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KR101382145B1 - Vacuum transfer robot - Google Patents

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KR101382145B1
KR101382145B1 KR1020120117169A KR20120117169A KR101382145B1 KR 101382145 B1 KR101382145 B1 KR 101382145B1 KR 1020120117169 A KR1020120117169 A KR 1020120117169A KR 20120117169 A KR20120117169 A KR 20120117169A KR 101382145 B1 KR101382145 B1 KR 101382145B1
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KR
South Korea
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link member
driving force
driving device
driving
arm
Prior art date
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Active
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KR1020120117169A
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Korean (ko)
Inventor
이성직
오영일
Original Assignee
주식회사 나온테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

이송 진공로봇이 개시된다. 이송 진공로봇으로서, 가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치가 구비된 하부 몸체부; 상기 하부 몸체부재의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치를 구비하는 안내부;내부가 중공으로 형성되고 상기 제2 구동장치의 회전력으로 회전하는 회전프레임과 상기 회전프레임 내부에 다수개가 배치되는 제3 구동장치와 상기 회전프레임의 상단부에 배치되고 상기 제3 구동장치와 연결되면서 챔버내부로 이물질의 주입을 방지 하는 상부덮개를 구비하는 상부몸체부; 상기 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암과 상기 구동력 암으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암을 구비하면서 직선운동을 하는 암을 포함하는 다수개의 핸드부를 포함하는 이송 진공로봇을 제공한다. . A transfer vacuum robot is disclosed. A conveying vacuum robot, comprising: a lower body portion having a guide block for vertically linear movement along a guide line and a first driving device for transmitting power to the guide block; A guide part having a second driving device which is located inside the lower body member and is fastened to the guide block and rotates vertically and moves vertically; a rotating frame formed of a hollow inside and rotating by the rotational force of the second driving device And an upper body part having a third driving device disposed inside the rotating frame and an upper cover disposed at an upper end of the rotating frame and connected to the third driving device to prevent injection of foreign substances into the chamber; A plurality of hands including a driving force arm connected to the third driving device to receive a driving force and having a linear movement while having an auxiliary arm spaced apart from the driving force arm by a predetermined distance to minimize stiffness and shaking; It provides a transfer vacuum robot comprising a portion. .

Description

이송 진공로봇 {Vacuum transfer robot}Vacuum transfer robot {Vacuum transfer robot}

본 발명은 이송 진공로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 챔버 내부에 배치되고 공정 챔버와 웨이퍼 등의 기판을 저장하는 공간사이에서 기판을 이송하는 이송 진공로봇으로서, 핑거를 구비하고 동시에 이송정밀도가 높고 회전 반경이 작은 챔버내에 차지하는 면적을 줄일 수 있는 이송 진공로봇에 관한 것이다.
The present invention relates to a transfer vacuum robot, and more particularly, to a transfer vacuum robot for transferring a substrate between a process chamber and a space for storing a substrate such as a wafer, the transfer vacuum robot having a finger and a transfer accuracy And a transfer vacuum robot capable of reducing the area occupied in a chamber having a small turning radius.

종래의 이송 진공로봇에서는, 이송장치의 암 또는 링크 부재들(linkages)은 다수의 모터를 이용하여 예를 들어 3자유도 이상의 운동이 가능하도록 동축 방식으로 구성된다. 최외각 축은 예를 들어 회전 중심축 주위로 다중 암들을 회전시키기 위한 허브(hub)에 결합되고, 2개의 내부 축은 독립적인 벨트 및 풀리 구성을 통하여 다중 암들 각각에 연결될 수 있다.In conventional transfer vacuum robots, the arms or linkages of the transfer device are configured in a coaxial manner, for example using a plurality of motors, for example, to allow movement in three degrees of freedom or more. The outermost axis may be coupled to a hub for rotating multiple arms, for example around a rotational center axis, and the two inner axes may be connected to each of the multiple arms through independent belt and pulley configurations.

기존 사용되고 있는 이러한 이송 진공로봇의 암(arm)에 2개의 핸드를 장착하기 위해서는 암을 길게 하거나 상부(upper)암과 하부(lower) 암을 상하로 배치하였다. 그러나 이와 같이 구성하였을 경우 암의 길이가 길어짐에 따라 구조적 강성이 떨어져 이송 작업의 정밀도가 떨어지는 문제가 발생하였다. 정밀도를 개선하기 위하여 암의 강성을 높이는 경우 암의 무게가 증가하거나 이송장치의 크기가 커져 설치에 어려움이 따른다. 또한, 암의 구조적 강성을 높이기 위하여 특수한 구조를 갖도록 하는 경우에는 이송장치의 동작에 제한이 가해지기 때문에 공정 속도가 저하되는 문제가 발생한다.
In order to mount two hands on an arm of such a transport vacuum robot, which is being used, an arm is extended or an upper arm and a lower arm are disposed up and down. However, in this configuration, as the length of the arm becomes longer, the structural rigidity is lowered, which causes a problem that the precision of the transfer operation is lowered. When the rigidity of the arm is increased to improve the precision, the weight of the arm increases or the size of the conveying device becomes large, which makes installation difficult. Further, in the case of having a special structure in order to increase the structural stiffness of the arm, there is a problem that the operation speed of the transfer device is lowered because of the restriction of the operation of the transfer device.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 각 핸드의 구조적 강성을 높이면서 이송작업의 정밀도를 높일 수 있는 이송 진공로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a transfer vacuum robot capable of increasing the structural rigidity of each hand while enhancing the accuracy of the transfer operation.

또한, 이송 진공로봇의 회전반경을 최소화함으로써 장비가 차지하는 면적이 작아짐으로써 진공을 유지하는 공간을 최소화 하는 이송 진공로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다. It is another object of the present invention to provide a transfer vacuum robot which minimizes the space occupied by the equipment by minimizing the turning radius of the transfer vacuum robot, thereby minimizing the space for maintaining the vacuum.

또, 이송 진공로봇을 조립 시에 암의 부품을 서로 대칭구조로 하여 강성을 향상시키고 서로 호환이 가능하면서 조립이 용이한 이송 진공로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.  It is another object of the present invention to provide a transfer vacuum robot which has a symmetrical structure of parts of an arm when a transfer vacuum robot is assembled, thereby improving rigidity and being compatible with each other and being easy to assemble.

또한, 동일한 구동축에 상부 핸드와 하부 핸드를 배치시킴으로써 정밀제어가 가능한 이송 진공로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
In addition, an object of the present invention is to provide a transfer vacuum robot capable of precise control by disposing an upper hand and a lower hand on the same drive shaft.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 이송 진공로봇으로서, 가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치가 구비된 하부 몸체부; 상기 하부 몸체부재의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치를 구비하는 안내부; 내부가 중공으로 형성되고 상기 제2 구동장치의 회전력으로 회전하는 회전프레임과 상기 회전프레임 내부에 다수개가 배치되는 제3 구동장치와 상기 회전프레임의 상단부에 배치되고 상기 제3 구동장치와 연결되면서 챔버 내부로 이물질의 주입을 방지 하는 상부덮개를 구비하는 상부 몸체부; 상기 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암과 상기 구동력 암으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암을 구비하면서 직선운동을 하는 암을 포함하는 다수개의 핸드부를 포함하는 이송 진공로봇을 제공한다.In order to achieve the above object, a transport vacuum robot, a lower body portion having a guide block for performing a vertical linear movement along the guide line and a first drive device for transmitting power to the guide block; A guide part disposed in the lower body member and having a second driving device coupled to the guide block to rotate vertically; The chamber is formed in a hollow and rotated by the rotational force of the second drive device and the third drive device disposed in the plurality of the rotating frame and the upper end of the rotating frame and the chamber is connected to the third drive device An upper body part having an upper cover to prevent the injection of foreign matter into the interior; A plurality of hands including a driving force arm connected to the third driving device to receive a driving force and having a linear movement while having an auxiliary arm spaced apart from the driving force arm by a predetermined distance to minimize stiffness and shaking; It provides a transfer vacuum robot comprising a portion.

바람직하게는, 상기 구동력 암은, 상기 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달하는 구동조인트부재와 상기 구동조인트부재와 체결되면서 바 형태의 일정길이를 갖는 제1 링크부재와 상기 제1 링크부재와 체결되고 상기 제1 링크부재보다 길이가 짧은 제2 링크부재를 구비하는 것이 바람직하다. Preferably, the driving force arm is connected to the third driving device and the drive joint member for transmitting the driving force and the first link member and the first link member having a predetermined length in the form of a bar while being engaged with the drive joint member; It is preferable to have a second link member which is fastened and is shorter in length than the first link member.

또한, 상기 보조 암은, 일정거리 이격되어 위치하는 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달하지 않는 베어링조인트부재와 상기 베어링조인트부재와 체결되면서 제1 링크부재와 일정거리 이격되어 배치되는 제3 링크부재와 상기 제3 링크부재와 체결되고 상기 제3 링크부재보다 길이가 짧으면서 상기 제2링크부재와 일정거리 이격되어 배치되는 제4 링크부재를 구비하는 것이 좋다. In addition, the auxiliary arm is connected to a third driving device which is spaced apart from a predetermined distance, and a third link which is spaced apart from the first link member while being engaged with the bearing joint member and the bearing joint member which do not transmit the driving force. It is preferable to have a fourth link member which is engaged with the member and the third link member and is shorter than the third link member and is spaced apart from the second link member by a predetermined distance.

또, 진공상태를 유지하는 면적을 최소화하기 위하여 상기 제3 구동장치와 연결되는 회전축을 기준으로 구동력 암과 보조 암이 복층으로 배치되는 것이 바람직하다.In addition, the driving force arm and the auxiliary arm are preferably arranged in a plurality of layers on the basis of the rotation axis connected to the third driving device in order to minimize the area for maintaining the vacuum state.

또한, 동일한 기구적 특징을 적용하여 정밀제어를 하기위하여 상기 제3 구동장치와 연결되는 회전축을 기준으로 암이 서로 복층으로 배치되고 상기 암의 위치가 서로 대칭으로 형성되는 것이 좋다. In addition, it is preferable that the arms are arranged in multiple layers with respect to the rotation axis connected with the third driving device and the positions of the arms are formed symmetrically with respect to each other for precise control by applying the same mechanical features.

또, 상기 제1 링크부재와 상기 제2 링크부재는 기어로 연결되는 것이 바람직하다. In addition, the first link member and the second link member is preferably connected by a gear.

또한, 상기 회전프레임와 상기 덮개는 서로 분리되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.In addition, the rotating frame and the cover is transport vacuum robot, characterized in that separated from each other.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 이송 진공로봇으로서, 제3 구동장치가 하단부에 체결되고 넓은 면적을 갖는 상부덮개; 상기 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암과 상기 구동력 암으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암을 구비하면서 직선운동을 하는 암을 포함하는 핸드부를 포함하는 이송 진공로봇을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a transfer vacuum robot, comprising: an upper cover having a third area coupled to a lower end thereof and having a large area; A hand portion including a driving force arm connected to the third driving device to receive a driving force and having a linear movement while having a supplementary arm spaced apart from the driving force arm by a predetermined distance to minimize stiffness and shaking; To provide a transfer vacuum robot.

또한, 상기 구동력 암은, 상기 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달하는 구동조인트부재와 상기 구동조인트부재와 체결되면서 바 형태의 일정길이를 갖는 제1 링크부재와 상기 제1 링크부재와 체결되고 상기 제1 링크부재보다 길이가 짧은 제2 링크부재를 구비하는 것이 좋다.In addition, the driving force arm is coupled to the first link member and the first link member having a predetermined length in the form of a bar while being coupled to the drive joint member and the drive joint member which are connected to the third driving device to transmit the driving force. It is preferable to have a second link member having a length shorter than that of the first link member.

또, 상기 보조 암은, 일정거리 이격되어 위치하는 제3 구동장치와 연결되어 구동력을 전달하지 않는 베어링조인트부재와 상기 베어링조인트부재와 체결되면서 제1 링크부재와 일정거리 이격되어 배치되는 제3 링크부재와 상기 제3 링크부재와 체결되고 상기 제3 링크부재보다 길이가 짧으면서 상기 제2링크부재와 일정거리 이격되어 배치되는 제4 링크부재를 구비하는 것이 바람직하다. In addition, the auxiliary arm is connected to a third driving device which is spaced apart from a predetermined distance, and a third link which is spaced apart from the first link member while being engaged with the bearing joint member and the bearing joint member which do not transmit the driving force. It is preferable to have a fourth link member which is engaged with the member and the third link member and is shorter than the third link member and spaced apart from the second link member by a predetermined distance.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 기재되어 있는 이송 진공로봇을 구비하여 구동되는 공정장치.
According to another aspect of the present invention, a process apparatus driven with the transport vacuum robot described.

본 발명에 따른 이송 진공로봇은, 각 상부 핸드/하부 핸드에 구동력 암과 보조 암을 배치시켜 구동 시 발생되는 강성을 높이면서 이송작업의 정밀도를 향상 시킬 수 있는 이송 진공로봇을 제공하는 효과가 있다.The transfer vacuum robot according to the present invention has the effect of providing a driving vacuum arm and a subsidiary arm in each upper hand / lower hand so as to increase the rigidity generated during driving and improve the accuracy of the transfer operation .

또한, 이송 진공로봇의 회전반경을 최소화함으로써 장비가 차지하는 면적이 작아짐으로써 진공을 유지하는 공간을 최소화하여 유지보수비용을 절약할 수 있는 이송 진공로봇을 제공하는 효과가 있다.In addition, it is possible to minimize the space occupied by the equipment by minimizing the turning radius of the transfer vacuum robot, thereby minimizing the space for maintaining the vacuum, thereby saving maintenance cost.

또, 조립이 용이하도록 대칭구조를 갖는 이송 진공로봇을 제공함으로써, 각 부품의 호환이 가능한 효과가 있다.  In addition, by providing a transfer vacuum robot having a symmetrical structure for easy assembly, there is an effect that each part can be compatible with each other.

또한, 회전프레임와 상부덮개를 사용함으로써 사용자가 손쉽게 상부덮개를 분리가 가능하고 유지보스가 용이한 이송 진공로봇을 제공하는 효과가 있다.In addition, by using a rotating frame and the upper cover, the user can easily separate the upper cover and there is an effect of providing a transfer vacuum robot that is easy to maintain the boss.

또한, 동일한 구종의 강성을 상부핸드와 하부핸드에 적용함으로써 정밀제어가 가능한 이송 진공로봇을 제공하는 효과가 있다.
In addition, there is an effect of providing a transfer vacuum robot capable of precise control by applying the same stiffness to the upper hand and the lower hand.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 정면도.
도 2 는 도 1에 대한 평면도.
도 3 은 도 1에 대한 측면도.
도 4 는 도 3에 대한 단면도.
도 5 는 도 4의 부분 확대도.
도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 구동력 암과 보조 암의 궤적을 나타낸 궤적도.
도 7 은 도 2에 대한 a-a 단면도.
도 8 은 도 2에 대한 b-b 단면도.1 is a front view of a transfer vacuum robot according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a plan view of Figure 1;
Figure 3 is a side view of Figure 1;
4 is a sectional view of Fig. 3; Fig.
5 is a partially enlarged view of FIG. 4.
Figure 6 is a trajectory diagram showing the trajectory of the driving force arm and the auxiliary arm of the transport vacuum robot according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a a cross-sectional view of FIG. 2; FIG.
FIG. 8 is a bb cross-sectional view of FIG. 2; FIG.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 따른 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, detailed descriptions according to related known functions or configurations will be omitted when it is determined that the detailed description may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention.

들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.
Prior to the entry, in describing the present invention, even if the embodiments are different, the same reference numerals are used for the same configuration, and the description thereof may be omitted as necessary.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 정면도, 도 2 는 도 1에 대한 평면도, 도 3 은 도 1에 대한 측면도, 도 4 는 도 3에 대한 단면도이다.
Fig. 1 is a front view of a transfer vacuum robot according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a plan view of Fig. 1, Fig. 3 is a side view of Fig. 1, and Fig. 4 is a sectional view of Fig.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송 진공로봇은, 다른 구성요소를 지지하는 하부 몸체부(10)와 하부 몸체부(10)의 내부에 배치되고 상승 또는 하강이 가능한 연결부(20)와 연결부(20)의 상부에 배치되고 회전운동이 가능한 상부 몸체부(30)와 상부 몸체부(30)의 상단부에 배치되고 일정거리 이격되어 기판이 안착되는 상부핸드(50)/하부핸드(60)를 포함한다.
The transporting vacuum robot according to the preferred embodiment of the present invention includes a lower body portion 10 for supporting other components and a connection portion 20 disposed inside the lower body portion 10 and capable of ascending or descending, An upper body portion 30 disposed at an upper portion of the connection portion 20 and a connection portion 20 and an upper body portion 30 disposed at an upper end portion of the upper body portion 30 and spaced apart from each other by a predetermined distance, Hand < / RTI >

하부 몸체부(10)는 다른 구성요소들을 지지하며, 지면상에 배치된다. 하부 몸체부(10)는 연결부(20)를 상하 직선운동으로 구동하는 제1 구동장치(110)와 하부 몸체부(10) 내부에 위치되고 연결부(20)의 상하 직선운동을 안내하는 안내부(120)를 포함한다. The lower body portion 10 supports other components and is disposed on the ground. The lower body part 10 includes a first driving device 110 for driving the connecting part 20 in a vertical linear motion and a guide part 22 for guiding the upward and downward linear movement of the connecting part 20 located inside the lower body part 10 120).

제1 구동장치(110)는 하부 몸체부(10)의 내부에 배치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 이 모터는 일정거리 이격된 볼스크류축의 구동부측 단부에 마련된 풀리와 연결된다. 볼스크류축은 연결부(20)가 일정 높이 구간 사이에서 수직방향으로 직선운동을 하도록 한다.The first driving device 110 includes a motor that is disposed inside the lower body portion 10 and is electrically driven. The motor is connected to a pulley provided at an end portion of the ball screw shaft spaced apart by a predetermined distance from the driving portion side. The ball screw shaft allows the connecting portion 20 to linearly move in a vertical direction between predetermined height sections.

안내부(120)는 하부 몸체부(10)의 내부에 위치되며, 높이 방향으로 연장되는 레일과 레일 위를 이동하는 블록을 구비한다. 레일이 1개 이상의 복수개가 제공되는 경우 각 레일은 등각도 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 레일이 예를 들어 3개인 경우 120도 간격으로 배치된다. 블록은 연결부(20)와 연결되어 상하 직선운동을 안내한다.
The guide part 120 is located inside the lower body part 10 and includes a rail extending in the height direction and a block moving on the rail. When more than one rail is provided, it is preferable that each rail is arrange | positioned at equal angle intervals. For example, if there are three rails, they are arranged at intervals of 120 degrees. The block is connected to the connecting portion 20 to guide the vertical movement of the up and down.

연결부(20)는 하부 몸체부(10)의 내부에서 상하로 직선운동을 한다. 연결부(20)는 상부 몸체부(30)을 회전가능하게 지지한다. 연결부(20)는 하부 몸체부(10)의 안내부(120)와 연결되는 프레임부(220)와 프레임부(220)의 내부에 위치되는 제2 구동장치(210)와 제2 구동장치(210)를 포함한다.
The connecting portion 20 linearly moves upward and downward in the lower body portion 10. The connection part 20 rotatably supports the upper body part 30. The connection part 20 includes a frame part 220 connected to the guide part 120 of the lower body part 10, and a second driving device 210 and a second driving device 210 positioned inside the frame part 220. ).

프레임부(220)는 안내부(120)의 레일을 따라 안내되는 블록과 연결된다. 프레임부(220)는 소정의 높이구간 사이에서 상하 직선운동을 한다. 프레임부(220)는 중공형상을 가지며, 중공부에 제1 회전부재(230:감속기)가 배치된다. 프레임부(220)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다.
The frame portion 220 is connected to a block that is guided along the rails of the guide portion 120. The frame unit 220 vertically moves between predetermined height sections. The frame part 220 has a hollow shape, and the first rotating member 230 (reduction gear) is disposed in the hollow part. The frame portion 220 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and at the same time reduce the weight of the entire apparatus.

제1 회전부재(230)는 프레임부(220) 상부에 마련된 중공부에 배치된다. 제1 회전부재(230)는 중공부를 구비하며 에어공급관이 중공부를 통하여 배치될 수도 있다. 제1 회전부재(230)의 중공 부를 토하여 각종 전원 케이블 등이 배치될 수 있다. The first rotating member 230 is disposed in the hollow portion provided above the frame portion 220. The first rotating member 230 may have a hollow portion, and the air supply pipe may be disposed through the hollow portion. Various power cables and the like may be disposed to vomit the hollow portion of the first rotating member 230.

제2 구동장치는(210)는 프레임부(220)의 내부에 위치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 제1 회전부재(230)는 에어공급관 또는 전원케이블 등이 통과할 수 있도록 중공부를 구비하므로, 모터의 회전축과 직결되기 곤란하다. 따라서, 제2 구동장치(210)는 모터의 회전축 및 구동력 전달부의 회전축과 평행하게 연장되는 회전축을 갖는 구동력 전달축(240)을 구비하는 것이 바람직하다. 구동력 전달축(240)은 중공형상으로 형성 되는 것이 좋다. 제2 구동장치(210) 모터의 회전축은 구동력 전달축(240)의 일단에 마련된 풀리와 벨트로 연결되고, 구동력 전달축(240)의 타단에 마련된 풀리는 제1 회전부재(230)의 하단부에 마련된 풀리와 벨트로 연결된다. 이는 하부 몸체부(10)의 넓이를 작게 하기 위하여 구동력 전달축(240)과 회전부재(230)의 회전축의 간격을 최소로 유지되는 것이 바람직하다. 제2 구동장치는(210)는 회전부재(230)에 회전 구동력을 전달함으로써 결과적으로 상부 몸체부(30)를 회전시킨다.The second driving device 210 includes a motor which is located inside the frame portion 220 and is electrically driven. Since the first rotating member 230 has a hollow portion through which an air supply pipe or a power cable can pass, it is difficult to directly connect with the rotating shaft of the motor. Therefore, the second driving device 210 preferably includes a driving force transmission shaft 240 having a rotation axis extending in parallel with the rotation axis of the motor and the rotation axis of the driving force transmission unit. The driving force transmission shaft 240 is preferably formed in a hollow shape. The rotating shaft of the second drive device 210 motor is connected to a pulley and a belt provided at one end of the driving force transmission shaft 240, and the pulley provided at the other end of the driving force transmission shaft 240 is provided at the lower end of the first rotating member 230. It is connected by a pulley and a belt. It is preferable to keep the distance between the driving force transmission shaft 240 and the rotating shaft of the rotating member 230 to minimize the width of the lower body portion 10 to a minimum. The second driving device 210 rotates the upper body part 30 as a result of transmitting a rotational driving force to the rotating member 230.

상부 몸체부(30)는 상부핸드(50) 및 하부핸드(60)를 지지한다. 상부 몸체부(30)는 구동력 전달축(240)으로부터 회전력을 받아 회전하는 회전프레임(350)과 회전프레임(350)의 내부에서 발생되는 이물질이 공정실로 들어가는 것을 막아주는 상부덮개(330)와 상부덮개(330)의 하단부에 체결되어 상부핸드(50)/하부핸드(60)를 각각 구동하는 다수개의 제3 구동장치(310)를 포함한다.
The upper body portion 30 supports the upper hand 50 and the lower hand 60. The upper body portion 30 includes a rotating frame 350 rotated by a rotational force from the driving force transmission shaft 240 and an upper cover 330 for preventing foreign substances generated inside the rotating frame 350 from entering the processing chamber, And a plurality of third driving devices 310 coupled to lower ends of the lid 330 to drive the upper hand 50 and the lower hand 60, respectively.

회전프레임(350)은 내부의 먼지가 외부로 방출되지 않도록 한다. 회전프레임(350)은 구동력 전달축(240)과 연결된다. 회전프레임(350)은 중공형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 회전프레임(350)은 구동력 전달축(240)의 중공축 내부로부터 각종 케이블이 제3 구동장치(310)에 연결될 수 있도록 한다. 회전프레임(350)은 제3 구동장치(310)가 구동시 발생되는 먼지 및 분진 등이 진공챔버(80) 내부로 주입되지 않도록 한다. The rotating frame 350 prevents dust from being discharged to the outside. The rotation frame 350 is connected to the driving force transmission shaft 240. The rotating frame 350 is preferably formed in a hollow shape. The rotation frame 350 allows various cables to be connected to the third driving device 310 from the inside of the hollow shaft of the driving force transmission shaft 240. The rotating frame 350 prevents the dust and dust generated during the driving of the third driving device 310 from being injected into the vacuum chamber 80.

상부덮개(330)는 회전프레임(350)의 상단부에 체결된다. 상부 덮개(330)은 회전프레임(350)의 내부에서 구동 시에 발생되는 먼지 및 분진을 진공챔버(80)로 주입되는 것을 방지한다. 상부덮개(330)는 회전프레임(350)과 분리가 가능하도록 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 상부핸드(50)/하부핸드(60)가 이상 시에 신속히 교체가 가능하기 위함이다. 더욱이, 생산 공정 시에 발생되는 고장으로부터 유연하게 대처하기 위함이다. 상부덮개(330)의 하단부에는 다수개의 제1 회전조인트와 다수개의 제2 회전조인트가 배치된다.
The upper cover 330 is fastened to the upper end of the rotating frame 350. The upper cover 330 prevents the dust and dust generated during the driving inside the rotating frame 350 from being injected into the vacuum chamber 80. The upper cover 330 is preferably formed to be separable from the rotary frame 350. This is because the upper hand 50 / the lower hand 60 can be quickly replaced at an abnormal time. Furthermore, it is intended to cope flexibly with a failure occurring in the production process. A plurality of first rotating joints and a plurality of second rotating joints are disposed at the lower end of the upper cover 330.

다수개의 제3 구동장치(310)는 상부 몸체부(30)의 내부에 위치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 제3 구동장치(310)는 다수개의 제1 회전조인트(320)와 대응되어 구동력을 전달한다. 제1 회전조인트(320)는 감속기를 사용하는 것이 바람직하다. 다수개의 제3 구동장치(310)는 제1 회전조인트(320)에 대응하여 4개의 모터가 구비되는 것이 좋다. 이는 제3 구동장치(310)의 개수를 한정하기 위함은 아니다. 제3 구동장치(310)는 구동축이 상부방향으로 배치되는 것이 바람직하다. 제3 구동장치(310)는 구동축이 제1 회전조인트(320)와 결합되는 것이 바람직하다. 이는, 제3 구동장치(310)와 제1 회전조인트(320)의 연결을 한정하기 위함은 아니다. 예를 들어 풀리와 벨트를 사용하여 연결될 수도 있다.  The plurality of third driving devices 310 includes a motor which is located inside the upper body 30 and is electrically driven. The third driving device 310 transmits the driving force in association with the plurality of first rotating joints 320. The first rotary joint 320 preferably uses a speed reducer. It is preferable that the plurality of third driving devices 310 are provided with four motors corresponding to the first rotating joint 320. This is not intended to limit the number of the third driving devices 310. It is preferable that the third driving device 310 is disposed in the upward direction. Preferably, the drive shaft of the third drive device 310 is coupled to the first rotary joint 320. This is not to limit the connection of the third driving device 310 and the first rotating joint 320. For example, they can be connected using pulleys and belts.

제1 회전조인트(320)는 제3 구동장치(310)의 구동력을 전달받아 상부핸드(50)/ 하부핸드(60)로 구동력을 전달한다. 제1 회전조인트(320)는 감속기를 사용하는 것이 바람직하다. 제1 회전조인트(320)는 제3 구동장치(310)의 구동축과 연결된다. 제1 회전조인트(320)는 회전축(370)과 연결되어 회전속도를 감속하고 토크를 증가시켜 주는 것이 바람직하다. 제1 회전조인트(320)는 상부덮개(330)의 하단부에 배치된다. 제1 회전조인트(320)은 다수개가 일정거리 이격되어 배치된다. 이는 제3 구동장치(310)가 서로 간섭이 되지 않는 범위에서 이격된다.
The first rotary joint 320 receives the driving force of the third driving device 310 and transmits the driving force to the upper hand 50 / the lower hand 60. It is preferable that the first rotary joint 320 uses a speed reducer. The first rotary joint 320 is connected to the drive shaft of the third drive device 310. The first rotary joint 320 is preferably connected to the rotary shaft 370 to reduce the rotation speed and increase the torque. The first rotary joint 320 is disposed at the lower end of the upper cover 330. A plurality of first rotation joints 320 are spaced apart from each other by a predetermined distance. This is spaced apart in a range where the third driving device 310 does not interfere with each other.

상부핸드(50)/하부핸드(60)는 회전축(370)의 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 암(70)과 암(70)으로 직선운동을 하면서 기판을 지지하는 핑거(520)를 포함한다.The upper hand 50 and the lower hand 60 include a finger 520 that supports the substrate while linearly moving by an arm 70 and an arm 70 that are linearly moved by receiving the driving force of the rotary shaft 370 .

상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 상부 몸체부(30)의 상단부에 배치된다.
The upper hand 50 / lower hand 60 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and simultaneously reduce the weight of the entire apparatus. The upper hand 50 / the lower hand 60 are disposed at the upper end of the upper body portion 30. [

핑거(520)는 기판과 웨이퍼에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동의 발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거(520)은 기판이 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거(520)은 암(70)으로부터 기판이 안착시 이동이 용이하도록 흡입구가 배치될 수도 있다.Finger 520 is preferably made of a material with low vibration generated without damaging the substrate and the wafer due to static electricity. Finger 520 is preferably formed with a mounting groove on which the substrate is seated. The finger 520 may be provided with a suction port to facilitate movement of the substrate from the arm 70.

도 5 는 도 4의 부분 확대도, 도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 구동력 암과 보조 암의 궤적을 나타낸 궤적도이다.
5 is a partially enlarged view of FIG. 4, FIG. 6 is a trajectory diagram showing a trajectory of a driving force arm and an auxiliary arm of a transport vacuum robot according to an exemplary embodiment of the present invention.

도면을 참조하여 설명하면, 암(70)은 상부핸드(50)/ 하부핸드(60)를 각각 회전축(370)에 연결한다. 암(70)은 직선운동을 하기위하여 구동력을 전달하는 구동력 암(72)과 구동력 암(72)의 흔들림을 방지하는 보조 암(74)을 포함한다.Referring to the drawings, the arm 70 connects the upper hand 50 and the lower hand 60 to the rotation shaft 370, respectively. The arm (70) includes a driving force arm (72) for transmitting a driving force for rectilinear motion and an auxiliary arm (74) for preventing the driving force arm (72) from shaking.

구동력 암(72)은 제3 구동장치의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암(72)은 일정길이를 갖는 제1 링크부재(711)와 제1 링크부재(711)에 체결되는 제2 링크부재(713)와 제1 링크부재(711)를 회전축(370)에 연결하는 구동 조인트부재(712)를 포함한다. 제1 링크부재(711)는 제2 링크부재(713)보다 길이가 길게 형성되는 것이 바람직하다. The driving force arm 72 converts the driving force of the third driving device into a linear motion and performs a linear motion. The driving force arm 72 includes a first link member 711 having a predetermined length and a second link member 713 fastened to the first link member 711 and a first link member 711 connected to the rotating shaft 370 And a driving joint member 712 which is formed integrally. The first link member 711 is preferably longer than the second link member 713.

제1 링크부재(711)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(711)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(711)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(711)의 일측 단부는 구동조인트부재(712)와 체결되어 회전축과 연결되고 타측 단부는 제2 회전조인트(미도시)에 체결되어 제2 링크부재(713)는 직선운동을 한다. 회전축(370)이 회전을 하면 제1 링크부재(711)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(713)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(711)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(713) 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 갖다.The first link member 711 is formed into a bar shape having a rectangular shape. In order to increase the structural rigidity of the first link member 711, it may be made of a light metal material such as aluminum. The first link member 711 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the first link member 711 is coupled with the driving joint member 712 and connected to the rotating shaft, and the other end is coupled to the second rotating joint (not shown), so that the second link member 713 performs linear motion . The first link member 711 rotates at a predetermined angle to advance the second link member 713. [ That is, when the first link member 711 rotates by a predetermined angle, the second link member 713 performs linear motion. This is a phenomenon in which a two-link link performs a linear movement in a certain range.

제2 링크부재(713)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재(713)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(713)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(713)의 일측 단부는 제2 회전조인트(미도시)를 통해 제1 링크부재(711)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다. The second link member 713 is formed in the shape of a rectangular bar so as to have a constant partial rigidity. The second link member 713 may be made of a light metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity. The second link member 713 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the second link member 713 is rotatably connected to the first link member 711 through a second rotational joint (not shown), and the other end is connected to the finger.

보조 암(74)은 구동력 암(72)으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암(72)은 구동력 암(72)이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암(74)은 일정길이를 갖는 제3 링크부재(715)와 제3 링크부재(715)에 체결되는 제4 링크부재(717)와 제3 링크부재(715)를 회전축(370)에 연결하는 베어링조인트부재(714)를 포함한다. The auxiliary arm 74 is disposed apart from the driving force arm 72 by a certain distance. The auxiliary arm 72 performs a linear motion when the driving force arm 72 is converted into a linear motion. The auxiliary arm 74 has a third link member 715 having a predetermined length and a fourth link member 717 and a third link member 715 which are fastened to the third link member 715 and connected to the rotation shaft 370 And a bearing joint member 714 which is formed integrally therewith.

제3 링크부재(715)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(715)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(715)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(715)의 일측 단부는 베어링조인트부재(714)와 체결되어 회전축과 연결되고 타측 단부는 제2 회전조인트(미도시)에 체결되어 제4 링크부재(717)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암(72)에서 발생되는 구동력으로 보조 암(74)을 직선운동 한다. 이때, 보조 암(74)은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화 한다. 또한, 보조 암(74)은 암(70)의 처짐을 방지한다.
The third link member 715 is formed in the shape of a bar having a rectangular shape. The third link member 715 may be made of a light metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity. The third link member 715 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the third link member 715 is coupled with the bearing joint member 714 and connected to the rotation shaft, and the other end is coupled to the second rotation joint (not shown), so that the fourth link member 717 performs a linear motion . That is, the auxiliary arm 74 linearly moves by the driving force generated by the driving force arm 72. [ At this time, the auxiliary arm 74 minimizes the shaking generated during driving. Further, the auxiliary arm 74 prevents the arm 70 from sagging.

제4 링크부재(717)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(717)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(717)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(717)의 일측 단부는 제2 회전조인트(미도시)를 통해 제4 링크부재(717)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다.
The fourth link member 717 is formed in the form of a rectangular bar so as to have a certain partial rigidity. It may be made of a lightweight metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity of the fourth link member 717. [ The fourth link member 717 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the fourth link member 717 is rotatably connected to the fourth link member 717 through a second rotation joint (not shown), and the other end is connected to the finger.

도 7 은 도 2에 대한 a-a 단면도, 도 8 은 도 2에 대한 b-b 단면도이다.FIG. 7 is a-a sectional view of FIG. 2, and FIG. 8 is a b-b sectional view of FIG. 2.

도면을 참조하여 설명하면, 구동력을 전달하는 회전축(370)의 하단분에 구동력 암(72)이 배치되면 일정거리 이격된 상단부에는 보조 암(74)이 배치된다. 이는, 하부핸드와 상부핸드가 동시에 구동되는 것을 방지하기 위함이다. 또한, 회전축(370)으로부터 구동력 암(72)과 보조 암(74)을 복층으로 배치시킴으로써 구동시에 발생되는 암(70)의 흔들림 및 처짐을 방치한다. 더욱이 구동력 암(72)과 보조 암(74)을 서로 복층으로 배치시킴으로써 동일한 부품을 사용하여 제품의 생산 원가를 줄일 수 있다. 또한, 동일한 기구적 특징을 상부핸드(50)/하부핸드(60)을 동일조건으로 부여하여 정밀제어를 할 수 있다.Referring to FIG. 5, when the driving force arm 72 is disposed at the lower end of the rotary shaft 370 for transmitting a driving force, an auxiliary arm 74 is disposed at an upper end spaced apart by a certain distance. This is to prevent the lower hand and the upper hand from being simultaneously driven. Further, by disposing the driving force arm 72 and the auxiliary arm 74 from the rotating shaft 370 in a multi-layered structure, the arm 70 which is generated at the time of driving can be prevented from swinging and sagging. Further, by disposing the driving force arm 72 and the auxiliary arm 74 in a mutually different layer, the production cost of the product can be reduced by using the same parts. In addition, the same mechanical features can be precisely controlled by applying the upper hand 50 / the lower hand 60 under the same conditions.

이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore to be understood that the embodiments described above are illustrative and not restrictive in every respect and that the scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing description, And all changes or modifications derived from equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.

1: 이송 진공로봇
10: 하부 몸체부
110: 재 1 구동장치
20: 안내부
210: 제2 구동장치는 220: 프레임부 230:제1 회전부재 240: 구동력 전달축 30:　상부 몸체부
310: 제3 구동장치 320: 제1 회전조인트 330: 상부덮개 350: 회전프레임 370: 회전축
50: 상부핸드
60: 하부핸드
70 암
72: 구동력 암 74: 보조 암
711: 제1 링크부재 712: 구동조인트부재 713: 제2 링크부재 714: 베어링조인트부재 715: 제3 링크부재 717: 제4 링크부재
80: 진공챔버1: Feed vacuum robot
10: Lower body part
110:
20:
210: second drive device 220: frame portion 230: first rotating member 240: driving force transmission shaft 30: upper body portion
310: third driving device 320: first rotating joint 330: upper cover 350: rotating frame 370: rotating shaft
50: upper hand
60: lower hand
70 cancer
72: driving force arm 74: auxiliary arm
711: first link member 712: drive joint member 713: second link member 714: bearing joint member 715: third link member 717: fourth link member
80: Vacuum chamber

Claims (11)

이송 진공로봇으로서,
가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치(110)가 구비된 하부 몸체부(10);
상기 하부 몸체부의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치를 구비하는 안내부(20);
내부가 중공으로 형성되고 상기 제2 구동장치(210)의 회전력으로 회전하는 회전프레임(350)와 상기 회전프레임(350) 내부에 다수개가 배치되는 제3 구동장치(310)와 상기 회전프레임(350)의 상단부에 배치되고 상기 제3 구동장치(310)와 연결되면서 챔버내부로 이물질의 주입을 방지 하는 상부덮개(330)를 구비하는 상부 몸체부(30);
상기 제3 구동장치(310)와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암(72)과 상기 구동력 암(72)으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암(74)을 구비하며, 진공상태를 유지하는 면적을 최소화하기 위하여 상기 제3 구동장치(310)와 연결되는 회전축(370)을 기준으로 구동력 암(72)과 보조 암(74)이 복층으로 배치되고 직선운동을 하는 암(70)을 포함하는 다수개의 핸드부를
포함하는 이송 진공로봇.
As a transfer vacuum robot,
A lower body portion 10 having a guide block for performing linear motion along the guide line and a first drive device 110 for transmitting power to the guide block;
A guide unit (20) located inside the lower body part and coupled to the guide block to rotate and move vertically;
A third driving device 310 in which a plurality of the rotating frames 350 are formed inside the rotating frame 350 and the rotating frame 350 is rotated by the rotation of the second driving device 210, And an upper cover (330) disposed at an upper end of the third driving unit (310) and connected to the third driving unit (310) to prevent the injection of foreign substances into the chamber.
The driving force arm 72 is connected to the third driving device 310 to receive a driving force and is linearly spaced apart from the driving force arm 72, and has an auxiliary arm 74 for minimizing rigidity and shaking. In order to minimize the area maintaining the vacuum state, the driving force arm 72 and the auxiliary arm 74 are arranged in a plurality of layers on the basis of the rotation shaft 370 connected to the third driving device 310 to perform a linear movement. A plurality of hand portions comprising an arm 70
Including a transport vacuum robot.
청구항 1에 있어서,
상기 구동력 암(72)은,
상기 제3 구동장치(310)와 연결되어 구동력을 전달하는 구동조인트부재(712)와
상기 구동조인트부재(712)와 체결되면서 바 형태의 일정길이를 갖는 제1 링크부재(711)와
상기 제1 링크부재(711)와 체결되고 상기 제1 링크부재(711)보다 길이가 짧은 제2 링크부재(713)를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
The method according to claim 1,
The driving force arm 72,
A driving joint member 712 connected to the third driving device 310 and transmitting a driving force;
The first link member 711 is fastened to the drive joint member 712 and has a predetermined length of a bar shape.
And a second link member (713) fastened to the first link member (711) and shorter in length than the first link member (711).
청구항 2에 있어서,
상기 보조 암(74)은,
상기 구동력 암(72)로부터 일정거리 이격되어 위치하는 제3 구동장치(310)와 연결되어 구동력을 전달하지 않는 베어링조인트부재(714)와
상기 베어링조인트부재(714)와 체결되면서 제1 링크부재(711)와 일정거리 이격되어 배치되는 제3 링크부재(715)와
상기 제3 링크부재(715)와 체결되고 상기 제3 링크부재(715)보다 길이가 짧으면서 상기 제2링크부재(713)와 일정거리 이격되어 배치되는 제4 링크부재(717)를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
The method according to claim 2,
The auxiliary arm 74,
A bearing joint member 714 connected to the third driving device 310 spaced apart from the driving force arm 72 and not transmitting a driving force;
A third link member 715 fastened to the bearing joint member 714 and spaced apart from the first link member 711 by a predetermined distance;
And a fourth link member 717 which is fastened to the third link member 715 and is shorter than the third link member 715 and is spaced apart from the second link member 713 by a predetermined distance. Characterized by a transfer vacuum robot.
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청구항 3에 있어서,
동일한 기구적 특징을 적용하여 정밀제어를 하기위하여 상기 제3 구동장치(310)와 연결되는 회전축(370)을 기준으로 암(70)이 서로 복층으로 배치되고 상기 암(70)의 위치가 서로 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
The method of claim 3,
In order to perform precise control by applying the same mechanical characteristics, the arms 70 are arranged in multiple layers with respect to the rotation shaft 370 connected to the third driving device 310 and the positions of the arms 70 are symmetrical with each other. Transfer vacuum robot, characterized in that formed as.
청구항 2, 청구항 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 링크부재(711)와 상기 제2 링크부재(713)는 기어로 연결되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
The method according to any one of claims 2, 3 and 5,
The first link member 711 and the second link member 713 is a transfer vacuum robot, characterized in that connected by a gear.
청구항 3에 있어서,
상기 회전프레임(350)과 상기 상부 덮개(330)는 서로 분리되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
The method of claim 3,
Wherein the rotary frame (350) and the upper lid (330) are separated from each other.
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