KR101479766B1

KR101479766B1 - 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치

Info

Publication number: KR101479766B1
Application number: KR1020130100099A
Authority: KR
Inventors: 윤통섭
Original assignee: 비전세미콘 주식회사
Priority date: 2013-08-23
Filing date: 2013-08-23
Publication date: 2015-01-07
Anticipated expiration: 2033-08-23

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정중 플라즈마 방전을 통해 반도체 패키지를 세척하기 위한 플라즈마 세정장치에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치는 플라즈마 세정을 실시하는 세정챔버(110)가 탑재된 본체(100); 상기 본체로 세정대상이 되는 리드프레임(L)을 공급하는 리드프레임 공급유닛(200); 상기 리드프레임 공급유닛를 통해 공급받은 리드프레임들을 수평상태로 지지할 수 있도록 상하로 합치되는 상,하부프레임(310,320)과 상기 상,하부프레임을 분리가능하게 결합시켜 주는 클램퍼(330)를 구비한 캐리어(300); 상기 캐리어가 놓여지며 클램퍼의 클램핑 또는 해제가 이루어지는 캐리어스테이지(400); 캐리어스테이지에 놓여진 리드프레임들이 수평상태로 지지된 클램핑 상태의 캐리어를 픽업하여 세정챔버 내부로 운반하는 캐리어로더(500); 세정이 완료된 이후 상기 세정챔버 내부의 캐리어를 픽업하여 캐리어스테이지로 운반하는 캐리어언로더(600); 및 캐리어언로더를 통해 캐리어스테이지로 운반된 캐리지 내의 리드프레임을 본체의 외부로 배출시키는 리드프레임 배출유닛(700)을 포함하여 구성된다.

Description

반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치{Plazma cleaning Apparatus for manufactring semiconductor package}

본 발명은 반도체 제조 공정중 플라즈마 방전을 통해 반도체 패키지(리드프레임 또는 PCB 기판) 등을 세척하기 위한 플라즈마 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 패키지들이 캐리어를 통해 일괄적으로 플라즈마 세정되도록 하여 작업속도를 향상시키고 반도체부품들이 휨 상태로 세정되지 않도록 하여 불량발생율을 최소화할 수 있도록 한 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 플라즈마 세정장치는 플라즈마 방전을 통해 예컨대 리드프레임이나 PCB 기판 등과 같은 반도체 패키지를 세척하는 장치로서, 반도체 제조공정마다 설치되어 반도체 패키지(이하 '리드프레임' 이라 함)의 표면을 세정하도록 되어 있다.

즉, 리드프레임은 그 종류에 따라서 스트립핑-다이본딩-와이어본딩-패키지몰딩-마킹 등의 제조공정을 거치게 되는데, 각 공정마다 이루어지는 물리적 화학적 처리로 인하여 표면이 오염되기 때문에 각 공정전 단계에서 오염된 표면을 세정하기 위한 별도의 세정공정이 요구되는 것이다.

이러한 점을 감안할 때, 플라즈마를 이용한 세정방법은 리드프레임의 세정뿐만 아니라 다이본딩과 와이어본딩시 구리로 이루어진 리드프레임의 표면의 세정도 함께 이루어지기 때문에 리드프레임의 표면을 은이나 금으로 도금하지 않아도 되므로 반도체의 생산비용과 공정의 단순화에 기여할 수 있다는 장점 때문에 최근에 널리 사용되고 있다.

종래 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치는 공기흡입장치를 통해 세정장치 내부를 진공상태로 만든 다음 가스공급장치를 통해 가스를 주입시킨 후 카세트에 설치된 전극판에 전류를 인가하면, 세정장치 내부에 공급된 가스가 이온화 또는 활성화되고, 활성화된 가스가 전자와 양이온으로 분리되면서 챔버의 내부가 플라즈마 상태로 되면서 이 플라즈마의 활동에 의하여 매거진 내의 리드프레임의 세정이 이루어지도록 구성되었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치는 작업자가 리드프레임이 수납된 메거진을 카세트 내부에 장착시킨 후 다시 챔버에 투입하고, 세정처리가 완료된 후에는 다시 챔버로부터 카세트를 꺼내고 새로운 카세트로 갈아 끼워야 하기 때문에 세정작업이 연속적으로 이루어지지 못하여 세정처리 능률 및 리드프레임의 생산성이 크게 저하되는 문제점이 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 본 출원인에 의해 국내특허등록 제0851242호 및 국내특허등록 제1104924호로 제안된 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치들이 알려져 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치(1)는 중앙에 플라즈마 세정이 이루어지는 세정챔버(10)가 배치되고, 세정챔버(10)의 전방에는 리드프레임(A)이 탑재된 메거진(M)을 각 세정챔버(10)로 이송시켜 주는 로더유닛(20)이 배치되며, 세정챔버(10)의 후방에는 세정을 마친 리드프레임(A')이 탑재된 메거진(M)을 후방으로 배출시키는 언로더유닛(30)과 상기 언로더유닛(30)으로부터 세정을 마친 리드프레임(A')이 탑재된 메거진(M)을 공급받아 외부로 배출시키는 이송컨베어(40)로 구성된다.

이에 따라서, 리드프레임(A)의 세정이 연속적으로 이루어지게 되므로 생산성이 크게 향상될 뿐만 아니라, 작업자는 빈 메거진(M)을 언로더유닛(20)에 투입하고 이송컨베어(40)을 통해 배출되는 메거진(M)을 수거하기만 하면 되므로 작업성도 크게 향상된다.

그러나, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치는 세정챔버(10) 내부로 투입된 리드프레임들(L)이 각각 세정챔버(10)에 마련된 가이드레일(15)을 통해 양측 가장자리가 슬라이딩 결합을 통해 지지되도록 구성되어 있는데, 상기 세정챔버(10) 내부에는 가이드레일(15) 이외에 리드프레임(L)을 견고하게 고정시킬 수 있는 수단이 마련되어 있지 않다.

따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 만일 리드프레임(L)이 휜 상태로 플라즈마 세정공정이 진행되면, 가이드레일(15)에 안착된 리드프레임(L)과 바닥판(11) 사이의 거리가 부위별로 서로 달라지기 때문에 특정부위 쪽으로 전압쏠림 현상이 발생하여 리드프레임(L)이 타버리거나 플라즈마 세정이 고르게 되지 못하여 불량이 발생되는 문제가 발생된다.

본 발명은 세정챔버 내부에 투입된 리드프레임을 수평상태로 견고하게 지지하여 플라즈마 세정과정에서 리드프레임이 손상되지 않게 되는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치를 제공하는데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 플라즈마 세정을 실시하는 세정챔버가 탑재된 본체와, 상기 본체로 세정대상이 되는 리드프레임을 공급하는 리드프레임 공급유닛과, 상기 리드프레임 공급유닛를 통해 공급받은 리드프레임들을 수평상태로 지지할 수 있도록 상하로 합치되는 상,하부프레임과 상기 상,하부프레임을 분리가능하게 결합시켜 주는 클램퍼를 구비한 캐리어와, 상기 캐리어가 놓여지며 클램퍼의 클램핑 또는 해제가 이루어지는 캐리어스테이지와, 캐리어스테이지에 놓여진 리드프레임들이 수평상태로 지지된 클램핑 상태의 캐리어를 픽업하여 세정챔버의 내부로 운반하는 캐리어로더와, 세정이 완료된 이후 상기 세정챔버 내부의 캐리어를 픽업하여 캐리어스테이지로 운반하는 캐리어언로더와, 캐리어언로더를 통해 캐리어스테이지로 운반된 캐리지 내의 리드프레임을 본체의 외부로 배출시키는 리드프레임 배출유닛을 구비하고; 상기 리드프레임 공급유닛이 세정대상이 되는 리드프레임이 탑재된 메거진을 외부로부터 공급받아 본체의 내부로 이송시키는 메거진 로딩컨베어와, 상기 메거진 로딩컨베어를 통해 본체의 내부로 이송된 메거진의 내부에 탑재된 리드프레임을 밀어서 배출시키는 제1푸셔와, 상기 제1푸셔를 통해 메거진으로부터 인출된 리드프레임이 안착되는 제1버퍼부와, 상기 제1버퍼부에 안착된 리드프레임을 픽업하여 캐리어스테이지로 운반하는 제1피더와, 상기 제1푸셔가 메거진에 탑재된 리드프레임을 순차적으로 배출시킬 수 있도록 메거진을 승강시키고 리드프레임이 모두 배출된 빈 메거진은 리드프레임 배출유닛측으로 이동시키는 제1엘리베이터를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

상기와 같이 구성된 본 발명은 리드프레임들이 캐리어의 내부에서 수평상태로 지지되고 세정챔버는 캐리어 단위로 플라즈마 세정을 실시하도록 구성되므로 리드프레임이 비수평상태 또는 휨 상태로 플라즈마 세정되지 않아 이로 인한 불량발생율을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치의 사시도.
도 2는 종래의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치를 구성하는 세정챔버의 사시도.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도로서, 리드프레임이 휨 상태로 세정챔버 내부에 투입된 상태를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치의 사시도.
도 5는 도 4의 평면도.
도 6은 본 발명을 구성하는 리드프레임 공급유닛의 사시도.
도 7a 및 도 7b는 각각 도 6의 리드프레임 공급유닛을 구성하는 제1엘리베이터에 구비된 클램퍼가 메거진을 클램핑시키는 과정을 나타내는 도면.
도 8은 본 발명을 구성하는 캐리어 및 캐리어스테이지의 분해사시도.
도 9a 및 9b는 각각 본 발명을 구성하는 캐리어가 캐리어스테이지에서 클램핑되는 과정을 나타내는 요부 확대단면도.
도 10은 본 발명을 구성하는 캐리어로드 및 캐리어언로드의 사용상태 사시도.
도 11은 본 발명을 구성하는 캐리어로더의 저면사시도.
도 12는 본 발명을 구성하는 캐리어언로더의 저면사시도.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 사시도.
도 14는 도 13의 평면도.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명함에 있어, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하며, 명료성을 위하여 가능한 중복되지 않게 상이한 부분만을 주로 설명한다.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명은 본체(100)와, 본체(100)에 설치된 세정챔버(110)와 리드프레임 공급유닛(200)과 캐리어(300)와 캐리어스테이지(400)와 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)와 리드프레임 배출유닛(700)으로 크게 구성된다.

이중, 상기 리드프레임 공급유닛(200)은 상기 본체(100)로 세정대상이 되는 리드프레임(L)을 공급한다. 상기 리드프레임 공급유닛(200)은 세정대상이 되는 리드프레임(L)이 탑재된 메거진(M)을 외부로부터 공급받아 본체(100) 내부로 이송시키는 메거진 로딩컨베어(210)와, 상기 메거진 로딩컨베어(210)를 통해 본체(100) 내부로 이송된 메거진(M)의 내부에 탑재된 리드프레임(L)을 밀어서 배출시키는 제1푸셔(220)와, 상기 제1푸셔(220)를 통해 메거진(M)으로부터 인출된 리드프레임(L)이 안착되는 제1버퍼부(230)와, 상기 제1버퍼부(230)에 안착된 리드프레임(L)을 픽업하여 캐리어스테이지(400)로 운반하는 제1피더(240)와, 상기 제1푸셔(220)가 메거진(M)에 탑재된 리드프레임(L)을 순차적으로 배출시킬 수 있도록 메거진(M)을 승강시키고 리드프레임(L)이 모두 배출된 빈 메거진(M)은 리드프레임 배출유닛(700)측으로 이동시키는 제1엘리베이터(250)로 구성된다.

이중, 상기 제1버퍼부(230)는 리드프레임(L)의 양측단을 수평상태로 지지하도록 일정간격을 두고 나란하게 배치된 한 쌍의 안내레일(231,231)과, 상기 안내레일(231)의 상단에 리드프레임(L)의 하단 보다 깊게 형성된 복수의 수직절취홈(232)으로 이루어진다.

그리고 상기 제1피더(240)는 제1버퍼부(230)와 캐리어스테이지(400) 사이를 왕복이동하는 제1피더 본체(241)와, 상기 제1버퍼부(230)의 수직절취홈(232)에 대응되게 상기 제1피더 본체(241)의 저면에 돌출되며 상기 제1버퍼부(230)의 수직절취홈(232)으로 삽입될 수 있도록 제1피더 본체(241)의 중앙으로 이동되는 복수의 그리퍼(242)와, 상기 제1버퍼부(230)의 수직절취홈(232)으로 삽입된 그리퍼(242)들이 리드프레임(L)의 하단을 지지한 상태로 픽업할 수 있도록 제1피더 본체(241)를 승강시키는 승강실린더(244)로 구성된다. 상기 본체에는 제1피더를 캐리어스테이지 사이로 왕복이동시켜 주는 제1이송로봇(243)과, 승강실린더를 제1피더 본체의 이송방향에 대하여 직각방향으로 이송시켜 주는 제2이송로봇(245)이 설치된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 메거진(M)의 상단과 하단에는 각각 홈부(M1,M2)가 형성되고, 상기 제1엘리베이터(250)에는 메거진(M) 상단의 홈부(M1)에 밀착지지되는 상부클램프(251a)와, 메거진(M) 하단의 홈부(M2)에 밀착지지 되는 하부클램프(251b)와 상기 상부클램프(251a)를 승강시키면서 클램핑 동작을 제어하는 승강실린더(251c)를 가진 클램퍼(251)로 구성되는 것이 바람직하다.

이 경우 상기 클램퍼(251)는 메거진(M)이 제1엘리베이터(250)측으로 밀착 정렬된 상태로 클램핑되도록 구성될 수 있다. 이를 위하여 상기 클램퍼(251)는 상기 하부클램프(251b)를 제1엘리베이터(250)측으로 이동시키는 얼라인실린더(252)와, 상기 상부클램프(251a)의 하단에 설치된 회전링커(253)와 상기 회전링커(253)에 힌지결합되어 상기 상부클램프(251a)가 하강할 때 메거진(M) 상단의 홈부(M1)의 제1엘리베이터(250)측 벽면에 밀착되는 밀착부재(254)를 더 구비할 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어(300)는 리드프레임 공급유닛(200)을 통해 공급받은 리드프레임(L)들을 수평상태로 지지할 수 있도록 상하로 합치되는 상,하부프레임(310,320)과 상기 상,하부프레임(310,320)을 분리가능하게 결합시켜 주는 클램퍼(330)로 구성된다.

상기 하부프레임(320)에는 제1피더(240)의 그리퍼(242)와의 간섭을 회피하기 위한 개방홈(321)들이 형성된다. 그리고 상기 클램퍼(330)는 하부프레임(320)의 일측을 절취하여 형성된 자유단(331)과, 상기 자유단(331)에 대응되게 상기 상부프레임(310)에 형성된 관통공(332)과, 상기 관통공(332)의 단부에 형성되어 상기 자유단(331)의 단부와의 걸림을 통해 클램핑이 이루어지도록 하는 단턱(333)으로 구성된다.

상기 캐리어스테이지(400)는 캐리어(300)가 놓여지는 곳으로서, 상기 캐리어(300)의 클램퍼(330)를 구성하는 자유단(331)을 상방향으로 탄성변형시켜 상기 단턱(333)과의 걸림을 해제시키는 클램핑 해제 돌기(410)를 구비한다. 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 클램핑 해제 돌기(410)가 하강한 경우에는 상기 캐리어스테이지(400)에서 캐리어(300)가 클램핑되고 상기 클램핑 해제 돌기(410)가 상승할 경우에는 클램핑 상태가 해제된다. 또한, 상기 캐리어스테이지(400)의 상면에는 제1피더(240)의 그리퍼(242)와의 간섭을 회피하기 위한 개방홈(420)들이 형성된다.

도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 캐리어로더(500)는 캐리어스테이지(400)에 놓여진 리드프레임(L)들이 수평상태로 지지된 클램핑 상태의 캐리어(300)를 픽업하여 세정챔버(110) 내부로 운반한다. 아울러, 상기 캐리어로더(500)는 캐리어스테이지(400)가 캐리어언로더(600)로부터 공급받은 캐리어(300)의 클램핑 상태를 해제하면 클램핑이 해제된 캐리어(300)의 상부프레임(310)을 픽업하는 동작을 수행한다. 그리고 상기 캐리어로더(500)는 상부프레임(310)을 픽업한 상태에서 캐리어스테이지(400)에 하부프레임(320)이 안착되고 이 하부프레임(320)에 세정대상이 되는 리드프레임(L)이 안착되면 캐리어스테이지(400)가 캐리어(300)를 다시 클램핑시키도록 하강하는 동작도 수행한다.

이를 위하여, 상기 캐리어로더(500)는 캐리어스테이지(400)와 세정챔버(110) 사이를 왕복하는 본체(510)와, 상기 본체(510)의 저면으로부터 돌출되며 캐리어(300)의 하단을 지지할 수 있도록 본체(510)의 중앙으로 이동되는 내향절곡된 하단을 가진 복수의 그리퍼(520)와, 본체(510)의 중앙으로 이동한 그리퍼(520)들이 캐리어(300)를 픽업할 수 있도록 본체(510)를 상승시키는 승강실린더(540)로 구성된다.

한편, 상기 캐리어(300)는 클램핑 상태가 해제된 경우 캐리어로더(500)가 상부프레임(310)만 픽업할 수 있도록 하부프레임(320)의 양측단에 캐리어로더(500)의 그리퍼(520)가 통과할 수 있는 수평절취홈(321)이 형성된다.(도 8 참조)

도 10 및 도 12에 도시된 바와 같이, 캐리어언로더(600)는 세정이 완료된 이후 상기 세정챔버(110) 내부의 캐리어(300)를 픽업하여 캐리어스테이지(400)로 운반한다. 상기 캐리어로더(500)와 마찬가지로 본체(610)와 그리퍼(620))와 승강실린더(640)로 구성된다.

한편, 캐리어스테이지(400)의 상면과 세정챔버(110)의 바닥면에는 각각 상기 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)의 그리퍼(520)(620)와의 간섭을 회피하기 위한 개방홈(420,111)들이 형성된다.

본 발명에 따르면, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어스테이지(400)의 상면에는 상기 캐리어(300)가 항상 일정한 위치에 놓여질 수 있도록 상부로 돌출된 제1얼라인핀(430)이 설치되고, 상기 캐리어(300)의 상,하부프레임(310,320)에는 동일 수직선상으로 상기 제1얼라인핀(430)에 대응되는 제1얼라인홀(340)이 형성될 수 있다.

이 경우, 상기 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)의 본체(510)(610)에는 로딩 및 언로딩 동작시 상기 제1얼라인핀(430)과 간섭되지 않도록 제1얼라인핀(430)에 대응되는 제2얼라인홀(550,650)이 형성된다. 따라서, 상기 제2얼라인홀(550,650)은 제1얼라인홀(340)과 동일 수직선상에 위치된다.

또한, 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)의 로딩 및 언로딩시 픽업 동작을 정확하게 수행할 수 있도록 상기 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)의 본체(510)(510)에는 하부로 돌출된 제2얼라인핀(560,660)이 더 구비되고 상기 캐리어(300)의 상부프레임(310)과 하부프레임(320)에는 동일 수직선상으로 상기 제2얼라인핀(560,660)에 대응되는 제3얼라인홀(350)이 형성되며 상기 캐리어스테이지(400)에는 상기 제2얼라인핀(560,660)에 대응되는 제4얼라인홀(440)이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제3얼라인홀(350)과 제4얼라인홀(440)은 동일 수직선상에 위치하게 된다.(도 8 참조)

도 6에 도시된 바와 같이, 리드프레임 배출유닛(700)은 캐리어언로더(600)를 통해 캐리어스테이지(400)로 운반된 캐리지 내의 리드프레임(L)을 본체(100)의 외부로 배출시킨다.

상기 리드프레임 배출유닛(700)은 리프드레임 공급유닛(200)의 제1버퍼부(230)의 단부에 설치되어 제1피더(240)를 통해 제1버퍼부(230)에 안착된 세정이 완료된 리드프레임(L)을 전방으로 밀어서 메거진(M)의 내부에 탑재시키는 제2푸셔(710)와, 세정이 완료된 리드프레임(L)이 탑재된 메거진(M)을 상기 리드프레임 공급유닛(200)의 제1엘리베이터(250)를 통해 전달받아 본체(100)의 외부로 이송시키는 제1메거진 언로딩컨베어(720)를 구비한다.

도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 세정챔버(110)는 캐리어스테이지(400)를 중앙에 두고 서로 마주하도록 한 쌍으로 구성될 수도 있다.

이 경우, 상기 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)는 캐리어스테이지(400)를 사이에 두고 상기 세정챔버(110)를 교대로 왕복하면서 동작을 수행하게 된다.

아울러, 상기 리드프레임 배출유닛(700)은 캐리어스테이지(400)에 안착된 세정이 완료된 리드프레임(L)을 픽업하는 제2피더(730)와, 상기 제2피더(730)를 통해 픽업된 세정이 완료된 리드프레임(L)이 안착되는 제2버퍼부(740)와, 상기 제2버퍼부(740)의 단부에 설치되어 제2버퍼부(740)에 안착된 세정이 완료된 리드프레임(L)을 전방으로 밀어서 이동시키는 제3푸셔(750)와, 제3푸셔(750)를 통해 이동된 세정이 완료된 리드프레임(L)이 내부에 탑재되는 빈 메거진(M)을 제2버퍼부(740)측으로 공급하는 제2엘리베이터(760)와, 세정이 완료된 리드프레임(L)이 탑재된 메거진(M)을 제2엘리베이터(760)로부터 공급받아 본체(100)의 외부로 이송시키는 제2메거진 언로딩컨베어(770)로 구성된다.

이 경우, 본 발명은 리드프레임 공급유닛(200)의 제1엘리베이터(250)로부터 빈메거진(M)을 공급받아 상기 리드프레임 배출유닛(700)의 제2엘리베이터(760)로 공급해 주는 셔틀(800)을 더 구비할 수도 있다.

이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은 다음과 같이 동작한다.

먼저, 세정대상이 되는 리드프레임(L)이 탑재된 메거진(M)이 로딩컨베어를 타고 본체(100) 내부로 이송된다.

메거진(M)이 로딩컨베어의 단부에 도달하면 제1엘리베이터(250)에 구비된 클램퍼(251)가 메거진(M)을 클램핑한다.

이때 클램퍼(251)의 하부클램프(251b)는 메거진(M)의 하단에 형성된 홈부(M2)에 삽입된 다음 얼라인실린더(252)를 통해 제1엘리베이터(250)측으로 수평이동된다. 그 결과 상기 하부클램프(251b)가 메거진(M)의 하단에 형성된 홈부(M2)의 제1엘리베이터(250)측 벽면에 긴밀히 밀착되면서 메거진(M)의 하부는 제1엘리베이터(250)측으로 완전히 밀착되는 위치로 정렬된다. 이와 동시에 상부클램프(251a)는 하강하게 된다. 상부클램프(251a)가 하강하면 회전링커(253)가 메거진(M) 상단의 홈부(M1)에 삽입됨과 함께 상기 메거진(M) 상단의 홈부(M1)의 제1엘리베이터(250)측 벽면에 밀착되도록 회동하게 되므로 메거진(M)의 상부는 제1엘리베이터(250)측으로 완전히 밀착되는 위치로 정렬된다.

이와 같이, 메거진(M)이 클램퍼(251)를 통해 제1엘리베이터(250)에 견고하게 고정되면, 제1엘리베이터(250)가 단계적으로 승강한다. 제1엘리베이터(250)가 승강할 때마다 제1푸셔(220)가 전방의 리드프레임(L)을 밀어서 메거진(M)으로부터 배출시킨다. 제1푸셔(220)에 의해 메거진(M)으로부터 배출되는 리드프레임(L)들은 제1버퍼부(230)의 안내레일(231)에 양측이 지지된 상태로 슬라이딩 이동하여 수평상태로 안착되며, 제1버퍼부(230)에 안착된 리드프레임(L)들은 제1피더(240)를 통해 픽업되어 캐리어스테이지(400)로 이송된다. 이때, 상기 제1피더(240)는 승강실린더(244)가 제1피더 본체(241)를 안내레일(231)측으로 하강시킨 다음 이동실린더(243)가 그리퍼(242)를 제1피더 본체(241)의 중앙으로 이동시켜 안내레일(231)의 상단에 형성된 수직절취홈(232)으로 그리퍼(242)가 삽입되면서 리드프레임(L)의 하부에 위치되도록 작동한다. 이에 따라서, 승강실린더(244)가 제1피더 본체(241)를 상승시키면 그리퍼(242)들이 리드프레임(L)의 하단을 지지한 상태로 리드프레임(L)의 안정적인 픽업이 이루어지게 된다.

한편, 제1피더(240)는 상기와 같은 픽업동작을 반복적으로 수행하면서 캐리어스테이지(400)의 상부에 리드프레임(L)들을 순서대로 올려놓게 되는데, 캐리어스테이지(400)의 상부에는 캐리어로더(500)를 통해 캐리어(300)의 하부프레임(320)이 놓여진 상태이므로 상기 리드프레임(L)은 캐리어(300)의 하부프레임(320)에 올려지게 된다. 이때 상기 하부프레임(320)은 제1얼라인홀(340)에 캐리어스테이지(400)에 형성된 제1얼라인핀(430)이 끼워진 상태로 캐리어스테이지(400)의 상부에 안정적으로 놓여져 있는 상태이며, 상기 하부프레임(320)과 캐리어스테이지(400)의 상면에 개방홈(420)이 형성되어 있기 때문에 상기 제1피더(240)가 리드프레임(L)을 캐리어스테이지(400)에 내려놓기 위하여 제1피더 본체(241)를 하강시킬 때 제1피더(240)의 그리퍼(242)는 캐리어(300)의 하부프레임(320)에 형성된 개방홈(321)과 캐리어스테이지(400)의 개방홈(420)에 차례로 삽입되면서 리드프레임(L)은 하부프레임(320) 및 캐리어스테이지(400)와 간섭됨 없이 캐리어(300)의 하부프레임(320) 위에 정확하게 올려지게 된다.

캐리어(300)의 하부프레임(320)에 리드프레임(L)이 모두 올려지면, 캐리어로더(500)가 하강하여 리드프레임(L)을 픽업하게 되는데, 이 과정에서 캐리어(300)의 상부프레임(310)과 하부프레임(320)이 자동으로 클램핑된다. 즉, 하강하는 캐리어로더(500)가 이미 상부프레임(310)을 픽업한 상태이고 상기 클램핑 해제돌기(410)가 하부프레임(320)에 형성된 자유단(331)을 상부로 밀어올려 탄성변형시킨 상태로서, 상기 자유단(331)은 탄성변형되기 이전과 비교하여 수평거리가 짧아진 상태이다. 따라서, 상기와 같이 하부프레임(320)의 자유단(331)이 탄성변형된 상태에서 캐리어로더(500)와 함께 하부프레임(320)이 하강하게 되면, 하부프레임(320)의 자유단(331)이 상부프레임(310)의 관통공(332)을 걸림 없이 통과하면서 리드프레임(L)을 사이에 두고 상부프레임(310)과 하부프레임(320)이 상호밀착되며, 이 상태에서 상승했던 클램핑 해제돌기(410)가 하강하게 되면 자유단(331)이 수평상태로 복원되면서 수평거리가 길어지게 되고, 그 결과 자유단(331)과 관통공(332)의 단부에 형성된 단턱(333)의 상단에 간섭되어 걸림이 이루어지면서 자동으로 상부프레임(310)과 하부프레임(320)이 클램핑되는 것이다. 이와 같이 클램핑이 이루어진 상태에서는 상기 상부프레임(310)과 하부프레임(320)에 상기 자유단(331)에 의한 상호밀착력이 작용하게 되므로 리드프레임(L)들은 캐리어(300) 내부에서 일측이 들뜨지 않고 수평상태를 안정적으로 유지할 수 있게 된다.

그리고 캐리어로더(500)가 하강할 때, 하부캐리어(300)의 상부로 돌출된 캐리어스테이지(400)의 제1얼라인핀(430)은 상부캐리어(300)의 제1얼라인홀(340)과 캐리어로더(500)의 제2얼라인홀(550)을 차례로 통과하는 동시에 캐리어로더(500)의 제2얼라인핀(560)은 하부캐리어(300)의 제3얼라인홀(350)과 캐리어스테이지(400)의 제4얼라인홀(440)을 차례로 통과하게 된다. 상부캐리어(300)의 제3얼라인홀(350)에는 이미 캐리어로더(500)의 제2얼라인핀(560)이 통과한 상태이다.

이와 같이 리드프레임(L)들이 캐리어(300) 내부에 안정적으로 지지되면, 캐리어로더(500)가 픽업한 캐리어(300)를 대기 중인 개방된 세정챔버(110)의 내부로 운반한다. 이때, 상기 캐리어(300)는 캐리어로더(500)에 형성된 제2얼라인핀(560)들에 의하여 관통결합된 상태이고 캐리어로더(500)의 그리퍼(520)에 의하여 하단이 지지된 상태로 픽업된 상태이므로 운반과정에서 유동되지 않는다. 그리고 상기 세정챔버(110)의 상면에는 개방홈(111)이 형성되어 있기 때문에 상기 캐리어로더(500)가 픽업한 캐리어(300)를 세정챔버(110)의 상면에 올려놓을 때 캐리어로더(500)의 그리퍼(520))가 상기 개방홈(111)으로 삽입되면서 세정챔버(110)의 상면과 간섭없이 원활하게 캐리어(300)를 올려놓을 수 있다.

세정챔버(110)에 캐리어(300)가 올려지면 세정챔버(110)가 닫히면서 플라즈마 세정이 이루어지는 한편 캐리어로더(500)는 캐리어스테이지(400)로 이동하여 대기한다.

이후, 플라즈마 세정이 완료되면 세정챔버(110)가 열리게 되며, 대기하고 있던 캐리어언로더(600)가 챔버 내부의 리드프레임(L)을 픽업하여 캐리어스테이지(400)에 올려놓고 원래위치로 복귀하면, 캐리어스테이지(400)에 설치된 클램핑 해제 돌기(410)가 상승하면서 상부프레임(310)과 하부프레임(320)의 클램핑 상태를 해제시킨다. 캐리어(300)의 클램핑 상태가 해제되면 대기하고 있던 캐리어로더(500)가 하강하여 캐리어스테이지(400)에 올려진 캐리어(300)의 상부프레임(310)만 픽업한다. 상기 캐리어로더(500)의 그리퍼(520)는 픽업과정에서 하부프레임(320)의 양측단에 형성된 수평절취홈(321)을 통과하게 되므로 상부프레임(310)만의 픽업이 가능하다.

캐리어로더(500)에 의하여 상부프레임(310)이 픽업되면, 하부프레임(320)의 상부에 놓여진 세정이 완료된 리드프레임(L)이 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)으로 교체된다.

즉, 제1피더(240)가 세정이 완료된 리드프레임(L)을 픽업하여 제1버퍼부(230)의 안내레일(231)에 수평상태로 안착시키게 되며, 제1피더(240)를 통해 제1버퍼부(230)에 안착된 세정이 완료된 리드프레임(L)을 제1버퍼부(230)의 단부에 설치된 제2푸셔(710)가 전방으로 밀어서 메거진(M)에 탑재시킨다. 이때 리드프레임(L)이 순차적으로 메거진(M)에 탑재될 수 있도록 상기 제1엘리베이터(250)는 메거진(M)은 단계적으로 하강한다. 그리고 세정이 완료된 리드프레임(L)이 메거진(M)에 모두 탑재되면 제1엘리베이터(250)가 메거진(M)을 다시 상승시키고 제1푸셔(220)가 상기 메거진(M)으로부터 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)들을 제1버퍼부(230)로 이동시키면, 대기하고 있던 제1피더(240)가 제1버퍼부(230)로 이동된 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)들 픽업하여 캐리어스테이지(400)로 운반함으로써 하부프레임(320)의 상부에 놓여진 세정이 완료된 리드프레임(L)이 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)으로 교체되는 것이다.

이와 같이 캐리어스테이지(400) 상부에 놓여진 하부프레임(320)의 상부에 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)이 올려지면, 캐리어로더(500)가 하강하면서 캐리어(300)의 클램핑이 이루어지며, 캐리어로더(500)가 클램핑된 캐리어(300)를 대기중인 세정챔버(110)로 운반하면 세정챔버(110)에서 플라즈마 세정이 다시 이루어지게 된다.

이와 같은 일련의 과정을 반복하면서 플라즈마 세정공정이 연속적으로 이루어지게 되며, 이후 빈 메거진(M) 내부가 세정이 완료된 리드프레임(L)들로 가득 차게 되면 제1엘리베이터(250)가 하강하여 제1메거진 언로딩컨베어(720)에 상기 메거진(M)을 운반하여 본체(100) 외부로 배출시킨다.

한편, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 세정챔버(110)가 캐리어스테이지(400)를 중앙에 두고 서로 마주하도록 한 쌍으로 구성된 경우에는 상기 캐리어로더(500)와 캐리어언로더(600)는 캐리어스테이지(400)를 사이에 두고 상기 두 세정챔버(110)를 교대로 왕복하면서 동작을 수행한다.

즉, 일측의 세정챔버(110)에서 플라즈마 세정이 완료되면 대기하고 있던 캐리어언로더(600)가 일측의 세정챔버(110)로부터 캐리어(300)를 픽업하여 캐리어스테이지(400)로 운반한다. 캐리어로더(500)는 캐리어언로더(600)가 캐리어(300)를 캐리어스테이지(400)로 운반하는 동안 캐리어스테이지(400)로부터 새로운 캐리어(300)를 픽업하여 세정챔버(110) 내부로 운반한다.

그리고 캐리어로더(500)가 캐리어스테이지(400)로 이동하여 캐리어언로더(600)가 운반한 캐리어(300)의 상부프레임(310)을 픽업하면, 제2피더(730)가 세정이 완료된 리드프레임(L)을 픽업하여 제2퍼버부에 안착시키며, 제2버퍼부(740)에 안착된 세정이 완료된 리드프레임(L)은 제2버퍼부(740)의 단부에 설치된 제3푸셔(750)에 의하여 전방에 위치한 빈 메거진(M)에 탑재된다.

한편, 세정이 완료된 리드프레임(L)이 제2피더(730)를 통해 제2버퍼부(740)에 안착되는 동안 제1피더(240)는 제1제1버퍼부(230)로부터 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)을 픽업하여 캐리어스테이지(400)에 놓인 하부프레임(320)에 안착시킨다. 세정대상이 되는 새로운 리드프레임(L)이 하부프레임(320)에 안착되면, 대기하고 있던 캐리어로더(500)가 하강하여 클램핑된 캐리어(300)를 픽업한 다음 타측의 세정챔버(110)의 내부로 운반한다. 그리고 타측의 세정챔버(110)에서 플라즈마 세정이 완료되면 대기하고 있던 캐리어언로더(600)가 타측의 세정챔버(110)로부터 캐리어(300)를 픽업하여 캐리어스테이지(400)로 운반한다.

이와 같은 일련의 과정을 반복하면서 플라즈마 세정공정이 연속적으로 이루어지게 되며, 이후 빈 메거진(M) 내부가 세정이 완료된 리드프레임(L)들로 가득차게 되면 상기 메거진(M)을 고정하고 있던 제2엘리베이터(760)가 제2메거진 언로딩컨베어(770)로 메거진(M)을 공급한다. 상기 제2메거진 언로딩컨베어(770)는 제2엘리베이터(760)로부터 공급받은 메거진(M)을 본체(100) 외부로 이송시킨다.

한편, 제1엘리베이터(250)는 내부에 탑재된 리드프레임(L)이 모두 배출되면 아래에 위치한 셔틀(800)로 하강하여 빈 메거진(M)을 셔틀(800)로 공급하며, 제2메거진 언로딩컨베어(770)로 메거진(M)을 공급한 제2엘리베이터(760)는 아래에 위치한 셔틀(800)로 하강하여 제1엘리베이터(250)로부터 공급받은 빈 메거진(M)을 셔틀(800)로부터 공급받아 다시 상승한다. 도 14 및 도 15에 도시된 화살표 방향을 따라 메거진이 이동한다.

이에 따라서, 본 발명은 리드프레임(L)이 캐리어(300)의 내부에 수평상태로 지지된 상태에서 캐리어(300) 단위로 플라즈마 세정이 이루어지므로 리드프레임(L)이 비수평 또는 휨 상태에서 세정되어 발생되는 불량을 미연에 방지할 수 있다.

아울러, 본 발명은 리드프레임(L)의 세정이 자동으로 연속적으로 이루어지게 되므로 생산성이 우수하며, 작업자는 메거진(M)을 메거진 로딩컨베어(210)에 투입하고 메거진 언로딩컨베어(720,770)를 통해 배출되는 메거진(M)을 수거하기만 하면 되므로 작업성도 매우 우수하다.

이와 같이, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상술하였으나 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 변형 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 권리범위에 속할 것이다.

100,510...본체 110...세정챔버
111,321,420...개방홈 200...리드프레임 공급유닛
210...메거진 로딩컨베어 220...제1푸셔
230...제1버퍼부 231...안내레일
232...수직절취홈 240...제1피더
241,510...제1피더 본체 242,520...그리퍼
243,530...이동실린더 244,251c,540,640...승강실린더
250...제1엘리베이터 251,330...클램퍼
251a...상부클램프 251b...하부클램프
252...얼라인실린더 253...회전링커
254...밀착부재 300...캐리어
310...상부프레임 320...하부프레임
321...수평절취홈 331...자유단
332...관통공 333...단턱
340...제1얼라인홀 350...제3얼라인홀
400...캐리어스테이지 410...클램핑 해제 돌기
430...제1얼라인핀 440...제4얼라인홀
500...캐리어로더 550,650...제2얼라인홀
560,660...제2얼라인핀 600...캐리어언로더
700...리드프레임 배출유닛 710...제2푸셔
720... 제1메거진 언로딩컨베어 730...제2피더
740...제2버퍼부 750...제3푸셔
760...제2엘리베이터 770... 제2메거진 언로딩컨베어
800...셔틀 L...리드프레임
M...메거진 M1,M2...홈부

Claims

플라즈마 세정을 실시하는 세정챔버가 탑재된 본체와, 상기 본체로 세정대상이 되는 리드프레임을 공급하는 리드프레임 공급유닛과, 상기 리드프레임 공급유닛를 통해 공급받은 리드프레임들을 수평상태로 지지할 수 있도록 상하로 합치되는 상,하부프레임과 상기 상,하부프레임을 분리가능하게 결합시켜 주는 클램퍼를 구비한 캐리어와, 상기 캐리어가 놓여지며 클램퍼의 클램핑 또는 해제가 이루어지는 캐리어스테이지와, 캐리어스테이지에 놓여진 리드프레임들이 수평상태로 지지된 클램핑 상태의 캐리어를 픽업하여 세정챔버의 내부로 운반하는 캐리어로더와, 세정이 완료된 이후 상기 세정챔버 내부의 캐리어를 픽업하여 캐리어스테이지로 운반하는 캐리어언로더와, 캐리어언로더를 통해 캐리어스테이지로 운반된 캐리지 내의 리드프레임을 본체의 외부로 배출시키는 리드프레임 배출유닛을 구비하고,
상기 리드프레임 공급유닛이 세정대상이 되는 리드프레임이 탑재된 메거진을 외부로부터 공급받아 본체의 내부로 이송시키는 메거진 로딩컨베어와, 상기 메거진 로딩컨베어를 통해 본체의 내부로 이송된 메거진의 내부에 탑재된 리드프레임을 밀어서 배출시키는 제1푸셔와, 상기 제1푸셔를 통해 메거진으로부터 인출된 리드프레임이 안착되는 제1버퍼부와, 상기 제1버퍼부에 안착된 리드프레임을 픽업하여 캐리어스테이지로 운반하는 제1피더와, 상기 제1푸셔가 메거진에 탑재된 리드프레임을 순차적으로 배출시킬 수 있도록 메거진을 승강시키고 리드프레임이 모두 배출된 빈 메거진은 리드프레임 배출유닛측으로 이동시키는 제1엘리베이터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
삭제
제 1항에 있어서,
상기 메거진의 상단과 하단에는 홈부가 형성되고,
상기 제1엘리베이터에는 메거진 상단의 홈부에 밀착지지되는 상부클램프와 메거진 하단의 홈부에 밀착지지 되는 하부클램프와, 상기 상부클램프를 승강시키면서 클램핑 동작을 제어하는 승강실린더로 이루어진 클램퍼가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 3항에 있어서,
상기 클램퍼는 상기 하부클램프를 제1엘리베이터측으로 이동시키는 얼라인실린더와, 상부클램프를 승강시키는 승강실린더와, 상기 하부클램프의 하단에 설치된 회전링커와, 상기 회전링커에 힌지결합되어 상기 하부클램프가 하강할 때 메거진 상단의 홈부의 제1엘리베이터측 벽면에 밀착되는 밀착부재를 구비하여, 상기 메거진이 제1엘리베이터측으로 밀착 정렬된 상태로 클램핑되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 제1버퍼부는 리드프레임의 양측단을 수평상태로 지지하도록 일정간격을 두고 나란하게 배치된 한 쌍의 안내레일과 상기 안내레일의 상단에 리드프레임의 하단 보다 깊게 형성된 복수의 수직절취홈으로 이루어지며,
상기 제1피더는 제1버퍼부와 캐리어스테이지 사이를 왕복이동하는 제1피더 본체와, 상기 제1버퍼부의 수직절취홈에 대응되게 상기 제1피더 본체의 저면에 돌출되며 상기 제1버퍼부의 수직절취홈으로 삽입될 수 있도록 제1피더 본체의 중앙으로 이동되는 복수의 그리퍼와, 상기 제1버퍼부의 수직절취홈으로 삽입된 그리퍼들이 리드프레임의 하단을 지지한 상태로 픽업할 수 있도록 제1피더 본체를 승강시키는 승강실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 5항에 있어서,
상기 캐리어스테이지의 상부와 캐리어의 하부프레임에는 상기 제1피더의 그리퍼와의 간섭을 회피하기 위한 개방홈들이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 캐리어의 클램퍼는 하부프레임의 일측을 절취하여 형성된 자유단과, 상기 자유단에 대응되게 상기 상부프레임에 형성된 관통공과, 상기 관통공의 단부에 형성되어 상기 자유단의 단부와의 걸림을 통해 클램핑이 이루어지도록 하는 단턱으로 구성되고;
상기 캐리어스테이지에는 상기 자유단을 상방향으로 탄성변형시켜 상기 단턱과의 걸림을 해제시키는 클램핑 해제 돌기가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 캐리어의 상,하부프레임에는 동일 수직선상으로 제1얼라인홀이 각각 형성되고,
상기 캐리어스테이지의 상면에는 상기 제1얼라인홀에 대응되게 상부로 돌출된 제1얼라인핀이 설치되며,
상기 캐리어로더와 캐리어언로더에는 상기 캐리어스테이지의 제1얼라인핀에 대응되는 제2얼라인홀이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 8항에 있어서,
상기 캐리어로더와 캐리어언로더에는 제2얼라인핀이 더 구비되고,
상기 캐리어에는 상기 제2얼라인핀에 대응되는 제3얼라인홀이 형성되며,
상기 캐리어스테이지에는 상기 제2얼라인핀에 대응되는 제4얼라인홀이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 캐리어로더는 캐리어스테이지가 캐리어언로더로부터 공급받은 캐리어의 클램핑 상태를 해제하면 클램핑이 해제된 캐리어의 상부프레임을 픽업한 후에 하부프레임에 안착된 세정이 완료된 리드프레임이 세정대상이 되는 리드프레임으로 교체되면 캐리어스테이지가 캐리어를 다시 클램핑시키도록 하강하는 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 10항에 있어서,
상기 캐리어로더와 캐리어언로더는
캐리어스테이지와 세정챔버 사이를 왕복하는 본체와,
상기 본체의 저면으로부터 돌출되며 캐리어의 하단을 지지할 수 있도록 본체의 중앙으로 이동되는 내향절곡된 하단을 가진 복수의 그리퍼와,
본체의 중앙으로 이동한 그리퍼들이 캐리어를 픽업할 수 있도록 본체를 상승시키는 승강실린더를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 11항에 있어서,
상기 캐리어는 캐리어로더가 캐리어의 클램핑 상태가 해제된 상태에서 캐리어의 상부프레임만 픽업할 수 있도록 하부프레임의 양측단에 상기 캐리어로더의 그리퍼가 통과할 수 있는 수평절취홈을 가진 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 11항에 있어서,
상기 캐리어로더와 캐리어언로더의 그리퍼와의 간섭을 회피하기 위한 개방홈들이 캐리어스테이지의 바닥면과 세정챔버의 바닥면에 각각 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 1항에 있어서,
세정챔버는 단일로 구비되며,
상기 리드프레임 배출유닛은 리프드레임 공급유닛의 제1버퍼부의 단부에 설치되어 제1피더를 통해 제1버퍼부에 안착된 세정이 완료된 리드프레임을 전방으로 밀어서 메거진의 내부에 탑재시키는 제2푸셔와, 세정이 완료된 리드프레이 탑재된 메거진을 상기 제1엘리베이터를 통해 전달받아 본체의 외부로 이송시키는 제1메거진 언로딩컨베어를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 세정챔버는 캐리어스테이지를 중앙에 두고 서로 마주하도록 한 쌍으로 구성되고,
상기 캐리어로더와 캐리어언로더는 캐리어스테이지를 사이에 두고 상기 세정챔버를 교대로 왕복하면서 동작을 수행하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 15항에 있어서,
상기 리드프레임 배출유닛은
캐리어스테이지에 안착된 세정이 완료된 리드프레임을 픽업하는 제2피더;
상기 제2피더를 통해 픽업된 세정이 완료된 리드프레임이 안착되는 제2버퍼부;
상기 제2버퍼부의 단부에 설치되어 제2버퍼부에 안착된 세정이 완료된 리드프레임을 전방으로 밀어서 이동시키는 제3푸셔;
제3푸셔를 통해 이동된 세정이 완료된 리드프레임이 내부에 탑재되는 빈 메거진을 제2버퍼부측으로 공급하는 제2엘리베이터; 및
세정이 완료된 리드프레임이 탑재된 메거진을 제2엘리베이터로부터 공급받아 본체의 외부로 이송시키는 제1메거진 언로딩컨베어로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.
제 16항에 있어서,
리드프레임 공급유닛의 제1엘리베이터로부터 빈메거진을 공급받아 상기 리드프레임 배출유닛의 제2엘리베이터로 공급해 주는 셔틀을 더 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조용 플라즈마 세정장치.