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KR101455880B1 - 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치 및 이를 위한 방법 - Google Patents

주 서버 아키텍처 네트워킹 장치 및 이를 위한 방법 Download PDF

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KR101455880B1
KR101455880B1 KR1020097012205A KR20097012205A KR101455880B1 KR 101455880 B1 KR101455880 B1 KR 101455880B1 KR 1020097012205 A KR1020097012205 A KR 1020097012205A KR 20097012205 A KR20097012205 A KR 20097012205A KR 101455880 B1 KR101455880 B1 KR 101455880B1
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KR
South Korea
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채드 알 윗맨
청-호 후앙
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램 리써치 코포레이션
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Abstract

일 세트의 기판들을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하기 위한 장치가 제공된다. 이 장치는 복수의 툴을 포함하고, 복수의 툴 중 적어도 하나의 툴은 일 세트의 기판들 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는다. 또한, 장치는 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하도록 구성된 복수의 부 서버를 포함한다. 장치는 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링되고, 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성된 주 서버를 더 포함한다. 센서 데이터는, 데이터베이스 관리 시스템에 의한 이용을 위해 주 서버로 포워딩되기 전에 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용하여 인덱싱된다. 인덱싱은 센서 데이터 아이템을, 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티와 연관시키는 것을 포함한다.
Figure R1020097012205
프로세싱, 툴, 주 서버, 부 서버, 데이터베이스 관리 시스템, 인덱싱 애플리케이션, 중앙집중

Description

주 서버 아키텍처 네트워킹 장치 및 이를 위한 방법{PRIMARY SERVER ARCHITECTURAL NETWORKING ARRANGEMENT AND METHODS THEREFOR}
발명의 배경
반도체 산업 분야에서의 발전을 위해 플라즈마 프로세싱에서의 진보가 제공되고 있다. 플라즈마 프로세싱은 제조 회사들이 반도체 산업에서 경쟁성을 유지하지 위해 시도함에 따라 지속적으로 발달해왔다. 경쟁성을 유지하기 위해, 제조자는 툴을 유지하고 보존하고/하거나 발생할 수도 있는 문제를 해결하기 위해서 광대한 범위의 데이터에 대한 액세스를 가져야 한다.
프로세싱 동안, 데이터 (예를 들어, 가스 유형, 온도, 프로세싱 시간, 전압, 압력 등) 가 수집될 수도 있다. 일반적으로, 각각의 프로세싱된 기판에 대해 수집되는 데이터는 툴 레벨에서 먼저 저장될 수도 있다. 툴이 제한된 메모리 용량을 가질 수도 있기 때문에, 이 데이터는 저장을 위해 서버로 포워딩될 수도 있다. 데이터는, 분석을 위해 데이터가 필요할 때까지 서버에서 저장될 수도 있다.
통상적인 반도체 환경에서, 도 1 에 도시된 바와 같이 제조자는 복수의 서버에 접속된 복수의 툴을 가질 수도 있다. 이 반도체 환경에서, 각 툴 (툴 1, 툴 2, 툴 3, 툴 4, 툴 5, 및 툴 6) 에 의해 수집된 데이터는 서버 (104) 또는 서버 (106) 중 하나의 서버에 저장될 수도 있다. 일 예로, 서버 (104) 는 툴 클러스터 (108) 와 연관될 수도 있다. 툴 클러스터 (108) 는 툴 1, 툴 2 및 툴 3 을 포함할 수도 있다. 유사하게, 서버 (106) 는 툴 4, 툴 5 및 툴 6 을 포함할 수도 있는 툴 클러스터 (110) 와 연관될 수도 있다.
도 2 에 도시된 바와 같이, 서버 (104) 및 서버 (106) 는 데이터를 저장 및/또는 검색 (retrieve) 하기 위해 이용될 수도 있는 각종 모듈을 가질 수도 있다. 일 예로, 툴 클러스터 (108) 의 툴 1 에 의한 기판 프로세싱 동안 수집된 데이터는 서버 (104) 로 포워딩될 수도 있다. 서버 (104) 에서, 데이터는 메모리 (206, 예를 들어, 디스크 저장장치 등) 에 먼저 저장될 수도 있다. 그 다음에, 인덱싱 애플리케이션 (204, 예를 들어, Lam AutoArchiver) 은 메모리 (206) 에 저장된 데이터를 인덱싱하고, 인덱싱된 데이터를 데이터베이스 (208) 저장할 수도 있다.
다른 예로, 툴 클러스터 (110) 의 툴 6 에 의한 기판 프로세싱 동안 수집된 데이터는 서버 (106) 로 포워딩될 수도 있다. 서버 (106) 에서, 데이터는 메모리 (222, 예를 들어, 디스크 저장장치 등) 에 먼저 저장될 수도 있다. 그 다음에, 인덱싱 애플리케이션 (220, 예를 들어, Lam AutoArchiver) 은 메모리 (222) 에 저장된 데이터를 인덱싱하고, 인덱싱된 데이터를 데이터베이스 (224) 에 저장할 수도 있다.
데이터베이스들 (208 및 224) 은 기판 프로세싱 동안 수집될 수도 있는 상이한 유형의 데이터를 핸들링할 수 있는 완전한 (full) 데이터베이스 관리 시스템들 (예를 들어, Microsoft SQL Server, Oracle 등) 의 예이다. 데이터베이스들 (208 및 224) 은 서버 (104 및 106) 내에 저장되는 데이터를 각각 인덱싱할 수도 있다.
도 3 은 데이터베이스 (208) 에 대한 인덱싱의 일 예를 나타낸다. 로컬 메모리 (206) 에 저장될 수도 있는 데이터 파일은 데이터 파일 (302a, 302b, 302c 등) 을 포함하는 복수의 데이터 파일을 포함할 수도 있다. 예를 들어, /LamData/ToolA/data/<module>/<type>/<date>/substrate 1 과 같은 파일 경로 (308) 가 데이터베이스 (208) 내에 인덱스로서 저장될 수도 있다. 이 예에서, 모듈은 툴 모듈 (예를 들어, 프로세싱 모듈, 이송 모듈 등) 을 지칭할 수도 있다. 또한, 유형은, 예를 들어, 데이터 로트 (lot) 파일, 로트 히스토리 파일, 광학 스펙트럼 파일 등을 포함할 수도 있다.
파일 경로 (308) 의 인덱싱에 추가하여, 각 데이터 파일 내에 저장된 데이터는 또한 데이터베이스 (208) 내에서 인덱싱 및 저장될 수도 있다. 일 예로, 데이터베이스 (208) 는 또한 모듈 (310, 예를 들어, 프로세싱 모듈, 이송 모듈 등), 툴 (312, 툴의 명칭 및/또는 툴의 식별 넘버), 레시피 (314, 기판을 프로세싱하는데 이용된 레시피), 로트 ID (316, 프로세싱된 기판의 로트의 식별 넘버), 시작 시간 (318, 프로세싱 시작 시간), 기판 ID (320, 기판의 식별 넘버) 등을 인덱싱 할 수도 있다.
다시 도 2 를 참조하면, 유저가 데이터 파일을 검색하기 위해서, 유저는 데이터 파일의 저장 위치를 로케이팅할 수 있어야 한다. 유저가 데이터 파일을 로케이팅할 수도 있는 하나의 방법은, 데이터 파일이 저장되었던 위치를 기억하는 것이다. 그러나, 도 3 에 도시된 바와 같이, 데이터 파일에 대한 파일 경로가 길어서 기억하기 어려울 수도 있다. 따라서, 데이터가 몇 주 또는 몇 달 전에 수집되었다면 유저의 기억에 의존하여 데이터 파일을 로케이팅하는 것은 비현실적일 수도 있다. 또한, 데이터 파일을 요청하게 될 수도 있는 유저는 데이터를 수집한 사람과 동일한 사람이 아닐 수도 있다.
탐색 프로세스를 용이하게 하기 위해, (미국 캘리포니아 프레몬트의 Lam Research Corporation 에 의한) Lam DataExplorer 와 같은 소프트웨어가 이용되어 데이터 파일을 탐색할 수도 있다. Lam DataExplorer 와 같은 소프트웨어가 있더라도, 예를 들어, 유저는 여전히 유저가 분석을 수행하기 위해 필요로할 수도 있는 정확한 데이터 파일(들)을 찾기 위해서 각 서버 상의 복수의 데이터 파일 전체를 찾아내야 할 수도 있다.
예를 들어, 2006 년 6 월 10 일 툴 6 으로부터의 프로세싱 동안, 복수의 데이터가 수집되고 서버 (106) 상에 저장된 상황을 고려해보자. 2 달 후에, 문제가 식별되었고 이 문제를 분석하기 위해 2006 년 6 월 10 일자 툴 6 로부터의 데이터를 검색할 필요가 있다. 데이터를 검색하기 위해, 컴퓨터 (102) 에서 유저는 데이터의 저장 위치를 식별해야 할 수도 있다.
먼저, 유저는 요구된 데이터 파일을 위해 서버 (104) 를 탐색할 수도 있다. 데이터 파일을 탐색하기 위해, 유저는 인터페이스로서 ODBC (open database connectivity) 애플리케이션 모듈 (214) 을 이용하여, 데이터베이스 (208) 상에 저 장된 데이터에 관한 인덱스 정보 전체를 탐색할 수도 있다. 데이터가 로컬 메모리 (206) 상에 저장된다면, 유저는 FTP 서버 (216) 를 통해 메모리 (206) 로부터 데이터 파일을 검색할 수도 있다. 이 예에서, 데이터 파일은 서버 (104) 상에 저장되지 않는다.
데이터 파일이 서버 (104) 상에 저장되지 않으면, 유저는 다음으로 서버 (106) 를 탐색할 수도 있다. 유사하게, 데이터 파일을 탐색하기 위해, 유저는 인터페이스로서 ODBC 애플리케이션 모듈 (232) 을 이용하여 데이터베이스 (224) 상에 저장된 데이터에 관한 인덱스 정보 전체를 탐색할 수도 있다. 데이터가 로컬 메모리 (222) 상에 저장되면, 유저는 FTP 서버 (230) 를 통해 메모리 (222) 로부터 데이터 파일을 검색할 수도 있다.
서버 (104) 및 서버 (106) 는 추가의 모듈들을 또한 포함할 수도 있다. 이들 모듈은 웹 브라우저 컴퓨터 (202, 예를 들어, Lam Report Browser, Equipment Information Reporter 등) 에서 유저가 데이터 파일을 검색하는 것을 가능하게 한다. 일 예로, 웹 브라우저 컴퓨터 (202) 에서 유저는 데이터 파일을 검색하기를 원할 수도 있다. 유저는 웹 애플리케이션 (218) 을 이용하여 웹-준비된 데이터베이스 (212) 상에 저장될 수도 있는 인덱싱된 데이터를 액세스할 수도 있다. 웹-준비된 데이터베이스 (212) 상에 저장된 데이터는 데이터베이스 (208) 로부터 추출될 수도 있고, 임포터 (importer) 애플리케이션 (210) 에 의해 웹 포맷으로 변환될 수도 있다. 유사하게, 서버 (106) 는 웹 애플리케이션 (234), 웹-준비된 데이터베이스 (228), 및 임포터 애플리케이션 (226) 을 포함할 수도 있다.
데이터를 저장 및 검색하기 위한 종래 기술의 아키텍처 장치 (architectural arrangement) 에는 여러 단점이 있다. 일 예로, 유저는 데이터 파일의 위치 추적을 유지하는 책임을 져야 한다. 유저가 이렇게 하지 않으면, 유저는 요구된 데이터 파일을 로케이팅 및 검색하기 위해서 각 서버 상의 과다한 데이터 파일 전체를 검색하는데 상당량의 시간을 소비해야 할 수도 있다. 유저가 거대하고 복잡한 환경 내에서 작업하는 경우, 데이터 파일을 로케이팅하는 이 방법은 시간 소모적이고 실망적일 수 있다.
또한, 완전한 데이터베이스 관리 시스템의 구동과 연관된 비용이 매우 비싸질 수 있다. 먼저, 값비싼 라이센싱 요금이 지불되어야 한다. 또한, 완전한 데이터베이스 관리 시스템이 요구할 수도 있는 프로세싱의 유형을 수용하기 위해서 충분한 프로세싱 전력을 가진 값비싼 컴퓨터 하드웨어가 제공되어야 할 수도 있다. 종래 기술의 아키텍처 장치에서, 각 서버는 서버 자체의 완전한 데이터베이스 관리 시스템을 구동해야 할 수도 있다. 따라서, 다수의 서버 상에서 다수의 데이터베이스를 구동하는 비용은 복수의 서버를 갖는 복합 네트워크 기반구조를 가진 회사에 더욱 번거롭게 할 수도 있다.
도면의 간단한 설명
본 발명은, 동일한 참조 부호가 동일한 구성 요소를 지칭하는 첨부 도면의 그림에서 한정적인 방식이 아닌 예시의 방식으로 도시된다.
도 1 은 복수의 툴이 복수의 서버에 접속될 수도 있는 종래 기술의 아키텍처 장치를 나타낸다.
도 2 는 서버 내에 존재할 수도 있는 상이한 모듈의 종래 기술의 예들을 나타낸다.
도 3 은 인덱싱의 종래 기술의 예를 나타낸다.
도 4 는 일 실시형태에서, 주 서버가 복수의 부 서버에 접속되는 아키텍처 네트워크 장치를 나타낸다.
도 5 는 일 실시형태에서, 각 서버 내에 배치될 수도 있는 상이한 모듈의 예를 나타낸다.
도 6 은 본 발명의 일 실시형태에서, 주 서버 아키텍처 네트워크 장치를 고려한 인덱스 데이터베이스의 예를 나타낸다.
도 7 은 본 발명의 일 실시형태에서, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치 내의 데이터 파일을 검색하기 위한 단계들을 나타내는 간단한 흐름도를 나타낸다.
개요
본 발명은, 일 실시형태에서 일 세트의 기판들을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다. 이 장치는 복수의 툴을 포함한다. 복수의 툴 중 적어도 하나의 툴은 일 세트의 기판들 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는다. 또한, 장치는 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하도록 구성된 복수의 부 서버 (secondary server) 를 포함한다. 복수의 부 서버들 각각은 데이터 인 덱싱 애플리케이션을 실행하도록 구성된다. 장치는 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링된 주 서버 (primary server) 를 더 포함한다. 주 서버는 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성된다. 센서 데이터는, 데이터베이스 관리 시스템에 의한 이용을 위해 주 서버로 포워딩되기 전에 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용하여 인덱싱된다. 센서 데이터 아이템을 인덱싱하는 것은 센서 데이터 아이템을, 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티 (identity) 와 적어도 연관시키도록 구성된다.
다른 실시형태에서, 본 발명은 일 세트의 기판을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하는 단계를 포함한다. 복수의 툴 중 적어도 하나의 툴은 일 세트의 기판 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는다. 또한, 방법은 복수의 부 서버로 센서 데이터를 전송하는 단계를 포함한다. 방법은, 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용함으로써 센서 데이터를 인덱싱하여 인덱싱된 데이터를 획득하는 단계를 더 포함한다. 센서 데이터 아이템을 인덱싱하는 것은 센서 데이터 아이템을, 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티와 적어도 연관시키도록 구성된다. 또한, 방법은 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링되도록 구성되고, 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성되는 주 서버로 인덱싱된 데이터를 포워딩하는 단계를 포함한다.
다른 실시형태에서, 본 발명은 일 세트의 기판을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하는 컴퓨터-구현된 방법에 관한 것이다. 컴퓨터-구현된 방법은 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하는 단계를 포함한다. 복수의 툴 중 적어도 하나의 툴은 일 세트의 기판 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는다. 또한, 본 컴퓨터-구현된 방법은 복수의 부 서버로 센서 데이터를 전송하는 단계를 포함한다. 본 컴퓨터-구현된 방법은 복수의 부 서버에 센서 데이터를 저장하는 단계를 더 포함한다. 또한, 본 컴퓨터-구현된 방법은 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용함으로써 센서 데이터를 인덱싱하는 단계를 포함한다. 센서 데이터 아이템을 인덱싱하는 것은 센서 데이터 아이템을, 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티와 적어도 연관시키도록 구성된다. 본 컴퓨터-구현된 방법은 인덱싱된 센서 데이터를 주 서버로 포워딩하는 단계를 더 포함하고, 주 서버는 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링되도록 구성되고, 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성된다.
전술한 개요는, 본 명세서의 청구항에서 전개되는 본 발명의 범위를 제한하려는 것은 아니며 본 명세서에 개시된 본 발명의 많은 실시형태 중 하나에만 관한 것이다. 본 발명의 이들 및 다른 특징은 본 발명의 상세한 설명 및 다음의 도면을 참조하여 이하에서 더욱 상세히 설명될 것이다.
상세한 설명
이제, 본 발명은 참조된 도면에 나타낸 바와 같이 본 발명의 각종 실시형태 를 참조하여 상세히 설명될 것이다. 다음 설명에서, 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해 수많은 특정 상세한 내용들이 설명될 것이다. 그러나 본 발명이 이들 구체적인 상세한 내용들의 일부 또는 전부 없이 실행될 수도 있다는 것은 당업자에게 있어 자명할 것이다. 다른 관점에서, 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위해 잘 알려진 프로세스 단계들 및/또는 구조들은 상세하게 설명하지 않았다.
이하에서는 방법 및 기술을 포함하는 다양한 실시형태들이 설명된다. 또한, 본 발명은 본 발명의 실시형태들을 수행하기 위한 컴퓨터 판독가능 명령들이 저장된 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제조품을 커버할 수도 있다는 것에 유념해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 예를 들어, 반도체, 자성체, 광-자성체, 광학체, 또는 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하는 컴퓨터 판독가능 매체의 다른 형태를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은 본 발명의 실시형태를 실행하기 위한 장치를 커버할 수도 있다. 이러한 장치는, 본 발명의 실시형태에 속하는 동작을 수행하기 위한 전용 및/또는 프로그래머블 회로를 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예들로는, 범용 컴퓨터 및/또는 적절히 프로그래밍된 경우의 전용 컴퓨팅 디바이스를 포함하고, 본 발명의 실시형태에 속하는 다양한 동작을 위해 구성된 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스 및 전용/프로그래머블 회로의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 본 명세서에서 발명자들은, 복수의 서버들 상에 위치될 수도 있는 복수의 데이터 파일을 관리하기 위해 다수의 데이터베이스 관리 시스템이 반드시 필요하지는 않다는 것을 깨달았다. 대신에, 인덱스 데이터 베이스를 변형하고 네트워크 기반구조를 재구성함으로써, 탐색 프로세스를 간단하게 하고, 유저의 실패를 감소시키며, 총 비용을 감소시킬 수도 있는 더 간단하고 더 유연성 있으며 더 파워풀한 네트워크 장치가 형성될 수도 있다는 것을 발명자들은 깨달았다.
본 발명의 실시형태에 따르면, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치가 제공되는데, 여기서 네트워크 기반구조는 주 서버 및 복수의 부 서버를 포함한다. 본 발명의 실시형태는, 주 서버에 배치된 인덱스 데이터베이스에 인덱싱된 데이터를 저장하기 전에, 복수의 서버에 데이터 파일을 저장하고 데이터 파일을 인덱싱하는 것을 포함한다. 본 발명의 실시형태는 단일의 유저 인터페이스에서 하나 이상의 탐색 기준 (criteria) 내에 진입함으로써 데이터 파일을 검색하는 방법을 제공한다.
본 발명의 실시형태에서, 주 서버는 데이터베이스 관리 시스템 (예를 들어, Microsoft SQL Server, Oracle 등) 을 포함할 수도 있고, 데이터베이스 관리 시스템은 복수의 서버 내에 저장된 복수의 데이터 파일들 중 인덱싱된 데이터를 관리하도록 구성될 수도 있다. 주 서버는 복수의 부 서버에 접속될 수도 있다.
본 발명의 실시형태에서, 주 서버 및 부 서버는 복수의 툴로부터 포워딩될 수도 있는 복수의 데이터 파일을 저장하기 위한 메모리를 포함한다. 일 실시형태에서, 복수의 툴과 복수의 서버 사이의 관계는 주 서버에 배치될 수도 있는 오버로드 (overlord) 인덱싱 애플리케이션에 의해 구성 및 관리될 수도 있다. 일단 관계가 확립되면, 이 관계는 복수의 미니언 (minion) 인덱싱 애플리케이션으로 포 워딩된다. 오버로드-미니언 인덱스 장치는 복수의 서버에 대한 복수의 툴 구성이 네트워크 기반구조 내의 각종 상이한 서버들 사이에서 분산되는 대신에 단일 서버에서 통합되게 할 수도 있다. 결과적으로, 서버/툴을 추가 또는 제거하는 프로세스가 단일 위치에서 관리될 수도 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 복수의 툴에서 수집된 데이터 파일은 복수의 서버로 포워딩될 수도 있다. 일단 데이터 파일이 서버에 저장되면, 로컬 인덱싱 애플리케이션은 데이터 파일 내의 데이터를 인덱싱할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 인덱싱된 데이터는 로컬 데이터베이스 관리 시스템에 저장되지 않는다. 대신에, 인덱싱된 데이터는 주 서버에 배치된 중앙 집중된 데이터베이스 관리 시스템으로 포워딩된다.
각 서버 대신에 주 서버 상에 배치된 데이터베이스 관리 시스템을 가짐으로써, 비용 절감이 실현될 수도 있다. 일 예로, 회사는 각 서버에 대한 데이터베이스를 호스팅하는 라이센스를 구입할 필요가 없을 수도 있다. 또한, 부 서버가 프로세서 집약적인 데이터베이스 관리 시스템을 호스팅하지 않기 때문에, 대부분의 서버들이 경량의 프로세서를 가질 필요만 있을 수도 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 웹 서버는 주 서버 아키텍처 장치 내에서 호스트팅될 수도 있다. 따라서, 도 2 의 종래 기술에 도시된 바와 같이, 인덱싱된 데이터에 대한 웹 액세스가 복수의 서버들 전체에 걸쳐 분포되는 대신에 이제 중앙 집중될 수도 있기 때문에, 추가의 비용 절감이 또한 실현될 수도 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 데이터 파일을 로케이팅 및/또는 검색하기 위한 방법이 제공된다. 예를 들어, 유저가 5 달 전에 툴 1 에 의해 프로세싱되었던 기판에 관한 데이터 파일을 검색하기를 원하는 상황을 고려해 보자. 종래 기술에서, 원하는 데이터 파일을 로케이팅하는 일은, 유저가 데이터 파일을 로케이팅하기 위해서 복수의 서버를 탐색하는데 투자된 상당량의 시간을 요구할 수도 있는 장기적이고 힘든 일일 수 있다. 종래 기술과 달리, 본 발명의 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치는 유저가 일 세트의 탐색 기준에 간단히 진입하게 할 수도 있다. 이들 탐색 기준을 이용하여, 주 서버는 데이터 파일의 위치 (예를 들어, 파일 데이터 경로 및 서버 명칭) 를 찾기 위해 인덱싱된 데이터베이스를 액세스할 수도 있다. 일단 데이터 파일의 위치가 식별되면, 유저는 데이터 파일을 용이하게 검색할 수도 있다. 일 실시형태에서, 데이터 파일을 탐색 및 검색하는 프로세스가 자동화될 수도 있다.
주 서버 아키텍처 네트워킹 장치를 이용하여, 원하는 데이터 파일을 로케이팅하기 위해 네트워크 기반구조를 기억하거나 이해하는 것이 유저에게 더 이상 요구되지 않는다. 따라서, 복수의 툴과 복수의 서버 사이의 관계는 이제 유저에게 보이지 않을 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점이 이하의 도면 및 논의를 참조하여 더 잘 이해될 수도 있다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서, 주 서버가 복수의 부 서버에 접속되는 아키텍처 네트워크 장치를 나타낸다. 이 아키텍처 네트워크 장치에서, 주 서버 (404) 는 복수의 부 서버들 (406 및 408) 에 접속된다. 일 실시형태에서, 주 서버 (404) 및 복수의 부 서버들 (406 및 408) 들 중 하나 이상의 서버가 동일한 위치에 배치된다. 일 실시형태에서, 주 서버 (404) 는 복수의 부 서버들 (406 및 408) 로부터 지리적으로 원거리에 있다. 일 예로, 주 서버 (404) 는 제조 회사의 본부에 배치되고, 복수의 부 서버들 (406 및 408) 은 제조 공장에 배치된다. 일 실시형태에서, 주 서버 (404) 및 복수의 부 서버들 (406 및 408) 은 인터넷을 통해 서로 상호 작용한다.
종래 기술과 유사하게, 각 서버 (주 서버 및 부 서버) 는 툴들 (예를 들어, 툴 1, 툴 2, 툴 3, 툴 4, 툴 5, 툴 6, 툴 7, 툴 8, 툴 9 등) 에 의해 수집된 데이터 파일을 저장하기 위한 저장 공간을 포함할 수도 있다. 일 예로, 툴 클러스터 (410, 툴 1, 툴 2 및 툴 3) 에 의해 수집된 데이터 (예를 들어, 센서 데이터) 는 서버 (406) 상에 저장될 수도 있고, 툴 클러스터 (412, 툴 4, 툴 5 및 툴 6) 에 의해 수집된 데이터는 주 서버 (404) 상에 저장될 수도 있으며, 툴 클러스터 (414, 툴 7, 툴 8 및 툴 9) 에 의해 수집된 데이터는 서버 (408) 상에 저장될 수도 있다. 툴 클러스터 내의 각 툴은 그 데이터를 동일한 서버에 저장할 필요는 없다. 또한, 툴은 항상 그 데이터 파일을 동일한 서버에 저장할 필요는 없다.
그러나, 종래 기술과 달리, 완전한 데이터베이스 관리 시스템이 모든 서버 상에서 호스팅되지는 않는다. 대신에, 일 실시형태에서, 완전한 데이터베이스 관리 시스템은 주 서버 (404) 에 의해 호스팅된다. 예를 들어, 컴퓨터 (402) 에서 유저가 2006 년 8 월 9 일에 툴 1 에 의해 프로세싱된 기판04에 대한 데이터 파일을 로케이팅하기를 원하는 상황을 고려해 보자. 데이터 파일이 로케이팅될 때 까지 각 서버를 탐색하는 대신에, 컴퓨터 (402) 에서 유저는 먼저 주 서버 (404) 와 접속하여 데이터 파일을 탐색할 수도 있다. 주 서버 (404) 는 그 인덱스 데이터베이스를 탐색하여 데이터 파일에 대한 파일 경로를 찾을 수도 있다. 이 파일 경로를 이용하여, 유저는 원하는 데이터 파일을 신속하게 로케이팅할 수도 있다.
주 서버 (404) 및 부 서버들 (406 및 408) 은, 서버들이 서로 상호 작용하고, 데이터를 저장하며, 데이터를 검색할 수 있게 하는 상이한 모듈들을 포함한다. 도 5 는 일 실시형태에서 각 서버 내에 배치될 수도 있는 상이한 모듈들의 예들을 나타낸다.
각 툴을 서버에 접속시키기 위해서, 각 서버는 각 툴로부터의 정보를 수용하도록 구성되어야 할 수도 있다. 하나 이상의 서버에 대해 각 툴을 개별적으로 구성하는 프로세스는 장기적이고 지루한 프로세스일 수도 있다. 일 실시형태에서, 이 프로세스를 간단하게 하기 위해 오버로드-미니언 인덱싱 장치가 구현될 수도 있다. 오버로드-미니언 인덱싱 장치에서, 주 서버 (404) 에서의 인덱싱 애플리케이션 (526) 은 오버로드 모드로 설정되고, 다른 인덱싱 애플리케이션들 (510 및 528) 은 미니언 모드로 설정된다. 다시 말하면, 오버로드 인덱싱 애플리케이션 (526) 은 각 툴이 각 서버와 연관될 수도 있는 방법을 구성할 수도 있다. 일단 오버로드 인덱싱 애플리케이션 (526) 에서 구성이 설정되면, 툴과 서버 사이의 관계는 미니언 인덱싱 애플리케이션들 (510 및 528) 로 포워딩될 수도 있다.
전술한 바와 같이, 각 서버 (주 서버 (404), 부 서버들 (406 및 408)) 는 툴 에 의해 포워딩된 데이터 파일을 저장하기 위해 이용될 수도 있는 저장장치 로케이션 (메모리 (550), 메모리 (552) 및 메모리 (554)) 을 포함할 수도 있다. 데이터 파일을 수신 시, 인덱싱 애플리케이션 (예를 들어, Lam AutoArchiver) 은 데이터 파일을 인덱싱할 수도 있다. 일 실시예에서, 툴 클러스터 (410) 의 툴 1 에 의해 기판 프로세싱 동안 수집된 데이터는 메모리 (550, 예를 들어, 디스크 저장장치 등) 에 저장되도록 서버 (406) 로 포워딩될 수도 있다. 그 다음에, 인덱싱 애플리케이션 (510) 은 데이터 파일을 인덱싱할 수도 있다. 일단 데이터 파일이 인덱싱되면, 인덱싱된 데이터는 주 서버 (404) 내에 배치된 인덱스 데이터베이스 (522) 로 포워딩된다.
종래 기술과 달리, 인덱스 데이터베이스 (522) 와 같은 완전한 데이터베이스 관리 시스템이 각 서버에 의해 호스팅될 필요가 없다. 대신에, 데이터 파일은 로컬 인덱스 애플리케이션에 의해 인덱싱될 수도 있고, 정보는 중앙집중된 데이터베이스로 전송될 수도 있다. 일 실시형태에서, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치는 단일의 완전한 데이터베이스 관리 시스템이 복수의 서버 및 툴을 지원할 수 있게 할 수도 있다. 따라서, 회사가 다수의 완전한 데이터베이스 관리 시스템을 지원할 필요가 없기 때문에, 완전한 데이터베이스 관리 시스템을 호스팅하는 비용이 감소될 수도 있다. 또한, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치 내의 대부분의 서버들은 완전한 데이터베이스 관리 시스템을 호스팅하지 않을 수도 있어서, 대부분의 서버들은 강건한 프로세싱 전력을 갖는 값비싼 컴퓨터 하드웨어로서 구성되지 않을 수도 있기 때문에 하드웨어의 비용 또한 상당히 감소될 수도 있다
본 발명의 일 실시형태에서, 도 6 은 주 서버 아키텍처 네트워크 장치의 인덱스 데이터베이스의 일 예를 나타낸다.
서버 (406) 및 서버 (408) 에 저장될 수도 있는 데이터 파일은, 데이터 파일들 (602a, 602b, 602c, 604a, 604b, 604c 등) 을 포함하는 복수의 데이터 파일을 포함할 수도 있다. /LamData/ToolA/data/<module>/<type>/<date>/substrate 1 과 같은 파일 경로 (608) 는, 예를 들어, 데이터베이스 (522) 내에 인덱스로서 저장될 수도 있다. 본 실시예에서, 모듈은 툴 모듈 (예를 들어, 프로세싱 모듈, 이송 모듈 등) 을 지칭할 수도 있다. 또한, 유형은, 예를 들어, 데이터 로트 파일, 로트 히스토리 파일, 광학 스펙트럼 파일 등을 포함할 수도 있다. 파일 경로 (608) 에 추가하여, 인덱스 데이터베이스는 또한 서버 (606) 열 (column) 을 포함할 수도 있다. 이 열의 목적은, 어느 서버가 데이터 파일을 저장할 수도 있는지를 식별하는 것이다.
종래 기술과 유사하게, 각 데이터 파일 내에 저장된 데이터는 또한 인덱스 데이터베이스 (522) 내에서 인덱싱 및 저장될 수도 있다. 일 실시예에서, 인덱스 데이터베이스 (522) 는 또한, 모듈 (610, 예를 들어, 프로세싱 모듈, 이송 모듈 등), 툴 (612, 툴의 명칭 및/또는 툴의 식별 넘버), 레시피 (614, 기판을 프로세싱하는데 이용된 레시피), 로트 ID (616, 프로세싱된 기판의 로트의 식별 넘버), 시작 시간 (618, 프로세싱 시작 시간), 기판 ID (620, 기판의 식별 넘버) 등을 인덱싱할 수도 있다.
다시 도 5 를 참조하면, 일 실시형태에서 주 서버 아키텍처 네트워크 장치는 데이터 파일을 검색하는 프로세스를 간단하게 할 수도 있다. 예를 들어, 컴퓨터 (402) 에서 유저가 특정 데이터 파일을 검색하기를 원하는 상황을 고려해 보자. 종래 기술에서, 유저는 데이터 파일의 정확한 위치를 알아야 할 수도 있고, 또는 유저가 데이터 파일이 로케이팅될 때 까지 각 서버를 탐색해야 할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 데이터 파일을 검색하는 일은, 하나 이상의 탐색 기준 (예를 들어, 데이터 파일 명칭, 로트 ID, 기판 ID, 프로세싱 시간, 툴, 모듈 등) 을 제공하는 것 만큼 간단하다. 일 실시예에서, 유저는 ODBC 애플리케이션 모듈 (514) 과 같은 단일화된 액세스 유저 인터페이스를 이용하여, 데이터 파일의 위치로서 파일 경로 및 서버 명칭에 대한 인덱스 데이터베이스 (522) 를 탐색할 수도 있다. 파일 경로 및 서버 명칭을 이용하여, 그 다음에 유저는 FTP 서버 (508, 516, 및 530) 를 통해 원하는 데이터 파일을 검색할 수도 있다. 일 실시형태에서, 일단 파일 경로 및 서버 명칭이 제공되면, 유저는 데이터 파일을 자동으로 검색할 수도 있는 소프트웨어를 이용할 수도 있다.
일 실시형태에서, 주 서버 (404) 는 웹-기반 애플리케이션 (예를 들어, Equipment Information Report, Lam Report Browser 등) 으로부터 데이터 요청을 용이하게 할 수도 있는 모듈을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 컴퓨터 (506) 에서 유저가 인터넷을 통해 데이터 파일을 검색하기를 원하는 상황을 고려해 보자. 유저는 인터페이스로서 웹 애플리케이션 모듈 (518) 을 이용하여, 웹-인덱스 데이터베이스 (520) 를 탐색할 수도 있다. 웹-인덱스 데이터베이스 (520) 는, 데이터가 임포터 애플리케이션 모듈 (524) 에 의해 웹-기반 애플리케이션에 의해 핸 들링 될 수도 있는 포맷으로 변환되는 것을 제외하고 인덱스 데이터베이스 (522) 와 유사하다.
인덱스 데이터베이스 (522) 와 유사하게, 웹-인덱스 데이터베이스 (520) 는 주 서버 (404) 에 의해 호스팅된다. 따라서, 인덱싱된 데이터에 대한 웹 액세스가 도 2 의 종래 기술에 도시된 바와 같이 복수의 서버들에 걸쳐 분포되는 대신에 이제 중앙 집중될 수도 있기 때문에, 추가의 비용 절감이 또한 실현될 수도 있다. 다시 말하면, 다수의 서버 장치는 웹-인덱스 데이터베이스가 각 서버 상에서 호스팅될 것을 요구하지 않고, 그 결과로서 라이센싱 요금 및 하드웨어 비용의 면에서 상당한 비용 절감을 초래한다.
도 7 은, 본 발명의 일 실시형태로서, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치에서 데이터 파일을 검색하는 단계를 나타내는 간단한 흐름도를 나타낸다. 도 7 은 도 4 및 도 5 와 관련되어 논의될 것이다.
먼저, 단계 702 에서, 클라이언트 애플리케이션 (예를 들어, Lam DataExplorer, Lam FabAccess, Lam Report Browser, Equipment Information Reporter 등) 을 이용하여 데이터 파일에 대한 요청이 입력된다. 일 예로, 컴퓨터 (402) 에서 유저는 하나 이상의 탐색 기준 내로 진입한다.
다음 단계 704 에서, 컴퓨터 (402) 내의 클라이언트 애플리케이션은 주 서버 (404) 로 탐색 기준을 전송할 수도 있다. 일 실시예에서, ODBC 애플리케이션 모듈 (514) 은 주 서버 (404) 에 대한 인터페이스로서 작용하여, 탐색 기준을 수신할 수도 있다.
다음 단계 706 에서, 주 서버 (404) 는 탐색 기준을 이용하여, 인덱스 데이터베이스 (522) 를 탐색하여 데이터 파일의 위치를 검색할 수도 있다. 일 실시형태에서, 데이터 파일의 위치는 파일 데이터 경로 및 서버 명칭을 포함할 수도 있다.
다음 단계 708 에서, 컴퓨터 (402) 에서 클라이언트 애플리케이션은 데이터 파일의 위치를 이용하여 FTP 서버를 통해 서버로부터 원하는 데이터 파일을 검색할 수도 있다.
본 발명의 실시형태들로부터 알 수 있는 바와 같이, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치는 보다 적은 수동적 개입을 갖는 보다 저렴하고 더 유연성 있는 해결책을 제공한다.
주 서버 아키텍처 네트워킹 장치를 구현하는 비용이 종래 기술의 장치보다 상당히 적다. 본 발명의 장치에서, 완전한 데이터베이스 관리 시스템은 주 서버에만 상주할 수도 있다. 결과적으로, 다수의 라이센스 요금이 제거된다. 또한, 모든 서버들이 완전한 데이터베이스 관리 시스템을 호스팅하지는 않기 때문에, 파워풀한 프로세싱 성능을 갖는 중량의 서버와 연관된 비용이 실질적으로 감소된다. 또한, 최소 개수의 완전한 데이터베이스 관리 시스템을 이용하면, 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치를 관리하는데 더 적은 노동력이 요구될 수도 있기 때문에 비용이 더 감소될 수도 있다.
또한, 주 아키텍처 장치는 단일 웹 서버의 구현을 가능하게 한다. 따라서, 유저는 중앙 위치에서 데이터 파일에 대한 인터넷 탐색을 수행할 수도 있다. 따라서, 완전한 데이터베이스 관리 시스템에 대해 주어질 수도 있는 비용 절감과 동일한 유형의 비용 절감이 단일 웹 서버 장치에 대해서도 달성될 수도 있다.
주 서버 아키텍처 네트워킹 장치에서는, 수동적 개입이 최소화된다. 일 실시예에서, 유저들은 데이터 파일을 로케이팅하기 위해 네트워크 기반구조를 더 이상 이해할 필요가 없을 수도 있다. 다시 말하면, 유저들은 원하는 데이터 파일을 로케이팅하기 위해서 복수의 상이한 서버에서 다수의 수동 탐색을 수행하는 짐을 더 이상 질 필요가 없다. 대신에, 유저는 단순히 주 서버에 대한 하나 이상의 탐색 기준을 간단하게 제공함으로써 데이터 파일을 검색할 수 있을 수도 있다.
주 서버 아키텍처 네트워킹 장치에서는, 네트워킹 기반구조에 대한 변경이 유저 및/또는 인덱스 데이터베이스에 대해 최소의 영향을 발생시킬 수도 있다. 일 실시예에서, 새로운 서버의 추가는 새로운 서버를 식별하기 위한 새로운 식별 넘버의 추가만을 필요로 할 수도 있다. 유저는, 새로운 서버가 아키텍처 네트워킹 장치에 추가되었다는 지식 또는 이해를 가질 필요가 없다.
본 발명은 몇몇 실시형태의 관점에서 설명되었으나, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 변경, 치환 및 등가물이 존재한다. 또한, 발명의 명칭, 개요 및 요약은 편의를 위해 본 명세서에 제공되며, 본원의 청구의 범위를 해석하는데 이용되는 것은 아니다. 또한, 본 출원에서, 일 세트의 "n" 아이템은 그 세트 내의 0 개 또는 그 이상의 아이템을 지칭한다. 또한, 본 발명의 방법 및 장치를 구현하는 많은 대안의 방식들이 존재한다. 그러므로, 이어지는 첨부된 청구의 범위 는 본 발명의 진정한 사상 및 범위 내에 있는 것으로서 이러한 변경, 치환 및 등가물 모두를 포함하는 것으로서 해석되도록 의도된다.

Claims (21)

  1. 일 세트의 기판들을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하기 위한 장치로서,
    복수의 툴로서, 상기 복수의 툴 중 적어도 하나의 툴은 상기 세트의 기판들 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는, 상기 복수의 툴;
    상기 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하도록 구성된 복수의 부 서버 (secondary server) 로서, 상기 복수의 부 서버 각각은 데이터 인덱싱 애플리케이션을 실행하도록 구성되는, 상기 복수의 부 서버; 및
    상기 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링된 주 서버 (primary server) 로서, 상기 주 서버는 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성되는, 상기 주 서버를 포함하고,
    상기 센서 데이터는, 상기 데이터베이스 관리 시스템에 의한 이용을 위해 상기 주 서버로 포워딩되기 전에 상기 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용하여 인덱싱되고,
    센서 데이터 아이템을 인덱싱하는 것은 상기 센서 데이터 아이템을, 상기 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티 (identity) 와 적어도 연관시키도록 구성되고,
    상기 복수의 인덱싱 애플리케이션은 하나의 오버로드 (overlord) 인덱싱 애플리케이션 및 복수의 미니언 (minion) 인덱싱 애플리케이션을 포함하고, 상기 주 서버는 상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션을 포함하도록 구성되고 상기 복수의 부 서버는 상기 복수의 미니언 인덱싱 애플리케이션을 포함하도록 구성되고,
    상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션은 상기 복수의 툴과 상기 주 서버 및 상기 복수의 부 서버 중 적어도 하나의 서버 사이의 일 세트의 관계들을 정의 및 관리하도록 구성되고, 상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션은 상기 복수의 관계들을 상기 복수의 미니언 인덱싱 애플리케이션으로 포워딩하도록 구성되는, 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 툴 클러스터는 플라즈마 프로세싱 클러스터 툴인, 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 서버는 단일화된 액세스 유저 인터페이스를 포함하고, 상기 단일화된 액세스 유저 인터페이스는 탐색 기준 (criteria) 을 수신하도록 구성되며,
    상기 주 서버는 상기 데이터베이스 관리 시스템을 탐색하는데 있어서 상기 탐색 기준을 이용하여 복수의 데이터 파일 중 하나의 데이터 파일에 대한 파일 경로를 식별하도록 구성되고, 상기 데이터베이스 관리 시스템은 상기 복수의 데이터 파일에 관한 복수의 인덱싱된 데이터 아이템을 저장하도록 구성되는, 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 서버는 웹 액세스 유저 인터페이스를 포함하고, 상기 웹 액세스 유저 인터페이스는 탐색 기준을 수신하도록 구성되며,
    상기 주 서버는 상기 데이터베이스 관리 시스템을 탐색하는데 있어서 상기 탐색 기준을 이용하여 복수의 데이터 파일 중 하나의 데이터 파일에 대한 파일 경로를 식별하도록 구성되고, 상기 데이터베이스 관리 시스템은 상기 복수의 데이터 파일에 관한 복수의 인덱싱된 데이터 아이템을 저장하도록 구성되는, 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 서버는 상기 복수의 툴로부터 상기 센서 데이터를 수집하도록 구성되고, 상기 주 서버는 인덱싱 애플리케이션을 실행하여 상기 센서 데이터를 인덱싱하도록 구성되는, 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 서버는 상기 복수의 부 서버로부터 지리적으로 원거리에 있고, 상기 주 서버는 인터넷을 이용하여 상기 복수의 부 서버에 접속되는, 장치.
  8. 일 세트의 기판들을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하는 방법으로서,
    적어도 하나의 툴이 상기 세트의 기판들 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하는 단계;
    상기 센서 데이터를 복수의 부 서버 (secondary server) 로 전송하는 단계;
    상기 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용함으로써 상기 센서 데이터를 인덱싱하여 인덱싱된 데이터를 획득하는 단계로서, 센서 데이터 아이템을 인덱싱하는 것은 상기 센서 데이터 아이템을, 상기 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티 (identity) 와 적어도 연관시키도록 구성되는, 상기 인덱싱된 데이터를 획득하는 단계; 및
    상기 인덱싱된 데이터를 주 서버 (primary server) 로 포워딩하는 단계로서, 상기 주 서버는 상기 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링되도록 구성되고, 상기 주 서버는 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성되는, 상기 포워딩하는 단계를 포함하고,
    상기 복수의 인덱싱 애플리케이션은 하나의 오버로드 (overlord) 인덱싱 애플리케이션 및 복수의 미니언 (minion) 인덱싱 애플리케이션을 포함하고, 상기 주 서버는 상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션을 포함하도록 구성되고 상기 복수의 부 서버는 상기 복수의 미니언 인덱싱 애플리케이션을 포함하도록 구성되며,
    상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션은 상기 복수의 툴과 상기 주 서버 및 상기 복수의 부 서버 중 적어도 하나의 서버 사이의 일 세트의 관계들을 정의 및 관리하도록 구성되고, 상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션은 상기 복수의 관계들을 상기 복수의 미니언 인덱싱 애플리케이션으로 포워딩하도록 구성되는, 방법.
  9. 삭제
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 툴 클러스터는 플라즈마 프로세싱 클러스터 툴인, 방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 주 서버는 단일화된 액세스 유저 인터페이스를 포함하고, 상기 단일화된 액세스 유저 인터페이스는 탐색 기준 (citeria) 을 수신하도록 구성되며,
    상기 주 서버는 상기 데이터베이스 관리 시스템을 탐색하는데 있어서 상기 탐색 기준을 이용하여 복수의 데이터 파일 중 하나의 데이터 파일에 대한 파일 경로를 식별하도록 구성되고, 상기 데이터베이스 관리 시스템은 상기 복수의 데이터 파일에 관한 복수의 인덱싱된 데이터 아이템을 저장하도록 구성되는, 방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 주 서버는 웹 액세스 유저 인터페이스를 포함하고, 상기 웹 액세스 유저 인터페이스는 탐색 기준을 수신하도록 구성되며,
    상기 주 서버는 상기 데이터베이스 관리 시스템을 탐색하는데 있어서 상기 탐색 기준을 이용하여 복수의 데이터 파일 중 하나의 데이터 파일에 대한 파일 경로를 식별하도록 구성되고, 상기 데이터베이스 관리 시스템은 상기 복수의 데이터 파일에 관한 복수의 인덱싱된 데이터 아이템을 저장하도록 구성되는, 방법.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 주 서버는 상기 복수의 툴로부터 상기 센서 데이터를 수집하도록 구성되고, 상기 주 서버는 인덱싱 애플리케이션을 실행하여 상기 센서 데이터를 인덱싱하도록 구성되는, 방법.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 주 서버는 상기 복수의 부 서버로부터 지리적으로 원거리에 있고, 상기 주 서버는 인터넷을 이용하여 상기 복수의 부 서버에 접속되는, 방법.
  15. 일 세트의 기판들을 프로세싱하도록 구성된 툴 클러스터로부터의 데이터의 수집 및 분석 중 적어도 일방을 수행하는 컴퓨터-구현 방법으로서,
    적어도 하나의 툴이 상기 세트의 기판들 중 적어도 하나의 기판을 프로세싱하기 위한 챔버를 갖는 복수의 툴로부터 센서 데이터를 수집하는 단계;
    상기 센서 데이터를 복수의 부 서버 (secondary server) 로 전송하는 단계;
    상기 복수의 부 서버에 상기 센서 데이터를 저장하는 단계;
    상기 복수의 부 서버 상에서 복수의 인덱싱 애플리케이션을 이용함으로써 상기 센서 데이터를 인덱싱하는 단계로서, 센서 데이터 아이템을 인덱싱하는 것은 상기 센서 데이터 아이템을, 상기 센서 데이터 아이템이 저장되는 서버의 아이덴터티 (identity) 와 적어도 연관시키도록 구성되는, 상기 센서 데이터를 인덱싱하는 단계; 및
    상기 센서 데이터의 인덱싱을 주 서버 (primary server) 로 포워딩하는 단계로서, 상기 주 서버는 상기 복수의 부 서버와 통신 가능하게 커플링되도록 구성되고, 상기 주 서버는 데이터베이스 관리 시스템을 실행하도록 구성되는, 상기 포워딩하는 단계를 포함하고,
    상기 복수의 인덱싱 애플리케이션은 하나의 오버로드 (overlord) 인덱싱 애플리케이션 및 복수의 미니언 (minion) 인덱싱 애플리케이션을 포함하고, 상기 주 서버는 상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션을 포함하도록 구성되고 상기 복수의 부 서버는 상기 복수의 미니언 인덱싱 애플리케이션을 포함하도록 구성되며,
    상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션은 상기 복수의 툴과 상기 주 서버 및 상기 복수의 부 서버 중 적어도 하나의 서버 사이의 일 세트의 관계들을 정의 및 관리하도록 구성되고, 상기 오버로드 인덱싱 애플리케이션은 상기 복수의 관계들을 상기 복수의 미니언 인덱싱 애플리케이션으로 포워딩하도록 구성되는, 컴퓨터-구현 방법.
  16. 삭제
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 툴 클러스터는 플라즈마 프로세싱 클러스터 툴인, 컴퓨터-구현 방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 주 서버는 단일화된 액세스 유저 인터페이스를 포함하고, 상기 단일화된 액세스 유저 인터페이스는 탐색 기준 (criteria) 을 수신하도록 구성되며,
    상기 주 서버는 상기 데이터베이스 관리 시스템을 탐색하는데 있어서 상기 탐색 기준을 이용하여 복수의 데이터 파일 중 하나의 데이터 파일에 대한 파일 경로를 식별하도록 구성되고, 상기 데이터베이스 관리 시스템은 상기 복수의 데이터 파일에 관한 복수의 인덱싱된 데이터 아이템을 저장하도록 구성되는, 컴퓨터-구현 방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 주 서버는 웹 액세스 유저 인터페이스를 포함하고, 상기 웹 액세스 유저 인터페이스는 탐색 기준을 수신하도록 구성되며,
    상기 주 서버는 상기 데이터베이스 관리 시스템을 탐색하는데 있어서 상기 탐색 기준을 이용하여 복수의 데이터 파일 중 하나의 데이터 파일에 대한 파일 경로를 식별하도록 구성되고, 상기 데이터베이스 관리 시스템은 상기 복수의 데이터 파일에 관한 복수의 인덱싱된 데이터 아이템을 저장하도록 구성되는, 컴퓨터-구현 방법.
  20. 제 15 항에 있어서,
    상기 주 서버는 상기 복수의 툴로부터 상기 센서 데이터를 수집하도록 구성 되고, 상기 주 서버는 인덱싱 애플리케이션을 실행하여 상기 센서 데이터를 인덱싱하도록 구성되는, 컴퓨터-구현 방법.
  21. 제 15 항에 있어서,
    상기 주 서버는 상기 복수의 부 서버로부터 지리적으로 원거리에 있고, 상기 주 서버는 인터넷을 이용하여 상기 복수의 부 서버에 접속되는, 컴퓨터-구현 방법.
KR1020097012205A 2006-12-14 2007-12-07 주 서버 아키텍처 네트워킹 장치 및 이를 위한 방법 Active KR101455880B1 (ko)

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7222297B2 (en) 2002-01-14 2007-05-22 International Business Machines Corporation System and method for using XML to normalize documents
US9928309B2 (en) * 2010-06-28 2018-03-27 Nokia Technologies Oy Handling content associated with content identifiers
EP2418611A1 (en) * 2010-08-10 2012-02-15 Deutsche Post AG Distributed architecture for paperwork imaging
RU2446409C1 (ru) * 2010-12-27 2012-03-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Поволжский государственный университет сервиса" Способ испытаний оборудования и/или электронных систем автотранспортных средств на восприимчивость к электромагнитному полю
JP5751336B2 (ja) * 2011-10-18 2015-07-22 富士通株式会社 情報処理装置、時刻補正値決定方法、およびプログラム
US9262294B2 (en) * 2011-10-31 2016-02-16 Hewlett Packard Enterprise Development Lp System and method for event detection and correlation from moving object sensor data
US9558248B2 (en) * 2013-01-16 2017-01-31 Google Inc. Unified searchable storage for resource-constrained and other devices
TWI488053B (zh) * 2013-12-17 2015-06-11 Inventec Corp 雲端裝置配置方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050058374A (ko) * 2002-08-20 2005-06-16 도쿄 일렉트론 가부시키가이샤 데이터 콘텍스트 기반 데이터 처리방법
JP2006259928A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> データ収集装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6311214B1 (en) * 1995-07-27 2001-10-30 Digimarc Corporation Linking of computers based on optical sensing of digital data
US6634008B1 (en) * 1999-06-20 2003-10-14 Fujitsu Limited Methodology server based integrated circuit design
US6735630B1 (en) * 1999-10-06 2004-05-11 Sensoria Corporation Method for collecting data using compact internetworked wireless integrated network sensors (WINS)
KR100599442B1 (ko) 2000-05-31 2006-07-12 주식회사 하이닉스반도체 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템및 그 방법
US20020087229A1 (en) 2001-01-02 2002-07-04 Pasadyn Alexander J. Use of endpoint system to match individual processing stations wirhin a tool
US7269632B2 (en) * 2001-06-05 2007-09-11 Xdyne, Inc. Networked computer system for communicating and operating in a virtual reality environment
US6965895B2 (en) 2001-07-16 2005-11-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for analyzing manufacturing data
US20050101841A9 (en) * 2001-12-04 2005-05-12 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Healthcare networks with biosensors
US7222297B2 (en) * 2002-01-14 2007-05-22 International Business Machines Corporation System and method for using XML to normalize documents
US6825050B2 (en) * 2002-06-07 2004-11-30 Lam Research Corporation Integrated stepwise statistical process control in a plasma processing system
EP1546827A1 (en) 2002-09-30 2005-06-29 Tokyo Electron Limited Method and apparatus for the monitoring and control of a semiconductor manufacturing process
US6862557B2 (en) * 2003-06-12 2005-03-01 Lam Research Corporation System and method for electronically collecting data in a fabrication facility
US8108429B2 (en) * 2004-05-07 2012-01-31 Quest Software, Inc. System for moving real-time data events across a plurality of devices in a network for simultaneous data protection, replication, and access services
US7363195B2 (en) * 2004-07-07 2008-04-22 Sensarray Corporation Methods of configuring a sensor network
US7219255B2 (en) * 2004-07-27 2007-05-15 Mks Instruments, Inc. Failsafe switching of intelligent controller method and device
JP4487730B2 (ja) * 2004-11-02 2010-06-23 株式会社日立製作所 生活状態通知システム
JP4808409B2 (ja) * 2005-01-14 2011-11-02 株式会社日立製作所 センサネットワークシステム、センサデータの検索方法及びプログラム
US7162317B2 (en) * 2005-02-25 2007-01-09 Lam Research Corporation Methods and apparatus for configuring plasma cluster tools
US7353379B2 (en) * 2005-02-25 2008-04-01 Lam Research Corporation Methods for configuring a plasma cluster tool
JP4596943B2 (ja) * 2005-03-24 2010-12-15 株式会社日立製作所 センサネットワークシステム、データの転送方法及びプログラム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050058374A (ko) * 2002-08-20 2005-06-16 도쿄 일렉트론 가부시키가이샤 데이터 콘텍스트 기반 데이터 처리방법
JP2006259928A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> データ収集装置

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