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KR101442721B1 - 반도체 cvd 라인용 덕트 조립체 - Google Patents

반도체 cvd 라인용 덕트 조립체 Download PDF

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Publication number
KR101442721B1
KR101442721B1 KR1020140005409A KR20140005409A KR101442721B1 KR 101442721 B1 KR101442721 B1 KR 101442721B1 KR 1020140005409 A KR1020140005409 A KR 1020140005409A KR 20140005409 A KR20140005409 A KR 20140005409A KR 101442721 B1 KR101442721 B1 KR 101442721B1
Authority
KR
South Korea
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duct
cover
duct body
reinforcing
flange
Prior art date
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Active
Application number
KR1020140005409A
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English (en)
Inventor
한영수
배명진
안윤금
Original Assignee
(주) 늘푸른동방
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by (주) 늘푸른동방 filed Critical (주) 늘푸른동방
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Abstract

본 발명은 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체에 관한 것으로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 라인으로 공정 가스를 공급하되 플라스틱 재질로 제작되는 가스 공급용 덕트; 및 상기 가스 공급용 덕트의 외부를 감싸도록 배치되어 상기 가스 공급용 덕트를 보강하는 덕트 보강용 커버를 포함한다.

Description

반도체 CVD 라인용 덕트 조립체{Duct assembly for chemical vapor deposition line}
본 발명은, 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 안전성은 확보할 수 있으면서도 종전처럼 제조비용이 과도하게 소요되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 필요에 따라 부수장치를 연결해서 사용할 수 있어 편의성이 대폭 향상될 수 있는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체에 관한 것이다.
전자제품의 핵심 부품인 반도체는 증착(Deposition), 식각(Etching) 등의 다양한 공정을 순차적으로 또한 반복적으로 수행하여 실리콘 상에 박막 트랜지스터를 배열함으로써 제품으로 제조된다.
반도체의 제조 공정 중의 하나로서 화학 기상 증착 공정(CVD, Chemical Vapor Deposition Process)이 존재한다.
CVD 공정은 고주파 전원에 의해 플라즈마(Plasma)화 되어 높은 에너지를 갖는 반응성 가스 이온(ion)이 소위, 샤워헤드(Shower Head)라고도 하는 전극으로부터 튀어나와 실리콘 상에 증착되는 공정이다.
한편, CVD 공정의 수행을 위해 CVD 라인으로 공정 가스를 공급하기 위한 덕트(duct)가 필요하다.
이때, CVD 라인으로 공급되는 공정 가스는 실란이나 불산 등의 유독성 가스로서 폭발 위험성이 있기 때문에 안전성 문제로 인해 PVC와 같은 플라스틱 덕트가 적용되지 못하고, 금속 강관을 이용한 금속 덕트가 적용된다.
하지만, 반도체 CVD 라인용 덕트를 금속 덕트로 적용하는 경우, 제조비용이 높아질 뿐만 아니라 덕트의 부식발생으로 가스유출 우려가 높고, 또한 구조상 부수장치를 연결해서 사용하기가 어려운 문제점이 야기되고 있으므로 이에 대한 구조 보완이 요구된다.
대한민국특허청 출원번호 제10-1999-0035201호
본 발명의 목적은, 안전성은 확보할 수 있으면서도 종전처럼 제조비용이 과도하게 소요되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 필요에 따라 부수장치를 연결해서 사용할 수 있어 편의성이 대폭 향상될 수 있는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체를 제공하는 것이다.
상기 목적은, CVD(Chemical Vapor Deposition) 라인으로 공정 가스를 공급하되 플라스틱 재질로 제작되는 가스 공급용 덕트; 및 상기 가스 공급용 덕트의 외부를 감싸도록 배치되어 상기 가스 공급용 덕트를 보강하는 덕트 보강용 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체에 의해 달성된다.
상기 가스 공급용 덕트는, 덕트 바디; 상기 덕트 바디의 측부에 결합되며, 상기 덕트 바디 내의 내부를 관찰하면서 점검하는 점검창; 상기 점검창에 이웃되게 상기 덕트 바디에 결합되며, 상기 덕트 바디 내로 작업자의 손이 출입되도록 하는 소제구; 및 상기 덕트 바디의 상부에 결합되며, 반도체 장비로 연결되는 배관과의 결합을 위한 배관 플랜지를 구비하는 적어도 하나의 더미 배관을 포함할 수 있다.
상기 덕트 보강용 커버는 금속 재질로 제작될 수 있으며, 상기 덕트 보강용 커버는, 상기 덕트 바디의 상부를 감싸도록 마련되며, 상면에 상기 더미 배관이 노출되는 더미 배관용 노출공이 형성되고 측면에 제1 결합 플랜지가 마련되는 상부 보강커버; 및 상기 상부 보강커버와 대칭되게 마련되어 상기 덕트 바디의 하부를 감싸며, 상기 제1 결합 플랜지와 접촉되어 볼트 결합되는 제2 결합 플랜지를 구비하는 하부 보강커버를 포함하며, 상기 상부 보강커버와 상기 하부 보강커버의 측면에는 상기 점검창과 상기 소제구가 노출되는 점검창용 노출구와 소제구용 노출구가 각각 반반씩 형성될 수 있다.
상기 덕트 보강용 커버는, 상기 덕트 바디의 상부를 부분적으로 감싸도록 마련되며, 상면에 상기 더미 배관이 노출되는 더미 배관용 노출공이 형성되고 측면의 단부에 제1 주름부가 형성되는 상부 보강커버; 상기 덕트 바디의 하부를 부분적으로 감싸도록 마련되며, 측면의 단부에 제2 주름부가 형성되는 하부 보강커버; 및 상기 덕트 바디의 양쪽 측부에 배치되어 해당 위치에서 상기 상부 보강커버 및 상기 하부 보강커버와 결합되되 단부에 상기 제1 및 제2 주름부와 연결되는 제3 및 제4 주름부를 구비하며, 측면에 상기 점검창과 상기 소제구가 노출되는 점검창용 노출구와 소제구용 노출구가 형성되는 측부 보강커버를 포함할 수 있다.
상기 소제구는, 상기 덕트 바디에 결합되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 연결되며, 상기 작업자의 손이 출입되도록 하는 다수의 조각커튼이 내부에 마련되는 소제구 보스; 및 상기 소제구 보스에 착탈 가능하게 결합되는 보스 마개를 포함할 수 있다.
상기 더미 배관의 배관 플랜지에는 플랜지 커버가 결합되며, 상기 덕트 바디의 상부에는 직경이 상이한 다수의 더미 배관이 배치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 안전성은 확보할 수 있으면서도 종전처럼 제조비용이 과도하게 소요되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 필요에 따라 부수장치를 연결해서 사용할 수 있어 편의성이 대폭 향상될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체의 분해 사시도,
도 2는 덕트 보강용 커버의 분해 사시도,
도 3은 가스 공급용 덕트의 부분 분해 사시도,
도 4는 점검창의 사시도,
도 5는 도 4의 종단면도,
도 6은 도 5에서 사이트 윈도우를 제거하고 슬라이드 윈도우를 업(up)시킨 상태의 단면도,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체에서 덕트 보강용 커버의 분해 사시도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체의 분해 사시도, 도 2는 덕트 보강용 커버의 분해 사시도, 도 3은 가스 공급용 덕트의 부분 분해 사시도, 도 4는 점검창의 사시도, 도 5는 도 4의 종단면도, 그리고 도 6은 도 5에서 사이트 윈도우를 제거하고 슬라이드 윈도우를 업(up)시킨 상태의 단면도이다.
이들 도면을 참조하되 주로 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체는 안전성은 확보할 수 있으면서도 종전처럼 제조비용이 과도하게 소요되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 필요에 따라 부수장치를 연결해서 사용할 수 있어 편의성이 대폭 향상될 수 있도록 한 것으로서, 가스 공급용 덕트(110)와 덕트 보강용 커버(160)를 포함한다.
가스 공급용 덕트(110)는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 라인으로 공정 가스, 예컨대 실란이나 불산 등의 유독성 가스를 공급하는 파이프이다. 본 실시예의 경우, 가스 공급용 덕트(110)는 PVC와 같은 플라스틱 재질로 제작될 수 있다.
PVC와 같은 플라스틱 재질로 가스 공급용 덕트(110)를 제작할 경우, 재료비가 절감될 뿐만 아니라 성형이 쉬운 이점이 있다.
다만, 플라스틱 재질로 된 가스 공급용 덕트(110)를 단독으로 사용할 경우, 유독성 가스의 폭발 위험성으로 인해 안정성 문제가 대두될 수 있지만, 본 실시예의 경우에는 덕트 보강용 커버(160)가 더 적용됨에 따라 이러한 문제를 해소할 수 있다.
덕트 보강용 커버(160)는 가스 공급용 덕트(110)의 외부를 감싸도록 배치되어 가스 공급용 덕트(110)를 보강하는 역할을 한다.
이처럼 덕트 보강용 커버(160)는 가스 공급용 덕트(110)를 보강하는 역할을 하기 때문에 금속 재질로 제작될 수 있다. 하지만, 금속 재질이 아니더라도 금속과 유사한 강도를 제공할 수 있는 플라스틱이라면 그것을 사용하여 덕트 보강용 커버(160)를 만들 수도 있을 것이다.
덕트 보강용 커버(160)의 설명에 앞서, 가스 공급용 덕트(110)의 구조에 대해 알아본다.
가스 공급용 덕트(110)는 앞서 기술한 바와 같이, PVC와 같은 플라스틱 재질로 제작될 수 있기 때문에 덕트 바디(120)에 점검창(130), 소제구(140) 및 더미 배관(151~153)이 일체로 형성된 구조물로 제작될 수 있다. 물론, 덕트 바디(120)에 점검창(130), 소제구(140) 및 더미 배관(151~153)이 모두 마련되어야 하는 것은 아니며 필요에 따라 선택될 수도 있다. 다만, 본 실시예의 경우, 덕트 바디(120)에 점검창(130), 소제구(140) 및 더미 배관(151~153)이 모두 형성된 것을 예로 하여 설명한다.
우선, 점검창(130)은 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 덕트 바디(120)의 내부 상황을 관찰할 수 있음은 물론 필요에 따라 덕트 바디(120) 내의 이물질을 제거할 수 있도록 덕트 바디(120)의 측부에 결합된다. 점검창(130)은 덕트 바디(120)의 양측면 모두에 결합될 수 있다.
이러한 점검창(130)은 본체부(131), 사이트 윈도우(sight window, 132), 체결부재(133), 그리고 슬라이드 윈도우(134)를 포함한다.
본체부(131)는 점검창(130)에서 대부분의 부피를 차지하는 골격을 이루면서 사이트 윈도우(132)를 지지한다. 본체부(131)의 내부에는 통로(130a)가 형성된다. 도 6처럼 개방될 경우, 통로(130a)는 흡입파이프나 기타 도구를 이용하여 덕트(duct) 내부의 이물질을 제거할 때 활용되는 공간이다.
본체부(131)는 전면 플랜지(131a)와, 전면 플랜지(131a)의 후방으로 이격된 위치에서 전면 플랜지(131a)와 나란하게 배치되는 후면 플랜지(131b)와, 전면 및 후면 플랜지(120,130)를 연결하는 덕트 형상의 연결 바디(131c)를 포함한다.
전면 플랜지(131a), 후면 플랜지(131b) 및 연결 바디(131c)는 부분적으로 제조된 후에 상호 용접이나 본딩 등의 방법에 의해 결합될 수도 있고, 일체형으로 제작될 수도 있다. 후자의 방법이 밀폐 구현에 좀 더 유리할 수 있지만, 전자의 경우라 하더라도 결합부위를 실링 처리함으로써 밀폐를 실현시킬 수 있다.
전면 및 후면 플랜지(120,130)가 내부가 뚫린 판 구조물로 마련되는 반면 연결 바디(131c)는 덕트형, 즉 박스(box)형 구조물일 수 있다. 연결 바디(131c)의 내부에는 도 5 및 도 6처럼 제1 및 제2 스커트부(S1,S2)가 형성될 수 있다. 제1 및 제2 스커트부(S1,S2)는 후술할 슬라이드 윈도우(slide window, 134)를 부분적으로 가이드하는 역할을 겸한다.
사이트 윈도우(132)는 전면 플랜지(131a)의 전면부에 결합된다. 투명한 유리, 특히 투명한 강화유리로 제작될 수 있는데, 경우에 따라서는 투명 또는 반투명의 플라스틱 재질이 적용될 수 있다. 이처럼 최전방에 사이트 윈도우(132)가 결합됨으로써 통로(130a)를 통하여 덕트 내부를 관찰할 수 있는 이점이 있다.
사이트 윈도우(132)와 전면 플랜지(131a) 사이에는 제1 개스킷(G1)이 마련되어 이 영역을 기밀 유지시킬 수 있다.
체결부재(133)는 제1 개스킷(G1)을 포함하여 사이트 윈도우(132)를 전면 플랜지(131a)에 체결시키는 요소이다. 볼 스크루(133a)와 너트(133b)를 구비하며, 사이트 윈도우(132)의 둘레 방향을 따라 다수 개 마련된다.
볼 스크루(133a)와 너트(133b)는 상호간 분리될 수 있는데, 볼 스크루(133a)는 사이트 윈도우(132) 및 제1 개스킷(G1)을 차례로 통과하여 전면 플랜지(131a)에 체결된다. 따라서 도 5처럼 제1 개스킷(G1)의 전면에 사이트 윈도우(132)를 배치하고 너트(133b)를 볼 스크루(133a)에 조이면 사이트 윈도우(132)를 설치할 수 있고, 너트(133b)를 풀면 도 6처럼 사이트 윈도우(132)를 제거하여 덕트 내의 이물질 제거 작업을 진행할 수 있다.
슬라이드 윈도우(134)는 사이트 윈도우(132)와 나란하게 배치되되 연결 바디(131c)의 내외로 업/다운(up/down)되면서 통로(130a)를 선택적으로 개폐하는 역할을 한다.
슬라이드 윈도우(134)는 통로(130a)를 통한 덕트 내의 이물질 제거 작업 시 정압을 깨뜨리지 않고 작업할 수 있도록 한다. 다시 말해, 본 실시예의 경우, 정압을 크게 깨뜨리지 않으면서 덕트 내부로 도구를 집어넣을 수 있도록 슬라이드 윈도우(134)를 승하강시켜 도구의 삽입이 용이하도록 하고 있는 것이다.
이러한 슬라이드 윈도우(134) 역시, 투명한 유리, 특히 투명한 강화유리로 제작될 수 있지만, 경우에 따라서는 투명 또는 반투명의 플라스틱 재질이 적용될 수 있다. 슬라이드 윈도우(134)의 판면에는 손잡이부(134a)가 형성된다. 손잡이부(134a)는 슬라이드 윈도우(134)의 판면을 관통하는 긴 장공의 형태로 제작될 수 있다.
슬라이드 윈도우(134)는 지지부재(135)에 의해 지지되는데, 슬라이드 윈도우(134)는 지지부재(135)와 함께 업/다운(up/down) 구동된다. 즉 도 5 및 도 6처럼 슬라이드 윈도우(134)는 지지부재(135)의 판면에 교차되는 방향을 따라 배치되며, 지지부재(135)와 함께 업/다운 구동된다. 슬라이드 윈도우(134)가 지지부재(135)를 통과하도록 결합된 후에, 슬라이드 윈도우(134)와 지지부재(135)의 결합영역이 실링 처리되는 형태로서 슬라이드 윈도우(134)와 지지부재(135)는 한 몸체를 이룰 수 있다. 지지부재(135)와 연결 바디(131c) 사이에는 제2 개스킷(G2)이 개재된다.
이러한 구성에 의해, 슬라이드 윈도우(134)를 다운(down)시켜 통로(130a)를 차폐하면서 최전방에 사이트 윈도우(132)를 체결부재(133)로 체결시킴으로써 도 5와 같은 상태를 이룰 수 있다.
도 5의 상태에서, 덕트 내의 이물질 제거 작업이 필요하면, 도 6처럼 너트(133b)를 풀어 사이트 윈도우(132)를 제거하고, 이어 지지부재(135)와 함께 슬라이드 윈도우(134)를 업(up)시켜 통로(130a)를 개방한 다음에, 개방된 공간으로 흡입파이프나 기타 도구를 넣어 덕트 내부의 이물질을 제거할 수 있다.
다음으로, 소제구(140)는 점검창(130)에 이웃되게 덕트 바디(120)에 결합되며, 덕트 바디(120) 내로 작업자의 손이 출입되도록 하는 역할을 한다.
도 3을 참조하면, 소제구(140)는 덕트 바디(120)에 결합되는 베이스 플레이트(141)와, 베이스 플레이트(141)에 연결되며, 작업자의 손이 출입되도록 하는 다수의 조각커튼(143)이 내부에 마련되는 소제구 보스(142)와, 소제구 보스(142)에 착탈 가능하게 결합되는 보스 마개(144)를 포함한다.
소제구(140)를 사용하고자 할 때는 도 3처럼 소제구 보스(142)로부터 보스 마개(144)를 분리한 후, 조각커튼(143)을 밀어 손이나 석션기구 등을 덕트 바디(120) 내로 넣어 청소 작업 등을 수행할 수 있다.
다음으로, 더미 배관(151~153)은 덕트 바디(120)의 상부에 결합되며, 반도체 장비로 연결되는 배관과의 결합을 위해 마련된다. 더미 배관(151~153)들에는 배관 플랜지(151a~153a)가 형성되기 때문에 반도체 장비로 연결되는 배관과의 결합이 용이하다.
본 실시예의 경우, 덕트 바디(120)의 상부에 직경이 상이한 다수의 더미 배관(151~153)이 배치된다. 따라서 반도체 장비로 연결되는 배관의 직경과 동일한 것을 찾아 사용할 수 있다.
평상 시 더미 배관(151~153)이 개방되면 아니 되므로 더미 배관(151~153)의 배관 플랜지(151a~153a)에는 플랜지 커버(151b~153b)가 결합된다. 플랜지 커버(151b~153b)는 투명한 재질로 제작될 수도 있다.
한편, 앞서도 기술한 바와 같이, 덕트 보강용 커버(160)는 가스 공급용 덕트(110)의 외부를 감싸도록 배치되어 가스 공급용 덕트(110)를 보강하는 역할을 한다.
이러한 덕트 보강용 커버(160)는 크게, 상부 보강커버(170)와 하부 보강커버(180)를 포함한다.
상부 보강커버(170)와 하부 보강커버(180)는 거의 유사한 형상과 사이즈로 제작되어 가스 공급용 덕트(110)를 사이에 두고 상하로 결합되는 형태를 취한다. 따라서 조립도 용이한 이점이 있다.
상부 보강커버(170)는 덕트 바디(120)의 상부를 감싸도록 마련된다. 상부 보강커버(170)의 상면에는 더미 배관(151~153)이 노출되는 더미 배관용 노출공(171~173)이 형성된다. 더미 배관용 노출공(171~173)은 더미 배관(151~153)의 사이즈에 따라 상이할 수 있다. 상부 보강커버(170)의 측면에는 제1 결합 플랜지(174)가 마련된다.
하부 보강커버(180)는 더미 배관용 노출공(171~173)을 제외하고 상부 보강커버(170)와 동일한 구조를 갖는다. 즉 하부 보강커버(180)는 상부 보강커버(170)와 대칭되게 마련되어 덕트 바디(120)의 하부를 감싸면서 상부 보강커버(170)와 결합된다. 하부 보강커버(180)에는 제1 결합 플랜지(174)와 접촉되어 볼트(B) 및 너트(N)로 결합되는 제2 결합 플랜지(184)가 형성된다.
그리고 상부 보강커버(170)와 하부 보강커버(180)의 측면에는 점검창(130)과 소제구(140)가 노출되는 제1 및 제2 점검창용 노출구(175,185)와 제1 및 제2 소제구용 노출구(176,186)가 각각 형성된다. 제1 및 제2 점검창용 노출구(175,185)와 제1 및 제2 소제구용 노출구(176,186)는 상부 보강커버(170)와 하부 보강커버(180)의 측면에서 반반씩 형성될 수 있으나 반드시 그러할 필요는 없다.
이상 설명한 바와 같이, 가스 공급용 덕트(110)는 플라스틱 재질로 제작하는 한편 덕트 보강용 커버(160)를 사용하여 보강함으로써, 안전성은 확보할 수 있으면서도 종전처럼 제조비용이 과도하게 소요되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 필요에 따라 부수장치를 연결해서 사용할 수 있어 편의성이 대폭 향상될 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체에서 덕트 보강용 커버의 분해 사시도이다.
이 도면을 참조하면, 본 실시예의 경우, 덕트 보강용 커버(260)는 상부 보강커버(270), 하부 보강커버(280) 및 측부 보강커버(290)라는 3 파트(PART)로 제작되어 상호간 결합되면서 가스 공급용 덕트(110, 도 1 참조)를 보강한다.
상부 보강커버(270)는 덕트 바디(120, 도 1 참조)의 상부를 부분적으로 감싸도록 마련된다. 상부 보강커버(270)의 상면에는 더미 배관(151, 도 1 참조)이 노출되는 더미 배관용 노출공(271)이 형성되고 측면의 단부에 제1 주름부(272)가 형성된다. 더미 배관용 노출공(271)은 전술한 실시예처럼 3개일 수도 있으나 편의상 하나만 도시하였다.
하부 보강커버(280)는 덕트 바디(120)의 하부를 부분적으로 감싸도록 마련되며, 측면의 단부에 제2 주름부(281)가 형성된다.
그리고 측부 보강커버(290)는 상부 보강커버(270)와 하부 보강커버(280) 사이에서 이들과 연결된다. 즉 측부 보강커버(290)는 덕트 바디(120)의 양쪽 측부에 배치되어 해당 위치에서 상부 보강커버(270)와 하부 보강커버(280)와 결합된다.
이러한 측부 보강커버(290)의 단부에는 제1 및 제2 주름부(272,281)와 각각 연결되는 제3 및 제4 주름부(291,292)가 형성된다. 그리고 측부 보강커버(290)의 측면에는 점검창(130, 도 1 참조)과 소제구(140, 도 2 참조)가 노출되는 점검창용 노출구(293)와 소제구용 노출구(294)가 형성된다. 따라서 상부 보강커버(270) 및 하부 보강커버(280)의 단부에 형성된 제1 및 제2 주름부(272, 281)를 각각 측부 보강커버에 형성되는 제3 및 제4 주름부(291, 292)에 간단히 결합시킴으로써, 덕트 보강용 커버의 조립이 완료될 수 있다.
이와 같은 구조의 덕트 보강용 커버(260)를 이용하여 가스 공급용 덕트(110)를 보강하더라도 안전성은 확보할 수 있으면서도 종전처럼 제조비용이 과도하게 소요되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 필요에 따라 부수장치를 연결해서 사용할 수 있어 편의성이 대폭 향상될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110 : 가스 공급용 덕트 120 : 덕트 바디
130 : 점검창 140 : 소제구
141 : 베이스 플레이트 142 : 소제구 보스
143 : 조각커튼 144 : 보스 마개
151~153 : 더미 배관 151a~153a : 배관 플랜지
151b~153b : 플랜지 커버 160 : 덕트 보강용 커버
170 : 상부 보강커버 171~173 : 더미 배관용 노출공
174 : 제1 결합 플랜지 175 : 제1 점검창용 노출구
176 : 제1 소제구용 노출구 180 : 하부 보강커버
184 : 제2 결합 플랜지 185 : 제2 점검창용 노출구
186 : 제2 소제구용 노출구

Claims (6)

  1. CVD(Chemical Vapor Deposition) 라인으로 공정 가스를 공급하되 플라스틱 재질로 제작되는 가스 공급용 덕트; 및
    상기 가스 공급용 덕트의 외부를 감싸도록 배치되어 상기 가스 공급용 덕트를 보강하는 덕트 보강용 커버를 포함하며,
    상기 가스 공급용 덕트는,
    덕트 바디;
    상기 덕트 바디의 측부에 결합되며, 상기 덕트 바디 내의 내부를 관찰하면서 점검하는 점검창;
    상기 점검창에 이웃되게 상기 덕트 바디에 결합되며, 상기 덕트 바디 내로 작업자의 손이 출입되도록 하는 소제구; 및
    상기 덕트 바디의 상부에 결합되며, 반도체 장비로 연결되는 배관과의 결합을 위한 배관 플랜지를 구비하는 적어도 하나의 더미 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 덕트 보강용 커버는 금속 재질로 제작되며,
    상기 덕트 보강용 커버는,
    상기 덕트 바디의 상부를 감싸도록 마련되며, 상면에 상기 더미 배관이 노출되는 더미 배관용 노출공이 형성되고 측면에 제1 결합 플랜지가 마련되는 상부 보강커버; 및
    상기 상부 보강커버와 대칭되게 마련되어 상기 덕트 바디의 하부를 감싸며, 상기 제1 결합 플랜지와 접촉되어 볼트 결합되는 제2 결합 플랜지를 구비하는 하부 보강커버를 포함하며,
    상기 상부 보강커버와 상기 하부 보강커버의 측면에는 상기 점검창과 상기 소제구가 노출되는 점검창용 노출구와 소제구용 노출구가 각각 반반씩 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 덕트 보강용 커버는,
    상기 덕트 바디의 상부를 부분적으로 감싸도록 마련되며, 상면에 상기 더미 배관이 노출되는 더미 배관용 노출공이 형성되고 측면의 단부에 제1 주름부가 형성되는 상부 보강커버;
    상기 덕트 바디의 하부를 부분적으로 감싸도록 마련되며, 측면의 단부에 제2 주름부가 형성되는 하부 보강커버; 및
    상기 덕트 바디의 양쪽 측부에 배치되어 해당 위치에서 상기 상부 보강커버 및 상기 하부 보강커버와 결합되되 단부에 상기 제1 및 제2 주름부와 연결되는 제3 및 제4 주름부를 구비하며, 측면에 상기 점검창과 상기 소제구가 노출되는 점검창용 노출구와 소제구용 노출구가 형성되는 측부 보강커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 소제구는,
    상기 덕트 바디에 결합되는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트에 연결되며, 상기 작업자의 손이 출입되도록 하는 다수의 조각커튼이 내부에 마련되는 소제구 보스; 및
    상기 소제구 보스에 착탈 가능하게 결합되는 보스 마개를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 더미 배관의 배관 플랜지에는 플랜지 커버가 결합되며,
    상기 덕트 바디의 상부에는 직경이 상이한 다수의 더미 배관이 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 CVD 라인용 덕트 조립체.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0842749A (ja) * 1994-06-08 1996-02-16 British Gas Plc パイプの据え付け方法および装置
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KR20130007166U (ko) * 2012-06-05 2013-12-13 대우조선해양 주식회사 덕트의 인슐레이션 보강판 구조

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