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KR101331942B1 - 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

표시 장치 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR101331942B1
KR101331942B1 KR1020070043039A KR20070043039A KR101331942B1 KR 101331942 B1 KR101331942 B1 KR 101331942B1 KR 1020070043039 A KR1020070043039 A KR 1020070043039A KR 20070043039 A KR20070043039 A KR 20070043039A KR 101331942 B1 KR101331942 B1 KR 101331942B1
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 표시 장치는 제1 주 표시 기판 및 상기 제1 주 표시 기판과 겹치도록 대향 배치된 제2 주 표시 기판을 포함한 주 표시 패널과, 상기 제2 주 표시 기판과 대향 배치된 제1 부 표시 기판 및 상기 제1 부 표시 기판과 겹치도록 대향 배치된 제2 부 표시 기판을 포함한 부 표시 패널을 포함하며, 상기 제1 주 표시 기판은 제1 정렬 마크 및 제2 정렬 마크를 포함하고, 상기 제2 주 표시 기판은 상기 제2 정렬 마크에 대응하는 제3 정렬 마크를 포함하며, 상기 제1 부 표시 기판은 제 4 정렬 마크를 포함하고, 상기 제2 부 표시 기판은 상기 제4정렬 마크에 대응하는 제5 정렬 마크 및 상기 제1 정렬 마크에 대응하는 제6 정렬 마크를 포함한다.

Description

표시 장치 및 그 제조 방법 {DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING FOR THE SAME}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1의 표시 장치의 평면도이다.
도 3은 도 1의 제1 정렬 마크를 확대 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 제6 정렬 마크를 확대 도시한 사시도이다.
도 5는 도 1의 표시 장치의 부분 확대 단면도이다.
도 6은 도 1의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 8 내지 도 11는 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 나타낸 도면이다.
도 12 내지 도 15은 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 나타낸 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 제1 주 표시 기판 101 : 박막 트랜지스터
110 : 제1 주 기판 부재 121 : 게이트 라인
124 : 게이트 전극 130 : 게이트 절연막
140 : 반도체층 161 : 데이터 라인
165 : 소스 전극 166 : 드레인 전극
170 : 보호막 171 : 접촉 구멍
180 : 화소 전극 200 : 제2 주 표시 기판
210 : 제2 주 기판 부재 220 : 제1 차광막
230 : 컬러 필터 250 : 평탄화막
280 : 공통 전극 300 : 액정층
350 : 실런트 410 : 제1 편광판
420 : 제2 편광판 430 : 제3 편광판
501 : 제1 정렬 마크 502 : 제2 정렬 마크
503 : 제3 정렬 마크 504 : 제4 정렬 마크
505 : 제5 정렬 마크 506 : 제6 정렬 마크
600 : 제1 부 표시 기판 700 : 제2 부 표시 기판
910 : 주 표시 패널 920 : 부 표시 패널
본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 겹쳐진 한 쌍의 표시 패널을 구비한 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치에는 여러 종류가 있다. 그 중에서 급속하게 발전하고 있는 반도 체 기술을 중심으로 소형화 및 경량화 되면서 성능이 더욱 향상된 액정 표시(liquid crystal display, LCD) 패널을 구비한 표시 장치가 대표적인 표시 장치로 자리 잡고 있다.
액정 표시 패널을 구비한 표시 장치는 소형화, 경량화 및 저전력 소비화 등의 이점을 가지고 있어서 기존의 브라운관(cathode ray tube, CRT)의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로서 점차 주목 받아왔다. 현재는 표시 장치를 필요로 하는 핸드폰, PDA(personal digital assistant), 및 PMP(portable multimedia player) 등과 같은 소형 제품뿐만 아니라 중대형 제품인 모니터 및 TV 등에도 장착되어 사용되는 등 표시 장치가 필요한 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되어 사용되고 있다.
그러나 액정 표시 패널을 구비한 표시 장치는 콘트라스트(contrast)비를 높이는 데 한계가 있었다. 종래의 표시 장치는 콘트라스트비를 향상시키기 위해서 편광자나 기능성 필름을 사용하였다. 하지만, 이러한 종래의 방법만으로는 10000:1 이상의 높은 콘트라스트비를 확보하기 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은, 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 복수의 표시 패널을 사용하여 콘트라스트(contrast)비를 향상시킨 표시 장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기한 표시 장치를 효율적으로 제조할 수 있는 제조 방법을 제공하고자 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 표시 장치는 제1 주 표시 기판 및 상기 제1 주 표시 기판과 겹치도록 대향 배치된 제2 주 표시 기판을 포함한 주 표시 패널과, 상기 제2 주 표시 기판과 대향 배치된 제1 부 표시 기판 및 상기 제1 부 표시 기판과 겹치도록 대향 배치된 제2 부 표시 기판을 포함한 부 표시 패널을 포함하며, 상기 제1 주 표시 기판은 제1 정렬 마크 및 제2 정렬 마크를 포함하고, 상기 제2 주 표시 기판은 상기 제2 정렬 마크에 대응하는 제3 정렬 마크를 포함하며, 상기 제1 부 표시 기판은 제 4 정렬 마크를 포함하고, 상기 제2 부 표시 기판은 상기 제4정렬 마크에 대응하는 제5 정렬 마크 및 상기 제1 정렬 마크에 대응하는 제6 정렬 마크를 포함한다.
상기 제1 정렬 마크는 상기 제 2 주 표시 기판과 비중첩된 상기 제1 주 표시 기판의 가장자리에 형성되며, 상기 제6 정렬 마크는 상기 제1 부 표시 기판과 비중첩된 상기 제2 부 표시 기판의 가장자리에 형성될 수 있다.
상기 제1 주 표시 기판은 상기 제2 주 표시 기판보다 크기가 크며, 상기 제2 부 표시 기판은 상기 제1 부 표시 기판보다 크기가 클 수 있다.
상기 제2 주 표시 기판은 코너 영역이 절취되어 상기 제1 주 표시 기판의 제1 정렬 마크를 드러내며, 상기 제1 부 표시 기판은 코너 영역이 절취되어 상기 제2 부 표시 기판의 제6 정렬 마크를 드러낼 수 있다.
상기 제1 주 표시 기판과 상기 제2 주 표시 기판은 실질적으로 동일한 크기를 가지며, 상기 제1 주 표시 기판과 상기 제2 주 표시 기판은 일부만 겹치도록 엇 갈려 배치되고, 상기 제1 부 표시 기판과 상기 제2 부 표시 기판은 실질적으로 동일한 크기를 가지며, 상기 제1 부 표시 기판과 상기 제2 부 표시 기판은 일부만 겹치도록 엇갈려 배치될 수 있다.
상기한 표시 장치에 있어서, 상기 주 표시 패널은 컬러 필터를 포함하여 색을 갖는 화상을 표현하며, 상기 부 표시 패널은 무채색의 화상을 표현할 수 있다.
상기 제1 주 표시 기판의 전면 및 상기 제2 주 표시 기판의 배면에 각각 배치된 편광판을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 부 표시 기판의 배면에 형성된 편광판을 더 포함할 수 있다.
또한, 전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법은 제1 정렬 마크 및 제2 정렬 마크를 갖는 제1 주 표시 기판을 마련하는 단계와, 제3 정렬 마크를 갖는 제2 주 표시 기판을 마련하는 단계와, 제4 정렬 마크를 갖는 제2 부 표시 기판을 마련하는 단계와, 제5 정렬 마크 및 제6 정렬 마크를 갖는 제1 부 표시 기판을 마련하는 단계와, 상기 제2 정렬 마크와 상기 제3 정렬 마크를 통해 상기 제1 주 표시 기판과 상기 제2 주 표시 기판을 상호 대향 배치하여 주 표시 패널을 형성하는 단계와, 상기 제4 정렬 마크와 상기 제5 정렬 마크를 통해 상기 제2 부 표시 기판과 상기 제1 부 표시 기판을 상호 대향 배치하여 부 표시 패널을 형성하는 단계와, 상기 제1 정렬 마크와 상기 제6 정렬 마크를 통해 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널을 정렬하여 상호 대향 배치하는 단계를 포함한다.
상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크의 일치 여부를 카메라를 통해 확인하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시킬 수 있다.
상기 카메라는 먼저 상기 제1 주 표시 기판의 상기 제1 정렬 마크를 확인하고, 다음 상기 제1 주 표시 기판을 투과하여 상기 제2 부 표시 기판의 상기 제6 정렬 마크를 확인할 수 있다.
상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크 중 어느 하나는 아웃라인(outline)을 포함하고, 상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크 중 다른 하나는 상기 아웃 라인 내에 위치할 수 있는 포인트(point)를 포함할 수 있다.
상기 카메라는 제1 카메라와 상기 제1 카메라와 마주하는 제2 카메라를 포함하며, 상기 제1 카메라는 상기 제1 주 표시 기판의 상기 제1 정렬 마크를 확인하고 상기 제2 카메라는 상기 제2 부 표시 기판의 상기 제6 정렬 마크를 확인하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시킬 수 있다.
상기 제1 카메라의 방향과 상기 제2 카메라의 방향은 동일한 직선상에 위치할 수 있다.
상기 제1 카메라 및 상기 제2 카메라 중 하나 이상의 카메라는 서로 대향하는 면에 타깃(target)이 형성될 수 있다.
상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크의 일치 여부를 레이저 및 광학 센서를 통해 확인하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시킬 수 있다.
상기 레이저에서 조사된 레이저빔이 상기 제1 정렬 마크 및 상기 제2 정렬 마크를 통과하는지 여부를 상기 광학 센서로 감지하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 정렬 상태를 확인할 수 있다.
상기 레이저와 상기 광학 센서는 실질적으로 동일한 위치에 배치되며, 상기 레이저에서 조사된 레이저빔을 상기 광학 센서로 반사시키는 반사 부재를 더 포함하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시킬 수 있다.
상기 주 표시 패널 및 상기 부 표시 패널에서 각 상기 정렬 마크들이 형성된 부분을 절단하여 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
이에, 콘트라스트(contrast)비를 향상시킨 표시 장치를 효율적으로 제조할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
첨부 도면에서는, 실시예로 5매 마스크 공정으로 형성된 비정질 실리콘(a-Si) 박막 트랜지스터(TFT)가 사용된 표시 패널이 개략적으로 도시되어 있다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치(901)는 주 표시 패널(910)과, 주 표시 패널(910)과 겹치도록 대향 배치된 부 표시 패널(920)을 포함한다. 그리고 각 표시 패널(910, 920)은 다수의 화소를 가지고 화상을 표시하며, 주 표시 패널(910)의 화소와 부 표시 패널(920)의 화소는 서로 대응된다. 여기서, 화소는 화상을 표시하는 최소 단위를 말한다. 주 표시 패널(910)은 컬러 필터(230)(도 5에 도시)를 포함하며, 실질적으로 화상을 표시하는 역할을 수행한다. 부 표시 패널(920)은 컬러 필터를 포함하지 않으며, 주 표시 패널(910)에서 표시되는 화상의 콘트라스트(contrast)비, 즉 계조(階調)비를 높이는 역할을 수행한다. 즉, 주 표시 패널(910)은 풀 컬러(full color)를 구현하며, 부 표시 패널(920)은 흑백의 무채색만을 구현한다. 여기서, 부 표시 패널(920)은 흑백 명암의 농담을 조절하여 계조 표현을 향상시킴으로써, 주 표시 패널(910)에서 표시되는 화상의 콘트라스트비를 향상시킬 수 있게 된다.
주 표시 패널(910)은 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)을 포 함하고, 부 표시 패널(920)은 제1 부 표시 패널(600)과 제2 부 표시 패널(700)을 포함한다. 그리고 표시 장치(901)는 제1 주 표시 기판(100)의 배면 및 제2 주 표시 기판(200)의 전면에 각각 배치된 편광판(410, 420)을 더 포함한다. 이하, 제1 주 표시 기판(100)의 배면에 부착된 편광판을 제1 편광판(410)이라 하고, 제2 주 표시 기판(200)의 전면에 부착된 편광판을 제2 편광판(420)이라 한다.
또한, 표시 장치(901)는 제1 부 표시 기판(600)의 배면에 배치된 편광판(430)을 더 포함할 수 있다. 그러나 제1 부 표시 기판(600)의 배면에 배치된 편광판은 반드시 필요한 구성은 아니며, 부 표시 패널(920)의 종류에 따라 생략될 수도 있다. 이하, 제1 부 표시 기판(600)의 배면에 부착된 편광판을 제3 편광판(430)이라 한다.
제1 주 표시 기판(100)은 제1 정렬 마크(501) 및 제2 정렬 마크(502)를 포함하고, 제2 주 표시 기판(200)은 제3 정렬 마크(503)를 포함한다. 제1 부 표시 기판(600)은 제4 정렬 마크(504)를 포함하고, 제2 부 표시 기판(700)은 제5 정렬 마크(505) 및 제6 정렬 마크(506)를 포함한다.
여기서, 제1 주 표시 기판(100)은 제2 주 표시 기판(200)보다 크기가 크며, 제2 부 표시 기판(700)은 제1 부 표시 기판(600)보다 크기가 크다. 제1 정렬 마크(501)는 제2 주 표시 기판(200)과 비중첩된 제1 주 표시 기판(100)의 가장자리에 형성된다. 제6 정렬 마크(506)는 제1 부 표시 기판(600)과 비중첩된 제2 부 표시 기판(700)의 가장자리에 형성된다. 또한, 제2 정렬 마크(502) 및 제3 정렬 마크(503)는 각각 서로 중첩된 제1 주 표시 기판(100) 및 제2 주 표시 기판(200)의 가장자리에 형성된다. 제4 정렬 마크(504) 및 제 5 정렬 마크(505)는 각각 서로 중첩된 제1 부 표시 기판(600) 및 제2 부 표시 기판(700)의 가장자리에 형성된다.
제1 주 표시 기판(100)의 제2 정렬 마크(502)와 제2 주 표시 기판(200)의 제3 정렬 마크(503)는 서로 대응하여 마주본다. 즉, 각각 형성된 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)을 제2 정렬 마크(502)와 제3 정렬 마크(503)를 기준 삼아 정렬시켜 상호 대향 배치한다. 그리고 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)을 합착하여 주 표시 패널(910)을 형성한다.
제1 부 표시 기판(600)의 제4 정렬 마크(504)와 제2 부 표시 기판(700)의 제5 정렬 마크(505)는 서로 대응하여 마주본다. 즉, 각각 형성된 제1 부 표시 기판(600)과 제2 부 표시 기판(700)을 제4 정렬 마크(504)와 제5 정렬 마크(505)를 기준 삼아 정렬시켜 상호 대향 배치한다. 그리고 제1 부 표시 기판(600)과 제2 부 표시 기판(700)을 합착하여 부 표시 패널(920)을 형성한다.
제1 주 표시 기판(100)의 제1 정렬 마크(501)와 제2 부 표시 기판(700)의 제6 정렬 마크(506)는 서로 대응하여 마주 본다. 즉, 제1 주 표시 기판(100)의 제1 정렬 마크(501)와 제2 부 표시 패널(700)의 제6 정렬 마크(506)를 기준 삼아 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 정렬시켜 상호 대향 배치한다. 그리고 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 고정하여 표시 장치(901)를 형성한다. 여기서, 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920) 사이에는 제1 편광판(410)이 배치된다.
도 2는 도 1의 표시 장치(901)의 평면도를 나타낸다.
도 2에 도시한 바와 같이, 제1 정렬 마크(501)와 제6 정렬 마크(506)는 겹치며, 제2 정렬 마크(502)와 제3 정렬 마크(503) 및 제4 정렬 마크(504)와 제5 정렬 마크(505)는 각각 겹친다.
여기서, 제1 정렬 마크(501)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 아웃라인(outline)을 포함한 형상을 갖는다. 반면, 제6 정렬 마크(506)는 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 정렬 마크(501)의 아웃라인 내에 위치할 수 있는 포인트(point)를 포함한 형상을 갖는다.
그러나 본 발명은 반드시 한정 되는 것은 아니며, 제1 정렬 마크(501)의 형상과 제6 정렬 마크(506)의 형상이 바뀔 수 있다. 또한, 제1 정렬 마크(501) 및 제6 정렬 마크(506)는 다양한 형상으로 형성될 수도 있음은 물론이다.
이와 같은 구성에 의하여, 표시 장치(901)의 콘트라스트(contrast)비를 향상시킬 수 있다. 또한, 향상된 계조비를 갖는 표시 장치(901)를 효과적으로 생산할 수 있다. 즉, 복수의 표시 패널들(910, 920)을 효과적으로 정렬하여 배치할 수 있다.
도 5를 참조하여 주 표시 패널(910) 및 부 표시 패널(920)의 내부 구조를 구체적으로 설명한다. 주 표시 패널(910) 및 부 표시 패널(920)은 실제로 화상을 표시하는 표시 영역(D)과 표시 영역 주변의 비표시 영역(N)으로 구분된다.
먼저, 주 표시 패널(910)의 표시 영역(D)에 대해 상세히 설명한다.
제1 주 표시 기판(100)은 제1 주 기판 부재(110)와, 제1 주 기판 부재(110) 상에 형성된 여러 층들을 포함한다. 제1 주 기판 부재(110)는 유리, 석영, 세라믹 또는 플라스틱 등의 소재를 포함하여 투명하게 형성된다.
제1 주 기판 부재(110) 위에는 다수의 게이트 라인들(121)과, 게이트 라인(121)에서 분기된 다수의 게이트 전극들(124)을 포함하는 게이트 배선이 형성된다. 그리고 도시하지는 않았으나, 게이트 배선은 다수의 제1 유지 전극 라인들을 더 포함할 수 있다.
게이트 배선(121, 124)은 Al, Ag, Cr, Ti, Ta, Mo 등의 금속 또는 이들을 포함하는 합금 따위로 만들어진다. 도 5에서 게이트 배선(121, 124)은 단일층으로 도시되었지만, 게이트 배선(121, 124)은 물리 화학적 특성이 우수한 Cr, Mo, Ti, Ta 또는 이들을 포함하는 합금의 금속층과 비저항이 작은 Al 계열 또는 Ag 계열의 금속층을 포함하는 다중층으로 형성될 수도 있다. 이외에도 여러 다양한 금속 또는 도전체로 게이트 배선(121, 124)을 만들 수 있으며, 동일한 식각 조건에 패터닝이 가능한 다층막이면 더욱 바람직하다.
게이트 배선(121, 124) 위에는 질화 규소(SiNx) 등으로 만들어진 게이트 절연막(130)이 형성된다.
게이트 절연막(130) 위에는 게이트 라인(121)과 교차하는 다수의 데이터 라인들(161)과, 데이터 라인(161)에서 분기된 다수의 소스 전극들(165)과, 소스 전극(165)과 이격 배치된 다수의 드레인 전극들(166)을 포함하는 데이터 배선이 형성된다. 그리고 도시하지는 않았으나, 데이터 배선은 제1 유지 전극 라인(미도시)과 중첩된 다수의 제2 유지 전극 라인들을 더 포함할 수 있다.
데이터 배선(161, 165, 166)도 게이트 배선(121, 124)과 마찬가지로 크롬, 몰리브덴, 알루미늄 또는 이들을 포함하는 합금 등의 도전 물질로 만들어지며, 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
그리고 게이트 전극(124) 상의 게이트 절연막(130) 위와 소스 전극(165) 및 드레인 전극(166) 아래를 아우르는 일영역에는 반도체층(140)이 형성된다. 반도체층(140)은 비정질 규소를 포함하여 만들어진다. 여기서, 게이트 전극(124), 소스 전극(165), 및 드레인 전극(166)은 박막 트랜지스터(101)의 3전극이 된다. 소스 전극(165) 및 드레인 전극(166) 사이의 반도체층(140)이 박막 트랜지스터(101)의 채널 영역이 된다.
또한, 반도체층(140)과 소스 전극(165) 및 드레인 전극(166) 사이에는 둘 사이의 접촉 저항을 각각 감소시키기 위한 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(155, 156)가 형성된다. 저항성 접촉 부재(155, 156)는 실리사이드나 n형 불순물이 고농도로 도핑된 비정질 규소 따위로 만들어진다.
데이터 배선(161, 165, 166) 위에는 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질, 질화 규소 또는 산화 규소 등의 무기 절연 물질 등으로 이루어진 보호막(passivation layer)(170)이 형성된다.
그리고 도시하지는 않았으나, 보호막(170) 위에는 평탄화 특성이 우수하며 감광성(photosensitivity)을 가지는 유기막이 더 형성될 수 있다.
보호막(170) 위에는 다수의 화소 전극들(180)이 형성된다. 화소 전극(180)은 ITO(indium tin oxide)나 IZO(indium zinc oxide) 등과 같은 투명 도전체나 알 루미늄(Al)과 같은 광 반사특성이 우수한 불투명 도전체 따위를 포함하여 만들어진다.
또한, 보호막(170)은 드레인 전극(166)의 일부를 드러내는 다수의 접촉 구멍(171)을 갖는다. 화소 전극(180)과 드레인 전극(166)은 접촉 구멍(171)을 통해 서로 전기적으로 연결된다.
제2 주 표시 기판은 제2 주 기판 부재와, 제2 주 기판 부재 상에 형성된 복수의 층들을 포함한다. 제2 주 기판 부재(210)는, 제1 주 기판 부재(110)와 마찬가지로, 유리, 석영, 세라믹 또는 플라스틱 등의 소재를 포함하여 투명하게 형성된다.
그리고 제2 주 기판 부재(210)에서 제1 주 기판 부재(110)와 대향하는 면 위에는 제1 차광막(220)이 형성된다. 제1 차광막(220)은 화소 전극(180)과 마주보는 개구부를 가지며 서로 이웃하는 화소 사이에서 누설되는 빛을 차단한다. 이러한 제1 차광막(220)은 박막 트랜지스터(101)의 반도체층(140)에 입사하는 외부광을 차단하기 위해 박막 트랜지스터(101)에 대응되는 위치에도 형성된다.
제1 차광막(220)은 빛을 차단하기 위해 금속 물질로 만들거나, 검은색 계통의 안료가 첨가된 감광성 유기 물질로 만들 수 있다. 여기서, 검은색 계통의 안료로는 카본블랙이나 티타늄 옥사이드 등을 사용할 수 있다.
제1 차광막(220)이 형성된 제2 주 기판 부재(210) 상에는 3원색을 갖는 컬러 필터(230)가 각각 순차적으로 배치된다. 이때, 컬러 필터(230)의 색은 반드시 3원색에 한정되는 것은 아니며, 하나 이상의 색으로 다양하게 구성될 수 있다. 도 5 에서 컬러 필터(230)는 제2 모 기판(210) 가까이에 위치하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 컬러 필터(230)는 제1 주 기판 부재(110) 상에 형성될 수도 있다.
제1 차광막(220) 및 컬러 필터(230) 위에는 평탄화막(250)이 형성된다. 이러한 평탄화막(250)은 생략될 수 있다.
평탄화막(250) 위에는 화소 전극(180)과 함께 전계를 형성하는 공통 전극(280)이 형성된다. 공통 전극(280) 역시 ITO 또는 IZO 등과 같은 투명한 도전 물질로 만들어진다.
그리고 공통 전극(280)과 화소 전극(180) 사이에는 액정층(300)이 배치된다. 또한, 도시하지는 않았으나, 공통 전극(280)과 화소 전극(180)이 서로 대향하는 면 위에는 각각 배향막이 형성된다. 배향막은 액정층(300)의 액정 분자들을 일정한 방향으로 배향시킨다.
다음, 주 표시 패널(100)의 비표시 영역(N)에 대해 상세히 설명한다.
제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)은 각각 비표시 영역(N)에 형성된 정렬 마크(502, 503, 504, 505)를 포함한다.
제1 주 표시 기판(100)의 비표시 영역(N)에는 제2 정렬 마크(502)가 형성된다. 또한, 도 5에 도시하지는 않았으나, 제1 정렬 마크(501)도 함께 형성된다. 제1 정렬 마크(501) 및 제2 정렬 마크(502)는 게이트 배선(121, 124)과 동일한 층에 동일한 소재로 형성되거나, 데이터 배선(161, 165, 166)과 동일한 층에 동일한 소재로 형성될 수 있다. 또한, 게이트 절연막(130), 보호막(170) 또는 반도체 층(140)의 일부가 착색되어 제1 정열 마크(501) 및 제2 정렬 마크(502)로 사용될 수도 있다.
제2 주 표시 기판(200)의 비표시 영역(N)에는 제3 정렬 마크(503)가 형성된다. 제3 정렬 마크(503)는 제1 차광막(220)과 동일한 층에 동일한 소재로 형성될 수 있다.
제2 정렬 마크(502) 및 제3 정렬 마크(503)는 서로 대응하며, 제1 정렬 마크(502)는 제2 주 표시 기판(200)과 비중첩된 제1 주 표시 기판(100)의 비표시 영역(N)에 형성된다.
또한, 비표시 영역에서 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)의 사이에는 실런트(sealant)(350)가 채워져 제1 주 표시 기판(100) 및 제2 주 표시 기판(200)을 봉합한다.
다음, 부 표시 패널(920)에 대해 설명한다. 본 발명에 따른 제1 실시예에서 부 표시 패널(920)은 컬러 필터가 생략된 것을 제외하면 기본적으로 주 표시 패널(910)과 유사한 구조를 갖는다.
부 표시 패널(920)의 제1 부 표시 기판(600)은 주 표시 패널(910)의 제1 주 표시 기판(100)과 실질적으로 동일하게 형성된다. 제1 부 표시 기판(600)은 비표시 영역(N)에 형성된 제4 정렬 마크(504)를 포함한다. 제4 정렬 마크(504) 역시 제1 정렬 마크(501) 및 제2 정렬 마크(502)와 마찬가지로 동일한 소재 및 방법으로 형성될 수 있다.
부 표시 패널(920)의 제2 부 표시 기판(700)은 주 표시 패널(910)의 제2 주 표시 기판(200)에서 컬러 필터가 생략된 구조를 갖는다. 또한, 평탄화막도 생략될 수 있다. 즉, 제2 부 표시 기판(700)은 제2 부 기판 부재(710)와, 제2 부 기판 부재(710) 상에 형성된 제2 차광막(720) 및 공통 전극(780)을 포함한다. 여기서 제2 차광막(720) 역시 개구부를 가지며, 제2 차광막(720)은 표시 장치(901)에서 표시되는 화상의 품질 및 시야각을 향상시킨다.
제2 부 표시 기판(700)은 비표시 영역(N)에 형성된 제5 정렬 마크(505) 및 제6 정렬 마크(506)를 포함한다. 제5 정렬 마크(505) 및 제6 정렬 마크(506) 역시 제3 정렬 마크(503)와 마찬가지로 동일한 소재 및 소재로 형성될 수 있다.
제4 정렬 마크(504) 및 제5 정렬 마크(505)는 서로 대응하며, 제6 정렬 마크(506)는 제1 부 표시 기판(600)과 비중첩된 제2 부 표시 기판(700)의 비표시 영역(N)에 형성된다. 그리고 앞서, 도 1에 도시한 바와 같이, 제1 정렬 마크(501) 및 제6 정렬 마크(506)는 서로 대응한다.
또한, 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920) 사이, 주 표시 패널(910)의 전면 및 부 표시 패널(920)의 배면에 각각 제1 편광판(410), 제2 편광판(420) 및 제3 편광판(430)이 부착된다. 즉, 표시 장치(901)는 총 3장의 편광판(410, 420, 430)을 포함한다. 여기서, 제1 편광판(410)의 편광자는 제2 편광판(420) 및 제3 편광판(430)의 편광자와 교차하는 방향으로 빛을 편광시킨다.
또한, 본 발명에 따른 제1 실시예에서 부 표시 패널(920)로 능동 구동(active matrix, AM)형 액정 표시 패널이 사용되었으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 부 표시 패널(920)로 수동 구동(passive matrix, PM)형 액정 표시 패널 또는 게스트-호스트(guest-host) 액정 표시 패널 등이 사용될 수 있다. 즉, 부 표시 패널(920)은 흑백 표현만 해주면 되므로, 상대적으로 단순한 구조의 액정 표시 패널을 사용하여도 무방하다. 수동 구동형 액정 표시 패널 및 게스트-호스트 액정 표시 패널은 구조가 간단하고 제조비용이 상대적으로 저렴한 장점이 있다. 또한, 부 표시 패널(920)로 게스트-호스트 액정 표시 패널이 사용될 경우 부 표시 패널(920)의 배면에 부착된 제3 편광판(430)은 생략할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 제1 실시예에서 부 표시 패널(920)이 주 표시 패널(910)의 배면에 대향 배치되었으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 부 표시 패널(920)이 주 표시 패널(910)의 전면에 대향 배치될 수도 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 복수의 표시 패널들(910, 920)을 효과적으로 정렬함으로써, 표시 장치(901)의 콘트라스트비를 향상시킬 수 있다.
다음, 도 6을 참조하여 표시 장치(901)의 제조 방법을 설명한다.
먼저, 제1 정렬 마크(501) 및 제2 정렬 마크(502)를 갖는 제1 주 표시 기판(100)과, 제3 정렬 마크(503)를 갖는 제2 주 표시 기판(200)과, 제4 정렬 마크(504)를 갖는 제1 부 표시 기판(600)과, 제5 정렬 마크(505) 및 제6 정렬 마크(506)를 갖는 제2 부 표시 기판(700)을 각각 형성한다.
다음, 제2 정렬 마크(502) 및 제3 정렬 마크(503)를 통해 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)을 정렬시켜 상호 대향 배치한다. 그리고 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)을 합착하여 주 표시 패널(910)을 형성한 다. 이 때, 제1 주 표시 기판(100)의 배면과 제2 주 표시 기판(200)의 전면, 즉 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)이 서로 대향하는 면의 반대면에 각각 제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420)을 부착한다.
다음, 제4 정렬 마크(504) 및 제5 정렬 마크(505)를 통해 제1 부 표시 기판(600)과 제2 부 표시 기판(700)을 정렬시켜 상호 대향 배치한다. 그리고 제1 부 표시 기판(600)과 제2 부 표시 기판(700)을 합착하여 부 표시 패널(920)을 형성한다. 이때, 제1 부 표시 기판(600)의 배면에 제3 편광판(430)을 부착한다.
여기서, 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200) 및 제1 부 표시 기판(600)과 제2 부 표시 기판(700)은 각각 실런트(350)(도 5에 도시) 등을 사용하여 합착된다.
다음, 카메라(810)를 사용하여 제1 정렬 마크(501)와 제6 정렬 마크(506)를 통해 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 정렬하여 상호 대향 배치한다. 그리고 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 상호 고정하여 표시 장치(901)를 형성한다.
즉, 카메라(810)를 사용하여 제1 정렬 마크(501)와 제6 정렬 마크(506)의 일치 여부를 확인해가면서 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 정렬시키게 된다.
구체적으로, 카메라(810)는 먼저 제1 주 표시 기판(100)의 제1 정렬 마크(901)에 초점을 잡아 확인한 후, 제1 주 표시 기판(100)을 투과하여 제2 부 표시 기판(700)의 제6 정렬 마크(506)를 확인한다. 여기서, 제1 정렬 마크(501)는 아웃 라인(outline)을 포함하고, 제6 정렬 마크(506)는 포인트(point)를 포함한다. 포인트는 십자가 형상으로 형성될 수 있다. 따라서 제6 정렬 마크(506)의 포인트가 제1 정렬 마크(501)의 아웃라인 내에 정확하게 위치하는지 여부를 가지고 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)이 적절하게 정렬되었는지 확인할 수 있다.
다음, 필요에 따라, 각 정렬 마크들(501, 502, 503, 504, 505, 506)이 형성된 주 표시 패널(910) 및 부 표시 패널(920)의 일부분을 절단하여 제거할 수도 있다.
이와 같은 표시 장치 제조 방법에 의해, 복수의 표시 패널들(910, 920)을 효과적으로 정렬할 수 있다.
도 7을 참조하여 본 발명의 제2 실시예를 설명한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 표시 장치(902)는 코너 영역이 절단된 제2 주 표시 기판(200)을 포함한다. 즉, 제1 주 표시 기판(100)과 제2 주 표시 기판(200)은 코너 영역을 제외하고는 동일한 크기를 가지며, 제2 주 표시 기판(200)의 코너 영역이 절단되어 제1 주 표시 기판(100)의 코너 영역을 드러낸다. 이와 같이, 제2 주 표시 기판(200)과 비중첩된 제1 주 표시 기판(100)의 코너 영역에 제1 정렬 마크(501)가 형성된다.
또한, 표시 장치(902)는 코너 영역이 절단된 제1 부 표시 기판(600)을 포함한다. 즉, 제1 부 표시 기판(600)과 제2 부 표시 기판(700)은 코너 영역을 제외하고는 동일한 크기를 가지며, 제1 부 표시 기판(600)의 코너 영역이 절단되어 제2 부 표시 기판(700)의 코너 영역을 드러낸다. 이와 같이, 제1 부 표시 기판(600)과 비중첩된 제2 부 표시 기판(700)의 코너 영역에 제6 정렬 마크(506)가 형성된다.
제1 주 표시 기판(100)의 제1 정렬 마크(501)와 제2 부 표시 기판(700)의 제6 정렬 마크(506)를 통해 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)은 정밀하게 정렬되어 대향 배치될 수 있다.
이와 같은 구성에 의해서도, 복수의 표시 패널들(910, 920)을 효과적으로 정렬함으로써, 표시 장치(902)의 콘트라스트비를 향상시킬 수 있다.
도 8 내지 도 11를 참조하여 본 발명의 제3 실시예를 설명한다. 도 8, 도 10 및 도 11는 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 순차적으로 나타낸다.
먼저, 도 8에 도시한 바와 같이, 서로 마주보는 한 쌍의 카메라(810, 820)를 세팅한다. 구체적으로, 제1 카메라(810)와, 제1 카메라(810)와 마주하는 제2 카메라(820)를 동일한 직선상에 위치하도록 정렬한다.
여기서, 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 카메라(810) 및 제2 카메라(820) 중 하나 이상의 카메라는 서로 대향하는 면에 형성된 타깃(target)(811)을 갖는다. 제1 카메라(810) 및 제2 카메라(820)는 타깃(811)을 기준삼아 동일한 직선상에 정렬된다. 일예로, 제1 카메라(810)가 타깃(811)을 가지고 있다면, 제2 카메라(820)가 제1 카메라(810)의 타깃(811)에 초점을 맞추어 제1 카메라(810)와 동일한 직선상에 정렬될 수 있다.
다음, 도 10에 도시한 바와 같이, 주 표시 패널(910)을 제1 카메라(810) 및 제2 카메라(820) 사이에 배치한다. 그리고 제1 카메라(810)를 통해 주 표시 패 널(910)의 제1 정렬 마크(501)를 확인하여 주 표시 패널(910)을 정확한 위치에 배치시킨다.
다음, 도 11에 도시한 바와 같이, 부 표시 패널(920)을 제1 카메라(810) 및 제2 카메라(820) 사이에 배치한다. 그리고 제2 카메라(820)를 통해 부 표시 패널(920)의 제6 정렬 마크(506)를 확인하여 부 표시 패널(920)을 정확한 위치에 배치시킨다.
제1 카메라(810)와 제2 카메라(820)는 이미 정확하게 정렬되어있으므로, 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)도 정확하게 정렬된다. 이후, 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 합착 또는 그 밖의 방법으로 고정하여 표시 장치(901)를 형성한다.
또한, 표시 장치 제조 방법은 주 표시 패널(910) 및 부 표시 패널(920)을 정렬시킨 후 각 정렬 마크(501, 502, 503, 504, 505, 506)를 스크랩하는 단계를 더 포함할 수 있다.
이와 같은 제조 방법에 의해서도, 복수의 표시 패널들(910, 920)을 효과적으로 정렬할 수 있다.
도 12 내지 도 15을 참조하여 본 발명의 제5 실시예를 설명한다. 도 12 내지 도 15는 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 순차적으로 나타낸다. 본 발명의 제4 실시예에서는 레이저(laser)(850) 및 광학 센서(860)를 사용한다.
먼저, 도 12에 도시한 바와 같이, 레이저(850) 및 광학 센서(860)를 세팅한 다. 구체적으로, 레이저(850) 및 광학 센서(860)는 실질적으로 동일한 곳에 배치하고, 레이저(850) 및 광학 센서(860)의 맞은편에 반사 부재(870)를 배치한다. 즉, 레이저(850)에서 조사된 레이저빔이 맞은편의 반사 부재(870)에 반사되어 다시 레이저(850)와 동일한 곳에 위치한 광학 센서(860)로 향하게 된다.
도 13에 도시한 바와 같이, 레이저(850)는 중앙에 위치하고, 광학 센서(860)를 레이저(850) 주변에 위치한다. 반사 부재(870)에 반사된 레이저빔을 광학 센서(860)에서 감지한다. 그리고 이를 통해 피드백(feedback)하여 레이저(850)에서 출사되어 반사 부재(870)를 통해 다시 광학 센서(860)로 향하는 레이저빔이 실질적으로 동일한 직선이 되도록 조절한다.
다음, 도 14에 도시한 바와 같이, 레이저(850)와 반사 부재(870) 사이에 주 표시 패널(910) 및 부 표시 패널(920)을 배치한다. 주 표시 패널(910)의 제1 주 표시 기판(100)과 부 표시 패널(920)의 제2 부 표시 기판(700)에 각각 형성된 제1 정렬 마크(501) 및 제6 정렬 마크(506)는 아웃라인 형상을 포함한다.
다음, 도 15에 도시한 바와 같이, 레이저(850)에서 조사된 레이저빔이 제1 정렬 마크(501) 및 제6 정렬 마크(506)를 통과하고, 반사 부재(870)에 반사되어 다시 제1 정렬 마크(501) 및 제6 정렬 마크(506)를 통과하여 광학 센서(860)로 향하게 된다. 따라서 광학 센서(860)에서 레이저빔을 감지하고, 이를 통해 피드백하여 주 표시 패널(910)과 부 표시 패널(920)을 정밀하게 정렬시킬 수 있다.
이와 같은 제조 방법에 의해서도, 복수의 표시 패널들(910, 920)을 효과적으로 정렬할 수 있다.
또한, 본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 설명하였지만, 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 표시 장치는 복수의 표시 패널을 사용하여 향상된 콘트라스트비를 가질 수 있다.
또한, 복수의 표시 패널들을 효과적으로 정렬 배치하여 표시 장치를 형성할 수 있다.
또한, 상기한 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다.

Claims (18)

  1. 표시 장치에 있어서,
    제1 주 표시 기판 및 상기 제1 주 표시 기판과 겹치도록 대향 배치된 제2 주 표시 기판을 포함한 주 표시 패널과,
    상기 제2 주 표시 기판과 대향 배치된 제1 부 표시 기판 및 상기 제1 부 표시 기판과 겹치도록 대향 배치된 제2 부 표시 기판을 포함한 부 표시 패널을 포함하며,
    상기 제1 주 표시 기판은 제1 정렬 마크 및 제2 정렬 마크를 포함하고,
    상기 제2 주 표시 기판은 상기 제2 정렬 마크에 대응하는 제3 정렬 마크를 포함하며,
    상기 제1 부 표시 기판은 제 4 정렬 마크를 포함하고,
    상기 제2 부 표시 기판은 상기 제4정렬 마크에 대응하는 제5 정렬 마크 및 상기 제1 정렬 마크에 대응하는 제6 정렬 마크를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 정렬 마크는 상기 제 2 주 표시 기판과 비중첩된 상기 제1 주 표시 기판의 가장자리에 형성되며,
    상기 제6 정렬 마크는 상기 제1 부 표시 기판과 비중첩된 상기 제2 부 표시 기판의 가장자리에 형성된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 제1 주 표시 기판은 상기 제2 주 표시 기판보다 크기가 크며,
    상기 제2 부 표시 기판은 상기 제1 부 표시 기판보다 크기가 큰 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 제2 주 표시 기판은 코너 영역이 절취되어 상기 제1 주 표시 기판의 제1 정렬 마크를 드러내며,
    상기 제1 부 표시 기판은 코너 영역이 절취되어 상기 제2 부 표시 기판의 제6 정렬 마크를 드러낸 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  5. 제1항 내지 제4 항 중 어느 한 항에서,
    상기 주 표시 패널은 컬러 필터를 포함하여 색을 갖는 화상을 표현하며,
    상기 부 표시 패널은 무채색의 화상을 표현하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 제1 주 표시 기판의 전면 및 상기 제2 주 표시 기판의 배면에 각각 배 치된 편광판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 제1 부 표시 기판의 배면에 형성된 편광판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  8. 표시 장치 제조 방법에 있어서,
    제1 정렬 마크 및 제2 정렬 마크를 갖는 제1 주 표시 기판을 마련하는 단계와,
    제3 정렬 마크를 갖는 제2 주 표시 기판을 마련하는 단계와,
    제4 정렬 마크를 갖는 제2 부 표시 기판을 마련하는 단계와,
    제5 정렬 마크 및 제6 정렬 마크를 갖는 제1 부 표시 기판을 마련하는 단계와,
    상기 제2 정렬 마크와 상기 제3 정렬 마크를 통해 상기 제1 주 표시 기판과 상기 제2 주 표시 기판을 상호 대향 배치하여 주 표시 패널을 형성하는 단계와,
    상기 제4 정렬 마크와 상기 제5 정렬 마크를 통해 상기 제2 부 표시 기판과 상기 제1 부 표시 기판을 상호 대향 배치하여 부 표시 패널을 형성하는 단계와,
    상기 제1 정렬 마크와 상기 제6 정렬 마크를 통해 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널을 정렬하여 상호 대향 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크의 일치 여부를 카메라를 통해 확인하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 카메라는 먼저 상기 제1 주 표시 기판의 상기 제1 정렬 마크를 확인하고, 다음 상기 제1 주 표시 기판을 투과하여 상기 제2 부 표시 기판의 상기 제6 정렬 마크를 확인하는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  11. 제9항에서,
    상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크 중 어느 하나는 아웃라인(outline)을 포함하고,
    상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크 중 다른 하나는 상기 아웃 라인 내에 위치할 수 있는 포인트(point)를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  12. 제9항에서,
    상기 카메라는 제1 카메라와 상기 제1 카메라와 마주하는 제2 카메라를 포함 하며,
    상기 제1 카메라는 상기 제1 주 표시 기판의 상기 제1 정렬 마크를 확인하고 상기 제2 카메라는 상기 제2 부 표시 기판의 상기 제6 정렬 마크를 확인하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 제1 카메라의 방향과 상기 제2 카메라의 방향은 동일한 직선상에 위치하는 것을 특징으로 표시 장치 제조 방법.
  14. 제13항에서,
    상기 제1 카메라 및 상기 제2 카메라 중 하나 이상의 카메라는 서로 대향하는 면에 타깃(target)이 형성된 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  15. 제8항에서,
    상기 제1 정렬 마크 및 상기 제6 정렬 마크의 일치 여부를 레이저 및 광학 센서를 통해 확인하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  16. 제15항에서,
    상기 레이저에서 조사된 레이저빔이 상기 제1 정렬 마크 및 상기 제2 정렬 마크를 통과하는지 여부를 상기 광학 센서로 감지하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 정렬 상태를 확인하는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  17. 제15항에서,
    상기 레이저와 상기 광학 센서는 실질적으로 동일한 위치에 배치되며,
    상기 레이저에서 조사된 레이저빔을 상기 광학 센서로 반사시키는 반사 부재를 더 포함하여 상기 주 표시 패널과 상기 부 표시 패널의 상호 정렬시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
  18. 제8항에서,
    상기 주 표시 패널 및 상기 부 표시 패널에서 각 상기 정렬 마크들이 형성된 부분을 절단하여 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치 제조 방법.
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