KR101547323B1

KR101547323B1 - Slide unit of overhead hoist transport

Info

Publication number: KR101547323B1
Application number: KR1020130016874A
Authority: KR
Inventors: 이현오; 유원조; 박재은; 김구; 김광민
Original assignee: 에버테크노 주식회사
Priority date: 2013-02-18
Filing date: 2013-02-18
Publication date: 2015-08-25
Anticipated expiration: 2033-02-18
Also published as: KR20140103472A

Abstract

본 발명은 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛에 관한 것으로, 제1이송플레이트와 제2이송플레이트와 제3이송플레이트와 제4이송플레이트가 수직방향으로 배열되어 배치되는 이송플레이트부와; 제1이송플레이트와 제2이송플레이트와 제3이송플레이트와 제4이송플레이트 사이에 각각 연결되어 각각의 이송을 가이드하는 다수개의 리니어모션 가이드와; 제1이송플레이트의 상측과 제3이송플레이트의 하측에 각각 한 쌍의 제1벨트 고정블럭에 의해 연결되며 제2이송플레이트의 일측과 타측의 끝단에 각각 회전되도록 배치되는 한 쌍의 제1풀리에 회동되도록 권취되는 제1수평 이송벨트와; 제2이송플레이트의 상측과 제4이송플레이트의 일측에 각각 한 쌍의 제2벨트 고정블럭에 의해 연결되며 제3이송플레이트의 일측과 타측의 끝단에 각각 회전되도록 배치되는 한 쌍의 제2풀리에 회동되도록 권취되는 제2수평 이송벨트와; 제1수평 이송벨트와 제1풀리로 연결되어 제1수평 이송벨트를 회동시켜 제3이송플레이트 이송시킴에 의해 제2수평 이송벨트가 회동되도록 하여 이송플레이트부의 제1이송플레이트와 제2이송플레이트와 제3이송플레이트와 제4이송플레이트가 리니어모션 가이드에 가이드되어 서로 상대 이송되도록 하는 회전구동원으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a slide unit of an overhead hoist transporting apparatus, and more particularly to a slide unit of an overhead hoist transporting apparatus, which comprises a transport plate portion in which a first transport plate, a second transport plate, a third transport plate and a fourth transport plate are arranged in a vertical direction; A plurality of linear motion guides connected between the first and second transport plates, the third and fourth transport plates, respectively, for guiding the respective transports; A pair of first pulleys connected by a pair of first belt fixing blocks respectively on the upper side of the first transfer plate and the lower side of the third transfer plate and arranged to be respectively rotated at one end and the other end of the second transfer plate, A first horizontal conveyance belt wound to be rotated; A pair of second pulleys connected to the upper side of the second conveyance plate and one side of the fourth conveyance plate by a pair of second belt fixing blocks and arranged to be respectively rotated at one end and the other end of the third conveyance plate, A second horizontal conveyance belt wound to be rotated; The first horizontal transport belt is connected to the first horizontal transport belt by the first pulley so that the first horizontal transport belt is rotated to transport the third transport plate to rotate the second horizontal transport belt so that the first transport plate and the second transport plate And the third transfer plate and the fourth transfer plate are guided by the linear motion guide and are relatively transferred to each other.

Description

[0001] Slide unit of overhead hoist transport [0002]

본 발명은 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제1이송플레이트의 길이를 제1이송플레이트의 상측에 배치되는 제2이송플레이트의 길이 보다 작도록 형성하여 제1이송플레이트의 하중을 줄일 수 있는 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a slide unit of an overhead hoist transporting apparatus, and more particularly to a slide unit of an overhead hoist transporting apparatus, in which the length of a first transporting plate is smaller than a length of a second transporting plate disposed above a first transporting plate, To a slide unit of an overhead hoist transfer device capable of reducing a load of an overhead hoist transfer device.

오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport : OHT)는 반도체 소자나 평판 디스플레이 제조라인의 천정에 고정되어 있는 선로를 따라 이동하면서 웨이퍼나 평판 디스플레이에 사용되는 유리기판 등을 이송하기 위해 사용된다.An overhead hoist transport (OHT) is used to transport a glass substrate or the like used in a wafer or flat panel display while moving along a line fixed to a ceiling of a semiconductor device or a flat panel display manufacturing line.

오버헤드 호이스트 이송장치는 주행유닛은 반도체 소자나 평판 디스플레이 등의 반송물을 운반하기 위해 주행유닛, 그립퍼(Gripper) 및 평판 벨트(Plane plate belt) 등으로 이루어진다. 주행유닛은 가이드 레일(Guide rail)을 따라 이동하며, 그립퍼는 반송물을 핸들링하기 위해 구비되며, 벨트는 그립퍼를 주행유닛에 고정시킨 상태에서 승하강시키기 위해 사용된다. In the overhead hoist transporting device, the traveling unit is composed of a traveling unit, a gripper, and a flat plate belt for transporting a transported article such as a semiconductor device or a flat panel display. The traveling unit is moved along a guide rail, and the gripper is provided for handling the transported goods, and the belt is used to move the gripper up and down with the gripper fixed to the traveling unit.

한국등록특허 제1127111호(특허문헌 1)는 오버헤드 호이스트 이송장치의 횡방향 이동기구에 관한 것으로, 구동원을 구비한 고정 베이스부와, 베이스부에 지지되고, 좌우로 슬라이딩 가능하며 구동원에 의해 좌우 양측으로 진출하며, 양단에 스토퍼를 구비한 중간의 미들부와, 미들부에 지지되고, 좌우로 슬라이딩 가능하며, 미들부의 좌우 이동에 종동해서 좌우로 이동하며 양단에 스토퍼를 구비한 선단의 프런트부로 구성되어 프론트부의 이송 거리에 따라 그립퍼를 주행유닛에 대하여 횡방향으로 이송시키도록 구성된다. Korean Patent Registration No. 1127111 (Patent Document 1) relates to a lateral movement mechanism of an overhead hoist transfer device, which comprises a fixed base portion having a drive source, a support portion supported by the base portion and slidable left and right, A front end portion of a front end which is supported by the middle portion and is slidable in the left and right direction and which is moved left and right following the left and right movement of the middle portion and which has stoppers at both ends, And configured to transfer the gripper in the lateral direction with respect to the traveling unit according to the distance of travel of the front part.

특허문헌 1과 같은 종래의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛은 베이스부, 미들부 및 프런트부를 이송하기 위한 벨트의 길이가 각각의 길이보다 작게 배치됨에 의해 베이스부, 미들부 및 프런트부의 각각의 길이에 비해 상대 이송 거리가 짧으며, 프런트부가 주행유닛의 주행방향을 기준으로 좌우로 슬라이딩되어 이송 시 각각의 프런트부의 선단에 하중이 집중되어 휨이 발생될 수 있는 문제점이 있다. In the conventional slide unit of the overhead hoist transport device as in Patent Document 1, since the length of the belt for transporting the base portion, the middle portion and the front portion is arranged smaller than the respective lengths, the respective lengths of the base portion, the middle portion and the front portion And the front portion is slid to the left and to the right with respect to the traveling direction of the traveling unit, so that the load is concentrated on the front end of each front portion during transportation, and warping may occur.

특허문헌 1: 한국등록특허 제1127111호(등록일: 2012.03.08)Patent Document 1: Korean Registered Patent No. 1127111 (Registered on March 23, 2012)

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이송플레이트의 일측과 타측의 끝단으로 연장되어 위치되도록 수평이송벨트를 배치할 수 있는 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛을 제공함에 있다. It is an object of the present invention to provide a slide unit of an overhead hoist transfer device capable of disposing a horizontal conveyance belt so as to be extended to one side and the other side of a conveyance plate.

본 발명의 다른 목적은 이송플레이트의 일측과 타측의 끝단으로 연장되어 위치되도록 수평이송벨트를 배치함에 의해 이송플레이트 사이의 상대 이송거리를 극대화시킬 수 있는 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a slide unit of an overhead hoist transfer device capable of maximizing a relative transfer distance between transfer plates by disposing a horizontal transfer belt so as to be extended to one end and the other end of the transfer plate .

본 발명의 또 다른 목적은 그립퍼와 수직이송벨트로 연결되는 호이스트가 하측에 배치되는 제1이송플레이트의 길이를 제1이송플레이트의 상측에 배치되는 제2이송플레이트의 길이 보다 작도록 형성하여 제1이송플레이트의 하중을 줄일 수 있는 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a conveyor apparatus in which a length of a first conveyance plate disposed on a lower side of a hoist connected to a gripper and a vertical conveyance belt is formed to be smaller than a length of a second conveyance plate disposed on the upper side of a first conveyance plate, And an object of the present invention is to provide a slide unit of an overhead hoist transfer device capable of reducing a load of a transfer plate.

본 발명의 다른 목적은 제1이송플레이트의 상측에 배치되는 제2이송플레이트의 길이방향으로 일측에서 타측으로 연장되도록 스톱퍼 지지공간부를 형성하여 제2이송플레이트의 하중을 줄일 수 있는 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an overhead hoist transfer device capable of reducing the load of the second transfer plate by forming a stopper support space part extending from one side to the other side in the longitudinal direction of a second transfer plate disposed on the upper side of the first transfer plate, Of the slide unit.

본 발명의 또 다른 목적은 제1이송플레이트의 길이를 줄임과 아울러 제2이송플레이트에 스톱퍼 지지공간부를 형성하여 각각의 하중을 줄임으로써 제1이송플레이트의 선단으로 집중되는 하중을 줄여 ? 발생을 방지함에 의해 호이스트와 수직이송벨트로 연결되는 그립퍼를 안전하게 슬라이딩시켜 이송시킬 수 있는 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to reduce the length of the first transfer plate and to form the stopper support space in the second transfer plate to reduce the load on each end of the first transfer plate. The present invention provides a slide unit of an overhead hoist transfer device capable of safely slidably transporting a gripper connected to a vertical conveyance belt by preventing a hoist from being generated.

본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛은 제1이송플레이트와 제2이송플레이트와 제3이송플레이트와 제4이송플레이트가 수직방향으로 배열되어 배치되는 이송플레이트부와; 상기 제1이송플레이트와 상기 제2이송플레이트와 상기 제3이송플레이트와 상기 제4이송플레이트 사이에 각각 연결되어 각각의 이송을 가이드하는 다수개의 리니어모션 가이드와; 상기 제2이송플레이트의 상측에 서로 이격되도록 연결되어 상기 제3이송플레이트의 일측과 타측을 지지하여 제3이송플레이트의 이송거리를 규제하는 한 쌍의 스톱퍼와; 상기 제1이송플레이트의 상측과 상기 제3이송플레이트의 하측에 각각 한 쌍의 제1벨트 고정블럭에 의해 연결되며 제2이송플레이트의 일측과 타측의 끝단에 각각 회전되도록 배치되는 한 쌍의 제1풀리에 회동되도록 권취되는 제1수평 이송벨트와; 상기 제2이송플레이트의 상측과 상기 제4이송플레이트의 일측에 각각 한 쌍의 제2벨트 고정블럭에 의해 연결되며 제3이송플레이트의 일측과 타측의 끝단에 각각 회전되도록 배치되는 한 쌍의 제2풀리에 회동되도록 권취되는 제2수평 이송벨트와; 상기 제1수평 이송벨트와 제1풀리로 연결되어 제1수평 이송벨트를 회동시켜 제3이송플레이트 이송시킴에 의해 제2수평 이송벨트가 회동되도록 하여 상기 이송플레이트부의 제1이송플레이트와 제2이송플레이트와 제3이송플레이트와 제4이송플레이트가 리니어모션 가이드에 가이드되어 서로 상대 이송되도록 하는 회전구동원으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The slide unit of the overhead hoist transporting apparatus of the present invention includes a transport plate portion in which a first transport plate, a second transport plate, a third transport plate, and a fourth transport plate are arranged in a vertical direction; A plurality of linear motion guides connected between the first transfer plate, the second transfer plate, the third transfer plate, and the fourth transfer plate, respectively, for guiding the respective transfers; A pair of stoppers which are spaced apart from each other above the second transfer plate and support one side and the other side of the third transfer plate to regulate the transfer distance of the third transfer plate; A pair of first belt fixing blocks connected to the upper side of the first conveyance plate and a lower side of the third conveyance plate respectively and rotated so as to be respectively rotated at one end and the other end of the second conveyance plate, A first horizontal conveyance belt wound to be rotated on the pulley; A pair of second belt fixing blocks connected to the upper side of the second conveyance plate and one side of the fourth conveyance plate respectively and rotated to one side and the other side of the third conveyance plate, A second horizontal conveyance belt wound to rotate on the pulley; The first horizontal transport belt is connected to the first horizontal transport belt by a first pulley so as to rotate the first horizontal transport belt and to transport the third transport plate to rotate the second horizontal transport belt so that the first transport plate and the second transport The third transfer plate and the fourth transfer plate are guided by the linear motion guide so that the plate, the third transfer plate and the fourth transfer plate are relatively transferred to each other.

본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛은 이송플레이트의 일측과 타측의 끝단으로 연장되어 위치되도록 수평이송벨트를 배치함에 의해 이송플레이트 사이의 상대 이송거리를 극대화시킬 수 있는 이점이 있으며, 제1이송플레이트의 길이를 줄임과 아울러 제2이송플레이트에 스톱퍼 지지공간부를 형성하여 각각의 하중을 줄임으로써 제1이송플레이트의 선단으로 집중되는 하중을 줄여 ? 발생을 방지함에 의해 호이스트와 수직이송벨트로 연결되는 그립퍼를 안전하게 슬라이딩시켜 이송시킬 수 있는 이점이 있다.The slide unit of the overhead hoist conveying apparatus of the present invention has an advantage that the relative conveying distance between the conveying plates can be maximized by disposing the horizontal conveying belt so as to be extended to one end and the other end of the conveying plate, The length of the transfer plate is reduced and the stopper support space is formed in the second transfer plate to reduce the load on each end of the first transfer plate. There is an advantage that the gripper connected to the hoist and the vertical conveyance belt can be safely slid and transported.

도 1은 본 발명의 슬라이드 유닛이 적용된 오버헤드 호이스트 이송장치의 측면도,
도 2는 도 1에 도시된 슬라이드 유닛의 조립 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 슬라이드 유닛의 분해조립 사시도,
도 4 내지 도 6은 각각 도 2에 도시되 슬라이드 유닛의 동작 상태를 나타낸 평면도.1 is a side view of an overhead hoist transport apparatus to which a slide unit of the present invention is applied,
Fig. 2 is an assembled perspective view of the slide unit shown in Fig. 1,
Fig. 3 is an exploded perspective view of the slide unit shown in Fig. 2,
4 to 6 are plan views respectively showing the operation states of the slide unit shown in Fig.

이하, 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a slide unit of an overhead hoist transfer device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3에서와 같이 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛(200)은 이송플레이트부(210), 다수개의 리니어모션 가이드(220,230,240), 한 쌍의 스톱퍼(250), 제1수평 이송벨트(260), 제2수평 이송벨트(270) 및 회전구동원(280)으로 구성된다. 1 to 3, the slide unit 200 of the overhead hoist conveying apparatus of the present invention includes a conveying plate portion 210, a plurality of linear motion guides 220, 230 and 240, a pair of stoppers 250, A conveyance belt 260, a second horizontal conveyance belt 270, and a rotation driving source 280.

이송플레이트부(210)는 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)와 제4이송플레이트(214)가 수직방향으로 배열되어 배치되며, 다수개의 리니어모션 가이드(220,230,240)는 각각 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)와 제4이송플레이트(214) 사이에 각각 배치되어 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)와 제4이송플레이트(214)의 이송을 가이드한다. 한 쌍의 스톱퍼(250)는 각각 제2이송플레이트(212)의 상측에 서로 이격되도록 연결되어 제3이송플레이트(213)의 일측과 타측을 지지하여 제3이송플레이트(213)의 이송거리를 규제한다. 제1수평 이송벨트(260)는 제1이송플레이트(211)의 상측과 제3이송플레이트(213)의 하측에 각각 한 쌍의 제1벨트 고정블럭(261)에 의해 연결되며 제2이송플레이트(212)의 일측과 타측의 끝단에 각각 회전되도록 배치되는 한 쌍의 제1풀리(262)에 회동되도록 권취되며, 제2수평 이송벨트(270)는 제2이송플레이트(212)의 상측과 상기 제4이송플레이트(214)의 일측에 각각 한 쌍의 제2벨트 고정블럭(271)에 의해 연결되며 제3이송플레이트(213)의 일측과 타측의 끝단에 각각 회전되도록 배치되는 한 쌍의 제2풀리(272)에 회동되도록 권취된다. 회전구동원(280)은 제1수평 이송벨트(260)와 제1풀리(260)로 연결되어 제1수평 이송벨트(260)를 회동시켜 제3이송플레이트(213) 이송시킴에 의해 제2수평 이송벨트(270)가 회동되도록 하여 이송플레이트부(210)의 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)와 제4이송플레이트(214)가 리니어모션 가이드(220,230,240)에 가이드되어 서로 상대 이송되도록 한다. The transfer plate unit 210 includes a first transfer plate 211, a second transfer plate 212, a third transfer plate 213 and a fourth transfer plate 214 arranged in a vertical direction, The motion guides 220, 230 and 240 are respectively disposed between the first transfer plate 211 and the second transfer plate 212, between the third transfer plate 213 and the fourth transfer plate 214, The second transfer plate 212, the third transfer plate 213, and the fourth transfer plate 214. In this way, The pair of stoppers 250 are separated from each other on the upper side of the second transfer plate 212 to support one side and the other side of the third transfer plate 213 to regulate the transfer distance of the third transfer plate 213 do. The first horizontal conveyance belt 260 is connected to the upper side of the first conveyance plate 211 and the lower side of the third conveyance plate 213 by a pair of first belt fixing blocks 261, And the second horizontal conveyance belt 270 is wound around a pair of first pulleys 262 arranged to rotate on one side and the other side of the second conveyance plate 212, A pair of second pulleys 271 which are respectively connected to one side of the fourth transfer plate 214 by a pair of second belt fixing blocks 271 and are arranged to be respectively rotated at one end and the other end of the third transfer plate 213, (272). The rotary drive source 280 is connected to the first horizontal conveyance belt 260 and the first pulley 260 to rotate the first horizontal conveyance belt 260 to convey the third conveyance plate 213, The first transfer plate 211, the second transfer plate 212, the third transfer plate 213 and the fourth transfer plate 214 of the transfer plate unit 210 are rotated by the linear motion guide 230, 240 so as to be transported relative to each other.

상기 구성을 갖는 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛(200)의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The structure of the slide unit 200 of the overhead hoist transfer device of the present invention having the above-described structure will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

이송플레이트부(210)는 도 2 및 도 3에서와 같이 제1이송플레이트(211), 제2이송플레이트(212), 제3이송플레이트(213) 및 제4이송플레이트(214)로 구성된다. The transfer plate unit 210 includes a first transfer plate 211, a second transfer plate 212, a third transfer plate 213 and a fourth transfer plate 214 as shown in FIGS.

제1이송플레이트(211)는 하측에 호이스트(300)가 연결되며 도 1에 도시된 호이스트(300)는 그립퍼(400)와 수직이송벨트(310)로 연결되어 그립퍼(400)를 수직방향으로 승하강시킨다. 호이스트(300)가 연결되는 제1이송플레이트(211)는 상측에 폐곡선을 이루는 제1수평 이송벨트(260)의 하측과 연결되는 한 쌍의 제1벨트 고정블럭(261) 중 하나와 연결되어 제1수평 이송벨트(260)의 회동에 의해 제2이송플레이트(212)와 서로 상대 이송된다. 상기 제1이송플레이트(211)의 길이(L1)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제2이송플레이트(212)의 길이(L2)보다 작으며 제1리니어모션 가이드(220)의 제1이동블록(221)의 길이(L3) 보다 크도록 형성하여 제1이송플레이트(211)의 하중을 줄임에 의해 정밀 이송제어를 구현할 수 있다. The hoist 300 shown in FIG. 1 is connected to the gripper 400 and the vertical conveyance belt 310 to vertically move the gripper 400. The first conveyance plate 211 is connected to the hoist 300, Descend. The first conveyance plate 211 to which the hoist 300 is connected is connected to one of a pair of first belt fixing blocks 261 connected to the lower side of the first horizontal conveyance belt 260 forming a closed curve on the upper side, And is conveyed relative to the second conveyance plate 212 by the rotation of one horizontal conveyance belt 260. 2, the length L1 of the first transfer plate 211 is smaller than the length L2 of the second transfer plate 212 and the length L1 of the first transfer plate 211 is smaller than the length L2 of the second transfer plate 212, And the length L3 of the first transfer plate 221 to be smaller than the length L3 of the second transfer plate 221, thereby realizing precise transfer control.

제1이송플레이트(211)는 또한 일측과 타측에 각각 이송 롤러부(290)가 구비되며, 이송 롤러부(290)는 롤러지지몸체(291), 한 쌍의 롤러연결부재(292) 및 한 쌍의 롤러(293)로 구성된다. 롤러지지몸체(291)는 제1이송플레이트(211)의 일측이나 타측의 끝단에 볼트나 나사와 같은 체결부재(도시 않음)로 연결되며, 제1이송플레이트(211)는 롤러지지몸체(291)의 일측과 타측으로부터 각각 연장되어 이격되도록 일체로 형성된다. 한 쌍의 롤러(293)는 각각 롤러연결부재(292)에 회전되도록 고정축(294)과 베어링(295)이 개재되어 연결되어 제1이송플레이트(211)가 이송을 가이드한다.The first conveyance plate 211 is also provided with a conveyance roller portion 290 on one side and a conveyance roller portion 290 on the other side thereof. The conveyance roller portion 290 includes a roller support body 291, a pair of roller connection members 292, And a roller 293 of FIG. The roller support body 291 is connected to one end or the other end of the first transfer plate 211 by a fastening member such as a bolt or a screw and the first transfer plate 211 is supported by a roller supporting body 291, So as to be spaced apart from one side and the other side, respectively. The pair of rollers 293 are respectively connected to the roller 293 by a fixing shaft 294 and a bearing 295 so that the first conveying plate 211 guides the conveyance.

제2이송플레이트(212)는 제1이송플레이트(211)의 상측에 배치되며 일측과 타측의 끝단에 각각 한 쌍의 제1풀리 배치공간부(212a)가 형성되며, 한 쌍의 제1풀리 배치공간부(212a)는 각각 브라켓(263)을 개재하여 제1풀리(262)가 회전되도록 연결된다. 제1풀리(262)은 브라켓(263)에 연결 시 베어링(262a)가 개재되어 연결된다. 이러한 제2이송플레이트(212)는 상측에 폐곡선을 이루는 제1수평 이송벨트(260)의 상측과 연결되는 한 쌍의 제1벨트 고정블럭(261) 중 하나와 연결되어 제1수평 이송벨트(260)의 회동에 의해 제1이송플레이트(211)나 제3이송플레이트(213)와 서로 상대 이송된다. The second transfer plate 212 is disposed on the upper side of the first transfer plate 211 and has a pair of first pulley disposition space portions 212a formed at one end and the other end thereof, The space portion 212a is connected to rotate the first pulley 262 through the bracket 263, respectively. The first pulley 262 is connected to the bracket 263 through a bearing 262a. The second conveying plate 212 is connected to one of a pair of first belt fixing blocks 261 connected to the upper side of the first horizontal conveying belt 260 forming a closed curve on the upper side to form a first horizontal conveying belt 260 The first transfer plate 211 and the third transfer plate 213 are transported relative to each other.

제3이송플레이트(213)는 제2이송플레이트(212)의 상측에 배치되고 일측과 타측의 끝단에 각각 한 쌍의 제2풀리 배치공간부(213a)가 형성되며, 한 쌍의 제2풀리 배치공간부(213a)는 각각 브라켓(273)을 개재하여 제2풀리(272)가 회전되도록 연결된다. 제2풀리(272)는 브라켓(273)에 연결 시 베어링(272a)이 개재되어 연결된다. 제2풀리(272)가 연결되는 제3이송플레이트(213)는 한 쌍의 스톱퍼(250)의 이격 간격에 제한되어 이송되도록 일측에 끝단이 개방된 스톱퍼 지지공간부(213b)가 형성되며, 스톱퍼 지지공간부(213b)의 길이(L4)는 도 4에서와 같이 제3이송플레이트(213)의 길이(L5)의 절반보다 크도록 형성한다. 즉, 스톱퍼 지지공간부(213b)의 길이(L4)는 제3이송플레이트(213)의 길이(L5)의 1/2 보다 크도록 형성하여 한 쌍의 스톱퍼(250) 중 하나에 의해 이송 시 제3이송플레이트(213)의 이송 스트로크를 최대화시킨다. The third transfer plate 213 is disposed on the upper side of the second transfer plate 212 and has a pair of second pulley disposing space portions 213a at one end and the other end thereof, The space portion 213a is connected to rotate the second pulley 272 through the bracket 273, respectively. The second pulley 272 is connected to the bracket 273 through a bearing 272a. The third transfer plate 213 to which the second pulley 272 is connected is formed with a stopper support space 213b having an open end at one side so as to be conveyed while being limited by the distance between the pair of stoppers 250, The length L4 of the support space portion 213b is formed to be larger than half the length L5 of the third transfer plate 213 as shown in FIG. That is, the length L4 of the stopper support space 213b is set to be larger than 1/2 of the length L5 of the third transfer plate 213, 3 transfer plate 213 is maximized.

수직방향으로 순차적으로 배치되는 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213) 사이에는 도그 센서(251)가 구비된다. 도그 센서(251)는 도 3에서와 같이 도그(251a)와 광센서(251b)로 이루어진다. 도그(251a)는 제3이송플레이트(213)의 타측의 하측에 배치되며, 광센서(251b)는 제2이송플레이트(212)의 타측의 상측에 배치되어 제3이송플레이트(213)의 이송 시 도그(251a)를 감지한다.A dog sensor 251 is provided between the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 which are sequentially arranged in the vertical direction. The dog sensor 251 comprises a dog 251a and an optical sensor 251b as shown in Fig. The dog 251a is disposed on the lower side of the other side of the third transfer plate 213 and the photosensor 251b is disposed on the upper side of the other side of the second transfer plate 212, And detects the dog 251a.

제4이송플레이트(214)는 제3이송플레이트(213)의 상측에 배치되고 한 쌍의 슬라이드 블록(214a)을 개재하여 제3리니어모션 가이드(240)에 연결되며 주행유닛(100)과 연결되어 주행유닛(100)에 의해 이송됨에 의해 본 발명의 슬라이드 유닛(200)이 주행유닛(100)에 의해 이송되도록 한다. The fourth transfer plate 214 is connected to the third linear motion guide 240 via the pair of slide blocks 214a and connected to the driving unit 100. The third linear motion guide 240 is disposed above the third transfer plate 213, The slide unit 200 of the present invention is transported by the drive unit 100 by being transported by the drive unit 100. [

다수개의 리니어모션 가이드(220,230,240)는 도 2 및 도 3에서와 같이 제1리니어모션 가이드(220), 제2리니어모션 가이드(230) 및 제3리니어모션 가이드(240)로 이루어진다. The plurality of linear motion guides 220, 230 and 240 includes a first linear motion guide 220, a second linear motion guide 230, and a third linear motion guide 240, as shown in FIGS.

제1리니어모션 가이드(220)는 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)의 상대 이송을 가이드하며, 제1이동블럭(221)과 제1리니어모션 레일(222)로 이루어진다. 제1이동블럭(221)은 제1이송플레이트(211)의 상측에 고정되도록 연결되며, 제1리니어모션 레일(222)은 제1이동블럭(221)이 가이드되어 이동되도록 제2이송플레이트(212)의 하측에 연결된다. The first linear motion guide 220 guides relative movement of the first transfer plate 211 and the second transfer plate 212 and includes a first moving block 221 and a first linear motion rail 222. The first moving block 221 is fixed to the upper side of the first conveying plate 211 and the first linear motion rail 222 is connected to the second conveying plate 212 As shown in Fig.

제2리니어모션 가이드(230)는 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)의 상대 이송을 가이드하며, 제2이동블럭(231)과 제2리니어모션 레일(232)로 이루어진다. 제2이동블럭(231)은 제2이송플레이트(212)의 상측에 고정되도록 연결되며, 제2리니어모션 레일(232)은 제2이동블럭(231)이 가이드되어 이동되도록 제3이송플레이트(213)의 하측에 연결된다. The second linear motion guide 230 guides the relative movement of the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 and includes a second moving block 231 and a second linear motion rail 232. The second moving block 231 is fixed to the upper side of the second conveying plate 212 and the second linear motion rail 232 is connected to the third conveying plate 213 As shown in Fig.

제3리니어모션 가이드(240)는 제3이송플레이트(213)의 이송을 가이드하며, 제3이동블럭(241)과 제3리니어모션 레일(242)로 이루어진다. 상기 제3이동블럭(241)은 상측에 배치된 슬라이드블록(214a)를 통해 제4이송플레이트(214)에 고정되게 연결되며, 제3리니어모션 레일(242)은 제3이동블럭(241)이 가이드되어 이동되도록 제3이송플레이트(213)의 상측에 연결된다. 즉, 상기 제3이동블럭(241)은 제3이송플레이트(213)의 상부에 간격을 두고 배치된 제3리니어모션 레일(242)에 각기 이동 가능하게 배치된다.The third linear motion guide 240 guides the third transfer plate 213 and includes a third moving block 241 and a third linear motion rail 242. The third moving block 241 is fixedly connected to the fourth transfer plate 214 through a slide block 214a disposed on the upper side and the third linear motion rail 242 is connected to the third moving block 241 And is connected to the upper side of the third transfer plate 213 so as to be guided and moved. That is, the third moving block 241 is movably disposed on the third linear motion rail 242 disposed at an interval above the third transfer plate 213.

제1수평 이송벨트(260)는 제2이송플레이트(212)를 감싸도록 제1풀리 배치공간부(212a)에 브라켓(263)을 개재하여 연결된 한 쌍의 제1풀리(262)에 권취되며, 한 쌍의 제1벨트 고정블럭(261)이 폐곡선을 이루어는 제1수평 이송벨트(260)의 상측과 하측에 각각 연결된다. 제1수평 이송벨트(260)의 하측에 연결된 제1벨트 고정블럭(261)은 제1이송플레이트(211)의 상측에 연결되며, 제1수평 이송벨트(260)의 상측에 연결된 제1벨트 고정블럭(261)은 제3이송플레이트(213)의 하측과 연결되어 제1수평 이송벨트(260)가 제2이송플레이트(212)을 감싸도록 한 쌍의 제1풀리(262)에 권취된다. 즉, 제1수평 이송벨트(260)는 제2이송플레이트(212)를 감싸도록 제1풀리 배치공간부(212a)에 브라켓(263)을 개재하여 연결된 한 쌍의 제1풀리(262)에 권취되며, 제1이송플레이트(211)의 상측과 제3이송플레이트(213)의 하측에 연결된 한 쌍의 제1벨트 고정블럭(261)에 연결되어 회전구동원(280)에 의해 회동됨에 의해 제2이송플레이트(212)를 기준으로 제1이송플레이트(211)와 제3이송플레이트(213)가 서로 상대 이송되도록 한다.The first horizontal conveyance belt 260 is wound around a pair of first pulleys 262 connected to the first pulley arrangement space 212a through a bracket 263 so as to surround the second conveyance plate 212, A pair of first belt fixing blocks 261 are connected to the upper side and the lower side of the first horizontal conveyance belt 260, which forms a closed curve. The first belt fixing block 261 connected to the lower side of the first horizontal conveying belt 260 is connected to the upper side of the first conveying plate 211 and the first belt fixing block 261 connected to the upper side of the first horizontal conveying belt 260, The block 261 is connected to the lower side of the third transfer plate 213 and wound around a pair of first pulleys 262 so that the first horizontal transfer belt 260 surrounds the second transfer plate 212. That is, the first horizontal conveyance belt 260 is wound around a pair of first pulleys 262 connected to the first pulley arrangement space 212a through the bracket 263 so as to surround the second conveyance plate 212 And is connected to a pair of first belt fixing blocks 261 connected to the upper side of the first transfer plate 211 and the lower side of the third transfer plate 213 and is rotated by the rotation driving source 280, So that the first transfer plate 211 and the third transfer plate 213 are transported relative to each other with respect to the plate 212.

제2수평 이송벨트(270)는 타이밍 벨트가 사용되며, 도 2 및 도 3에서와 같이 제3이송플레이트(213)를 감싸도록 제2풀리 배치공간부(213a)에 브라켓(273)을 개재하여 연결된 한 쌍의 제2풀리(272)에 권취되며, 한 쌍의 제2벨트 고정블럭(271)이 폐곡선을 이루어는 제2수평 이송벨트(270)의 상측과 하측에 각각 연결된다. 제2수평 이송벨트(270)의 하측에 연결된 제3이송플레이트(213)의 상측과 연결되며, 제2수평 이송벨트(270)의 상측에 연결된 제2벨트 고정블럭(271)은 제4이송플레이트(214)의 일측 즉, 제4이송플레이트(214)의 하측에 연결되는 슬라이드 블록(214a)의 하측과 연결되어 제2수평 이송벨트(270)가 제3이송플레이트(213)을 감싸도록 한 쌍의 제2풀리(272)에 권취된다. 즉, 제1수평 이송벨트(260)는 제3이송플레이트(213)를 감싸도록 제2풀리 배치공간부(213a)에 브라켓(267)을 개재하여 연결된 한 쌍의 제2풀리(272)에 권취되며, 제2이송플레이트(212)의 상측과 제4이송플레이트(214)의 일측에 연결된 한 쌍의 제2벨트 고정블럭(271)에 연결되어 회전구동원(280)에 의해 회동됨에 의해 제3이송플레이트(213)를 기준으로 제2이송플레이트(212)와 제4이송플레이트(214)가 서로 상대 이송되도록 한다.A timing belt is used for the second horizontal conveyance belt 270 and a second pulley arrangement space 213a is provided with a bracket 273 interposed therebetween so as to surround the third conveyance plate 213 as shown in FIGS. And a pair of second belt fixing blocks 271 are connected to the upper side and the lower side of the second horizontal conveyance belt 270 which forms a closed curve, respectively. The second belt fixing block 271 connected to the upper side of the third transfer plate 213 connected to the lower side of the second horizontal transfer belt 270 and connected to the upper side of the second horizontal transfer belt 270, The second horizontal transport belt 270 is connected to a lower side of the slide block 214a connected to one side of the fourth transport plate 214, that is, the lower side of the fourth transport plate 214, Of the second pulley 272. That is, the first horizontal conveyance belt 260 is wound around a pair of second pulleys 272 connected to the second pulley disposition space 213a through the bracket 267 so as to surround the third conveyance plate 213 And is connected to a pair of second belt fixing blocks 271 connected to the upper side of the second transfer plate 212 and one side of the fourth transfer plate 214 and rotated by the rotation driving source 280, So that the second transfer plate 212 and the fourth transfer plate 214 are transported relative to each other with respect to the plate 213.

회전구동원(280)은 회전 모터가 사용되며, 회전모터는 제2이송플레이트(212)의 제1풀리 배치공간부(212a)에 회전되도록 연결된 제1풀리(262)에 연결되어 제1풀리(262)를 회전시킴에 의해 제1수평 이송벨트(260)을 회동시키며, 제1수평 이송벨트(260)의 회동에 의해 제3이송플레이트(213) 이송시켜 제2수평 이송벨트(270)가 회동되도록 하여 이송플레이트부(210)의 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)와 제4이송플레이트(214)가 리니어모션 가이드(220,230,240)에 가이드되어 서로 상대 이송되도록 한다. 즉, 회전구동원(280)은 제1수평 이송벨트(260)을 회동시킴에 의해 다수개의 리니어모션 가이드(220,230,240)을 기준으로 이송플레이트부(210)의 제1이송플레이트(211)와 제2이송플레이트(212)와 제3이송플레이트(213)와 제4이송플레이트(214)가 리니어모션 가이드(220,230,240)에 가이드되어 서로 상대 이송되도록 한다. The rotary drive source 280 is a rotary motor and the rotary motor is connected to a first pulley 262 connected to rotate in the first pulley disposition space 212a of the second transfer plate 212, So that the second horizontal conveyance belt 260 is rotated by the rotation of the first horizontal conveyance belt 260 and the third conveyance plate 213 is conveyed by the rotation of the first horizontal conveyance belt 260 The first transfer plate 211, the second transfer plate 212, the third transfer plate 213 and the fourth transfer plate 214 of the transfer plate unit 210 are guided by the linear motion guides 220, 230, Relative transport. That is, the rotation driving source 280 rotates the first horizontal conveying belt 260 to rotate the first conveying plate 211 of the conveying plate unit 210 and the second conveying plate 210 of the conveying plate unit 210, with respect to the plurality of linear motion guides 220, 230, The plate 212, the third transfer plate 213, and the fourth transfer plate 214 are guided by the linear motion guides 220, 230 and 240 so that they are relatively transferred to each other.

상기 구성을 갖는 본 발명의 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛의 동작을 설명하면 다음과 같다.Operation of the slide unit of the hoist transfer apparatus of the present invention having the above-described structure will be described below.

본 발명의 슬라이드 유닛(200)이 적용된 호이스트 이송장치는 도 1 및 도 8에서와 같이 주행유닛(100), 슬라이드 유닛(200), 호이스트(300), 그립퍼 유닛(400), 안티 드롭 유닛(anti drop unit)(500) 및 제어기(600)로 이루어진다. The hoist transfer apparatus to which the slide unit 200 of the present invention is applied is constituted by a traveling unit 100, a slide unit 200, a hoist 300, a gripper unit 400, an anti-drop unit drop unit 500 and a controller 600.

주행유닛(100)는 천정에 고정 배치된 선로(110)를 따라 이동되도록 배치되며, 슬라이드 유닛(200), 호이스트(300), 그립퍼 유닛(400), 안티 드롭 유닛(anti drop unit)(500) 및 제어기(600)는 각각 프레임 유닛(120)의 내측에 배치되어 반송물(도시 않음)을 파지하기 위해 수평방향이나 수직방향으로 그립퍼 유닛(400)을 이송시킨다. 즉, 그립퍼 유닛(400)은 호이스트(300)에 구비되는 수직이송 벨트(310), 샤프트(320) 및 드럼(330)에 의해 수직방향으로 승하강되며, 슬라이드 유닛(200)에 의해 수평방향으로 반송물을 파지하게 된다. 이러한 전반적인 제어는 제어기(600)에 의해 제어되며, 그립퍼 유닛(400)이 반송물을 파지하면 안티 드롭 유닛(500)은 반송물의 하측을 파지하여 반송물이 주행유닛(100)에 의해 선로를 따라 안정되게 이송되도록 한다. 여기서, 반송물은 로드 포트(140)에 위치된 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등이 사용된다.The traveling unit 100 is disposed to move along a line 110 fixedly disposed on the ceiling and includes a slide unit 200, a hoist 300, a gripper unit 400, an anti drop unit 500, And the controller 600 are disposed inside the frame unit 120 to transport the gripper unit 400 in the horizontal direction or the vertical direction so as to grasp a transported object (not shown). That is, the gripper unit 400 is vertically moved up and down by the vertical transfer belt 310, the shaft 320 and the drum 330 provided in the hoist 300, and is horizontally moved by the slide unit 200 Thereby gripping the transported object. This overall control is controlled by the controller 600. When the gripper unit 400 grasps the transported object, the anti-drop unit 500 grasps the lower side of the transported object and the transported object is stably transported along the railway by the travel unit 100 . Here, a FOUP (Front Opening Unified Pod) or the like located in the load port 140 is used as the transported object.

반송물을 파지하는 그립퍼 유닛(400)을 수평방향으로 이송시키는 슬라이드 유닛(200)는 도 4에 도시된 바와 같이 제4이송플레이트(214)가 상측에 설치되는 한 쌍의 슬라이드 블록(214a)의 중심(C)을 기준으로 도 5 및 도 6에 각각 도시된 화살표방향(C1,C2)으로 이송하게 된다. As shown in FIG. 4, the slide unit 200 for horizontally conveying the gripper unit 400 holding the transported object is configured such that the center of a pair of slide blocks 214a provided on the upper side of the fourth transfer plate 214 (C1, C2) shown in Figs. 5 and 6, respectively, on the basis of the reference mark C as shown in Fig.

도 4에 도시된 슬라이드 유닛(200)은 제1이송플레이트(211), 제2이송플레이트(212) 및 제3이송플레이트(213)가 이송되지 않은 상태를 나타내며, 도 5에 도시된 슬라이드 유닛(200)은 제1이송플레이트(211), 제2이송플레이트(212) 및 제3이송플레이트(213)를 화살표(C1) 방향으로 이송시킨 상태를 나타낸다. 제1이송플레이트(211), 제2이송플레이트(212) 및 제3이송플레이트(213)를 서로 상대 이송시켜 화살표(C1) 방향으로 이송시키기 위해 먼저, 회전구동원(280)을 구동시켜 시계방향으로 회전되는 회전력을 발생시키면 이 회전력이 회전구동원(280)에 연결된 제1풀리(261)에 전달된다. 제1풀리(261)는 회전력이 전달되면 전달된 회전력에 의해 제1수평이송벨트(260)를 시계방향으로 회동시킨다. 4 shows a state in which the first transfer plate 211, the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 are not fed, and the slide unit 200 shown in FIG. 200 shows a state in which the first transfer plate 211, the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 are fed in the direction of the arrow C1. In order to transport the first transfer plate 211, the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 relative to each other in the direction of the arrow C1, the rotation driving source 280 is first driven to rotate in the clockwise direction The rotation force is transmitted to the first pulley 261 connected to the rotation driving source 280. [ The first pulley 261 rotates the first horizontal conveyance belt 260 in a clockwise direction by a transmitted rotational force when a rotational force is transmitted.

제1수평이송벨트(260)가 시계방향으로 회동되면 상대적으로 제2수평이송벨트(270)는 시계반대방향으로 회동하게 된다. 제1수평이송벨트(260)가 시계방향으로 회동되고 제2수평이송벨트(270)가 시계반대방향으로 회동되면 제4이송플레이트(214)가 주행유닛(100)에 고정된 상태인 경우에 제1이송플레이트(211), 제2이송플레이트(212) 및 제3이송플레이트(213)는 각각 제1리니어모션 가이드(220), 제2리니어모션 가이드(230) 및 제3리니어모션 가이드(240)에 의해 가이드되어 서로 상대 이송됨에 의해 도 5에 도시된 상태로 이송된다. When the first horizontal conveyance belt 260 is rotated in the clockwise direction, the second horizontal conveyance belt 270 relatively rotates counterclockwise. When the first horizontal conveyance belt 260 is rotated in the clockwise direction and the second horizontal conveyance belt 270 is rotated in the counterclockwise direction and the fourth conveyance plate 214 is fixed to the drive unit 100, 1 transfer plate 211, the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 are connected to the first linear motion guide 220, the second linear motion guide 230 and the third linear motion guide 240, And is transported to the state shown in Fig. 5 by being transported relative to each other.

도 5에 도시된 슬라이드 유닛(200)는 반송물을 파지하는 그립퍼(400)를 화살표(C2) 방향으로 이송시키기 위해 회전구동원(280)을 시계반대방향으로 회전시킨다. 회전구동원(280)이 시계반대방향으로 회전되면 이 회전력이 다시 제1풀리(261)로 전달되어 제1풀리(261)에 권취된 제1수평이송벨트(260)가 시계반대방향으로 회동된다. 제1수평이송벨트(260)가 시계반대방향으로 회동되면 제2수평이송벨트(270)는 시계방향으로 회동하게 된다. 제1수평이송벨트(260)가 시계반대방향으로 회동되고 제2수평이송벨트(270)가 시계방향으로 회동되면 제4이송플레이트(214)가 주행유닛(100)에 고정된 상태인 경우에 제1이송플레이트(211), 제2이송플레이트(212) 및 제3이송플레이트(213)는 각각 제1리니어모션 가이드(220), 제2리니어모션 가이드(230) 및 제3리니어모션 가이드(240)에 의해 가이드되어 서로 상대 이송됨에 의해 도 6에 도시된 상태로 이송된다. The slide unit 200 shown in Fig. 5 rotates the rotation driving source 280 in the counterclockwise direction so as to feed the gripper 400 holding the transported object in the direction of the arrow C2. When the rotation driving source 280 is rotated counterclockwise, the rotation force is transmitted to the first pulley 261 so that the first horizontal conveyance belt 260 wound on the first pulley 261 is rotated counterclockwise. When the first horizontal conveyance belt 260 is rotated counterclockwise, the second horizontal conveyance belt 270 rotates clockwise. When the first horizontal conveyance belt 260 is rotated in the counterclockwise direction and the second horizontal conveyance belt 270 is rotated in the clockwise direction and the fourth conveyance plate 214 is fixed to the drive unit 100, 1 transfer plate 211, the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 are connected to the first linear motion guide 220, the second linear motion guide 230 and the third linear motion guide 240, And is transported to the state shown in Fig. 6 by being transported relative to each other.

이와 같이 본 발명의 슬라이드 유닛(200)은 제2이송플레이트(212)나 제3이송플레이트(213)를 감싸도록 제1수평이송벨트(260)나 제2수평이송벨트(270)를 배치함에 의해 도 5나 도 6에 도시된 바와 같이 제2이송플레이트(212) 및 제3이송플레이트(213)의 길이에 비례하여 스트로크 이송 거리를 최대로 구현할 수 있다. The slide unit 200 of the present invention can be manufactured by disposing the first horizontal conveyance belt 260 or the second horizontal conveyance belt 270 so as to surround the second conveyance plate 212 and the third conveyance plate 213 The stroke transfer distance can be maximized in proportion to the lengths of the second transfer plate 212 and the third transfer plate 213 as shown in FIG. 5 and FIG.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛은 이송플레이트의 일측과 타측의 끝단으로 연장되어 위치되도록 수평이송벨트를 배치함에 의해 이송플레이트 사이의 상대 이송거리를 극대화시킬 수 있으며, 제1이송플레이트의 길이를 줄임과 아울러 제2이송플레이트에 스톱퍼 지지공간부를 형성하여 각각의 하중을 줄임으로써 제1이송플레이트의 선단으로 집중되는 하중을 줄여 ? 발생을 방지함에 의해 호이스트와 수직이송벨트로 연결되는 그립퍼를 안전하게 슬라이딩시켜 이송시킬 수 있다.As described above, the slide unit of the overhead hoist transporting apparatus of the present invention can maximize the relative transporting distance between the transporting plates by disposing the horizontal transporting belt so as to extend to one end and the other end of the transporting plate, The length of the first conveyance plate is reduced and the stopper support space is formed in the second conveyance plate to reduce the load applied to the tip of the first conveyance plate. It is possible to safely slide and transfer the gripper connected to the vertical conveying belt by the hoist.

본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 슬라이드 유닛은 반도체 소자나 평판 디스플레이 제조 산업 분야에 적용할 수 있다.The slide unit of the overhead hoist transfer device of the present invention is applicable to the semiconductor device or the flat panel display manufacturing industry.

100: 주행유닛 200: 슬라이드 유닛
210: 이송플레이트부 211: 제1이송플레이트
212: 제2이송플레이트 213: 제3이송플레이트
214: 제4이송플레이트 220: 제1리니어모션 가이드
230: 제2리니어모션 가이드 240: 제4리니어모션 가이드
250: 스톱퍼 251: 도그 센서
260: 제1수평 이송벨트 261: 제1벨트 고정블럭
262: 제1풀리 263: 브라켓
270: 제2수평 이송벨트 271: 제2벨트 고정블럭
272: 제2풀리 273: 브라켓
280: 회전구동원 300: 호이스트
400: 그립퍼 500: 안티 드롭 유닛 100: driving unit 200: slide unit
210: transfer plate portion 211: first transfer plate
212: second transfer plate 213: third transfer plate
214: fourth transfer plate 220: first linear motion guide
230: second linear motion guide 240: fourth linear motion guide
250: Stopper 251: Dog sensor
260: first horizontal conveying belt 261: first belt fixing block
262: first pulley 263: bracket
270: second horizontal conveyance belt 271: second belt fixing block
272: second pulley 273: bracket
280: rotation driving source 300: hoist
400: gripper 500: anti-drop unit

Claims

A transfer plate portion in which the first transfer plate, the second transfer plate, the third transfer plate, and the fourth transfer plate are arranged in a vertical direction;
A first moving block connected to be fixed on the upper side of the first transfer plate and a first linear motion rail connected to the lower side of the second transfer plate so that the first moving block is guided and moved, A second moving block connected to be fixed on the upper side of the second transfer plate and a second moving block connected to the lower side of the third transfer plate so that the second moving block is guided and moved, A second linear motion guide having a second linear motion rail connected to the fourth transfer plate and guiding relative movement between the second transfer plate and the third transfer plate, a third moving block connected to be fixed to the fourth transfer plate, And a third linear motion rail connected to the upper side of the third transfer plate so that the third transfer block is guided and moved. A plurality of linear motion guides made up of a third linear motion guide for guiding a song;
A pair of stoppers which are spaced apart from each other above the second transfer plate and support one side and the other side of the third transfer plate to regulate the transfer distance of the third transfer plate;
A pair of first belt fixing blocks connected to the upper side of the first conveyance plate and a lower side of the third conveyance plate respectively and rotated so as to be respectively rotated at one end and the other end of the second conveyance plate, A first horizontal conveyance belt wound to be rotated on the pulley;
A pair of second belt fixing blocks connected to the upper side of the second conveyance plate and one side of the fourth conveyance plate respectively and rotated to one side and the other side of the third conveyance plate, A second horizontal conveyance belt wound to rotate on the pulley;
The first horizontal transport belt is connected to the first horizontal transport belt by a first pulley so as to rotate the first horizontal transport belt and to transport the third transport plate to rotate the second horizontal transport belt so that the first transport plate and the second transport And a rotary drive source for allowing the plate, the third transfer plate and the fourth transfer plate to be guided by the linear motion guide and to be relatively transferred with respect to each other.

[2] The apparatus of claim 1, wherein the transport plate portion comprises: a first transport plate having a hoist connected to a gripper and a vertical transport belt disposed on a lower side;
A second transfer plate disposed on the upper side of the first transfer plate and having a pair of first pulley arrangement space portions formed at one end and the other end, respectively;
A third transfer plate disposed above the second transfer plate and having a pair of second pulley arrangement space portions at one end and the other end, respectively;
And a fourth transport plate disposed above the third transport plate and connected to the traveling unit and transported by the transport unit,
Wherein the pair of first pulley arrangement space portions are connected to rotate the first pulley through brackets respectively and the pair of second pulley arrangement space portions are connected to rotate the second pulley through brackets, The slide unit of the overhead hoist transport device.

The apparatus according to claim 2, wherein a length (L1) of the first transfer plate is smaller than a length (L2) of the second transfer plate and is greater than a length (L3) of a first moving block of the first linear motion guide , The first linear motion guide comprises a first moving block and a first linear motion rail guided by the first moving block, and the first moving block is connected to an upper side of the first transfer plate Slide unit of overhead hoist transport device.

[3] The apparatus as claimed in claim 2, wherein the first transfer plate is provided with a transfer roller at one side and the other side, the transfer roller is connected to one end or the other end of the first transfer plate, And a pair of rollers connected to the roller connecting member so as to be rotatable, the pair of rollers connecting the roller connecting member and the roller connecting member.

[3] The apparatus as claimed in claim 2, wherein the third transfer plate is formed with a stopper support space portion having an open end at one side so as to be limited by the distance between the pair of stoppers, Of the overhead hoist transport device.

3. The apparatus of claim 2, wherein a dog sensor is provided between the second transfer plate and the third transfer plate, and the dog sensor is disposed on the other side of the third transfer plate, And an optical sensor for sensing the dog.

delete

2. The apparatus of claim 1, wherein the first horizontal conveyance belt is wound on a pair of first pulleys connected to a first pulley arrangement space through a bracket so as to surround the second conveyance plate, And the pair of first belt fixing blocks connected to the lower side of the third transfer plate and rotated by the rotation driving source, the first transfer plate and the third transfer plate are moved relative to each other with reference to the second transfer plate, Of the slide unit (10).

The apparatus of claim 1, wherein the second horizontal conveyance belt is wound around a pair of second pulleys connected to a second pulley arrangement space through brackets so as to surround the third conveyance plate, And a pair of second belt fixing blocks connected to one side of the fourth transfer plate. The second transfer plate and the fourth transfer plate are rotatably supported by the third transfer plate, So as to be relatively moved with respect to each other.

The slide unit of the overhead hoist transporting apparatus according to claim 1, wherein the rotary drive source is a rotary motor.