KR101434127B1

KR101434127B1 - 펌프 장치

Info

Publication number: KR101434127B1
Application number: KR1020137021526A
Authority: KR
Inventors: 유지 노노무라; 류지 이토야마; 츠네오 오사카
Original assignee: 울박 키코 인코포레이션
Priority date: 2011-03-09
Filing date: 2012-03-02
Publication date: 2014-08-26
Anticipated expiration: 2032-03-02
Also published as: CN103403352B; TWI532916B; TW201250123A; DE112012001143T5; KR20130118369A; JP5560368B2; DE112012001143B4; JPWO2012120859A1; WO2012120859A1; CN103403352A; US20130336825A1

Abstract

다이어프램의 성능을 안정시킬 수 있는 펌프 장치를 제공한다.
상기 펌프 장치는, 다이어프램에 일단이 접속되고 다른 일단은 구동 기구에 접속된 구동 부재를 가지고, 구동 기구 측의 일단은, 제1축 방향의 왕복 운동과 제2축 방향의 요동을 반복한다. 이것에 의해서, 다이어프램 측의 일단은 제1축 방향에 연동해 왕복 운동을 실시하기 때문에, 다이어프램은 신장하기 쉬운 방향, 예를 들면 요동을 실시하는 제2축 방향에 있어서 열화해, 절단되기 쉬운 문제가 생긴다. 거기서, 제2축 방향으로 연재 하는 섬유를 가지는 기포를 다이어프램에 매설하는 것에 의해서, 제2축 방향으로의 강도를 높여 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2축 방향을 나타내는 지표부를 마련하는 것에 의해서, 다이어프램 내에 매설된 기포의 섬유의 연재 방향이 판별 가능해져, 펌프 장치 조립시에 있어서, 상기 다이어프램을 펌프 본체에 원하는 방향에 설치하는 것이 용이하게 된다.

Description

펌프 장치{PUMP DEVICE}

본 발명은, 예를 들면 승압 블로어 또는 승압 펌프로서 이용되는 펌프 장치에 관한 것이다.

연료가스나 산소 등의 기체를 원하는 압력으로 상승시키는 기기로서, 승압 블로어(blower) 또는 승압 펌프(pump)라고 칭해지는 펌프 장치가 널리 알려지고 있다. 이런 종류의 펌프 장치에는, 루트 펌프(root pump)나 다이어프램 펌프(diaphragm pump) 등이 이용되고 있으며, 예를 들면 아래와 같이 특허 문헌 1에는, 연료전지 시스템에 있어서의 연료가스의 승압 블로어로서 이용되는 다이어프램 펌프가 기재되어 있다.

다이어프램은 일반적으로, 재료로서 고무 등의 탄성 재료가 이용된다. 그 때문에 다이어프램이 탄성 변화하기 쉽고, 장치로서의 특성이 변화해 버리는 일이 있다. 그래서 특허 문헌 2에는, 다이어프램의 특성을 안정화시키기 위해서, 기포를 매설한 다이어프램이 기재되어 있다.

특개 2009－47084호 공보 특개평 10－132077호 공보

특허 문헌 2에서는, 다이어프램의 외주부가 프레스에 의한 코킹(caulking)시에 끼워 눌러져서 탄성 변화하여, 과도하게 비어져 나오는 것을 억제하는 목적으로, 기포(??)가 매설되고 있다. 그렇지만, 다이어프램 펌프에 있어서는 다이어프램이 이하의 왕복 운동을 실시하고 있다. 즉, 다이어프램의 주연은 펌프 본체에 지지를 받고 있지만, 일부가 구동 부재에 접속되고 있어, 이 구동 부재가 구동 기구에 의해서 운동하는 것으로, 다이어프램은 신장을 수반하는 일정한 왕복 운동을 실시해, 펌프실의 용적을 변화시킨다. 즉, 다이어프램 펌프가 장시간 운전하면 다이어프램의 신장하기 쉬운 특정한 부위에서 열화, 피로하여, 부분적으로 절단하는 고장이 발생할 수 있다.

이상과 같은 사정에 비추어, 본 발명의 목적은, 다이어프램의 성능을 안정시킬 수 있는 펌프 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태에 따른 펌프 장치는, 본체와, 다이어프램과, 구동부를 가진다.

상기 본체는, 유체를 흡입해 배출하기 위한 펌프실을 형성한다.

상기 다이어프램은, 기재(基材)와, 기포(基布)와, 지표부를 포함한다. 상기 기재는, 상기 펌프실과 제1축 방향으로 대향하는 제1면과, 상기 제1면과는 반대측의 제2면과, 상기 본체에 지지를 받는 주연 영역을 가지는 탄성 재료로 형성된다. 상기 기포는, 상기 기재에 매설되어 적어도 상기 제1축 방향과 직교하는 제2축 방향에 연재(延在)하는 제1섬유를 가진다. 상기 지표부는, 상기 기재에 설치되어 상기 제2축 방향을 지표하는 역할을 한다.

상기 구동부는, 구동 기구와, 상기 제2면에 연결된 제1단부와 상기 구동 기구와 접속되는 제2단부를 가지는 구동 부재를 포함해, 상기 구동 기구는, 상기 구동 부재를 상기 제2축 방향에 요동시키면서 상기 제1축 방향에 왕복 이동시킨다.

본 발명에 따른 펌프 장치에 있어서는, 제2축 방향에 연재하는 섬유를 가지는 기포를 다이어프램에 매설하는 것에 의해서, 제2축 방향으로의 강도를 높여 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2축 방향으로의 신장을 관리할 수 있는 기포를 다이어프램에 매설하는 것에 의해서, 다이어프램의 성능이 안정해, 나아가 펌프실의 용적 변동도 안정하기 때문에, 펌프로서의 성능을 안정시킬 수 있다.

또한, 제2축 방향을 나타내는 지표부를 마련하는 것에 의해서, 다이어프램 내에 매설된 기포의 섬유의 연재 방향이 판별 가능해져, 펌프 장치 조립시에 있어서도, 상기 다이어프램을 펌프 본체에 원하는 방향에 설치하는 것이 용이해진다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 펌프 장치의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는 다이어프램의 주요부 구성을 나타내는 도면이며, (A)는 단면도, (B)는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 의한 다이어프램 펌프의 작용을 설명하는 주요부 단면도이다.
도 4는 도 3(A)(B)에 각각 대응하는 다이어프램 상태를 설명하는 주요부 단면도이다.
도 5는 평직(??)의 직물의 일례를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태로 이용되는 지표부의 형상을 나타내는 다이어프램의 평면도이다.

　본 발명의 일 실시 형태 에 따른 펌프 장치는, 본체와, 다이어프램과, 구동부를 구비한다.

　상기 다이어프램은, 기재와, 기포와, 지표부를 포함한다. 상기 기재는, 상기 펌프실과, 제1축 방향에 대향하는 제1면과, 상기 제1면과는 반대측의 제2면과, 상기 본체에 지지를 받는 주연 영역을 가지는 탄성 재료로 형성된다. 상기 기포는, 상기 기재에 매설되어 적어도 상기 제1축 방향과 직교하는 제2축 방향에 연재하는 제1섬유를 가진다. 상기 지표부는, 상기 기재에 설치되어 상기 제2축 방향을 지표하는 역할을 한다.

　상기 구동부는, 구동 기구와, 상기 제2면에 연결된 제1단부와, 상기 구동 기구와 접속되는 제2단부를 가지는 구동 부재를 포함해, 상기 구동 기구는, 상기 구동 부재를 상기 제2축 방향에 요동시키면서 상기 제1축 방향에 왕복 이동시킨다.

상기 펌프 장치에 있어서, 다이어프램은 탄성 재료로 형성된 기재를 가져, 기재에는 기포(보강포(補强布))가 매설된다. 다이어프램은 주연 영역을 본체에 지지를 받은 상태로, 연결된 구동 부재에 의해서 왕복 운동된다. 이 운동에 의해서, 다이어프램이 펌프실의 용적을 주기적으로 변화시켜, 펌프실에의 유체의 흡입과 펌프실로부터의 유체의 배출을 교대로 실시한다.

구동 부재의 일단은, 다이어프램에 접속 되어 다른 일단은 구동 기구에 접속 된다. 구동 기구는, 예를 들면 구동원인 모터와, 그 구동축으로부터 편심한 축이다. 구동 부재의 구동 기구 측의 일단은, 구동 기구에 의해서, 제1축 방향의 왕복 운동과 제2축 방향의 요동을 반복한다. 이것에 연동해, 다이어프램 측의 일단은 제1축 방향에 왕복 운동을 실시한다. 이 때문에, 다이어프램은 신장하기 쉬운 방향, 예를 들면 요동을 실시하는 제2축 방향에 있어서 열화해, 절단하기 쉽다는 문제가 생긴다.

상기 펌프 장치에 있어서는, 제2축 방향에 연재하는 섬유를 가지는 기포를 다이어프램에 매설하는 것에 의해서, 제2축 방향으로의 강도를 높여 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2축 방향으로의 신장을 관리할 수 있는 기포를 다이어프램에 매설하는 것에 의해서, 다이어프램의 성능이 안정해, 나아가 펌프실의 용적 변동도 안정하기 때문에, 펌프로서의 성능을 안정시킬 수 있다.

상기 구동 부재는, 상기 제1면과 대향하는 지지면과, 상기 지지면에 형성되어 상기 기재를 관통해 상기 제1단부에 결합되는 축부를 포함한 고정구를 더 가져도 괜찮다. 또한, 상기 지표부는, 상기축부가 관통하는 개구부에 형성되어도 괜찮다.

상기 지표부는, 상기 개구부의 일부를 형성해 상기 제2축 방향에 대해서 수직 또는 평행한 직선부여도 괜찮다.

상기 지표부는, 상기 제2축 방향에 대해서 수직 또는 평행한 방향에 상기 개구 부에 연접된 노치부여도 괜찮다.

다이어프램에 있어서의 지표부가 상기 개구부에 형성되는 것에 의해서, 다이어프램을 펌프 본체에 설치할 때에, 원하는 방향을 확인하면서 작업할 수 있다. 또한, 지표부의 형성도 용이하게 실시할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 펌프 장치(3)의 구조를 나타내는 단면도이다. 본 실시 형태에 있어서 펌프 장치(3)는, 다이어프램 펌프로 구성된다. 덧붙여 도 1에 있어서 Z축(제1축)은 연직 방향(중력 방향)을 나타내고, X축(제2축) 및 Y축은 평면 방향을 나타낸다.

본체(10)는, 케이싱(11)과, 펌프 헤드(12)와, 펌프 헤드 커버(13)를 가진다.

펌프 헤드(12)는, 흡입구(101)와, 토출구(102)를 가지고, 환상의 대좌(110)의 상면에 배치되어 있다. 대좌(110)는, 케이싱(11)의 상부의 개구 단부에 장착되어, 펌프 헤드(12)와 함께 다이어프램(20)의 주연부를 협지(?持)한다. 펌프 헤드(12)는, 다이어프램(20)과의 사이에 펌프실(100)을 형성한다.

펌프 헤드(12)는, 흡입구(101)와 펌프실(100)과의 사이를 연락하는 흡입 통로(T1)와, 펌프실(100)과 토출구(102)와의 사이를 연락하는 토출 통로(T2)를 각각 가진다. 펌프실(100)은, 흡입 통로(T1) 및 토출 통로(T2)를 통해서, 흡입구(101)및 토출구(102)에 각각 연통(連通) 가능하다. 흡입 통로(T1) 및 토출 통로(T2)에는, 흡입밸브(103) 및 토출밸브(104)가 각각 장착되고 있다.

펌프 헤드 커버(13)는, 펌프 헤드(12)의 상부에 장착된다. 흡입 통로(T1) 및 토출 통로(T2)는, 펌프 헤드(12)와 펌프 헤드 커버(13)가 조합되는 것으로 각각 형성된다. 케이싱(11), 펌프 헤드(12) 및 펌프 헤드 커버(13)는, 복수체의 나사 부재(B)를 이용해 일체적으로 고정된다.

케이싱(11)은, 본체(10)의 내부에, 커넥팅 로드(32)와, 베어링(33)과, 편심 캠(34)을 수용하는 동작 공간(105)을 형성한다.

도 2(A)는, 다이어프램(20)의 주요부를 나타내는 단면도이다. 덧붙여 도 2에 도 연직 방향을 나타내는 Z축과, 수평방향을 나타내는 X축 및 Y축이 나타나 있다. 다이어프램(20)은, 상면(201)과 하면(203)을 가지는 탄성 재료로 형성된 기재(200)와, 기재(200)에 매설된 보강포(202)를 가진다. 상면(201)과 하면(203)의 주연부는 대좌(110)와 펌프 헤드(12)와의 사이에 협지되고 있다. 덧붙여 도 2(A)에서는 대좌(110)와 펌프 헤드(12)를 생략하고 있다.

상면(201)과 하면(203)은 각각 합성고무로 형성되고 있으며, 예를 들면 니트릴 고무(NBR), 수소화 니트릴 고무(HNBR), 불소 고무(FKM) 등, 메탄이나 프로판 등의 탄화수소 가스에 대해서 내성을 가지는 고무 재료가 이용된다. 보강포(202)는, 예를 들면 나일론(폴리아미드) 등의 합성섬유로 된다. 또한, 보강포(202)와 상면(201), 하면(203)과는 가황(加黃) 접착 등에 의해 일체화되고 있다.

도 2(B)는, 다이어프램(20)의 주요부를 나타내는 평면도이다. 또한, 설명을 위해 도 2(B)에서는 기재(200)의 일부를 제거해, 보강포(202)를 노출시키고 있다. 보강포(202)는, X축과 평행한 섬유군(F1)을 포함하고 있다. 또한, 도시하듯이 섬유군(F1)과 교차하는 섬유군(F2)을 포함해도 괜찮다.

또한, 보강포(202)는, 다이어프램(20)의 전면에 형성되지만, 이것으로 한정되지 않는다. 보강포(202)의 형상은, 원형에 한정되지 않고, 예를 들면 다이어프램(20)의 중심을 통과하는 X축에 관해서 대칭인 형상이라도 괜찮다. 섬유군(F1)의 길이도 특별히 한정되지 않고, X축 방향의 강도를 충분히 높일 수 있는 길이이면 좋다.

다이어프램(20)은, X축 방향을 지표하기 위한 지표(M)를 가진다. 지표(M)는, 전형적으로는 시각적, 촉각적인, 사람의 오감으로 판별할 수 있는 모양의 것을 나타내지만, 이외에도 전기적, 광학적 등의 수단을 이용해 X축 방향이 판별 가능한 모양이면 좋다. 또한, 지표(M)가 설치되는 부위는, 다이어프램(20)을 본체(10)에 설치할 때에, 작업자가 지표(M)를 판별 가능한 부위이면 한정되지 않는다. 본 실시 형태의 도 2(B)에 있어서, 지표(M)는, X축 방향에 수직인 직선부(L)를 포함한 「D」형의 형상을 가지는 개구부(204)이다. 즉 본 실시 형태에서는, 직선부(L)와 수직인 방향이 다이어프램(20)의 X축 방향이라고 작업자에 의해 인식된다. 또한 이 예에 한정되지 않고, 직선부(L)는 X축 방향과 평행하게 형성되어도 상관없다.

구동부(30)는, 고정구(31)와, 커넥팅 로드(32)와, 베어링(33)과, 편심 캠(34)과, 구동원(35)을 가진다.

커넥팅 로드(32)는, 다이어프램(20)의 하면(203)에 접하는 제1지지면을 포함하고, 하면(203)의 중앙부에 고정되고 있다. 한편, 고정구(31)는 상면(201)에 접하는 제2지지면과, 다이어프램(20)의 개구부(204)에 감합하는 볼록부(310)를 가진다. 볼록부(310)는, 개구부(204)의 형상에 대응하는 평면 형상을 가져지고 있어도 괜찮다. 고정구(31)와 커넥팅 로드(32)는 다이어프램(20)을 상하에서 끼워 조립할 수 있으며, 예를 들면 나사(320)를 개입시켜 일체화 된다. 이것에 의해, 고정구(31), 커넥팅 로드(32)는, 다이어프램(20)을 상하 구동시키는 구동 부재(300)를 구성한다. 또한 고정구(31)는 볼록부(310)를 가지며, 나사(320)가 개구부(204)에 감합해도 괜찮다.

구동원(35)은, Y축 방향을 따라서 신장 회전축(350)을 가지는 모터 등으로부터 이루어진다. 회전축(350)의 팁은 편심 캠(34)의 회전 중심에 장착되고 있다. 커넥팅 로드(32)의, 제1지지면과는 반대측의 단부는 베어링(33)을 사이에 두고, 편심 캠(34)의 원주면에 연결된다. 편심 캠(34)은, 그 회전 중심이 베어링(33)의 내륜(inner race)에 대해서 편심하도록 형성되고 있어, 이 편심량이 다이어프램(20)의 왕복 이동량(스트로크량)이 된다.

도 3은, Y축 방향으로부터 본 다이어프램 펌프(3)의 주요부 단면도이며, 구동부(30)의 전형적인 동작을 나타내고 있다. 또한 이 경우의 펌프 헤드(12)의 자세한 내용은 실제와는 다르지만, 이해를 용이하게 하기 위해, 펌프 헤드(12)의 구성은 도 1과 같이 도시하고 있다.

구동원(35)에 의해 회전축(350)이 회전하면, 편심 캠(34)에 연결된 구동 부재(300)의 일단은, X축 방향으로의 요동을 수반한 Z축 방향으로의 왕복 운동을 실시한다. 동시에, 다이어프램(20)에 연결된 구동 부재(300)의 일단은, Z축 방향으로 왕복 운동하기 때문에, 다이어프램(20)도 Z축 방향으로 왕복 운동한다.

도 3(A)는, 회전축(350)과 편심 캠(34)의 중심이 Z축 방향으로 일렬로 늘어서고, 펌프실(100)의 용적이 가장 작아진 예(배기 공정)를 나타낸다. 도 3(B)는, 회전축(350)과 편심 캠(34)의 중심이 X축 방향으로 일렬로 늘어서고, 구동 부재(300)가 경사지면서 Z축 방향으로 하강한 예(흡기 공정)를 나타낸다. 거기에 연동해 다이어프램(20)도 Z축 방향으로 하강해, 도 3(A)보다 펌프실(100)의 용적이 커진다. 이와 같이, 다이어프램(20)이 Z축 방향으로 이동하는 것으로 펌프실(100)의 용적이 변화한다. 또한, 도 3(B)에 나타나듯이 펌프실(100)의 용적이 커지면, 흡입밸브(103)가 열리는 것과 동시에 토출밸브(104)가 닫히는 것에 의해서 가스의 흡인을 한다. 한편, 도 3(A)에 나타나듯이 펌프실(100)의 용적이 작아지면, 흡입밸브(103)이 닫히는 것과 동시에 토출밸브(104)가 열리는 것에 의해서 가스의 압축 반송을 한다.

다이어프램(20)은, 이상의 왕복 운동에 따라 신장하기 쉬운 부위에서, 피로 또는 열화가 생긴다. 도 4(A), (B)는, 도 3(A), (B)에 각각 대응하는 다이어프램(20)의 형상을 모식적으로 나타내고 있다. 도 4에서는, 다이어프램(20)을 X1~X5의 5개의 영역으로 나누어 설명한다. 덧붙여 X1, X5는 각각 본체(10)에 지지를 받고 있는 영역, X2, X4는 탄성변형을 수반하는 영역, X3는 구동 부재(300)의 일단에 의해서 지지를 받는 영역이다. 영역 X1, X5는 다이어프램(20) 상의 공통의 환상 영역에 속하고, 영역 X2, X4도 또한, 다이어프램(20) 상의 공통의 환상 영역에 속한다.

도 4(A)에서는, X1, X5에 대해서 X3가 Z축 방향으로 상승해 있어, X2, X4간격이 신장하고 있다. 도 4(B)에서는, X1, X5에 대해서 X3가 Z축 방향으로 하강하는 것과 동시에, X2, X4간격이 신장해, 한층 더 X2와 X3의 사이에 일그러짐이 생기고 있다. 이것은, 도 3(B)에 나타나듯이, 구동 부재(300)가 경사지는 것에 의해서, 응력이 걸리기 때문에 있다. 이상과 같이, 다이어프램(20)의 X축 방향은, 도 3에 나타낸 운동에 의해서 신장하기 쉽다. 거기서, X축 방향에 연재하는 섬유군(F1)을 포함한 보강포(202)를 다이어프램(20)에 매설하는 것에 의해서, 다이어프램(20)의 강도가 올라가, 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 다이어프램(20)의 신장을 관리함으로써, 다이어프램으로서의 성능이 안정해져, 한층 더 펌프실(100)의 용적 변동도 안정되기 때문에, 펌프로서의 성능도 안정시킬 수 있다.

X축과 평행섬유군(F1)이 연재하는 직물의 조직 방법의 예로서, 도 5에 나타나는 평직을 들 수 있다. 평직은, 평행하게 배열된 일 군(群)의 섬유군(F1)에 대해서 직각 방향의 섬유군(F2)을 교대로 조합한 것이다. 이러한 평직의 보강포(202)를 이용하는 것에 의해서, X축 방향의 강도가 올라가, 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한 각 섬유간의 거리, 즉 직물의 올과 올의 사이의 소밀(疏密)에 대해서는 특별히 한정되지 않고, 충분한 강도이면 좋다.

한편, 전형적으로는, 다이어프램은 원반 형상을 가지기 위해, 다이어프램(20)을 본체(10)에 설치할 때, 매설된 보강포(202)에 있어서의 섬유의 연재 방향을 판별할 수 없게 될 가능성이 있다. 거기서, X축 방향을 나타내기 위한 지표(M)를 가지는 다이어프램(20)을 이용함으로써, 다이어프램(20)에 매설된 보강포(202)의 섬유의 연재 방향이 판별 가능해져, 원하는 방향으로 다이어프램(20)을 본체(10)에 설치하는 것이 용이하게 된다. 예를 들면, 본 실시 형태로 설명한 직선부(L)를 가지는 지표(M)를 가지는 다이어프램(20)을 본체(10)에 설치할 때, 직선부(L)를 회전축(350)의 연재 방향(도 1에 있어서의 Y축 방향)과 평행이 되도록 설치하면 좋다. 나아가 보강포(202)가 섬유군(F1)와 직교하는 섬유군(F2)를 가지는 경우에는, 직선부(L)를 회전축(350)의 연재 방향과 평행하게 설치해도 괜찮고, 수직하게 설치해도 괜찮다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 이상의 실시 형태에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 여러 가지 변경을 가할 수 있는 것은 물론이다.

예를 들면 이상의 실시 형태로 지표(M)는, X축 방향에 수직인 직선부(L)를 가지는 「D」형의 형상을 가지는 개구부(204)로 했지만, 예를 들면 도 6에 나타나듯이, X축 방향과 평행하게 연접되는 노치 부분(R)이 형성된 개구부(204)를 지표(M)라고 해도 좋다. 노치 부분(R)은 X축 방향을 나타낼 수 있으면 형상은 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면 X축 방향과 수직하게 연접되고 있어도 괜찮다. 또한 형성되는 부위는 개구부(204) 내이면 특별히 제한되지 않는다.

또한, 본 발명의 실시 형태의 펌프 장치로 이용되는 유체는 기체에 한정되지 않고, 액체라도 좋다.

3: 펌프 장치
10: 본체
20: 다이어프램
30: 구동부
100: 펌프실
101: 흡입구
102: 토출구

Claims

유체를 흡입해 배출하기 위한 펌프실을 형성하는 본체와;
상기 펌프실과 제1축 방향으로 대향하는 제1면과, 상기 제1면과는 반대측의 제2면과, 상기 본체에 지지되는 주연 영역을 가지는 탄성 재료로 형성된 기재(基材)와, 상기 기재에 매설되어 적어도 상기 제1축 방향과 직교하는 제2축 방향으로 연재하는 제1섬유를 가지는 기포(基布)와, 상기 기재에 설치되어 상기 제2축 방향을 지표하는 지표부를 포함한 다이어프램(diaphragm)과;
구동 기구와, 상기 제2면에 연결된 제1단부와, 상기 구동 기구와 접속 되는 제2단부를 가지는 구동 부재를 포함하고,
상기 구동 기구는, 상기 구동 부재를 상기 제2축 방향으로 요동 시키면서 상기 제1축 방향에 왕복 이동시키는 구동부를 포함하는 펌프 장치.
제1항에 있어서,
상기 구동 부재는, 상기 제1면과 대향하는 지지면과, 상기 지지면에 형성되어 상기 기재를 관통해 상기 제1단부에 결합되는 축부를 포함한 고정구를 더 포함하고,
상기 지표부는, 상기 축부가 관통하는 개구부에 형성되는 펌프 장치.
제2항에 있어서,
상기 지표부는, 상기 개구부의 일부를 형성하며 상기 제2축 방향에 대해서 수직 또는 평행한 직선부인 펌프 장치.
제2항에 있어서,
상기 지표부는, 상기 제2축 방향에 대해서 수직 또는 평행한 방향으로 상기 개구 부에 연접된 노치 부분인 펌프 장치.
제1항에 있어서,
상기 기포는, 상기 제1면 내에 있어서 상기 제2축 방향과 교차하는 제3의 축 방향에 연재하는 제2섬유를 더 포함하는 펌프 장치.