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KR101564925B1 - 컬러필터 기판 및 이의 제조 방법 - Google Patents

컬러필터 기판 및 이의 제조 방법 Download PDF

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KR101564925B1
KR101564925B1 KR1020090002837A KR20090002837A KR101564925B1 KR 101564925 B1 KR101564925 B1 KR 101564925B1 KR 1020090002837 A KR1020090002837 A KR 1020090002837A KR 20090002837 A KR20090002837 A KR 20090002837A KR 101564925 B1 KR101564925 B1 KR 101564925B1
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장창순
김진석
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

제조 공정의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킬 수 있는 컬러필터 기판 및 이의 제조 방법이 개시된다. 컬러필터 기판은 표시 영역에 형성되고 복수의 컬러들을 갖는 컬러필터들 및 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역에 형성되고 복수의 컬러들 중에서 하나의 컬러와 동일하고 표시 영역의 꼭지점과 대응하는 에지가 라운드진 제1 더미 패턴을 포함한다. 제1 더미 패턴을 형성함으로써, 컬러필터의 제조 신뢰성이 향상되고, 표시 영역에 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다.
컬러필터, 더미 패턴, 스핀 코팅, 방사, 얼룩, 장벽

Description

컬러필터 기판 및 이의 제조 방법{COLOR-FILTER SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 컬러필터 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 중소형 액정표시장치용 컬러필터 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시패널은 각 화소 영역을 구동하기 위한 스위칭 소자들이 형성된 제1 기판과, 상기 제1 기판과 대향하고 컬러필터들을 포함하는 제2 기판과, 상기 제1 및 제2 기판들 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 액정표시패널은, 상기 액정층에 전압을 인가하여 광의 투과율을 제어하고, 상기 컬러필터를 투과하는 색의 가법 혼색을 통해 컬러 화상을 표시할 수 있다. 예를 들어, 상기 액정표시패널은 레드, 그린, 블루 및 레드를 나타내는 컬러필터들을 포함할 수 있고, 그린, 블루 및 레드의 컬러 혼합을 통해 다양한 컬러를 나타낼 수 있다.
상기 제2 기판은, 유리 기판 상에 각 화소를 구획하고, 상기 화소와 대응하는 개구들을 포함하는 블랙 매트릭스 패턴을 형성하고, 상기 블랙 매트릭스 패턴이 형성된 유리 기판 상에 상기 컬러필터들을 형성한 후, 공통 전극을 형성함으로써 제조할 수 있다. 각 컬러필터는, 컬러를 나타내는 안료를 포함하는 포토레지스트를 코팅하여 컬러 포토레지스트층을 형성하고, 상기 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 컬러 포토레지스트층은 스핀 코팅 및/또는 슬릿 마스크를 이용한 슬릿 코팅을 통해 형성할 수 있다.
한편, 서로 다른 컬러를 나타내는 복수개의 컬러필터들을 형성하기 위해서는, 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 제1 컬러필터를 형성한 후, 상기 제1 컬러필터가 형성된 유리 기판 상에 제2 컬러 포토레지스트층을 형성하고, 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 제2 컬러필터를 형성할 수 있다. 상기와 같은 공정을 n번 반복함으로써 서로 다른 n개의 컬러를 나타내는 컬러필터들을 제조할 수 있다.
그러나, 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 스핀 코팅 공정을 이용하여 형성할 때, 상기 유리 기판의 표시 영역에 형성된 상기 제1 컬러필터들이 상기 제2 컬러 포토레지스트층의 장벽(barrier)으로 작용함으로써 상기 제2 컬러 포토레지스트층이 상기 유리 기판의 전면에 균일하게 형성되기 어렵다. 상기 제2 컬러 포토레지스트층의 불균일한 형성으로 인해, 상기 유리 기판 상에는 방사형의 얼룩이 나타나게 된다.
이와 같은 현상은, 상기 제1 컬러필터가 형성된 후 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 형성할 때보다도 상기 제1 및 제2 컬러필터들이 형성된 후 제3 컬러 포토레지스층을 형성할 때 더욱 심해질 수 있다.
이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 스핀 코팅에 의한 방사형의 얼룩의 발생을 최소화시킴으로써 제조 공정의 신뢰성 및 표시 품질을 향상시킨 컬러필터 기판을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 컬러필터 기판을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 실시예에 따른 컬러필터 기판은 컬러필터 패턴 및 제1 더미 패턴을 포함한다. 상기 컬러필터 패턴은 표시 영역에 형성되고, 복수의 컬러들을 포함한다. 상기 제1 더미 패턴은 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역에 형성되고, 상기 컬러들 중 하나의 컬러와 동일하며, 상기 표시 영역의 꼭지점에 대응하는 에지가 라운드 지도록 형성된다.
일 실시예에서, 상기 제1 더미 패턴은 상기 표시 영역을 둘러싸는 폐곡선형일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 더미 패턴의 두께는 상기 컬러필터들의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 제1 더미 패턴의 두께는 상기 컬러필터들의 두께보다 얇을 수 있다. 또 다른 실시예에서, 상기 제1 더미 패턴은 서로 다른 높이로 형성된 단차를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 컬러필터 기판은 상기 표시 영역의 변에 대응하는 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 복수의 컬러들을 갖는 제2 더미 패턴을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 더미 패턴은 복수의 컬러들을 갖는 컬러 바 패턴들을 포함할 수 있 다. 다른 실시예에서, 상기 제2 더미 패턴은 상기 복수의 컬러들을 갖는 컬러 도트 패턴들을 더 포함할 수 있다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 실시예에 따른 컬러필터 기판의 제조 방법에서, 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 베이스 기판의 표시 영역에 형성된 제1 컬러필터 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역에 형성되고 상기 표시 영역의 꼭지점에 대응하는 에지가 라운드진 제1 더미 패턴을 형성한다. 제2 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 컬러필터 및 상기 제1 더미 패턴이 형성된 베이스 기판 상에 형성하고, 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 표시 영역에 제2 컬러필터를 형성한다.
상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계에서, 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 더미 패턴과 대응하는 투광부를 포함하는 마스크, 상기 제1 더미 패턴과 대응하는 슬릿부를 포함하는 마스크 또는 상기 제1 더미 패턴과 대응하는 투광부 및 슬릿부를 포함하는 마스크를 이용하여 패터닝할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계에서, 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 표시 영역의 변에 대응하는 상기 주변 영역에 배치된 제1 컬러 바 패턴들(color-bar patterns)을 형성할 수 있다. 상기 제2 컬러필터를 형성하는 단계에서, 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 각 제1 컬러 바 패턴들과 인접한 제2 컬러 바 패턴들을 형성할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계에서, 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 제1 컬러 도트 패턴들(color-dot patterns)을 형성할 수 있다. 상기 제 2 컬러필터를 형성하는 단계에서, 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 각 제1 컬러 도트 패턴들과 인접한 제2 컬러 도트 패턴들을 형성할 수 있다.
이와 같은 컬러필터 기판 및 이의 제조 방법에 따르면, 제1 컬러필터를 형성하는 공정에서 제1 더미 패턴을 형성함으로써 상기 제1 컬러필터를 형성하는 공정의 이후 공정에서 제2 컬러필터가 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조의 신뢰성이 향상되고, 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특 징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
첨부된 도면에 있어서, 기판, 층(막) 또는 패턴들 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 본 발명에 있어서, 각 층(막), 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막) 또는 패턴들의 "상에", "상부에" 또는 "하부"에 형성되는 것으로 언급되는 경우에는 각 층(막), 패턴 또는 구조물들이 직접 기판, 각 층(막) 또는 패턴들 위에 형성되거나 아래에 위치하는 것을 의미하거나, 다른 층(막), 다른 패턴 또는 다른 구조물들이 기판 상에 추가적으로 형성될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
실시예 1
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 컬러필터 기판의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)은 블랙 매트릭스 패턴(120), 제1 컬러필터(132), 제2 컬러필터(142) 및 제3 컬러필터(152)를 포함하는 컬러필터 패턴(CFP) 및 제1 더미 패턴(134)을 포함한다.
상기 블랙 매트릭스 패턴(120)은 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 표시 영역(DA1)에 형성된다. 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)은 상기 제1 표시 영역(DA1)을 복수개의 화소 영역들로 구획할 수 있다. 상기 단위 영역들 각각에 상기 제1 컬러필터(132), 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)가 형성된다. 즉, 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)은 상기 제1 및 제2 컬러필터들(132, 142) 사이에 형성되고, 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152) 사이에 형성될 수 있다. 또한, 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)은 서로 인접한 상기 제1 컬러필터들(132) 사이에 형성될 수 있다.
상기 컬러필터 패턴(CFP)은 상기 제1 표시 영역(DA1)에 형성된다. 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 방향(D1)으로 규칙적으로 배열된 상기 제1 컬러필터(132), 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)를 포함할 수 있다. 상기 컬러필터 패턴(CFP)에서, 상기 제1 컬러필터들(132)은 상기 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)으로 연속적으로 배열되고, 상기 제2 컬러필터들(142)이 상기 제2 방향(D2)으로 연속적으로 배열되며, 상기 제3 컬러필터들(152)이 상기 제2 방향(D2)으로 연속적으로 배열될 수 있다. 본 실시예에서, 상기 제1 컬러필터(132)는 블루를 나타내고, 상기 제2 컬러필터(142)는 그린을 나타내며, 상기 제3 컬러필터(152)는 레드를 나타낼 수 있다. 상기 제1 내지 제3 컬러필터들(132, 142, 152) 각각은 상기 제2 방향(D2)으로 연장되어 제1 길이(x1)를 갖는 단변과, 상기 제1 방향(D1)으로 연장되어 제2 길이(x2)를 갖는 장변을 포함한다. 본 실시예에서는, 블루, 그린 및 레드 3가지의 서로 다른 컬러들을 포함하는 상기 컬러필터 패턴(CFP)을 설명하였으나, 컬러필터 패턴은 2이상의 복수의 컬러들을 포함할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 표시 영역(DA1)을 둘러싸는 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 주변 영역(PA1)에 형성된다. 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 컬러들 중에서 하나의 컬러와 동일한 컬러를 갖는다. 본 실시예에서는, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 컬러필터(132)와 동일한 블루 컬러를 가질 수 있다 .상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 표시 영역(DA1)의 꼭지점(PT)과 대응하는 에지(ED)가 라운드 지도록 형성된다. 예를 들면 도면에 도시된 바와 같이 상기 에지(ED)는 상기 제1 더미 패턴(134)의 모서리가 모따기(chamfered)된 형상일 수 있다. 상기 에지(ED)가 직각형으로 형성되는 경우에는, 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하는 공정 및 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하는 공정에서 각각 상기 에지(ED)에 의해서 컬러 포토레지스트가 균일하게 스핀 코팅되지 못하나, 상기 에지(ED)를 라운드지도록 형성함으로써 상기 컬러 포토레지스트를 균일하게 코팅할 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 컬러필터 패턴(CFP)을 둘러싸도록 형성될 수 있다. 본 실시예에서, 상기 제1 더미 패턴(134)은 폐곡선형으로 형성될 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)의 폭(w)은 상기 제1 컬러필터(132)의 제1 길이(x1)의 약 6배 내지 12배일 수 있다. 달리 말하면, 상기 제1 더미 패턴(134)의 폭(w)은 상기 제1 컬러필터(132)의 제2 길이(x2)의 약 2배 내지 약 4배일 수 있다.
상기 컬러필터 패턴(CFP)을 형성하는 공정에서, 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해 상기 제1 컬러필터(132)가 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)의 제조 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 컬러필터 기판과 대향하는 표시 기판의 평면도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 기판(200)은 상기 컬러필터 기판(100)과 대향하는 기판으로, 상기 표시 기판(200)은 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 스위칭 소자(SW) 및 화소 전극(PE)을 포함한다. 상기 게이트 라인(GL), 상기 데이터 라인(DL), 상기 스위칭 소자(SW) 및 상기 화소 전극(PE)은 상기 제2 베이스 기판(210)의 제2 표시 영역(DA2)에 형성될 수 있다. 상기 제2 표시 영역(DA2)은, 상기 컬러필터 기판(100)과 상기 표시 기판(200)이 어셈블리된 경우에 상기 제1 표시 영역(DA1)과 대향하는 영역이다. 상기 제2 베이스 기판(210)의 제2 주변 영역(PA2)은 상기 제2 표시 영역(DA2)을 둘러싸고, 상기 게이트 라인(GL)의 단부 및 상기 데이터 라인(DL)의 단부와 전기적으로 연결된 회로(미도시)가 형성될 수 있다.
상기 게이트 라인(GL)은 상기 제1 방향(D1)으로 연장되고, 상기 스위칭 소자(SW)와 전기적으로 연결된다. 상기 데이터 라인(DL)은 상기 제2 방향(D2)으로 연장되고, 상기 스위칭 소자(SW)와 전기적으로 연결된다. 상기 스위칭 소자(SW)는 상기 화소 전극(PE)과 전기적으로 연결된다. 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인(DL)은 상기 블랙 매트릭스트 패턴(120)과 대향할 수 있다. 상기 제2 표시 영역(DA2)의 각 화소 영역에 형성된 상기 화소 전극(PE)은 상기 제1 내지 제3 컬러필터들(132, 142, 152)과 각각 대향할 수 있다.
도 3은 도 1의 IA-IA' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 상기 컬러필터 기판(100)은 오버 코팅층(160) 및 공통 전극층(CE)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 컬러필터 기판(100)은 상기 공통 전극층(CE) 상에 형성된 배향막(미도시)을 더 포함할 수 있다.
상기 블랙 매트릭스 패턴(120) 및 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 각각 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 형성된다. 상기 오버 코팅층(160)은 상기 블랙 매트릭스 패턴(120) 및 상기 컬러필터 패턴(CFP)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 형성된다. 상기 오버 코팅층(160)은 상기 제1 표시 영역(DA1) 및 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성될 수 있다. 상기 공통 전극층(CE)은 상기 오버 코팅층(160)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 형성된다.
상기 제1 더미 패턴(134)의 제1 두께(h1)는 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 제2 두께(h2)와 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 컬러필터들(132, 142, 152)은 서로 동일한 상기 제2 두께(h2)를 가질 수 있다. 상기 제1 두께(h1)가 상기 제2 두께(h2)와 실질적으로 동일하고, 상기 제1 더미 패턴(134)이 상기 제1 주변 영역(PA1)에 소정 폭(w)을 갖도록 형성됨으로써, 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하는 공정에서 상기 제1 컬러필터(132)가 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하기 위한 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하는 공정에서, 상기 제1 및 제2 컬러필터들(132, 142)이 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하기 위한 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 10을 참조하여 도 3에 도시된 컬러필터 기판을 제조하는 방법을 설명하기로 한다. 도 4 내지 도 6은 제1 더미 패턴 및 제1 컬러필터를 형성하는 단계를 설명하기 위한 도면들이고, 도 7 내지 도 10은 제2 컬러필터를 형성하는 단계를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4는 제1 더미 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 모기판의 평면도이다.
도 5는 도 4의 단위 셀을 확대한 확대 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 복수개의 단위 셀들(320)을 포함하는 컬러필터 모기판(310) 상에 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)을 형성한다. 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)은 유기 물질을 인쇄하여 형성하거나, 금속 박막을 형성한 후 사진 식각 공정을 통해 형성할 수 있다.
상기 블랙 매트릭스 패턴(120)이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성한다. 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)은 각 단위 셀(320)에 형성될 수 있다. 상기 제1 컬러필터(132)는 상기 단위 셀(320)의 내부 영역에 형성되고, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 내부 영역을 둘러싸는 외부 영역에 형성될 수 있다. 상기 단위 셀들(320)은 상기 컬러필터 모기판(310)이 커팅됨으로써 서로 물리적으로 분리될 수 있다. 상기 컬러필터 모기판(310)이 상기 단위 셀(320)을 기본 단위로 하여 커팅됨으로써 상기 컬러필터 기판(200)이 형성될 수 있다.
상기 단위 셀(320)의 내부 영역은 상기 컬러필터 기판(100)의 상기 제1 표시 영역(DA1)과 대응하고, 상기 단위 셀(320)의 외부 영역은 상기 컬러필터 기판(100)의 상기 제1 외부 영역(PA1)과 대응할 수 있다. 상기 컬러필터 모기판(310)이 n 개의 단위 셀들(320)을 포함하는 경우, 상기 컬러필터 모기판(310)에는 n 개의 상기 더미 패턴들(134)이 형성될 수 있다.
도 6은 도 5의 IB-IB' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 제1 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성하고, 상기 제1 컬러 포토레지스트층 상에 배치된 제1 마스크(MASK1)를 이용하여 노광, 현상 공정을 통해 형성될 수 있다.
상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 제1 컬러 포토레지스트를 스핀 코팅함으로써 형성할 수 있다. 구체적으로, 상기 컬러 필터 모기판(310)의 특정 영역, 예를 들면 중앙 영역에 상기 제1 컬러 포토레지스트를 적하한다. 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 적하된 상기 제1 컬러 포토레지스트를 스핀을 이용하여 상기 컬러필터 모기판(310)의 전면에 코팅하여 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 형성할 수 있다.
이어서, 상기 제1 컬러 포토레지스트층이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 상기 제1 마스크(MASK1)를 배치하고, 상기 제1 마스크(MASK1)의 상부에서 광을 조사한다. 상기 제1 마스크(MASK1)는 광을 투과시키는 투광부(TA) 및 광을 차단하는 차광부(BA)를 포함한다. 광이 조사된 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 현상액을 이용하여 현상하면, 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성할 수 있다. 상기 투광부(TA)와 대응하여 광이 조사된 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 제거되지 않고 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 잔류한다. 상기 차광부(BA)와 대응하여 광이 차단된 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 용해되어 제거된다. 상기 제1 컬러필터(132)의 제2 두께(h2)는 상기 제1 더미 패턴(134)의 제1 두께(h1)와 실질적으로 동일할 수 있다.
도 7은 제2 컬러 포토레지스트층을 형성하는 단계를 설명하기 위한 모기판의 평면도이고, 도 8은 도 7의 II-II' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 7을 참조하면, 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 제2 컬러 포토레지스트(330)를 적하한다. 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 적하된 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)를 스핀을 이용하여 상기 컬러필터 모기판(310) 전면에 균일하게 분포시킨다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)가 체감하는 상기 컬러필터 모기판(310)의 표면과 상기 제1 컬러필터(132)의 단차를 최소화시킬 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 상기 단위 셀(320)의 상기 내부 영역과 외부 영역의 단차가 최소화될 수 있다. 또한, 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 서로 인접한 단위 셀(320) 사이의 단차가 최소화될 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)가 스핀 코팅될 때, 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)는 상기 제1 더미 패턴(134)을 타고 상기 내부 영역으로 유동된다. 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)는 상기 제1 컬러필터(132)와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 상기 제1 더미 패턴(134)을 타고 넘은 후에 상기 내부 영역으로 유동되어 상기 제1 컬러필터(132)들을 타고 넘는다. 이에 따라, 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)는 상기 내부 영역 내에서 균일하게 분산될 수 있다. 또한, 상기 내부 영역을 통과한 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)는 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)의 이동 방향에 형성된 상기 제1 더미 패턴(134)을 용이하게 타고 넘을 수 있다. 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)는 상기 제1 컬러필터(132)를 타고 넘은 후에 상기 제1 컬러필터(132)와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 상기 제1 더미 패턴(134)을 넘는 것이므로 상기 단위 셀(320) 전체적으로 볼 때, 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)는 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 균일하게 분산될 수 있다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 서로 인접한 단위 셀들(320) 사이에 형성됨으로 써, 상기 제2 컬러 포토레지스트(330)를 상기 컬러필터 모기판(310)의 전면에 균일하게 분산시킬 수 있다. 특히, 상기 제1 더미 패턴(134)은, 상기 단위 셀(320)을 향해 사선형으로 유동되는 상기 제2 컬러 포토레지스트(320)가 상기 단위 셀(320) 내부로 용이하게 유동되도록 할 수 있다.
도 9는 제2 컬러필터를 형성하는 단계를 설명하기 위한 모기판의 평면도이고, 도 10은 도 9의 IC-IC' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 제2 컬러필터(142)를 형성한다. 상기 제2 컬러필터(142)는 상기 제2 컬러 포토레지스트층을 노광 현상하여 형성할 수 있다. 상기 제2 컬러 포토레지스트층이 균일하게 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 형성되므로, 상기 제2 컬러필터(134)도 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 컬러필터(142)의 제조 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 상기 제1 더미 패턴(134), 상기 제1 및 제2 컬러필터들(132, 142)이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 제3 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성한다. 상기 제3 컬러 포토레지스층을 노광 현상하여 상기 제3 컬러필터(152)를 형성할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제2 컬러필터(142)가 상기 제3 컬러 포토레지스트층이 형성될 때 제3 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)이 상기 제1 및 제2 컬러필터들(132, 142)이 상기 제3 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지하는 것 은, 상기 제1 더미 패턴(134)이 상기 제1 컬러필터(132)가 상기 제2 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지하는 것과 실질적으로 동일하다. 따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
상기 제1 내지 제3 컬러필터들(132, 142, 152)이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 상기 오버 코팅층(160)을 형성한다. 상기 오버 코팅층(160)은 상기 컬러필터 모기판(310)의 표면을 평탄화시킬 수 있다. 상기 오버 코팅층(160)은 예를 들어, 아크릴 수지로 형성될 수 있다.
상기 오버 코팅층(160) 상에 상기 공통 전극층(CE)을 형성한다. 상기 공통 전극층(CE)을 형성하는 물질의 예로서는, 인듐 틴 옥사이드(Indium tin oxide, ITO), 인듐 징크 옥사이드(Indium zinc oxide) 등을 들 수 있다.
상기 공통 전극층(CE)이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310)을 상기 단위 셀(320)을 기본 단위로 하여 커팅한다. 이에 따라, 상기 컬러필터 기판(100)이 제조될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 제1 컬러필터(132)를 형성하는 공정에서 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성함으로써 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)를 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조 공정의 신뢰성이 향상되고, 컬러필터의 신뢰성을 향상되며, 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
실시예 2
도 11은 본 발명의 실시예 2에 따른 컬러필터 기판의 단면도이다.
도 11에서, 본 실시예는 제1 더미 패턴의 두께를 제외하고는 도 3에 도시된 실시예 1에 따른 컬러필터 기판과 실질적으로 동일하다. 따라서, 본 실시예는 도 1을 참조하여 설명하고, 중복되는 설명은 생략한다.
도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)은 제1 베이스 기판(110) 상에 형성된 블랙 매트릭스 패턴(120), 컬러필터 패턴(CFP), 제1 더미 패턴(134), 오버 코팅층(160) 및 공통 전극층(CE)을 포함한다. 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 제1 컬러필터(132), 제2 컬러필터(142) 및 제3 컬러필터(152)를 포함하고, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 컬러필터(132)와 동일한 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴(134)의 제3 두께(h3)는 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 제2 두께(h2)보다 얇게 형성될 수 있다. 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하는 위한 제2 컬러 포토레지스트는 상기 제1 베이스 기판(110)에서 상기 제1 더미 패턴(134)을 타고 넘으면서 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 표시 영역(DA1)으로 진입하므로, 상기 제1 더미 패턴(134)은 완충 역할을 할 수 있다. 또한, 상기 제1 더미 패턴(134)에서 상기 제1 컬러필터(132)를 타고 넘으면서 상기 제2 컬러 포토레지스트의 진행 방향에 위치한 상기 제1 더미 패턴(134)을 타고 내려갈 수 있다. 즉, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 베이스 기판(110)과 상기 제1 컬러필터(132) 사이의 단차를 최소화시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하는 공정에서 상기 제1 컬러필터(132)가 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하기 위한 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하는 공정에서, 상기 제1 및 제2 컬러필터들(132, 142)이 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하기 위한 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는, 도 12 및 도 7 내지 도 10을 참조하여 본 실시예에 따른 컬러필터 기판의 제조 방법을 설명하기로 한다. 도 12 내지 도 21에서, 도 4의 컬러필터 모기판(310)은 설명의 편의상 컬러필터 기판(100)의 제1 베이스 기판(110)으로 지칭하고, 도시하여 설명하기로 한다.
도 12는 도 11에 도시된 제1 더미 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 12를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제1 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성하고, 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 제2 마스크(MASK2)를 이용하여 노광, 현상하여 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성한다.
상기 제1 컬러 포토레지스트층이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 상기 제1 마스크(MASK1)를 배치하고, 상기 제1 마스크(MASK1)의 상부에서 광을 조사한다. 상기 제1 마스크(MASK1)는 광을 투과시키는 투광부(TA), 광을 차단하는 차광부(BA) 및 복수개의 슬릿들을 포함하는 슬릿부(SA)를 포함한다. 광이 조사된 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 현상액을 이용하여 현상하면, 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성할 수 있다.
구체적으로, 상기 차광부(BA)와 대응하여 광이 조사된 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 제거되고, 상기 투광부(TA) 및 상기 슬릿부(SA)와 대응하는 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 잔류할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 투광부(TA)와 대응하여 광이 조사된 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 제거되지 않고 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 잔류한다. 이에 따라, 상기 제2 두께(h2)의 상기 제1 컬러필터(132)가 형성될 수 있다. 상기 슬릿부(SA)와 대응하여 광의 일부만이 조사된 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 일부만 제거되고, 나머지는 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 잔류한다. 이에 따라, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제2 두께(h2)보다 얇은 상기 제3 두께(h3)로 형성될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 슬릿부(SA)와 대응하는 영역이 반투광부로 형성된 하프톤 마스크를 이용하여 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성할 수 있다.
이어서, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)를 순차적으로 형성하고, 상기 오버 코팅층(160) 및 상기 공통 전극층(CE)을 형성함으로써 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)을 제조할 수 있다.
상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)과, 상기 오버 코팅층(160) 및 상기 공통 전극층(CE)을 형성하는 단계들은 도 7 내지 도 10에 도시된 실시예 1에 따른 컬러필터 기판을 제조하는 방법과 실질적으로 동일하다. 따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)는 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조 공정의 신뢰성이 향상되고, 컬러필터의 신뢰성을 향상되며, 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
실시예 3
도 13은 본 발명의 실시예 3에 따른 컬러필터 기판의 평면도이고, 도 14는 도 13의 III-III' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 13 및 도 14에서, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판은 제1 더미 패턴을 제외하고는 실시예 1에 따른 컬러필터 기판과 실질적으로 동일하다. 따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)은 제1 베이스 기판(110) 상에 형성된 블랙 매트릭스 패턴(120), 컬러필터 패턴(CFP), 제1 더미 패턴(134), 오버 코팅층(160) 및 공통 전극층(CE)을 포함한다. 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 제1 컬러필터(132), 제2 컬러필터(142) 및 제3 컬러필터(152)를 포함한다. 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 표시 영 역(DA1)에 형성될 수 있다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 컬러필터(132)와 동일한 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 표시 영역(DA1)을 둘러싸는 제1 주변 영역(PA1)에 형성될 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)은 서로 다른 높이로 형성된 단차를 가질 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 표시 영역(DA1)에서 상기 제1 주변 영역(PA1)을 향하는 방향으로 높이가 낮아지는 단차를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 더미 패턴(134)은 계단형으로 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 더미 패턴(134)은 제1 두께부(134a) 및 제2 두께부(134b)를 포함할 수 있다. 상기 제1 두께부(134a)는 상기 제1 컬러필터(132)의 제2 두께(h2)와 실질적으로 동일한 제1 두께(h1)를 가질 수 있다. 상기 제1 두께부(134a)는 상기 제1 표시 영역(PA1)과 접하는 영역의 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성될 수 있다. 상기 제2 두께부(134b)는 상기 제1 컬러필터(132)보다 얇은 제3 두께(h3)를 가질 수 있다. 상기 제2 두께부(134b)는 상기 제1 두께부(134a)를 둘러싸도록 상기 제1 두께부(134a)의 외곽에 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 두께부(134b)는 상기 제1 두께부(134a)가 상기 컬러필터 패턴(CFP)과 접하는 측벽들의 반대 측벽들을 둘러싸도록 형성될 수 있다.
상기 제2 컬러필터(142)를 형성하는 위한 제2 컬러 포토레지스트는 상기 제1 더미 패턴(134)을 타고 넘으면서 상기 제1 표시 영역(DA1)으로 진입하므로, 상기 제1 더미 패턴(134)은 완충 역할을 할 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 컬러 포토레 지스트는 상기 제1 베이스 기판(110)의 표면에서, 상기 제2 두께부(134b)를 타고 상기 제1 두께부(134a)로 유동하여 상기 제1 표시 영역(DA1)으로 진입할 수 있다. 또한, 상기 제1 컬러필터(132)를 타고 넘으면서 상기 제2 컬러 포토레지스트의 진행 방향에 위치한 상기 제1 더미 패턴(134)의 상기 제1 두께부(134a)로 진입하여 상기 제2 두께부(134b)를 타고 내려갈 수 있다. 즉, 계단 형상을 갖는 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 베이스 기판(110)과 상기 제1 컬러필터(132) 사이의 단차를 최소화시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하는 공정에서 상기 제1 컬러필터(132)가 상기 제2 컬러필터(142)를 형성하기 위한 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하는 공정에서, 상기 제1 및 제2 컬러필터들(132, 142)이 상기 제3 컬러필터(152)를 형성하기 위한 컬러 포토레지스트의 장벽이 되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는, 도 15를 참조하여 본 실시예에 따른 컬러필터 기판의 제조 방법을 설명하기로 한다.
도 15는 도 13에 도시된 제1 더미 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 15를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제1 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성하고, 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 제3 마스크(MASK3)를 이용하여 노광, 현상하여 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)을 형성한다.
상기 제1 컬러 포토레지스트층이 형성된 상기 컬러필터 모기판(310) 상에 상기 제3 마스크(MASK3)를 배치하고, 상기 제3 마스크(MASK3)의 상부에서 광을 조사한다. 상기 제3 마스크(MASK3)는 광을 투과시키는 투광부(TA), 광을 차단하는 차광부(BA) 및 복수개의 슬릿들을 포함하는 슬릿부(SA)를 포함한다.
구체적으로, 상기 차광부(BA)와 대응하여 광이 조사된 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 제거되고, 상기 투광부(TA) 및 상기 슬릿부(SA)와 대응하는 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 잔류할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 투광부(TA)와 대응하여 광이 조사된 영역의 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 제거되지 않고 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 잔류한다. 상기 투광부(TA)는 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)의 내측부와 대응하도록 배치될 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)의 내측부는 상기 제1 표시 영역(DA1)과 접하는 상기 제1 주변 영역(PA1)의 일 영역으로 정의할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 두께(h2)의 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 두께(h1)를 갖는 상기 제1 더미 패턴(134)의 상기 제1 두께부(134a)가 형성될 수 있다. 상기 제2 두께(h2) 및 상기 제1 두께(h1)는 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 슬릿부(SA)와 대응하여 광의 일부만이 조사된 상기 제1 컬러 포토레지스트층은 상기 현상액에 의해 일부만 제거되고, 나머지는 상기 제1 베이스 기 판(110) 상에 잔류한다. 상기 슬릿부(SA)는 상기 제1 더미 패턴(134)의 외측부와 대응하도록 배치될 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)의 외측부는 상기 내측부를 둘러싸는 상기 제1 주변 영역(PA1)의 일 영역으로 정의할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 두께부(134a) 및 상기 제1 컬러필터(132)의 두께보다 얇은 상기 제3 두께(h3)를 갖는 상기 제1 더미 패턴(134)의 상기 제2 두께부(134b)가 형성될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 슬릿부(SA)와 대응하는 영역이 반투광부로 형성된 하프톤 마스크를 이용하여 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)의 상기 제2 두께부(134b)를 형성할 수 있다.
이어서, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)를 순차적으로 형성하고, 상기 오버 코팅층(160) 및 상기 공통 전극층(CE)을 형성함으로써 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)을 제조할 수 있다.
상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)과, 상기 오버 코팅층(160) 및 상기 공통 전극층(CE)을 형성하는 단계들은 도 7 내지 도 10에 도시된 실시예 1에 따른 컬러필터 기판을 제조하는 방법과 실질적으로 동일하다. 따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)는 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조 공정의 신뢰성이 향상되고, 컬러필터의 신뢰성을 향상되며, 방사형 얼룩이 생 기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
실시예 4
도 16은 본 발명의 실시예 4에 따른 컬러필터 기판의 평면도이고, 도 17은 도 16의 VIA-VIA' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 16 및 도 17에서, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)은 제1 더미 패턴(134) 및 제2 더미 패턴(DMP)을 제외하고는 실시예 1에 따른 컬러필터 기판과 실질적으로 동일하다. 따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
도 16 및 도 17을 참조하면, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)은 블랙 매트릭스 패턴(120), 제1 컬러필터(132), 제2 컬러필터(142) 및 제3 컬러필터(152)를 포함하는 컬러필터 패턴(CFP), 제1 더미 패턴(134) 및 제2 더미 패턴(DMP)을 포함한다. 상기 컬러필터 기판(100)은 오버 코팅층(160) 및 공통 전극층(CE)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 컬러필터 기판(100)은 상기 공통 전극층(CE) 상에 형성된 배향막(미도시)을 더 포함할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스 패턴(120) 및 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 제1 베이스 기판(110)의 제1 표시 영역(DA1)에 형성된다.
상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 표시 영역(DA1)을 둘러싸는 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 주변 영역(PA1)에 형성된다. 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 컬러들 중에서 하나의 컬러와 동일한 컬러를 갖는다. 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제1 표시 영역(DA1)의 꼭지점(PT)과 대응하는 에지(ED)가 라운드 지도록 형성된다. 예를 들면 도면에 도시된 바와 같이 상기 에지(ED)는 상기 제1 더미 패턴(134)의 모서리가 모따기(chamfered)된 형상일 수 있다. 상기 제1 더미 패턴(134)의 두께는 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 더미 패턴(134)의 두께는 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 두께보다 얇을 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 더미 패턴(134)의 두께는 상기 컬러필터 패턴(CFP)과 동일한 두께의 제1 두께부(134a, 도 14 참조) 및 상기 제1 두께부(134a)보다 얇은 제2 두께부(134b, 도 14 참조)를 포함할 수 있다.
상기 제2 더미 패턴(DMP)은 상기 제1 표시 영역(DA1)의 변(SD)에 대응하는 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성되고, 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 컬러들과 동일한 컬러들을 갖는다. 상기 제2 더미 패턴(DMP)의 두께는 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 두께와 실질적으로 동일하거나, 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 두께보다 얇을 수 있다. 상기 제2 더미 패턴(DMP)의 두께는 상기 제1 더미 패턴(134)의 두께와 실질적으로 동일하거나, 상기 제1 더미 패턴(134)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 상기 제2 더미 패턴(DMP)은 제1 컬러 바 패턴들(color-bar patterns, 136), 제2 컬러 바 패턴들(144) 및 제3 컬러 바 패턴들(154)을 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 컬러 바 패턴들(136, 144, 154)은 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 방향(D1)으로 반복적으로 배열될 수 있다. 상기 제1 내지 제3 컬러 바 패턴들(136, 144, 154) 각각은 상기 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)과 동일한 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)은 상기 제2 컬러필터(142)와 동일한 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)은 상기 제3 컬러필터(152)와 동일한 컬러 포토 레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다.
상기 컬러필터 패턴(CFP)을 형성하는 공정에서, 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해 상기 제1 컬러필터(132)가 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)의 제조 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이하, 도 18 내지 도 21을 참조하여 본 실시예에 따른 컬러필터 기판의 제조 방법을 설명하기로 한다.
도 18은 도 16에 도시된 제1 더미 패턴 및 제1 컬러 바 패턴들을 형성하는 단계를 설명하기 위한 평면도이고, 도 19는 도 18의 VIB-VIB' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 18 및 도 19를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)을 포함하는 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제1 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성하고, 상기 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 제1 컬러필터(132), 상기 제1 더미 패턴(134) 및 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)을 형성한다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 상기 제1 컬러필터(132)와 동일한 패턴으로 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성될 수 있다. 서로 인접한 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 개구(138)에 의해 소정 간격 이격되어 형성될 수 있다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 사이의 공간은 상기 개구(138)를 통해 상기 제1 베이스 기판(110)이 노출될 수 있다. 상기 제1 표시 영역(DA1)의 상기 제2 방향(D2)에 배치된 상기 제1 컬러 바 패턴(136)은 상기 제1 컬러필터(132)와 연결될 수 있다.
도 20은 제2 컬러 바 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 평면도이고, 도 21은 도 20의 VIC-VIC' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 20 및 도 21을 참조하면, 상기 제1 컬러필터(132), 상기 제1 더미 패턴(134) 및 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제2 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성한다. 상기 제2 컬러 포토레지스트층은 컬러 포토레지스트를 스핀 코팅하여 형성할 수 있다. 상기 제2 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 상기 제1 베이스 기판(110) 전면에 균일하게 스핀 코팅될 수 있다.
상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)을 형성한다. 상기 제2 컬러필터(142)는 상기 제1 컬러필터(132)와 인접하게 형성될 수 있다. 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)은 각각 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 사이에 형성될 수 있다. 즉, 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)은 상기 개구(138)의 일부에 형성되어, 상기 개구(138)의 일부를 채울 수 있다.
이어서, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제3 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성한다. 상기 제3 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해 상기 제1 베이스 기판(110)의 전면에 균일하게 스핀 코팅될 수 있다. 상기 제3 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 제3 컬러필터(152) 및 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)을 형성할 수 있다. 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)은 각각 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)과 인접하게 형성될 수 있다. 즉, 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)은 상기 개구(138)의 나머지부에 형성되어, 상기 개구(138)를 완전하게 채울 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 내지 제3 컬러 바 패턴들(136, 144, 154)을 포함하는 상기 제2 더미 패턴(DMP) 및 상기 제1 내지 제3 컬러필터들(132, 142, 152)을 포함하는 상기 컬러필터 패턴(CFP)을 형성할 수 있다.
상기 컬러필터 패턴(CFP), 상기 제1 및 제2 더미 패턴들(134, DMP)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 상기 오버 코팅층(160) 및 상기 공통 전극층(CE)을 형성하는 단계들은 본 발명의 실시예 1에서 설명한 것과 실질적으로 동일하다.따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)는 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조 공정의 신뢰성이 향상되고, 컬러필터의 신뢰성을 향상되며, 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
실시예 5
도 22는 본 발명의 실시예 5에 따른 컬러필터 기판의 평면도이고, 도 23은 도 22의 V-V' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 22 및 도 23에서, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판은 제2 더미 패턴을 제외하고는 실시예 4에서 설명한 컬러필터 기판과 실질적으로 동일하다. 따라서, 중 복되는 설명은 생략한다.
도 22 및 도 23을 참조하면, 본 실시예에 따른 컬러필터 기판(100)은 블랙 매트릭스 패턴(120), 제1 컬러필터(132), 제2 컬러필터(142) 및 제3 컬러필터(152)를 포함하는 컬러필터 패턴(CFP), 제1 더미 패턴(134) 및 제2 더미 패턴(DMP)을 포함한다. 상기 컬러필터 기판(100)은 오버 코팅층(160) 및 공통 전극층(CE)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 컬러필터 기판(100)은 상기 공통 전극층(CE) 상에 형성된 배향막(미도시)을 더 포함할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스 패턴(120) 및 상기 컬러필터 패턴(CFP)은 제1 베이스 기판(110)의 제1 표시 영역(DA1)에 형성된다.
상기 제2 더미 패턴(DMP)은 상기 제1 표시 영역(DA1)의 변(SD)에 대응하는 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성되고, 상기 컬러필터 패턴(CFP)의 컬러들과 동일한 컬러들을 갖는다. 상기 제2 더미 패턴(DMP)은 제1 컬러 바 패턴들(color-bar patterns, 136), 제2 컬러 바 패턴들(144), 제3 컬러 바 패턴들(154), 제1 컬러 도트 패턴들(color-dots, CS1), 제2 컬러 도트 패턴들(CS2) 및 제3 컬러 도트 패턴들(CS3)을 포함할 수 있다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 및 상기 제1 컬러 도트패턴들(CS1)은 상기 제1 컬러필터(132) 및 상기 제1 더미 패턴(134)과 동일한 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 제2 컬러 바 패턴들(144) 및 상기 제2 컬러 도트 패턴들(CS2)은 상기 제2 컬러필터(142)와 동일한 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 제3 컬러 컬러 바 패턴들(154) 및 상기 제3 컬러 도트 패턴들(CS3)은 상기 제3 컬러필터(152)와 동일한 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 형성할 수 있다.
상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 상기 제1 베이스 기판(110)의 제1 방향(D1)으로 병렬로 배열된다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 상기 제2 컬러 바 패턴들(144) 및 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)과 상기 제1 방향(D1)으로 병렬로 배열될 수 있다. 또한, 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 상기 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)으로 연장된다. 상기 제2 컬러 바 패턴들(144) 및 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)도 상기 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다.
상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)은 상기 제2 방향(D2)으로 일렬로 배열된다. 즉, 상기 제2 방향(D2)으로 배열된 상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)은 하나의 열을 형성할 수 있다. 상기 제2 방향(D2)으로 배열된 상기 제2 컬러 도트 패턴들(CS2)이 형성하는 열은, 상기 제2 방향(D2)으로 배열된 상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)이 형성하는 열과 평행할 수 있다.
상기 컬러필터 패턴(CFP)을 형성하는 공정에서, 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해 상기 제1 컬러필터(132)가 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 더미 패턴(134)은 상기 제2 및 제3 컬러필터들(142, 152)의 제조 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 24는 도 22에 도시된 제1 더미 패턴 및 제1 컬러 도트를 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 24를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스 패턴(120)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제1 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성하고, 상기 제1 컬러 포토 레지스트층을 패터닝하여 상기 제1 컬러 필터(132), 상기 제1 더미 패턴(134), 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 및 상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)을 형성한다.
상기 제1 컬러필터(132)는 상기 제1 표시 영역(DA1)에 형성된다. 상기 제1 더미 패턴(134), 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 및 상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)은 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성된다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 상기 제1 컬러필터(132)와 동일한 패턴으로 상기 제1 주변 영역(PA1)에 형성될 수 있다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)은 소정 간격으로 이격되어 형성될 수 있다. 상기 제1 컬러 바 패턴들(136)에 의해서 개구(138)가 정의될 수 있다. 상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)은 상기 제2 방향(D2)으로 배열되어 형성될 수 있다.
도 25는 도 22에 도시된 제2 컬러 도트를 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 25를 참조하면, 상기 제1 컬러필터(132), 상기 제1 더미 패턴(134), 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 및 상기 제1 컬러 도트 패턴들(CS1)을 포함하는 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제2 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성한다. 상기 제2 컬러 포토레지스트층은 컬러 포토레지스트를 스핀 코팅하여 형성할 수 있다. 상기 제2 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 상기 제1 베이스 기판(110) 전면에 균일하게 스핀 코팅될 수 있다.
상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 제2 컬러필터(142), 상기 제2 컬러 바 패턴들(144) 및 상기 제2 컬러 도트 패턴들(CS2)을 형성한다. 상기 제2 컬러필터(142)는 상기 제1 컬러필터(132)와 인접하게 형성될 수 있다. 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)은 각각 상기 제1 컬러 바 패턴들(136) 사이에 형성될 수 있다. 즉, 상기 제2 컬러 바 패턴들(144)은 상기 개구(138)의 일부에 형성되어, 상기 개구(138)의 일부를 채울 수 있다.
이어서, 상기 제2 컬러필터(142), 상기 제2 컬러 바 패턴들(144) 및 상기 제2 컬러 도트 패턴들(CS2)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 제3 컬러 포토레지스트층(미도시)을 형성한다. 상기 제3 컬러 포토레지스트층은 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해 상기 제1 베이스 기판(110)의 전면에 균일하게 스핀 코팅될 수 있다. 상기 제3 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 제3 컬러필터(152), 상기 제3 컬러 바 패턴들(154) 및 상기 제3 컬러 도트 패턴들(CS3)을 형성할 수 있다. 상기 제3 컬러 바 패턴들(154)은 상기 개구(138)의 나머지부에 형성되어, 상기 개구(138)를 완전하게 채울 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 내지 제3 컬러 바 패턴들(136, 144, 154)과, 상기 제1 내지 제3 컬러 도트 패턴들(CS1, CS2, CS3)을 포함하는 상기 제2 더미 패턴(DMP) 및 상기 제1 내지 제3 컬러필터들(132, 142, 152)을 포함하는 상기 컬러필터 패턴(CFP)을 형성할 수 있다.
상기 컬러필터 패턴(CFP), 상기 제1 및 제2 더미 패턴들(134, DMP)이 형성된 상기 제1 베이스 기판(110) 상에 상기 오버 코팅층(160) 및 상기 공통 전극층(CE)을 형성하는 단계들은 본 발명의 실시예 1에서 설명한 것과 실질적으로 동일하다.따라서, 중복되는 설명은 생략한다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 컬러필터(142) 및 상기 제3 컬러필터(152)는 상기 제1 더미 패턴(134)에 의해서 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조 공정의 신뢰성이 향상되고, 컬러필터의 신뢰성을 향상되며, 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 2개 이상의 컬러필터들을 포함하는 컬러필터 기판의 제조에 이용할 수 있다. 제1 컬러필터를 형성하는 공정에서 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역에 더미 패턴을 형성함으로써 상기 제1 컬러필터를 형성하는 공정 이후 공정에서 제2 컬러필터 및 제3 컬러필터가 균일하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 컬러필터 제조 의 신뢰성이 향상되고, 방사형 얼룩이 생기는 것을 방지함으로써 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
이상 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 컬러필터 기판의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 컬러필터 기판과 대향하는 표시 기판의 평면도이다.
도 3은 도 1의 IA-IA' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 제1 더미 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 모기판의 평면도이다.
도 5는 도 4의 단위 셀을 확대한 확대 평면도이다.
도 6은 도 5의 IB-IB' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 7은 제2 컬러 포토레지스트층을 형성하는 단계를 설명하기 위한 모기판의 평면도이고, 도 8은 도 7의 II-II' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 9는 제2 컬러필터를 형성하는 단계를 설명하기 위한 모기판의 평면도이고, 도 10은 도 9의 IC-IC' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시예 2에 따른 컬러필터 기판의 단면도이다.
도 12는 도 11에 도시된 제1 더미 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 13은 본 발명의 실시예 3에 따른 컬러필터 기판의 평면도이고, 도 14는 도 13의 III-III' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 15는 도 13에 도시된 제1 더미 패턴을 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 16은 본 발명의 실시예 4에 따른 컬러필터 기판의 평면도이고, 도 17은 도 16의 VIA-VIA' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 18은 도 16에 도시된 제1 더미 패턴 및 제1 컬러 바를 형성하는 단계를 설명하기 위한 평면도이고, 도 19는 도 18의 VIB-VIB' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 20은 제2 컬러 바를 형성하는 단계를 설명하기 위한 평면도이고, 도 21은 도 20의 VIC-VIC' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 22는 본 발명의 실시예 5에 따른 컬러필터 기판의 평면도이고, 도 23은 도 22의 V-V' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 24는 도 22에 도시된 제1 더미 패턴 및 제1 컬러 도트 패턴들을 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 25는 도 22에 도시된 제2 컬러 도트 패턴들을 형성하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 컬러필터 기판 DA1, DA2: 제1, 제2 표시 영역
PA1, PA2: 제1, 제2 주변 영역 200: 표시 기판
310: 컬러필터 모기판 134: 제1 더미 패턴
132, 142, 152: 제1, 제2, 제3 컬러필터 CFP: 컬러필터 패턴
320: 단위 셀 134a, 134b: 제1, 제2 두께부
DMP: 제2 더미 패턴
136, 144, 154: 제1, 제2, 제3 컬러 바 패턴
CS1, CS2, CS3: 제1, 제2, 제3 컬러 도트 패턴

Claims (19)

  1. 표시 영역에 형성되고, 복수의 컬러들을 갖는 컬러필터들; 및
    상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역에 형성되고, 상기 컬러들 중 하나의 컬러와 동일하며, 상기 표시 영역의 꼭지점에 대응하는 외곽의 에지가 모따기된 형상을 갖는 제1 더미 패턴을 포함하는 컬러필터 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴은
    상기 표시 영역을 둘러싸는 폐곡선형인 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴의 두께는 상기 컬러필터들의 두께와 동일한 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴의 두께는 상기 컬러필터들의 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴은
    상기 표시 영역과 접하는 영역에 형성되고, 서로 다른 높이로 형성된 단차를 갖는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  6. 제1항에 있어서, 상기 표시 영역의 변에 대응하는 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 복수의 컬러들을 갖는 제2 더미 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 더미 패턴은
    상기 복수의 컬러들을 갖는 컬러 바 패턴들(color-bar patterns)을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제2 더미 패턴은
    상기 복수의 컬러들을 갖는 컬러 도트 패턴들(color-dot patterns)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  9. 베이스 기판 상에 제1 컬러 포토레지스트층을 형성하는 단계;
    상기 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여, 상기 베이스 기판의 표시 영역에 형성된 제1 컬러필터 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역에 형성되고 상기 표시 영역의 꼭지점에 대응하는 외곽의 에지가 모따기된 형상을 갖는 제1 더미 패턴을 형성하는 단계;
    상기 제1 컬러필터 및 상기 제1 더미 패턴이 형성된 베이스 기판 상에 제2 컬러 포토레지스트층을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여, 상기 표시 영역에 제2 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계는
    상기 제1 컬러 포토레지스트층 상에 배치되고, 상기 제1 컬러필터 및 상기 제1 더미 패턴과 대응하는 투광부를 포함하는 마스크 상에서 광을 조사하는 단계; 및
    상기 제1 컬러 포토레지트층을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계는
    상기 제1 컬러 포토레지스트층 상에 배치되고, 상기 제1 컬러필터와 대응하는 투광부 및 상기 제1 더미 패턴과 대응하는 슬릿부를 포함하는 마스크 상에서 광을 조사하는 단계; 및
    상기 제1 컬러 포토레지스트층을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계는
    상기 제1 컬러 포토레지스트층 상에 배치되고, 상기 제1 컬러필터 및 상기 제1 더미 패턴의 상기 표시 영역과 접하는 내측부와 대응하는 투광부 및 상기 제1 더미 패턴의 외측부와 대응하는 슬릿부를 포함하는 마스크 상에서 광을 조사하는 단계; 및
    상기 제1 컬러 포토레지스트층을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴을 형성하는 단계는
    상기 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 상기 표시 영역의 변에 대응하는 상기 주변 영역에 배치된 제1 컬러 바 패턴들(color-bar patterns)을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제2 컬러 필터를 형성하는 단계는
    상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 각 제1 컬러 바 패턴과 인접한 제2 컬러 바 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 컬러 바 패턴들을 형성하는 단계는
    상기 제1 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 제1 컬러 도트 패턴들(color-dot patterns)을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제2 컬러 바 패턴들을 형성하는 단계는
    상기 제2 컬러 포토레지스트층을 패터닝하여 각 제1 컬러 도트 패턴들과 인 접한 제2 컬러 도트 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  17. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 패턴은 상기 표시 영역을 둘러싸는 폐곡선형인 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
  18. 제1항에 있어서, 베이스 기판; 및
    상기 베이스 기판 상에 배치되고 상기 표시 영역을 복수개의 화소 영역들로 구획하는 블랙 매트릭스를 더 포함하고,
    상기 컬러필터들은 상기 블랙 매트릭스가 배치된 상기 베이스 기판 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판.
  19. 제9항에 있어서,
    상기 제1 컬러 포토레지스트층을 형성하는 단계 전에,
    상기 베이스 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 제1 컬러필터는 상기 블랙 매트릭스가 형성된 상기 베이스 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조 방법.
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