KR101383668B1

KR101383668B1 - 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR101383668B1
Application number: KR1020120044227A
Authority: KR
Inventors: 설준호; 이은호
Original assignee: 주식회사 테라세미콘
Priority date: 2012-04-27
Filing date: 2012-04-27
Publication date: 2014-04-10
Anticipated expiration: 2032-04-27
Also published as: KR20130121214A; JP2013231510A; CN103375588A; TW201400734A

Abstract

실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치는, 도어가 실링부재를 압착하면, 도어와 접촉된 실링부재의 부위가 도어의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 본체의 전면측으로 압착된다. 그러면, 도어와 실링부재 사이의 접촉면적이 넓어지므로, 도어의 일측 부위가 열에 의하여 변형되어도, 실링부재는 변형된 도어 부위 뿐만아니라, 변형된 도어 부위의 외측 부위와도 접촉하므로, 도어와 실링부재 사이가 완전하게 실링된다. 이로 인해, 이물질이 챔버로 유입되지 못하고, 챔버의 열이 외부로 누설되지 못하므로, 기판이 균일하게 처리된다. 따라서, 기판 처리 공정의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

Description

실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치 {SEALRING MEMBER AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE USING THE SAME}

본 발명은 기판이 투입되어 처리되는 챔버가 형성된 본체와 본체에 설치되어 챔버를 개폐하는 도어 사이를 실링하는 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치에 관한 것이다.

기판 처리 장치는, 평판 디스플레이의 제조시 사용되며, 증착(Vapor Deposition) 장치와 어닐링(Annealing) 장치로 대별된다.

증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 장치로써, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등과 같은 화학 기상 증착 장치와 스퍼터링(Sputtering) 등과 같은 물리 기상 증착 장치가 있다.

그리고, 어닐링 장치는 기판에 막을 증착한 후, 증착된 막의 특성을 향상시키는 장치로써, 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위하여 열처리하는 장치이다.

일반적으로, 기판 처리 장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)이 있다. 매엽식 기판 처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어, 대량 생산에는 배치식 기판 처리 장치가 많이 사용된다.

종래의 기판 처리 장치를 도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명한다. 도 1a는 종래의 기판 처리 장치의 개략 측단면도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 실링부재의 사시도이다.

도 1a에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치는 본체(10)를 포함하고, 본체(10)의 내부에는 기판이 투입되어 처리되는 공간인 챔버(11)가 형성된다. 본체(10)의 전면에는 챔버(11)와 연통되며 기판이 출입하는 출입구(13)가 형성되며, 출입구(13)를 개폐하기 위한 도어(20)가 설치된다.

그리고, 출입구(13) 외측의 본체(10)의 전면 부위에는 도어(20)에 의하여 압착되어 챔버(11)를 실링하는 실링부재(30)가 설치된다.

한편, 도 1b에 도시된 바와 같이, 실링부재(30)는 단면(斷面) 형상이 대략 원형으로 형성된다.

상기와 같은 종래의 기판 처리 장치는, 장시간 사용하다 보면, 도어(20)와 실링부재(30)에 틈이 발생하여 챔버(11)가 완전하게 실링되지 못한다.

상세히 설명하면, 기판은 400℃ 이상의 고온 분위기에서 처리된다. 이로 인해, 도어(20)가 열에 의하여 변형된다. 그런데, 실링부재(30)와 접촉하는 도어(20) 부위가 변형되었을 경우, 도어(20)가 본체(10)측으로 실링부재(30)를 압착하여도, 도어(20)와 실링부재(30)에는 틈이 발생한다.

더 상세히 설명하면, 도어(20)가 이동하여 실링부재(30)를 본체(10)의 전면측으로 압착하면, 실링부재(30)가 본체(10)의 전면에 수직하는 방향으로만 압착되고, 실링부재(30)의 압착 정도에는 한계가 있으므로, 변형된 도어(20) 부위와 실링부재(30) 사이에는 틈이 발생한다.

그러면, 이물질이 챔버(11)로 유입되고, 챔버(11)의 열이 외부로 누설되므로, 기판 처리 공정의 신뢰성이 저하되는 단점이 있었다.

기판 처리 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2010-0008722호 등에 개시되어 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 도어와 접촉하는 실링부재의 부위가 도어를 따라 슬라이딩되면서 도어에 압착되게 형성하여, 도어와 실링부재 사이에 틈이 발생되는 것을 방지함으로써, 기판 처리 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 실링부재는, 폐루프를 이루고, 단면(斷面) 형상이 한 쌍의 대변(對邊)이 평행하는 사다리꼴 형태로 형성되어 제 1 상대물에 삽입 결합되는 삽입부; 상기 삽입부의 단면에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변 중, 길이가 짧은 변에서 연장 형성되어 상기 제 1 상대물의 외측으로 노출되며, 제 2 상대물에 의하여 상기 제 1 상대물측으로 압착되는 압착부를 포함하며, 상기 삽입부의 단면에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변은 상기 삽입부의 반경방향과 평행하고, 상기 압착부는 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향으로 연장 형성되어, 상기 삽입부의 중심을 기준으로, 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향 외측으로 갈수록 상기 제 2 상대물과 접촉하는 내주면이 점점 더 상기 삽입부의 반경방향 외측에 위치되며, 상기 제 2 상대물이 상기 제 1 상대물측으로 이동하면, 상기 제 2 상대물을 따라 상기 삽입부의 반경방향 외측으로 슬라이딩되면서 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향으로 압착된다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 출입구가 형성되며, 상기 출입구 외측의 상기 전면에는 상기 출입구를 감싸는 형태로 폐루프를 이루는 삽입홈이 형성된 본체; 상기 본체의 전면에 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 도어; 일측은 상기 삽입홈에 삽입되고 타측은 상기 본체의 외측에 위치되어 상기 도어의 일면과 접촉하며, 상기 도어에 의하여, 상기 본체의 전면측으로 압착되어 상기 챔버를 실링하는 실링부재를 포함하며, 상기 실링부재는, 상기 도어가 상기 본체의 전면측으로 이동하면, 상기 도어에 의하여, 상기 도어의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 상기 본체의 전면측으로 압착된다.

본 발명에 따른 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치는, 도어가 실링부재를 압착하면, 도어와 접촉된 실링부재의 부위가 도어의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 본체의 전면측으로 압착된다. 그러면, 도어와 실링부재 사이의 접촉면적이 넓어지므로, 도어의 일측 부위가 열에 의하여 변형되어도, 실링부재는 변형된 도어 부위 뿐만아니라, 변형된 도어 부위의 외측 부위와도 접촉하므로, 도어와 실링부재 사이가 완전하게 실링된다. 이로 인해, 이물질이 챔버로 유입되지 못하고, 챔버의 열이 외부로 누설되지 못하므로, 기판이 균일하게 처리된다. 따라서, 기판 처리 공정의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

도 1a는 종래의 기판 처리 장치의 개략 측단면도.
도 1b는 도 1a에 도시된 실링부재의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도.
도 3은 도 2의 "A-A"선 단면도.
도 4는 도 2에 도시된 실링부재의 사시도.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.

본 실시예를 설명함에 있어서, 기판의 처리라 함은 기판을 가열 및 냉각하는 공정, 기판에 소정의 막을 증착하기 위한 모든 공정, 기판에 증착된 소정의 막을 어닐링, 결정화 또는 상변화 하기 위한 모든 열처리 공정 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치를 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 "A-A"선 단면도이다.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 본체(110)를 포함한다. 본체(110)는 대략 직육면체 형상으로 형성되며, 내부에는 기판(50)이 처리되는 공간인 챔버(112)가 형성된다. 챔버(112)는 밀폐된 공간으로 마련되며, 본체(110)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(50)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.

본체(110)의 전면에는 기판(50)이 출입하는 출입구(114)가 형성되고, 출입구(114)는 본체(110)의 전면에 설치된 도어(120)에 의하여 개폐된다. 즉, 로봇(미도시)으로 기판(50)을 지지하여, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하거나 챔버(112)로부터 언로딩할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 개방된다. 그리고, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하여 기판(50)을 처리할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 폐쇄된다.

기판(50)의 재질은 특별히 제한되지 않으며 글래스, 플라스틱, 폴리머, 실리콘 웨이퍼 또는 스테인레스 스틸 등과 같은 재질로 형성될 수 있다.

챔버(112)에는 기판(50)을 탑재시켜 지지하는 지지 유닛(미도시), 기판(50)을 가열하기 위한 히터(미도시), 기판(50)의 처리에 필요한 분위기 가스를 공급하는 가스공급관(미도시), 기판(50)을 냉각시키기 위한 냉각관(미도시) 등과 같은 기판(50)의 처리에 필요한 부품들이 설치될 수 있다.

출입구(114) 외측의 본체(110)의 전면 부위에는 출입구(114)를 감싸는 형태로 삽입홈(116)이 형성되고, 삽입홈(116)에는 실링부재(130)의 일측이 삽입 결합된다. 실링부재(130)의 타측은 도어(120)에 의하여 본체(110)의 전면측으로 압착되고, 이로 인해 본체(110)와 도어(120) 사이가 완전하게 실링된다.

도어(120)는 외측도어(121)와 내측도어(125)를 가지고, 외측도어(121)는 상하로 슬라이딩가능하게 본체(110)의 전면에 설치되며, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 지지되어 외측도어(121)에 의하여 상하로 슬라이딩함과 동시에 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치된다. 내측도어(125)가 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩되어 본체(110)의 전면측으로 이동하면, 실링부재(130)가 압착된다.

본체(110)와 도어(120) 사이가 완전하게 실링되면, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하여 기판(50)을 처리할 때, 외부의 이물질이 챔버(112)로 유입되지 못하고, 챔버(112)의 열이 외부로 누설되지 못하므로, 기판(50)이 균일하게 처리된다.

그런데, 기판(50)이 처리되는 챔버(112)는 400℃ 이상의 고온 분위기이므로 도어(120)는 열에 의하여 변형될 수 있고, 변형된 도어(120) 부위가 실링부재(130)와 접촉되면, 도어(120)와 실링부재(130) 사이에 틈이 발생할 수 있다.

본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 도어(120)가 본체(110)의 전면측으로 이동하여 실링부재(130)를 본체(110)의 전면측으로 압착하면, 실링부재(130)가 도어(120)를 타고 도어(120)의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 본체(110)의 전면측으로 압착되도록 구성하여, 변형된 도어(120) 부위와 실링부재(130) 사이도 완전하게 실링할 수 있도록 마련된다.

실링부재(130)에 대하여 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 2에 도시된 실링부재의 사시도이다.

도 4에 도시된 실링부재(130)는 사각 형상으로 폐루프를 이루는 형태로 도시되어 있으나, 링 형상으로 폐루프를 이루고 있는 것으로 가정하여 설명한다. 실링부재(130)는 탄성을 가지고 있으므로, 링 형상으로 폐루프를 이루고 있어도 사각 형상으로 폐루프를 이루는 형태로 용이하게 조절할 수 있다.

이하, 방향을 정의함에 있어서, 실링부재(130)의 삽입부(131)의 반경방향은 도어(120)의 테두리부측 방향과 대응되는 방향이고, 삽입부(131)의 반경방향과 수직하는 방향은 본체(110)의 전면 외측 방향과 대응되는 방향이다.

도시된 바와 같이, 삽입홈(116)의 단면(斷面) 형상은 한 쌍의 대변(對邊)(116a, 116b)이 평행하는 대략 사다리꼴 형태로 형성된다. 이때, 삽입홈(116)의 단면(斷面)에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변(116a, 116b) 중, 길이가 짧은 변(116a)이 본체(110)의 전면 외측과 연통된다.

실링부재(130)는 삽입부(131)와 압착부(135)를 포함한다.

삽입부(131)는 삽입홈(116)과 대응되는 단면(斷面) 형상이 사다리꼴 형태로 형성되어 폐루프를 이루며, 삽입홈(116)에 삽입 결합된다. 이때, 삽입부(131)의 단면(斷面)에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변(131a, 131b)은 삽입부(131)의 반경방향(도 3 및 도 4의 "R" 방향)과 평행함은 당연하다.

압착부(135)는 삽입부(131)의 단면(斷面)에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변(131a, 131b) 중, 본체(110)의 전면 외측을 향하는 길이가 짧은 변(131a)에서 연장 형성되어 본체(110)의 전면 외측으로 노출된다. 압착부(135)는 도어(120)의 일면과 접촉하여 도어(120)를 따라 도어(120)의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 본체(110)의 전면측으로 압착된다.

상세히 설명하면, 압착부(135)는, 삽입부(131)의 중심(O)을 기준으로, 본체(110)의 전면 외측방향(도 3 및 도 4의 "RV" 방향)으로 갈수록 내주면(135a)이 점점 더 삽입부(131)의 반경방향(R) 외측에 위치되는 형태로 형성된다. 그리고, 압착부(135)의 내주면(135a)은 도어(120)와 접촉한다. 따라서, 도어(120)가 본체(110)의 전면측으로 이동하면, 압착부(135)는 도어(120)의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 본체(110)의 전면측으로 압착된다.

그러면, 도어(120)와 압착부(135)의 접촉면적이 넓어지므로, 도어(120)의 일측 부위가 열에 의하여 변형되어도, 변형된 도어(120)의 일측 부위 뿐만아니라 변형된 도어(120)의 일측 부위 외측까지도 압착부(135)의 내주면(135a)과 접촉하므로, 도어(120)와 실링부재(130) 사이가 완전하게 실링된다.

압착부(135)가 더욱 용이하게 도어(120)의 테두리부측으로 슬라이딩되어 본체(110)의 전면측으로 압착될 수 있도록, 압착부(135)는, 삽입부(131)의 중심을 기준으로, 본체(110)의 전면 외측방향(RV)으로 갈수록 외주면(135b)이 점점 더 삽입부(131)의 반경방향(R) 외측에서 내측에 위치되었다가 다시 점점 더 외측에 위치되는 형태로 형성된다.

이때, 압착부(135)의 내주면(135a)과 외주면(135b)은, 압착부(135)를 삽입부(131)의 반경방향(R)과 평행하게 절단하였을 때, 라운딩진 것이 바람직하다.

그리고, 압착부(135)가 더욱 더 용이하게 도어(120)의 테두리부측으로 슬라이딩되어 본체(110)의 전면측으로 압착될 수 있도록, 압착부(135)를 삽입부(131)의 반경방향(R)과 평행하게 절단하였을 때의 압착부(135)의 내주면(135a)의 곡률반경은 외주면(135b)의 곡률반경 보다 큰 것이 바람직하다.

강성을 보강하기 위하여, 삽입부(131)와 접하는 압착부(135)의 부위는 돌출(136)되어, 삽입부(131) 보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.

본체(110)의 후면에도 출입구(미도시)가 형성될 수 있고, 상기 출입구를 개폐하는 도어(140)가 설치될 수 있다. 본체(110)의 후면에 형성된 상기 출입구는 챔버(114)에 설치된 기판(50)의 처리에 필요한 상기 부품들을 수리하고자 할 때 사용한다. 그리고, 본체(110)의 후면과 본체(110)의 후면에 설치된 도어(140) 사이에도 실링부재(130)와 동일한 실링부재(미도시)가 설치될 수 있다.

그리고, 실링부재(130)는 다른 장치에도 설치되어 사용될 수 있다. 이때, 실링부재(130)의 삽입부(131)가 삽입 결합되는 본체(110) 등이 제 1 상대물이고, 압착부(135)를 압착하는 도어(120) 등이 제 2 상대물이다.

도 2의 미설명 부호 170은 본체(110)를 지지하는 프레임이다.

본 실시예에 따른 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치는 도어(120)가 실링부재(130)를 압착하면, 도어(120)와 접촉된 실링부재(130)의 부위가 도어(120)의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 본체(110)의 전면측으로 압착된다. 그러면, 도어(120)와 실링부재(130) 사이의 접촉면적이 넓어지므로, 도어(120)의 일측 부위가 열에 의하여 변형되어도, 실링부재(130)는 변형된 도어(120) 부위 뿐만아니라, 변형된 도어(120) 부위의 외측 부위와도 접촉하므로, 도어(120)와 실링부재(130) 사이가 완전하게 실링된다. 이로 인해, 이물질이 챔버(112)로 유입되지 못하고, 챔버(112)의 열이 외부로 누설되지 못하므로, 기판이 균일하게 처리된다. 따라서, 기판 처리 공정의 신뢰성이 향상된다.

상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략하여, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.

110: 본체
120: 도어
130: 실링부재
131: 삽입부
135: 압착부

Claims

폐루프를 이루고, 단면(斷面) 형상이 한 쌍의 대변(對邊)이 평행하는 사다리꼴 형태로 형성되어 제 1 상대물에 삽입 결합되는 삽입부;
상기 삽입부의 단면에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변 중, 길이가 짧은 변에서 연장 형성되어 상기 제 1 상대물의 외측으로 노출되며, 제 2 상대물에 의하여 상기 제 1 상대물측으로 압착되는 압착부를 포함하며,
상기 삽입부의 단면에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변은 상기 삽입부의 반경방향과 평행하고,
상기 압착부는,
상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향으로 연장 형성되어,
상기 삽입부의 중심을 기준으로, 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향 외측으로 갈수록 상기 제 2 상대물과 접촉하는 내주면이 점점 더 상기 삽입부의 반경방향 외측에 위치되며, 상기 제 2 상대물이 상기 제 1 상대물측으로 이동하면, 상기 제 2 상대물을 따라 상기 삽입부의 반경방향 외측으로 슬라이딩되면서 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향으로 압착되고,
상기 삽입부의 중심을 기준으로, 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향 외측으로 갈수록 외주면이 점점 더 상기 삽입부의 반경방향 외측에서 내측에 위치되었다가 다시 점점 더 외측에 위치되며,
상기 압착부를 상기 삽입부의 반경방향과 평행하게 절단하였을 때, 상기 압착부의 내주면 및 외주면은 각각 라운딩지고,
상기 삽입부와 접하는 압착부의 부위는 돌출되어 상기 삽입부 보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 실링부재.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 압착부를 상기 삽입부의 반경방향과 평행하게 절단하였을 때의 상기 압착부의 내주면의 곡률반경은 외주면의 곡률반경 보다 큰 것을 특징으로 하는 실링부재.
삭제
내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 출입구가 형성되며, 상기 출입구 외측의 상기 전면에는 상기 출입구를 감싸는 형태로 폐루프를 이루는 삽입홈이 형성된 본체;
상기 본체의 전면에 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 도어;
일측은 상기 삽입홈에 삽입되고 타측은 상기 본체의 외측에 위치되어 상기 도어의 일면과 접촉하며, 상기 도어에 의하여, 상기 본체의 전면측으로 압착되어 상기 챔버를 실링하는 실링부재를 포함하며,
상기 삽입홈의 단면(斷面) 형상은 한 쌍의 대변(對邊)이 평행하는 사다리꼴 형태로 형성되고, 상기 삽입홈의 단면(斷面)에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변 중, 길이가 짧은 변이 상기 본체의 외측과 연통되며,
상기 실링부재는,
상기 삽입홈과 대응되게 단면(斷面) 형상이 사다리꼴 형태로 형성되어 폐루프를 이루고, 상기 삽입홈에 삽입 결합되는 삽입부; 상기 삽입부의 단면에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변 중, 길이가 짧은 변에서 연장 형성되어 상기 본체의 외측으로 노출되며, 상기 도어에 의하여 압착되는 압착부를 가지면서 상기 도어가 상기 본체의 전면측으로 이동하면, 상기 도어에 의하여, 상기 도어의 테두리부측으로 슬라이딩되면서 상기 본체의 전면측으로 압착되고,
상기 삽입부의 단면에 의하여 형성되는 한 쌍의 대변은 상기 삽입부의 반경방향과 평행하며,
상기 압착부는,
상기 삽입부의 중심을 기준으로, 상기 본체의 전면 외측으로 갈수록 상기 도어와 접촉하는 내주면이 점점 더 상기 삽입부의 반경방향 외측에 위치되어, 상기 도어에 의하여, 상기 도어를 따라 상기 도어의 테두리부측으로 슬라이딩되어 상기 삽입부의 반경방향과 수직하는 방향인 상기 본체의 전면측으로 압착되고,
상기 삽입부의 중심을 기준으로, 상기 본체의 전면 외측으로 갈수록 외주면이 점점 더 상기 삽입부의 반경방향 외측에서 내측에 위치되었다가 다시 점점 더 외측에 위치되며,
상기 압착부를 상기 삽입부의 반경방향과 평행하게 절단하였을 때, 상기 압착부의 내주면 및 외주면은 라운딩지고,
상기 삽입부와 접하는 압착부의 부위는 돌출되어 상기 삽입부 보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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제6항에 있어서,
상기 압착부를 상기 삽입부의 반경방향과 평행하게 절단하였을 때의 상기 압착부의 내주면의 곡률반경은 외주면의 곡률반경 보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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