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KR101534524B1 - 이송로봇 - Google Patents

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KR101534524B1
KR101534524B1 KR1020130077581A KR20130077581A KR101534524B1 KR 101534524 B1 KR101534524 B1 KR 101534524B1 KR 1020130077581 A KR1020130077581 A KR 1020130077581A KR 20130077581 A KR20130077581 A KR 20130077581A KR 101534524 B1 KR101534524 B1 KR 101534524B1
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KR
South Korea
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driving device
link member
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arm
driving
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KR1020130077581A
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이성직
오영일
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주식회사 나온테크
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Abstract

이송 진공로봇이 개시된다. 이송로봇으로서, 지면으로 부터 상하운동을 하면서 중공으로 형성된 하부 프레임(130)과 상기 하부 프레임(130)을 상하운동으로 이동하도록 구동력을 전달하는 제1 구동장치(110)를 구비하는 하부 몸체(10); 지면으로 돌출되면서 상기 하부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 상부 프레임(210)과 상기 상부 프레임(210)을 회전하도록 돌출 부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제2 구동장치(230)를 구비하는 상부 몸체(20) 지면으로 돌출되면서 상기 상부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 제1 회전축(370)과 상기 제1 회전축(370)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제3 구동장치(390)와 제3 구동장치(390)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(300)을 구비하는 하부핸드(30) 상기 제1 회전축(370)에 삽입되고 지면으로 돌출된 제2 회전축(470)과 상기 제2 회전축(470)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제4 구동장치(490)와 제4 구동장치의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(400)을 구비하는 상부핸드(40)를 포함하는 이송로봇을 제공한다.

Description

이송로봇 {Compact transfer robot}
본 발명은 이송로봇에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 챔버내에 배치되고 공정 챔버와 웨이퍼 등의 기판을 저장하는 공간 사이에서 기판을 이송하는 이송 진공로봇으로서, 핑거를 구비하고 이송정밀도가 높고 회전 반경이 작으면서 챔버 내부에서 차지하는 면적이 컴펙트(compact)한 구조를 갖는 이송로봇에 관한 것이다.
이송로봇에서는, 이송장치의 아암 또는 링크 부재들(linkages) 등을 구동하기 위해서는 다수개의 모터를 이용하여 구동된다. 대한민국 특허 출원번호‘10-2012-0117169’는 본 출원인이 이송 진공로봇 암과 공정 정밀도를 개선하기 위하여 출원하였다. 이송 진공로봇 암의 정밀도가 향상되면서 공정장치의 면적을 작게 하여 공정비용을 줄이는 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 발명에서는 공정장치에 배치되는 이송로봇을 컴펙트하게 구동할 수 있는 이송로봇에 관한 것이다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 공정장치의 면적을 작게 하기 위하여 구동장치가 순차적으로 배치되어 컴펙트한 구동이 가능한 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 공정장치의 면적을 작게 하여 진공상태를 유지하기가 용이함으로써 공정속도를 향상시키는 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 이송로봇으로서, 지면으로부터 상하운동을 하면서 중공으로 형성된 하부 프레임(130)과 상기 하부 프레임(130)을 상하운동으로 이동하도록 구동력을 전달하는 제1 구동장치(110)를 구비하는 하부 몸체(10); 지면으로 돌출되면서 상기 하부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 상부 프레임(210)과 상기 상부 프레임(210)을 회전하도록 돌출 부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제2 구동장치(230)를 구비하는 상부 몸체(20) 지면으로 돌출되면서 상기 상부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 제1 회전축(370)과 상기 제1 회전축(370)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제3 구동장치(390)와 제3 구동장치(390)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(300)을 구비하는 하부핸드(30) 상기 제1 회전축(370)에 삽입되고 지면으로 돌출된 제2 회전축(470)과 상기 제2 회전축(470)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제4 구동장치(490)와 제4 구동장치의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(400)을 구비하는 상부핸드(40)를 포함하는 이송로봇을 제공한다.
본 발며의 바람직한 형태에 따르면, 상기 상부 몸체와 제1 회전축과 제2 회전축이 순차적으로 지면으로 돌출되어 각각을 회전시키는 상기 제2 구동장치, 제3 구동장치, 제4 구동장치가 벨트로 연결되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 구동장치, 제3 구동장치, 제4 구동장치은 상기 하부 프레임(130)의 내부에 배치되는 것이 바람직하다.
또, 다른 형태에 따르면, 전술한 이송로봇으로 구성되는 공정장치를 제공한다.
본 발명에 따른 이송로봇은, 공정장치의 면적을 작게 하기 위하여 이송로봇의 제1,2,3 및 4 구동장치가 순차적으로 배치되어 컴펙트한 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.
또한, 공정장치의 면적을 작게 하여 진공상태를 유지하기가 용이함으로써 공정을 진행하는 단계의 공정속도를 향상시키는 효과가 있다.
도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 단면도.
도 2 는 도 1에 대한 평면도.
도 3은 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제1 예시도.
도 4는 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제2 예시도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 따른 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 상세한 설명은 생략한다. 들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 단면도, 도 2 는 도 1에 대한 평면도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 이송 진공로봇은, 다른 구성요소를 지지하는 하부 몸체(10)와 하부 몸체(10)의 상부에 배치되고 회전운동이 가능한 상부 몸체(20)와 상부 몸체(20)의 상단부에 배치되고 일정거리 이격되어 기판이 안착되는 하부핸드(30)/상부핸드(40)를 포함한다.
하부 몸체(10)는 다른 구성요소들을 지지하며, 지면상에 배치된다. 하부 몸체(10)는 상부 몸체(20)를 상하 이동한다. 하부몸체는 제1 구동장치(110)와 제1 구동장치(110)의 구동에 따라 상부로 이동하는 하부 프레임(130)을 포함한다.
제1 구동장치(110)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치되고 전기로 구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 모터와 연결되는 볼 스크류 축의 구동구간에 따라 하부 프레임(130)을 상부로 이동시킨다. 제1 구동장치(110)는 볼 스크류 축을 따라 직선으로 이동하는 블록을 갖는 것이 바람직하다. 블록은 하부 프레임(130)의 하단부에 연결되는 것이 바람직하다. 제1 구동장치(110)는 하부 프레임(130)을 상승 또는 하강한다. 또한, 제1 구동장치(110)는 하부 프레임(130)과 연결된 상부 몸체(20)와 하부핸드(30)/상부핸드(40)를 상승 또는 하강시킨다.
하부 프레임(130)은 제1 구동장치(110)의 구동에 따라 상승 또는 하강을 한다. 하부 프레임(130)은 볼 스크류 축을 이동하는 블록과 연결되는 것이 바람직하다. 이때, 하부 프레임(130) 상단부에 배치되는 상부 몸체(20)와 상부핸드(40)/ 하부핸드(30)를 상승 또는 하강한다.
하부 프레임(130)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 하부 프레임(130)은 중공형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 하부 프레임(130)의 내부에는 제1 구동장치(110)가 배치되는 것이 좋다. 이는, 이송로봇의 크기를 콤팩트 하게 하기 위함이다.
상부 몸체(20)는 하부 프레임(130)의 상단에 배치되는 상부 프레임(210)과 상부 프레임(210)을 회전시키는 제2 구동장치(230)를 포함한다.
상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)의 상단부에 배치된다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)을 따라 상하 직선운동을 한다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)과 별도로 회전운동을 한다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)의 중공 부로 삽입되어 배치된다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)보다 지면으로 돌출되도록 형성되는 것이 바람직하다. 상부 프레임(210)의 돌출된 부위를 이용하여 제2 구동장치(230)가 연결된다. 이는, 구동장치의 배치로 인한 이송로봇(1)의 크기를 사전에 콤팩트하게 하기 위함이다.
상부 프레임(210)의 하단부에는 제2 구동장치(230)가 연결된다. 상부 프레임(210)은 제2 구동장치(230)의 구동력으로 상부핸드(40)/ 하부핸드(30)를 회전시킨다. 상부 프레임(230)은 제2 구동장치(230)의 정밀한 회전력을 전달하기 위하여 타이밍 벨트를 이용하는 것이 좋다. 이는, 제2 구동장치(230)와 상부 프레임(210)의 구동력 전달방법을 타이밍 벨트로 한정하기 위함은 아니다.
제2 구동장치(230)는 상부 프레임(210)의 하단부에 배치되는 것이 바람직하다. 제2 구동장치(230)는 상부 프레임(210)의 중공축에서 일정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 하부 프레임(130)의 내부에 후술할 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될수 있도록 하기 위함이다. 제2 구동장치(230)는 전기로구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 제2 구동장치(230)는 상부 프레임(210)에서 돌출되는 부위에 풀리가 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 제2 구동장치(230)가 타이밍 벨트를 이용하여 상부 프레임(210)과 연결되기 위함이다.
삭제
도 3은 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제1 예시도, 도 4는 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제2 예시도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 하부핸드(30)/상부핸드(40)는 제3 구동장치(390)와 제4 구동장치(490)와 연결된다. 제1 회전축(370)과 제2 회전축(470)의 구동력을 전달받아 각각 직선운동을 하는 암(300/400)과 암(300/400)으로 직선운동을 하면서 기판(S)을 지지하는 핑거(350)를 포함한다.
상부핸드(40)/하부핸드(30)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(40)/하부 핸드(30)는 상부 몸체(20)의 상단부에 배치된다.
제3 구동장치(390)는 상부 프레임(210)의 하단부에 배치되는 것이 바람직하다. 제3 구동장치(390)는 상부 프레임(210)의 중공축에서 일정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 하부 프레임(130) 내부에 후술할 제4 구동장치(490)를 배치하기 용이하도록 하기 위함이다. 제3 구동장치(390)는 전기로 구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 제3 구동장치(390)는 하부 핸드에 구동력을 전달하기 위하여 제1 회전축과 연결이 용이하도록 풀리가 배치되는 것이 바람직하다. 제3 구동장치(390)는 타이밍 벨트를 이용하여 제1 회전축(370)과 연결되는 것이 바람직하다.
제1 회전축(370)은 암(300)을 회전시켜 직선운동을 하도록 한다. 제1 회전축(370)은 제3 구동장치(370)에서 발생되는 회전력을 구동력 암(310)에 전달해 준다. 제1 회전축(370)은 상부 프레임(210)의 내부에 삽입된다. 제1 회전축(370)과 제2 회전축(470)과 상부 프레임(210)과 하부 프레임(130)은 동일한 중심축을 갖는 것이 바람직하다. 이는, 이송로봇의 동력전달에 따른 부피를 최소화하기 위함이다. 제1 회전축(370)은 구동력 암(310)과 연결된다. 제1 회전축(370)은 중공형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 제1 회전축(370)은 이송로봇의 길이 방향으로 상부 프레임(230)보다는 길게 돌출되는 것이 바람직하다. 제1 회전축(370)과 제3 구동장치(390)이 용이하게 연결되기 위함이다. 이는, 제1 회전축(370)과 제3 구동장치(390)을 타이밍 벨트로 연결 시 제2 구동장치(210)의 간섭을 피하기 위함이다. 제1 회전축(370)은 상부 프레임(230)으로부터 제2 구동장치(210)의 간섭을 피하는 위치까지 돌출되는 것이 바람직하다.
핑거(350)는 기판(S: LCD, LED, 반도체 등)에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거(350)는 기판(S)이 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거(350)은 암(300)으로부터 기판(S)이 안착 시 이동이 용이하도록 흡입구가 배치될 수도 있다.
암(300)은 제1 회전축(370)에 연결한다. 암(300)은 직선운동을 하기위하여 구동력을 전달하는 구동력 암(310)과 구동력 암(310)의 흔들림을 방지하는 보조 암(330)을 포함한다.
삭제
구동력 암(310)은 제3 구동장치(390)의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암(310,410)은 일정길이를 갖는 제1 링크부재(312)와 제1 링크부재(312)에 체결되는 제2 링크부재(316)와 제1 링크부재(312)를 연결하는 반전부재(314)를 포함한다. 제1 링크부재(312)는 제2 링크부재(316)와 길이가 동일하거나 길게 형성되는 것이 바람직하다.
삭제
제1 링크부재(312)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(312)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(312)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(312)의 일측 단부는 제1 회전축(370)과 연결되고 타측 단부는 반전부재(314)가 체결되어 제2 링크부재(316)는 직선운동을 한다. 제1 회전축(370)이 회전을 하면 제1 링크부재(312)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(316)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(312)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(316)는 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 같다.
제2 링크부재(316)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(316)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(316)의 일측 단부는 반전부재(314)를 통해 제1 링크부재(312)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거(450)에 연결된다.
삭제
보조 암(330)은 구동력 암(310)으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암(330)은 구동력 암(310)이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암(330)은 일정길이를 갖는 제3 링크부재(332)와 제3 링크부재(332)에 체결되는 제4 링크부재(336)와 제3 링크부재(332)와 제4 링크부재(336)를 연결하는 제2 반전부재(334)를 포함한다.
삭제
제3 링크부재(332)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(332)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(332)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(332)의 일측 단부는 제1 회전축(370)과 연결되고 타측 단부는 제2 반전부재(334) 체결되어 제4 링크부재(336)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암(310,410)에서 발생되는 구동력으로 보조 암(330)을 직선운동 한다. 이때, 보조 암은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화 한다. 또한, 보조 암(33)은 암(300)의 처짐을 방지한다.
제4 링크부재(336)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(336)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(336)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(336)의 일측 단부는 제2 반전부재(334)를 통해 제4 링크부재(336)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거(350)에 연결된다.
삭제
상부핸드(40)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(40)는 상부 몸체(20)의 상단부에 배치된다.
제4 구동장치(490)는 상부 프레임(210)의 하단부에 배치되는 것이 바람직하다. 제4 구동장치(490)는 상부 프레임(210)의 중공축에서 일정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 제4 구동장치(490)는 전기로 구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 제4 구동장치(490)는 상부 핸드에 구동력을 전달하기 위하여 제2 회전축(470)과 연결이 용이하도록 풀 리가 배치되는 것이 바람직하다. 제4 구동장치(490)는 타이밍 벨트를 이용하여 제2 회전축(470)과 연결되는 것이 바람직하다.
제2 회전축(470)은 암(400)을 회전시켜 직선운동을 하도록 한다. 제2 회전축(470)은 제4 구동장치(470)에서 발생되는 회전력을 구동력 암(410)에 전달해 준다. 제2 회전축(470)은 제1 회전축(370)의 내부에 삽입된다. 제2 회전축(470)은 구동력 암(410)과 연결된다. 제2 회전축(470)은 이송로봇의 길이 방향으로 제1 회전축(370)보다는 길게 돌출되는 것이 바람직하다. 제2 회전축(470)과 제4 구동장치(490)이 용이하게 연결되기 위함이다. 이는, 제2 회전축(470)과 제4 구동장치(490)을 타이밍 벨트로 연결 시 제3 구동장치(310)의 간섭을 피하기 위함이다. 제2 회전축(470)은 제3 구동장치(310)의 간섭을 피하는 위치까지 돌출되는 것이 바람직하다.
핑거는 기판(S: LCD, LED, 반도체 등)에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거는 기판(S)이 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거은 암(400)으로부터 기판(S)이 안착 시 이동이 용이하도록 흡입구가 배치될 수도 있다.
암(400)은 제2 회전축(470)에 연결한다. 암(400)은 직선운동을 하기위하여 구동력을 전달하는 구동력 암(410)과 구동력 암(410)의 흔들림을 방지하는 보조 암(430)을 포함한다.
삭제
구동력 암(410)은 제4 구동장치(490)의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암(410)은 일정길이를 갖는 제1 링크부재(412)와 제1 링크부재(412)에 체결되는 제2 링크부재(416)와 제1 링크부재(412)를 연결하는 반전부재(414)를 포함한다. 제1 링크부재(412)는 제2 링크부재(416)와 길이가 동일하거나 길게 형성되는 것이 바람직하다.
삭제
제1 링크부재(412)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(312)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(312)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(312)의 일측 단부는 제2 회전축(470)과 연결되고 타측 단부는 반전부재(414)가 체결되어 제2 링크부재(416)는 직선운동을 한다. 제2 회전축(470)이 회전을 하면 제1 링크부재(412)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(416)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(412)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(416)는 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 갖다.
제2 링크부재(416)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재(416)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(416)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(416)의 일측 단부는 반전부재(414)를 통해 제1 링크부재(412)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다.
삭제
보조 암(430)은 구동력 암(410)으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암(430)은 구동력 암(410)이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암(430)은 일정길이를 갖는 제3 링크부재(432)와 제3 링크부재(432)에 체결되는 제4 링크부재(436)와 제3 링크부재(432)와 제4 링크부재(436)를 연결하는 제2 반전부재(434)를 포함한다.
삭제
제3 링크부재(432)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(432)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(432)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(432)의 일측 단부는 제2 회전축(470)과 연결되고 타측 단부는 제2 반전부재(434) 체결되어 제4 링크부재(436)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암(,410)에서 발생되는 구동력으로 보조 암(430)을 직선운동 한다. 이때, 보조 암은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화 한다. 또한, 보조 암(430)은 암(400)의 처짐을 방지한다.
제4 링크부재(436)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(436)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(436)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(436)의 일측 단부는 제2 반전부재(434)를 통해 제4 링크부재(436)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거)에 연결된다.
이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 이송로봇
10: 하부 몸체
110: 제1 구동장치 130: 하부 프레임
20: 상부 몸체
210: 상부 프레임 230: 제2 구동장치
30: 하부핸드 40: 상부핸드
300,400: 암
370: 제1 회전축 470: 제2 회전축
390: 제 3구동장치 490: 제 4구동장치

Claims (4)

  1. 이송로봇으로서,
    지면으로부터 상하운동을 하면서 중공으로 형성된 하부 프레임(130)과 상기 하부 프레임(130)을 상하운동으로 이동하도록 구동력을 전달하는 제1 구동장치(110)를 구비하는 하부 몸체(10);
    지면으로 돌출되면서 상기 하부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성되어 상기 하부 프레임(130)을 따라 상하 직선운동을 하고 상기 하부 프레임(130)과 별도로 회전운동을 하는 상부 프레임(210)과 상기 상부 프레임(210)을 회전하도록 돌출 부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제2 구동장치(230)를 구비하는 상부 몸체(20);
    지면으로 돌출되면서 상기 상부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 제1 회전축(370)과 상기 제1 회전축(370)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제3 구동장치(390)와 제3 구동장치(390)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(300)을 구비하는 하부핸드(30); 및
    상기 제1 회전축(370)에 삽입되고 지면으로 돌출된 제2 회전축(470)과 상기 제2 회전축(470)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제4 구동장치(490)와 상기 제4 구동장치(490)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(400)을 구비하는 상부핸드(40);를 포함하고,
    상기 상부 몸체(20)와 제1 회전축(370)과 제2 회전축(470)이 순차적으로 지면으로 돌출되어 각각을 회전시키는 상기 제2 구동장치(230), 제3 구동장치(390), 제4 구동장치(490)와 타이밍 벨트로 각각 연결되며, 상기 제2 구동장치(230)는 상기 상부 프레임(210)의 하단부에 상기 상부 프레임(210)의 중공축과 소정거리 이격되어 배치되고, 상기 제3 구동장치(390)와 제4 구동장치(490)는 상기 하부 프레임(130)의 내부에 배치되며,
    상기 암(300)은 소정 길이를 갖는 제1 링크부재(312)와 상기 제1 링크부재(312)에 체결되는 제2 링크부재(316)로 구성되는 구동력 암(310)을 포함하고, 상기 제1 링크부재(312)는 상기 제2 링크부재(316)와 길이가 동일하거나 길게 형성되며, 상기 제1 링크부재(312)와 상기 제2 링크부재(316)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성되는 이송로봇.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 기재되어 있는 이송로봇으로 구비되는 것을 특징으로 하는 공정장치.
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