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KR101531953B1 - 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치 - Google Patents

휴대용 표면검사 및 전해연마 장치 Download PDF

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KR101531953B1
KR101531953B1 KR1020140166293A KR20140166293A KR101531953B1 KR 101531953 B1 KR101531953 B1 KR 101531953B1 KR 1020140166293 A KR1020140166293 A KR 1020140166293A KR 20140166293 A KR20140166293 A KR 20140166293A KR 101531953 B1 KR101531953 B1 KR 101531953B1
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KR
South Korea
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coupled
electrolytic polishing
slider
housing
probe
Prior art date
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Active
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KR1020140166293A
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English (en)
Inventor
김광호
장희광
지정현
성준호
Original Assignee
(주)프론틱스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

본 발명은, 모터와 제어부가 내장되어 있는 하우징, 모터에 의해 회전하는 스크류축, 스크류축에 결합되는 볼너트가 수용되며 하기 슬라이더에 결합되는 실린더, 상측 단부는 하우징에 결합되고 하측 단부는 베이스 플레이트에 결합되어 고정되는 수개의 가이드부재, 가이드부재가 관통되어 결합되며 모터의 작동시 실린더와 함께 가이드부재를 따라서 상하로 이동되는 슬라이더, 슬라이더에 결합되어 슬라이더와 함께 상하로 이동되는 표면검사기와 전해연마기를 포함하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면 시험 장소에 구애받지 않고 기계, 건설, 화학 등 각종 산업 현장에서 시험 대상물에 표면검사기와 전해연마기를 시험할 수 있게 되어 비용과 공정을 단축시킬 수 있게 되고 또한, 표면검사기와 전해연마기의 설치에 필요한 인력과 시간을 절약할 수 있는 효과가 있게 된다.

Description

휴대용 표면검사 및 전해연마 장치{Portable Apparatus for Surface Inspection and Eletrolytic Polishing}
본 발명은 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 시험 장소에 구애받지 않고 기계, 건설, 화학 등 각종 산업 현장에서 시험 대상물에 표면검사기와 전해연마기를 시험할 수 있게 되어 비용과 공정을 단축할 수 있게 되고 또한, 표면검사기와 전해연마기의 설치에 필요한 인력과 시간을 절약할 수 있는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치에 관한 것이다.
표면검사기는 시험대상물의 표면 조직 상태를 검사하는 것으로 시험대상물의 에칭된 표면 조도 상태나 IC 칩 등의 미세회로 상태, 반도체 표면의 이물질 부착 상태 등을 마이크로 디지털 카메라로 촬영하여 송출하는 장치이다.
그리고, 전해연마기는 전해용액에 용해되는 금속재질의 피가공물을 양극(Anode)으로 하고 전해용액에 불용성인 가공 금속을 음극(Cathode)으로 하여 양극과 음극 사이에 전압을 인가함으로써, 피가공물의 표면에서 전기분해를 일으켜 피가공물의 표면을 연마하는 장치이다.
이와 같은 종래의 표면검사기와 전해연마기는 그 자체의 부피가 크고 무게도 많이 나가기 때문에 시험실의 내부에 고정되어 설치되어 시험되었다.
그리고, 시험을 위해 시험 대상물 자체를 시험실로 이동시켜 시험기에 고정하고 시험하는 것이 일반적이었다.
따라서, 표면검사와 전해연마를 병행하기 위해서는 하나의 시험기에서 시험 공정을 마치고 다시 다른 시험기로 이동시켜서 시험을 수행해야 하는 문제점이 있었다.
또한 기계, 건설, 화학 등의 산업분야에서 설치되는 각종 부품이나 구조물 등은 부피와 무게도 크지만, 현장에서 설치되는 과정에 물성이 변하거나 형상이나 구조 등이 변형된 상태로 설치될 수도 있기 때문에 설치 구조물의 최종 안전성을 확인하기 위해 반드시 설치된 상태에서 시험되어야 하는 문제점이 있다.
특히, 기계, 건설, 화학 등의 산업 현장에서 표면검사와 전해연마를 병행하기에는 각각의 표면검사기와 전해연마기를 설치해야 해서 작업 공정이 늘어나고 인력과 시간이 많이 소비되는 문제점이 있었다.
이러한 배경에서, 본 발명은 시험 장소에 구애받지 않고 기계, 건설, 화학 등 각종 산업 현장에서 시험 대상물에 표면검사기와 전해연마기를 시험할 수 있게 되어 비용과 공정을 단축시킬 수 있는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 시험 장소에 구애받지 않음과 동시에 표면검사기와 전해연마기의 설치에 필요한 인력과 시간을 절약할 수 있는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 모터와 제어부가 내장되어 있는 하우징, 모터에 의해 회전하는 스크류축, 스크류축에 결합되는 볼너트가 수용되며 슬라이더에 결합되는 실린더, 상측 단부는 하우징에 결합되고 하측 단부는 베이스 플레이트에 결합되어 고정되는 수개의 가이드부재, 가이드부재가 관통되어 결합되며 모터의 작동시 실린더와 함께 가이드부재를 따라서 상하로 이동되는 슬라이더, 슬라이더에 결합되어 슬라이더와 함께 상하로 이동되는 표면검사기와 전해연마기를 포함하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명의 실시예에 의하면 시험 장소에 구애받지 않고 기계, 건설, 화학 등 각종 산업 현장에서 시험 대상물에 표면검사기와 전해연마기를 시험할 수 있게 되어 비용과 공정을 단축시킬 수 있는 효과가 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면 표면검사기와 전해연마기의 설치에 필요한 인력과 시간을 절약할 수 있는 효과가 있게 된다.
도 1은 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 사시도;
도 2는 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 정면도;
도 3은 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 측면도;
도 4는 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 사시도;
도 5는 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치 중 일부를 나타내는 분해사시도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 사시도, 도 2는 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 정면도, 도 3은 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 측면도, 도 4는 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치를 나타내는 사시도, 도 5는 본 발명에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치 중 일부를 나타내는 분해사시도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치는 모터와 제어부가 내장되어 있는 하우징(101), 모터에 의해 회전하는 스크류축(109), 스크류축(109)에 결합되는 볼너트(111)가 수용되며 하기 슬라이더(107)에 결합되는 실린더(113), 상측 단부는 하우징(101)에 결합되고 하측 단부는 베이스 플레이트(105)에 결합되어 고정되는 수개의 가이드부재(103), 가이드부재(103)가 관통되어 결합되며 모터의 작동시 실린더(113)와 함께 가이드부재(103)를 따라서 상하로 이동되는 슬라이더(107), 슬라이더(107)에 결합되어 슬라이더(107)와 함께 상하로 이동되는 표면검사기(120)와 전해연마기(130)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 일실시예에 의한 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치는 크게 표면검사기(120), 전해연마기(130), 표면검사기(120)와 전해연마기(130)를 상하로 이동시키며 지지하는 프레임 등으로 이루어지는데, 표면검사기(120)와 전해연마기(130)가 회전하면서 위치가 바뀌고 상하로 이동할 수 있도록 되어 있다.
표면검사기(120)와 전해연마기(130)는 프레임에 의해 지지되어 회전되고 모터에 의해 상하로 이동되는데, 여기서 프레임은 하우징(101), 스크류축(109)과 볼너트(111), 실린더(113), 가이드부재(103), 슬라이더(107), 베이스 플레이트(105)를 포함하여 구성된다.
하우징(101)의 내부에는 스크류축(109)을 구동하는 모터가 내장되어 있고 모터를 작동시키는 스위치, 리미트 센서(115)에 의해 표면검사기(120)와 전해연마기(130)의 상하 이동을 제어하는 회로와 스위치 등의 제어부가 내장되어 있으며 프레임의 상단부에 배치되어 있다.
하우징(101)의 하단부에는 기둥 형상으로 형성되는 수개의 가이드부재(103)가 결합되는데, 스크류축(109)이 가이드부재(103)의 중심부에 위치되도록 하우징(101)의 외곽부에 가이드부재(103)가 평행하게 결합되어 있다.
본 발명의 도면에서는 일례로 4개의 가이드부재(103)가 형성되어 있는 것을 도시하였으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 가이드부재(103)는 적어도 3개 이상이 하우징(101)의 하단부에 수직으로 배치되며 가이드부재(103)가 서로 최대한 이격되게 배치되어 가이드부재(103)의 사이로 스크류축(109)과 실린더(113), 표면검사기(120)와 전해연마기(130)가 배치될 수 있게 형성된다.
그리고, 가이드부재(103)의 반대쪽 단부에는 중심부가 뚫려있는 판형상의 베이스 플레이트(105)가 결합되어 가이드부재(103)를 견고하게 지지하고 있고, 가이드부재(103)의 양측 단부 사이에는 표면검사기(120)와 전해연마기(130)를 상하로 이동시키는 슬라이더(107)가 결합되어 있다.
스크류축(109)은 하우징(101)의 중앙에서 하측으로 배치되어 모터에 의해 구동되어 회전하고 스크류축(109)은 볼너트(111)와 결합되어 회전운동을 직선운동으로 바꿀 수 있게 되어 있고, 볼너트(111)는 슬라이더(107)와 결합된 실린더(113)에 결합되어 있다.
따라서, 모터가 구동되어 스크류축(109)이 회전하면 볼너트(111)가 스크류축(109)을 따라서 상하로 이동하게 되고 볼너트(111)가 결합된 실린더(113)와 슬라이더(107)도 스크류축(109)을 따라서 이동되는데, 슬라이더(107)는 가이드부재(103)가 관통되어 있어서 상하이동시 가이드부재(103)에 지지되면서 가이드되도록 되어 있다.
또한, 실린더(113)의 상단에는 리미트 센서(115)가 결합되고 슬라이더(107)의 상측에 위치한 가이드부재(103)에는 리미트 센서(115)의 상하 이동위치를 정하는 위치부재(115a) 한쌍이 상하 방향으로 이격되게 배치되며 결합되어 표면검사기(120)와 전해연마기(130)의 상하 이동 위치를 제어하여 파손이나 변형을 방지할 수 있게 되어 있다.
표면검사기(120)는 시험대상물의 표면 조직 상태를 검사하는 것으로 시험대상물의 에칭된 표면 조도 상태나 IC 칩 등의 미세회로 상태, 반도체 표면의 이물질 부착 상태 등을 마이크로 디지털 카메라로 촬영하여 송출하게 되는데, 본 발명에 있어서는 주로 압입시험 직전에 시험대상물의 전해연마된 금속 표면을 이미지화 시키는데 이용된다.
이러한 표면검사기(120)에는 디지털 카메라가 내장된 검사헤드부(123)와, 검사헤드부(123)가 결합되며 슬라이더(107)에 결합되는 헤드부하우징(121)이 구비되어 있으며, 검사헤드부(123)에는 마이크로 디지털 카메라의 촬영시 조명을 위한 하이트 LED가 내장되어 있다.
헤드부하우징(121)은 일측면이 절개된 파이프 형상으로 형성되어 있어서 일측에는 검사헤드부(123)가 삽입되어 결합되고 타측은 슬라이더(107)에 결합되어 지지되도록 되어 있으며, 절개된 부위를 통해 검사헤드부(123)의 와이어가 노출될 수 있게 되어 있다.
슬라이더(107)는 납작한 사각 블럭형상으로 형성되며 하단부에는 슬라이더(107)의 하측면에서 연장되며 서로 이격된 한쌍의 허브 플레이트(107a)가 구비되어 있어서 헤드부하우징(121)이 삽입되어 결합된다.
그리고, 헤드부하우징(121)의 단부에는 서로 이격된 허브 플레이트(107a) 사이로 삽입되어 힌지 결합되는 연장플랜지(121a)가 구비되어 있어서 헤드부하우징(121)이 슬라이더(107)에 결합된 상태에서 회전 운동이 가능하게 되어 있다.
즉, 헤드부하우징(121)의 연장플랜지(121a)에는 슬라이더(107)의 허브 플레이트(107a)와 연통되는 힌지홀이 형성되어 헤드부하우징(121)이 허브 플레이트(107a)와 힌지축(107b)으로 결합된다.
따라서, 후술할 전해연마기(130)가 연장플랜지(121a)의 단부에 결합된 상태에서 힌지축(107b)을 기준으로 표면검사기(120)와 전해연마기(130)가 회전할 수 있게 되어 작업자가 필요에 따라서 표면검사기(120)와 전해연마기(130)를 선택하여 작업할 수 있게 되어 있다.
이와 같은 연장플랜지(121a)에는 힌지홀과 이격된 위치에 힌지홀을 중심으로 하는 원호 형상의 가이드홈(121b)이 형성되어 있고 허브 플레이트(107a)에는 연장플랜지(121a)의 가이드홈(121b)과 대응되는 위치에 서로 이격된 위치에 한쌍의 관통홀이 형성되어 있다.
그리고, 허브 플레이트(107a)의 관통홀에는 연장플랜지(121a)의 가이드홈(121b)을 따라서 구름이동하는 볼(107e)이 삽입되고 볼(107e)을 탄성지지하는 탄성체(107d)가 삽입되며, 마지막으로 체결부재(107c)가 탄성체(107d)를 지지하면서 관통홀에 나사 결합되도록 되어 있다.
또한, 가이드홈(121b)의 양측 끝단에는 가이드홈(121b)의 깊이 보다 깊게 형성되는 안착홈(121c)이 형성되어 있어서, 가이드홈(121b)을 따라 구름이동하는 볼(107e)이 양측 끝단의 안착홈(121c)에 안착됨으로써 더 이상 가이드홈(121b)을 벗어난 이동이 되지 않도록 되어 있다.
따라서, 작업자가 표면검사기(120)와 전해연마기(130)를 선택해서 작업할 때, 헤드부하우징(121)을 손으로 회전시키게 되면 탄성체(107d)에 의해 탄성지지되어 안착홈(121c)에 머물던 볼(107e)이 탄성체(107d)를 압축시키면서 가이드홈(121b)을 따라서 이동하게 되고, 이동이 완료되어 반대쪽 안착홈(121c)에 볼(107e)이 삽입되면 다시 탄성체(107d)가 팽창되어 볼(107e)을 지지하게 되므로, 표면검사기(120)와 전해연마기(130)의 위치가 셋팅되게 된다.
즉, 가이드홈(121b)의 양측 안착홈(121c)에 볼(107e)이 머무는 동안에는 탄성체(107d)의 지지력으로 더 이상 볼(107e)이 가이드홈(121b)을 벗어나지 않고 고정되므로 볼(107e)이 양측 안착홈(121c)에 각각 삽입된 위치가 표면검사기(120)와 전해연마기(130)의 셋팅 위치가 되며, 이는 표면검사기(120)와 전해연마기(130)의 중심축이 가이드부재(103)와 평행하게 배치되는 위치가 된다.
또한, 가이드홈(121b)에는 양측 안착홈(121c)에서 가이드홈(121b)의 중간 위치 즉, 가이드홈(121b)을 2등분하는 위치에도 안착홈(121c)이 형성되어 있어서, 표면검사기(120)가 가이드부재(103)와 평행하게 배치되는 위치와 전해연마기(130)가 가이드부재(103)와 평행하게 배치되는 위치 모두 볼(107e)이 안착홈(121c)에 안착될 수 있게 되어 있다.
한편, 전해연마기(130)는 전해용액에 용해되는 금속재질의 피가공물을 양극(Anode)으로 하고 전해용액에 불용성인 가공 금속을 음극(Cathode)으로 하여 양극과 음극 사이에 전압을 인가함으로써, 피가공물의 표면에서 전기분해를 일으켜 피가공물의 표면을 연마하는 장치이다.
이러한 전해연마기(130)는 전극이 내장된 프로브(133)와 프로브(133)가 결합되며 슬라이더(107)에 결합되는 프로브하우징(131)이 구비되어 있으며, 프로브하우징(131)의 단부에는 프로브(133)가 시험대상물을 누르는 하중을 측정하는 로드셀(117)이 장착되어 있어서 연장플랜지(121a)의 단부가 로드셀(117)과 결합된다.
이와 같은 전해연마기(130)는 프로브(133)의 끝단에 전해용액을 흡수하여 피가공물과 프로브(133)를 통전시키는 프로브팁(133a)이 결합될 수 있다.
프로브팁(133a)은 전해용액이 빠르게 흡수될 수 있도록 직물로 형성되며 프로브(133)의 단부를 감싸는 일측이 막힌 골무 형상으로 형성된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 실시예에 의하면 시험 장소에 구애받지 않고 기계, 건설, 화학 등 각종 산업 현장에서 시험 대상물에 표면검사기와 전해연마기를 시험할 수 있게 되어 비용과 공정을 단축시킬 수 있는 효과가 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면 표면검사기와 전해연마기의 설치에 필요한 인력과 시간을 절약할 수 있는 효과가 있게 된다.
이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.
또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
101: 하우징 103: 가이드부재
105: 베이스 플레이트 107: 슬라이더
107a: 허브 플레이트 109: 스크류축
111: 볼너트 113: 실린더
115: 리미트 센서 117: 로드셀
120: 표면검사기 121: 헤드부하우징
121a: 연장플랜지 121b: 가이드홈
121c: 안착홈 123: 검사헤드부
130: 전해연마기 131: 프로브하우징
133: 프로브 133a: 프로브팁

Claims (10)

  1. 모터와 제어부가 내장되어 있는 하우징;
    상기 모터에 의해 회전하는 스크류축;
    상기 스크류축에 결합되는 볼너트가 수용되며 하기 슬라이더에 결합되는 실린더;
    상측 단부는 상기 하우징에 결합되고 하측 단부는 베이스 플레이트에 결합되어 고정되는 수개의 가이드부재;
    상기 가이드부재가 관통되어 결합되며 상기 모터의 작동시 상기 실린더와 함께 상기 가이드부재를 따라서 상하로 이동되는 슬라이더;
    상기 슬라이더에 결합되어 상기 슬라이더와 함께 상하로 이동되는 표면검사기와 전해연마기;
    를 포함하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 실린더의 상단에는 리미트 센서가 결합되고 상기 가이드부재에는 상기 리미트 센서의 상하 이동위치를 정하는 위치부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면검사기는 디지털 카메라가 내장된 검사헤드부와, 상기 검사헤드부가 결합되며 상기 슬라이더에 결합되는 헤드부하우징이 구비되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 슬라이더에는 하측면에서 연장되며 서로 이격된 한쌍의 허브 플레이트가 구비되고 상기 헤드부하우징의 단부에는 상기 허브 플레이트 사이로 삽입되어 힌지 결합되는 연장플랜지가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 연장플랜지에는 상기 허브 플레이트와 연통되는 힌지홀이 형성되어 상기 허브 플레이트와 힌지축으로 결합되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 연장플랜지는 상기 힌지홀과 이격된 위치에 상기 힌지홀을 중심으로 하는 원호 형상의 가이드홈이 형성되고 상기 허브 플레이트에는 상기 가이드홈과 대응되는 위치에 서로 이격된 위치에 한쌍의 관통홀이 형성되되, 상기 관통홀에는 상기 가이드홈을 따라 구름이동하는 볼과 상기 볼을 탄성지지하는 탄성체가 삽입되고, 체결부재가 상기 탄성체를 지지하며 상기 관통홀에 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 가이드홈의 양측 끝단에는 상기 가이드홈의 깊이 보다 깊게 형성되어 상기 가이드홈을 따라 구름이동하는 볼이 안착되는 안착홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 전해연마기는 전극이 내장된 프로브와, 상기 프로브가 결합되며 상기 슬라이더에 결합되는 프로브하우징이 구비되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 프로브하우징의 단부에는 상기 프로브가 피가공물을 누르는 하중을 측정하는 로드셀이 장착되어 상기 로드셀과 상기 연장플랜지의 단부가 결합되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 전해연마기는 상기 프로브의 끝단에 전해용액을 흡수하여 피가공물과 상기 프로브를 통전시키는 프로브팁이 결합되는 것을 특징으로 하는 휴대용 표면검사 및 전해연마 장치.
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