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KR101390794B1 - 잉곳 절단용 와이어 가이드, 이를 포함한 와이어 쏘 장치 및 잉곳 절단 방법 - Google Patents

잉곳 절단용 와이어 가이드, 이를 포함한 와이어 쏘 장치 및 잉곳 절단 방법 Download PDF

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KR101390794B1
KR101390794B1 KR1020110141516A KR20110141516A KR101390794B1 KR 101390794 B1 KR101390794 B1 KR 101390794B1 KR 1020110141516 A KR1020110141516 A KR 1020110141516A KR 20110141516 A KR20110141516 A KR 20110141516A KR 101390794 B1 KR101390794 B1 KR 101390794B1
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South Korea
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ingot
wire
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cutting
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김양섭
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주식회사 엘지실트론
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Abstract

실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드는 제1 단부 및 상기 제1 단부의 반대편에 위치하는 제2 단부를 포함하고, 외주면이 상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 가진다.
실시예에 따른 와이어 쏘 장치는 빔의 일면에 잉곳을 부착하여 지지하는 마운팅 블록; 및 상기 잉곳의 하부에 위치하며, 외주면에 와이어가 권취된 와이어 가이드;를 포함하고, 상기 와이어 가이드는, 제1 단부 및 상기 제1 단부의 반대편에 위치하는 제2 단부를 포함하고, 외주면이 상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 가진다.
실시예에 따른 잉곳 절단 방법은 경사면을 갖는 와이어 가이드의 외주면에 와이어가 권취된 와이어 쏘 장치를 마련하는 단계; 상기 와이어 가이드의 중심축과 평행하게 잉곳을 와이어에 접근시키는 단계; 및 상기 와이어 가이드에 권취된 와이어로 잉곳을 절단하는 단계;를 포함하고, 상기 잉곳의 절단은, 상기 잉곳과 인접한 상기 와이어 가이드의 제1 단부에 권취된 와이어로부터 상기 제1 단부와 반대편에 위치하는 제2 단부에 권취된 와이어로 진행된다.

Description

잉곳 절단용 와이어 가이드, 이를 포함한 와이어 쏘 장치 및 잉곳 절단 방법{WIRE GUIDE, WIRE SAW APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND METHOD FOR SLICING INGOT}
실시예는 잉곳 절단면의 위상 변화를 최소화하는 잉곳 절단용 와이어 가이드, 이를 포함한 와이어 쏘 장치 및 잉곳 절단 방법에 관한 것이다.
반도체 소자의 재료로서 실리콘 웨이퍼가 널리 사용되고 있다.
일반적으로, 실리콘 웨이퍼를 제조하는 일련의 공정들 중에서, 성장 공정에 의해 소정 길이로 성장된 잉곳은 슬라이싱 공정에 의해 낱장 단위의 다수의 단결정 웨이퍼로 절단된다.
이러한 슬라이싱 공정은 다양한 형태가 있는데, 그 중 대표적인 것은 박판의 외주 부분에 다이아몬드 입자를 고착시켜 단결정 잉곳을 절단하는 ODS(Out Diameter Saw) 방식, 도넛형의 박판의 내주에 다이아몬드 입자를 고착시켜 단결정 잉곳을 절단하는 IDS(Inner Diameter Saw) 방식, 및 피아노 선 또는 고장력 와이어를 빠른 속도로 주행시키면서 그 와이어에 슬러리 용액을 분사하면서 와이어에 묻은 슬러리와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 잉곳을 절단하는 WS(Wire Saw) 방식 등이 있다. 이 중에서, 여러 개의 단결정 웨이퍼를 동시에 제조할 수 있으므로 단위 시간당 생산 수율이 높은 와이어 쏘 방식이 널리 이용되고 있다.
도 1은 종래의 와이어 쏘 장치를 나타낸 도면이다.
종래의 와이어 쏘 장치는 빔(114)을 이용하여 잉곳(112)을 부착하여 지지하는 마운팅 블록(110)과, 잉곳(112)의 하부에 위치하며 일정 간격으로 와이어(122)가 권취된 와이어 가이드(120)와, 와이어(112) 상으로 슬러리(132)를 공급하는 슬러리 공급 노즐(130)을 포함한다.
에폭시와 같은 유기물 본드를 이용하여 빔(114)의 일면을 마운팅 블록(110)에 부착하고, 또 다른 유기물 본드를 이용하여 잉곳(112)을 상기 빔(114)의 다른 일면에 부착한다. 위의 유기물 본드를 경화시키면 마운팅 블록(110)과 빔(114), 그리고 잉곳(112)이 서로 부착되어 고정된다.
이렇게 잉곳(112)이 고정된 마운팅 블록(110)을 와이어 쏘 장치에 로딩한 후 잉곳(112)을 절단함으로써 슬라이싱 공정이 진행된다.
와이어 가이드(120)는 잉곳(112)의 하부에 위치하며, 외주면에 일정 간격(pitch)으로 와이어(122)가 권취되어 있다. 권취된 와이어(122)의 간격에 의해 슬라이싱되는 웨이퍼의 개수 및 두께가 결정될 수 있다.
상기 와이어(122)의 상부에는 슬러리(132)를 공급하는 슬러리 공급 노즐(130)이 위치하며, 상기 슬러리(132)에는 연마 그레인이 포함되어 있어, 마운팅 블록(110)에 장착된 잉곳(112)이 와이어(122)를 향해 이동하여 가압될 때 와이어(122)에 묻어 있던 연마 그레인에 의해 잉곳(112)이 절단된다.
그러나, 종래의 와이어 쏘 장치에는 다음과 같은 문제점이 있다.
도 2는 종래의 와이어 쏘 장치에서 와이어 가이드만을 확대하여 나타낸 도면이고, 도 3은 종래의 와이어 쏘 장치에 의해 잉곳을 절단할 때의 절단 궤적을 나타낸 도면이다.
잉곳(112)을 절단하는 과정에서 와이어 쏘 장치 내에 발생되는 열에 의해 와이어 가이드(120)가 팽창하게 되는데, 도 2를 참조하면, 와이어 가이드(120)를 지지하는 지지부(126)에 인접한 제1 단부(120a)에서 상기 지지부(126)와 이격된 제2 단부(120b) 방향으로 와이어 가이드(120)의 신장(伸張)이 이루어진다.
따라서 도 3에 도시된 절단 궤적(A~C)에서 알 수 있는 바와 같이, 와이어 가이드(120)의 제2 단부(120b) 측으로 갈수록 잉곳(112) 절단면, 특히 절단 초반부의 휨이 커지고, 연마 공정 후 나노토포그라피(nanotopograpy) 품질도 악화된다.
즉, 마운팅 블록(110)에 부착된 잉곳(112)이 와이어(122)가 권취된 와이어 가이드(120)를 향해 가압될 때, 초기에는 와이어 가이드(120)가 충분히 팽창되지 않은 상태에서 잉곳(112)과 와이어 가이드(120)가 접하게 되지만, 잉곳(112)이 계속하여 가압되면서 절단이 이루어지는 과정에서 와이어 가이드(120)가 제2 단부(120b) 방향으로 신장되기 때문에 상기 제2 단부(120b) 측의 잉곳(112)의 절단 궤적(C)에서 변형이 크게 발생하게 된다.
따라서 이러한 와이어 가이드(120)의 팽창을 제어하여 잉곳 절단면의 휨을 방지함으로써 웨이퍼의 품질을 개선할 필요가 있다.
실시예는 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 와이어 가이드의 외주면에 경사를 형성함으로써 와이어 가이드의 팽창에 의한 잉곳 절단면의 위상 변화를 최소화하는 잉곳 절단용 와이어 가이드, 이를 포함한 와이어 쏘 장치 및 잉곳 절단 방법을 제공하고자 한다.
실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드는 제1 단부 및 상기 제1 단부의 반대편에 위치하는 제2 단부를 포함하고, 외주면이 상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 가진다.
상기 소정 각도는 0.001~0.025 도일 수 있다.
상기 경사면은 상기 와이어 가이드의 축방향으로 기울어질 수 있다.
상기 제1 단부에서 상기 제2 단부로 갈수록 직경이 점차 작아질 수 있다.
상기 제1 단부는 고정단이고, 상기 제2 단부는 자유단일 수 있다.
상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 갈수록 와이어가 조밀하게 권취될 수 있다.
실시예에 따른 와이어 쏘 장치는 빔의 일면에 잉곳을 부착하여 지지하는 마운팅 블록; 및 상기 잉곳의 하부에 위치하며, 외주면에 와이어가 권취된 와이어 가이드;를 포함하고, 상기 와이어 가이드는, 제1 단부 및 상기 제1 단부의 반대편에 위치하는 제2 단부를 포함하고, 외주면이 상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 가진다.
실시예에 따른 잉곳 절단 방법은 경사면을 갖는 와이어 가이드의 외주면에 와이어가 권취된 와이어 쏘 장치를 마련하는 단계; 상기 와이어 가이드의 중심축과 평행하게 잉곳을 와이어에 접근시키는 단계; 및 상기 와이어 가이드에 권취된 와이어로 잉곳을 절단하는 단계;를 포함하고, 상기 잉곳의 절단은, 상기 잉곳과 인접한 상기 와이어 가이드의 제1 단부에 권취된 와이어로부터 상기 제1 단부와 반대편에 위치하는 제2 단부에 권취된 와이어로 진행된다.
상기 제2 단부 측에서는 상기 와이어 가이드가 신장된 후 잉곳의 절단이 이루어질 수 있다.
상기 잉곳의 절단 궤적은 상기 잉곳의 축 방향에 수직일 수 있다.
실시예에 따르면 와이어 가이드가 충분히 팽창된 후에 와이어 가이드의 제2 단부 측에서 잉곳의 절단이 이루어짐으로써 잉곳 절단면의 위상 변화가 최소화되어 웨이퍼의 휨이나 나노토포그라피의 품질이 개선될 수 있다.
도 1은 종래의 와이어 쏘 장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 종래의 와이어 쏘 장치에서 와이어 가이드만을 확대하여 나타낸 도면이고,
도 3은 종래의 와이어 쏘 장치에 의해 잉곳을 절단할 때의 절단 궤적을 나타낸 도면이고,
도 4는 실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드를 나타낸 도면이고,
도 5는 실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드가 포함된 와이어 쏘 장치에 의해 잉곳을 절단할 때의 절단 궤적을 나타낸 도면이고,
도 6은 잉곳을 경사지게 절단하여 나타난 궤적을 도시한 도면이고,
도 7은 실시예에 따라 경사면을 갖는 와이어 가이드를 이용하여 잉곳을 절단하여 나타난 궤적을 도시한 도면이고,
도 8은 종래의 와이어 쏘 장치에 의해 절단된 잉곳의 절단면 프로파일을 나타낸 도면이고,
도 9는 실시예에 따른 와이어 가이드가 포함된 와이어 쏘 장치에 의해 절단된 잉곳의 절단면 프로파일을 나타낸 도면이다.
이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 종래와 동일한 구성 요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 4는 실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드를 나타낸 도면이다.
실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드(220)는 외주면에 와이어(122)가 권취되어 있으며, 제1 단부(220a) 및 상기 제1 단부(220a)의 반대편에 위치하는 제2 단부(220b)를 포함하고, 외주면이 상기 제1 단부(220a)에서 상기 제2 단부(220b) 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 갖는다.
상기 경사면은 와이어 가이드(220)의 축(200)의 방향으로 소정 각도 기울어질 수 있다.
상기 제1 단부(220a)는 와이어 가이드(220)를 지지하는 지지부(226)에 고정되어 있는 고정단을 의미하고, 상기 제2 단부(220b)는 지지부(226)에 고정되어 있지 않은 자유단을 의미한다.
와이어 가이드(220)는 잉곳(112)을 절단하는 과정에서 와이어 쏘 장치 내에 발생되는 열에 의해 팽창하게 되는데, 고정단인 상기 제1 단부(220a)에서 자유단인 상기 제2 단부(220b) 방향으로 와이어 가이드(220)의 신장(伸張)이 이루어진다.
실시예에 따라 상기 제1 단부(220a)에서 상기 제2 단부(220b) 방향으로 기울어진 경사면을 갖는 와이어 가이드(220)를 이용하면, 절단 공정 초기에는 상기 경사면에 의해 와이어 가이드(220)의 제1 단부(220a) 측에서만 잉곳(112)과 와이어 가이드(220)가 접하여 잉곳(112)의 절단이 이루어지다가, 제2 단부(220b) 측에서는 제2 단부(220b)가 충분히 팽창 및 신장된 후에 잉곳(112)과 와이어 가이드(220)가 접하여 잉곳(112)의 절단이 이루어지므로, 잉곳(112)의 절단면의 위상 변화가 최소화될 수 있다.
도 5는 실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어 가이드가 포함된 와이어 쏘 장치에 의해 잉곳을 절단할 때의 절단 궤적을 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하여 다시 설명하면, 종래에는 와이어 가이드(120)의 제2 단부(120b) 측에서, 와이어 가이드(120)의 열팽창에 의해, 초기에 잉곳(112)과 와이어 가이드(120)가 접하는 접점과 절단 과정 중 잉곳(112)과 와이어 가이드(120)가 접하는 접점이 달라 잉곳 절단면에 위상 변화가 크게 발생하였으나, 실시예에 따르면, 신장이 이루어지는 방향에 위치하는 제2 단부(220b) 측에서는, 잉곳(112)과 접하기 전 와이어 가이드(220)가 이미 충분히 팽창된 후에 본격적으로 잉곳(112)의 절단이 이루어지므로, 제2 단부(220b) 측에서도 절단 궤적(D)에 변형이 발생하지 않는 것을 확인할 수 있다.
이때, 상기 제2 단부(220b) 측에서는 와이어 가이드(120)가 충분히 신장된 후에 잉곳(112)의 절단이 이루어지므로, 절단되어 생산된 웨이퍼들의 두께가 균일하도록, 제1 단부(220a)에서 제2 단부(220b)로 갈수록 와이어가 좀 더 조밀한 간격으로 권취될 수 있다.
상기 제1 단부(220a)에서 상기 제2 단부(220b) 방향으로 기울어진 경사면의 각도 θ는 와이어 가이드의 재질 및 그에 따른 열팽창 계수, 와이어 가이드의 길이나 두께 등에 따라 달라질 수 있으며, 일 예로서, 상기 제1 단부(220a) 측으로부터 연장되며 축(200)과 평행한 가상선을 기준으로 0.001~0.025 도일 수 있다.
상기 경사면의 각도가 너무 작으면 와이어 가이드(220)가 충분히 팽창되기 전에 잉곳(112)의 절단이 이루어져서 절단면의 휨을 방지하는 효과가 미미할 수 있고, 상기 경사면의 각도가 너무 크면 절단 공정의 시간이 불필요하게 길어지고 회전 운동을 하는 와이어 가이드에 부담을 줄 수 있다.
상기 경사면은 제1 단부(220a)에서 제2 단부(220b) 방향으로 기울어져 있으므로, 상기 제1 단부(220a)에서 상기 제2 단부(220b)로 갈수록 상기 와이어 가이드(220)의 직경이 점차 작아질 수 있다.
직경이 작으면 열에 민감하게 반응하여 빠르게 팽창 및 신장이 이루어지므로, 직경이 작은 와이어 가이드(220)의 제2 단부(220b) 측이 충분히 신장되기까지의 시간을 단축할 수 있다.
도 6은 잉곳을 경사지게 절단하여 나타난 궤적을 도시한 도면이고, 도 7은 실시예에 따라 경사면을 갖는 와이어 가이드를 이용하여 잉곳을 절단하여 나타난 궤적을 도시한 도면이다.
이하에서, 도 6 및 도 7을 참조하여 잉곳을 경사지게 배치하여 절단하는 경우와, 실시예에 따라 경사면을 갖는 와이어 가이드를 이용하여 잉곳을 절단하는 경우를 비교하여 설명한다.
도 6을 참조하면, 실시예와 달리, 와이어 가이드(120)의 외주면이 경사를 갖지 않고 잉곳(112)이 부착된 마운팅 블록(110) 자체를 소정 각도(θ1)만큼 기울여서 잉곳(112)을 경사지게 배치하여 절단하고 있다.
잉곳(112)을 경사지게 배치하여 절단하는 경우에도, 신장이 이루어지는 와이어 가이드(120)의 제2 단부(120b) 측에서는 와이어 가이드(120)의 신장이 충분히 이루어진 후에 잉곳(112)의 절단이 이루어지므로 절단면의 궤적(P)의 변형을 방지할 수 있다.
그러나 도 6에 도시된 바와 같이, 잉곳(112)이 경사지게 배치되어 절단이 이루어지기 때문에, 절단 궤적(P)이 잉곳의 축(300) 방향과 수직을 이루지 못하고, 원하는 절단 배향(orientation)과 달라지는 문제점이 존재한다.
절단 궤적(P)과 잉곳의 축(300) 방향이 이루는 각도 θ2는 90도에 잉곳(112)을 기울인 각도 θ1이 더해진 값을 가질 수 있다.
또한, 도 6에서와 같이 잉곳(112)을 경사지게 배치하여 절단하면 잉곳(112)의 양 단부의 빗금친 부분은 웨이퍼로서 사용되지 못하고 버려지기 때문에 불필요한 손실이 발생할 수 있다.
반면, 실시예에 따른 도 7을 참조하면, 잉곳(112)을 경사지게 배치하는 것이 아니라 외주면에 경사면을 갖는 와이어 가이드(220)를 사용하며, 와이어 가이드(220)의 축(200)과 평행하게 잉곳(120)을 접근시킨다.
이로써, 와이어 가이드(220)의 신장에 따른 절단 궤적의 변형을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 절단 궤적(Q)과 잉곳의 축(300) 방향이 수직을 이루므로, 원하는 절단 배향과 달라지는 문제점이 발생하지 않으며, 잉곳(112)의 양 단부가 버려지는 문제점도 해결할 수 있다.
도 8은 종래의 와이어 쏘 장치에 의해 절단된 잉곳의 절단면 프로파일을 나타낸 도면이고, 도 9는 실시예에 따른 와이어 가이드가 포함된 와이어 쏘 장치에 의해 절단된 잉곳의 절단면 프로파일을 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 종래의 와이어 쏘 장치를 이용하여 잉곳을 절단하면 열에 의한 와이어 가이드의 팽창에 의해, 특히 절단 초반부에 잉곳 절단면에 휨이 크게 발생하는 것을 확인할 수 있다.
그러나, 실시예에 따른 도 9를 참조하면, 와이어 가이드가 충분히 팽창된 후에 잉곳의 절단이 이루어지므로 잉곳 절단면의 휨 현상이 크게 개선되어 종래에 비해 고른 절단면 프로파일(profile)을 나타내는 것을 확인할 수 있다.
아래의 표 1은 종래의 와이어 쏘 장치를 이용하여 절단된 웨이퍼와 실시예에 따른 와이어 쏘 장치를 이용하여 절단된 웨이퍼의 휨(warp) 정도 및 나노토포그라피 품질을 수치로 비교하여 나타낸 것이다.
Warp Average Peak Vally(PV)
종래 >15um 26nm
실시예 <15um 21nm
웨이퍼의 휨 정도는 기준면에서 중앙면(median surface)까지의 최대 편차와 최소 편차의 차이로 나타낼 수 있는데, 종래에는 웨이퍼의 휨 정도를 나타내는 휨 평균값(Warp Average)이 15um보다 컸으나, 실시예에 따르면 15um보다 작아 잉곳의 절단면이 균일해졌음을 알 수 있다.
또한, 나노토포그라피 품질도 개선되어, 종래의 와이어 쏘 장치를 이용하여 잉곳을 절단한 경우, 웨이퍼 표면에서 단차가 가장 큰 것과 가장 작은 것의 차이를 수치로 비교한 PV 값이 26nm 였으나, 실시예에 의할 경우 21nm로 감소하여 웨이퍼의 나노 품질이 향상되었음을 확인할 수 있다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110: 마운팅 블록 112: 잉곳
114: 빔 130: 슬러리 공급 노즐
120, 220: 와이어 가이드 220a: 제1 단부
220b: 제2 단부

Claims (15)

  1. 외주면에 와이어가 권취된 와이어 가이드에 있어서,
    상기 와이어 가이드는 제1 단부 및 상기 제1 단부의 반대편에 위치하는 제2 단부를 포함하고, 상기 외주면은 상기 제1 단부에서 상기 제2 단부로 갈수록 직경이 점차 작아지는 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 갖는 잉곳 절단용 와이어 가이드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 소정 각도는 상기 제1 단부측에서 연장되며 상기 와이어 가이드의 축과 평행한 가상선을 기준으로 0.001도 내지 0.025 도인 잉곳 절단용 와이어 가이드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 경사면은 상기 와이어 가이드의 중심축 방향으로 기울어진 잉곳 절단용 와이어 가이드.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 단부는 고정단이고, 상기 제2 단부는 자유단인 잉곳 절단용 와이어 가이드.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 갈수록 와이어가 조밀하게 권취된 잉곳 절단용 와이어 가이드.
  7. 빔의 일면에 잉곳을 부착하여 지지하는 마운팅 블록; 및
    상기 잉곳의 하부에 위치하며, 외주면에 와이어가 권취된 와이어 가이드;를 포함하고,
    상기 와이어 가이드는, 제1 단부 및 상기 제1 단부의 반대편에 위치하는 제2 단부를 포함하고, 외주면이 상기 제1 단부에서 상기 제2 단부로 갈수록 직경이 점차 작아지는 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 갖는 와이어 쏘 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 소정 각도는 상기 제1 단부측에서 연장되며 상기 와이어 가이드의 축과 평행한 가상선을 기준으로 0.001도 내지 0.025 도인 와이어 쏘 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 경사면은 상기 와이어 가이드의 중심축 방향으로 기울어진 와이어 쏘 장치.
  10. 삭제
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 단부는 고정단이고, 상기 제2 단부는 자유단인 와이어 쏘 장치.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 단부에서 상기 제2 단부 방향으로 갈수록 와이어가 조밀하게 권취된 와이어 쏘 장치.
  13. 제1 단부에서 제2 단부로 갈수록 직경이 점차 작아지는 방향으로 소정 각도 기울어진 경사면을 갖는 와이어 가이드의 외주면에 와이어가 권취된 와이어 쏘 장치를 마련하는 단계;
    상기 와이어 가이드의 중심축과 평행하게 잉곳을 와이어에 접근시키는 단계; 및
    상기 와이어 가이드에 권취된 와이어로 잉곳을 절단하는 단계;를 포함하고,
    상기 잉곳의 절단은, 상기 잉곳과 인접한 상기 와이어 가이드의 제1 단부에 권취된 와이어로부터 상기 제1 단부와 반대편에 위치하는 제2 단부에 권취된 와이어로 진행되는 잉곳 절단 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제2 단부 측에서는 상기 와이어 가이드가 신장된 후 잉곳의 절단이 이루어지는 잉곳 절단 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 잉곳의 절단 궤적은 상기 잉곳의 축 방향에 수직인 잉곳 절단 방법.
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