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KR101436483B1 - 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템 - Google Patents

퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템 Download PDF

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KR101436483B1
KR101436483B1 KR1020130026020A KR20130026020A KR101436483B1 KR 101436483 B1 KR101436483 B1 KR 101436483B1 KR 1020130026020 A KR1020130026020 A KR 1020130026020A KR 20130026020 A KR20130026020 A KR 20130026020A KR 101436483 B1 KR101436483 B1 KR 101436483B1
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KR
South Korea
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cryo
panel
purge gas
purge
freezer
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KR1020130026020A
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Inventor
이영일
김호림
Original Assignee
주식회사 조인솔루션
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Publication date
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Abstract

본 발명은 크라이오 펌프의 재생사이클중 웜엄 과정에서 크라이오 펌프 내로 유입되는 퍼지가스를 이용한 히터를 설치하여 크라이오 패널을 가열할 수 있는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은, 크라이오 펌프(10)에는 크라이오 냉동기(11)가 내장된 크라이오 펌프용기(12)로 구성되어; 상기 크라이오 펌프용기(12)에 내장된 방사실드(13)내에는 제 2 크라이오 패널(14)와 제 1 크라이오 패널(15)이 각각 설치되고, 상기 방사실드(13)에는 제 2 크라이오 패널 온도센서(17)와 제 1 크라이오 패널 온도센서(18)가, 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오펌프 압력센서 또는 게이지(19)가 각각 부착되며; 상기 크라이오 펌프용기(12)에는 릴리프 밸브(40)가 설치되는 한편, 퍼지가스 밸브(20)의 퍼지가스 공급배관(21)이 관통되어 2 개의 퍼지 가스노즐(22)로써 상기 방사실드(13)내까지 연장되고; 상기 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오 냉동기 구동부(16)가 설치되고, 상기 방사실드(13)내와 제 2 크라이오 패널(14)에는 제 1 크라이오 패널 퍼지히터블록(23)와 제 2 크라이오 패널 퍼지 히터블록(24)이 각각 부착된 것을 특징으로 한다.

Description

퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템{HEATING SYSTEM OF CRYO PANNEL}
본 발명은 크라이오 펌프의 재생사이클중 웜엄(warm up) 과정에서 크라이오 펌프 내로 유입되는 퍼지(purge) 가스를 이용한 히터를 설치하여 크라이오 패널을 가열할 수 있는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템에 관한 것이다.
진공용기내에 극저온면을 설치하여 상기 진공용기내의 기체 분자를 응축 또는 흡착시키는 크라이오펌프는 기체를 유효하게 배기시키기 위해서 응축의 경우 증기압이, 흡착의 경우 흡착평형 압력이 10 - 8 pa이하로 되어 있어야 한다. 그러므로, 크라이오 펌프는 모든 기체를 응축 흡착할 수 있으며, 초고진공 상태를 얻을 수 있다.
상기 크라이오펌프에서 사용되는 냉동기는 2 단의 냉동기로 구성되어 있는 바, 그 중 1 단 냉동기는 냉동능력이 큰 80K 이하로 냉각할 수 있으며, 2 단 냉동기는 냉동능력이 작은 20K 이하로 냉각할 수 있도록 되어 있다.
그리고, 15K 크라이오 패널의 응축패널과 15K 크라이오 패널의 흡착패널은 상기 2 단 냉동기에 부착되어 있다. 냉동능력이 큰 1 단 냉동기에 부착되어 있는 80K의 실드와 버플(Buffle)은 실온의 복사열로부터 펌프를 보호하고 있다.
도 1 및 도 2 는 종래의 크라이오 펌프시스템을 설명하기 위한 도면들이다. 크라이오 펌프(10)에는 크라이오 냉동기(11)가 내장된 크라이오 펌프용기(12)로 구성되어 있는 바, 상기 크라이오 펌프용기(12)에 내장된 방사실드(13)내에는 제 2 크라이오 패널(14)와 제 1 크라이오 패널(15)이 각각 설치되어 있다. 그리고, 상기 방사실드(13)에는 제 2 크라이오 패널 온도센서(17)와 제 1 크라이오 패널 온도센서(18)가, 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오펌프 압력센서 또는 게이지(19)가 각각 부착되어 있다.
상기 크라이오 펌프용기(12)에는 릴리프 밸브(40)가 설치되는 한편, 퍼지가스 밸브(20)의 퍼지가스 공급배관(21)이 관통되어 상기 방사실드(13)내까지 연장되게 된다. 상기 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오 냉동기 구동부(16)가 설치되고, 상기 방사실드(13)내와 제 2 크라이오 패널(14)에는 전기히터 전원공급선(33)이 연결된 제 2 크라이오 패널 전기히터(32)와 제 1 크라이오 패널 전기히터(31)가 각각 부착되어 있다.
종래의 크라이오 펌프 시스템은 주기적인 재생(Regeneration)사이클이 필요하게 되는 바, 상기 재생사이클을 통하여 크라이오 펌프는 제 1 크라이오 패널(15) 및 제 2 크라이오 패널(14)에 흡착 또는 응축, 응고 되어 있는 수분 및 가스를 탈착 및 증발 시켜 펌핑 능력을 회복할 수 있다.
이러한 재생사이클은 웜업(warm up), 퍼지(purge), 러핑(roughing), 쿨다운(cool down)으로 이루어진다(도 7 에 도시된 기존 퍼지방법의 그래프 참조).
상기 크라이오 펌프(10)는 일반적으로 빠른 재생(fast regeneration) 기능의 유/무에 따라 2 가지로 분류되어지고, 상기 빠른 재생기능을 가지고 있는 빠른 레진(Fast Regen) 크라이오 펌프와 빠른 재생기능이 없는 노멀(Normal) 크라이오 펌프로 나누어지고 있다.
종래의 크라이오 펌프는 재생사이클의 하나인 웜업과정에서 빠른 레진 크라이오 펌프의 경우, 제 1 크라이오 패널 히터(31)와 제 2 크라이오 패널 히터(32)를 가동하여 전기적으로 열을 가함과 동시에 퍼지 가스를 유입시켜 전기 히터의 발열과 퍼지 가스의 대류 열전달을 통하여 크라이오 패널들의 온도를 상승시킨다.
또한, 노멀(Normal) 크라이오 펌프의 경우에도 퍼지 가스만을 유입시키며, 유입된 퍼지 가스의 대류 열전달 만으로 크라이오 패널들의 온도를 상승시킨다.
이를 상세히 설명하면 종래 크라이오 펌프시스템의 웜업(warm up)에 있어, 크라이오 펌프시스템은 수분과 가스를 응고, 응축, 흡착하여 고진공을 실현하는 펌프(10)인 바, 이러한 수분 및 가스들은 용량이 정해져 있는 제 1 크라이오 패널(15)과 제 2 크라이오 패널(14)에 응고, 응축, 흡착되므로, 어느 한계점에서 펌핑 속도가 현저하게 저하되는 특성을 가지고 있다.
그래서, 크라이오 펌프시스템은 주기적인 재생사이클을 가지게 된다. 상기와 같은 재생사이클은 각각의 크라이오 패널(15, 14)에 응고, 응축, 흡착된 수분 및 가스를 기화, 증발, 탈착 시켜 제거하기 위하여 각각의 크라이오 패널(14, 15)의 온도를 300K ~ 320K까지 상승시킨다. 이러한 과정을 웜업으로써 상기 웜업과정은 크라이오 냉동기(11) 및 크라이오 압축기의 운전을 정지하고, 전기 히터(31, 32)의 가열이나 퍼지가스의 유입으로 크라이오 패널(15, 14)의 온도를 상승시킨다.
여기서, 상기 크라이오 패널의 온도를 상승시키는 방법은 일반적으로 2 가지로 나눈어지는 바, 이 두 가지는 빠른 레진(Fast regen) 기능을 가진 빠른 레진 크라이오 펌프 시스템과 빠른 레진기능이 없는 노멀(Norma)l 크라이오 펌프 시스템인 것이다.
상기 빠른 레진 크라이오 펌프는 제 1 크라이오 패널(15)과 연결된 크라이오 냉동기(11)의 제 1 스테이지 부분과 제 2 크라이오 패널(14)과 연결된 크라이오 냉동기(11)의 제 2 스테이지 부분에 각각의 전기 히터(31, 32)가 부착되어 있다.
이 전기 히터(31, 32)는 웜업 과정중에 각각의 크라이오 패널(15, 14)의 온도를 300K ~ 320K까지 상승 시키는 역할을 한다. 그리고 퍼지가스 밸브(20)를 개방하여 퍼지 가스 공급 배관(21)을 통하여 퍼지가스를 크라이오 펌프 용기(12)내로 유입시킨다(도 2 참조). 유입되는 퍼지 가스는 일반적으로 2atm 정도의 압력을 가진다.
유입된 퍼지 가스는 상온인 300K정도의 온도를 가지므로 도 2 의 상세도에서처럼 가스의 대류 열전달에 의하여 전기 히터(31, 32)와 더블어 각각의 크라이오 패널(14, 15)의 온도를 상승시킨다. 이렇게 유입된 퍼지 가스는 크라이오 펌프 용기(12) 외부에 설치되어져 있는 릴리프 밸브(40)을 통하여 대기중으로 배출된다.
상기 노멀 크라이오 펌프는 빠른 레진 크라이오 펌프가 가지는 전기 히터(31, 32)가 없으므로, 유입된 퍼지 가스의 대류 열전달만으로 각각의 크라이오 패널(15, 14)의 온도를 300K ~ 320K까지 상승시킨다. 그러므로 노멀 크라이오 펌프는 빠른 레진 크라이오 펌프 보다 웜업시간이 오래 걸린다.
도 7 에서와 같이 이러한 웜업 시간의 연장은 전체적인 재생과정 시간을 연장하므로, 공정 챔버의 생산성을 저하시키는 원인이 된다. 그리고 퍼지 가스는 웜업이 진행되는 동안뿐만이 아니라 도 7 의 퍼지과정에서도 지속적으로 유입되고 있는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 종래 퍼지방법을 감안하여 발명한 것으로, 크라이오 펌프의 재생사이클 중의 하나인 웜업시간의 단축을 통하여 전체 재생싸이클의 시간을 단축함으로써 공정 챔버의 생산성을 향상시킬 수 있는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에는, 크라이오 펌프(10)에는 크라이오 냉동기(11)가 내장된 크라이오 펌프용기(12)로 구성되어; 상기 크라이오 펌프용기(12)에 내장된 방사실드(13)내에는 제 2 크라이오 패널(14)와 제 1 크라이오 패널(15)이 각각 설치되고, 상기 방사실드(13)에는 제 2 크라이오 패널 온도센서(17)와 제 1 크라이오 패널 온도센서(18)가, 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오펌프 압력센서 또는 게이지(19)가 각각 부착되며; 상기 크라이오 펌프용기(12)에는 릴리프 밸브(40)가 설치되는 한편, 퍼지가스 밸브(20)의 퍼지가스 공급배관(21)이 관통되어 2 개의 퍼지 가스노즐(22)로써 상기 방사실드(13)내까지 연장되고; 상기 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오 냉동기 구동부(16)가 설치되고, 상기 방사실드(13)내와 제 2 크라이오 패널(14)에는 제 1 크라이오 패널 퍼지히터블록(23)와 제 2 크라이오 패널 퍼지 히터블록(24)이 각각 부착된 것을 그 특징으로 한다.
본 발명의 다른 구체적인 특징은, 가스 및 수분을 흡착, 응축, 응고하여 고진공을 실현하는 제 1 크라이오 패널(15)과 제 2 크라이오 패널(14); 상기 크라이오 패널(15, 14)의 온도를 극저온까지 도달 시키는 크라이오 냉동기(11); 그리고 외부에서 크라이오 펌프(10) 내부로 전달되는 복사열을 차단하고 제 1 크라이오 패널(15)의 열을 크라이오 냉동기(11)로 전달하는 방사 실드(13) 및; 크라이오 펌프(10)내의 진공계를 유지하는 펌프용기(12)로 구성되어져 있다.
또한 본 발명은, 크라이오 펌프(10)의 재생시간을 단축하기 위하여, 외부로부터 유입되는 퍼지 가스 라인(21)과 퍼지 가스 밸브(20), 퍼지 가스를 퍼지히터 블록(23, 24)으로 분사하는 퍼지 가스노즐(22), 퍼지 가스를 이용하여 크라이오 냉동기(11) 및 제 2 크라이오 패널(14), 방사 실드(13)를 가열시키는 퍼지히터 블록(23, 24)으로 구성되어져 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 종래의 웜업 과정에서 외부의 가스를 크라이오 펌프내부로 유입시켜 크라이오 패널에 흡착, 응축, 응고된 가스 및 수분을 제거하는 퍼지 가스의 열을 효과적으로 이용할 수 있는 퍼지 히터블록을 크라이오 패널에 부착하여 크라이오 패널들을 가열함으로, 크라이오 패널의 온도를 빠르게 상승시켜 웜업과정의 시간을 단축할 수 있고, 전체 재생 사이클의 시간을 단축함으로 공정 챔버의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1 및 도 2 는 종래의 크라이오 펌프시스템을 설명하기 위한 도면들,
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템을 도시해 놓은 구성도,
도 4 는 도 3 에 도시된 제 1/ 제 2 크라이오 패널 퍼지히터블록과 퍼지가스노즐을 상세히 도시해 놓은 도면,
도 5 는 퍼지히터블록의 일 실시예를 도시해 놓은 도면,
도 6 은 퍼지 히터블록의 퍼지가스 유로 개략도,
도 7 은 크라이오 펌프시스템에서 재생사이클의 그래프이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템을 도시해 놓은 구성도이고, 도 4 는 도 3 에 도시된 제 1/ 제 2 크라이오 패널 퍼지히터블록과 퍼지가스노즐을 상세히 도시해 놓은 도면이다.
크라이오 펌프(10)에는 크라이오 냉동기(11)가 내장된 크라이오 펌프용기(12)로 구성되어 있는 바, 상기 크라이오 펌프용기(12)에 내장된 방사실드(13)내에는 제 2 크라이오 패널(14)와 제 1 크라이오 패널(15)이 각각 설치되어 있다. 그리고, 상기 방사실드(13)에는 제 2 크라이오 패널 온도센서(17)와 제 1 크라이오 패널 온도센서(18)가, 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오펌프 압력센서 또는 게이지(19)가 각각 부착되어 있다.
상기 크라이오 펌프용기(12)에는 릴리프 밸브(40)가 설치되는 한편, 퍼지가스 밸브(20)의 퍼지가스 공급배관(21)이 관통되어 2 개의 퍼지 가스노즐(22)로써 상기 방사실드(13)내까지 연장되게 된다. 상기 크라이오 냉동기(11)에는 크라이오 냉동기 구동부(16)가 설치되고, 상기 방사실드(13)내와 제 2 크라이오 패널(14)에는 제 1 크라이오 패널 퍼지히터블록(23)와 제 2 크라이오 패널 퍼지 히터블록(24)이 각각 부착되어 있다.
본 발명의 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템은 가스 및 수분을 흡착, 응축, 응고하여 고진공을 실현하는 제 1 크라이오 패널(15)과 제 2 크라이오 패널(14), 크라이오 패널(15, 14)의 온도를 극저온까지 도달 시키는 크라이오 냉동기(11), 그리고 외부에서 크라이오 펌프(10) 내부로 전달되는 복사열을 차단하고 제 1 크라이오 패널(15)의 열을 크라이오 냉동기(11)로 전달하는 방사 실드(13), 크라이오 펌프(10)내의 진공계를 유지하는 펌프용기(12)로 구성되어져 있다.
그리고, 크라이오 펌프(10)의 재생시간을 단축하기 위하여, 외부로부터 유입되는 퍼지 가스 라인(21)과 퍼지 가스 밸브(20), 퍼지 가스를 퍼지히터 블록(23, 24)으로 분사하는 퍼지 가스 노즐(22), 퍼지 가스를 이용하여 크라이오 냉동기(11) 및 제 2 크라이오 패널(14), 방사 실드(13)를 가열시키는 퍼지히터 블록(23, 24)으로 구성되어져 있다.
본 발명은 퍼지 가스의 단순한 유입에 의한 대류 열전달을 통한 크라이오 패널(15, 14)을 가열하는 방법 보다 크라이오 패널들의 온도를 더 빠르게 상승 시키기 위하여, 각각의 크라이오 패널(15, 14)을 효율적으로 가열할 수 있는 부분에 퍼지 가스 배관(21) 또는 배관 끝부분에 설치된 노즐(22)과 접촉을 하지 않는 유입구가 확장된 경사면을 가지는 퍼지히터 블록(23, 24)을 설치하여, 퍼지가스가 가지는 열을 전도 열전달을 통하여 제 1 크라이오 패널(15) 및 제 2 크라이오 패널(14)을 가열시켜 크라이오 펌프(10)의 재생사이클 중의 하나인 웜업 시간을 단축하는데 있다.
그러므로, 상기 웜업시간의 단축을 통하여 전체 재생과정의 시간을 단축함으로써, 공정 챔버의 생산성을 향상시키는 것이 본 발명의 목적인 것이다.
즉, 본 발명은 제 1 크라이오 패널(15)과 제 2 크라이오 패널(14)에 응축, 응고, 흡착된 가스 및 수분을 효율적으로 제거하기 위하여 유입 시키는 퍼지 가스를 이용한 퍼지 히터 블록(23, 24)을 각각의 크라이오 패널(14, 15)에 설치하여. 퍼지 가스의 열원으로 크라이오 패널(14, 15)을 가열하는 퍼지 히터블록(23, 24)를 부착한 본 발명의 크라이오 펌프 시스템을 제공할 수 있다.
특히, 본 발명은 외부로부터 퍼지 가스를 유입시키기 위하여 크라이오 펌프(10) 내부로 연장된 퍼지가스 배관(21)이 설치되고, 퍼지가스가 유입되지 않는 상태에서 이들 배관을 통하여 외부에서 퍼지 히터블록(23, 24)으로 전달되는 전도열의 전달을 차단하기 위하여 퍼지 가스배관(21)의 출구를 퍼지 히터블록(23, 24)과 일정한 간격을 유지하도록 설치한다.
그리고, 퍼지 가스의 퍼지 히터 블록(23, 24)으로의 원활한 유입을 위하여 퍼지 가스배관(21)의 출구부에 입구가 좁아지는 노즐(22)을 설치하고, 퍼지 가스가 유입되는 퍼지 히터블록(23, 24)의 유입구는 확장된 경사면을 설치하여 노즐부(22)에서 분사된 퍼지 가스가 퍼지 히터블록(23, 24)으로 유량 손실이 없이 유입되게 한다.
외부로부터 퍼지 가스를 유입하기 위한 퍼지 가스배관(21)의 끝단부는 퍼지 히터 블록(23, 24)으로의 외부 열전달을 방지하기 위하여 퍼지 히터블록(23, 24)과 일정한 간격을 유지하며 떨어져 있다.
퍼지 가스 유입배관(21)은 하나의 배관에서 분배되어 제 1 크라이오 패널 퍼지 히터블록(23)과 제 2 크라이오 패널 퍼지 히터블록(24)으로 유입될 수도 있고, 2 개의 유입 배관이 각각의 크라이오 패널 퍼지히터 블록(23, 24)으로 퍼지 가스를 유입 시킬 수 있다.
상기 퍼지 히터블록(23, 24)는 퍼지 가스의 열전달을 효과적으로 할 수 있는 유로를 가지는 블록 형태뿐만이 아니라, 유입구가 확장된 배관의 형태를 가지는 퍼지 히터블록(23, 24)으로도 포함한다.
퍼지 가스의 유량 손실 없는 유입을 위하여, 외부로부터 유입되는 퍼지 가스배관(21)의 출구부는 입구가 좁아지는 노즐(22) 형태이며, 퍼지 히터 블록(23, 24)의 가스 유입구는 확장된 경사면을 가지는 형태뿐만이 아니라, 퍼지 가스배관(21)의 출구부가 퍼지 히터 블록(23, 24)의 가스 유입구보다 작은 형태로 설치된 것도 포함한다.
상기 퍼지히터 블록(23, 24)을 이용한 크라이오 패널 가열 시스템에 대한 설명에 있어, 일반적으로 크라이오 펌프(10)는 도 1 과 도 3 에서처럼 크라이오 펌프 용기(12)내에 수분을 포집하기 위한 제 1 크라이오 패널(15)과 가스를 포집하기 위한 제 2 크라이오 패널(14), 크라이오 펌프(10)의 외부로부터 전달되는 복사열을 차단하고 크라이오 냉동기(11)의 제 1 스테이지와 제 1 크라이오 패널(15)의 열전달을 담당하는 방사 실드(13), 2 단의 온도 스테이지를 가지는 크라이오 냉동기(11)로 구성이 되어 있다.
도 5 는 퍼지히터블록의 일 실시예를 도시해 놓은 도면이고, 도 6 은 퍼지 히터블록의 퍼지가스 유로 개략도이며, 도 7 은 크라이오 펌프시스템에서 재생사이클의 그래프이다. 본 발명은 크라이오 펌프(10)의 재생사이클중 웜엄과정에서 크라이오 펌프(10) 내로 유입되는 퍼지가스를 이용한 퍼지히터블록(23, 24)을 설치하여 크라이오 패널을 가열할 수 있는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템인 것이다.
도 5 는 퍼지 히터 블록의 실시예이고, 상기 퍼지히터 블록(23, 24)은 상기 크라이오 냉동기(11)의 제 1 스테이지와 제 2 스테이지에 설치되도록 구성된 것이다.
상기 크라이오 냉동기(11)의 각각의 스테이지에 설치된 퍼지히터 블록(23, 24)은 크라이오 펌프(10)의 재생사이클 중 웜업 과정에서 외부로부터 유입되는 퍼지가스가 퍼지히터 블록(23, 24)으로 유입되고(도 4 참조), 도 6 와 같은 퍼지가스 유로를 통과함으로 퍼지히터 블록(23, 24)이 가열되게 된다.
일반적으로, 크라이오 펌프(10)가 냉각운전 중일 때 크라이오 냉동기(11)의 제1스테이지 온도는 60K 정도이고, 제 2 스테이지 온도는 12K 정도이다. 그리고, 퍼지 가스는 상온이므로 300K 정도이다. 이러한 온도차에 의하여 가열된 퍼지히터 블록(23, 24)은 도 4 에 도시된 바와 같이 제 1 크라이오 패널(15)과 제 2 크라이오 패널(14)를 가열하게 된다.
이러한 퍼지히터 블록(23, 24)을 이용한 크라이오 패널 가열 시스템은 노멀 크라이오 펌프에 효과적일 뿐만이 아니라, 빠른 레진 크라이오 펌프에도 효과적이다.
도 7 은 퍼지히터 블록(23, 24)을 설치하여 웜업시간을 단축함으로, 전체적인 재생 과정이 단축되는 것을 보여주고 있다.
따라서, 가스 및 수분의 흡착 또는 응축, 응고 등으로 고진공을 실현하는 크라이오 펌프 시스템은 웜업, 퍼지, 러핑, 쿨다운으로 이루어진 재생 사이클이 주기적으로 필요하다. 이러한 재생 사이클은 생산성의 저하를 가져 온다. 그래서 보다 나은 생산성 향상을 위하여 재생사이클 시간을 단축하기 위하여 노력하여 왔다.
본 발명은 종래의 크라이오 펌프시스템에서 재생사이클의 일부분인 웜업 과정의 시간을 단축하기 위함이다.
그러므로, 본 발명은 종래의 웜업 과정에서 외부의 가스를 크라이오 펌프 내부로 유입시켜 크라이오 패널에 흡착, 응축, 응고된 가스 및 수분을 제거하는 퍼지 가스의 열을 효과적으로 이용할 수 있는 퍼지 히터블록을 크라이오 패널에 부착하여 크라이오 패널들을 가열함으로 크라이오 패널의 온도를 빠르게 상승시켜 웜업과정의 시간을 단축하고, 전체 재생 사이클의 시간을 단축함으로 공정 챔버의 생산성도 향상시킬 수 있다.
본 발명의 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다.
따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.
10 : 크라이오 펌프
11 : 크라이오 냉동기
20 : 퍼지가스 밸브
22 : 퍼지가스 노즐
23, 24 : 퍼지히터 블록
40 : 릴리프밸브

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 가스 및 수분을 흡착, 응축, 응고하여 고진공을 실현하는 제 1 크라이오 패널(15)과 제 2 크라이오 패널(14);
    상기 크라이오 패널(15, 14)의 온도를 극저온까지 도달시키는 크라이오 냉동기(11);
    그리고 외부에서 크라이오 펌프(10) 내부로 전달되는 복사열을 차단하고 제 1 크라이오 패널(15)의 열을 크라이오 냉동기(11)로 전달하는 방사 실드(13) 및;
    크라이오 펌프(10)내의 진공계를 유지하는 펌프용기(12)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템.
  3. 크라이오 펌프(10)의 재생시간을 단축하기 위하여, 외부로부터 유입되는 퍼지 가스 라인(21)과 퍼지 가스 밸브(20),
    퍼지 가스를 퍼지히터 블록(23, 24)으로 분사하는 퍼지 가스노즐(22),
    퍼지 가스를 이용하여 크라이오 냉동기(11) 및 제 2 크라이오 패널(14), 방사 실드(13)를 가열시키는 퍼지히터 블록(23, 24)으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 외부로부터 유입되는 퍼지 가스배관(21)의 출구부는 입구가 좁아지는 노즐(22) 형태이며, 퍼지 히터 블록(23, 24)의 가스 유입구는 확장된 경사면을 가지는 형태인 것을 특징으로 하는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템.
  5. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 퍼지 가스배관(21)의 출구부가 퍼지 히터 블록(23, 24)의 가스 유입구보다 작은 형태로 설치된 것을 특징으로 하는 퍼지가스를 이용한 크라이오 패널 가열시스템.
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