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KR101427596B1 - Substrate conveyor - Google Patents

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KR101427596B1
KR101427596B1 KR1020070074895A KR20070074895A KR101427596B1 KR 101427596 B1 KR101427596 B1 KR 101427596B1 KR 1020070074895 A KR1020070074895 A KR 1020070074895A KR 20070074895 A KR20070074895 A KR 20070074895A KR 101427596 B1 KR101427596 B1 KR 101427596B1
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Abstract

본 발명은 기판의 파손을 방지하면서 기판의 이송 및 반송속도를 향상시킬 수 있는 기판이송장치에 대해 개시한다.The present invention discloses a substrate transfer apparatus capable of improving the transfer and transfer speed of a substrate while preventing breakage of the substrate.

이를 위해 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판의 이송을 위한 복수의 롤러부와, 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부를 구비한 이송유닛; 상기 이송유닛에 대해 횡방향으로 구동하여 상기 포크진입부를 개폐하는 가변롤러유닛;을 포함하여 이루어진다.To this end, the substrate transfer apparatus according to the present invention includes a plurality of roller portions for transferring a substrate, a transfer unit having a fork entrance portion so that the fork can enter the transfer portion; And a variable roller unit which is driven in the lateral direction with respect to the transfer unit to open and close the fork entrance portion.

Description

기판이송장치{Substrate conveyor}[0001] Substrate conveyor [0002]

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치의 분해사시도이다.2 is an exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 이송유닛을 나타내는 사시도이고, 3 is a perspective view showing a transfer unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 가변롤러유닛을 나타내는 사시도이다.4 is a perspective view showing a variable roller unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 5(a),(b)는 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 나타내는 단면도이다.5 (a) and 5 (b) are cross-sectional views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호 설명*Description of the Related Art [0002]

10 : 프레임 20 : 이송유닛10: Frame 20: Feed unit

21,22 : 지지대 24 : 롤러부21, 22: Support base 24:

24a : 회전축 24b : 이송롤러24a: rotation shaft 24b: conveying roller

24c : 구동부 25 : 포크진입부24c: driving part 25: fork entrance part

30 : 가변롤러유닛 31 : 고정프레임30: variable roller unit 31: fixed frame

32 : 보조롤러 33 : 구동장치32: Auxiliary roller 33: Driving device

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치에 사용되는 기판을 이송하기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate used in a liquid crystal display apparatus.

최근 들어 정보처리기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보처리기기는 정보를 표시하기 위해 디스플레이장치를 가진다. 종래에 사용된 디스플레이장치로는 브라운관(Cathode ray tube)모니터가 사용되어 왔으나, 최근 들어 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판디스플레이의 사용이 급격히 증가되고 있다. 이러한 평판디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시장치(Liquid crystal display;LCD)가 널리 사용되고 있다. In recent years, information processing devices are rapidly evolving to have various functions and faster information processing speeds. Such an information processing device has a display device for displaying information. Conventionally, a cathode ray tube (CRT) monitor has been used as a conventional display device. However, in recent years, with the rapid development of semiconductor technology, the use of a flat panel display that occupies a light and small space has been rapidly increasing. There are various types of such flat panel displays, among which liquid crystal displays (LCDs) having low power consumption and volume and low voltage driving type are widely used.

액정표시장치의 제작을 위해서는 복수의 단위공정이 수행되는데, 이러한 복수의 단위공정을 수행하기 위해서는 각 단위공정간 이송유닛이 구비된 기판이송장치를 통해 기판(Glass substrate)을 이송하게 된다.In order to manufacture a liquid crystal display device, a plurality of unit processes are performed. In order to perform such a plurality of unit processes, a glass substrate is transferred through a substrate transfer device having transfer units between unit processes.

한편, 기판이송장치에는 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 반송시키기 위한 반송로봇이 마련된다. 이와 같은 반송로봇에는 기판을 지지하여 반송하는 포크가 끝단에 마련되는데, 이때 기판이송장치의 롤러와 롤러사이는 반송로봇의 포크가 진입할 수 있는 공간을 확보하도록 소정거리 이격되어 배치된다.On the other hand, the substrate transfer apparatus is provided with a transfer robot for transferring a substrate transferred through the transfer unit to a position where a subsequent process is performed. The conveying robot is provided with a fork that supports and conveys the substrate. At this time, a space between the rollers and the rollers of the substrate transfer device is spaced apart by a predetermined distance to secure a space in which the fork of the transfer robot can enter.

이와 같은 롤러사이의 간격으로 인하여 기판의 처짐이 발생하고 이러한 기판의 처짐은 기판에 충격을 야기한다. 이를 방지하기 위해서는 롤러사이의 간격을 좁 혀야 하는데 롤러사이의 간격을 좁히는 경우 포크의 진입이 어려워지는 문제가 있다.Such a gap between the rollers causes deflection of the substrate, and deflection of the substrate causes a shock to the substrate. In order to prevent this, the distance between the rollers must be narrowed. However, when the interval between the rollers is narrowed, there is a problem that entry of the fork becomes difficult.

따라서 이를 해결하기 위해 롤러사이의 간격을 좁힌 상태에서 별도의 장치를 마련하여 반송로봇의 포크의 삽입이 가능하도록 한다.Therefore, in order to solve this problem, a separate apparatus is provided in a state in which the interval between the rollers is narrowed, so that the fork of the transport robot can be inserted.

즉, 기판이송장치에는 승강프레임과, 이 승강프레임을 승강시키는 승강부를 포함하는 승강유닛이 마련되어 포크의 진입 시 포크가 기판이송장치와 충돌하는 것을 방지한다.That is, the substrate transfer apparatus is provided with an elevating unit including an elevating frame and an elevating unit for elevating and lowering the elevating frame to prevent the fork from colliding with the substrate transferring apparatus upon entry of the fork.

그러나, 종래의 기판이송장치에서는 기판의 반송 시 승강유닛을 승강시키는데 소요되는 시간만큼 기판의 반송이 지연되어 물류상에 있어서 전체의 주원인으로 작용하고 생산성 저하의 원인이 된다.However, in the conventional substrate conveying apparatus, the conveyance of the substrate is delayed by the time required for raising and lowering the elevating unit during conveyance of the substrate, which serves as the main cause of the entirety in the logistics and causes a decrease in productivity.

또한, 이를 방지하기 위해 승강유닛이 승강되는 속도를 높이게 되면 승강유닛과 기판의 접촉 시 충격이 발생되어 기판이 손상되는 원인이 되는 문제점이 있다.In addition, if the elevating speed of the elevating unit is increased to prevent this, there is a problem that an impact is generated when the elevating unit and the substrate are brought into contact with each other, thereby causing damage to the substrate.

또한 승강유닛의 상하이동으로 인하여 기판이송장치의 두께가 두꺼워지게 되는데, 이와 같이 기판이송장치의 두께가 두꺼워지면 기판이송장치를 수직으로 배치하는 경우 그 배치간격이 좁아져 기판이송장치의 설치 및 유지보수가 어려워 지는 문제점이 있다. When the thickness of the substrate transfer device is increased, if the substrate transfer device is disposed vertically, the spacing of the substrate transfer device is narrowed. As a result, the installation and maintenance of the substrate transfer device There is a problem that maintenance becomes difficult.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 처짐을 방지하며 기판의 이송 및 반송속도를 향상시킬 수 있 는 기판이송장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of preventing sagging of a substrate and improving transferring and transferring speed of the substrate.

본 발명의 다른 목적은 두께를 얇게 할 수 있는 기판이송장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of reducing the thickness.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판이송장치는 기판의 이송을 위한 복수의 롤러부와, 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부를 구비한 이송유닛; 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로 구동하여 상기 포크진입부를 개폐하는 가변롤러유닛;을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus comprising: a transfer unit including a plurality of roller units for transferring a substrate; And a variable roller unit that is driven in the horizontal direction with respect to the transfer unit to open and close the fork entrance portion.

또한, 상기 복수의 롤러부는 구동부와, 상기 구동부와 결합된 회전축과, 상기 회전축의 회전에 따라 회전하는 이송롤러를 포함하고, 상기 가변롤러유닛은 상기 포크진입부에 이동 가능하게 배치되는 보조롤러와, 상기 보조롤러를 구동시키는 구동장치를 포함한다.The plurality of roller units may include a driving unit, a rotating shaft coupled to the driving unit, and a feeding roller that rotates in accordance with the rotation of the rotating shaft, wherein the variable roller unit includes an auxiliary roller movably disposed in the fork entering unit, And a driving device for driving the auxiliary roller.

또한, 상기 보조롤러의 상단은 상기 회전롤러의 상단보다 소정높이 낮게 배치된다.The upper end of the auxiliary roller is disposed lower than the upper end of the rotation roller by a predetermined height.

또한, 상기 기판의 이송시 상기 보조롤러는 상기 포크진입부에 배치되어 상기 기판의 이송을 원활하게 하고, 상기 포크의 진입시 상기 보조롤러를 구동하여 상기 포크진입부를 개방한다.Further, at the time of transferring the substrate, the auxiliary roller is disposed at the fork entrance portion to facilitate the conveyance of the substrate, and when the fork enters, the auxiliary roller is driven to open the fork entrance portion.

그리고, 다른 측면에서 바라본 본 발명은 기판을 이송시키며 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부가 형성된 이송유닛; 상기 기판의 이송시 상기 포크진입부상에 배치되어 상기 기판의 이송을 지지하고, 상기 포크의 진입시 상기 포크진입부를 개방하는 가변롤러유닛;을 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a transfer apparatus comprising: a transfer unit having a fork entrance portion for transferring a substrate and allowing entry of a fork; And a variable roller unit disposed on the fork entrance part when the substrate is transferred to support the conveyance of the substrate and to open the fork entrance part when the fork enters.

또한, 상기 가변롤러유닛은 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로 이동한다. Further, the variable roller unit moves in the horizontal direction with respect to the conveying unit.

이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치의 분해사시도이다. 또한, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 이송유닛을 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 가변롤러유닛을 나타내는 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing a transfer unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a perspective view showing a variable roller unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 기판이송장치는 도1,2에 도시된 바와 같이, 프레임(10)과, 프레임(10)의 상부에 배치되어 기판(A)을 일 방향으로 이송시키며 포크(B)의 진입이 가능하도록 포크진입부(25)가 마련된 이송유닛(20)과, 이송유닛(20)의 하부에 배치되어 포크진입부(25)를 개폐하는 가변롤러유닛(30)을 포함하여 이루어진다.1 and 2, the substrate transfer apparatus according to the present invention includes a frame 10 and a frame 10 disposed above the frame 10 to transfer the substrate A in one direction, And a variable roller unit 30 disposed at a lower portion of the transfer unit 20 for opening and closing the fork entrance portion 25. The transfer unit 20 is provided with a fork entrance portion 25,

이송유닛(20)은 도 3에 도시된 바와 같이 프레임(10)의 상면 양측에 각각 마련되는 한쌍의 지지대(21,22)와, 한쌍의 지지대(21,22) 사이에 마련되어 기판(A)을 이송시키는 복수의 롤러부(24)를 포함한다.The transfer unit 20 includes a pair of supports 21 and 22 provided on both sides of the upper surface of the frame 10 and a pair of supports 21 and 22, And a plurality of roller portions 24 for transferring the toner images.

지지대(21,22)는 그 일측에 복수의 롤러부(24)의 회전축을 회전시키기 위한 구동부(24c)가 마련되며, 지지대(21)의 타측은 후술할 반송로봇의 포크(B)가 삽입 가능하도록 포크(B)에 대응하여 포크삽입구(21a)가 형성된다.The supporting rods 21 and 22 are provided at their one sides with a driving portion 24c for rotating the rotation axis of the plurality of roller portions 24 and the other side of the supporting rods 21 is provided with a fork B A fork insertion hole 21a is formed in correspondence with the fork B.

한쌍의 지지대(21,22)사이에는 회전축(24a)의 처짐을 방지하기 위한 보조지지부(23)가 마련된다.An auxiliary support portion 23 is provided between the pair of supports 21 and 22 to prevent the rotation shaft 24a from sagging.

롤러부(24)는 복수로 마련되는데, 각 롤러부(24)는 복수의 회전축(24a)과, 각 회전축(24a) 상에 설치되어 구동부(24c)에 의한 회전축(24a)의 회전과 함께 회전하는 이송롤러(24b)를 포함한다. Each of the roller portions 24 is provided with a plurality of rotation shafts 24a and a plurality of roller portions 24 which are provided on the respective rotation shafts 24a and rotate together with the rotation of the rotation shafts 24a by the drive portions 24c. And a conveying roller 24b.

이와 같은 복수의 롤러부(24)는 회전축(24a)을 회전시키는 구동부(24c)를 더 포함하는데, 구동부(24c)는 복수의 회전축(24a) 각각에 연결되어 복수의 회전축(24a)을 회전시킬 수 있는 복수의 구동모터로 이루어질 수 있으며, 복수의 회전축(24a)을 기어나 풀리 등의 동력전달부재로 연결시킴으로써 단일의 구동모터를 이용하여 복수의 회전축(24a)을 회전시킬 수 있음은 물론이다.The plurality of roller units 24 further include a driving unit 24c for rotating the rotating shaft 24a. The driving unit 24c is connected to each of the plurality of rotating shafts 24a to rotate the plurality of rotating shafts 24a And a plurality of rotation shafts 24a can be rotated by using a single drive motor by connecting a plurality of rotation shafts 24a with power transmission members such as gears or pulleys .

본 발명의 일 실시예에서는 구동부(24c)는 마그넷 드라이브와 같은 비접촉 구동전달장치로 이루어지고, 회전축(24a)은 비접촉 구동전달장치와 연결되어 회전함으로써 이송롤러(24b)를 회전시키게 된다. 이러한 비접촉 구동전달장치는 본 발명의 기술분야에 속하는 당업자에게 자명한 구성으로 그 설명은 생략하도록 한다. In an embodiment of the present invention, the driving unit 24c is a non-contact driving device such as a magnet drive, and the rotating shaft 24a is connected to the non-contact driving device and rotated to rotate the feeding roller 24b. Such a noncontact driving transmission device will be apparent to those skilled in the art and will not be described herein.

각각의 롤러부(24)에 포함되는 복수의 회전축(24a)은 한쌍의 지지대(21,22)사이에 회전 가능하게 결합되는데, 각각의 롤러부(24)사이에는 이송유닛(20)에 의해 이송되는 기판(A)을 후속 공정이 수행되는 위치로 반송시키는 반송로봇(미도시)의 포크(B)가 진입 가능한 공간을 형성하도록 소정거리 이격된 포크진입부(25)가 마련된다.A plurality of rotation shafts 24a included in each of the roller portions 24 are rotatably coupled between a pair of support rods 21 and 22. Between the roller portions 24 are conveyed by a conveying unit 20 A fork entrance part 25 is provided at a predetermined distance so as to form a space into which a fork B of a transfer robot (not shown) for transferring the substrate A to a position at which a subsequent process is performed can enter.

포크진입부(25)는 타측 지지대(21)에 형성된 포크삽입구(21a)와 대응하는 위치에 형성되어, 포크(B)가 포크삽입구(21a)를 통하여 포크진입부(25)로 진입 가능하게 배치된다. The fork entrance portion 25 is formed at a position corresponding to the fork insertion opening 21a formed in the other support base 21 so that the fork B is placed in the fork entrance portion 25 through the fork insertion opening 21a do.

이와 같이 형성된 포크진입부(25)로 인하여 각 롤러부(24)사이에 공간이 형성되는데, 기판(A)이 이송 중 이러한 공간을 통과하게 되면 기판(A)의 자중으로 인한 처짐이 발생하고, 이로 인하여 기판(A)에 충격이 가해질 우려가 높아진다.A space is formed between the roller portions 24 due to the fork entrance portion 25 formed as described above. When the substrate A passes through this space during transfer, deflection occurs due to the own weight of the substrate A, Thereby, there is a high possibility that an impact is applied to the substrate (A).

기판(A)의 처짐을 방지하기 위해 본 발명에서는 도 1과 같이 포크진입부(25)상에 가변롤러유닛(30)을 배치하는데, 이와 같은 가변롤러유닛(30)의 보조롤러(32)가 포크진입부(25)상에 배치되기 때문에 포크(B)의 진입을 방해하게 되는 문제점이 있다.1, the variable roller unit 30 is disposed on the fork entrance portion 25. In order to prevent the substrate A from sagging, the auxiliary roller 32 of the variable roller unit 30 There is a problem in that entry of the fork B is obstructed because it is disposed on the fork entrance portion 25. [

따라서 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 가변롤러유닛(30)은 포크(B)의 진입시 포크(B)의 진입공간을 확보하기 위해 보조롤러(32)를 구동할 수 있도록 구성된다.Therefore, the variable roller unit 30 included in the substrate transfer apparatus according to the present invention is configured to be able to drive the auxiliary roller 32 to secure the entry space of the fork B when the fork B advances.

가변롤러유닛(30)은 도 4에 도시된 바와 같이 고정프레임(31)과, 고정프레임(31)에 고정 설치되며 롤러부(24)의 사이에 배치되는 보조롤러(32)와, 고정프레임(31)을 이동시켜 보조롤러(32)를 진퇴시키는 구동장치(33)와, 고정프레임(31) 하면에 마련되어 고정프레임(31)의 이동을 가이드하는 가이드(34)와, 가변롤러유닛(30)을 프레임(10)에 안착시키기 위한 베이스(35)를 포함하여 이루어진다. 4, the variable roller unit 30 includes a fixed frame 31, an auxiliary roller 32 fixed to the fixed frame 31 and disposed between the roller portion 24, A guide 34 provided on the lower surface of the fixed frame 31 for guiding the movement of the fixed frame 31 and a movable roller 32 provided on the lower surface of the variable roller unit 30, And a base (35) for placing the frame (10) on the frame (10).

고정프레임(31)은 복수의 종방향바(31a)와 복수의 횡방향바(31b)로 이루어지며, 복수의 횡방향바(31b) 각각은 포크진입부(25)에 위치할 수 있도록 포크진입부(25)의 간격과 대응되는 간격으로 형성된다.The fixed frame 31 is constituted by a plurality of longitudinal bars 31a and a plurality of lateral bars 31b and each of the plurality of lateral bars 31b is provided with a fork entrance (25).

보조롤러(32)는 횡방향바(31b) 각각에 마련되어 롤러부(24)사이에 각각 배치되는데, 기판(A)의 이송시 기판(A)이 처지는 것을 방지하고, 이송롤러(24b)에 의한 기판(A)의 이송을 원활하게 할 수 있도록 이송롤러(24b)의 방향과 동일한 방향으로 배치된다.The auxiliary rollers 32 are provided in each of the transverse bars 31b and are respectively disposed between the roller portions 24 to prevent sagging of the substrate A during transport of the substrate A, Is disposed in the same direction as the direction of the conveying roller 24b so as to smoothly convey the substrate (A).

이때 보조롤러(32)의 상단은 기판(A)의 처짐을 고려하여 롤러부(24)의 이송롤러(24b)의 상단보다 소정높이(대략 1mm 내지 3mm)정도 낮게 형성하여 기판(A)의 하부에 흠이 발생하지 아니하도록 한다.The upper end of the auxiliary roller 32 is formed at a predetermined height (approximately 1 mm to 3 mm) lower than the upper end of the conveying roller 24b of the roller portion 24 in consideration of deflection of the substrate A, So that no scratches occur in the surface of the substrate.

구동장치(33)는 횡방향바(31b)를 진퇴시킴으로써 이송롤러(24b)가 포크진입부(25)를 개방하거나 폐쇄하도록 한다. 이때의 구동장치(33)는 에어실린더 또는 유압실린더 일 수 있으며, 직선왕복운동을 가능하게 하는 다양한 구동장치가 사용될 수 있다. 이러한 구동장치의 구조는 공지된 것으로 그 구체적 설명은 생략하도록 한다.The driving device 33 causes the conveying roller 24b to open or close the fork entrance portion 25 by advancing and retracting the lateral bar 31b. The driving device 33 at this time may be an air cylinder or a hydraulic cylinder, and various driving devices capable of linear reciprocating motion may be used. The structure of such a driving device is well-known and a detailed description thereof will be omitted.

또한 구동부(24c)의 구동으로 인하여 고정프레임(31)과 일체로 이송롤러(24b)가 이송유닛(20)에 대해 이동하게 되는데, 이때 이송롤러(24b)가 이송유닛(20)에 대해 경사지게 이동될 수도 있으나, 바람직하게는 이송롤러(24b)가 이송유닛(20)이 형성하는 면에 대해 수평하게 이동될 수 있도록 한다. 이와 같이 수평이동 즉, 횡방향 이동하도록 함으로써 기판이송장치의 두께를 최소화할 수 있게 된다. The conveying roller 24b moves integrally with the stationary frame 31 with respect to the conveying unit 20 due to the driving of the driving unit 24c at this time when the conveying roller 24b moves obliquely with respect to the conveying unit 20 But preferably the conveying roller 24b can be moved horizontally with respect to the surface formed by the conveying unit 20. [ The horizontal movement, that is, the lateral movement, minimizes the thickness of the substrate transfer apparatus.

이때 수평이동은 완전한 수평상태의 이동이 아니라 대략 수평을 이룰 정도로 소정각도 경사지게 이동하는 경우도 포함한다. At this time, the horizontal movement is not a complete horizontal movement but includes a case of moving at a predetermined angle inclination so as to be approximately horizontal.

이하 도5를 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작과 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, operations and effects of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

도 5a,5b는 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 나타내는 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views illustrating the operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 기판이송장치에서 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 이송하기 위해서는 도 5a에 도시된 바와 같이 가장 먼저 이송유닛(20)을 통해 이송되는 기판(A)을 반송로봇(미도시)이 설치된 이송유닛(20)의 위치로 이송한다. In order to transfer a substrate to a position where a subsequent process is performed in the substrate transfer apparatus according to the present invention, a transfer robot (not shown) is used to transfer the substrate A, which is first transferred through the transfer unit 20, To the position of the installed transfer unit (20).

상기와 같이 기판(A)이 반송로봇(미도시)이 설치된 이송유닛(20)의 위치로 이송하는 과정은 구동부(24c)가 구동하여 이 구동부(24c)와 연결된 회전축(24a)이 회전하고, 이 회전축(24a)이 회전함에 따라 이송롤러(24b)가 회전하여 이송롤러(24b)의 상면에 접촉되는 기판(A)이 일방향으로 이송되고, 이때 보조롤러(32)는 포크진입부(25)에 마련되어 이송되는 기판(A)을 지지한다.In the process of transferring the substrate A to the position of the transfer unit 20 provided with the transfer robot (not shown), the drive unit 24c is driven to rotate the rotary shaft 24a connected to the drive unit 24c, As the rotary shaft 24a rotates, the conveying roller 24b rotates and the substrate A, which is in contact with the upper surface of the conveying roller 24b, is conveyed in one direction. At this time, And supports the substrate A to be transported.

이 후 도 5b에 도시된 바와 같이 기판(A)의 이송이 완료되면 가변롤러유닛(30)의 구동장치(33)를 작동시켜 고정프레임(31)을 수평방향으로 밀어 주게 된다. 이와 같이 수평방향으로 밀린 횡방향바(31b)에 고정된 보조롤러(32)는 고정프레임(31)과 일체로 수평방향으로 이동하여 롤러부(24)와 인접하게 된다. 따라서 포크진입부(25)가 개방되게 된다.5B, when the transfer of the substrate A is completed, the driving unit 33 of the variable roller unit 30 is operated to push the fixed frame 31 in the horizontal direction. The auxiliary roller 32 fixed to the horizontal bar 31b pushed in the horizontal direction moves in the horizontal direction integrally with the fixed frame 31 to be adjacent to the roller portion 24. Thus, the fork entrance portion 25 is opened.

이와 같이 포크진입부(25)가 개방되면 포크(B)가 진입하여 기판(A)의 하면을 지지하여 후속 공정이 수행되는 위치로 기판(A)을 반송하게 된다.When the fork entrance portion 25 is opened as described above, the fork B enters and supports the lower surface of the substrate A, thereby transporting the substrate A to a position where a subsequent process is performed.

따라서 기판(A)의 이송시 보조롤러(32)는 포크진입부(25)에 위치하도록 하여 롤러부(24)사이의 이격공간에 의한 기판(A)의 처짐을 방지할 수 있으며, 기판(A)의 반송시 포크(B)가 포크진입부(25)에 진입하여야 하는 경우 구동장치(33)가 고정프레임(31)을 밀어줌으로써 고정프레임(31)에 고정 설치된 보조롤러(32) 역시 이동하 게 되어 포크진입부(25)를 개방하게 되어 기판(A)을 반송시키는데 소요되는 시간이 단축시킬 수 있으므로 전반적인 기판의 생산효율을 증대시킬 수 있다. 이때 보조롤러(32)의 상단은 이송롤러(24b)의 상단에 비해 소정높이 낮게 설치되기 때문에 보조롤러(32)가 수평 이동하여 포크진입부(25)를 개방하는 경우에도 기판(A)의 하부에 흠이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The auxiliary roller 32 can be positioned at the fork entrance portion 25 to prevent the substrate A from sagging due to the space between the roller portions 24 and the substrate A The driving device 33 pushes the stationary frame 31 to move the auxiliary roller 32 fixed to the stationary frame 31 when the fork B is to enter the fork entrance part 25 So that the time required for transporting the substrate A can be shortened because the fork entrance portion 25 is opened, so that the overall production efficiency of the substrate can be increased. At this time, since the upper end of the auxiliary roller 32 is lower than the upper end of the conveying roller 24b, even when the auxiliary roller 32 horizontally moves to open the fork entrance portion 25, It is possible to prevent the occurrence of scratches on the substrate.

또한 보조롤러(32)가 수평으로 이동하여 포크진입부(25)를 개폐하기 때문에 종래기술에 비해 기판이송장치의 두께를 얇게 할 수 있어 공간 활용성을 향상시킬 수 있다.In addition, since the auxiliary roller 32 moves horizontally to open / close the fork entrance portion 25, the thickness of the substrate transfer device can be made thinner than in the prior art, and space utilization can be improved.

상기의 설명에서와 같이, 본 발명에 의한 기판이송장치는 보조롤러를 수평 이동시켜 포크진입부를 개방하기 때문에 기판을 반송시키는데 소요되는 시간이 단축시킬 수 있으므로 전반적인 기판의 생산효율을 증대시킬 수 있으며 기판이송장치를 컴팩트하게 구성할 수 있는 효과가 있다.As described above, the substrate transfer apparatus according to the present invention can horizontally move the auxiliary roller to open the fork entrance portion, so that it is possible to shorten the time required for transferring the substrate, There is an effect that the transfer device can be configured compactly.

상기에서 설명한 것은 본 발명에 의한 기판이송장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be applied to other types of substrates having a conventional knowledge in the art within the technical scope of the present invention. Of course, various modifications are possible.

Claims (6)

기판의 이송을 위한 복수의 롤러부와, 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부를 구비한 이송유닛;A transfer unit having a plurality of roller portions for transferring the substrate, and a fork entrance portion for allowing entry of the fork; 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로 구동하여 상기 포크진입부를 개폐하는 가변롤러유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.And a variable roller unit which is driven in the horizontal direction with respect to the transfer unit to open and close the fork entrance portion. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 롤러부는 구동부와, 상기 구동부와 결합된 회전축과, 상기 회전축의 회전에 따라 회전하는 이송롤러를 포함하고,The image forming apparatus according to claim 1, wherein the plurality of roller units include a driving unit, a rotating shaft coupled to the driving unit, and a conveying roller that rotates in accordance with rotation of the rotating shaft, 상기 가변롤러유닛은 상기 포크진입부에 이동 가능하게 배치되는 보조롤러와, 상기 보조롤러를 구동시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.Wherein the variable roller unit comprises an auxiliary roller movably arranged in the fork entrance portion, and a driving device for driving the auxiliary roller. 제 2항에 있어서, 상기 보조롤러의 상단은 상기 이송롤러의 상단보다 소정높이 낮게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. The substrate feeding apparatus according to claim 2, wherein an upper end of the sub-roller is disposed lower than a top end of the feeding roller by a predetermined height. 제 2항에 있어서, 상기 기판의 이송시 상기 보조롤러는 상기 포크진입부에 배치되어 상기 기판의 이송을 원활하게 하고, 상기 포크의 진입시 상기 보조롤러를 구동하여 상기 포크진입부를 개방하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. 3. The apparatus according to claim 2, wherein the auxiliary roller is disposed at the fork entrance portion to smooth the conveyance of the substrate, and when the fork enters, the auxiliary roller is driven to open the fork entrance portion, . 기판을 이송시키며 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부가 형성된 이송유닛;A transfer unit in which a fork entrance part is formed to transfer the substrate and enable entry of the fork; 상기 기판의 이송시 상기 포크진입부상에 배치되어 상기 기판의 이송을 지지하고, 상기 포크의 진입시 상기 포크진입부를 개방하는 가변롤러유닛;을 포함하고,And a variable roller unit disposed on the fork entrance part when the substrate is transported to support the transfer of the substrate and to open the fork entrance part when the fork enters, 상기 가변롤러유닛은 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로이동하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.And the variable roller unit moves in the horizontal direction with respect to the transfer unit. 삭제delete
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