KR101422270B1 - Manufacturing method of metal mesh for touch screen sensor and Touch screen sensor using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법으로서, 캐리어 위에 도전층을 형성하는 단계와, 상기 도전층 위에 제1흑화층을 형성하는 단계와, 상기 캐리어, 도전층 및 제1흑화층이 차례로 형성된 기판의 제1흑화층을 투명 기판 위에 결합시키는 단계와, 상기 캐리어를 도전층에서 분리하여 제거하는 단계와, 상기 캐리어가 제거된 투명기판의 도전층 위에 제2흑화층을 형성하는 단계와, 상기 제1흑화층, 도전층 및 제2흑화층을 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 제1흑화층, 도전층 및 제2흑화층의 상부와 측부에 제3흑화층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor, the method comprising: forming a conductive layer on a carrier; forming a first blackening layer on the conductive layer; and forming the carrier, the conductive layer, Forming a second blackening layer on the conductive layer of the transparent substrate from which the carrier has been removed; and forming a first blackening layer on the conductive layer, Patterning the first blackening layer, the conductive layer, and the second blackening layer; and forming a third blackening layer on the top and sides of the patterned first blackening layer, the conductive layer, and the second blackening layer .
Description
본 발명은 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 터치 스크린 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정 비용이 절감되고 디스플레이 특성이 개선된 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 터치 스크린 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor and a touch screen sensor using the same. More particularly, the present invention relates to a method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor, And more particularly, to a touch screen sensor manufactured using the touch screen.
최근 네이게이션, 스마트폰과 같이 소형 디스플레이 장치가 구비된 전자기기의 사용이 확대되면서 터치 스크린 패널과 같은 입력수단이 구비된 디스플레이 소자가 널리 이용되고 있다.2. Description of the Related Art Recently, electronic devices having small display devices such as navigation and smart phones have been widely used, and display devices having input means such as touch screen panels have been widely used.
터치 스크린 패널(touch screen panel, TSP)은 손 또는 터치펜 등을 이용하여 컴퓨터를 제어할 수 있는 입력수단이 구비된 전자소자이다. 터치 스크린 패널은 압력을 감지하는 저항막 방식, 전하의 이동을 감지하는 정전용량 방식 등이 있고, 제조원가를 절감하고 입력 오류를 최소화하기 위한 다양한 구조와 제조방법에 관한 기술이 개발되고 있다.BACKGROUND ART A touch screen panel (TSP) is an electronic device equipped with input means capable of controlling a computer using a hand or a touch pen. The touch screen panel includes a resistive film type for sensing a pressure and a capacitive type for detecting movement of a charge. Various techniques for manufacturing structures and manufacturing methods for reducing manufacturing costs and minimizing input errors are being developed.
터치 스크린 패널은 윈도우 기판, 블랙매트릭스층, 투명도전층, 금속전극층, 프라이머층 등으로 구성되어 있는 것이 일반적이며, 먼저 윈도우 기판에 블랙매트릭스층, 투명도전층, 금속전극층을 순차적으로 형성하고, 프라이머를 이용하여 디스플레이 기판에 터치 스크린 패널을 결합하는 순서로 진행된다. 이 중에서 투명 전극 소재로서는 인듐 틴 옥사이드(ITO) 박막을 사용하는 것이 주종을 이루고 있다. The touch screen panel generally comprises a window substrate, a black matrix layer, a transparent conductive layer, a metal electrode layer, a primer layer, and the like. First, a black matrix layer, a transparent conductive layer, and a metal electrode layer are sequentially formed on a window substrate, And then the touch screen panel is coupled to the display substrate. Among them, indium tin oxide (ITO) thin film is mainly used as a transparent electrode material.
이러한 인듐 틴 옥사이드 소재는 투과도나 전기적 특성 등은 우수하지만, 희토류 금속을 사용하므로 수급이 원활하지 않고, 고가이며, 굴곡성이 없어 유연한 재료로는 사용할 수 없는 단점이 있다. Such indium tin oxide materials are excellent in transmittance and electrical characteristics, but they have drawbacks in that they can not be used as flexible materials because they are rarely supplied, inexpensive, and flexible because rare-earth metals are used.
따라서 기존에 많이 사용하고 있는 인듐 틴 옥사이드를 대체하기 위하여 은나노와이어, 탄소나노튜브, 그래핀, 산화아연 등의 투명 전극 소재에 대해 많은 연구를 하고 있으며, 메탈 메쉬처럼 다른 방법을 이용한 투명 전극층도 일부 사용되고 있다. 이처럼 투명 전극 소재에서 인듐 틴 옥사이드 필름을 대체할 것으로 기대되는 메탈 메쉬는 은(Ag) 이나 구리(Cu) 등의 금속을 사용하므로 저항값이 낮은 장점이 있으나, 투과도가 낮은 단점도 병존한다.Therefore, in order to replace the conventional indium tin oxide, a lot of research has been conducted on transparent electrode materials such as silver nano wire, carbon nanotube, graphene and zinc oxide, and a transparent electrode layer using other methods such as a metal mesh . Metal mesh, which is expected to replace indium tin oxide film in transparent electrode material, has a low resistance value because it uses metal such as silver (Ag) or copper (Cu), but also has a low point of low permeability.
메탈 메쉬는 PET 필름 등의 투명 소재 위에 금속을 직교 형태로 눈에 보이지 않을 만큼 수 ㎛ 정도로 매우 미세하게 입혀 전극 필름을 제작하는데 기존의 투명 전극 소재인 인듐 틴 옥사이드를 대체할 수 있어 가격 경쟁력을 확보할 수 있다. 또한 기존의 인듐 틴 옥사이드의 크랙 특성으로 인해 적용할 수 없었던 플렉서블 디스플레이(flexible display)용 터치 스크린 패널에 적용이 가능하다.Metal mesh can be substituted for indium tin oxide, which is a transparent electrode material, to manufacture electrode film by finely finishing the metal on a transparent material such as PET film to a thickness of several micrometers can do. In addition, it can be applied to a touch screen panel for a flexible display which can not be applied due to the crack characteristics of the existing indium tin oxide.
현재까지는 중대형 제품에 주로 적용되고 있는 메탈 메쉬 기술에 대하여 회로폭을 5㎛ 이하로 미세화하는 공정이 개발됨에 따라 모바일 제품에 적용할 수 있는 가능성이 높아졌으며, 향후 터치 스크린 패널 시장에서 폭발적인 성장이 기대된다. Up to now, metal mesh technology, which is mainly applied to middle and large sized products, has been developed with the process of miniaturizing the circuit width to 5 μm or less. Therefore, possibility to apply to mobile products has increased, and explosive growth is expected in the touch screen panel market do.
터치 스크린패널용 메탈메쉬는 일반적으로 PET 필름 상에 스퍼터링이나, 전사 또는 도금 등의 방법으로 구리(Cu), 은(Ag) 등의 금속층을 형성시킨 후 적용 제품에 맞는 패턴을 구현하고 현상, 에칭 및 박리 공정을 통해 제작한다. 이러한 메탈메쉬 제조 방법은 일본특허 2002-9484, 일본특허 2009-76654 등에 개시되어 있다.Metal mesh for touch screen panel is generally formed by forming a metal layer such as copper (Cu) or silver (Ag) on PET film by sputtering, transfer or plating method, And a peeling process. Such a method of producing a metal mesh is disclosed in Japanese Patent Application No. 2002-9484 and Japanese Patent Application No. 2009-76654.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 첫 번째 과제는 도금방법을 이용하여 공정 비용이 절감되고, 메탈 메쉬의 주변이 흑화처리되어 디스플레이 특성이 개선된 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법을 제공하는 것이다.Accordingly, a first object of the present invention is to provide a method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor, in which the process cost is reduced by using a plating method, and the periphery of the metal mesh is blackened to improve display characteristics.
본 발명이 해결하고자 하는 두 번째 과제는 메탈메쉬의 패턴 상하부를 캐리어 상에서 형성하여 제조공정을 단순화시킨 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법을 제공하는 것이다.A second problem to be solved by the present invention is to provide a method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor in which a manufacturing process is simplified by forming upper and lower portions of a metal mesh pattern on a carrier.
본 발명이 해결하고자 하는 세 번째 과제는 상기 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법을 이용하여 제조된 터치 스크린 센서를 제공하는 것이다.A third problem to be solved by the present invention is to provide a touch screen sensor manufactured using the method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor.
본 발명은 상기 첫 번째 과제를 달성하기 위하여, 터치 스크린 센서에 이용되는 메탈 메쉬의 제조방법으로서, 캐리어 위에 도전층을 형성하는 단계와, 상기 도전층 위에 제1흑화층을 형성하는 단계와, 상기 캐리어, 도전층 및 제1흑화층이 차례로 형성된 기판의 제1흑화층을 투명 기판 위에 결합시키는 단계와, 상기 캐리어를 도전층에서 분리하여 제거하는 단계와, 상기 캐리어가 제거된 투명기판의 도전층 위에 제2흑화층을 형성하는 단계와, 상기 제1흑화층, 도전층 및 제2흑화층을 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 제1흑화층, 도전층 및 제2흑화층의 상부와 측부에 제3흑화층을 형성하는 단계를 포함하는 메탈 메쉬의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a metal mesh for use in a touch screen sensor, the method comprising: forming a conductive layer on a carrier; forming a first blackening layer on the conductive layer; A method for manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: bonding a first blackening layer of a substrate on which a carrier, a conductive layer and a first blackening layer are sequentially formed on a transparent substrate; separating and removing the carrier from the conductive layer; Forming a second blackening layer on the patterned first blackening layer, the conductive layer, and the second blackening layer; patterning the first blackening layer, the conductive layer, and the second blackening layer; And forming a third blackening layer on the surface of the metal mesh.
본 발명의 일 구현예에 따르면, 상기 캐리어 위에 도전층을 형성하는 단계는 구리 전해도금 공정 또는 구리 무전해 도금 공정으로 수행될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of forming the conductive layer on the carrier may be performed by a copper electroplating process or a copper electroless plating process.
본 발명의 다른 구현예에 따르면, 상기 제1흑화층, 제2흑화층 또는 제3흑화층은 전해도금 또는 무전해 도금에 의하여 형성된 흑니켈 또는 흑크롬으로 이루어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the first blackening layer, the second blackening layer or the third blackening layer may be formed of black nickel or black chrome formed by electrolytic plating or electroless plating.
본 발명은 상기 두 번째 과제를 달성하기 위하여, 터치 스크린 센서에 이용되는 메탈 메쉬의 제조방법으로서, 캐리어 위에 제1구리층을 형성하는 단계와, 상기 도전층 위에 제1흑화층을 형성하는 단계와, 상기 제1흑화층 위에 제2구리층을 형성하는 단계와, 상기 제2구리층 위에 제2흑화층을 형성하는 단계와, 상기 제1구리층, 제1흑화층, 제2구리층 및 제2흑화층이 차례로 형성된 기판의 제2흑화층을 투명 기판 위에 결합시키는 단계와, 상기 캐리어를 제1구리층에서 분리하여 제거하는 단계와, 상기 제1구리층을 상기 제1흑화층에서 분리하여 제거하는 단계와, 상기 제1흑화층, 제2구리층 및 제2흑화층을 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 제1흑화층, 제2구리층 및 제2흑화층의 상부와 측부에 제3흑화층을 형성하는 단계를 포함하는 메탈 메쉬의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a metal mesh for use in a touch screen sensor, comprising: forming a first copper layer on a carrier; forming a first blackening layer on the conductive layer; Forming a second copper layer on the first blackening layer; forming a second blackening layer on the second copper layer; forming a first copper layer, a first blackening layer, Bonding the second blackening layer of the substrate, in which the two blackening layers are formed in order, onto the transparent substrate; Separating and removing the first copper layer from the first copper layer, separating and removing the first copper layer from the first blackening layer, and patterning the first blackening layer, the second copper layer and the second blackening layer And forming a third blackening layer on the upper and side portions of the patterned first blackening layer, the second copper layer, and the second blackening layer.
본 발명의 일 구현예에 따르면, 상기 제1흑화층, 제2흑화층 또는 제3흑화층은 전해도금 또는 무전해 도금에 의하여 형성된 흑니켈 또는 흑크롬으로 이루어질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first blackening layer, the second blackening layer or the third blackening layer may be formed of black nickel or black chrome formed by electrolytic plating or electroless plating.
본 발명은 상기 세 번째 과제를 달성하기 위하여, 상기의 제조방법에 의하여 제조된 터치 스크린 센서를 제공한다.In order to achieve the third object, the present invention provides a touch screen sensor manufactured by the manufacturing method.
본 발명의 제조방법에 따라 제조된 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬는 흑화층이 형성되어 있으므로 디스플레이 화면의 반사도를 감소시킬 수 있으며, 명실 명암비를 높일 수 있고 따라서 시인성 확보에 유리하다. 또한 메탈 메쉬의 상부뿐 아니라 메쉬 패턴의 측부 또는 하부까지 흑화층이 형성되어 있으므로 측면에서 입사하는 광에 대한 반사도도 함께 감소시켜서 디스플레이 소자의 품질을 더욱 높일 수 있다.Since the metal mesh for a touch screen sensor manufactured according to the manufacturing method of the present invention is formed with a blackening layer, the reflectivity of the display screen can be reduced, and the bright room contrast ratio can be increased. In addition, since the blackening layer is formed not only at the upper portion of the metal mesh but also at the side portion or the lower portion of the mesh pattern, the reflectivity with respect to the incident light from the side is also reduced, thereby further enhancing the quality of the display device.
본 발명의 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법은 도금 방법을 이용하므로 메탈 메쉬의 제조비용을 절감할 수 있고, 전사(transcription) 방법을 이용하여 알루미늄 캐리어 상에 메탈 메쉬의 도전층을 형성하므로 도금 공정을 단순화할 수 있다.The method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor of the present invention can reduce the manufacturing cost of a metal mesh by using a plating method and form a conductive layer of a metal mesh on an aluminum carrier by using a transcription method, The process can be simplified.
도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 구현예에 따른 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor according to another embodiment of the present invention.
본 발명은 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법으로서, 캐리어 위에 도전층을 형성하는 단계와, 상기 도전층 위에 제1흑화층을 형성하는 단계와, 상기 캐리어, 도전층 및 제1흑화층이 차례로 형성된 기판의 제1흑화층을 투명 기판 위에 결합시키는 단계와, 상기 캐리어를 도전층에서 분리하여 제거하는 단계와, 상기 캐리어가 제거된 투명기판의 도전층 위에 제2흑화층을 형성하는 단계와, 상기 제1흑화층, 도전층 및 제2흑화층을 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 제1흑화층, 도전층 및 제2흑화층의 상부와 측부에 제3흑화층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor, the method comprising: forming a conductive layer on a carrier; forming a first blackening layer on the conductive layer; and forming the carrier, the conductive layer, Forming a second blackening layer on the conductive layer of the transparent substrate from which the carrier has been removed; and forming a first blackening layer on the conductive layer, Patterning the first blackening layer, the conductive layer, and the second blackening layer; and forming a third blackening layer on the top and sides of the patterned first blackening layer, the conductive layer, and the second blackening layer .
본 발명의 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법은 알루미늄 필름과 같은 캐리어 위에 메탈 메쉬 구성을 위한 도전층을 형성하고, 이를 투명 기판에 전사하는 것이 특징이다. 유리나 투명 고분자 수지로 이루어진 부도체의 투명 기판에 도전층을 직접 형성하는 경우에는 밀착력 향상을 위해 스퍼터링을 이용하여 니켈-구리층과 같은 하지층을 도금하는 등의 추가적인 공정이 요구된다. 하지만, 전사 방식을 이용하는 경우에는 도전체인 알루미늄 캐리어에 도전층을 형성하므로 하지층의 코팅과 같은 공정을 생략할 수 있는 장점이 있다.The method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor according to the present invention is characterized in that a conductive layer for forming a metal mesh is formed on a carrier such as an aluminum film and transferred to a transparent substrate. When a conductive layer is directly formed on a transparent substrate made of glass or a transparent polymer resin, an additional process such as plating a base layer such as a nickel-copper layer using sputtering is required in order to improve adhesion. However, in the case of using the transfer method, since the conductive layer is formed on the aluminum carrier as the conductive layer, there is an advantage that the process such as coating of the ground layer can be omitted.
본 발명에 따르면 캐리어 위에 형성된 구리층의 상부에 흑화층을 형성하고(이 경우에 상기 흑화층은 투명기판에서는 하부 흑화층을 구성함) 전사된 구리층 위에 추가로 흑화층을 형성하는(이 경우에 상기 흑화층은 투명기판에서는 상부 흑화층을 구성함) 방식, 또는 캐리어 위에 제1구리층, 제1흑화층, 제2구리층, 제2흑화층을 형성하여 투명 기판에 전사하는 방식을 적용할 수 있다. 상기의 2가지 모두의 방식에서 투명기판의 구리층 상하부에는 흑화층이 형성되어 디스플레이 특성을 향상시킨다. 또한 패터닝된 도전층의 상부와 측부에 추가로 흑화층을 형성함으로써 결과적으로 메탈 메쉬 패턴의 상부, 하부, 양 측부 모두를 흑화시킬 수 있다. 이와 같이 메탈 메쉬의 4면이 모두 흑화 처리된 구조에서는 외부에서 입사하는 광뿐만 아니라 내부에서 반사되는 광까지 패턴층에서 흡수할 수 있으므로 보다 양호한 광학적 특성이 구현될 수 있다. According to the present invention, a blackening layer is formed on the copper layer formed on the carrier (in this case, the blackening layer constitutes the lower blackening layer in the case of the transparent substrate), and further a blackening layer is formed on the transferred copper layer , The blackening layer constitutes the upper blackening layer in the case of the transparent substrate), or a method in which a first copper layer, a first blackening layer, a second copper layer and a second blackening layer are formed on a carrier and transferred to a transparent substrate can do. In both of the above-mentioned methods, a blackening layer is formed on the upper and lower portions of the copper layer of the transparent substrate to improve display characteristics. Further, a blackening layer is further formed on the upper and side portions of the patterned conductive layer, so that the upper, lower, and both sides of the metal mesh pattern can be blackened. In the structure in which all four sides of the metal mesh are blackened, not only the light incident from the outside but also the light reflected from the inside can be absorbed in the pattern layer, so that better optical characteristics can be realized.
본 발명에 따라 제조된 메탈 메쉬는 터치 스크린 센서에 이용되는 것으로서, 인듐 틴 옥사이드 박막을 이용한 기존의 투명 전극을 대체할 수 있고, 낮은 전기 저항성과 높은 시인성을 가진다. 또한 도금방법에 의하여 제조되므로 제조비용을 절감할 수 있고, 특히 고분자 기판과 같은 가요성 기판에 적용될 수 있는 유리한 효과를 가진다. The metal mesh manufactured according to the present invention is used in a touch screen sensor and can replace a conventional transparent electrode using an indium tin oxide thin film and has low electrical resistance and high visibility. In addition, since it is manufactured by the plating method, the manufacturing cost can be reduced, and in particular, it can be advantageously applied to a flexible substrate such as a polymer substrate.
본 발명의 터치 스크린용 메탈 메쉬는 메쉬 패턴을 이루는 도전층을 다양한 구조로 형성할 수 있고, 도전층의 구성에 따라 서로 다른 흑화층 형성 공정이 적용될 수 있다. In the metal mesh for a touch screen of the present invention, the conductive layer forming the mesh pattern may be formed in various structures, and different blackening layer forming processes may be applied depending on the configuration of the conductive layer.
본 발명의 터치 스크린용 메탈 메쉬에 적용되는 메쉬 패턴층은 니켈-구리층/구리층/니켈 구리층의 3중층, 니켈-구리층/구리층/니켈층의 3중층 또는 흑니켈층/구리층/흑니켈층의 3중층으로 이루어질 수 있고, 상기 다중층의 형성 후에는 패터닝된 보호막의 도포 및 식각 등의 공정을 통한 패터닝 과정이 수행될 수 있다. 구체적으로는 식각액으로 염화동을 주성분으로 하는 타입과, 질산이나 황산과 과산화수소수를 주성분으로 하는 타입이 적용될 수 있다.The mesh pattern layer applied to the metal mesh for a touch screen of the present invention includes a triple layer of nickel-copper layer / copper layer / nickel copper layer, a triple layer of nickel-copper layer / copper layer / nickel layer or a black nickel layer / copper layer / Black nickel layer. After the formation of the multi-layers, a patterning process may be performed through processes such as application of a patterned protective film and etching. Concretely, a type mainly composed of hydrochloric acid as the etching solution and a type mainly containing nitric acid, sulfuric acid and hydrogen peroxide can be applied.
본 발명의 일 구현예에 따라 캐리어 위에 구리층, 흑화층을 차례로 형성하고 이를 투명기판에 전사시켜 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬를 제조하는 과정을 도 1을 이용하여 설명하면 다음과 같다.A process of fabricating a metal mesh for a touch screen sensor by sequentially forming a copper layer and a blackening layer on a carrier in accordance with an embodiment of the present invention and transferring the same onto a transparent substrate will be described with reference to FIG.
먼저, 알루미늄 필름과 같은 캐리어(101) 위에 전해도금 또는 무전해도금으로 구리층(102)을 형성한다(도 1의 (가)). 도면에는 나타내지 않았지만, 캐리어의 표면에 수산화나트륨(NaOH), 수산화칼륨(KOH) 등을 이용한 소프트 에칭을 실시하여 다공성 버퍼층을 형성한 후 구리층을 형성할 수 있다. 이 경우에는 상기 다공성 버퍼층에 의하여 전사 후에 캐리어를 제거하는 것이 용이해진다.First, a
이어서, 상기 구리층(102) 위에 제1흑화층(103)을 형성한다(도 1의 (나)). 제1흑화층을 형성하는 방법은 전해도금에 의한 흑니켈 도금이나 흑색크롬 도금 및 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금이나 블랙옥사이드 등을 적용할 수 있다. 전해도금에 의한 흑니켈 처리는 금속니켈염, 나트륨황화합물, 무기산, 계면활성제 등으로 이루어진 용액을 이용하여 상온에서 약 0.5ASD 내외의 전류밀도, pH 6 정도의 작업 조건으로 약 3분 정도 처리하는 것으로 수행될 수 있다. 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금은 차아인산나트륨, 붕산, 디메틸아미노보란 등의 환원제 중 1종을 환원제로 하고, 황산니켈을 메탈공급원, 에틸렌디아민테트라아세틱산을 착화제, 황화합물 및 무기계 첨가제를 조성으로 하는 무전해 흑니켈 도금액을 사용하여 pH 4.5, 80℃ 온도에서 약 5분간 도금함으로써, 니켈-인-아연, 니켈-붕소-아연, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-인-크롬 또는 니켈-붕소-크롬 등의 공석을 통하여 요구하는 흑화층을 구현할 수 있다. 또한 옥사이드 처리는 아염소산나트륨을 산화제로 하여 pH 12 이상의 강알카리 환경에서 75℃, 약 1분 정도의 구리층(102) 산화를 통해서 요구하는 옥사이드층을 구현 할 수 있다. Next, a
이어서, 캐리어(101), 구리층(102) 및 제1흑화층(103)이 차례로 형성된 캐리어 기판의 제1흑화층(103)을 투명 기판(104)에 결합시킨다(도 1의 (다)). 이때 투명 기판은 유리기판 또는 가요성 고분자 기판일 수 있고, 제1흑화층과 투명기판의 결합을 위하여 접착제가 이용될 수 있다. 접착제로는 가요성 투명 기판인 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(Poly Ethylene Teraphthalate, PET), 폴리이미드 및 연성에폭시 등과의 상용성이 좋은 재질로 이루어질 수 있고, 유기티탄, 유기실란 등의 물질이 이용되거나 수지를 주성분으로 하는 혼합물로 제조될 수 있다. Next, the
이어서, 투명 기판(104)에 결합된 캐리어를 제거한다(도 1의 (라)). 캐리어의 제거는 알루미늄으로 이루어진 캐리어인 경우에 물리적 방법과 화학적 방법이 모두 이용될 수 있는데, 알루미늄과 동은 이종 금속이므로 분리가 용이하여 일반적으로 물리적 방법에 의하여 분리하는 것도 가능하고, 가성 소다 등의 약품을 이용하여 화학적으로 알루미늄만을 제거하여 분리하는 것도 가능하다.Subsequently, the carrier bonded to the
이어서, 캐리어가 제거된 구리층(102) 위에 제2흑화층(105)을 형성한다(도 1의 (마)). 제2흑화층의 형성은 제1흑화층의 형성과 동일한 방법으로 수행될 수 있다.Then, a
이어서, 제1흑화층(103), 구리층(102), 제2흑화층(105)을 패터닝하여 메탈 메쉬 패턴을 형성한다(도 1의 (바)). 상기 패터닝 방법은 광감성 수지를 코팅하고 마스크로 부분 노광 및 현상하여 마스킹 패턴을 형성한 후 에칭하는 공정으로 수행될 수 있다. 에칭액으로는 염화동을 주성분으로 하는 타입과, 질산이나 황산과 과산화수소수를 주성분으로 하는 타입이 적용될 수 있다. Then, the
이어서, 패터닝된 메탈 메쉬 패턴의 상부와 측부에 제3흑화층(106)을 형성한다(도 1의 (사)). 제3흑화층을 형성하는 방법에는 전해도금에 의한 흑니켈 도금이나 흑색크롬 도금 및 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금을 적용할 수 있다. 전해도금에 의한 흑니켈 처리는 금속니켈염, 나트륨황화합물, 무기산, 계면활성제 등으로 이루어진 용액을 이용하여 상온에서 약 0.5ASD 내외의 전류밀도, pH 6 정도의 작업 조건으로 약 3분 정도 처리하는 것으로 수행될 수 있다. 또한 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금은 차아인산나트륨, 붕산, 디메틸아미노보란 등의 환원제 중 1종을 환원제로 하고, 황산니켈을 메탈공급원, 에틸렌디아민테트라아세틱산을 착화제, 황화합물 및 무기계 첨가제를 조성으로 하는 무전해 흑니켈 도금액을 사용하여 pH 4.5, 80℃ 온도에서 약 5분간 도금함으로써, 니켈-인-아연, 니켈-붕소-아연, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-인-크롬 또는 니켈-붕소-크롬등의 공석을 통하여 요구하는 흑화층을 구현할 수 있다.Next, a
본 발명의 다른 구현예에 따라 캐리어 위에 구리층, 흑화층을 차례로 형성하고 이를 투명기판에 전사시켜 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬를 제조하는 과정을 도 2를 이용하여 설명하면 다음과 같다.A process of fabricating a metal mesh for a touch screen sensor by sequentially forming a copper layer and a blackening layer on a carrier in accordance with another embodiment of the present invention and transferring the same to a transparent substrate will be described with reference to FIG.
먼저, 알루미늄 필름과 같은 캐리어(201) 위에 전해도금 또는 무전해도금으로 제1구리층(202)을 형성한다(도 2의 (가)). 도면에는 나타내지 않았지만, 캐리어의 표면에 수산화나트륨(NaOH), 수산화칼륨(KOH) 등을 이용한 소프트 에칭을 실시하여 다공성 버퍼층을 형성한 후 구리층을 형성할 수 있다. 이 경우에는 상기 다공성 버퍼층에 의하여 전사 후에 캐리어를 제거하는 것이 용이해진다.First, the
이어서, 상기 제1구리층(202) 위에 제1흑화층(203)을 형성한다(도 2의 (나)). 제1흑화층을 형성하는 방법은 전해도금에 의한 흑니켈 도금이나 흑색크롬 도금 및 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금이나 블랙옥사이드 등을 적용할 수 있다. 전해도금에 의한 흑니켈 처리는 금속니켈염, 나트륨황화합물, 무기산, 계면활성제 등으로 이루어진 용액을 이용하여 상온에서 약 0.5ASD 내외의 전류밀도, pH 6 정도의 작업 조건으로 약 3분 정도 처리하는 것으로 수행될 수 있다. 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금은 차아인산나트륨, 붕산, 디메틸아미노보란 등의 환원제 중 1종을 환원제로 하고, 황산니켈을 메탈공급원, 에틸렌디아민테트라아세틱산을 착화제, 황화합물 및 무기계 첨가제를 조성으로 하는 무전해 흑니켈 도금액을 사용하여 pH 4.5, 80℃ 온도에서 약 5분간 도금함으로써, 니켈-인-아연, 니켈-붕소-아연, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-인-크롬 또는 니켈-붕소-크롬 등의 공석을 통하여 요구하는 흑화층을 구현할 수 있다. 또한 옥사이드 처리는 아염소산나트륨을 산화제로 하여 pH 12 이상의 강알카리 환경에서 75℃, 약 1분 정도의 구리층(102) 산화를 통해서 요구하는 옥사이드층을 구현 할 수 있다. Next, a
이어서, 제1흑화층(203) 위에 제2구리층(204)을 형성한다(도 2의 (다)). 제2구리층은 전기도금 또는 무전해도금으로 형성시킬 수 있다.Next, a
이어서, 제2구리층(204) 위에 제2흑화층(205)을 형성한다(도 2의 (라)). 제2흑화층의 형성은 제1흑화층의 형성과 동일한 방법으로 수행될 수 있다.Next, a
이어서, 캐리어(201), 제1구리층(202), 제1흑화층(203), 제2구리층(204) 및 제2흑화층(205)이 차례로 형성된 캐리어 기판의 제2흑화층(205)을 투명 기판(206)에 결합시키고, 캐리어를 제거한다(도 2의 (마)). 투명 기판은 유리 또는 가요성 고분자 수지로 이루어질 수 있고, 제2흑화층과 투명 기판의 결합에는 접착제가 이용될 수 있다. 캐리어는 물리적 또는 화학적 방법에 의하여 제거될 수 있다.The
이어서, 제1구리층(202)을 제거한다(도 2의 (바)). 제1구리층의 제거는 구리를 선택적으로 에칭하는 식각액을 이용한 소프트 에칭에 의하여 수행될 수 있다.Then, the
이어서, 제2흑화층(205), 제2구리층(204), 제1흑화층(203)을 패터닝하여 메탈 메쉬 패턴을 형성한다(도 2의 (사)). 상기 패터닝 방법은 광감성 수지를 코팅하고 마스크로 부분 노광 및 현상하여 마스킹 패턴을 형성한 후 에칭하는 공정으로 수행될 수 있다. 에칭액으로는 염화동을 주성분으로 하는 타입과, 질산이나 황산과 과산화수소수를 주성분으로 하는 타입이 적용될 수 있다. Next, the
이어서, 패터팅된 메탈 메쉬 패턴의 상부와 측부에 제3흑화층(207)을 형성한다(도 2의 (아)). 제3흑화층을 형성하는 방법에는 전해도금에 의한 흑니켈 도금이나 흑색크롬 도금 및 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금을 적용할 수 있다. 전해도금에 의한 흑니켈 처리는 금속니켈염, 나트륨황화합물, 무기산, 계면활성제 등으로 이루어진 용액을 이용하여 상온에서 약 0.5ASD 내외의 전류밀도, pH 6 정도의 작업 조건으로 약 3분 정도 처리하는 것으로 수행될 수 있다. 또한 무전해 약품 반응에 의한 흑니켈 도금은 차아인산나트륨, 붕산, 디메틸아미노보란 등의 환원제 중 1종을 환원제로 하고, 황산니켈을 메탈공급원, 에틸렌디아민테트라아세틱산을 착화제, 황화합물 및 무기계 첨가제를 조성으로 하는 무전해 흑니켈 도금액을 사용하여 pH 4.5, 80℃ 온도에서 약 5분간 도금함으로써, 니켈-인-아연, 니켈-붕소-아연, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-붕소-티타늄, 니켈-인-크롬 또는 니켈-붕소-크롬등의 공석을 통하여 요구하는 흑화층을 구현할 수 있다.Next, a
아래에서 실시예를 이용하여 본 발명의 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법에 대하여 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, a method for manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor of the present invention will be described in detail with reference to the embodiments.
실시예 1Example 1
1) 알루미늄 캐리어 필름 소프트 에칭1) Aluminum carrier film soft etching
알루미늄 캐리어 필름(롯데알루미늄 AL1235)에 수산화칼륨을 주기제로 이루어진 탈지제(Al-Clean194, 와이엠티)를 사용하여 상온에서 1분간 탈지를 실시하여, 알루미늄 표면의 오염을 제거하였다.
The aluminum carrier film (Lotte Aluminum AL1235) was degreased at room temperature for 1 minute using a degreasing agent (Al-Clean 198, WiMet) consisting of potassium hydroxide as a curing agent to remove contaminants on the aluminum surface.
2) 구리층 형성2) Copper layer formation
상기 1)의 공정을 통하여 청결화된 알루미늄 캐리어 필름 자재를 시안화구리를 주기제로 이루어진 치환 구리 도금액(ICU-102, 와이엠티)을 사용하여 pH 13, 50℃ 온도에서 약 10분간 도금을 실시하여 도금 두께 2 내지 4㎛의 구리층을 형성하였다.
The cleaned aluminum carrier film material was plated at a pH of 13 and a temperature of 50 ° C. for about 10 minutes by using a copper plating solution (ICU-102, Wiemote) composed of copper cyanide as a periodic agent through the above step 1) A copper layer having a thickness of 2 to 4 탆 was formed.
3) 제1흑화층 형성3) Formation of the first blackening layer
상기 2)의 공정을 통하여 구리층을 도전층으로 형성된 자재를 황산니켈(Umicore)을 메탈 공급원으로 하며, 광택 첨가제(BLS-17A, 와이엠티) 및 흑화 첨가제(BLS-17B)로 건욕된 전해 흑니켈 도금 용액을 사용하여 pH 6, 상온에서 0.5ASD의 전류를 인가하여 3분간 처리하여 0.2 내지 0.6㎛의 제1흑화층을 형성하였다.
The material formed of the copper layer as the conductive layer was treated with nickel sulfate (Umicore) as a metal source through the process of 2), and electrolytic black (BLS-17A, A current of 0.5 ASD was applied at a pH of 6 and a nickel plating solution at room temperature for 3 minutes to form a first blackening layer having a thickness of 0.2 to 0.6 탆.
4) 터치스크린용 투명 PET 필름으로의 전사4) Transfer to transparent PET film for touch screen
터치 스크린용 투명 PET 필름(TOYOBO)에 폴리에스테르 접착제(YPE-105,와이엠티)를 약 5내지 10㎛ 코팅 후 60내지 70℃에서 5분간 1차 경화를 실시하였다. 이어서, 상기 3)의 공정에서 형성된 제1흑화층을 폴리에스테르 접착제가 도포된 PET면으로 향하게 합지를 한 후 100℃ 온도에서 3kgf의 압력으로 열 라미네이팅을 실시하였다. 이어서, 알루미늄 캐리어 필름을 제거함으로써 전사 공정을 완료하였다.
A polyester adhesive (YPE-105, WiMet) was coated on a transparent PET film (TOYOBO) for a touch screen in an amount of about 5 to 10 μm and then primary cured at 60 to 70 ° C for 5 minutes. Next, the first blackening layer formed in the step 3) was oriented toward the PET surface coated with the polyester adhesive, and then subjected to thermal lamination at a temperature of 100 캜 and a pressure of 3 kgf. Subsequently, the transferring process was completed by removing the aluminum carrier film.
5) 제2흑화층 형성5) Second Blackening Layer Formation
상기 4)의 공정에서 알루미늄 캐리어필름이 제거되고 노출된 구리층위에 상기 3)의 공정에서 실시한 제1흑화층 형성과 동일한 공정을 반복하여 제2흑화층을 형성하였다.
The aluminum carrier film was removed in the step 4), and the same steps as the formation of the first blackening layer in the step 3) were repeatedly performed on the exposed copper layer to form the second blackening layer.
6) 포토리소그래피를 이용한 패턴 형성6) Pattern formation using photolithography
드라이필름을 마스킹 자재로 하여 통상적인 포토리소그래피 공정(감광성 드라이필름 수지 라미네이션, UV노광, 현상, 에칭, 박리순)을 통하여 메쉬 형태의 터치스크린용 메탈 메쉬 패턴을 형성하였다. 이때, 포토리소그래피 공정을 이용한 패턴 형성 과정에서 에칭 공정은 염화동을 주기제로 이루어진 에칭제(YTE-25, 와이엠티)를 사용하여 상온에서 스프레이 방식으로 진행하였다.
Using a dry film as a masking material, a metal mesh pattern for a touch screen in the form of a mesh was formed through a conventional photolithography process (photosensitive dry film resin lamination, UV exposure, development, etching, peeling). At this time, in the pattern formation process using the photolithography process, the etching process was carried out by spraying at room temperature using an etching agent (YTE-25, Wyeth) having a nucleating agent as a cyclic agent.
7) 제3흑화층 형성7) Formation of the third blackening layer
상기 6)의 공정을 통하여 형성된 메쉬 형태의 패턴 중, 구리층은 쉽게 산화되는 문제가 있으므로 노출된 구리층 측면부에 대하여 제3흑화층을 형성시켜 산화를 방지하였다.Of the mesh patterns formed through the process of 6), since the copper layer is easily oxidized, a third blackening layer is formed on the exposed side of the copper layer to prevent oxidation.
제3흑화층은 차아인산나트륨을 환원제로 하고, 황산니켈을 메탈 공급원으로 하는 무전해 흑니켈 도금액(TF-724M,A,B,C 이상 와이엠티)을 사용하여, pH 4.5, 80℃ 온도에서 5분간 처리하여 도금 두께 약 0.1 내지 0.3㎛의 제3흑화층을 형성하였다.The third blackening layer was formed by using an electroless black nickel plating solution (TF-724M, A, B, C or higher wafers) having sodium hypophosphite as a reducing agent and nickel sulfate as a metal source at pH 4.5 and 80 ° C For 5 minutes to form a third blackening layer having a plating thickness of about 0.1 to 0.3 mu m.
실시예 2Example 2
1) 알루미늄 캐리어 필름 소프트 에칭1) Aluminum carrier film soft etching
알루미늄 캐리어 필름(롯데알루미늄 AL1235)에 수산화칼륨을 주기제로 이루어진 탈지제(Al-Clean194, 와이엠티)를 사용하여 상온에서 1분간 탈지를 실시하여, 알루미늄 표면의 오염을 제거하였다.
The aluminum carrier film (Lotte Aluminum AL1235) was degreased at room temperature for 1 minute using a degreasing agent (Al-Clean 198, WiMet) consisting of potassium hydroxide as a curing agent to remove contaminants on the aluminum surface.
2) 제1구리층 형성2) Primary copper layer formation
상기 1)의 공정을 통하여 청결화된 알루미늄 캐리어 필름 자재를 시안화구리를 주기제로 이루어진 치환 구리 도금액(ICU-102, 와이엠티)을 사용하여 pH 13, 상온에서 약 5분간 도금을 실시하여 도금 두께 0.5내지 1㎛의 제1구리층을 형성하였다.
The cleaned aluminum carrier film material was plated at a pH of 13 and a room temperature for about 5 minutes using a substituted copper plating solution (ICU-102, Wiemote) composed of copper cyanide as a periodic agent to obtain a plating thickness of 0.5 To 1 mu m of the first copper layer.
3) 제1흑화층 형성3) Formation of the first blackening layer
상기 2)의 공정을 통하여 제1구리층을 도전층으로 형성된 자재를 황산니켈(Umicore)을 메탈 공급원으로 하며, 광택 첨가제(BLS-17A, 와이엠티) 및 흑화 첨가제(BLS-17B)로 건욕된 전해 흑니켈 도금 용액을 사용하여 pH 6, 상온에서 0.5ASD의 전류를 인가하여 3분간 처리하여 0.2 내지 0.6㎛의 제1흑화층(203)을 형성하였다.The material formed of the first copper layer as the conductive layer through the above step 2) was prepared by using nickel sulphate (Umicore) as a metal source and drying with a lustrous additive (BLS-17A, WiMet) and a blackening additive (BLS-17B) A
4) 제2구리층 형성4) Second copper layer formation
상기 3)의 공정을 통하여 제1흑화층이 형성된 자재를 유산동(서안켐텍)을 메탈 공급원으로 하며, 광택 첨가제(BJ Brightener, 와이엠티)로 건욕된 전해 동도금 용액을 사용하여, 상온에서 2ASD의 전류를 인가하여 5분간 처리하여 도금 두께 2㎛의 제2구리층을 형성하였다.
Using the electrolytic copper plating solution that was dried with a gloss additive (BJ Brightener, WiMet) as a metal supply source, the material in which the first blackening layer was formed was used as a metal supply source by Yuansandong (XiAn Chemtech) Was applied for 5 minutes to form a second copper layer having a plating thickness of 2 탆.
5) 제2흑화층 형성5) Second Blackening Layer Formation
상기 4)의 공정을 통하여 제2흑화층이 형성된 자재를 아염소산나트륨을 산화제로 하는 옥사이드 약품(GMB-A,B 이상 와이엠티) 건욕액을 사용하여 pH13, 75℃ 온도에서 1분간 옥사이드 처리를 통하여 제2구리층 위에 제2흑화층을 형성하였다.
Through the process of 4), the material on which the second blackening layer was formed was subjected to oxide treatment for 1 minute at a temperature of 13 and 75 캜 using an oxidizing agent (GMB-A, B or above) using sodium hypochlorite as an oxidizing agent Thereby forming a second blackening layer on the second copper layer.
6) 터치스크린용 투명 PET 필름으로의 전사6) Transfer to transparent PET film for touch screen
터치 스크린용 투명 PET 필름(TOYOBO)에 폴리에스테르 접착제(YPE-105,와이엠티)를 약 5 내지 10㎛ 코팅 후 60 내지 70℃에서 5분간 1차 경화를 실시하였다. 이어서, 상기 5)의 공정에서 형성된 제2흑화층을 폴리에스테르 접착제가 도포된 PET면으로 향하게 합지를 한 후 100℃ 온도에서 3kgf의 압력으로 열 라미네이팅을 실시하였다. 이어서, 알루미늄 캐리어 필름을 제거함으로써 전사 공정을 완료하였다.
A polyester adhesive (YPE-105, WiMet) was coated on a transparent PET film (TOYOBO) for a touch screen in an amount of about 5 to 10 μm and then primary cured at 60 to 70 ° C for 5 minutes. Next, the second blackening layer formed in the step 5) was oriented toward the PET surface coated with the polyester adhesive, and then subjected to thermal lamination at a temperature of 100 캜 and a pressure of 3 kgf. Subsequently, the transferring process was completed by removing the aluminum carrier film.
7) 제1구리층 제거7) Removal of primary copper layer
상기 6)의 공정에서 알루미늄 캐리어필름이 제거되고 노출된 구리층을 황산/과산화수소를 주기제로 하며 에칭 첨가제(SE-968, 와이엠티)를 추가하여 건욕한 소프트 에칭제를 사용하여 상온에서 약 20초 처리하여 제거하였다.
In step 6), the aluminum carrier film was removed, and the exposed copper layer was treated with sulfuric acid / hydrogen peroxide as a cycle agent and an etching additive (SE-968, WiMatter) Lt; / RTI >
8) 포토리소그래피를 이용한 패턴 형성8) Pattern formation using photolithography
드라이필름을 마스킹 자재로 하여 통상적인 포토리소그래피 공정(감광성 드라이필름 수지 라미네이션, UV노광, 현상, 에칭, 박리순)을 통하여 메쉬 형태의 터치스크린용 메탈 메쉬 패턴을 형성하였다. 이때, 포토리소그래피 공정을 이용한 패턴 형성 과정에서 에칭 공정은 염화동을 주기제로 이루어진 에칭제(YTE-25, 와이엠티)를 사용하여 상온에서 스프레이 방식으로 진행하였다.
Using a dry film as a masking material, a metal mesh pattern for a touch screen in the form of a mesh was formed through a conventional photolithography process (photosensitive dry film resin lamination, UV exposure, development, etching, peeling). At this time, in the pattern formation process using the photolithography process, the etching process was carried out by spraying at room temperature using an etching agent (YTE-25, Wyeth) having a nucleating agent as a cyclic agent.
9) 제3흑화층 형성9) Third blackening layer formation
상기 8)의 공정을 통하여 형성된 메쉬 형태의 패턴 중, 제2구리층은 쉽게 산화되는 문제가 있으므로 노출된 제2구리층 측면부에 대하여 제3흑화층을 형성시켜 산화를 방지하였다.Of the mesh patterns formed through the process of 8), since the second copper layer is easily oxidized, a third blackening layer is formed on the exposed side of the second copper layer to prevent oxidation.
제3흑화층은 차아인산나트륨을 환원제로 하고, 황산니켈을 메탈 공급원으로 하는 무전해 흑니켈 도금액(TF-724M,A,B,C 이상 와이엠티)을 사용하여, pH 4.5, 80℃ 온도에서 5분간 처리하여 도금 두께 약 0.1내지 0.3㎛의 제3흑화층을 형성하였다.
The third blackening layer was formed by using an electroless black nickel plating solution (TF-724M, A, B, C or higher wafers) having sodium hypophosphite as a reducing agent and nickel sulfate as a metal source at pH 4.5 and 80 ° C For 5 minutes to form a third blackening layer having a plating thickness of about 0.1 to 0.3 mu m.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 일 구현예를 이용하여 설명한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에서 설명된 구현 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이런 구현 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. Therefore, the embodiments described in the present invention are not intended to limit the scope of the present invention but to limit the scope of the present invention. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.
101: 캐리어 102: 구리층
103: 제1흑화층 104: 투명 기판
105: 제2흑화층 106: 제3흑화층
201: 캐리어 202: 제1구리층
203: 제1흑화층 204: 제2구리층
205: 제2흑화층 206: 투명 기판
207: 제3흑화층101: Carrier 102: Copper layer
103: first blackening layer 104: transparent substrate
105: second blackening layer 106: third blackening layer
201: Carrier 202: First copper layer
203: first blackening layer 204: second copper layer
205: second blackening layer 206: transparent substrate
207: third blackening layer
Claims (6)
알루미늄 캐리어 표면을 에칭액을 이용하여 소프트 에칭하여 다공성 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 다공성 버퍼층 위에 치환도금법으로 구리층을 형성하는 단계;
상기 구리층 위에 전해 흑니켈 도금용액을 이용하여 제1흑화층을 형성하는 단계;
상기 알루미늄 캐리어, 다공성 버퍼층, 구리층 및 제1흑화층이 차례로 형성된 기판의 제1흑화층을 접착제를 이용하여 열 라미네이팅으로 고분자 투명기판 위에 결합시키는 단계;
상기 다공성 버퍼층이 형성된 알루미늄 캐리어를 구리층에서 분리하여 제거하는 단계;
상기 알루미늄 캐리어가 제거된 고분자 투명기판의 구리층 위에 전해 흑니켈 도금용액을 이용하여 제2흑화층을 형성하는 단계;
상기 제1흑화층, 구리층 및 제2흑화층을 패터닝하는 단계; 및
상기 패터닝된 제1흑화층, 구리층 및 제2흑화층의 상부와 측부에 무전해 흑니켈 도금을 수행하여 제3흑화층을 형성하는 단계;를 포함하는 메탈 메쉬의 제조방법.A method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor,
Soft-etching the aluminum carrier surface using an etchant to form a porous buffer layer;
Forming a copper layer on the porous buffer layer by displacement plating;
Forming a first blackening layer on the copper layer using an electrolytic black nickel plating solution;
Bonding the first blackening layer of the substrate on which the aluminum carrier, the porous buffer layer, the copper layer, and the first blackening layer are sequentially formed on the polymer transparent substrate by thermal laminating using an adhesive;
Separating and removing the aluminum carrier having the porous buffer layer formed thereon from the copper layer;
Forming a second blackening layer on the copper layer of the polymer transparent substrate from which the aluminum carrier is removed by using an electrolytic black nickel plating solution;
Patterning the first blackening layer, the copper layer and the second blackening layer; And
And performing electroless black nickel plating on top and sides of the patterned first blackening layer, the copper layer, and the second blackening layer to form a third blackening layer.
알루미늄 캐리어 표면을 에칭액을 이용하여 소프트 에칭하여 다공성 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 다공성 버퍼층 위에 치환도금법으로 제1구리층을 형성하는 단계;
상기 제1구리층 위에 전해 흑니켈 도금용액을 이용하여 제1흑화층을 형성하는 단계;
상기 제1흑화층 위에 제2구리층을 형성하는 단계;
상기 제2구리층 위에 치환도금법으로 제2흑화층을 형성하는 단계;
상기 다공성 버퍼층, 제1구리층, 제1흑화층, 제2구리층 및 제2흑화층이 차례로 형성된 기판의 제2흑화층을 접착제를 이용하여 열 라미네이팅으로 고분자 투명기판 위에 결합시키는 단계;
상기 다공성 버퍼층이 형성된 알루미늄 캐리어를 제1구리층에서 분리하여 제거하는 단계;
상기 제1구리층을 상기 제1흑화층에서 분리하여 제거하는 단계;
상기 제1흑화층, 제2구리층 및 제2흑화층을 패터닝하는 단계;
상기 패터닝된 제1흑화층, 제2구리층 및 제2흑화층의 상부와 측부에 무전해 흑니켈 도금을 수행하여 제3흑화층을 형성하는 단계;를 포함하는 메탈 메쉬의 제조방법.A method of manufacturing a metal mesh for a touch screen sensor,
Soft-etching the aluminum carrier surface using an etchant to form a porous buffer layer;
Forming a first copper layer on the porous buffer layer by displacement plating;
Forming a first blackening layer on the first copper layer using an electrolytic black nickel plating solution;
Forming a second copper layer over the first blackening layer;
Forming a second blackening layer on the second copper layer by displacement plating;
Bonding the second blackening layer of the substrate formed with the porous buffer layer, the first copper layer, the first blackening layer, the second copper layer and the second blackening layer in order on the polymer transparent substrate by thermal laminating using an adhesive;
Separating and removing the aluminum carrier having the porous buffer layer formed thereon from the first copper layer;
Separating and removing the first copper layer from the first blackening layer;
Patterning the first blackening layer, the second copper layer and the second blackening layer;
And performing electroless black nickel plating on top and sides of the patterned first blackening layer, the second copper layer, and the second blackening layer to form a third blackening layer.
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