트랜지스터(T2)는 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 일정한 전류(I)를 공급하여 OEL 셀이 발광을 유지하게 한다. The switch thin film transistor T1 is turned on when a scan pulse is supplied to the gate line GL to supply the data signal supplied to the data line DL to the gate electrode of the storage capacitor C and the drive thin film transistor T2 do. The driving thin film transistor T2 controls the amount of light emitted from the OEL cell by controlling the current I supplied from the power source line PL to the OEL cell in response to the data signal supplied to the gate electrode. Even if the switch thin film transistor T1 is turned off, the driving thin film transistor T2 supplies the constant current I until the data signal of the next frame is supplied by the voltage charged in the storage capacitor C, Allowing the cell to maintain luminescence.
구동 박막 트랜지스터(T2)는 도 2에 도시된 바와 같이 하부 기판(101) 위에 형성된 게이트 전극(102)과, 게이트 전극(102)을 덮는 게이트 절연막(106), 게이트 절연막(106)을 사이에 두고 게이트 전극(102)과 중첩되어 소스 전극(110) 및 드레인 전극(108) 사이에 채널을 형성하는 활성층(116)과, 소스 전극(110) 및 드레인 전극(108)과의 오믹 접촉을 위하여 채널부를 제외한 활성층(116) 위에 형성된 오믹 접촉층(114)으로 구성된다. 또한, 하부 기판(101) 상에 형성된 구동 박막 트랜지스터 상에 무기 절연 물질로 형성된 무기 보호막(104)과, 유기 절연 물질로 형성된 유기 보호막(118)을 형성할 수 있다. The driving thin film transistor T2 includes a
OEL 셀은 구동 박막 트랜지스터(T2)를 덮는 무기 보호막(104) 및 유기 보호막(118)이 형성된 하부 기판 상에 제1 전극(122)과, 제1 전극(122)을 노출시키는 유기홀(140)이 형성된 뱅크 절연막(124)과, 유기홀(140)을 통해 노출된 제1 전극(122) 위에 형성된 발광층을 포함하는 유기층(126)과, 유기층(126) 위에 형성된 제2 전극(128)으로 구성된다. 상부 기판(130) 상에는 구동 박막 트랜지스터(T2)의 제2 전극(128)과 접속된 보조 전극(136)과, 상부 기판(130) 상에 형성된 칼라 필터(132)와, 칼라 필터(132)와 보조 전극(136) 사이에 오버코트층(134)이 형성된다. The OEL cell includes a
제1 전극(122)은 금속 물질과 투명 도전 물질로 형성되며, 예로 들어, 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브덴(Mo) 등과 같이 반사율이 높은 금속 물질과, ITO(Indum Tin Oxide; 이하, ITO)와 같은 투명 물질로 형성될 수 있다. The
제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 박막 형태로 형성되며, TCO(Transparent Conuctive Oxide; 이하, TCO)와 같은 투명 도전 물질로 한층 이상으로 형성하거나 알루미늄(Al)이나 은(Ag) 등의 금속 물질로 한층 이상으로 형성할 수 있다. 또한, 제2 전극(128)은 투명 도전 물질 및 금속 물질의 이중층으로 형성될 수 있다. 제2 전극(128)은 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법 또는 열증착 방법 및 스퍼터링 방법의 조합 방법으로 형성된다. 이때, 제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 스퍼터링 방법으로 증착하여도 유기층(126) 상에 영향을 주지 않을 정도의 박막 형태로 형성됨으로써 유기층(126)이 손상되지 않는다. 제2 전극(128)은 박막의 형태인 예로 들어 10~500Å 정도의 두께로 형성된다. The
유기층(126)은 제1 전극(122) 상에 정공 수송층(Hole Transport Layer;HTL)(206), 청색 발광층(Blue emittion layer)(210), 전자 수송층(Electron Transport layer;ETL)(202), 전하 생성층(Charge Generation Layer;CGL)(208), 정공 수송층(HTL)(206), 녹색/적색 발광층(Green/Red emittion layer)(204), 전자 수송층(ETL)(202)으로 순차적으로 적층되어 형성된다. The
칼라 필터(132)는 색을 구현하기 위해 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터를 포함하며, 상부 기판(130) 상에 형성된다. 각 화소 영역 별로 적색(R), 녹색(G), 청색(B)을 발광하도록 형성된다.The
오버코트층(134)은 칼라 필터(136)와 보조 전극(136) 사이에 칼라 필터(132) 표면의 평탄화를 위해 형성된다. The
보조 전극(136)은 ITO, IZO(Indum Zinc Oxide; 이하, IZO)과 같은 TCO 투명 도전 물질을 한층 이상으로 형성하며, 금속 물질로 적어도 한층 이상으로 형성한다. 또한, 보조 전극(136)은 투명 도전 물질 및 박막 형태의 금속 물질로 적층된 이중층 구조로 형성될 수 있다. 이와 같이 보조 전극(136)이 적어도 한층 이상으로 형성될 경우에 제2 전극(128)과 접속시 저항을 작게 할 수 있다. 그리고, 상부 기판(130) 상에는 도 3에 도시된 바와 같이 보조 전극(136)과 제2 전극(128) 간의 접촉 저항을 보상하기 위해 컨택 전극(138)이 금속층으로 형성된다. 이때, 컨택 전극(138)은 OEL셀의 제2 전극(128)과 접속되는 영역과 대응되는 위치의 오버코트층(134) 상에 형성된다. The
한편, 유기층(126)은 제1 전극(122)을 통하여 정공과 제2 전극(128)을 통하여 전자가 재결합되어 생성된 바닥상태로 되돌아가면서 백색 광을 상부 기판(130) 방향으로 전면 발광하게 된다. 발광 표시 패널은 유기층(126)으로부터 백색 광이 상부 기판(130) 방향으로 출사되며, OEL셀의 제2 전극(128)과 상부 기판(130)의 보조 전극(136)이 접속되어 백색 광이 각 화소 영역 별로 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)를 통과하면서 각 화소 영역 별로 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 광이 표시된다. On the other hand, the
이와 같이, 백색 광을 이용하여 적색(R), 녹색(G), 청색(B)를 표시함으로써 색재현율이 향상되며, 전면 발광을 함으로써 개구율을 향상시킬 수 있다. As described above, the red color (R), the green color (G), and the blue color (B) are displayed by using white light, and the color reproduction rate is improved.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 제1 실시 예의 발광 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.5A to 5G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the light emitting display panel according to the first embodiment of the present invention.
도 5a를 참조하면, 하부 기판(101) 상에 게이트 전극(102), 게이트 절연막(106), 반도체층(112), 소스 및 드레인 전극(108,110), 화소 홀(120)이 형성된 무기 및 유기 보호막(104,118)을 포함하는 박막 트랜지스터와, 박막 트랜지스터의 드레인 전극(108)과 접속된 제1 전극(122)이 형성된다. Referring to FIG. 5A, an inorganic and
구체적으로, 박막 트랜지스터가 형성된 하부 기판(101) 상에 제1 전극(122)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브덴(Mo) 등과 같이 반사율이 높은 금속 물질과, ITO(Indum Tin Oxide; 이하, ITO)와 같은 투명 물질이 스퍼터링 등과 같은 증착 방법으로 형성된다. 제1 전극(122)은 박막 트랜지스터의 드레인 전극(108)과 화소 홀(120)을 통해 접속된다.Specifically, the
도 5b를 참조하면, 박막 트랜지스터의 드레인 전극(108)과 접속된 제1 전극(122)이 형성된 하부 기판(101) 상에 유기홀(140)이 포함된 뱅크 절연막(124)이 형성된다. 5B, a
구체적으로, 제1 전극(122)이 형성된 하부 기판(101) 상에 스핀리스 또는 스핀 코팅 등의 코팅 방법을 통해 감광성 유기 절연 물질이 전면 도포된다. 이러한 유기 절연 물질은 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 제1 전극(122)을 노출시키는 유기홀(140)이 포함된 뱅크 절연막(124)이 형성된다. Specifically, the photosensitive organic insulating material is coated on the
도 5c를 참조하면, 유기홀(140)이 포함된 뱅크 절연막(124)이 형성된 하부 기판(101) 상에 유기층(126), 제2 전극(128)이 순차적으로 형성된다. Referring to FIG. 5C, an
구체적으로, 유기홀(140) 상에는 정공 수송층(HTL), 청색 발광층(Blue emittion layer), 전자 수송층(ETL), 전하 생성층(CGL), 정공 수송층(HTL), 녹색/적색 발광층(Green/Red emittion layer), 전자 수송층(ETL)이 포함된 유기층(126)이 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법 또는 열증착 방법 및 스퍼터링 방법의 조합 방법으로 순차적으로 형성된다. 이후, 유기층(126)이 형성된 하부 기판(101) 상에 제2 전극(128)이 형성된다. 제2 전극(128)은 유기층(126)과 동일한 방법으로 박막 형태로 TCO와 같은 투명 도전 물질이나 Al, Ag등과 같은 금속 물질로 형성된다. 또한, 제2 전극(128)은 투명 도전 물질 및 금속 물질으로 이루어진 이중층으로 형성될 수 있다. 제2 전극(128)의 두께는 증착 공정에 의해 유기층(126)에 영향을 주지 않을 10~500Å 정도의 두께로 형성된다. Specifically, a hole transport layer (HTL), a blue emission layer, an electron transport layer (ETL), a charge generation layer (CGL), a hole transport layer (HTL), a green / red emission layer an emitter layer and an electron transport layer (ETL) are successively formed by a thermal deposition method, a sputtering method, or a combination of a thermal deposition method and a sputtering method. Then, a
도 5d를 참조하면, 상부 기판(130) 상에 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)가 형성된다. Referring to FIG. 5D, red (R), green (G), and blue (B)
구체적으로, 상부 기판(132) 상에 감광성을 가지는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라층이 각각 도포된 후 사진 공정을 통해 패터닝함으로써 해당 서브 화소 영역에 형성된다. Specifically, a red (R), green (G), and blue (B) color layers having photosensitivity are coated on the
도 5e를 참조하면, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)가 형성된 상부 기판(130) 위에 오버코트층(134)이 형성된다. Referring to FIG. 5E, an
구체적으로, 오버코트층(134)은 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)가 형성된 상부 기판(130) 상에 스핀리스 또는 스핀 코팅 등의 코팅 방법으로 유기 절연 물질이 도포된다. Specifically, the
도 5f를 참조하면, 오버코트층(134)이 형성된 상부 기판(130) 상에 보조 전극(136)이 형성된다. Referring to FIG. 5F, an
구체적으로, 보조 전극(136)은 오버코트층(134)이 형성된 상부 기판(130) 상에 적어도 한 층의 투명 도전 물질이 스퍼터링 등과 같은 방법으로 형성된다. 투명 도전 물질으로는 ITO(Indum Tin Oxide), IZO(Indum Zinc Oxide) 등이 이용된다. 또한, 보조 전극(136)은 상부 기판(130) 상에 투명 도전 물질, 박막 형태의 금속층으로 적층된 이중층 구조로 형성될 수 있다. 그리고, 보조 전극(136)에 플라즈마, UV 등으로 표면 처리하여 보조 전극(132)의 일함수를 증가시켜 전기적 특성이 향상시킬 수 있다. Specifically, at least one layer of the transparent conductive material is formed on the
도 5g에 도시된 바와 같이 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132), 오버코트층(134), 보조 전극(136)이 형성된 상부 기판(130)과, 박막 트랜지스터, 제1 전극(122), 유기층(126), 제2 전극(128)이 형성된 하부 기판(101)이 진공 합착하여 발광 표시 패널을 형성한다. An
이와 같이, 제2 전극(128)을 유기층(126) 상에 형성할 경우에, 유기층(126)이 손상되지 않도록 박막 형태로 증착할 수 있다. 또한, 제2 전극(128)과 접속되는 보조 전극(136)을 상부 기판(130) 상에 형성함으로써 유기층(126)을 고려하지 않고 고온 공정이 가능하며, 고온 공정이 가능함으로써 막 특성을 향상시킬 수 있다.In this way, when the
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광 표시 패널을 간략히 나타낸 단면도이다. 6 is a cross-sectional view schematically illustrating a light emitting display panel according to a second embodiment of the present invention.
본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광 표시 패널은 제1 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 OEL 셀을 제외하고 동일하므로 그에 따른 설명은 생략하기로 한다. The light emitting display panel according to the second embodiment of the present invention is the same as the light emitting display panel according to the first embodiment except for the OEL cell, and a description thereof will be omitted.
본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 OEL 셀은 구동 박막 트랜지스터를 덮는 무기 보호막(104) 및 유기 보호막(118)이 형성된 하부 기판 상에 제1 전극(122)과, 제1 전극(122)을 노출시키는 유기홀(140)이 형성된 뱅크 절연막(124) 과, 유기홀(140)을 통해 노출된 제1 전극(122) 위에 형성된 발광층을 포함하는 유기층(126)과, 유기층(126) 위에 형성된 제2 전극(128)으로 구성된다. 상부 기판(130) 상에는 구동 박막 트랜지스터(T2)의 제2 전극(128)과 접속된 보조 전극(136)과, 상부 기판(130) 상에 형성된 칼라 필터(132)와, 칼라 필터(132)와 보조 전극(136) 사이에 오버코트층(134)이 형성된다. The OEL cell of the light emitting display panel according to the second embodiment of the present invention includes a
제1 전극(122)은 알루미늄(Al) 등과 같은 불투명한 도전 물질로 형성된다. The
제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 박막 형태로 형성되며, TCO와 같은 투명 도전 물질로 한층 이상으로 형성하거나 알루미늄(Al)이나 은(Ag) 등의 금속 물질로 한층 이상으로 형성할 수 있다. 또한, 제2 전극(128)은 투명 도전 물질 및 금속 물질의 이중층으로 형성될 수 있다. 제2 전극(128)은 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법 또는 열증착 방법 및 스퍼터링 방법의 조합 방법으로 형성된다. 이때, 제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 스퍼터링 방법으로 증착하여도 유기층(126) 상에 영향을 주지 않을 정도의 박막 형태로 형성됨으로써 유기층(126)이 손상되지 않는다. 제2 전극(128)은 박막의 형태인 예로 들어 10~500Å 정도의 두께로 형성된다. The
유기층(126)은 제1 전극(122) 상에 전자 수송층(202), 청색 발광층(210), 정공 수송층(206), 전하 생성층(208), 전자 수송층(202), 녹색/적색 발광층(204), 정공 수송층(206)으로 순차적으로 적층되어 형성된다. The
이와 같이, 유기층(126)은 제1 전극(122)을 통하여 전자와 제2 전극(128)을 통하여 정공이 재결합되어 생성된 바닥상태로 되돌아가면서 백색 광을 상부 기판(130) 방향으로 전면 발광하게 된다. 이에 따라, 발광 표시 패널은 유기층으로 부터 백색 광이 상부 기판(130) 방향으로 출사되며, OEL셀의 제2 전극(128)과 상부 기판(130)의 보조 전극(136)이 접속되어 백색 광이 각 화소 영역 별로 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)를 통과하면서 각 화소 영역 별로 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 광이 표시된다. As described above, the
도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광 표시 패널을 간략히 나타낸 단면도이다. 7 is a cross-sectional view schematically illustrating a light emitting display panel according to a third embodiment of the present invention.
본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광 표시 패널은 제1 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 OEL 셀을 제외하고 동일하므로 그에 따른 설명은 생략하기로 한다. The light emitting display panel according to the third embodiment of the present invention is the same as the light emitting display panel according to the first embodiment except for the OEL cell, and thus a description thereof will be omitted.
본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 OEL 셀은 구동 박막 트랜지스터를 덮는 무기 보호막(104) 및 유기 보호막(118)이 형성된 하부 기판 상에 제1 전극(122)과, 제1 전극(122)을 노출시키는 유기홀(140)이 형성된 뱅크 절연막(124)과, 유기홀(140)을 통해 노출된 제1 전극(122) 위에 형성된 발광층을 포함하는 유기층(126)과, 유기층(126) 위에 형성된 제2 전극(128)으로 구성된다. 상부 기판(130) 상에는 구동 박막 트랜지스터(T2)의 제2 전극(128)과 접속된 보조 전극(136)과, 상부 기판(130) 상에 형성된 칼라 필터(132)와, 칼라 필터(132)와 보조 전극(136) 사이에 오버코트층(134)이 형성된다. The OEL cell of the light emitting display panel according to the third embodiment of the present invention includes a
제1 전극(122)은 불투명한 도전 물질로 형성되며, 예로 들어, 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 은(Ag) 등과 반사율이 높은 불투명한 도전 물질로 형성될 수 있다. The
제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 박막 형태로 형성되며, TCO와 같은 투명 도전 물질로 한층 이상으로 형성하거나 알루미늄(Al)이나 은(Ag) 등의 금속 물질로 한층 이상으로 형성할 수 있다. 또한, 제2 전극(128)은 투명 도전 물질 및 금속 물질의 이중층으로 형성될 수 있다. 제2 전극(128)은 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법 또는 열증착 방법 및 스퍼터링 방법의 조합 방법으로 형성된다. 이때, 제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 스퍼터링 방법으로 증착하여도 유기층(126) 상에 영향을 주지 않을 정도의 박막 형태로 형성됨으로써 유기층(126)이 손상되지 않는다. 제2 전극(128)은 박막의 형태인 예로 들어 10~500Å 정도의 두께로 형성된다. The
유기층(126)은 제1 전극(122) 상에 전자 주입층(Electron Injection layer;EIL)(216), 전자 수송층(Electron Transport Layer; ETL)(202), 백색 발광층(214), 정공 수송층(Hole Transport Layer;HTL)(204), 정공 주입층(Hole Injection Layer;HIL)(202)으로 순차적으로 적층되어 형성된다. 이러한, 유기층(126)에 포함된 백색 발광층은 제1 전극(122)을 통하여 전자와 제2 전극(128)을 통하여 정공이 재결합되어 생성된 여기자가 바닥상태로 되돌아가면서 백색 광을 상부 기판(130) 방향으로 전면 발광하게 된다. 이에 따라, 발광 표시 패널은 유기층(126)으로부터 백색광이 상부 기판(130) 방향으로 출사되며, OEL셀의 제2 전극(128)과 상부 기판(130)의 보조 전극(136)이 접속되어 백색 광이 각 화소 영역 별로 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)를 통과하면서 각 화소 영역 별로 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 광이 표시된다. The
도 8은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광 표시 패널을 간략히 나타낸 단면도이다. 8 is a cross-sectional view schematically showing a light emitting display panel according to a fourth embodiment of the present invention.
본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광 표시 패널은 제1 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 OEL 셀을 제외하고 동일하므로 그에 따른 설명은 생략하기로 한다. The light emitting display panel according to the fourth embodiment of the present invention is the same as the light emitting display panel according to the first embodiment except for the OEL cell, and a description thereof will be omitted.
본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 OEL 셀은 구동 박막 트랜지스터를 덮는 무기 보호막(104) 및 유기 보호막(118)이 형성된 하부 기판 상에 제1 전극(122)과, 제1 전극(122)을 노출시키는 유기홀(140)이 형성된 뱅크 절연막(124)과, 유기홀(140)을 통해 노출된 제1 전극(122) 위에 형성된 발광층을 포함하는 유기층(126)과, 유기층(126) 위에 형성된 제2 전극(128)으로 구성된다. 상부 기판(130) 상에는 구동 박막 트랜지스터(T2)의 제2 전극(128)과 접속된 보조 전극(136)과, 상부 기판(130) 상에 형성된 칼라 필터(132)와, 칼라 필터(132)와 보조 전극(136) 사이에 오버코트층(134)이 형성된다. The OEL cell of the light emitting display panel according to the fourth embodiment of the present invention includes a
제1 전극(122)은 금속 물질과 투명 도전 물질로 형성되며, 예로 들어 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브덴(Mo) 등과 같이 반사율이 높은 금속 물질과, ITO와 같은 투명 도전 물질로 형성될 수 있다. The
제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 박막 형태로 형성되며, TCO와 같은 투명 도전 물질로 한층 이상으로 형성하거나 알루미늄(Al)이나 은(Ag) 등의 금속 물질로 한층 이상으로 형성할 수 있다. 또한, 제2 전극(128)은 투명 도전 물질 및 금속 물질의 이중층으로 형성될 수 있다. 제2 전극(128)은 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법 또는 열증착 방법 및 스퍼터링 방법의 조합 방법으로 형성된다. 이때, 제2 전극(128)은 유기층(126) 상에 스퍼터링 방법으로 증착하여도 유기층(126) 상에 영향을 주지 않을 정도의 박막 형태로 형성됨으로써 유기층(126)이 손상되지 않는다. 제2 전극(128)은 박막의 형태인 예로 들어 10~500Å 정도의 두께로 형성된다. The
유기층(126)은 제1 전극(122) 상에 정공 주입층(212), 정공 수송층(206), 백색 발광층(214), 전자 수송층(202), 전자 주입층(216)으로 순차적으로 적층되어 형성된다. 이러한, 유기층(126)에 포함된 백색 발광층은 제1 전극(122)을 통하여 정공과 제2 전극(128)을 통하여 전자가 재결합되어 생성된 여기자가 바닥상태로 되돌아가면서 백색 광을 상부 기판(130) 방향으로 전면 발광하게 된다. 이에 따라, 발광 표시 패널은 유기층(126)으로부터 백색 광이 상부 기판(130) 방향으로 출사되며, OEL셀의 제2 전극(128)과 상부 기판(130)의 보조 전극(136)이 접속되어 백색 광이 각 화소 영역 별로 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 칼라 필터(132)를 통과하면서 각 화소 영역 별로 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 광이 표시된다. The
한편, 본 발명의 제2 내지 제4 실시 예의 발광 표시 패널의 제조 방법은 위에서 설명한 제1 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 제조 방법에서 제1 및 제2 전극의 재질과, 유기층의 재질 및 순서를 제외하고 동일한 방법으로 형성된다. In the method of manufacturing the light emitting display panel according to the second to fourth embodiments of the present invention, the materials of the first and second electrodes and the materials and the order of the organic layers in the method of manufacturing the light emitting display panel according to the first embodiment described above Are formed in the same manner.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술 될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음이 자명하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention.
도 1은 본 발명에 따른 발광 표시 패널의 한 화소에 대한 등가 회로도이다.1 is an equivalent circuit diagram of a pixel of a light emitting display panel according to the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 발광 표시 패널의 한 화소에 대한 수직 단면도이다.2 is a vertical cross-sectional view of one pixel of the light emitting display panel shown in FIG.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광 표시 패널의 유기층을 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic layer of a light emitting display panel according to a first embodiment of the present invention.
도 4는 도 2에 도시된 보조 전극에 대한 다른 실시 예를 도시한 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing another embodiment of the auxiliary electrode shown in FIG.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 제1 실시 예의 발광 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.5A to 5G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the light emitting display panel according to the first embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광 표시 패널을 간략히 나타낸 단면도이다. 6 is a cross-sectional view schematically illustrating a light emitting display panel according to a second embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광 표시 패널을 간략히 나타낸 단면도이다.7 is a cross-sectional view schematically illustrating a light emitting display panel according to a third embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광 표시 패널을 간략히 나타낸 단면도이다.8 is a cross-sectional view schematically showing a light emitting display panel according to a fourth embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art
101 : 하부 기판 102 : 게이트 전극101: lower substrate 102: gate electrode
104 : 무기 보호막 106 : 게이트 절연막104: inorganic protective film 106: gate insulating film
108 : 드레인 전극 110 : 소스 전극108: drain electrode 110: source electrode
112 : 반도체 패턴 118 : 유기 보호막112: Semiconductor pattern 118: Organic protective film
120 : 컨택홀 122 : 제1 전극120: contact hole 122: first electrode
124 : 뱅크 절연막 126 : 유기층124: bank insulating film 126: organic layer
128 : 제2 전극 130 : 상부 기판128: second electrode 130: upper substrate
132 : 칼라 필터 136 : 보조 전극132: color filter 136: auxiliary electrode
Claims (10)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080079218A KR101577219B1 (en) | 2008-08-13 | 2008-08-13 | Luminescence dispaly panel |
EP08018904.6A EP2139041B1 (en) | 2008-06-24 | 2008-10-29 | Luminescence display panel and method for fabricating the same |
US12/272,582 US8299702B2 (en) | 2008-06-24 | 2008-11-17 | Luminescence display panel with auxiliary electrode and method for fabricating the same |
CN200810176352.7A CN101615624B (en) | 2008-06-24 | 2008-11-20 | Luminescence display panel and method for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080079218A KR101577219B1 (en) | 2008-08-13 | 2008-08-13 | Luminescence dispaly panel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100020570A KR20100020570A (en) | 2010-02-23 |
KR101577219B1 true KR101577219B1 (en) | 2015-12-15 |
Family
ID=42090539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080079218A Active KR101577219B1 (en) | 2008-06-24 | 2008-08-13 | Luminescence dispaly panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101577219B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102083983B1 (en) * | 2013-05-29 | 2020-03-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050077816A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-04-14 | Hirokazu Yamada | Organic light emitting device, manufacturing method thereof, and display unit |
US20060158095A1 (en) * | 2005-01-20 | 2006-07-20 | Seiko Epson Corporation | Electrooptic device, method for producing the same, and electronic apparatus |
US20070108899A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-17 | Samsung Electronics Co., Ltd | Display device and fabricating method thereof |
-
2008
- 2008-08-13 KR KR1020080079218A patent/KR101577219B1/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050077816A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-04-14 | Hirokazu Yamada | Organic light emitting device, manufacturing method thereof, and display unit |
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US20070108899A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-17 | Samsung Electronics Co., Ltd | Display device and fabricating method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100020570A (en) | 2010-02-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20080813 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20130731 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20080813 Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20141126 Patent event code: PE09021S01D |
|
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Final Notice of Reason for Refusal Patent event date: 20150527 Patent event code: PE09021S02D |
|
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20151130 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20151208 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20151209 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181114 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20181114 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20191113 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20201119 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20211116 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20221115 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20231115 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241118 Start annual number: 10 End annual number: 10 |