KR101544285B1 - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치 - Google Patents

Abstract

기판 검사 장치에 있어서, 상기 장치는 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들과, 상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈과, 상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치{Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same}

본 발명의 실시예들은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판을 이송하는 장치와 상기 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 결함을 검출하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 검사 공정이 수행될 수 있다.

상기 검사 공정에서는 상기 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛이 사용될 수 있으며 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 아래에서 수평 방향으로 이송될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-0765124호에는 제1 및 제2 부상 플레이트들과, 상기 제1 및 제2 부상 플레이트들 사이에 배치되어 글라스의 양측 단부들을 각각 파지하는 그리퍼들 및 상기 그리퍼들을 이동시키는 구동부를 포함하는 글라스 반송 장치가 개시되어 있다.

상기와 같은 글라스 반송 장치에서 상기 그리퍼들은 스테이지 상에 일체로 형성된 지지플레이트의 일측면 및 타측면에 장착되며 상기 글라스의 중심 부분 일단 및 타단을 진공 흡착하도록 구성되고 있다.

한편, 상기 글라스 반송 장치 상으로 이송된 기판은 상기 검사 공정을 수행하기 이전에 기 설정된 위치에 정렬될 필요가 있다. 그러나, 상기 기판을 정렬하는 단계를 수행하는 경우 별도의 정렬 시간이 추가적으로 소요되므로 상기 기판 검사 공정을 수행하는데 소요되는 시간이 증가될 수 있다.

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로 기판의 정렬에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 제1 목적이 있다.

본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 기판 이송 장치를 포함하는 기판 검사 장치를 제공하는데 제2 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들과, 상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 정렬 유닛은 상기 기판의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 각각의 정렬 유닛은 상기 정렬 롤러가 회전 가능하게 장착되는 정렬축과, 상기 정렬축이 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입되는 가이드 홀이 구비된 프레임과, 상기 정렬 롤러와 상기 프레임 사이에 배치되며 상기 정렬 롤러가 수직 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 홀에는 부싱이 삽입되며 상기 정렬축은 상기 부싱에 삽입될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 탄성 부재로는 상기 정렬축을 감싸도록 배치된 코일 스프링이 사용될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 각각의 정렬 유닛은 상기 프레임과 연결되어 상기 정렬 롤러를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 정렬 구동부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 부상 모듈에는 상기 정렬 유닛들 중 일부가 통과되는 복수의 제2 개구들이 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 모듈은 이송 패널과, 상기 이송 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척과, 상기 이송 패널을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함할 수 있으며, 상기 이송 패널은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에서 길게 연장할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기판 검사 장치는 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들과, 상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈과, 상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 서포트 롤러들이 에어 부상 모듈의 제1 개구를 통해 상방으로 돌출된 상태에서 기판이 상기 서포트 롤러들 상으로 이동될 수 있으며, 이어서 수직 구동부에 의해 상기 서포트 롤러들이 하강함에 따라 상기 기판이 상기 에어 부상 모듈 상에 위치될 수 있다.

특히, 상기 기판이 상기 에어 부상 모듈 상으로 하강되는 동안 정렬 유닛들은 상기 기판의 측면들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판을 정렬시킬 수 있다. 한편, 상기 정렬 유닛들의 정렬 롤러들이 상기 기판의 측면들에 모두 밀착되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들이 하방으로 점차 감소되는 직경을 가지므로 상기 기판과 상기 정렬 롤러들 사이에서 마찰 저항이 발생되지 않으며, 이에 따라 상기 기판의 안정적이 하강 및 정렬이 가능하다.

상기한 바와 같이 상기 기판의 정렬이 상기 에어 부상 모듈 상으로 상기 기판이 로드되는 동안에 수행될 수 있으므로 상기 기판의 정렬을 위한 별도의 시간이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 기판에 대한 검사 공정에 소요되는 시간이 전체적으로 크게 감소될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈을 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6은 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈을 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(100)는 디스플레이 제조 공정에서 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 에어 부상 모듈(110)과, 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈(120) 및 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이동되는 상기 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈(190)을 포함할 수 있다.

상기 에어 부상 모듈(110)은 베이스 플레이트(102) 상에 배치될 수 있으며 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 각각은 상기 기판(10)의 이송 방향(도 1에 도시된 화살표 방향)으로 연장하는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부면에는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들이 구비될 수 있다.

상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 베이스 플레이트(102) 상에서 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 상에서 부상된 기판(10)을 상기 이송 방향으로 이동시킬 수 있다.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 2를 참조하면, 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에서 상기 기판(10)의 이송 방향으로 연장하는 이송 패널(122)과, 상기 이송 패널(122) 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척(124, 126)과, 상기 이송 패널(122)을 상기 기판 이송 방향으로 수평 이동시키는 수평 구동부(128)를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 패널(122)은 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 길게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(128)는 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되는 가동 블록과, 회전력을 제공하는 모터와, 상기 모터에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루의 회전에 의해 수평 방향으로 이동되는 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 이송 패널(122)은 상기 가동 블록 상에 장착되어 상기 선형 가이드 레일을 따라 안내되고 상기 볼 너트와 결합될 수 있다. 그러나, 상기와 같은 수평 구동부(128)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 상기 수평 구동부(128)의 세부 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

또한 일 예로서, 상기 이송 패널(122) 상에는 상기 부상된 기판(10)의 전방측 하면 부위를 파지하는 제1 진공척(124)과 상기 부상된 기판(10)의 후방측 하면 부위를 파지하는 제2 진공척(126)이 배치될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 진공척들(124, 126)은 진공 펌프 등을 포함하는 진공 모듈(미도시)과 연결될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(124, 126)의 상부에는 상기 기판(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비될 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 모듈(190)은 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이송되는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위한 적어도 하나의 스캔 카메라(192)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 3개의 스캔 카메라(192)가 구비되고 있으나 상기 스캔 카메라(192)의 개수는 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

상기 스캔 카메라(192)는 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부에서 상기 기판(10)의 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 브리지 구조물(194)에 장착될 수 있으며, 상기 브리지 구조물(194)의 길이 방향 즉 상기 기판(10)의 이송 방향에 직교하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판(10)은 상기 검사 공정을 수행하는 동안 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 왕복 이동될 수 있으며, 상기 스캔 카메라(192)는 상기 브리지 구조물(194) 상에서 그 위치가 조절될 수 있다.

한편, 도시되지는 않았으나, 상기 기판(10)은 상기 기판(10)의 이송 방향으로 상기 기판 검사 장치(100)와 인접하게 배치되는 기판 이송 롤러들(미도시)에 의해 상기 에어 부상 모듈(110) 상으로 이송될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)에는 제1 개구들(116)이 구비될 수 있으며, 상기 제1 개구들(116) 내에는 상기 기판 이송 롤러들에 의해 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부로 이송되는 기판(10)을 지지하기 위한 복수의 서포트 롤러들(130)이 배치될 수 있다.

또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 서포트 롤러들(130)은 상기 제1 개구들(116) 내에서 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 검사 장치(100)는 상기 서포트 롤러들(130) 상에 지지된 기판(10)을 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들(130)을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부(132; 도 3 참조)를 포함할 수 있다.

일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수직 구동부(132)로는 공압 실린더가 사용될 수 있다. 그러나, 상기 수직 구동부(132)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수직 구동부(132)에 의해 상기 서포트 롤러들(130) 상에 지지된 기판(10)이 하강되는 동안 상기 기판(10)을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 복수의 정렬 유닛들(140)이 구비될 수 있다. 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)이 하강되는 동안 상기 기판(10)의 중심을 향하여 상기 기판(10)의 측면들을 밀어주는 기능을 수행할 수 있으며, 이에 의해 상기 기판(10)이 상기 기 설정된 위치에 정렬될 수 있다.

상기와 같은 기판(10)의 정렬 단계는 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 위치되는 과정에서 수행되므로 상기 기판(10)의 정렬을 위한 별도의 시간이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 기판(10)의 검사에 소요되는 전체 시간이 크게 단축될 수 있다.

도 3은 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 3을 참조하면, 상기 각각의 정렬 유닛(140)은 상기 기판(10)의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러(142)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 각각의 정렬 유닛들(140)은 상기 정렬 롤러(142)가 회전 가능하게 장착되는 정렬축(144)과, 상기 정렬축(144)이 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입되는 가이드 홀이 구비된 프레임(146)과, 상기 정렬 롤러(142)와 프레임(146) 사이에 배치되며 상기 정렬 롤러(142)가 상기 프레임(146)에 대하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 탄성 부재(148)를 포함할 수 있다.

예를 들면, 상기 정렬 롤러(142)의 하부 직경은 상기 정렬 롤러(142)의 상부 직경보다 수 mm 정도 작게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 정렬 롤러(142)의 하부 직경은 상기 정렬 롤러(142)의 상부 직경보다 약 1 mm 정도 작게 구성될 수 있다.

또한, 상기 정렬 롤러(142)는 베어링(150)을 통하여 상기 정렬축(144)에 회전 가능하게 장착될 수 있으며, 상기 프레임(146)의 가이드 홀에는 상기 정렬축(144)을 수직 방향으로 안내하는 부싱(152)이 삽입될 수 있다. 상기 부싱(152)에 삽입된 정렬축(144)은 상기 부싱(152) 내에서 수직 방향으로 이동될 수 있다. 특히, 상기 부싱(152)은 상기 정렬축(144)의 수직 방향 이동만을 허용하고 수평 방향으로의 흔들림 등을 방지하기 위하여 사용될 수 있다.

상기 탄성 부재(148)로는 상기 정렬축(144)을 감싸도록 배치된 코일 스프링이 사용될 수 있으며, 상기 정렬축(144)의 하단부에는 상기 탄성 부재(148)의 탄성 복원력에 의한 상기 정렬축(144)의 상승을 제한하기 위한 스토퍼(154)가 결합될 수 있다.

상기 각각의 정렬 유닛(140)은 상기 정렬 롤러(142)를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 정렬 구동부(160)를 포함할 수 있다. 상기 정렬 구동부(160)는 도시된 바와 같이 수평 방향 및 수직 방향 각각의 구동을 위한 수평 정렬 구동부(162)와 수직 정렬 구동부(164)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 수평 및 수직 정렬 구동부들(162, 164)은 각각 공압 실린더로 이루어질 수 있으나, 상기 수평 및 수직 정렬 구동부들(162, 164)의 세부 구성은 다양하게 변경될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

한편, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)에는 상기 정렬 유닛들(140) 중 일부가 통과되는 제2 개구들(118)이 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 개구들(118)은 상기 정렬 유닛들(140) 중에서 상기 기판(10)의 전방 측면에 대응하는 정렬 유닛들(140)을 수직 방향으로 통과시키기 위하여 사용될 수 있다.

도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 기판(10)이 상기 서포트 롤러들(130) 상에 로드된 후 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)을 정렬하기 위하여 상기 기판(10)의 측면들을 향하여 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 수직 구동부(130)는 상기 에어 부상 모듈(10) 상에 상기 기판(10)을 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들(130)을 하강시킬 수 있다.

상기 정렬 유닛들(140)의 정렬 롤러들(142)은 상기 기판(10)의 측면들에 밀착될 수 있으며 도 5에 도시된 바와 같이 상기 기판(10)의 자중에 의해 상기 기판(10)과 함께 하강될 수 있다. 특히, 상기 기판(10)의 정렬 및 상기 기판(10)의 하강은 동시에 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 정렬에 별도의 시간이 요구되지 않는다.

상기와 같이 기판(10)의 정렬 및 하강이 완료된 후 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)으로부터 멀어지는 방향으로 각각 수평 이동될 수 있으며, 이어서 상기 기판(10)의 이송에 간섭되지 않도록 수직 하방으로 이동될 수 있다.

도 6은 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.

도 6을 참조하면, 상기 기판(10)이 상기 서포트 롤러들(130) 상으로 이동된 후 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)의 측면들을 향하여 수평 이동될 수 있다. 그러나, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 정렬 유닛들(140) 중 일부가 나머지 정렬 유닛들(140)보다 먼저 상기 기판(10)의 측면에 밀착될 수 있다.

이때, 상기 정렬 유닛들(140)의 수평 이동과 대략 동시에 상기 서포트 롤러들(130)이 상기 수직 구동부(132)에 의해 하강될 수 있다. 이 경우 상기 기판(10)은 자중에 의해 하강될 수 있으나, 상기 기판(10)의 측면들이 모두 상기 정렬 롤러들(142)에 밀착된 상태가 아니므로 상기 정렬 롤러들(142)은 하강되지 않는다.

한편, 상기와 같이 정렬 롤러들(142)이 하강되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들(142)이 하방으로 점차 감소되는 직경을 가지므로 상기 기판(10)의 측면들과 상기 정렬 롤러들(142)의 외측면 사이에서 마찰 저항이 발생되지 않으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 하강이 안정적으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기와 같이 정렬 롤러들(142)이 하강되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들(142)은 상기 기판(10)의 정렬을 위하여 상기 기판(10)의 측면들을 향하여 수평 이동되는 상태이므로 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 위치되는 동안 즉 상기 기판(10)이 하강되는 동안 상기 기판(10)의 정렬이 완료될 수 있다.

상기와 같이 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 로드된 후 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 기판(10)을 상기 기판의 이송 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 검사 모듈(190)은 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이동되는 상기 기판(10) 상의 결함을 검출할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 서포트 롤러들(130)이 에어 부상 모듈(110)의 제1 개구(116)를 통해 상방으로 돌출된 상태에서 기판(10)이 상기 서포트 롤러들(130) 상으로 이동될 수 있으며, 이어서 수직 구동부(132)에 의해 상기 서포트 롤러들(130)이 하강함에 따라 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈 상에 위치될 수 있다.

특히, 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상으로 하강되는 동안 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)의 측면들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판(10)을 정렬시킬 수 있다. 한편, 상기 정렬 유닛들(140)의 정렬 롤러들(142)이 상기 기판(10)의 측면들에 모두 밀착되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들(142)이 하방으로 점차 감소되는 직경을 가지므로 상기 기판(10)과 상기 정렬 롤러들(142) 사이에서 마찰 저항이 발생되지 않으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 안정적이 하강 및 정렬이 가능하다.

상기한 바와 같이 상기 기판(10)의 정렬이 상기 에어 부상 모듈(110) 상으로 상기 기판(10)이 로드되는 동안에 수행될 수 있으므로 상기 기판(10)의 정렬을 위한 별도의 시간이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 기판(10)에 대한 검사 공정에 소요되는 시간이 전체적으로 크게 감소될 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 기판 100 : 검사 장치
110 : 에어 부상 모듈 112, 114 : 에어 부상 패널
116 : 제1 개구 118 : 제2 개구
120 : 기판 이송 모듈 122 : 이송 패널
124, 126 : 진공척 128 : 수평 구동부
130 : 서포트 롤러 132 : 수직 구동부
140 : 정렬 유닛 142 : 정렬 롤러
144 : 정렬축 146 : 프레임
148 : 탄성 부재 150 : 베어링
152 : 부싱 154 : 스토퍼
160 : 정렬 구동부 190 : 검사 모듈

Claims (10)

1. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
   상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들;
   상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부;
   상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈; 및
   상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함하되,
   각각의 정렬 유닛은 상기 기판의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 각각의 정렬 유닛은,
   상기 정렬 롤러가 회전 가능하게 장착되는 정렬축;
   상기 정렬축이 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입되는 가이드 홀이 구비된 프레임; 및
   상기 정렬 롤러와 상기 프레임 사이에 배치되며 상기 정렬 롤러가 수직 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 가이드 홀에는 부싱이 삽입되며 상기 정렬축은 상기 부싱에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 탄성 부재는 상기 정렬축을 감싸도록 배치된 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
6. 제3항에 있어서, 상기 각각의 정렬 유닛은 상기 프레임과 연결되어 상기 정렬 롤러를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 정렬 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈에는 상기 정렬 유닛들 중 일부가 통과되는 복수의 제2 개구들이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 기판 이송 모듈은,
   이송 패널;
   상기 이송 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척; 및
   상기 이송 패널을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함하며, 상기 이송 패널은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에서 길게 연장하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
10. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
    상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들;
    상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부;
    상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈;
    상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈; 및
    상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함하되,
    각각의 정렬 유닛은 상기 기판의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.

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