KR101550290B1 - 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템 및 그 누출 감지 방법 - Google Patents
수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템 및 그 누출 감지 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101550290B1 KR101550290B1 KR1020140059442A KR20140059442A KR101550290B1 KR 101550290 B1 KR101550290 B1 KR 101550290B1 KR 1020140059442 A KR1020140059442 A KR 1020140059442A KR 20140059442 A KR20140059442 A KR 20140059442A KR 101550290 B1 KR101550290 B1 KR 101550290B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- hydrogen
- quartz
- quartz crystal
- platinum layer
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
- G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
- G01G3/16—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing measuring variations of frequency of oscillations of the body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 방법을 나타낸 순서도이다.
10 : 백금층(Platinum layer)
20 : 수정진동자(Gold quzrtz resonator)
30 : 펠티어 소자(peltier device)
40 : 수정진동자홀더(crystal housing)
50 : 백금저항온도소자(Platinum Resistance Temperature Sensor)
60 : 열 흡수장치(heat sink)
70 : 온도 조절기(temperature controller)
80 : 진동수 측정회로선(frequency out)
200 : 통합 관리부
210 : 주파수 카운터 수단 220 : 제어부
230 : 모니터링부 240 : 알람부
Claims (6)
- 수소 공급 배관을 이동하는 수소의 누출을 감지하는 수소 누출 감지 시스템에 있어서,
백금층(platinum layer)과,
상기 백금층 하부에 놓여지며 금전극 표면을 가지는 수정진동자(quartz resonator)와,
상기 수정진동자의 가장자리에 접촉되며 일면에 백금저항온도소자(platinum resistance temperature sensor)가 부착된 수정진동자홀더와,
상기 수정진동자홀더의 하부에 접촉하여 위치하며, 수소 누출 감지 이후 상기 백금층 및 수정진동자의 온도를 조절하여 상기 수정진동자의 표면에 응집된 수소를 탈착시키는 펠티어 소자(peltier device)와,
상기 백금층 및 수정진동자와 외부를 연결하는 진동수 측정회로선을 포함하는 수정 미소 저울(QCM, Quartz Crystal Microbalance)(100); 및
상기 진동수 측정회로선으로부터 전달받은 상기 수정진동자의 공명주파수 변화를 이용하여, 수소 누출을 감지 및 판단하는 통합 관리부(200);
를 포함하여 구성되며,
상기 수정 미소 저울은
상기 수정진동자홀더의 백금저항온도소자를 이용하여, 상기 수정진동자홀더의 온도를 측정하고,
측정된 상기 수정진동자홀더의 온도를 입력값으로 입력받아 전류 출력을 조절하여, 상기 펠티어 소자의 온도를 제어하는 온도 조절기; 및
상기 펠티어 소자의 하부에 위치하며, 상기 펠티어 소자에서 발생하는 열을 제거하여, 상기 펠티어 소자를 통해서 전달되는 열을 제어하는 구리 재질의 열 흡수장치;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템.
- 제 1항에 있어서,
상기 수정 미소 저울(100)의 백금층의 너비가
상기 수정진동자의 너비보다 작은 것을 특징으로 하는 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,
상기 통합 관리부(200)는
상기 수정 미소 저울(100)의 진동수 측정회로선과 연결되어 상기 수정진동자의 공명주파수를 획득하는 주파수 카운터 수단;
상기 주파수 카운터 수단에서 획득한 공명주파수 변화를 이용하여, 수소 누출을 감지하고, 수소 누출을 판단하는 제어부;
상기 공명주파수에 대한 그래프를 실시간으로 보여주는 모니터링부; 및
상기 제어부의 제어에 따라, 수소 누출에 의한 알람 수단 동작을 제어하는 알람부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템.
- 수정진동자 표면에 형성된 백금층(platinum layer)와, 상기 백금층 하부에 놓여지며 금전극 표면을 가지는 수정진동자(quartz resonator)와, 상기 수정진동자의 가장자리에 접촉되며 일면에 백금저항온도소자(platinum resistance temperature sensor)가 부착된 수정진동자홀더와, 상기 백금층 및 수정진동자의 온도를 조절하는 펠티어 소자(peltier device)와, 상기 백금층 및 수정진동자와 외부를 연결하는 진동수 측정회로선을 포함하는 수정 미소 저울(QCM, Quartz Crystal Microbalance)을 이용한 수소 공급 배관을 이동하는 수소의 누출을 감지하는 방법에 있어서,
통합 관리부에서 상기 진동수 측정회로선으로부터 전달받은 상기 수정진동자의 진동수를 전달받아 공명주파수를 획득하는 공명주파수 획득 단계(S100);
상기 통합 관리부에서 상기 공명주파수 획득 단계(S100)에서 획득한 상기 공명주파수의 변화를 이용하여, 수소 누출을 감지 및 판단하는 수소 누출 판단 단계(S200);
상기 수소 누출 판단 단계(S200)의 판단 결과에 따라, 상기 수소 공급 배관을 이동하는 수소가 누출될 경우,
상기 통합 관리부에서 수소 누출을 알리기 위한 알람 수단의 동작을 제어하는 알람 단계(S300); 및
상기 수정 미소 저울의 펠티어 소자를 이용하여, 상기 백금층 및 수정진동자의 온도를 조절하여 상기 백금층 표면에 응집된 수소를 탈착시키는 수소 탈착 단계(S400);
로 이루어지며,
상기 수정 미소 저울은
상기 수정진동자홀더의 백금저항온도소자를 이용하여 상기 수정진동자홀더의 온도를 측정하고,
측정된 상기 수정진동자홀더의 온도를 입력값으로 입력받아, 전류 출력을 조절하여 상기 펠티어 소자의 온도를 제어하는 온도 조절기; 및
상기 펠티어 소자의 하부에 위치하여, 상기 펠티어 소자에서 발생하는 열을 제거하여, 상기 펠티어 소자를 통해서 전달되는 열을 제어하는 구리 재질의 열 흡수 장치;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 방법. - 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140059442A KR101550290B1 (ko) | 2014-05-19 | 2014-05-19 | 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템 및 그 누출 감지 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140059442A KR101550290B1 (ko) | 2014-05-19 | 2014-05-19 | 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템 및 그 누출 감지 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101550290B1 true KR101550290B1 (ko) | 2015-09-07 |
Family
ID=54247320
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140059442A Active KR101550290B1 (ko) | 2014-05-19 | 2014-05-19 | 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템 및 그 누출 감지 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101550290B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11335575B2 (en) | 2017-08-25 | 2022-05-17 | Inficon, Inc. | Unconsumed precursor monitoring |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005189146A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 揮発性硫化物センサおよび検知方法 |
JP2005249405A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Honda Motor Co Ltd | 水素検出装置 |
JP2013170923A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Fujitsu Ltd | 腐食環境計測装置及び腐食環境計測方法 |
-
2014
- 2014-05-19 KR KR1020140059442A patent/KR101550290B1/ko active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005189146A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 揮発性硫化物センサおよび検知方法 |
JP2005249405A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Honda Motor Co Ltd | 水素検出装置 |
JP2013170923A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Fujitsu Ltd | 腐食環境計測装置及び腐食環境計測方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11335575B2 (en) | 2017-08-25 | 2022-05-17 | Inficon, Inc. | Unconsumed precursor monitoring |
US11929270B2 (en) | 2017-08-25 | 2024-03-12 | Inficon, Inc. | Unconsumed precursor monitoring |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3430319B1 (en) | Air purifier and air purification method | |
CN103675217B (zh) | 一种气体检测方法及装置 | |
CN110988272A (zh) | 用于修正氢气传感器的测量值的方法 | |
JP2000283938A (ja) | 露点センサー | |
TWI470219B (zh) | 用於偵測液體中污染物之手持式系統及方法 | |
TW201628080A (zh) | 矽濃度或蝕刻選擇比的測量方法及測量裝置 | |
CN101300481A (zh) | 气体传感器 | |
CN111812279A (zh) | 一种气体传感器测试方法及装置 | |
Graf et al. | CMOS hotplate chemical microsensors | |
KR101550290B1 (ko) | 수정 미소 저울을 이용한 수소 누출 감지 시스템 및 그 누출 감지 방법 | |
KR101525526B1 (ko) | 오염수 내 중금속을 고감도로 감지할 수 있는 하이브리드 수질 센서 칩 제조방법 및 이를 이용한 휴대용 수질 검사 장치 | |
EP3254097B1 (en) | Refrigerant analyzer and a method of using the same | |
KR100965308B1 (ko) | 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법 | |
CN104425044A (zh) | 利用两种传感器测定氢浓度的方法 | |
CN101221082B (zh) | 一种新型真空计 | |
KR20130120702A (ko) | 액상 센서 및 이를 이용한 액상물질 검출장치 | |
US10663396B2 (en) | Refrigerant analyzer and a method of using the same | |
JP2016118438A (ja) | 電気化学デバイス評価装置用ガス検出装置及び該ガス検出装置のガスセンサの感度回復方法 | |
CN102636524A (zh) | 电法瞬态测量材料热物性的装置及方法 | |
CN103776805A (zh) | 恒温蒸气发生进样系统 | |
CN210426654U (zh) | 一种热导气体质量流量计 | |
RU156021U1 (ru) | Сенсор скорости коррозии системы коррозионного мониторинга | |
CN201000382Y (zh) | 一种新型真空计 | |
TW200508576A (en) | A quartz crystal microbalance apparatus | |
EP3147662A1 (en) | Hydrogen detector and hydrogen detection method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20140519 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20150612 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20150826 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20150831 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20150901 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180725 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20180725 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190604 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20190604 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200728 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210518 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20220701 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20230621 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20240703 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20250623 Start annual number: 11 End annual number: 11 |