KR101395570B1

KR101395570B1 - Substrate feeder

Info

Publication number: KR101395570B1
Application number: KR1020130000987A
Authority: KR
Inventors: 이광행
Original assignee: 에스브이에스 주식회사
Priority date: 2013-01-04
Filing date: 2013-01-04
Publication date: 2014-05-19
Anticipated expiration: 2033-01-04

Abstract

기판의 중심을 맞춰 후속공정에 공급하는 기판공급장치가 개시된다. 기판공급장치는, 고정 프레임; 상기 고정 프레임에 서로 마주보고 설치되는 2개의 이동 프레임; 2 개의 상기 이동 프레임을 서로 근접하는 위치와 멀어지는 위치 사이에 구동하는 이동프레임 구동부; 및 2개의 상기 이동 프레임에 각각 서로 마주보고 설치되어, 기판거치부에 거치된 기판의 양측단을 클램핑하는 클램퍼;를 포함하고, 상기 클램퍼는, 상기 기판의 양측단에 접하는 기판파지부; 및 상기 기판파지부를 상기 기판의 양측단에 접하는 파지위치와, 파지하지 않는 해제위치 사이에 구동하는 클램퍼 실린더;를 포함한다.A substrate supply apparatus for aligning the center of a substrate and supplying the substrate to a subsequent process is disclosed. The substrate supply device includes: a stationary frame; Two moving frames facing each other on the fixed frame; A moving frame driving part for driving the two moving frames between a position close to and a position away from each other; And a clamper installed opposite to the two moving frames to clamp both side ends of the substrate placed on the substrate mounting part, wherein the clamper comprises: a substrate gripping part contacting both ends of the substrate; And a clamper cylinder for driving the substrate gripping portion between a gripping position in contact with both side ends of the substrate and a release position in which the substrate gripping portion does not grip.

Description

[0001] Apparatus for supplying wafer [0002]

본 발명은 기판공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼나 액정 유리기판등과 같은 전자기기 제조시 사용되는 기판을 각각의 공정에 공급하기 위한 기판공급장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate supply apparatus, and more particularly, to a substrate supply apparatus for supplying a substrate, which is used in manufacturing an electronic apparatus such as a wafer or a liquid crystal glass substrate, to each process.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 반도체 기판에 다양한 물리적 화학적 처리를 하여 회로를 형성하며, LCD등과 같은 디스플레이 제품을 제조하기 위해서는 유리기판에 다양한 물리적 화학적 처리를 하여 회로를 형성한다. 이러한 반도체 기판 및 유리기판에 물리적 화학적 처리를 하기위해서는 다양한 공정이 적용되며, 특히, 표면에 얇은 박막의 화학약품을 코팅하기 위해 기판을 회전시켜 화학약품을 도포하는 스핀코팅(Spin coating) 공정은 매우 많이 이용되는 공정이다.In order to manufacture a semiconductor device, various physical and chemical treatments are performed on a semiconductor substrate to form a circuit. In order to manufacture a display product such as an LCD, a circuit is formed on a glass substrate by various physical and chemical treatments. In order to physically and chemically treat the semiconductor substrate and the glass substrate, various processes are applied. In particular, a spin coating process in which a substrate is rotated and a chemical is coated to coat a thin film chemical on the surface is very effective It is a widely used process.

스핀코팅을 하기 위해서는 기판의 중심을 스핀코터의 스핀들의 중심에 정확하게 맞추는 것이 매우 중요하다. 종래에는 스핀코터에 기판을 공급하기 전에 기판의 양측단을 고정된 크기의 스트로크를 하는 전용 실린더를 상용하여 밀어줌으로써, 기판의 폭방향 중심을 보정하였다. 그 다음 로봇이 기판을 스핀코터에 공급하였다.For spin coating, it is very important to align the center of the substrate precisely with the center of the spindle of the spin coater. Conventionally, before the substrate is supplied to the spin coater, both ends of the substrate are commonly pushed by a dedicated cylinder having a stroke of a fixed size, thereby correcting the widthwise center of the substrate. The robot then supplied the substrate to the spin coater.

그러나, 이러한 방식으로 기판을 공급하는 경우, 다양한 크기의 기판에 적절히 대응하지 못한다는 단점이 있다. 특히 최근들어 다양한 액정크기의 스마트폰이 사용되고 있어, 액정크기가 달라질 때마다, 기판공급장치의 구성을 변경하여야 하는 불편함이 있다.However, when the substrate is supplied in this manner, there is a disadvantage in that it can not properly cope with various sizes of substrates. Especially, in recent years, smart phones of various liquid crystal sizes have been used, so that there is an inconvenience to change the configuration of the substrate supply device every time the liquid crystal size is changed.

1. 한국특허공개공보 제10-2006-0034901호(2006. 4. 26. 공개)1. Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2006-0034901 (disclosed on April 26, 2006) 2. 한국특허공개공보 제10-2001-0030808호(2001. 4. 16. 공개)2. Korean Patent Publication No. 10-2001-0030808 (disclosed on April 16, 2001)

본 발명의 실시예는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 다양한 크기의 기판에 대응하여, 기판의 중심을 맞춰 공급하는 기판공급장치를 제공하고자 한다. SUMMARY OF THE INVENTION An embodiment of the present invention is devised to solve the problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a substrate supply apparatus for supplying a center of a substrate in correspondence with various sizes of substrates.

본 발명의 실시예는 상기와 같은 과제를 해결하고자, 고정 프레임; 상기 고정 프레임에 서로 마주보고 설치되는 2개의 이동 프레임; 2 개의 상기 이동 프레임을 서로 근접하는 위치와 멀어지는 위치 사이에 구동하는 이동프레임 구동부; 및 2개의 상기 이동 프레임에 각각 서로 마주보고 설치되어, 기판거치부에 거치된 기판의 양측단을 클램핑하는 클램퍼;를 포함하고, 상기 클램퍼는, 상기 기판의 양측단에 접하는 기판파지부; 및 상기 기판파지부를 상기 기판의 양측단에 접하는 파지위치와, 파지하지 않는 해제위치 사이에 구동하는 클램퍼 실린더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판공급장치를 제공한다.In order to solve the above-described problems, an embodiment of the present invention provides a fixed frame, Two moving frames facing each other on the fixed frame; A moving frame driving part for driving the two moving frames between a position close to and a position away from each other; And a clamper installed opposite to the two moving frames to clamp both side ends of the substrate placed on the substrate mounting part, wherein the clamper comprises: a substrate gripping part contacting both ends of the substrate; And a clamper cylinder for driving the substrate gripping portion between a gripping position in contact with both side ends of the substrate and a release position in which the substrate gripping portion does not hold the substrate holding portion.

상기 이동프레임 구동부는, 상기 이동 프레임을 이동 가능한 범위 내에서 임의의 위치에 위치시킬 수 있으며, 상기 클램퍼 실린더는, 상기 파지 위치와 상기 해제 위치 양 위치에서만 위치할 수 있도록 할 수 있다.The moving frame driving unit can position the moving frame at an arbitrary position within a movable range, and the clamper cylinder can be positioned at both the gripping position and the releasing position.

상기 이동프레임 구동부는, 상기 고정프레임에 고정된 구동모터; 및 일단이 상기 구동모터에 결합되고, 타단은 상기 이동프레임에 결합된 볼스크류;를 포함하는 것이 바람직하다.The moving frame driving unit includes: a driving motor fixed to the fixed frame; And a ball screw having one end coupled to the driving motor and the other end coupled to the moving frame.

상기 기판 거치부를 기준으로 상기 이동프레임의 이동방향을 가로지르는 방향으로 배치되어, 기판 공급부로부터 상기 기판을 양수받는 기판 양수부가 상기 이동프레임에 형성되고, 상기 기판 양수부로부터 양수받은 상기 기판을 상기 기판 거치부로 이송하는 직선이송장치;를 더 포함하는 것이 효과적이다.Wherein the substrate holding section is disposed in a direction transverse to the moving direction of the moving frame with respect to the substrate holding section, wherein the substrate holding section for receiving the substrate from the substrate holding section is formed on the moving frame, And a linear transfer device for transferring the wafer to a mounting part.

상기 직선이송장치는, 상기 이동프레임에 고정된 것이 바람직하다.The linear transfer device is preferably fixed to the movable frame.

상기 직선이송장치는, 상기 기판 거치부 및 상기 기판 양수부 사이에 길이방향으로 설치된 이송벨트; 및 상기 이송벨트를 구동하는 이송구동부;를 포함한다.Wherein the linear conveying device comprises: a conveying belt provided in the longitudinal direction between the substrate placing portion and the substrate conveying portion; And a feed drive unit for driving the feed belt.

상기 기판 거치부에는 상기 직선이송장치에 의해 이송되는 상기 기판의 이동을 제한하도록 형성된 스톱퍼;를 더 포함하는 것이 효과적이다.The substrate holder may further include a stopper configured to restrict movement of the substrate transferred by the linear transfer device.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 과제해결 수단에 의하면 다음과 같은 사항을 포함하는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 다만, 본 발명이 하기와 같은 효과를 모두 발휘해야 성립되는 것은 아니다.As described above, according to the present invention, various effects including the following can be expected. However, the present invention does not necessarily achieve the following effects.

먼저, 본 발명의 일실시예의 기판공급장치는, 다양한 크기의 기판의 중심을 쉽고 정확하게 맞출 수 있다는 장점이 있다. 따라서, 한가지 크기의 기판 공급에만 사용되는 것이 아니라, 다양한 크기의 기판에도 적용할 수 있다.First, the substrate supply apparatus of one embodiment of the present invention has the advantage that the centers of the substrates of various sizes can be easily and precisely aligned. Therefore, the present invention can be applied not only to the supply of substrates of one size but also to substrates of various sizes.

그리고, 1차적으로 모터를 이용하는 이동프레임 구동부로 폭을 맞춘 후, 2차적으로 반복적으로 정확하고 빠르게 작동할 수 있는 클램퍼 실린더를 구동하여 최종적으로 기판의 중심을 맞추므로, 공정이 보다 신속하게 진행될 수 있다.The center of the substrate is finally adjusted by driving the clamper cylinder, which can be operated accurately and quickly, secondarily, repeatedly and precisely, after aligning the width with the movable frame driving unit using the motor, so that the process can proceed more quickly have.

또한, 직선이송장치를 구비함으로써, 종래와 같이, 로봇이 한장씩 기판 거치부에 기판을 이송하는 것이 아니라, 기판 양수부에 연속적으로 공급할 수 있다. 그 결과, 스택에서 한장씩 공급할 수 있는 장비를 기판 양수부에 구비하는 경우, 보다 값싼 장비로 보다 쉽게 기판을 기판 거치부로 공급할 수 있다는 장점이 있다.Further, by providing the linear transfer device, the robot can continuously supply the substrate to the substrate pumping section, instead of transferring the substrate to the substrate mounting section one by one, as in the conventional art. As a result, when a device capable of supplying one sheet at a time is provided in the substrate pumping portion, the substrate can be more easily supplied to the substrate mounting portion with a cheaper device.

도 1은 본 발명의 일실시예의 기판공급장치의 사시도
도 2는 도 1의 기판공급장치의 작동관계를 개념적으로 도시한 간략도1 is a perspective view of a substrate supplying apparatus according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a schematic view conceptually showing the operating relationship of the substrate supply apparatus of Fig. 1

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예의 기판공급장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예의 기판공급장치는, 고정 프레임(100)과, 상기 고정 프레임(100)에 서로 마주보고 설치되는 2개의 이동 프레임(200)과, 2 개의 상기 이동 프레임(200)을 서로 근접하는 위치와 멀어지는 위치 사이에 구동하는 이동프레임 구동부(300)와, 2개의 상기 이동 프레임에 각각 서로 마주보고 설치되어, 기판거치부(101)에 거치된 기판의 양측단을 클램핑하는 클램퍼(400)을 포함한다.1, a substrate supplying apparatus according to an embodiment of the present invention includes a stationary frame 100, two moving frames 200 facing each other on the stationary frame 100, A moving frame driving part 300 for moving the moving frame 200 between a position close to and a position away from the moving frame 200; And a clamper 400 for clamping the stage.

고정 프레임(100)은 바닥판(110)과 바닥판의 폭방향(도1에서 화살표 'X'방향, 이하, '폭방향')의 양단에 상향 돌출되도록 설치된 고정 프레임 측판(120)을 포함한다.The fixed frame 100 includes a bottom plate 110 and a fixed frame side plate 120 installed to protrude upward at both ends of the bottom plate in the width direction (direction of arrow 'X' in FIG. 1, hereinafter referred to as 'width direction') .

이동 프레임(200)은 고정프레임 측판(120)과 나란하게 2개의 판재 형상으로 배치되며, 고정프레임(100)의 폭방향으로 이동가능하게 설치된다. 즉, 이동 프레임(200)은 서로 나란하게 배치된 제 1 이동 프레임(200a)과 제 2 이동 프레임(200b)으로 구성되며, 서로 마주보고 평행하게 이동할 수 있도록 복수의 가이드 봉(210)이 설치된다.The movable frame 200 is disposed in parallel with the fixed frame side plate 120 in a two-plate shape and is installed to be movable in the width direction of the fixed frame 100. That is, the moving frame 200 includes a first moving frame 200a and a second moving frame 200b arranged in parallel to each other, and a plurality of guide rods 210 are installed so as to be able to move parallel to each other .

상기 이동프레임 구동부(300)는, 상기 이동 프레임(200)을 이동 가능한 범위 내에서 임의의 위치에 위치시킬 수 있다. 즉, 상기 이동프레임 구동부(300)는, 상기 고정프레임(100)에 고정된 구동모터(310)와, 일단이 상기 구동모터(310)에 결합되고, 타단은 상기 이동프레임에 결합된 볼스크류(320)를 포함한다. 볼스크류 및 구동모터(310)는 구동모터의 동력을 볼스크류(320)에 전달하는 밸트(330) 및 풀리(340)에 의해 결합될 수 있다. 볼스크류(320)는 모터의 회전운동을 직선이동으로 변환하는 것으로서, 일반적으로 많이 알려져 있으므로, 자세한 설명은 생략한다.The moving frame driving unit 300 can position the moving frame 200 at an arbitrary position within a movable range. That is, the movable frame driving unit 300 includes a driving motor 310 fixed to the fixed frame 100, a ball screw (not shown) coupled to the driving motor 310 at one end, 320). The ball screw and drive motor 310 may be coupled by a pulley 340 and a belt 330 that transmits the power of the drive motor to the ball screw 320. The ball screw 320 transforms the rotational motion of the motor into a linear motion, and is generally well known, and thus a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 실시예에서는 2개의 구동모터(310) 및 볼스크류가 사용되어 각각 인접한 이동프레임(300)을 구동한다. 상기와 같이, 이동프레임 구동부는 모터의 회전 변위를 제어하여 이동프레임(300)을 이동 가능한 범위 내에서 임의의 위치에 위치시킬 수 있다.In the embodiment of the present invention, two drive motors 310 and ball screws are used to drive the adjacent moving frames 300, respectively. As described above, the movable frame driving unit controls the rotational displacement of the motor to position the movable frame 300 at an arbitrary position within a movable range.

상기 클램퍼(400)는, 상기 기판(1)의 양측단에 접하는 기판파지부(410) 및 상기 기판파지부(410)를 상기 기판의 양측단에 접하는 파지위치와, 파지하지 않는 해제위치 사이에 구동하는 클램퍼 실린더(420)를 포함한다. The clamper 400 includes a substrate holding part 410 contacting both side ends of the substrate 1 and a holding part 410 holding the substrate holding part 410 between a holding position where the substrate holding part 410 contacts both side ends of the substrate, And a clamper cylinder 420 which is driven.

기판파지부(410)는 기판의 양측단을 파지할 수 있는 사각 블록 형태로 형성된다. 클램퍼 실린더(420)는, 상기 파지 위치와 상기 해제 위치 양 위치에서만 위치할 수 있도록 한다. 즉, 클램프 실린더(420)는 일반 공압 실린더 혹은 전자기식 액튜에이터 등을 사용하여 파지위치에 해당하는 제 1 위치와 해제위치에 해당하는 제 2 위치 사이에서 고정된 행정만 할 수 있으며, 임의의 위치에서 정지할 수 없도록 한다. The substrate gripper 410 is formed in the shape of a rectangular block capable of holding both side ends of the substrate. The clamper cylinder 420 can be positioned at both the gripping position and the releasing position. That is, the clamp cylinder 420 can only be fixed in a fixed position between a first position corresponding to the gripping position and a second position corresponding to the unlocking position by using a general pneumatic cylinder or an electromagnetic actuator, It can not be stopped.

본 발명의 일실시예는, 상기 기판 거치부(101)를 기준으로 상기 이동프레임의 이동방향(폭방향)을 가로지르는 방향(길이방향, 도 1의 'Y축' 방향, 이하, '길이방향')으로 배치되어, 기판 공급부로부터 상기 기판을 양수받는 기판 양수부(102)가 상기 이동프레임(200)에 형성되고, 상기 기판 양수부(102)로부터 양수받은 상기 기판(1)을 상기 기판 거치부(101)로 이송하는 직선이송장치(700)을 더 포함한다.One embodiment of the present invention relates to a method of driving the movable frame 100 in a direction transverse to the movement direction (width direction) of the movable frame (the longitudinal direction, the 'Y axis' direction in FIG. 1, And the substrate receiving portion 102 receiving the substrate from the substrate supplying portion is formed on the moving frame 200 and the substrate 1 received from the substrate receiving portion 102 is received by the substrate receiving portion 102, And a linear transporting unit (700) for transporting the linear transporting unit (700)

상기 직선이송장치(700)는, 상기 이동프레임(200)에 고정되며, 상기 기판 거치부(101) 및 상기 기판 양수부(102) 사이에 길이방향으로 설치된 이송벨트(710)와, 상기 이송벨트(710)를 구동하는 이송구동부(720)를 포함한다.The linear conveying apparatus 700 includes a conveying belt 710 fixed to the moving frame 200 and installed between the substrate placing portion 101 and the substrate pumping portion 102 in the longitudinal direction, And a feed driving unit 720 for driving the feed roller 710.

이송벨트(710)는 양단이 기판 양수부(102)에 설치된 구동풀리(711) 및 기판 거치부(101)에 설치된 종동풀리(712)에 결합된다. 이송구동부(720)는 구동풀리(711), 종동풀리(712) 및 이동프레임(200)에 고정되며, 구동풀리(711)를 구동하는 이송모터(720)를 포함한다.Both ends of the conveyance belt 710 are coupled to a drive pulley 711 provided on the substrate pumping portion 102 and a driven pulley 712 provided on the substrate mounting portion 101. The feed driving unit 720 includes a driving motor 720 fixed to the driving pulley 711, the driven pulley 712 and the moving frame 200 and driving the driving pulley 711.

상기 기판 거치부에는 상기 직선이송장치에 의해 이송되는 상기 기판의 이동을 제한하도록 형성된 스톱퍼(600)를 포함한다. 스톱퍼(600)는 이동프레임(200)의 상단에 각각 하나씩 돌출되도록 형성된다.The substrate holder includes a stopper 600 configured to restrict movement of the substrate transferred by the linear transfer device. The stopper 600 is formed to protrude from the upper end of the moving frame 200 one by one.

이하, 본 발명의 일실시예의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of an embodiment of the present invention will be described.

먼저 작업할 기판의 크기정보를 입력받은 후, 도 2와 같이, 클램프 실린더(420)가 기판파지부(410)를 파지위치에 위치하였을 때, 기판의 중심이 맞도록 이동프레임 구동부(300)를 구동하여, 이동프레임(200)을 제 1 위치(I)에서 제 2 위치(II)로 이동시킨다.2, when the clamp cylinder 420 is positioned at the grip position of the substrate holding unit 410, the movable frame driving unit 300 is moved to the center of the substrate so that the center of the substrate is aligned with the center of the substrate And moves the movable frame 200 from the first position I to the second position II.

그 다음, 기판 공급부(미도시)로부터 기판이 기판양수부(102)에 공급된다. 기판 양수부(102)에 공급된 기판(1)은 직선이송장치에 의해 기판 거치부(101)로 이동된다. 이때, 스톱퍼(600)에 기판(1)의 상단이 걸리게 되어, 기판(1)이 길이방향으로 정확한 위치에 위치하게 된다. Then, the substrate is supplied to the substrate pumping portion 102 from the substrate supply portion (not shown). The substrate 1 supplied to the substrate pumping section 102 is moved to the substrate mounting section 101 by a linear transfer device. At this time, the upper end of the substrate 1 is hooked on the stopper 600, so that the substrate 1 is positioned at the correct position in the longitudinal direction.

그 다음, 클램퍼 실린더(420)를 구동하여, 기판의 양측단을 기판파지부(410)가 밀어줌으로써, 폭방향 중심이 정확하게 위치하게 된다.Then, the clamper cylinder 420 is driven to push both side ends of the substrate by the substrate gripper 410, so that the center in the width direction is accurately positioned.

그 다음, 로봇(미도시)이 기판(1)을 파지한 후 후속 공정에 공급하게 된다.Then, a robot (not shown) grasps the substrate 1 and supplies it to a subsequent process.

그 다음 기판이 또 다시 기판 양수부(102)에 공급되며, 반복하여 중심을 맞추는 작업이 신속하게 이루어진다.Then, the substrate is again supplied to the substrate pumping section 102, and the operation of repeatedly centering is performed quickly.

상기와 같이, 본 발명의 일실시예의 기판공급장치는, 다양한 크기의 기판의 중심을 쉽고 정확하게 맞출 수 있다는 장점이 있다. 따라서, 한가지 크기의 기판 공급에만 사용되는 것이 아니라, 다양한 크기의 기판에도 적용할 수 있다.As described above, the substrate supply apparatus of the embodiment of the present invention has an advantage that the center of the substrate of various sizes can be easily and accurately aligned. Therefore, the present invention can be applied not only to the supply of substrates of one size but also to substrates of various sizes.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

100: 고정 프레임 200: 이동 프레임
300: 이동프레임 구동부 400: 클램퍼
410: 기판파지부 420: 클램퍼 실린더
310: 구동모터 320: 볼스크류
102: 기판 양수부 101: 기판 거치부
700: 직선이송장치 710: 이송벨트
720: 이송구동부 600: 스톱퍼100: fixed frame 200: movable frame
300: moving frame driving part 400: clamper
410: substrate holding part 420: clamper cylinder
310: Driving motor 320: Ball screw
102: substrate pumping portion 101: substrate mounting portion
700: Linear transfer device 710: Transfer belt
720: Feed drive part 600: Stopper

Claims

A fixed frame;
Two moving frames facing each other on the fixed frame;
A moving frame driving part for driving the two moving frames between a position close to and a position away from each other; And
A clamper installed opposite to the two moving frames to clamp both side ends of the substrate held by the substrate mounting portion;
Lt; / RTI >
The clamper
A substrate holding unit contacting both ends of the substrate; And
A clamper cylinder for driving the substrate holding portion between a holding position where the substrate holding portion is in contact with both side ends of the substrate and a releasing position where the substrate holding portion is not held;
Wherein the substrate is a substrate.

The method according to claim 1,
The mobile frame driving unit can position the mobile frame at an arbitrary position within a movable range,
Wherein the clamper cylinder can be positioned only at both the gripping position and the release position.

3. The method of claim 2,
The mobile frame driving unit includes:
A driving motor fixed to the stationary frame; And
A ball screw having one end coupled to the drive motor and the other end coupled to the moving frame;
Wherein the substrate is a substrate.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
A substrate transfer unit arranged in a direction transverse to the moving direction of the movable frame with respect to the substrate mounting unit, the substrate transfer unit receiving the substrate from the substrate supply unit,
A rectilinear transfer device for transferring the substrate received in a positive number from the substrate transfer part to the substrate holder;
Further comprising: a substrate holder for holding a substrate;

5. The method of claim 4,
Wherein the linear transporting device is fixed to the moving frame.

6. The method of claim 5,
Wherein the linear transfer device comprises:
A conveyance belt provided in the longitudinal direction between the substrate holder and the substrate transfer unit; And
A conveyance driving unit for driving the conveyance belt;
Wherein the substrate is a substrate.

5. The method of claim 4,
A stopper configured to restrict movement of the substrate transferred by the linear transfer device;
Further comprising: a substrate holder for holding a substrate;