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KR101376761B1 - 진공 테이블 - Google Patents

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KR101376761B1
KR101376761B1 KR1020130091522A KR20130091522A KR101376761B1 KR 101376761 B1 KR101376761 B1 KR 101376761B1 KR 1020130091522 A KR1020130091522 A KR 1020130091522A KR 20130091522 A KR20130091522 A KR 20130091522A KR 101376761 B1 KR101376761 B1 KR 101376761B1
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vacuum
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flow
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이종기
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이종기
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Abstract

본 발명은 진공 테이블에 관한 것으로, 대상물이 놓일 수 있는 스테이지, 상기 스테이지를 지지하는 베이스, 상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로, 상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링와 탄성 부재, 그리고 상기 진공 유로에 배치되어 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재 를 포함하고, 상기 유로 단속 부재에 소정 압력이 가해지면 상기 유로 단속 부재는 상기 유로 실링과 접하여 상기 진공 유로를 차단할 수 있다. 이렇게 하면, 대상물에 가려지지 않은 스테이지 부분이 있거나 절단 가공 시 진공 유로가 대기압에 노출되더라도 대상물을 안정적이고 지속적으로 고정할 수 있다.

Description

진공 테이블{Vacuum table}
본 발명은 진공 테이블에 관한 것이다.
진공 테이블은 공작 기계에서 얇은 금속판, 비 금속판, 플라스틱 판 등의 소재들을 가공하기 위하여 이를 고정시키는 장치로 널리 쓰인다. 생산 자동화 설비 중 공정 이송장치에 설치되어 각종 가공물을 공정 이송하는 데에도 쓰인다.
기존의 진공 테이블들은 공작기계에서 쓰일 때 각종 소재들을 올려놓은 후 남은 구간들에서 누진 되지 않도록 밀폐시켜야 하는 번거로움이 있었다. 특히 소재들을 절단 가공하게 되면 절단 가공된 부위에서 발생하는 누진 현상 때문에 사실상 진공 테이블 위에서의 절단 가공은 회피되어 왔었다.
등록특허공보 제10-1117256호 (2012.02.09) 공개특허공보 제10-2012-0035852호 (2012.04.16)
본 발명의 실시예는 진공 테이블 위에 소재를 올려놓은 후 남은 구간에 별도의 밀폐 공정이 불필요하며 특히 절단 가공 후 절단된 부위에서 누진현상이 발생하지 않는 진공 테이블을 제공한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공 테이블은, 일면에 가공 대상물이 놓일 수 있는 스테이지, 상기 스테이지의 타면에 연결되어 있는 베이스, 상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로, 상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링과 탄성 부재, 그리고 상기 진공 유로에 배치되고 상기 탄성 부재 위에 놓여 있으며 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재를 포함하고, 상기 진공 유로는, 상기 탄성 부재가 위치하는 지지 유로, 상기 지지 유로와 연결되어 있고 상기 유로 단속 부재의 직경보다 큰 직경을 가지며 상기 유로 단속 부재의 중앙부가 위치하는 제1 유로, 상기 제1 유로와 연결되어 있고 상기 제1 유로보다 작은 직경을 가지는 제2 유로를 포함하며, 상기 제2 유로의 둘레에는 적어도 하나의 스플라인 홈이 형성되어 있고, 상기 유로 단속 부재가 상기 제1 유로와 상기 제2 유로 사이의 단턱에 밀착되어 상기 제2 유로를 막고 있어도 공기는 상기 스플라인 홈을 거쳐 상기 제1 유로로 유입될 수 있다.
상기 진공 유로는, 상기 스테이지에 형성된 스테이지 유로 및 상기 베이스에 형성된 베이스 유로를 포함할 수 있으며, 상기 스테이지 유로는 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 포함할 수 있고, 상기 베이스 유로는 상기 제1 유로와 연결되고 상기 유로 실링이 배치된 안착 유로 및 상기 안착 유로와 연결된 상기 지지 유로를 포함할 수 있으며, 상기 가공 대상물에 의해 상기 진공 유로가 가려지고 상기 진공 펌프가 동작하면 상기 유로 단속 부재는 상기 탄성 부재를 누르지 않고, 상기 가공 대상물이 놓이지 않아 상기 진공 유로가 외부로 노출되고 상기 진공 펌프가 동작하면 상기 유로 단속 부재는 대기압에 의해 상기 탄성 부재를 눌러 상기 유로 실링에 접하게 되어 상기 탄성 부재 방향으로 공기가 유입되지 않도록 차단할 수 있다.
상기 스테이지 유로는, 상기 제1 유로, 상기 제2 유로 및 제3 유로를 포함할 수 있으며, 상기 제1 유로는 상기 스테이지 타면에서 일면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있고, 상기 제3 유로는 상기 스테이지의 일면에서 타면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있으며, 상기 제2 유로는 상기 제1 유로와 상기 제3 유로를 연결하고 상기 제3 유로의 직경이 상기 제2 유로의 직경보다 크게 형성될 수 있다.
상기 안착 유로의 직경은 상기 제1 유로의 직경보다 크게 형성될 수 있으며, 상기 유로 실링의 일면은 상기 스테이지의 타면에 접할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 테이블은, 가공 대상물이 놓일 수 있는 스테이지, 상기 스테이지를 지지하는 베이스, 상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로, 상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링과 탄성 부재, 그리고 상기 진공 유로에 배치되어 있고 상기 탄성 부재 위에 놓여 있으며 일면에 가해지는 대기압 유무에 의해 상기 탄성 부재를 눌러 상기 유로 실링에 접하거나 상기 유로 실링과 이격됨에 따라 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재를 포함하고, 상기 진공 유로는 상기 스테이지에 형성된 스테이지 유로 및 상기 베이스에 형성되어 있고 상기 스테이지 유로와 연결되어 있는 베이스 유로를 포함하며, 상기 베이스 유로는 상기 베이스를 관통한 수직 유로, 상기 수직 유로와 떨어져 있고 진공 펌프가 연결되어 있는 결합 유로 및 상기 수직 유로와 상기 결합 유로를 연결하는 수평 유로를 포함한다.
상기 수직 유로는, 상기 유로 실링이 위치하는 안착 유로, 상기 안착 유로와 연결되어 있고 상기 탄성 부재가 위치하는 지지 유로, 그리고 상기 지지 유로와 상기 수평 유로를 연결하는 연결 유로를 포함할 수 있고, 상기 지지 유로의 직경은 상기 연결 유로의 직경보다 크게 형성될 수 있으며, 상기 탄성 부재는 상기 지지 유로와 상기 연결 유로 사이에 형성된 단턱에 놓여 있을 수 있다.
상기 진공 테이블은 상기 베이스에 분리 가능하게 결합되어 있고 상기 진공 유로와 연결된 회수 챔버가 형성된 회수 바디를 더 포함할 수 있으며, 상기 회수 바디에는 상기 회수 챔버와 연결되어 있고 역류 방지 밸브가 결합된 배수홀이 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 테이블은, 가공 대상물이 놓일 수 있는 스테이지, 상기 스테이지에 연결되어 있는 베이스, 상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로, 상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링과 탄성 부재, 상기 진공 유로에 배치되고 상기 탄성 부재 위에 놓여 있으며 상기 유로 실링에 접하거나 이격됨에 따라 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재, 상기 베이스에 연결되어 있는 회수 바디, 상기 스테이지와 상기 베이스를 분리 가능하게 결합하는 제1 결합 부재, 상기 베이스와 상기 회수 바디를 분리 가능하게 결합하는 제2 결합 부재, 그리고 상기 제2 결합 부재에 결합되고 상기 베이스와 상기 회수 바디 사이에 위치한 결합부 실링을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 테이블은, 가공 대상물이 놓이는 안착부, 상가 안착부에 형성되어 있는 진공 유로 및 상기 진공 유로에 설치되어 있는 유로 단속 부재를 포함하며, 상기 안착부의 일부분에 상기 가공 대상물이 놓이고 진공 펌프가 동작하면 상기 가공 대상물에 가려진 진공 유로는 진공상태가 되고 상기 가공 대상물에 가려지지 않은 진공 유로는 상기 유로 단속 부재에 의해 차단되어 공기의 유입을 막을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 유로 단속 부재와 유로 실링에 의해 공기 흐름이 차단될 수 있는 복수의 진공 유로가 개별적으로 작동한다. 따라서 복수의 진공 유로 중 일부 진공 유로에만 가공물 소재가 위치하여도 가공물 소재는 고정될 수 있다. 스테이지 위에 가공물 소재를 올리고 진공 펌프를 작동시키면 가공물 소재가 위치한 부분의 진공 유로들은 가공물 소재에 의해 대기가 차단되어 진공상태에 이르게 되며 가공물 소재는 스테이지 면에 압착 고정된다. 한편 가공물 소재가 위치하지 않은 부분에서는 유로 단속 부재가 대기압에 의해 하강하여 유로 실링에 압착되므로 해당 진공 유로들이 폐쇄되는 바, 복수의 진공 유로는 지속적인 진공 상태를 유지할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따르면, 스테이지 위에 고정된 가공물 소재를 절단 가공하면 절단 가공된 부위에 해당하는 진공 유로는 대기압에 노출되는데 이때 대기압에 의해 유로 단속 부재가 하강하여 유로 실링과 맞닿게 되므로 해당 진공 유로는 폐쇄된다. 즉 절단 가공으로 대기압에 노출된 즉시 진공 유로는 폐쇄되므로 다른 진공 유로들이 지속적으로 진공 상태를 유지할 수 있게 되어 가공물 소재는 스테이지 면에 압착 고정된 상태를 유지하게 된다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 테이블을 나타낸 단면도.
도 2는 도 1에 도시한 진공 테이블 분해 단면도.
도 3은 도 1에 도시한 진공 테이블 일 부분을 나타낸 단면 사시도.
도 4는 도 2에 도시한 스테이지 평면도.
도 5는 도 2에 도시한 베이스 평면도.
도 6은 도 5에 도시한 베이스 저면도.
도 7은 도 2에 도시한 회수 바디 평면도.
도 8은 도 1에 도시한 A 부분을 확대하여 유로 단속 부재의 작동 상태를 나타낸 단면도.
도 9는 도 8에 도시한 B 부분 확대도.
도 10은 도 8에 도시한 C 부분 확대도.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 테이블에 대하여 도 1 내지 도 3을 참고하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 테이블을 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시한 진공 테이블 분해 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시한 진공 테이블 일 부분을 나타낸 단면 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 실시예에 따른 진공 테이블(1)은 가공 장치, 이송 장치 따위의 장치에 설치되어 대상물이 올려지는 테이블 역할을 한다. 진공 테이블(1)은 대상물이 움직이지 않도록 고정한다. 여기서 대상물은 가공물, 반도체의 웨이퍼, LCD 패널, PDP 패널, 태양전지 등일 수 있다.
진공 테이블(1)은, 안착부, 진공 유로, 유로 실링(40), 유로 단속 부재(50) 및 탄성 부재(60)를 포함한다. 안착부는 서로 분리 가능한 스테이지(10) 및 베이스(20)를 포함하며, 진공 유로는 스테이지 유로(11) 및 베이스 유로(21)를 포함한다. 안착부는 탈착 가능한 회수 바디(30)를 더 포함할 수도 있다. 또한 안착부의 구성들은 일체로 형성되거나 더욱 세분화된 구성들로 이뤄질 수도 있다.
스테이지(10)는 기설정된 넓이로 형성되어 있다. 스테이지(10)의 상면에는 가공 대상물이 놓이는 고정면(10a)이 형성된다. 고정면(10a)은 매끄럽게 다듬질되어 평탄하게 형성되어 있다. 고정면(10a)이 매끄럽게 형성되어 대상물과 스테이지(10) 간의 마찰이 최소화될 수 있다.
스테이지(10)의 내부에는 스테이지 유로(11)가 상하 관통되어 있다. 이때 스테이지 유로(11)는 도 4에서 도시한 바와 같이 스테이지(10)의 넓이에 따라 다수 개가 형성될 수 있다. 스테이지 유로(11)가 다수 개로 형성될 경우 스테이지 유로(11)들은 동일한 간격으로 떨어져 형성될 수 있다.
한편, 스테이지(10)의 상면에 위치하는 스테이지 유로(11)에는 오링(도시하지 않음) 및 오링이 안착되는 오링홈(도시하지 않음)이 형성될 수 있다. 오링은 가공 대상물(100)이 스테이지(10)의 상면에 안착되었을 때 스테이지 유로(11)로 외부 공기가 유입되지 않도록 한다.
스테이지 유로(11)는 제1 유로(112), 제2 유로(113) 및 제3 유로(111)를 포함한다.
제3 유로(111)는 스테이지(10)의 고정면(10a)인 상면에서 저면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있다. 제1 유로(112)는 제3 유로(111)와 동일 선상에 위치하여, 스테이지(10)의 저면에서 상면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있다. 제2 유로(113)는 스테이지(10)의 내부에 형성되어 제3 유로(111)와 제1 유로(112)를 연결한다.
제2 유로(113)의 직경은 제3 유로(111) 및 제1 유로(112)의 직경보다 작다. 또한 제1 유로(112)의 직경은 제3 유로(111)의 직경 보다 작다. 제1 내지 제3 유로(112, 113, 111)들의 직경 차이에 의해 스테이지 유로(11)에는 단턱(115)이 형성될 수 있다.
제2 유로(113)의 둘레에는 상하 길이 방향을 따라 스플라인 홈(114)이 형성되어 있다. 스플라인 홈(114)은 제2 유로(113)의 둘레를 따라 간격을 두고 형성되어 있다. 제2 유로(113)가 막힐 경우 제3 유로(111)와 제1 유로(112)는 스플라인 홈(114)을 통해 연결된다.
베이스(20)는 스테이지(10)를 지지한다. 베이스(20)는 스테이지(10)와 동일한 넓이로 형성될 수 있다. 베이스(20)와 스테이지(10)는 제1 결합 부재(71)를 통해 분리 가능하게 결합될 수 있다. 제1 결합 부재(71)는 볼트이나 분리 가능한 체결 부재라면 어느 것이라도 무방하다. 제1 결합 부재(71)는 스테이지(10)와 베이스(20)의 내부에 위치하므로 외부로 노출되지 않는다.
베이스(20)의 내부에는 베이스 유로(21)가 형성되어 있다. 베이스 유로(21)는 스테이지 유로(11)와 연결되어 있다. 따라서 스테이지 유로(11)와 마찬가지로 베이스 유로(21)는 베이스(20)의 넓이에 따라 다수 개가 형성된다(도 5 참고).
베이스 유로(21)는 수직 유로(211), 결합 유로(212), 그리고 수평 유로(213)를 포함한다.
수직 유로(211)는 베이스(20)의 내부에서 상하 방향으로 관통되어 있다. 수직 유로(211)는 안착 유로(211a), 지지 유로(211b), 그리고 연결 유로(211c)를 포함한다.
안착 유로(211a)는 베이스(20)의 상면에서 저면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있다. 안착 유로(211a)는 제1 유로(112)와 연결되어 있다. 안착 유로(211a)의 직경은 제1 유로(112)의 직경 보다 크다. 이에 따라 안착 유로(211a)의 바닥면과 스테이지(10)의 저면 즉 제1 유로(112)의 주변 부분이 서로 중첩된다.
지지 유로(211b)는 베이스(20) 내부에 형성되어 안착 유로(211a)와 연결되어 있다. 지지 유로(211b)는 안착 유로(211a)에서 저면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있다. 지지 유로(211b)의 직경은 안착 유로(211a)의 직경보다 작다.
연결 유로(211c)는 베이스(20)의 내부에 형성되어 지지 유로(211b)와 연결되어 있다. 연결 유로(211c)는 지지 유로(211b)에서 저면 방향으로 형성되어 있다. 연결 유로(211c)는 지지 유로(211b)의 직경 보다 작다. 이에 따라 연결 유로(211c)와 지지 유로(211b) 사이에 단턱(211d)이 형성된다.
결합 유로(212)는 베이스(20)의 일측에 형성되어 있다. 결합 유로(212)는 베이스(20)의 저면에서 상면 방향으로 기설정된 깊이만큼 형성되어 있다. 결합 유로(212)에는 베이스(20)의 외측 방향으로 관통된 결합홀(212a)이 연결되어 있다. 결합홀(212a)에는 진공 펌프가 연결될 수 있다.
수평 유로(213)는 베이스(20)의 저면에서 상면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있으며, 연결 유로(211c)와 결합 유로(212)를 연결한다. 도 6에서 도시한 바와 같이 수평 유로(213)는 복수로 형성된 수직 유로(211)들을 연결하는 바 모든 수직 유로(211)가 수평 유로(213)를 통하여 결합 유로(212)와 연결될 수 있다.
위에서 설명한 베이스 유로(21)에 의해 진공 펌프는 스테이지 유로(11)와 연결될 수 있다. 이에 따라 고정면(10a)과 연결된 제3 유로(111)의 주변 공기는 베이스 유로(21)를 통하여 진공 펌프에 의해 배출될 수 있다. 제3 유로(111) 위에 가공 대상물이 놓이면 베이스 유로(21)와 스테이지 유로(11)에 잔류하는 공기는 진공 펌프에 의해 배출되므로 베이스 유로(21)와 스테이지 유로(11)는 진공 상태에 이르게 된다.
회수 바디(30)는 베이스(20)를 지지한다. 회수 바디(30)와 베이스(20)는 제2 결합 부재(72)에 의해 분리 가능하게 결합될 수 있다. 제2 결합 부재(72)는 볼트이나 분리 가능한 체결 부재라면 어느 것이라도 무방하다. 제2 결합 부재(72)는 베이스(20)의 내부에서 회수 바디(30)에 결합되어 있는 바 외부로 노출되지 않는다.
제2 결합 부재(72)가 베이스(20)의 내부에서 회수 바디(30)에 결합될 때 수평 유로(213)를 관통하게 된다. 이때 제2 결합 부재(72)가 관통하는 수평 유로(213) 부분에는 메움 돌기(213a)가 형성되어 있다. 메움 돌기(213a)는 회수 바디(30)의 상면에 접한다.
제2 결합 부재(72)에는 결합부 실링(72a)이 결합되어 있다. 결합부 실링(72a)은 회수 바디(30)와 메움 돌기(213a) 사이에 위치하며, 베이스(20)와 회수 바디(30)가 결합될 때 메움 돌기(213a)에 의해 눌릴 수 있다. 결합부 실링(72a)은 베이스(20)와 스테이지(10) 사이 틈새를 통하여 제2 결합 부재(72)와 베이스(20) 사이로 유입된 공기가 베이스(20)와 회수 바디(30) 사이로 유입되는 것을 차단한다. 즉, 결합부 실링(72a)은 제2 결합 부재(72)와 베이스(20) 사이로 유입된 공기가 수평 유로(213)로 유입되는 것을 차단한다.
회수 바디(30)의 일측에는 도 7에서 도시한 바와 같이 회수 챔버(31)가 형성되어 있다. 회수 챔버(31)는 수평 유로(213)와 연결되어 있다. 또한, 회수 챔버(31)는 회수 바디(30)의 상면에서 저면 방향으로 기설정된 깊이만큼 형성되어 있다. 회수 챔버(31)에는 제3 유로(111)의 주변부를 통해 스테이지 유로(11), 베이스 유로(21)로 흐른 절삭유 따위의 오일이 유입될 수 있다. 오일이 모아질 수 있도록 회수 챔버(31)의 바닥면은 일측 또는 중심을 향하여 경사질 수 있다.
그리고 회수 바디(30)의 측면에는 회수 챔버(31)와 연결된 배수홀(311)이 형성되어 있다. 배수홀(311)을 통해 회수 챔버(31)로 유입된 오일이 배수될 수 있다. 배수홀(311)에는 역류 방지 밸브(312)가 결합되어 있다. 역류 방지 밸브(312)는 진공 펌프 작동 시 외부 공기 따위가 배수홀(311)을 통해 회수 챔버(31)로 유입되는 것을 방지한다. 회수 챔버(31)에 모인 절삭유는 대상물의 가공이 끝난 후 진공이 해제되면 역류 방지 밸브(312)가 열리게 되어 배출될 수 있다.
회수 바디(30)와 베이스(20)의 사이에는 층간 실링(33)이 배치되어 있다. 층간 실링(33)은 수평 유로(213) 외곽을 따라 배치되어 있다. 회수 바디(30)의 상면에는 층간 실링(33)을 고정하기 위한 고정 홀(32)이 형성될 수 있다. 층간 실링(33)은 고정 홀(32)에 삽입되어 회수 바디(30) 상부로 돌출되고, 돌출된 층간 실링(33) 부분은 회수 바디(30)와 베이스(20)가 결합될 때 눌릴 수 있다. 층간 실링(33)에 의해 베이스(20)와 회수 바디(30) 사이 틈새를 통해 공기 따위가 수평 유로(213)로 유입되는 것이 차단된다.
위에서 설명한 회수 바디(30)는 생략될 수 있다. 회수 바디(30)가 생략된 경우 베이스(20)는 가공 장치, 이송 장치의 등의 일면에 장착될 수 있다. 이 경우 가공 장치, 이송 장치 등이 회수 바디(30)의 역할을 할 수 있다. 가공 장치나 이송 장치에 회수 챔버, 배수홀, 그리고 역류 방지 밸브 등 형성될 수도 있으나 생략될 수도 있다.
유로 실링(40)은 안착 유로(211a)에 배치되어 있다. 유로 실링(40)은 안착 유로(211a)와 대응되는 모양으로 형성되어 있으며, 내부가 상하 관통되어 있다. 유로 실링(40)의 두께는 안착 유로(211a)의 깊이보다 크게 형성된다. 이 경우 안착 유로(211a)에 놓인 유로 실링(40)은 베이스(20) 상면으로 돌출되고, 돌출된 유로 실링(40)은 베이스(20)와 스테이지(10)가 결합될 때 스테이지(10)의 하면에 의해 가압된다. 이에 따라 진공 펌프 작동 시 외부 공기가 베이스(20)와 스테이지(10) 사이를 통해 진공 유로로 유입되는 것이 차단된다.
유로 단속 부재(50)는 제1 유로(112)와 안착 유로(211a)에 걸쳐 배치되어 있다. 유로 단속 부재(50)는 구 형태로 형성된다. 유로 단속 부재(50)의 직경은 제1 유로(112)의 직경보다는 작고, 제2 유로(113)의 직경보다는 크다. 이러한 유로 단속 부재(50)는 제1 유로(112)와 안착 유로(211a) 범위 내에서 승강할 수 있다. 유로 단속 부재(50)의 직경이 제1 유로(112)의 직경보다 작으므로 유로 단속 부재(50)의 승강은 원활하게 이루어질 수 있다.
유로 단속 부재(50)는 유로 실링(40)에 밀착되거나, 제2 유로(113)와 제1 유로(112)의 직경의 차이로 형성된 단턱(115)에 밀착될 수 있다. 유로 단속 부재(50)가 유로 실링(40)에 밀착되면 제2 유로(113)와 제1 유로(112)는 연결될 수 있다. 그러나 유로 단속 부재(50)가 유로 실링(40)에 밀착되면서 제1 유로(112)와 베이스 유로(21)의 연결은 차단된다. 이에 따라 공기가 베이스 유로(21)로 유입되지 않는다.
그리고 유로 단속 부재(50)가 단턱(115)에 밀착되면 제2 유로(113)와 제1 유로(112)의 직접적인 연결은 차단되나 스플라인 홈(114)에 의해 제2 유로(113), 제1 유로(112) 및 베이스 유로(21)는 연결될 수 있다. 이에 따라 제3 유로(111)의 주변부 공기는 베이스 유로(21)로 유입될 수 있다.
탄성 부재(60)는 지지 유로(211b)에 위치하며 단턱(211d)에 걸려 있다. 탄성 부재(60)는 유로 단속 부재(50)가 단턱(115)에 밀착될 수 있도록 탄성력을 부여한다. 이러한 탄성 부재(60)는 코일 스프링 형태로 형성되어 있다. 유로 단속 부재(50)가 대기압에 의해 가압되면 탄성 부재(60)는 압축될 수 있다.
다음으로, 도 1 및 도 8 내지 도 10을 참고하여, 위에서 설명한 진공 테이블의 작용에 대하여 설명한다.
가공 장치, 이송 장치 등에 진공 테이블(1)이 장착되고, 진공 테이블(1)의 결합홀(212a)에 진공 펌프가 연결된 상태에서 가공 대상물(100)이 스테이지(10)의 상면에 놓여진다. 이때 가공 대상물(100)은 그 넓이에 따라 진공 유로들을 모두 가리거나, 일부분만 가릴 수도 있다. 본 발명의 실시예에서는 대상물(100)이 일부 진공 유로만을 가리게 되는 경우를 설명한다. 가공 대상물(100)에 의해 일부 진공 유로들이 가려진 채로 진공 펌프가 작동되면 대상물(100)에 의해 가려진 진공 유로에 위치한 유로 단속 부재(50)와 가려지지 않은 진공 유로에 위치한 유로 단속 부재(50)의 작동 상태가 달라진다.
도 8의 좌측 부분과 도 10을 참고하여 가공 대상물(100)에 의해 가려진 진공 유로에 위치한 유로 단속 부재(50)에 대하여 설명한다.
가공 대상물(100)에 의해 일부 진공 유로들이 가려진 채로 진공 펌프가 작동하면 해당 진공 유로들은 대상물에 의해 대기압이 차단되어 있으므로 해당 진공 유로들에 위치한 유로 단속 부재(50)들이 대기압의 영향을 받지 않는다. 따라서 유로 단속 부재(50)는 탄성 부재(60)의 탄성에 의해 단턱(115)에 밀착된 채로 있게 되며 동시에 해당 진공 유로는 진공 상태에 이르게 된다. 즉 제3 유로(111)는 스플라인 홈(114), 그리고 유로 단속 부재(50)와 유로 실링(40) 사이 공간을 통해 베이스 유로(21)와 연결되는 바, 진공 유로 전체가 진공 상태를 유지할 수 있게 된다. 따라서 가공 대상물(100)은 스테이지 위에 압착되어 있게 된다.
다음으로, 도 8의 우측 부분과 도 9를 참고하여 가공 대상물(100)에 의해 가려지지 않은 진공 유로에 위치한 유로 단속 부재(50)에 대하여 설명한다.
가공 대상물(100)에 의해 가려지지 않은 진공 유로(11)에는 진공 펌프 작동 시 대기압이 작용하므로 해당 진공 유로에 위치한 유로 단속 부재들(50)이 대기압에 의해 하강하여 유로 실링에 압착되며, 이로써 해당 진공 유로들이 대기압과 차단되어 진공상태를 유지할 수 있다.
다시 설명하면, 가공 대상물(100)에 의해 가려지지 않은 스테이지 유로(11)의 제3 유로(111)에는 대기압이 작용한다. 유로 단속 부재(50)는 대기압에 의해 유로 실링(40) 방향으로 하강한다. 유로 실링(40) 방향으로 하강한 유로 단속 부재(50)는 단턱(115)에서 떨어지고 탄성 부재(60)를 압축하여 유로 실링(40)에 접하게 된다. 따라서 베이스 유로(21)가 폐쇄되어 대기압의 영향을 받지 않게 된다.
마찬가지로, 압착 고정된 대상물(100)을 절단 가공하게 되면 절단 가공된 부위와 일치하는 위치의 진공 유로들이 대기압에 노출되는데, 동시에 대기압의 작용으로 해당 진공 유로들에 위치한 유로 단속 부재들(50)이 하강하여 유로 실링(40)에 압착되어 대기압을 차단하므로 해당 진공 유로들이 진공 상태를 유지하게 된다.
요컨대, 가공 대상물(100)에 의해 가려진 진공 유로는 진공펌프의 작동으로 진공 상태를 유지하고, 가공 대상물(100)에 의해 가려지지 않거나 절단 가공에 의해 대기압에 노출된 진공 유로는 유로 단속 부재(50)에 의해 차단되어 진공 상태를 유지할 수 있게 되는 바, 가공 대상물(100)이 어떤 환경에서도 안정적으로 고정될 수 있다.
그리고, 도 1을 다시 참고하면, 대상물(100) 가공 중 진공 유로를 통하여 절삭유 따위가 유입될 수 있는데, 유입된 절삭유는 수평 유로(213) 아래에 위치한 회수 바디(30)에 형성되어 있는 회수 챔버(31)에 모이게 된다. 모인 절삭유는 가공이 끝난 후 진공이 해제되면 역류 방지 밸브(312)가 열리게 되어 배출된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 진공 테이블 10: 스테이지
10a: 흡착 면 11: 스테이지 유로
111: 제3 유로 112: 제1 유로
113: 제2 유로 114: 스플라인 홈
115: 단턱 20: 베이스
21: 베이스 유로 211: 수직 유로
211a: 안착 유로 211b: 지지 유로
211c: 연결 유로 211d: 단턱
212: 결합 유로 212a: 결합홀
213: 수평 유로 213a: 메움 돌기
30: 회수 바디 31: 회수 챔버
311: 배수홀 312: 역류 방지 밸브
32: 고정 홀 33: 층간 실링
40: 유로 실링 50: 유로 단속 부재
60: 탄성 부재 71: 제1 결합 부재
72: 제2 결합 부재 72a: 결합부 실링
100: 가공 대상물

Claims (9)

  1. 일면에 가공 대상물이 놓일 수 있는 스테이지,
    상기 스테이지의 타면에 연결되어 있는 베이스,
    상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로,
    상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링과 탄성 부재, 그리고
    상기 진공 유로에 배치되고 상기 탄성 부재 위에 놓여 있으며 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재
    를 포함하고,
    상기 진공 유로는, 상기 탄성 부재가 위치하는 지지 유로, 상기 지지 유로와 연결되어 있고 상기 유로 단속 부재의 직경보다 큰 직경을 가지며 상기 유로 단속 부재의 중앙부가 위치하는 제1 유로, 상기 제1 유로와 연결되어 있고 상기 제1 유로보다 작은 직경을 가지는 제2 유로를 포함하며,
    상기 제2 유로의 둘레에는 적어도 하나의 스플라인 홈이 형성되어 있고, 상기 유로 단속 부재가 상기 제1 유로와 상기 제2 유로 사이의 단턱에 밀착되어 상기 제2 유로를 막고 있어도 공기는 상기 스플라인 홈을 거쳐 상기 제1 유로로 유입될 수 있는
    진공 테이블.
  2. 제1항에서,
    상기 진공 유로는, 상기 스테이지에 형성된 스테이지 유로 및 상기 베이스에 형성된 베이스 유로를 포함하며,
    상기 스테이지 유로는 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 포함하고,
    상기 베이스 유로는 상기 제1 유로와 연결되고 상기 유로 실링이 배치된 안착 유로 및 상기 안착 유로와 연결된 상기 지지 유로를 포함하며,
    상기 가공 대상물에 의해 상기 진공 유로가 가려지고 상기 진공 펌프가 동작하면, 상기 유로 단속 부재는 상기 탄성 부재를 누르지 않고,
    상기 가공 대상물이 놓이지 않아 상기 진공 유로가 외부로 노출되고 상기 진공 펌프가 동작하면, 상기 유로 단속 부재는 대기압에 의해 상기 탄성 부재를 눌러 상기 유로 실링에 접하게 되어 상기 탄성 부재 방향으로 공기가 유입되지 않도록 차단하는
    진공 테이블.
  3. 제2항에서,
    상기 스테이지 유로는 상기 제1 유로, 상기 제2 유로 및 제3 유로를 포함하며, 상기 제1 유로는 상기 스테이지 타면에서 일면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있고, 상기 제3 유로는 상기 스테이지의 일면에서 타면 방향으로 기설정된 깊이로 형성되어 있으며, 상기 제2 유로는 상기 제1 유로와 상기 제3 유로를 연결하고 상기 제3 유로의 직경이 상기 제2 유로의 직경보다 큰 진공 테이블.
  4. 제2항에서,
    상기 안착 유로의 직경은 상기 제1 유로의 직경보다 크며, 상기 유로 실링의 일면은 상기 스테이지의 타면에 접해 있는 진공 테이블.
  5. 가공 대상물이 놓일 수 있는 스테이지,
    상기 스테이지를 지지하는 베이스,
    상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로,
    상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링과 탄성 부재, 그리고
    상기 진공 유로에 배치되어 있고, 상기 탄성 부재 위에 놓여 있으며, 일면에 가해지는 대기압 유무에 의해 상기 탄성 부재를 눌러 상기 유로 실링에 접하거나 상기 유로 실링과 이격됨에 따라 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재
    를 포함하고,
    상기 진공 유로는, 상기 스테이지에 형성된 스테이지 유로 및 상기 베이스에 형성되어 있고 상기 스테이지 유로와 연결되어 있는 베이스 유로를 포함하며,
    상기 베이스 유로는, 상기 베이스를 관통한 수직 유로, 상기 수직 유로와 떨어져 있고 진공 펌프가 연결되어 있는 결합 유로 및 상기 수직 유로와 상기 결합 유로를 연결하는 수평 유로를 포함하는
    진공 테이블.
  6. 제5항에서,
    상기 수직 유로는
    상기 유로 실링이 위치하는 안착 유로,
    상기 안착 유로와 연결되어 있고 상기 탄성 부재가 위치하는 지지 유로, 그리고
    상기 지지 유로와 상기 수평 유로를 연결하는 연결 유로
    를 포함하고,
    상기 지지 유로의 직경은 상기 연결 유로의 직경보다 크며, 상기 탄성 부재는 상기 지지 유로와 상기 연결 유로 사이에 형성된 단턱에 놓여 있는
    진공 테이블.
  7. 제1항 또는 제5항에서,
    상기 베이스에 분리 가능하게 결합되어 있고, 상기 진공 유로와 연결된 회수 챔버가 형성된 회수 바디를 더 포함하며, 상기 회수 바디에는 상기 회수 챔버와 연결되어 있고 역류 방지 밸브가 결합된 배수홀이 형성된 진공 테이블.
  8. 가공 대상물이 놓일 수 있는 스테이지,
    상기 스테이지에 연결되어 있는 베이스,
    상기 스테이지 및 상기 베이스를 관통하며 진공 펌프가 연결될 수 있는 진공 유로,
    상기 진공 유로에 배치되어 있는 유로 실링과 탄성 부재,
    상기 진공 유로에 배치되고 상기 탄성 부재 위에 놓여 있으며 상기 유로 실링에 접하거나 이격됨에 따라 상기 진공 유로를 단속할 수 있는 유로 단속 부재,
    상기 베이스에 연결되어 있는 회수 바디,
    상기 스테이지와 상기 베이스를 분리 가능하게 결합하는 제1 결합 부재,
    상기 베이스와 상기 회수 바디를 분리 가능하게 결합하는 제2 결합 부재, 그리고
    상기 제2 결합 부재에 결합되고 상기 베이스와 상기 회수 바디 사이에 위치한 결합부 실링
    을 포함하는 진공 테이블.

  9. 삭제
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