KR101464687B1

KR101464687B1 - Angle cup assembly

Info

Publication number: KR101464687B1
Application number: KR1020130097973A
Authority: KR
Inventors: 노대섭
Original assignee: (주)거성
Priority date: 2013-08-19
Filing date: 2013-08-19
Publication date: 2014-11-27
Anticipated expiration: 2033-08-19

Abstract

앵글컵 조립체가 개시된다. 본 발명에 따른 앵글컵 조립체는, 이온주입장치에서 웨이퍼에 주입되는 이온빔의 각도를 조절하는데 사용되고, 전후방향으로 개구되어 전방개구부 및 후방개구부가 구비되고, 내부로 이온빔이 유입되는 바디; 후방개구부를 개폐하고 이온빔이 통과하는 관통홀이 형성된 도어; 관통홀 상에서 도어에 결합되어 이온빔을 측정하는데 사용되는 센서; 및 도어가 바디를 상대로 슬라이드 이동할 수 있도록, 바디와 도어를 서로 연결하는 연결장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 도어가 바디를 상대로 슬라이드 이동할 수 있도록 바디와 도어를 서로 연결하는 연결장치를 형성함으로써, 도어의 개폐가 용이하게 이루어지고, 바디 내부로 유입되는 이온빔에 의하여 오염된 것을 제거 및 세정하는데 용이하게 적용할 수 있다. An angle cup assembly is disclosed. An angle cup assembly according to the present invention is used for adjusting the angle of an ion beam injected into a wafer in an ion implantation apparatus, and includes a body having a front opening and a rear opening opened in a front and rear direction, A door in which a through hole through which the ion beam passes is formed by opening and closing the rear opening; A sensor coupled to the door on the through hole to measure the ion beam; And a connection device for connecting the body and the door to each other so that the door can slide relative to the body. According to the present invention, the door can be opened and closed easily by forming the connecting device for connecting the body and the door to each other so that the door can slide relative to the body, and the door can be easily opened and closed, It can be easily applied.

Description

Angle Cup Assembly {ANGLE CUP ASSEMBLY}

본 발명은 앵글컵 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 이온주입장치에서 웨이퍼에 주입되는 이온빔의 각도를 조절하는데 사용되는 앵글컵 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to an angle cup assembly, and more particularly, to an angle cup assembly used for adjusting the angle of an ion beam injected into a wafer in an ion implantation apparatus.

이온주입공정(ion implantation)은, 반도체에 전도성을 부여하기 위해 웨이퍼에 불순물을 주입하는 공정으로 이온주입 장비를 이용하여 입자를 가속시켜 웨이퍼에 주입한다. 즉, 반도체에 전도형태를 변화시키기 위해 웨이퍼에 불순물을 주입하는 것을 말하며, 확산공정에서 불순물을 확산시키는 것도 반도체에 전도형태를 변화시키기 위한 방법이나 이온주입 기술을 이용하면 불순물의 양과 웨이퍼에 투입되는 깊이 등을 조절할 수 있다.The ion implantation process is a process of implanting impurities into a wafer to impart conductivity to the semiconductor. The ions are implanted into the wafer by accelerating the particles using an ion implantation apparatus. That is, impurities are implanted into the semiconductor wafer to change the conductivity type to the semiconductor. Diffusion of impurities in the diffusion process can be controlled by changing the conductivity type of the semiconductor or by using the ion implantation technique. Depth and so on.

이와 관련하여 한국 등록특허 제10-0850072호는 이온주입장치를 개시하며, 이러한 장치가 도 1에 개시된다. In this regard, Korean Patent No. 10-0850072 discloses an ion implantation apparatus, and such an apparatus is disclosed in FIG.

도 1에 따른 이온주입장치(10)는, 웨이퍼(W)의 노치를 정렬하는 오리엔터(11)와, 노치의 정렬을 마친 웨이퍼(W)가 이온주입을 위하여 안착되는 웨이퍼스테이지(12)와, 웨이퍼스테이지(12)에 안착된 웨이퍼(W)에 이온주입 앵글을 조절하도록 웨이퍼스테이지(12)의 기울기를 조정하는 이온주입 앵글조절부(13)와, 웨이퍼스테이지(12)에 안착된 웨이퍼(W)를 향하여 이온빔을 조사하는 이온빔발생기(14)와, 이온빔발생기(14)에 의해 조사되는 이온빔이 웨이퍼(W)를 스캐닝하도록 웨이퍼스테이지(12)를 이동시키는 스캔구동부(15)와, 오리엔터(11), 이온주입 앵글조절부(13) 및 스캔구동부(15) 등을 제어하는 제어부(16)를 포함한다.The ion implantation apparatus 10 according to Fig. 1 includes a wafer stage 11 for aligning the notches of the wafer W, a wafer stage 12 on which the notched wafers W are seated for ion implantation An ion implant angle adjusting unit 13 for adjusting the inclination of the wafer stage 12 so as to adjust the angle of ion implantation on the wafer W placed on the wafer stage 12, A scan driver 15 for moving the wafer stage 12 so that the ion beam irradiated by the ion beam generator 14 scans the wafer W, And a control unit 16 for controlling the ion implantation angle adjusting unit 11, the ion implantation angle adjusting unit 13, the scan driving unit 15, and the like.

오리엔터(11)에서 웨이퍼(W)가 노치의 정렬을 마치면 웨이퍼스테이지(12)로 로딩되어 이온빔발생기(14)로부터 발생되는 이온빔에 의해 이온주입공정을 실시하게 되는데, 웨이퍼(W)에 이온빔을 조사하기 전에 이온주입 앵글조절부(13)에 의해 웨이퍼스테이지(12)의 기울기를 조절함으로써 웨이퍼(W)에 이온이 주입되는 앵글을 조정하도록 한다.When the wafer W finishes alignment of the notches in the duck enter 11, the wafer W is loaded into the wafer stage 12 and is subjected to the ion implantation process by the ion beam generated from the ion beam generator 14. The ion beam is supplied to the wafer W The angle at which ions are injected into the wafer W is adjusted by adjusting the inclination of the wafer stage 12 by the ion implantation angle adjusting unit 13 before irradiation.

구체적으로 이온주입 앵글조절부는, 이온빔의 세기를 감지하여 이온빔의 방향을 조절할 수 있도록 하고, 이에 의하여 웨이퍼로 유입되는 이온빔이 특정한 방향(예컨대, 수직 방향)으로 유입될 수 있도록 한다.Specifically, the ion implantation angle controller controls the direction of the ion beam by sensing the intensity of the ion beam, thereby allowing the ion beam introduced into the wafer to flow in a specific direction (e.g., vertical direction).

또한, 정밀한 이온주입을 위하여 이온주입량, 주입 깊이, 주입 시간 등의 제어가 필요하며, 이온빔을 측정하는 패러데이컵(Faraday Cup)이 사용된다.In addition, Faraday Cup, which measures ion implantation, implantation depth and implantation time, is required for precise ion implantation.

이와 관련하여 한국등록특허 제10-0828286호는 "이온주입기의 패러데이컵 어셈블리"를 개시하며, 구체적으로 소스 헤드로부터 추출되어 분류자석을 거쳐 정량 분석된 이온빔을 주입하는 복수의 웨이퍼가 장착된 디스크의 디스크홀을 통해 입사되는 이온빔의 이온량을 측정하는 패러데이 컵을 포함하는 이온주입기의 패러데이컵 어셈블리에 있어서, 패러데이컵의 양측에 설치된 샘플컵; 샘플컵에 연결되어 이온빔의 전류를 측정하는 전류측정기; 전류측정기에서 측정한 빔 전류 값을 바탕으로 디스크홀의 중심으로부터 벗어난 방향 및 정도를 산출하여 이온빔이 디스크홀의 중심에 위치하도록 분류자석의 자장을 가감시키는 시스템컨트롤러를 포함하도록 하고 있으며, 이에 의할 때 순간적인 전압 요동현상인 글리치(Glitch)된 이온빔을 감지하여 수정할 수 있음을 기재하고 있다.Korean Patent Registration No. 10-0828286 discloses a " Faraday cup assembly for an ion implanter ", and specifically discloses a Faraday cup assembly for a disk having a plurality of wafers for injecting an ion beam quantitatively analyzed through a classification magnet 1. A Faraday cup assembly for an ion implanter including a Faraday cup for measuring an ion amount of an ion beam incident through a disk hole, the Faraday cup assembly comprising: a sample cup provided on both sides of the Faraday cup; A current meter connected to the sample cup for measuring the current of the ion beam; And a system controller for calculating the direction and degree of deviation from the center of the disk hole based on the beam current value measured by the current measuring device to increase or decrease the magnetic field of the classification magnet so that the ion beam is positioned at the center of the disk hole. And it is possible to detect and correct a glitch ion beam which is a voltage fluctuation phenomenon.

한편, 이온주입장치 중 이온주입 앵글조절부 및 패러데이컵이 형성되는 부분에서는 이온의 유입으로 인하여 깍이거나 침전되어 오염이 발생될 수 있는데, 이렇게 오염된 부분을 제거 및 세정하기 위해서는, 종래 이온주입 앵글조절부 및 패러데이컵이 형성되는 부분을 일부 탈거한 후 다시 재조립하도록 하고 있다.On the other hand, in the portion of the ion implantation apparatus where the ion implantation angle adjusting portion and the Faraday cup are formed, contamination may occur due to cutting or deposition due to the inflow of ions. In order to remove and clean the contaminated portion, The regulating part and the part where the Faraday cup is formed are partially removed and reassembled again.

그러나, 이온주입 앵글조절부 등은 금속으로 이루어지는 등 중량의 구조를 가지게 되는데, 일반적으로 지면에서 이격된 상태로 조립되어야 하므로, 일부 구성을 탈거 후 재조립하는 것은 작업성이 곤란할 뿐 아니라 안전사고를 유발하는 문제점이 있다. However, since the ion implant angle adjusting unit and the like have a structure of a weight made of metal and the like, it is generally required to be assembled in a state of being spaced apart from the ground. Therefore, .

본 발명의 목적은, 앵글컵 조립체를 구성하는 도어의 개폐가 용이하게 이루어지고, 바디 내부로 유입되는 이온빔에 의하여 오염된 것을 용이하게 제거 및 세정할 수 있는 앵글컵 조립체를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an angle cup assembly which can easily open and close a door constituting an angle cup assembly and can easily remove and clean contaminated by an ion beam flowing into a body.

상기 목적은, 이온주입장치에서 웨이퍼에 주입되는 이온빔의 각도를 조절하는데 사용되고, 전후방향으로 개구되어 전방개구부 및 후방개구부가 구비되고, 내부로 상기 이온빔이 유입되는 바디; 상기 후방개구부를 개폐하고 상기 이온빔이 통과하는 관통홀이 형성된 도어; 상기 관통홀 상에서 상기 도어에 결합되어 상기 이온빔을 측정하는데 사용되는 센서; 및 상기 도어가 상기 바디를 상대로 슬라이드 이동할 수 있도록, 상기 바디와 도어를 서로 연결하는 연결장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 앵글컵 조립체에 의해 달성된다.The object of the present invention is to provide an ion implantation apparatus, which is used for adjusting the angle of an ion beam injected into a wafer, has a front opening and a rear opening opened in the front-rear direction, A door having a through hole through which the ion beam passes, the door being opened and closed; A sensor coupled to the door on the through hole to measure the ion beam; And a connecting device for connecting the body and the door to each other so that the door can slide relative to the body.

그리고 상기 연결장치는, 상기 바디에 고정되어 전후방향으로 길게 형성된 샤프트; 및 상기 도어에 고정되고, 상기 샤프트에 결합되어 전후방향으로 슬라이드 이동하는 부싱뭉치를 포함하여 이루어질 수 있다.The connecting device may include: a shaft fixed to the body and elongated in the forward and backward directions; And a bushing bundle fixed to the door and coupled to the shaft to slide forward and backward.

여기서 상기 연결장치는, 상기 바디의 측벽에 결합되고, 상기 샤프트가 삽입결합되는 샤프트블럭을 더 포함하여 이루어질 수 있다.The connecting device may further include a shaft block coupled to a sidewall of the body and to which the shaft is inserted.

또한 상기 샤프트 및 부싱뭉치은, 한 쌍으로 구비되어 상기 바디 및 도어의 양쪽에서 대칭되게 형성될 수 있다.The shafts and the bushing bundles may be formed as a pair and may be formed symmetrically on both sides of the body and the door.

본 발명에 따른 앵글컵 조립체에서 상기 연결장치는, 상기 샤프트의 단부에서 직경이 확장된 형태로 결합되는 스토퍼를 더 포함하고, 상기 스토퍼는 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다.In the angle cup assembly according to the present invention, the connecting device may further include a stopper coupled to the end of the shaft in an expanded diameter, and the stopper may be made of engineering plastic.

그리고 상기 부싱뭉치는, 상기 샤프트의 외주면을 감싸며 밀착되는 내부부싱; 및The bushing bundle includes an inner bushing which closely contacts the outer circumferential surface of the shaft, And

상기 내부부싱을 감싸며 결합되는 외부부싱을 포함하여 이루어지고, 상기 내부부싱은 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다.And an outer bushing which surrounds and couples the inner bushing, and the inner bushing may be made of engineering plastic.

또한 상기 샤프트의 단부에는 영구자석으로 이루어지는 마그넷부가 형성되고, 상기 부싱뭉치의 일측에는 상기 마그넷부와의 사이에 인력(引力)이 작용하는 멈춤부가 형성될 수 있다.Further, a magnet portion formed of a permanent magnet is formed at an end portion of the shaft, and a stop portion in which an attractive force acts between the magnet portion and the bushing bundle can be formed at one side of the bushing bundle.

본 발명에 의하면, 도어가 바디를 상대로 슬라이드 이동할 수 있도록 바디와 도어를 서로 연결하는 연결장치를 형성함으로써, 도어의 개폐가 용이하게 이루어지고, 바디 내부로 유입되는 이온빔에 의하여 오염된 것을 제거 및 세정하는데 용이하게 적용할 수 있다. According to the present invention, the door can be easily opened and closed by forming a connecting device for connecting the body and the door to each other so that the door can slide relative to the body. The door can be easily opened and closed, It can be easily applied.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 앵글컵 조립체를 도시한 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 앵글컵 조립체의 단면 모습을 도시한 사시도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 부싱뭉치을 도시한 사시도,
도 4는 도 1에 도시된 앵글컵 조립체의 작동 상태를 도시한 평면도이다.FIG. 1 is a perspective view illustrating an angle cup assembly according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 2 is a perspective view showing a cross-sectional view of the angle cup assembly shown in FIG. 1,
3 is a perspective view illustrating a bushing bundle according to another embodiment of the present invention,
Fig. 4 is a plan view showing an operating state of the angle cup assembly shown in Fig. 1. Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, the well-known functions or constructions are not described in order to simplify the gist of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 앵글컵 조립체(1)를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 앵글컵 조립체(1)의 단면 모습(A-A 단면)을 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 부싱뭉치(42)을 도시한 사시도이며, 도 4는 도 1에 도시된 앵글컵 조립체(1)의 작동 상태를 도시한 평면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing an angle cup assembly 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a cross-sectional view (AA section) of the angle cup assembly 1 shown in FIG. 1, FIG. 3 is a perspective view showing a bushing bundle 42 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view showing an operating state of the angle cup assembly 1 shown in FIG.

본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)는 이온주입장치를 구성하거나 이온주입장치와 함께 사용되는 것이며, 이온주입장치에서 웨이퍼에 주입되는 이온빔의 각도를 조절하는데 사용된다. 즉, 본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)는, 웨이퍼에 이온빔을 조사하기 전에 웨이퍼의 기울기를 조절하여 웨이퍼에 이온이 주입되는 각도를 조정할 수 있도록 하기 위한 것이며, 이를 위하여 앵글컵 조립체(1) 내부로 유입되는 이온빔의 세기 및 이온량을 감지할 수 있도록 이루어진다. The angle cup assembly 1 according to the present invention is used for constructing an ion implantation apparatus or for use with an ion implantation apparatus and for adjusting the angle of an ion beam injected into a wafer in an ion implantation apparatus. That is, the angle cup assembly 1 according to the present invention is for adjusting the inclination angle of the wafer to the wafer by adjusting the tilt of the wafer before irradiating the wafer with the ion beam. For this purpose, the angle cup assembly 1, So that the intensity and ion amount of the ion beam flowing into the inside can be detected.

본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)는, 한국 등록특허 제10-0850072호에서 개시되는 이온주입 앵글조절부에 대응되는 것으로 볼 수 있다.The angle cup assembly 1 according to the present invention can be regarded as corresponding to the ion implant angle adjustment unit disclosed in Korean Patent No. 10-0850072.

또한 본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)는, 웨이퍼가 수용되는 가공실(챔버) 일측에 결합되어 사용되며, 내부의 오염을 제거, 세정할 수 있도록 개방가능한 구조로 이루어진다.In addition, the angle cup assembly 1 according to the present invention is used by being coupled to one side of a processing chamber (chamber) in which a wafer is accommodated, and is structured to be openable so as to remove and clean contamination therein.

이를 위하여 본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)는, 바디(10), 도어(20), 센서(30) 및 연결장치(40)를 포함하여 이루어진다.To this end, the angle cup assembly 1 according to the present invention includes a body 10, a door 20, a sensor 30, and a connecting device 40.

바디(10)는 웨이퍼가 수용되는 가공실(챔버)에 고정결합될 수 있도록 이루어지며, 전후방향으로 개구되어 전방개구부(11) 및 후방개구부(12)가 구비된다. 전방개구부(11) 쪽에서 유입된 이온빔은 후방개구부(12) 쪽으로 이동하게 된다.The body 10 is configured to be fixedly coupled to a processing chamber (chamber) in which a wafer is accommodated, and is provided with a front opening portion 11 and a rear opening portion 12 opened in the front-rear direction. The ion beam introduced from the front opening portion 11 is moved toward the rear opening portion 12.

바디(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 전체적인 형상이 사각 파이프와 같은 형태로 이루어질 수 있다.As shown in Fig. 1, the body 10 may have a general shape such as a square pipe.

바디(10)의 내부에는 쉴드(50)가 구비될 수 있으며, 쉴드(50)는 이온빔에 의하여 바디(10) 내부가 오염되는 것을 방지한다. 쉴드(50)는 도 1에 도시된 바와 같이, 'ㄷ자' 형태로 형성될 수 있고, 이와 달리 바디(10)의 내부 형상에 대응되도록 사각 파이프 형태로 형성될 수 있다.A shield 50 may be provided inside the body 10 and the shield 50 may prevent the inside of the body 10 from being contaminated by the ion beam. 1, the shield 50 may be formed in a shape of a square pipe so as to correspond to the internal shape of the body 10.

도어(20)는 대체로 편평한 판 형태로 형성되고, 바디(10)의 후방개구부(12)에 대응된 형태로 형성되며 후방개구부(12)를 개폐한다. 도어(20)가 후방개구부(12)를 밀폐하도록 바디(10)에 밀착된 상태에서 볼트와 같은 체결수단(미도시)을 사용하여 도어(20)와 바디(10)의 결합이 이루어질 수 있다.The door 20 is formed in a generally flat plate shape and is formed in a shape corresponding to the rear opening portion 12 of the body 10 to open and close the rear opening portion 12. The door 20 and the body 10 can be coupled using fastening means such as bolts (not shown) in a state where the door 20 is in close contact with the body 10 so as to close the rear opening 12. [

도어(20)에는, 바디(10)를 거친 이온빔이 통과하는 관통홀(21)이 형성되고, 이러한 관통홀(21)은 다수 개로 구비될 수 있으며, 가는 슬릿 형태로 이루어질 수 있다.The through hole 21 through which the ion beam passed through the body 10 passes is formed in the door 20. The through hole 21 may be formed in a plurality of holes and may have a thin slit shape.

도어(20)의 바깥쪽에는 손잡이(22)가 결합되며, 사용자는 이러한 손잡이(22)를 파지하여 도어(20)를 용이하게 개폐할 수 있게 된다. 손잡이(22)는, 후술할 부싱뭉치(42)와 같이, 도어(20)의 좌우 양쪽에 치우쳐 결합되며, 중앙부분에 센서(30)가 결합되는 도어(20)의 구조에 적합하도록 이루어진다.A handle 22 is coupled to the outside of the door 20 so that the user can easily open and close the door 20 by grasping the handle 22. [ The knob 22 is biased to both the right and left sides of the door 20 like the bushing bundle 42 described later and is adapted to the structure of the door 20 to which the sensor 30 is coupled at the center portion.

센서(30)는 관통홀(21) 상에서 도어(20)에 결합되어 이온빔을 측정할 수 있도록 이루어진다. 도 1 및 도 2에서는, 센서(30)가 단순히 블럭 형태로 도시되어 있으나, 이는 도시의 편의를 위한 것일 뿐이며, 본 발명에 따른 센서(30)는 패러데이컵(Faraday cup)과 같은 구조로 이루어진다.The sensor 30 is coupled to the door 20 on the through hole 21 so as to measure the ion beam. 1 and 2, the sensor 30 is shown in a simple block form, but this is only for convenience of illustration, and the sensor 30 according to the present invention has the same structure as a Faraday cup.

센서(30)는 다수 개로 구비되고, 특히 도어(20)의 관통홀(21)과 동일한 수로 구비되며, 도어(20)의 각 관통홀(21)에 대응된 위치에서 도어(20)에 결합된다. 본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)에서 센서(30)는 7개로 구비될 수 있으며, 볼트와 같은 체결수단에 의해 각각 도어(20)에 결합될 수 있다. 센서(30)로 유입되는 이온빔의 이온양(dose) 및 빔 전류를 측정하기 위하여, 각 센서(30)에는 측정장치(미도시)가 연결된다.The sensors 30 are provided in a number of the same number as the through holes 21 of the door 20 and are coupled to the door 20 at positions corresponding to the through holes 21 of the door 20 . In the angle cup assembly 1 according to the present invention, the number of the sensors 30 may be seven or may be coupled to the door 20 by fastening means such as bolts. A measurement device (not shown) is connected to each sensor 30 in order to measure the ion dose and the beam current of the ion beam introduced into the sensor 30.

연결장치(40)는 바디(10)와 도어(20)를 서로 연결하며, 도어(20)가 바디(10)를 상대로 슬라이드 이동할 수 있도록 이루어진다. The connecting device 40 connects the body 10 and the door 20 to each other so that the door 20 can slide relative to the body 10.

이러한 연결장치(40)는, 샤프트(41), 부싱뭉치(42), 샤프트블럭(43), 스토퍼(44), 마그넷부(45) 및 멈춤부(46)를 포함하여 이루어진다.The connecting device 40 includes a shaft 41, a bushing bundle 42, a shaft block 43, a stopper 44, a magnet portion 45 and a stopper portion 46.

샤프트블럭(43)은 샤프트(41)의 결합을 위하여 바디(10)에 결합되는 부분이며, 볼트 등에 의하여 바디(10)의 측벽(13)에 결합되고, 샤프트(41)와는 나사결합될 수 있다. 샤프트블럭(43)은 바디(10)의 좌우 양측에 각각 구비된다.The shaft block 43 is a portion that is coupled to the body 10 for engagement of the shaft 41 and is coupled to the side wall 13 of the body 10 by bolts or the like and can be screwed to the shaft 41 . Shaft blocks 43 are provided on both sides of the body 10, respectively.

샤프트(41)는 대체로 긴 봉과 같은 형태로 이루어지고, 다각형 또는 원형 봉의 형태로 형성될 수 있는데, 슬라이딩 및 조립의 편의를 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이 원형 봉 형태로 형성되는 것이 바람직하다.The shaft 41 may be formed in the form of a long rod and may be formed in the form of a polygonal or a circular rod. For convenience of sliding and assembling, the shaft 41 is preferably formed in the shape of a circular rod as shown in FIG.

샤프트(41)는 한 쌍으로 구비되어 바디(10)의 양쪽에 결합되고, 바디(10)의 전후방향을 따라 길게 배치된다. 샤프트(41)는 수평방향으로 배치되는 것이 바람직하다.The shafts 41 are provided in pairs and are coupled to both sides of the body 10 and are disposed along the front-rear direction of the body 10. The shaft 41 is preferably arranged in the horizontal direction.

부싱뭉치(42)는 도어(20)에 고정결합되고 샤프트(41)에 슬라이딩 가능하게 체결되며, 부싱뭉치(42)의 내경은 샤프트(41)의 외경과 동일(물리적으로 완전히 동일한 것을 의미하는 것은 아니며, 부싱뭉치(42)가 샤프트(41) 상에서 이격 없이 슬라이딩 가능한 정도를 의미)하게 이루어진다. 이에 의하여 도어(20)가 바디(10)를 기준으로 슬라이드이동 가능하게 된다.The bushing bundle 42 is fixedly coupled to the door 20 and is slidably coupled to the shaft 41. The inner diameter of the bushing bundle 42 is the same as the outer diameter of the shaft 41 And it means that the bushing bundle 42 is slidable on the shaft 41 without being separated). Thus, the door 20 is slidable relative to the body 10.

샤프트(41)와의 마찰력을 최소화하고 원활한 슬라이딩을 위하여, 부싱뭉치(42)의 내주면에는 볼베어링(42c)이 형성될 수 있으며, 이러한 형태가 도 3에 도시된다. A ball bearing 42c may be formed on the inner peripheral surface of the bushing bundle 42 for minimizing frictional force with the shaft 41 and smooth sliding. Such a shape is shown in FIG.

한편, 부싱뭉치(42)는 내부부싱(42a) 및 외부부싱(42b)을 포함하여 이루어질 수 있다. 내부부싱(42a)은 샤프트(41)의 외주면을 감싸는 부분으로서 안쪽에 위치하며, 외부부싱(42b)은 내부부싱(42a)을 감싸면 도어(20)에 고정되는 부분이다. 내부부싱(42a)은 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있으며, 특히 부싱뭉치(42)의 원활한 슬라이딩을 위하여 폴리아세탈(POM, Polyacetal)로 이루어질 수 있다. 내부부싱(42a)의 내경은 샤프트(41)의 외경과 동일(물리적으로 완전히 동일한 것을 의미하는 것은 아니며, 내부부싱(42a)이 샤프트(41) 상에서 이격없이 슬라이딩 가능한 정도를 의미)하게 이루어진다.Meanwhile, the bushing bundle 42 may include an inner bushing 42a and an outer bushing 42b. The inner bushing 42a is located inside the shaft 41 and the outer bushing 42b is fixed to the door 20 when the inner bushing 42a is enclosed. The inner bushing 42a may be made of engineering plastic, and may be made of polyacetal (POM) for smooth sliding of the bushing bundle 42. The inner diameter of the inner bushing 42a is the same as the outer diameter of the shaft 41 (this does not mean that the inner bushing 42a is physically completely identical but means that the inner bushing 42a can slide on the shaft 41 without being spaced apart).

스토퍼(44)는 샤프트(41)의 단부에 결합되며, 원형 형태로 이루어져 샤프트(41)의 직경보다 크게 이루어진다. 즉, 샤프트(41) 상에서 슬라이딩 되는 부싱뭉치(42)가 샤프트(41)의 단부에서 이탈될 수 없도록 이루어진다. 그리고 스토퍼(44)는, 부싱뭉치(42)와의 접촉시 충격을 완화하기 위하여 탄성을 갖는 고무 또는 플라스틱으로 이루어질 수 있다. 또한 스토퍼(44)는 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있으며, 특히 폴리아세탈리 이루어질 수 있다.The stopper 44 is engaged with the end of the shaft 41 and is formed in a circular shape, which is larger than the diameter of the shaft 41. That is, the bushing bundle 42 sliding on the shaft 41 can not be separated from the end of the shaft 41. The stopper 44 may be made of rubber or plastic having elasticity in order to alleviate an impact upon contact with the bushing bundle 42. The stopper 44 may be made of engineering plastic, and may be made of polyacetal.

샤프트(41)의 단부에는 스토퍼(44)와 함께 마그넷부(45)가 결합되며, 마그넷부(45)는 영구자석으로 이루어진다. 마그넷부(45) 원형 형태로 이루어지고, 또한 샤프트(41)의 직경보다 크게 이루어지는 것이 바람직하다.A magnet portion 45 is coupled to the end of the shaft 41 together with the stopper 44, and the magnet portion 45 is made of a permanent magnet. It is preferable that the magnet portion 45 is formed in a circular shape and is larger than the diameter of the shaft 41. [

샤프트(41)의 단부에 마그넷부(45)가 밀착되고 마그넷부(45)의 외측에 스토퍼(44)가 밀착된 상태에서, 볼트와 같은 체결수단이 마그넷부(45) 및 스토퍼(44)를 관통하여 샤프트(41)에 체결됨으로써 마그넷부(45)와 스토퍼(44)의 결합이 이루어질 수 있다.A fastening means such as a bolt is attached to the magnet portion 45 and the stopper 44 in a state in which the magnet portion 45 is brought into close contact with the end portion of the shaft 41 and the stopper 44 is in close contact with the outside of the magnet portion 45 So that the magnet 45 and the stopper 44 can be engaged with each other.

부싱뭉치(42)의 바깥쪽 단부에는 스토퍼(44) 및 마그넷부(45)가 삽입될 수 있는 삽입홈(47)이 형성될 수 있다.An insertion groove 47 into which the stopper 44 and the magnet 45 can be inserted may be formed at the outer end of the bushing bundle 42.

이러한 삽입홈(47)의 안쪽에서, 멈춤부(46)는 부싱뭉치(42)의 일측에 결합되며 금속성으로 이루어지고, 특히 마그넷부(45)와의 사이에 인력(引力)이 작용하도록 이루어진다. 멈춤부(46)는 원형고리와 같은 형태로 이루어지고, 마그넷부(45)와 밀착될 수 있도록 삽입홈(47)의 안쪽에서 바깥쪽으로 노출되게 이루어진다.In the inside of the insertion groove 47, the stopper 46 is coupled to one side of the bushing bundle 42 and is made of a metallic material. In particular, an attractive force acts between the stopper 46 and the magnet portion 45. The stopper 46 has the same shape as a circular ring and is exposed outward from the inside of the insertion groove 47 so as to be in close contact with the magnet portion 45.

이에 따라 도어(20)가 바디(10)에서 완전히 개방된 경우, 즉 부싱뭉치(42)가 샤프트(41)의 끝까지 이동한 경우, 부싱뭉치(42)는 마그넷부(45) 및 스토퍼(44)에 밀착되어 이동이 저지(도어(20)가 열리는 방향으로 이동이 저지)되고, 아울러, 마그넷부(45)와 멈춤부(46) 간에 작용하는 인력에 의하여 부싱뭉치(42) 및 도어(20)의 이동이 저지(도어(20)가 닫히는 방향으로 이동이 저지)된다.When the door 20 is completely opened in the body 10, that is, when the bushing bundle 42 is moved to the end of the shaft 41, the bushing bundle 42 rotates about the magnet 45 and the stopper 44, The movement of the bushing bundle 42 and the door 20 is prevented by the attraction force acting between the magnet portion 45 and the stopper portion 46. In addition, (The movement of the door 20 in the closing direction is blocked).

부싱뭉치(42)는 샤프트(41) 상에서 슬라이드 이동가능하게 결합되고, 도어(20) 및 센서(30)는 금속성으로 형성되는 등 그 자체로 매우 무겁게 이루어지므로, 마그넷부(45)와 멈춤부(46)가 구비되지 않은 경우를 가정하면, 도어(20)가 바디(10)에서 완전히 개방된 상태에서도 외력에 의하여 바디(10)의 후방개구부(12)를 향하는 방향으로 쉽게 이동할 수 있게 되고, 이러한 경우 바디(10) 내부를 세정하는 작업자에게 방해가 되거나 큰 충격을 가할 수 있게 된다.The bushing bundle 42 is slidably engaged on the shaft 41 and the door 20 and the sensor 30 are made very heavy by themselves such as being formed in a metallic state so that the magnet portion 45 and the stop portion The door 20 can be easily moved in the direction toward the rear opening 12 of the body 10 by the external force even when the door 20 is completely opened in the body 10, The worker who cleans the inside of the body 10 may be disturbed or a large impact may be applied.

즉, 의도하지 않게 닫히는 방향(후방개구부(12)를 밀폐하는 방향)으로 도어(20)가 이동하는 것을 방지하고 도어(20)의 개방된 상태가 안정되게 유지될 수 있도록 하기 위하여, 본 발명에서는 마그넷부(45) 및 멈춤부(46)가 구비되도록 하고 있으며, 작업의 편의를 도모하고 안전사고를 방지할 수 있도록 하고 있다.That is, in order to prevent the door 20 from moving in a direction in which the door 20 is closed unintentionally (in the direction of closing the rear opening 12) and to allow the door 20 to be kept in an open state stably, The magnet portion 45 and the stopper portion 46 are provided so as to facilitate the work and to prevent a safety accident.

도어(20)를 바디(10)쪽으로 이동시키고자 하는 경우, 마그넷부(45)와 멈춤부(46) 사이의 인력보다 큰 힘으로 도어(20)를 밀어 이동시킬 수 있다.The door 20 can be pushed and moved with a force greater than the attractive force between the magnet 45 and the stopper 46 when the door 20 is to be moved toward the body 10. [

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 앵글컵 조립체(1)에 의하면, 도어(20)가 바디(10)를 상대로 슬라이드 이동할 수 있도록 바디(10)와 도어(20)를 서로 연결하는 연결장치(40)를 구비함으로써, 도어(20)의 개폐가 용이하게 이루어지고, 바디(10) 내부로 유입되는 이온빔에 의하여 오염된 것을 제거 및 세정하는데 용이하게 적용할 수 있고, 마그넷부(45) 및 멈춤부(46)가 구비되도록 하여 더욱 용이한 작업이 이루어질 수 있게 된다.As described above, according to the angle cup assembly 1 of the present invention, the connecting device 40 for connecting the body 10 and the door 20 to each other so that the door 20 can slide relative to the body 10, It is possible to easily open and close the door 20 and to easily remove and clean the contaminated object by the ion beam flowing into the body 10 and the magnet 45 and the stopper 46 are provided so that an easier operation can be performed.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is obvious to those who have. Accordingly, it should be understood that such modifications or alterations should not be understood individually from the technical spirit and viewpoint of the present invention, and that modified embodiments fall within the scope of the claims of the present invention.

1 : 앵글컵 조립체 10 : 바디
11 : 전방개구부 12 : 후방개구부
20 : 도어 21 : 관통홀
22 : 손잡이 30 : 센서
40 : 연결장치 41 : 샤프트
42 : 부싱뭉치 42a : 내부부싱
42b : 외부부싱 42c : 볼베어링
43 : 샤프트블럭 44 : 스토퍼
45 : 마그넷부 46 : 멈춤부
47 : 삽입홈 50 : 쉴드1: Angle cup assembly 10: Body
11: front opening portion 12: rear opening portion
20: Door 21: Through hole
22: Handle 30: Sensor
40: connecting device 41: shaft
42: Bushing bundle 42a: Inner bushing
42b: External bushing 42c: Ball bearing
43: Shaft block 44: Stopper
45: magnet part 46: stop part
47: insertion groove 50: shield

Claims

Is used to adjust the angle of the ion beam injected into the wafer in the ion implantation apparatus,
A body having the front opening and the rear opening opened in the front-rear direction and into which the ion beam flows;
A door having a through hole through which the ion beam passes, the door being opened and closed;
A sensor coupled to the door on the through hole to measure the ion beam; And
And a connecting device for connecting the body and the door to each other so that the door can slide relative to the body,
The connecting device comprises:
A shaft fixed to the body and elongated in the forward and backward directions; And
And a bushing assembly fixed to the door and coupled to the shaft to slide back and forth.

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The method according to claim 1,
The connecting device comprises:
Further comprising a shaft block coupled to the side wall of the body and into which the shaft is inserted.

The method according to claim 1,
Wherein the shaft and the bushing bundle are symmetrically formed on both sides of the body and the door.

The method according to claim 1,
The connecting device comprises:
Further comprising a stopper having an enlarged diameter at an end of the shaft,
Wherein the stopper is made of engineering plastic.

The method according to claim 1,
The bushing bundle,
An inner bushing closely surrounding the outer circumferential surface of the shaft; And
And an outer bushing enclosing the inner bushing,
Wherein the inner bushing is made of engineering plastic.

The method according to claim 1,
A magnet portion formed of a permanent magnet is formed at an end of the shaft,
Wherein a stop portion is formed at one side of the bushing bundle to receive an attraction force between the bushing bundle and the magnet portion.