KR101396990B1

KR101396990B1 - 유리 기판의 스크라이브 방법 및 가공 장치

Info

Publication number: KR101396990B1
Application number: KR1020120094034A
Authority: KR
Inventors: 유 항 수; 타케시 이케다; 코지 야마모토
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-08-30
Filing date: 2012-08-28
Publication date: 2014-05-20
Anticipated expiration: 2032-08-28
Also published as: TW201313639A; KR20130045166A; CN102964059B; JP2013049588A; CN102964059A; TWI491573B; JP5437333B2

Abstract

[과제] 강화 유리에 대하여, 용이하게 또한 안정되게 소망하는 스크라이브 홈을 형성하여, 자연 분단을 방지한다.
[해결 수단] 이 스크라이브 방법은, 압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리를, 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 방법이고, 제1 ~ 제3 공정을 포함한다. 제1 공정은, 기판 보지(保持)용의 복수의 흡착 구멍을 가지는 테이블에 유리를 재치(載置)하는 것과 함께, 유리의 스크라이브 예정 라인의 종단부(終端部) 측의 유리 단부(端部)를 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착한다. 제2 공정은, 유리의 표면에 초기 균열을 형성한다. 제3 공정은, 유리의 표면에 레이저 광을 조사하여 가열하는 것과 함께, 가열된 영역을 냉각하고, 스크라이브 예정 라인을 따라 균열을 진전시켜 스크라이브 홈을 형성한다.

Description

유리 기판의 스크라이브 방법 및 가공 장치{SCRIBE METHOD FOR GLASS SUBSTRATE AND SCRIBE PROCESSING APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATE}

본 발명은, 유리 기판의 스크라이브 방법, 특히, 압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리를 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 유리 기판의 스크라이브 방법에 관한 것이다. 또한, 유리를 스크라이브하는 가공 장치에 관한 것이다.

유리 기판을 분단(分斷)하기 위하여 스크라이브 홈을 형성하는 방법으로서, 레이저 광을 이용하여 스크라이브 홈을 형성하는 방법이 있다. 이 경우는, 스크라이브 예정 라인을 따라 레이저 광이 조사되어, 기판의 일부가 용해, 증발시켜져 스크라이브 홈이 형성된다. 다만, 이 방법에서는, 용해, 증발된 기판의 일부가 기판 표면에 부착하여, 품질의 열화를 수반하는 경우가 있다. 또한, 용해, 증발된 부분에서 형성된 자흔(疵痕)은 기판 단면(端面) 강도가 저하하는 원인이 된다.

그래서, 스크라이브 홈을 형성하는 다른 방법으로서, 특허 문헌 1 또는 2에 나타내진 바와 같은 방법이 있다. 여기에서는, 유리 기판의 스크라이브 홈의 기점(起點)으로 되는 장소에 초기 균열이 형성되고, 이 초기 균열에 레이저 광이 조사된다. 이것에 의하여, 레이저 조사 부분에 열응력(熱應力)이 생기고, 균열이 진전하여 스크라이브 홈이 형성된다.

또한, 레이저 광을 조사하여 스크라이브 홈을 형성하는 방법에서는, 유리 기판의 주연부(周緣部)에 있어서 스크라이브 홈의 균열이 깊어지는 경향에 있다. 이 상태에서, 유리 기판을 스크라이브 홈을 따라 분단하면, 분단면의 품질이 저하한다고 하는 문제나, 스크라이브 홈이 똑바로 형성되지 않는다고 하는 문제가 발생한다.

그래서, 특허 문헌 3에는, 스크라이브 예정 라인의 종단부(終端部)에, 스크라이브 홈을 형성하지 않는 영역을 형성하도록 한 레이저 스크라이브 방법이 나타내져 있다. 이 방법에 의하면, 유리 기판의 종단부에 있어서의 분단 후의 단면(斷面)의 품질을, 복잡한 제어를 하는 것 없이 향상시킬 수 있다고 기재되어 있다.

일본국 공개특허공보 특개평3-489호 일본국 공개특허공보 특개평9-1370호 일본국 재공표특허 국제공개공보 WO2007/094348호

그런데, 최근의 FPD(플랫 패널 디스플레이(flat panel display)) 업계에서는, 기판 단면의 강도가 중요시되기 때문에, 유리 기판으로서, 표면에 강화층이 형성된 화학 강화 유리가 주로 이용되고 있다. 이 화학 강화 유리는, 이온 교환 처리에 의하여 표면에 압축 응력을 가지게 한 층(강화층)을 가지고, 내부에는 인장 응력이 존재하고 있다. 이와 같은 화학 강화 유리는, 최근에는, 특히 단면 강도가 요구되는 터치 패널 등의 커버 유리에 이용되고 있다.

본건 발명자는, 이와 같은 강화 유리 중에서, 최근 개발된, 특히 표면이 고강도인 강화 유리에 레이저 스크라이브 방법에 의하여 스크라이브 홈을 형성한 경우, 주로 스크라이브 홈의 종단부로부터 스크라이브 홈을 따라 깊은 균열이 진전하여, 자연 분단되는 것을 실험에 의하여 찾아내었다. 여기서, 자연 분단이란, 스크라이브 홈을 형성한 후에, 분단 공정을 실시하는 것 없이 스크라이브 홈을 따라 유리 기판이 분단되는 현상이다.

자연 분단은, 유리 기판의 주연부에 있어서 스크라이브 홈의 균열이 깊어지는 것에 기인하고 있다고 생각할 수 있고, 이 깊은 균열이 스크라이브 홈을 따라 진전하여 생긴다고 생각할 수 있다. 그리고, 유리 기판의 주연부에 있어서 스크라이브 홈의 균열이 깊어지는 것은, 이하의 이유를 생각할 수 있다.

·스크라이브 홈이 형성된 유리 기판의 종단부에서는, 단면이 구속되지 않기 때문에, 스크라이브 홈의 양측이 벌어지기 쉬워진다.

·스크라이브 홈이 형성된 유리 기판의 종단부에서는, 그곳으로부터 앞으로 열이 빠져나갈 장소가 없어, 종단부에 열이 가득 찬다.

이상과 같은 원인에 의하여 자연 분단이 생기면, 후(後) 공정의 처리가 곤란하게 된다.

그래서, 스크라이브 홈이 유리 기판의 주연부에 형성되지 않도록, 스크라이브 예정 라인의 종단부에 알루미늄 테이프를 붙여 레이저 광을 차폐(遮蔽)하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이 방법에서는, 생산성의 관점으로부터 실용적이지 않다.

또한, 레이저 광의 조사를 제어하는 것에 의하여, 유리 기판의 주연부에 가열 처리 및 냉각 처리가 실시되지 않도록 하는 것으로, 스크라이브 홈이 스크라이브 예정 라인의 종단까지 이르지 않도록 하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이 방법에서는, 소망하는 위치에서 스크라이브 홈을 멈추는 것이 곤란하며, 안정성이 없다.

본 발명의 과제는, 강화층을 표면에 가지는 유리에 대하여, 용이하게 또한 안정되게 소망하는 스크라이브 홈을 형성하여, 자연 분단을 방지하는 것에 있다.

제1 발명에 관련되는 유리 기판의 스크라이브 방법은, 압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리를 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 방법이고, 이하의 공정을 가지고 있다.

제1 공정 : 기판 보지(保持)용의 복수의 흡착 구멍을 가지는 테이블에 유리를 재치(載置, 물건의 위에 다른 물건을 두는 것)하는 것과 함께, 유리의 스크라이브 예정 라인의 종단 측의 유리 단부를 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착한다.

제2 공정 : 유리의 표면에 초기 균열을 형성한다.

제3 공정 : 유리의 표면에 레이저 광을 조사하여 가열하는 것과 함께, 가열된 영역을 냉각하고, 스크라이브 예정 라인을 따라 균열을 진전시켜 스크라이브 홈을 형성한다.

여기에서는, 우선, 가공해야 할 유리가 테이블에 재치된다. 테이블에는, 복수의 흡착용 구멍이 설치되어 있고, 이 흡착용 구멍을 통하여 유리가 흡인되어 테이블의 소정 위치에 보지된다. 이 때, 스크라이브 예정 라인의 종단 측의 유리 단부가, 다른 영역에 비교하여 보다 강한 힘으로 흡인되어 보지된다. 그리고, 초기 균열이 형성된 후, 유리 표면에 레이저 광이 조사되어 가열되고, 나아가 가열된 영역이 냉각된다. 이 가열 및 냉각 처리에 의하여, 초기 균열은 스크라이브 예정 라인을 따라 진전하여, 스크라이브 홈이 형성된다.

이 방법에서는, 스크라이브 예정 라인의 종단 측의 유리 단부가, 보다 강한 흡착력으로 테이블 상에 보지된다. 따라서, 유리 단부는, 가열 및 냉각 처리를 실시한 경우에 변형하기 어려워진다. 이 때문에, 유리 단부에서는 균열이 벌어지기 어려워지고, 깊은 균열이 형성되는 것을 억제할 수 있어, 자연 분단을 피할 수 있다. 또한, 알루미늄 테이프를 붙이는 등의 번잡한 작업은 불필요하고, 게다가 안정되게 스크라이브 홈의 형성을 소망하는 위치에서 멈출 수 있다.

제2 발명에 관련되는 유리 기판의 스크라이브 방법은, 제1 발명의 스크라이브 방법에 있어서, 제1 공정에서는, 유리의 스크라이브 예정 라인의 종단(終端) 측의 유리 단부(端部)를 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착하는 것과 함께, 유리의 스크라이브 예정 라인의 개시단(開始端) 측의 유리 단부도 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착한다.

예를 들어 초기 균열의 홈 깊이가 깊은 경우에는, 스크라이브 홈의 형성 공정(제3 공정)에 있어서, 초기 균열로부터 가열 및 냉각의 주사 방향과는 역방향을 향하여, 즉 유리 단부를 향하여 깊은 균열이 진전하여, 자연 분단을 일으키는 일이 있다.

그래서, 이 제2 발명에서는, 스크라이브 예정 라인의 개시단 측의 유리 단부를 강한 흡착력으로 보지하도록 하고 있다. 이것에 의하여, 스크라이브 홈의 형성 시에 있어서의 유리 단부에서의 변형이 억제되어, 스크라이브 예정 라인의 개시단 측을 향하여 균열이 진전하는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 자연 분단을 피할 수 있다.

제3 발명에 관련되는 유리 기판의 스크라이브 방법은, 제1 발명의 방법에 있어서, 제3 공정에서는, 서로 직교하는 복수의 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브 홈을 형성하는 것이다. 그리고, 제1 공정에서는, 유리의 전(全) 외주(外周) 단부를 다른 영역에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착한다.

여기에서는, 크로스 스크라이브를 행하는 경우에, 상기와 마찬가지로, 유리 단부에 있어서 깊은 균열이 형성되는 것을 억제할 수 있어, 자연 분단을 피할 수 있다.

제4 발명에 관련되는 유리 기판의 가공 장치는, 압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리를, 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 장치이고, 테이블과 조사부와 냉각부와 이동 수단과 흡착압 제어부를 구비하고 있다. 테이블은, 복수의 흡착 구멍을 가지고, 표면에 재치된 유리를 흡착하여 보지한다. 조사부는 레이저 빔을 유리에 조사한다. 냉각부는 조사부에 의하여 가열된 영역을 냉각한다. 이동 수단은, 조사부 및 냉각부를, 유리에 설정된 스크라이브 예정 라인을 따라 상대 이동시킨다. 흡착압 제어부는, 테이블에 있어서의 흡착압을, 유리의 적어도 스크라이브 예정 라인의 종단 측의 단부가 중앙부에 비교하여 강해지도록 제어한다.

이상과 같이, 본 발명에서는, 압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리에 대하여, 용이하게 또한 안정되게 스크라이브 예정 라인의 종단부 바로 앞쪽에서 균열의 진전을 멈출 수 있다. 따라서, 유리에 스크라이브 홈을 형성한 시점에서 유리가 자연 분단하는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 스크라이브 방법을 실시하기 위한 장치의 개략 구성도.
도 2는 테이블에의 기판 흡착압과 스크라이브 처리와의 관계를 나타내는 도면.

［장치 구성］

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 의한 방법을 실시하기 위한 스크라이브 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 스크라이브 장치(1)는, 예를 들어, 머더 글래스(mother glass) 기판을, FPD(플랫 패널 디스플레이)에 사용되는 복수의 단위 기판으로 분단하기 위한 장치이다. 여기에서의 유리 기판은, 표면에 강화층이 형성된 화학 강화 유리가 주로 이용되고 있다. 전술과 같이, 이 화학 강화 유리는, 이온 교환 처리에 의하여 표면에 압축 응력을 가지게 한 강화층을 가지고 있다.

스크라이브 장치(1)는, 유리 기판(G)이 재치되는 테이블(2)과, 커터 휠(3, cutter wheel)과, 레이저 조사부(4)와, 냉각부(5)와, 구동 기구(6)와, 2개의 흡인 펌프(7a, 7b)와, 제어부(8)를 구비하고 있다.

테이블(2)에는, 상부가 테이블 표면으로 해방된 복수의 관통 구멍(10)이 형성되어 있다. 복수의 관통 구멍(10) 중 유리 기판(G)의 외주 단부에 대응하는 위치에 형성된 관통 구멍(10a)은, 실선으로 나타내는 제1 통로(11)을 통하여 제1 흡인 펌프(7a)에 접속되어 있다. 또한, 관통 구멍(10a) 이외의 복수의 관통 구멍(10b)은 일점쇄선으로 나타내는 제2 통로(12)를 통하여 제2 흡인 펌프(7b)에 접속되어 있다.

커터 휠(3)은, 유리 기판(G)의 단부에 스크라이브의 기점으로 되는 초기 균열을 형성하기 위한 툴이다. 이 커터 휠(3)은 주로, 홀더와, 홀더에 지지된 스크라이빙 휠을 가지고 있다.

레이저 조사부(4)는, 레이저 빔을 조사하는 레이저 발진기(예를 들어, CO₂ 레이저)를 가지고, 이 레이저 빔을, 광학계를 통하여 유리 기판(G) 상에 빔 스폿(beam spot)으로서 조사한다. 또한, 냉각부(5)는, 도시하지 않는 냉매원으로부터 공급되는 냉매(예를 들어, 물과 공기, 헬륨 가스 등)를, 노즐을 통하여 분사하여 냉각 스폿을 형성한다.

구동 기구(6)는, 커터 휠(3), 레이저 조사부(4) 및 냉각부(5)를, 레일(14)을 따라 이동시키는 기구이다. 이 구동 기구(6)에 의하여, 커터 휠(3), 레이저 조사부(4) 및 냉각부(5)가 유리 기판(G)에 설정된 스크라이브 예정 라인을 따라 이동시켜진다.

제어부(8)는, 커터 휠(3), 레이저 조사부(4), 냉각부(5), 구동 기구(6) 및 2개의 흡인 펌프(7a, 7b)를 제어한다. 구체적으로는, 제어부(8)에 의하여, 커터 휠(3)의 유리 기판(G)에의 압압력(押壓力, 내리 누르는 힘), 레이저 출력, 냉매의 분사량, 구동 속도(주사 속도), 흡인 펌프(7a, 7b)의 회전수(흡착압)가 제어된다.

［기판 흡착압과 스크라이브와의 관계］

레이저 출력과 주사 속도를 바꾸어, 각각의 조건으로 흡착압을 바꾼 경우의 스크라이브 결과를 이하에 나타낸다. 각 실험예의 정리를 도 2에 나타내고 있다.

＜실험예 1＞

유리 기판(G)의 테이블(2)에의 흡착압(kPa) : 5, 10, 20

레이저 출력 : 140W

주사 속도 : 190mm/s

이 실험예 1에서는, 낮은 흡착압 5kPa에서는 스크라이브가 가능(도 2에 있어서 「○」로 나타내고 있다)하였지만, 높은 흡착압 10 및 20kPa에서는 스크라이브할 수 없었다(도면 중 「×」로 나타내고 있다).

＜실험예 2＞

유리 기판(G)의 테이블(2)에의 흡착압(kPa) : 5, 10, 20

레이저 출력 : 160W

주사 속도 : 230mm/s

이 실험예 2에서는, 흡착압 5 및 10kPa에서는 스크라이브가 가능하였지만, 흡착압 20kPa에서는 스크라이브할 수 없었다.

＜실험예 3＞

유리 기판(G)의 테이블(2)에의 흡착압(kPa) : 5, 10, 20

레이저 출력 : 170W

주사 속도 : 250mm/s

이 실험예 3에서는, 흡착압 5 및 10kPa에서는 스크라이브가 가능하였지만, 흡착압 20kPa에서는 스크라이브할 수 없었다.

＜실험예 4＞

유리 기판(G)의 테이블(2)에의 흡착압(kPa) : 5, 10, 20

레이저 출력 : 180W

주사 속도 : 260mm/s

이 실험예 4에서는, 흡착압 5 및 10kPa에서는 스크라이브가 가능하였지만, 흡착압 20kPa에서는 스크라이브할 수 없었다.

이상의 실험예로부터 분명한 바와 같이, 흡착압을 높이면, 즉 흡인력을 강하게 하여, 스크라이브 홈의 형성 시에 유리 기판의 변형을 억제하면, 균열의 진전이 멈추는 것을 알 수 있다.

［스크라이브 방법］

이상의 지견에 기초하여, 본 실시예에서는, 이하와 같은 스크라이브 방법에 의하여 스크라이브 홈이 형성된다.

우선, 가공 대상으로 되는 유리 기판(G)을 테이블(2) 상에 재치한다. 그리고, 제1 흡인 펌프(7a) 및 제2 흡인 펌프(7b)를 구동하여, 유리 기판(G)을 테이블(2) 상에 흡착한다. 이 때, 제어부(8)에 의하여 각 흡인 펌프(7a, 7b)의 회전수를 제어하고, 제1 흡인 펌프(7a)에 의한 흡착압이 20kPa 이상이 되도록 제어하며, 제2 흡인 펌프(7b)에 의한 흡착압이 10kPa 이하가 되도록 제어한다.

다음으로, 커터 휠(3)을 이용하여 유리 기판(G)의 단부에 스크라이브의 기점으로 되는 초기 균열을 형성한다.

다음으로, 유리 기판(G)에 대하여, 레이저 조사부(4)로부터 레이저 빔이 조사된다. 이 레이저 빔은 빔 스폿으로서 유리 기판(G) 상에 조사된다. 그리고, 레이저 조사부(4)로부터 출사되는 레이저 빔이, 스크라이브 예정 라인을 따라 주사된다. 유리 기판(G)은 빔 스폿에 의하여 유리 기판(G)의 연화점보다도 낮은 온도로 가열된다. 또한, 냉각 스폿을 빔 스폿의 이동 방향 후방(後方)에 있어서 추종시킨다.

이상과 같이 하여, 레이저 빔의 조사에 의하여 가열된 빔 스폿의 근방에는 압축 응력이 생기지만, 그 직후에 냉매의 분사에 의하여 냉각 스폿이 형성되기 때문에, 수직 크랙의 형성에 유효한 인장 응력이 생긴다. 이 인장 응력에 의하여, 유리 기판(G)의 단부에 형성된 초기 균열을 기점으로 하여 스크라이브 예정 라인을 따른 수직 크랙이 형성되고, 소망하는 스크라이브 홈이 형성된다.

여기서, 스크라이브 홈의 형성 공정에 있어서, 스크라이브 예정 라인의 개시 단부 및 종단부, 즉 유리 기판(G)의 단부는 강한 흡착압(흡인력)으로 보지되고 있다. 따라서, 가열 및 냉각 처리에 의한 유리 기판(G)의 변형이 억제되어, 균열의 진전을 억제할 수 있다. 이 때문에, 유리 기판(G)의 단부에 있어서 깊은 균열이 형성되는 것을 억제할 수 있어, 기판이 자연스럽게 분단되는 것을 방지할 수 있다.

［특징］

이 실시예에서는, 유리 기판의 단부를 강한 힘으로 테이블 상에 보지하여, 가공 중의 변형을 억제하도록 하였기 때문에, 유리 기판 단부에 깊은 균열이 형성되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 기판의 자연 분단을 피할 수 있다.

또한, 유리 기판 단부에 있어서의 균열 진전을 정지시키기 위한 수단으로서, 테이블에의 기판의 흡착압을 제어에 의하여 실현하고 있기 때문에, 간단한 방법으로 기판의 자연 분단을 피할 수 있다.

［다른 실시예］

본 발명은 이상과 같은 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위를 일탈하는 것 없이 여러 변형 또는 수정이 가능하다.

(a) 상기 실시예에서는, 유리 기판에 있어서의 스크라이브 예정 라인의 개시 측의 단부 및 종단 측의 단부의 양방(兩方)을 강한 힘으로 테이블에 보지하도록 하였지만, 스크라이브 예정 라인의 종단 측의 단부만을 강한 힘으로 보지하도록 하여도 무방하다. 또한, 개시 측의 단부를 강한 힘으로 보지하면, 초기 균열의 진전이 억제되어, 스크라이브 홈이 형성되지 않는 경우가 있기 때문에, 개시 측의 단부는, 종단 측의 단부에 비교하여 약하게, 또한 중앙부에 비교하여 강하게 보지하도록 하여도 무방하다.

(b) 상기 실시예에서는, 테이블을 고정하고, 레이저 조사부 등을 이동시키도록 하였지만, 레이저 조사부 등을 고정하고, 테이블을 이동시키도록 하여도 무방하다.

(c) 상기 실시예에서는, 초기 균열을 형성하기 위한 커터 휠을 레이저 조사부 등과 함께 같은 장치에 설치하였지만, 커터 휠을 레이저 조사부 등과는 별도의 장치에 설치하여도 무방하다. 이 경우는, 우선 초기 균열을 형성한 후에, 유리 기판이 테이블 상에 흡착되게 된다. 즉, 초기 균열 형성 공정(제2 공정)과 유리 기판의 테이블에의 재치 공정(제1 공정)이, 상기 실시예와는 순서가 역으로 된다.

(d) 상기 실시예에서는, 초기 균열을 형성하기 위하여 커터 휠을 이용하였지만, 레이저 어블레이션(laser ablation)이나, 개질 등의 레이저 가공을 이용하여 초기 균열을 형성하는 것으로 하여도 무방하다. 이 경우는, 초기 균열 형성용으로 UV 레이저나 그린 레이저 등을 광원으로 하는 레이저 조사 기구를 설치한다.

1 : 스크라이브 장치
2 : 테이블
3 : 커터 휠
4 : 레이저 조사부
5 : 냉각부
6 : 구동 기구
7a, 7b : 흡인 펌프
8 : 제어부
10 : 관통 구멍
G : 유리 기판

Claims

압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리를 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 유리 기판의 스크라이브 방법이고,
기판 보지(保持)용의 복수의 흡착 구멍을 가지는 테이블에 유리를 재치(載置)하는 것과 함께, 유리의 스크라이브 예정 라인의 종단(終端) 측의 유리 단부(端部)를 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착하는 제1 공정과,
유리의 표면에 초기 균열을 형성하는 제2 공정과,
유리의 표면에 레이저 광을 조사하여 가열하는 것과 함께, 가열된 영역을 냉각하고, 스크라이브 예정 라인을 따라 균열을 진전시켜 스크라이브 홈을 형성하는 제3 공정
을 포함하는 유리 기판의 스크라이브 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 공정에서는, 유리의 스크라이브 예정 라인의 종단(終端) 측의 유리 단부(端部)를 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착하는 것과 함께, 유리의 스크라이브 예정 라인의 개시단(開始端) 측의 유리 단부도 중앙부에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착하는, 유리 기판의 스크라이브 방법.
제1항에 있어서,
상기 제3 공정에서는, 서로 직교하는 복수의 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브 홈을 형성하는 것이고,
상기 제1 공정에서는, 유리의 전(全) 외주(外周) 단부를 다른 영역에 비교하여 강한 흡착압으로 흡착하는,
유리 기판의 스크라이브 방법.
압축 응력을 가지게 한 강화층을 표면에 가지는 유리를, 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 유리 기판의 가공 장치이고,
복수의 흡착 구멍을 가지고, 표면에 재치된 유리를 흡착하여 보지하는 테이블과,
레이저 빔을 유리에 조사하는 조사부와,
상기 조사부에 의하여 가열된 영역을 냉각하는 냉각부와,
상기 조사부 및 냉각부를, 유리에 설정된 스크라이브 예정 라인을 따라 상대 이동시키는 이동 수단과,
상기 테이블에 있어서의 흡착압을, 유리의 적어도 스크라이브 예정 라인의 종단 측의 단부가 중앙부에 비교하여 강해지도록 제어하는 흡착압 제어부
를 구비한 유리 기판의 가공 장치.