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KR101328159B1 - Control apparatus and method for coating and transferring of glass panel - Google Patents

Control apparatus and method for coating and transferring of glass panel Download PDF

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KR101328159B1
KR101328159B1 KR1020120063232A KR20120063232A KR101328159B1 KR 101328159 B1 KR101328159 B1 KR 101328159B1 KR 1020120063232 A KR1020120063232 A KR 1020120063232A KR 20120063232 A KR20120063232 A KR 20120063232A KR 101328159 B1 KR101328159 B1 KR 101328159B1
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substrate
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roll
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최영길
최규원
조현주
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주식회사 아라온테크
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Abstract

본 발명의 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치는, 다수개의 기판을 코팅하는 코팅장치의 전단에 위치한 제1 이송장치와 상기 코팅장치의 후단에 위치한 제2 이송장치에 각각 설치되어 이송되는 다수개의 기판을 각각 감지하는 다수개의 센서; 상기 센서에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 제어부; 상기 제어부의 제어에 의해 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 일시적으로 정지시키는 스토퍼; 상기 제어부의 제어에 의해 구동되는 서보모터; 및 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판이 상기 스토퍼에 의해 일시적으로 정지된 상태에서 상기 서보모터의 구동에 의해 작동되어 각 기판의 양측 방향으로부터 접근하여 기판을 정렬시키는 정렬기를 포함한다. 본 발명에 의하면, 기판이 이송 장치에 의해 이송되어 코팅 장치에서 코팅된 후 코팅된 기판이 이송 장치에 의해 다음 공정으로 이송되기까지의 택트타임(tact time)에 따라 공정별 구간에서의 속도를 제어하여 버퍼링(buffering)이 정상적으로 이루어질 수 있도록 하고, 코팅 전후 과정에서 기판이 올바르게 정렬될 수 있도록 함으로써, 고장 발생이 현저히 줄어들고 제품 생산 효율을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.The control apparatus for coating and transporting the substrate of the present invention includes a plurality of transporters each installed and transported in a first transport device located at a front end of a coating device for coating a plurality of substrates and a second transport device located at a rear end of the coating device. A plurality of sensors each sensing a substrate; A controller configured to generate a substrate alignment signal when receiving a substrate detection signal detected and transmitted by the sensor; A stopper for temporarily stopping a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus under control of the controller; A servo motor driven by the control of the controller; And a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus are operated by driving of the servomotor in a state where the plurality of substrates are temporarily stopped by the stopper to align the substrates by approaching from both sides of each substrate. And a sorter. According to the present invention, after the substrate is transferred by the transfer apparatus and coated in the coating apparatus, the speed in each process section is controlled according to the tact time until the coated substrate is transferred to the next process by the transfer apparatus. Thus, buffering can be performed normally and the substrate can be properly aligned before and after coating, thereby significantly reducing failure and maximizing product production efficiency.

Description

기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치 및 방법{CONTROL APPARATUS AND METHOD FOR COATING AND TRANSFERRING OF GLASS PANEL}CONTROL APPARATUS AND METHOD FOR COATING AND TRANSFERRING OF GLASS PANEL}

본 발명은 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판이 이송 장치에 의해 이송되어 코팅 장치에서 코팅된 후 코팅된 기판이 이송 장치에 의해 다음 공정으로 이송되기까지의 택트타임(tact time)에 따라 공정별 구간에서의 속도를 제어하여 버퍼링(buffering) 기능을 제공하고, 코팅 전후 과정에서 기판을 올바르게 정렬시키는 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a control apparatus and method for coating and transferring a substrate, and more particularly, after the substrate is transferred by the transfer apparatus and coated in the coating apparatus, until the coated substrate is transferred to the next process by the transfer apparatus. The present invention relates to a control device and a method for coating and transferring a substrate to provide a buffering function by controlling a speed in each process section according to a tact time of the substrate, and to correctly align the substrate before and after coating. .

기존 생산 공정에서는 반도체의 웨이퍼 및 기판 사이즈의 대형화에 초점이 맞추어져 있어서 기판의 생산 공정은 대부분 1매의 웨이퍼 또는 기판을 처리하는 공정을 사용하고 있다.In the existing production process, the focus is on the enlargement of the size of the wafer and the substrate of the semiconductor, and most of the substrate production processes use a process of processing one wafer or substrate.

하지만, 최근 반도체 산업을 중심으로 회로 패턴이 미세화되면서 기판에 패턴을 형성하는 산업이 점차 LCD, OLED, LED, PCB 등의 소자를 만드는 산업과 태양전지 등의 전지 패턴을 형성화 하는 데에도 사용되고 있다. 또한, 최근에는 스마트폰 및 노트패드 등의 시장이 점차 확대됨에 따라 터치스크린 디스플레이 산업이 급속히 팽창되면서 기판의 사이즈가 작은 분야에서는 공급이 부족한 상황이다. 이에따라, 기판의 생산효율을 향상하기 위하여 다양한 장비가 개발되고 있다.However, as the circuit pattern has become smaller, especially in the semiconductor industry, the pattern forming industry has been increasingly used to form devices such as LCDs, OLEDs, LEDs, and PCBs, and to form battery patterns such as solar cells. . In addition, in recent years, as the market of smartphones and notepads is gradually expanded, the touch screen display industry is rapidly expanding, and there is a shortage of supply in a small size of the substrate. Accordingly, a variety of equipment has been developed to improve the production efficiency of the substrate.

기판 생산 공정의 생산 효율을 높이기 위하여 각 공정에 맞는 작업이 사전에 진행되어야 한다. 예를 들면 노광공정을 진행하기 위해서는 사전에 기판의 표면에 코팅액을 도포시켜 노광이 가능한 상태로 만들어 주는 작업이 반드시 이루어져야만 한다.In order to increase the production efficiency of the substrate production process, work for each process must be performed in advance. For example, in order to proceed with the exposure process, the coating liquid must be applied to the surface of the substrate in advance to make the exposure possible.

그러나, 종래의 기판 생산 공정에서는 택트타임(tact time)에 따른 공정별 구간에서의 속도를 제어하는 버퍼링(buffering) 기능이 정상적으로 수행되지 않거나, 코팅 전후 과정에서 기판이 올바르게 정렬되지 않아 기판 생산 공정에 문제가 발생되거나 기판 생산 공정의 생산 효율이 떨어지게 되는 문제점이 있었다.However, in the conventional substrate production process, the buffering function for controlling the speed in each process section according to the tact time is not normally performed, or the substrate is not aligned correctly in the process before and after coating, so that the substrate production process Problems occurred or there was a problem that the production efficiency of the substrate production process is lowered.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 기판이 이송 장치에 의해 이송되어 코팅 장치에서 코팅된 후 코팅된 기판이 이송 장치에 의해 다음 공정으로 이송되기까지의 택트타임(tact time)에 따라 공정별 구간에서의 속도를 제어하여 버퍼링(buffering) 기능을 제공하고, 코팅 전후 과정에서 기판이 올바르게 정렬될 수 있도록 한 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치 및 방법을 제공함을 목적으로 한다.The present invention was devised to solve such a problem, and in the tact time until the coated substrate is transferred to the next process by the transfer apparatus after the substrate is transferred by the transfer apparatus and coated in the coating apparatus. Accordingly, an object of the present invention is to provide a buffering function by controlling the speed in each process section, and to provide a control apparatus and method for coating and transporting a substrate so that the substrate can be aligned correctly before and after coating.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치의 일 측면에 따르면, 다수개의 기판을 코팅하는 코팅장치의 전단에 위치한 제1 이송장치와 상기 코팅장치의 후단에 위치한 제2 이송장치에 각각 설치되어 이송되는 다수개의 기판을 각각 감지하는 다수개의 센서; 상기 센서에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 제어부; 상기 제어부의 제어에 의해 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 일시적으로 정지시키는 스토퍼; 상기 제어부의 제어에 의해 구동되는 서보모터; 및 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판이 상기 스토퍼에 의해 일시적으로 정지된 상태에서 상기 서보모터의 구동에 의해 작동되어 각 기판의 양측 방향으로부터 접근하여 기판을 정렬시키는 정렬기를 포함한다.According to one aspect of the control device for coating and transporting the substrate according to the present invention for achieving the above object, the first transfer device and the rear end of the coating apparatus located in front of the coating apparatus for coating a plurality of substrates A plurality of sensors each sensing a plurality of substrates installed and transported in the second transfer apparatus; A controller configured to generate a substrate alignment signal when receiving a substrate detection signal detected and transmitted by the sensor; A stopper for temporarily stopping a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus under control of the controller; A servo motor driven by the control of the controller; And a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus are operated by driving of the servomotor in a state where the plurality of substrates are temporarily stopped by the stopper to align the substrates by approaching from both sides of each substrate. And a sorter.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어방법의 일 측면에 따르면, (a) 다수개의 센서가 다수개의 기판을 코팅하는 코팅장치의 전단에 위치한 제1 이송장치와 상기 코팅장치의 후단에 위치한 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 각각 감지하는 단계; (b) 제어부가 상기 센서에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 단계; (c) 스토퍼가 상기 제어부의 제어에 의해 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 일시적으로 정지시키는 단계; (d) 상기 제어부의 제어에 의해 서보모터가 구동되는 단계; 및 (e) 정렬기가 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판이 상기 스토퍼에 의해 일시적으로 정지된 상태에서 상기 서보모터의 구동에 의해 작동되어 각 기판의 양측 방향으로부터 이동하여 기판을 정렬시키는 단계를 포함한다.According to one aspect of the control method for coating and transporting the substrate according to the present invention for achieving the above object, (a) a plurality of sensors and the first transfer device located in front of the coating apparatus for coating a plurality of substrates; Sensing a plurality of substrates each being transported by a second transport device located at a rear end of the coating device; (b) generating a substrate alignment signal when the controller receives a substrate detection signal detected and transmitted by the sensor; (c) the stopper temporarily stopping a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus under the control of the controller; (d) driving the servo motor under control of the controller; And (e) a plurality of substrates on which the aligner is transported by the first conveying device or the second conveying device are operated by driving of the servomotor in a state where the stopper is temporarily stopped by the stopper, thereby operating from both directions of each substrate. Moving to align the substrate.

본 발명에 의하면, 기판이 이송 장치에 의해 이송되어 코팅 장치에서 코팅된 후 코팅된 기판이 이송 장치에 의해 다음 공정으로 이송되기까지의 택트타임(tact time)에 따라 공정별 구간에서의 속도를 제어하여 버퍼링(buffering)이 정상적으로 이루어질 수 있도록 하고, 코팅 전후 과정에서 기판이 올바르게 정렬될 수 있도록 함으로써, 고장 발생이 현저히 줄어들고 제품 생산 효율을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, after the substrate is transferred by the transfer apparatus and coated in the coating apparatus, the speed in each process section is controlled according to the tact time until the coated substrate is transferred to the next process by the transfer apparatus. Thus, buffering can be performed normally and the substrate can be properly aligned before and after coating, thereby significantly reducing failure and maximizing product production efficiency.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다수개의 기판 롤러 코팅 및 이송을 위한 제어장치의 사시도.
도 2는 도 1에서 다수개의 기판 롤러 코팅 및 이송을 위한 제어장치의 평면도.
도 3은 도 2에서 A 부분을 확대한 부분 확대도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 정면도.
도 6은 도 5에 도시된 C-C의 단면도.
도 7은 도 4에 도시된 A의 확대도.
도 8은 도 5에 도시된 B-B의 단면도.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 사시도.
도 10은 도 9에 도시된 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 정면도.
도 11은 도 10에 도시된 C-C의 단면도.
도 12는 도 9에 도시된 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 측면도.
1 is a perspective view of a control apparatus for coating and transporting a plurality of substrate rollers according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a control device for coating and transporting a plurality of substrate rollers in FIG.
3 is an enlarged view illustrating a portion A enlarged in FIG. 2;
Figure 4 is a perspective view of a plurality of substrate roller coating apparatus in one embodiment of the present invention.
5 is a front view of the plurality of substrate roller coating apparatus shown in FIG.
6 is a cross-sectional view of the CC shown in FIG.
FIG. 7 is an enlarged view of A shown in FIG. 4. FIG.
8 is a cross-sectional view of the BB shown in FIG.
9 is a perspective view of a plurality of substrate roller coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
10 is a front view of the plurality of substrate roller coating apparatus shown in FIG.
FIG. 11 is a cross-sectional view of the CC shown in FIG. 10. FIG.
12 is a side view of the plurality of substrate roller coating apparatus shown in FIG.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be interpreted in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다수개의 기판 롤러 코팅 및 이송을 위한 제어장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에서 다수개의 기판 롤러 코팅 및 이송을 위한 제어장치의 평면도이며, 도 3은 도 2에서 A 부분을 확대한 부분 확대도이다.1 is a perspective view of a control apparatus for coating and conveying a plurality of substrate rollers according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a control apparatus for coating and conveying a plurality of substrate rollers in FIG. 1, and FIG. 2 is an enlarged view of a portion A enlarged.

도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 롤러 코팅 및 이송을 위한 제어장치는 크게 다수개의 기판을 이송하기 위한 제1 이송장치(12)와, 다수개의 기판에 코팅을 진행하기 위한 코팅기(20)와, 코팅기(20)에 의해 코팅된 다수개의 기판을 다음 공정으로 이송시키기 위한 제2 이송장치(14)를 포함한다.As shown, the control apparatus for coating and transporting the substrate roller of the present invention includes a first transfer device 12 for transferring a large number of substrates, a coater 20 for coating the plurality of substrates, and And a second transfer device 14 for transferring the plurality of substrates coated by the coater 20 to the next process.

코팅기(20)의 전단에 위치한 제1 이송장치(12)에는 기판이 제1 이송장치(12)를 통해 이송시 이송되는 다수개의 기판을 각각 감지하는 다수개의 기판 감지 센서(250)와, 기판 감지 센서(250)에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 제어부(미도시됨)와, 제어부로부터 기판 정렬 신호를 수신시 공압에 의해 다수개의 기판을 각각 정지시키기 위하여 소정의 높이만큼 위로 올라오는 다수개의 스토퍼(270)와, 제어부의 제어신호에 의해 구동되는 서보모터(미도시됨)와, 다수개의 기판이 다수개의 스토퍼(270)에 의해 각각 정지된 상태에서 서보모터에 구동에 의해 각각의 기판의 양측 방향으로부터 이동하여 각각의 기판을 정렬시키는 정렬기(270)가 배치된다.The first transfer device 12 located in front of the coating machine 20 includes a plurality of substrate detection sensors 250 for sensing each of a plurality of substrates transferred when the substrate is transferred through the first transfer device 12, and substrate detection. A control unit (not shown) for generating a substrate alignment signal when receiving a substrate detection signal sensed and transmitted by the sensor 250 and a predetermined number of stops for each of the plurality of substrates by pneumatic upon receiving the substrate alignment signal from the controller. A plurality of stoppers 270 rising up by a height of the servo motor, a servo motor driven by a control signal of a controller, and a plurality of substrates respectively stopped by the plurality of stoppers 270. An aligner 270 is arranged to move from both sides of each substrate by driving to align each substrate.

코팅기(20)의 후단에 위치한 제2 이송장치(14)에는 코팅기(20)에 의해 코팅이 진행된 다수개의 기판이 코팅기(20)를 빠져나오면, 빠져나온 코팅이 진행된 다수개의 기판을 각각 감지하기 위한 다수개의 기판 감지 센서(250)가 배치된다. 다수개의 기판 감지 센서(250)의 후단에는 다수개의 기판 감지 센서(250)와 각각 1:1로 대응되어 배치되는 다수개의 스토퍼(270)가 위치한다. 다수개의 스토퍼(270)는 코팅기(20)에 의해 코팅이 진행된 다수개의 기판 각각의 표면에 도포된 코팅액의 레벨링을 위해 다수개의 기판을 일시 정지시키는 역할을 한다.In the second transfer device 14 located at the rear of the coater 20, when a plurality of substrates coated by the coater 20 exits the coater 20, each of the plurality of substrates on which the coated coating proceeds is detected. A plurality of substrate detection sensors 250 are disposed. A plurality of stoppers 270 are disposed at the rear end of the plurality of substrate detection sensors 250 in a one-to-one correspondence with the plurality of substrate detection sensors 250. The plurality of stoppers 270 serves to pause the plurality of substrates for leveling the coating liquid applied to the surface of each of the plurality of substrates coated by the coater 20.

코팅기(20)에 의해 코팅이 진행된 다수개의 기판 각각의 표면에 도포된 코팅액의 레벨링을 위한 레벨링 구간 이후에는 레벨링이 진행된 다수개의 기판을 다음 공정으로 이송시키기 위하여 레벨링이 진행된 다수개의 기판을 각각 감지하는 다수개의 기판 감지 센서(250)와, 기판 감지 센서(250)에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 제어부(미도시됨)와, 제어부로부터 기판 정렬 신호를 수신시 공압에 의해 다수개의 기판을 각각 정지시키기 위하여 소정의 높이만큼 위로 올라오는 다수개의 스토퍼(270)와, 제어부의 제어신호에 의해 구동되는 서보모터(미도시됨)와, 다수개의 기판이 다수개의 스토퍼(270)에 의해 각각 정지된 상태에서 서보모터에 구동에 의해 각각의 기판의 양측 방향으로부터 이동하여 각각의 기판을 정렬시키는 정렬기(270)가 배치된다.After the leveling period for the leveling of the coating liquid applied to the surface of each of the plurality of substrates coated by the coater 20, the plurality of leveled substrates are sensed to transfer the plurality of leveled substrates to the next process. A plurality of substrate detection sensors 250, a control unit (not shown) for generating a substrate alignment signal when receiving a substrate detection signal detected and transmitted by the substrate detection sensor 250, and when receiving the substrate alignment signal from the control unit A plurality of stoppers 270 are raised up by a predetermined height to stop each of the plurality of substrates by pneumatic pressure, a servo motor (not shown) driven by a control signal of a controller, and a plurality of substrates are a plurality of stoppers. 270 move from both sides of each substrate by driving the servomotor in the stopped state, respectively. The aligner 270 to align the substrate is disposed.

제어부는 다수개의 기판이 코팅기(20)의 코팅 전후 과정에서 기판이 올바르게 정렬될 수 있도록 제어함은 물론이고, 또한 기판이 제1 이송장치(12)에 의해 이송되어 코팅기(20)에서 코팅된 후 코팅된 기판이 제2 이송장치(14)에 의해 다음 공정으로 이송되기까지의 택트타임(tact time)에 따라 공정별 구간에서의 속도를 제어하여 버퍼링(buffering)이 정상적으로 이루어질 수 있도록 한다.
The controller not only controls the plurality of substrates so that the substrates can be correctly aligned before and after the coating of the coater 20, and also after the substrates are transferred by the first transfer device 12 and coated on the coater 20. According to the tact time until the coated substrate is transferred to the next process by the second transfer device 14, the speed is controlled in each process section so that buffering can be normally performed.

하기에서는 전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 다수개의 기판 롤러 코팅 및 이송을 위한 제어장치의 제어에 의한 작동 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of operating by controlling a controller for coating and transporting a plurality of substrate rollers of the present invention having the configuration as described above will be described.

먼저, 다수개의 기판이 코팅기(20)의 전단에 위치한 제1 이송장치(12)로 투입되어 이송된다. 제1 이송장치(12)를 통해 이송되는 다수개의 기판은 다수개의 기판 감지 센서(250)에 의해 각각 감지된다. 다수개의 기판 감지 센서(250)에 의해 각각 감지된 기판 감지 신호는 제어부로 전송된다. 제어부는 다수개의 기판 감지 센서(250)로부터 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시킨다. 제어부로부터 기판 정렬 신호를 수신한 다수개의 스토퍼(270)가 공압에 의해 다수개의 기판을 각각 정지시키기 위하여 소정의 높이만큼 위로 올라온다. 이후에는 제어부의 제어신호에 의해 서보모터가 구동되고, 서보모터의 구동에 의해 정렬기(270)가 다수개의 기판이 다수개의 스토퍼(270)에 의해 각각 정지된 상태에서 각각의 기판의 양측 방향으로부터 이동하여 각각의 기판을 정렬시킨다.First, a plurality of substrates are introduced into the first conveying apparatus 12 located at the front end of the coating machine 20 and conveyed. A plurality of substrates transferred through the first transfer device 12 are respectively sensed by a plurality of substrate detection sensors 250. The substrate detection signals respectively detected by the plurality of substrate detection sensors 250 are transmitted to the controller. The controller generates a substrate alignment signal when receiving the substrate detection signals from the plurality of substrate detection sensors 250. The plurality of stoppers 270 that receive the substrate alignment signal from the control unit are lifted up by a predetermined height to respectively stop the plurality of substrates by pneumatic pressure. Subsequently, the servo motor is driven by the control signal of the controller, and the aligner 270 is driven from both sides of each substrate in the state where the plurality of substrates are respectively stopped by the plurality of stoppers 270 by the drive of the servo motor. Move to align each substrate.

이어서, 1차 정렬이 완료된 다수개의 기판이 코팅기(20)로 투입되어 코팅이 진행되어 빠져나오게 된다. 코팅기(20)를 빠져나온 다수개의 기판은 다수개의 기판 감지 센서(250)에 의해 각각 감지되고, 다수개의 기판 감지 센서(250)의 후단에 배치된 다수개의 스토퍼(270)에 의해 코팅이 진행된 다수개의 기판 각각의 표면에 도포된 코팅액의 레벨링을 위해 다수개의 기판의 이송이 일시적으로 정지된다.Subsequently, a plurality of substrates on which the primary alignment is completed is introduced into the coater 20, and the coating proceeds out. A plurality of substrates exiting the coater 20 are each detected by a plurality of substrate detection sensors 250, and a plurality of substrates are coated by a plurality of stoppers 270 disposed at the rear of the plurality of substrate detection sensors 250. The transfer of the plurality of substrates is temporarily stopped for the leveling of the coating liquid applied to the surfaces of each of the two substrates.

이어서, 레벨링 구간을 통과하여 레벨링이 진행된 다수개의 기판은 다수개의 기판 감지 센서(250)에 의해 각각 감지된다. 다수개의 기판 감지 센서(250)에 의해 각각 감지된 기판 감지 신호는 제어부로 전송된다. 제어부는 다수개의 기판 감지 센서(250)로부터 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시킨다. 제어부로부터 기판 정렬 신호를 수신한 다수개의 스토퍼(270)가 공압에 의해 다수개의 기판을 각각 정지시키기 위하여 소정의 높이만큼 위로 올라온다. 이후에는 제어부의 제어신호에 의해 서보모터가 구동되고, 서보모터의 구동에 의해 정렬기(270)가 다수개의 기판이 다수개의 스토퍼(270)에 의해 각각 정지된 상태에서 각각의 기판의 양측 방향으로부터 이동하여 각각의 기판을 정렬시킨다. 이러한 2차 정렬은 다수개의 기판이 다음 공정으로 이송되는 경우 올바르게 투입될 수 있도록 하기 위하여 진행된다.Subsequently, the plurality of substrates which have been leveled through the leveling section are respectively sensed by the plurality of substrate detection sensors 250. The substrate detection signals respectively detected by the plurality of substrate detection sensors 250 are transmitted to the controller. The controller generates a substrate alignment signal when receiving the substrate detection signals from the plurality of substrate detection sensors 250. The plurality of stoppers 270 that receive the substrate alignment signal from the control unit are lifted up by a predetermined height to respectively stop the plurality of substrates by pneumatic pressure. Subsequently, the servo motor is driven by the control signal of the controller, and the aligner 270 is driven from both sides of each substrate in the state where the plurality of substrates are respectively stopped by the plurality of stoppers 270 by the drive of the servo motor. Move to align each substrate. This secondary alignment proceeds to ensure that the multiple substrates are correctly loaded when transferred to the next process.

이러한 다수개의 기판의 이송 및 코팅 과정에서 다수개의 기판이 제1 이송장치(12)에 의해 이송되어 코팅기(20)에서 코팅된 후 코팅된 기판이 제2 이송장치(14)에 의해 다음 공정으로 이송되기까지의 택트타임(tact time)에 따라 공정별 구간에서의 속도가 제어되어 버퍼링(buffering)이 정상적으로 이루어지게 된다.
In the transfer and coating of the plurality of substrates, the plurality of substrates are transferred by the first transfer device 12 and coated on the coater 20, and then the coated substrates are transferred to the next process by the second transfer device 14. According to the tact time until the speed is controlled in each process section, buffering is normally performed.

도 4는 본 발명의 일실시예에 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 사시도, 도 5는 도 4에 도시된 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 정면도, 도 6은 도 5에 도시된 C-C의 단면도이다.Figure 4 is a perspective view of a plurality of substrate roller coating apparatus in one embodiment of the present invention, Figure 5 is a front view of the plurality of substrate roller coating apparatus shown in Figure 4, Figure 6 is a cross-sectional view of C-C shown in FIG.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 다수개의 기판을 롤러 코팅하는 장치는, 기판을 이송하는 이송장치(10)와 기판을 코팅하는 코팅기(20)와 코팅기(20)에 코팅 액을 떨어뜨리는 도포기(30)와 도포기(30)에 코팅 액을 주입하는 주입부재(40)와 코팅기(30)에서 떨어지는 코팅 액을 한곳으로 모아주는 받침부재(50)와 코팅 액에서 발생되는 냄새를 외부로 배출하는 환풍 배기구(60)가 포함된다.Referring to the drawings, the apparatus for roller coating a plurality of substrates according to the present invention, the transfer device 10 for transporting the substrate and the coating liquid to the coating machine 20 and the coating machine 20 for coating the substrate dropping the coating liquid The injection member 40 for injecting the coating liquid into the applicator 30 and the applicator 30 and the support member 50 which collects the coating liquid falling from the coating machine 30 into one place and the odor generated from the coating liquid are external. Vent exhaust port 60 is discharged to the.

이송장치(10)는 작업장 바닥에 고정되고 기판을 이송한다. 이송장치(10)는 다수개의 이송롤러(110)와 다수개의 기판을 정렬하는 정렬장치(미표시)를 포함한다. The conveying apparatus 10 is fixed to the floor of the workplace and conveys the substrate. The conveying apparatus 10 includes a plurality of conveying rollers 110 and an alignment device (not shown) for aligning a plurality of substrates.

이송장치(10)는 기판을 투입 받아서 일 방향으로 이송한다. 이송장치(10)는 다수개의 이송롤러(110)가 일정간격으로 배치된다. 이송롤러(110)는 시계방향으로 회전한다. 이송장치(10)는 코팅기(20)로 기판을 투입하는 제1 이송장치(12)와 도포된 기판을 인계 받아 배출하는 제2 이송장치(14)가 배치된다.The transfer apparatus 10 receives the substrate and transfers it in one direction. In the conveying apparatus 10, a plurality of conveying rollers 110 are arranged at regular intervals. The feed roller 110 rotates clockwise. The transfer apparatus 10 includes a first transfer apparatus 12 for inputting a substrate to the coating machine 20 and a second transfer apparatus 14 for taking over and discharging the coated substrate.

제1 이송장치(12)는 전 공정에서 이송된 기판을 정렬하여 코팅기(20)로 이송한다. 제1 이송장치(12)는 기판의 정확한 코팅을 위해 정렬장치(미표시)가 배치된다. 정렬장치는 다수개의 기판을 동시에 정렬시키는 것이 바람직하다.The first transfer apparatus 12 arranges the substrate transferred in the previous process and transfers the substrate to the coater 20. The first transfer device 12 is arranged with an alignment device (not shown) for accurate coating of the substrate. The alignment device preferably aligns multiple substrates simultaneously.

제2 이송장치(14)는 도포된 기판을 다음 공정으로 이송한다. 경우에 따라서는 다음 공정의 신속한 진행을 위해 도포된 기판을 정렬하여 배출하기도 한다.The second transfer device 14 transfers the coated substrate to the next process. In some cases, the coated substrate may be aligned and discharged for rapid progress of the next process.

코팅기(20)는 이송장치(10)로부터 이송되는 다수개의 기판 표면에 코팅 액을 도포한다. 코팅기(20)는 이송롤러(110)에서 기판을 인계받아 지지하는 지지롤러(22)와 기판에 접하여 도포하는 코팅롤러(24)와 코팅롤러(24)에 일정하게 코팅액을 유지시키는 닥터롤러(26)를 구비한다.The coater 20 applies the coating liquid to the surface of the plurality of substrates transferred from the conveying apparatus 10. The coating machine 20 is a support roller 22 for taking over and supporting a substrate in the transfer roller 110, and a coating roller 24 for contacting and applying the substrate to the substrate and a doctor roller 26 for maintaining a constant coating liquid on the coating roller 24. ).

지지롤러(22)는 제1 이송장치(12)로부터 투입되는 기판을 인계 받아 이송한다. 지지롤러(22)는 이송롤러(110)와 같은 방향으로 회전한다. 지지롤러(22)는 이송롤러(110)에서 기판이 떨어지지 않도록 최대한 밀착되어 배치된다. 지지롤러(22)는 기판의 이동시에 충격으로 인해 이탈되지 않도록 이송롤러(110)와 같은 높이로 배치된다. 지지롤러(22)는 제1 이송장치(12)와 제2 이송장치(14) 사이에 배치된다. 지지롤러(22)는 제1 이송장치(12)에서 기판을 인계시 발생되는 충격을 최소화 하기위하여 이송롤러와 같은 높이로 배치한다.The supporting roller 22 takes over and feeds the substrate fed from the first transfer device 12. The support roller 22 rotates in the same direction as the feed roller 110. The supporting rollers 22 are arranged to be in close contact with each other so that the substrate does not fall from the transfer roller 110. The support roller 22 is disposed at the same height as the feed roller 110 so as not to be separated due to the impact during the movement of the substrate. The support roller 22 is disposed between the first conveying device 12 and the second conveying device 14. The support roller 22 is disposed at the same height as the feed roller in order to minimize the impact generated when the substrate is taken over by the first feed device 12.

코팅롤러(24)는 기판의 표면에 코팅 액을 도포한다. 코팅롤러(24)는 지지롤러(22)에서 일정거리 이격되어 배치된다. 코팅롤러(24)는 이송롤러(110)에서 지지롤러(22)로 이송되는 기판에 대하여 표면에 코팅 액을 도포한다.The coating roller 24 applies a coating liquid to the surface of the substrate. The coating roller 24 is disposed spaced apart from the support roller 22 by a predetermined distance. The coating roller 24 applies a coating liquid to the surface of the substrate transferred from the feed roller 110 to the support roller 22.

코팅롤러(24)는 이송롤러(110)에서 기판이 지지롤러(22)에 옮겨지면 기판과 접촉하여 도포 층을 형성한다. 이때, 코팅롤러(24)는 기판 표면에 코팅 액을 도포하여 도포 층을 형성하는 것이 바람직하다. 코팅롤러(24)는 지지롤러(22)와 반대 방향으로 회전한다. 이는, 기판의 흐름을 원활하게 유지하기 위함이다. 코팅롤러(24)의 양끝 단에는 코팅 액이 떨어지는 홈이 형성되는 것이 바람직하다. 코팅롤러(24)는 회전으로 인해 코팅 액이 일정두께를 유지한다. 즉, 코팅롤러(24)는 일정두께 이상으로 코팅 액이 쌓이면 회전력에 의해 코팅롤러(24)의 길이 방향으로 코팅 액이 이동한다. 코팅롤러(24)는 회전으로 인해 일정두께를 유지하고 일정두께 이상이 되면 양 끝단으로 코팅액을 밀어 내어 홈을 이용하여 코팅액을 떨어뜨린다. 이때, 떨어지는 코팅액은 받침대에 모이게 된다. The coating roller 24 contacts the substrate when the substrate is transferred to the support roller 22 in the transfer roller 110 to form an application layer. At this time, the coating roller 24 is preferably to form a coating layer by applying a coating liquid to the substrate surface. The coating roller 24 rotates in the opposite direction to the supporting roller 22. This is to keep the flow of the substrate smoothly. Both ends of the coating roller 24 is preferably formed with a groove in which the coating liquid falls. The coating roller 24 maintains a constant thickness of the coating liquid due to rotation. That is, in the coating roller 24, when the coating liquid is accumulated at a predetermined thickness or more, the coating liquid moves in the longitudinal direction of the coating roller 24 by the rotational force. The coating roller 24 maintains a certain thickness due to rotation, and when the coating roller 24 has a predetermined thickness or more, the coating liquid is pushed out at both ends to drop the coating liquid using a groove. At this time, the falling coating liquid is collected in the pedestal.

닥터롤러(26)는 코팅액을 일정두께로 유지한다. 닥터롤러(26)는 코팅롤러(24)와 일정거리 이격되어 배치된다. 닥터롤러(26)는 이송롤러(110)의 상단부에 배치된다. 닥터롤러(26)는 코팅롤러(24)와 반대방향으로 회전한다.The doctor roller 26 keeps the coating liquid at a constant thickness. The doctor roller 26 is spaced apart from the coating roller 24 by a predetermined distance. The doctor roller 26 is disposed at the upper end of the feed roller 110. The doctor roller 26 rotates in the opposite direction to the coating roller 24.

도 7은 도 4에 도시된 A의 확대도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 도포기(30)는 코팅기(20)에 코팅 액을 떨어뜨린다. 도포기(30)는 닥터롤러(26)에 코팅 액을 주입하는 노즐(32)과 코팅 액을 닥터롤러(26)에 균등하게 주입하기 위하여 닥터롤러(26)의 길이만큼 직선운동 하는 구동부(34)와 노즐(32)로 코팅액(화학약품: N-Type, P-Type 등)을 주입하는 주입부재(36)가 포함된다.FIG. 7 is an enlarged view of A shown in FIG. 4. Referring to the drawings, the applicator 30 drops the coating liquid on the coater 20. The applicator 30 includes a nozzle 32 for injecting the coating liquid into the doctor roller 26 and a driving part 34 which linearly moves by the length of the doctor roller 26 so as to uniformly inject the coating liquid into the doctor roller 26. ) And an injection member 36 for injecting a coating liquid (chemical: N-Type, P-Type, etc.) into the nozzle 32.

노즐(32)은 일정액의 코팅 액을 닥터롤러(26)에 떨어뜨린다. 노즐(32)는 다수개가 배치되어 주입부재(36)로부터 코팅액을 공급받는다. 노즐(32)는 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)가 접하는 부근에 배치된다. 노즐(32)는 일정 간격으로 코팅 액을 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)가 배치되는 곳에 코팅 액을 방울로 떨어뜨린다. 이는, 노즐(32)의 주입방식을 한정하기 위함은 아니며 경우에 따라서는 코팅 액을 연속적으로 주입하는 방식도 사용이 가능하다. 노즐(32)은 다수개가 배치되는 것이 바람직하다. 노즐(32)은 각 공정에 맞는 코팅액의 주입이 가능하도록 다수개가 배치된다. 예를 들어 공정 액 중 N-Type, P-Type 등의 화학약품을 사용하는 공정일 경우에는 노즐까지 공급되는 주입부재를 다수개 배치한다. N-Type(Nega-PR)은 빛이 닿은 부분이 단단하게 형성되는 타입의 화학 약품을 말하며 P-Type(Posi-PR)은 빛이 닿은 부분이 없어지는 약품을 각각의 특성이 서로 섞여서 교체시 발생되는 불량에 맞는 액체가 서로 섞이지 않도록 노즐(32)까지 공급되는 주입부재(40)를 각각 구비 한다. The nozzle 32 drops a certain amount of coating liquid onto the doctor roller 26. A plurality of nozzles 32 are arranged to receive the coating liquid from the injection member 36. The nozzle 32 is disposed in the vicinity of the contact between the coating roller 24 and the doctor roller 26. The nozzle 32 drops the coating liquid into drops at a predetermined interval where the coating roller 24 and the doctor roller 26 are disposed. This is not intended to limit the injection method of the nozzle 32, and in some cases, a method of continuously injecting a coating liquid may be used. It is preferable that a plurality of nozzles 32 be arranged. A plurality of nozzles 32 are disposed to enable injection of a coating solution for each process. For example, in the case of a process using chemicals such as N-Type and P-Type in the process liquid, a plurality of injection members supplied to the nozzle are disposed. N-Type (Nega-PR) refers to the type of chemicals in which the lighted part is formed firmly. P-Type (Posi-PR) refers to the chemicals in which the part of the lighted part disappears. Each of the injection members 40 supplied to the nozzles 32 are provided so as not to mix with each other.

노즐(32)은 공정에 쓰이는 코팅액 뿐만 아니라 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)를 세척하는 화학약품도 공급한다. 이로 인해 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)를 세척하기 위해 화학약품을 교체하는 별도의 작업이 필요 없다 또한, 화학약품을 교체시 주입부재가 하나일 경우에는 공급초기에 코팅액을 버려서 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)를 안정시켜야만 하는 문제점도 해결하였다.The nozzle 32 supplies chemicals for cleaning the coating roller 24 and the doctor roller 26 as well as the coating liquid used in the process. Because of this, there is no need to replace the chemical to clean the coating roller 24 and the doctor roller 26. In addition, if there is only one injection member when the chemical is replaced, the coating roller is discarded at the beginning of supply. The problem of stabilizing (24) and the doctor roller (26) was also solved.

구동부(34)는 닥터롤러(26)의 길이 범위 내에서 직선운동을 한다. 구동부(34)는 닥터롤러(26)의 상단부에 배치되는 것이 바람직하다. 구동부(34)는 직선 운동시 진동을 최소화하기 위하여 리니어 가이드를 사용하는 것이 바람직하다. 이는, 구동부(34)를 한정하기 위함은 아니며 직선운동이 가능한 어떠한 제품도 상관없다. 구동부(34)는 일정거리 이격되어 노즐(32)을 고정한다. 구동부(34)는 브라켓(310)을 사용하여 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)가 접하는 부근에 노즐(32)을 배치시킨다. 구동부(34)는 노즐(32)로 코팅액을 주입하는 주입부재를 고정한다.The drive part 34 makes a linear motion within the length range of the doctor roller 26. The driving unit 34 is preferably disposed at the upper end of the doctor roller 26. The drive unit 34 preferably uses a linear guide to minimize vibration during linear motion. This is not intended to limit the drive 34, and any product capable of linear motion may be used. The driving unit 34 is spaced a predetermined distance to fix the nozzle (32). The driving unit 34 uses the bracket 310 to arrange the nozzle 32 in the vicinity of the contact between the coating roller 24 and the doctor roller 26. The driving unit 34 fixes the injection member for injecting the coating liquid into the nozzle 32.

구동부(34)는 닥터롤러(26)의 길이 방향을 따라 일정거리 이격되어 직선운동을 한다. 이는, 노즐(32)에서 떨어지는 코팅 액이 일정간격을 갖으면서 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)에 일정간격으로 코팅액을 떨어지게 하기 위함이다.The driving part 34 is linearly spaced apart by a predetermined distance along the longitudinal direction of the doctor roller 26. This is to allow the coating liquid falling from the nozzle 32 to fall off the coating liquid at regular intervals on the coating roller 24 and the doctor roller 26 while having a predetermined interval.

주입부재(40)는 다수개의 코팅 액을 보관하면서 노즐(32)로 코팅 액을 이송한다. 주입부재(40)는 다수개의 코팅 액을 각각 따로 보관하고 노즐(32)로 코팅 액을 이송한다. 이때, 주입부재(40)는 각각의 코팅 액을 각각 따로 다수개의 노즐(32)에 공급되는 연결관(미표시)이 배치된다. 연결관은 테프론 호스를 사용하는 것이 바람직하다. 이는, 연결관의 재질을 한정하기 위함은 아니다.The injection member 40 transfers the coating liquid to the nozzle 32 while storing the plurality of coating liquids. The injection member 40 stores a plurality of coating liquids separately and transfers the coating liquid to the nozzle 32. At this time, the injection member 40 is disposed in the connecting pipe (not shown) which is supplied to each of the plurality of nozzles 32 each coating liquid separately. It is preferable to use a Teflon hose as the connector. This is not intended to limit the material of the connector.

주입부재(40)는 연결관을 이용하여 유압으로 노즐(32)까지 코팅액을 이송하는 것이 바람직하다. 주입부재(40)는 다수개의 노즐(32)에 각각의 서로 다른 코팅액을 주입한다. 이는, 기존방식인 기존 코팅액과 새로 투입되는 코팅 액이 서로 섞여서 기판의 표면에 도포 층을 발생하지 못하는 문제점을 해결하였다. 더욱이 공정을 진행시에 발생되는 생산효율이 떨어트리는 문제점을 해결하였다.
The injection member 40 preferably transfers the coating liquid to the nozzle 32 hydraulically by using a connecting pipe. The injection member 40 injects each different coating liquid into the plurality of nozzles 32. This solves a problem in that the existing coating liquid and the newly added coating liquid are not mixed with each other and do not generate an application layer on the surface of the substrate. In addition, the problem that the production efficiency generated during the process is reduced.

도 8은 도 5에 도시된 B-B의 단면도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 받침부재(50)는 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)에서 떨어지는 코팅 액을 한곳으로 모은다. 받침부재(50)는 이송롤러(110)의 하단에 배치된다. 받침부재(50)는 코팅 액이 한곳으로 모이기 위하여 경사면을 갖는다. 받침부재(50)는 제1 이송장치(12)와 제2 이송장치(14)와 코팅기(20)에서 떨어지는 코팅액을 한곳으로 모으도록 경사면이 형성된다. 받침부재(50)는 배출부가 형성된다. 배출부 는 외부와 연결되어 사용이 완료된 코팅액을 모아 외부로 배출한다.FIG. 8 is a cross-sectional view of B-B shown in FIG. 5. Referring to the drawings, the support member 50 collects the coating liquid falling from the coating roller 24 and the doctor roller 26 in one place. The supporting member 50 is disposed at the lower end of the feed roller 110. The supporting member 50 has an inclined surface in order to gather the coating liquid into one place. The supporting member 50 is formed with an inclined surface to collect the coating liquid falling from the first transfer device 12, the second transfer device 14 and the coating machine 20 into one place. The supporting member 50 has a discharge portion. The discharge part is connected to the outside and collects the used coating liquid and discharges it to the outside.

환풍 배기구(60)는 코팅액에서 발생되는 냄새를 외부로 배출한다. 환풍 배기구(60)는 받침부재(50)의 중앙에 배치되어 화학약품에서 발생되는 냄새를 제거한다. 환풍 배기구(60)는 제1 이송장치(12), 제2 이송장치(14), 코팅기(20) 등 에서 떨어지는 코팅액이 내부로 침입하지 못하도록 커버를 갖는 것이 바람직하다. 환풍 배기구(60)는 ??ㄷ?? 자 형상을 갖으면서 냄새가 빠져나가도록 형성되는 것이 좋다. 이는 환풍 배기구(60)의 형태를 한정하기 위함은 아니다. 환풍 배기구는 이송롤러(110)의 하단부에 배기관(62)과 연결된다. 배기관(62)은 스텐인레스 관,PVC,알루미늄 자바라관 등으로 제작된 관을 사용하는 것이 바람직하다. 배기관(62)은 일측에는 환풍 배기구(60)와 연결되 타측단은 환풍기(미도시)에 연결된다. 환풍기(미도시)는 배기관을 이용하여 코팅액의 냄새를 외부로 빼낸다.
Vent exhaust port 60 discharges the odor generated in the coating liquid to the outside. Vent vent 60 is disposed in the center of the support member 50 to remove the odor generated by the chemical. Vent exhaust port 60 preferably has a cover to prevent the coating liquid falling from the first conveying device 12, the second conveying device 14, the coating machine 20 and the like to enter the inside. Vent vent 60 is It is good to be formed so that the smell while leaving the shape. This is not intended to limit the shape of the vent exhaust port 60. The exhaust vent is connected to the exhaust pipe 62 at the lower end of the feed roller 110. The exhaust pipe 62 is preferably a pipe made of stainless steel pipe, PVC, aluminum bellows pipe, or the like. Exhaust pipe 62 is connected to the exhaust vent 60 on one side and the other end is connected to a fan (not shown). A fan (not shown) draws out the smell of the coating liquid to the outside using an exhaust pipe.

전술한 본 발명에 따른 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 코팅액의 교체방법을 설명한다. It will be described a method of replacing the coating liquid of the plurality of substrate roller coating apparatus according to the present invention.

다수개의 기판의 공급 이송을 멈춘다. 기판의 이송만 되지 않는 상태에서 이송장치만 구동된다. 다수개의 노즐에서 투입되는 코팅액의 투입을 중지한다. 다수개의 노즐에서 공정 중에 사용되는 코팅 액이 도포기로 공급을 중지한다. 다수개의 노즐 중 하나에 세정액을 주입한다. 이때, 주입되는 세정액은 기존에 사용되는 코팅 액을 사용하는 노즐이 아니고 별도의 노즐을 사용한다. 이는 코팅액과 세정액이 서로 섞이는 것을 방지한다. 별도의 노즐을 이용하여 세정액을 코팅기에 떨어뜨린다. 코팅기는 세정액을 이용하여 코팅롤러와 닥터롤러에 있는 코팅 액을 제거한다.The supply transfer of the plurality of substrates is stopped. Only the conveying device is driven while only the substrate is not conveyed. Dispensing of the coating liquid from the plurality of nozzles is stopped. The coating liquid used in the process at the multiple nozzles stops feeding the applicator. The cleaning liquid is injected into one of the plurality of nozzles. In this case, the injected cleaning liquid uses a separate nozzle, not a nozzle using a conventionally used coating liquid. This prevents the coating solution and the cleaning solution from mixing with each other. The cleaning liquid is dropped into the coater using a separate nozzle. The coater uses a cleaning liquid to remove the coating liquid from the coating roller and the doctor roller.

세정액은 이송장치에 묻어 있는 코팅액을 제거한다. 이는 이송장치가 구동할 때 세정액을 떨어뜨리는 것이 좋다. 세정액이 코팅롤러와 닥터롤러에 있는 기존 코팅액이 제거 된 지 확인한다. 기존 코팅 액이 제거되면 공정의 진행여부를 판단한다. 제거가 되면 새로운 코팅 액은 노즐을 통해 공급한다. 코팅기가 안정되면 이송장치에 다수개의 기판을 공급한다.
The cleaning liquid removes the coating liquid from the transfer device. It is advisable to drop the cleaning liquid when the transfer device is driven. Make sure that the cleaning solution is removed from the existing coating solution in the coating roller and doctor roller. If the existing coating solution is removed, it is determined whether the process is in progress. Once removed, fresh coating fluid is supplied through the nozzle. When the coater is stable, it feeds a plurality of substrates to the transfer device.

이하 본 발명의 실시예에 의한 작용을 첨부도면과 연계하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the embodiment of the present invention will be described in connection with the accompanying drawings.

기판은 제1 이송장치(12)를 통해서 투입된다. 투입된 기판은 지지롤러(22)로 진입한다. 진입된 기판은 코팅롤러(24)에 의해 일정 두께로 기판 표면에 도포 층을 생성한다. 도포가 완료된 기판은 제2 이송장치(14)를 통해 다음 공정으로 진행한다. The substrate is fed through the first transfer device 12. The inserted substrate enters the support roller 22. The entered substrate creates a coating layer on the surface of the substrate to a certain thickness by the coating roller 24. The substrate on which the coating is completed proceeds to the next step through the second transfer device 14.

이때, 주입부재(40)는 공정에 필요한 화학약품을 연결관을 이용하여 노즐에 공급해준다. 노즐은 일정액의 코팅액을 닥터롤러(26)에 떨어뜨린다. 일정액의 코팅액이 닥터롤러(26)에 균등하게 떨어지도록 구동부(34)가 직선 운동하여 노즐이 떨어뜨리는 코팅액의 위치를 제어 한다.At this time, the injection member 40 supplies the chemicals required for the process to the nozzle using a connection pipe. The nozzle drops a certain amount of coating liquid onto the doctor roller 26. The driving unit 34 linearly moves so that a certain amount of the coating liquid falls on the doctor roller 26 to control the position of the coating liquid dropped by the nozzle.

코팅액을 다른 코팅액으로 변경하기위해서는 다수개의 노즐(32) 중에 하나가 세척액을 코팅기(20)에 떨어뜨린다. 코팅기(20)의 세척이 완료 되면 필요한 코팅액을 주입하여 코팅기(20)가 일정두께를 유지하도록 한다.In order to change the coating liquid to another coating liquid, one of the plurality of nozzles 32 drops the cleaning liquid to the coating machine 20. When the cleaning of the coater 20 is completed, the required coating liquid is injected to maintain the thickness of the coater 20.

또한, 코팅기(20)에서 기판의 표면에 주입되고 남은 코팅액은 받침부재(50)의 경사면을 따라 모이게 되고 배출부를 통해 외부로 배출한다. 공정 중에 발생되는 유독가스 및 냄새 등을 환풍 배기구(60)를 통하여 외부로 배출한다.
In addition, the coating liquid injected into the surface of the substrate in the coating machine 20 is collected along the inclined surface of the support member 50 and discharged to the outside through the discharge portion. Toxic gas and odor generated during the process are discharged to the outside through the exhaust vent 60.

도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 사시도이고, 도 10은 도 9에 도시된 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 정면도이며, 도 11은 도 10에 도시된 C-C의 단면도이고, 도 12는 도 9에 도시된 다수개의 기판 롤러 코팅장치의 측면도이다.9 is a perspective view of a plurality of substrate roller coating apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 10 is a front view of the plurality of substrate roller coating apparatus shown in Figure 9, Figure 11 is a cross-sectional view of the CC shown in FIG. 12 is a side view of the plurality of substrate roller coating apparatus shown in FIG.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 다수개의 기판을 롤러 코팅하는 장치는, 기판을 이송하는 이송장치(10)와 기판을 코팅하는 코팅기(20)와 코팅기(20)에 코팅액을 떨어뜨리는 도포기(30)가 포함된다.Referring to the drawings, the apparatus for roller coating a plurality of substrates according to the present invention, the transfer device 10 for transporting the substrate and the coating to drop the coating liquid on the coater 20 and the coater 20 for coating the substrate Group 30 is included.

이송장치(10)는 작업장 바닥에 고정되고 기판을 이송한다. 이송장치(10)는 다수개의 이송롤러(110)와 다수개의 기판을 정렬하는 정렬장치(미표시)를 포함한다.The conveying apparatus 10 is fixed to the floor of the workplace and conveys the substrate. The conveying apparatus 10 includes a plurality of conveying rollers 110 and an alignment device (not shown) for aligning a plurality of substrates.

이송장치(10)는 기판을 투입받아서 일 방향으로 이송한다. 이송장치(10)는 다수개의 이송롤러(110)가 일정간격으로 배치된다. 이송롤러(110)는 시계방향으로 회전한다. 이송장치(10)는 코팅기(20)로 기판을 투입하는 제1 이송장치(12)와 도포된 기판을 인계받아 배출하는 제2 이송장치(14)가 배치된다.The transfer device 10 receives the substrate and transfers it in one direction. In the conveying apparatus 10, a plurality of conveying rollers 110 are arranged at regular intervals. The feed roller 110 rotates clockwise. The transfer device 10 includes a first transfer device 12 for feeding a substrate into the coater 20 and a second transfer device 14 for taking over and discharging the coated substrate.

제1 이송장치(12)는 전 공정에서 이송된 기판을 정렬하여 코팅기(20)로 이송한다. 제1 이송장치(12)는 기판의 정확한 코팅을 위해 정렬장치(미표시)가 배치된다. 정렬장치는 다수개의 기판을 동시에 정렬시키는 것이 바람직하다.The first transfer apparatus 12 arranges the substrate transferred in the previous process and transfers the substrate to the coater 20. The first transfer device 12 is arranged with an alignment device (not shown) for accurate coating of the substrate. The alignment device preferably aligns multiple substrates simultaneously.

제2 이송장치(14)는 도포된 기판을 다음 공정으로 이송한다. 경우에 따라서는 다음 공정의 신속한 진행을 위해 도포된 기판을 정렬하여 배출하기도 한다.The second transfer device 14 transfers the coated substrate to the next process. In some cases, the coated substrate may be aligned and discharged for rapid progress of the next process.

코팅기(20)는 이송장치(10)로부터 이송되는 다수개의 기판 표면에 코팅액을 도포한다. 코팅기(20)는 이송롤러(110)에서 기판을 인계받아 지지하는 지지롤러(22)와 기판에 접하여 도포하는 코팅롤러(24)와 코팅롤러(24)에 일정하게 코팅액을 유지시키는 닥터롤러(26)를 구비한다.The coater 20 applies the coating liquid to the surface of the plurality of substrates transferred from the conveying apparatus 10. The coating machine 20 is a support roller 22 for taking over and supporting a substrate in the transfer roller 110, and a coating roller 24 for contacting and applying the substrate to the substrate and a doctor roller 26 for maintaining a constant coating liquid on the coating roller 24. ).

지지롤러(22)는 제1 이송장치(12)로부터 투입되는 기판을 인계받아 이송한다. 지지롤러(22)는 이송롤러(110)와 같은 방향으로 회전한다. 지지롤러(22)는 이송롤러(110)에서 기판이 떨어지지 않도록 최대한 밀착되어 배치된다. 지지롤러(22)는 기판의 이동시에 충격으로 인해 이탈되지 않도록 이송롤러(110)와 같은 높이로 배치된다. 지지롤러(22)는 제1 이송장치(12)와 제2 이송장치(14) 사이에 배치된다. 지지롤러(22)는 제1 이송장치(12)에서 기판을 인계시 발생되는 충격을 최소화하기 위하여 이송롤러(110)와 같은 높이로 배치한다.The support roller 22 takes over and feeds the substrate fed from the first transfer device 12. The support roller 22 rotates in the same direction as the feed roller 110. The supporting rollers 22 are arranged to be in close contact with each other so that the substrate does not fall from the transfer roller 110. The support roller 22 is disposed at the same height as the feed roller 110 so as not to be separated due to the impact during the movement of the substrate. The support roller 22 is disposed between the first conveying device 12 and the second conveying device 14. The support roller 22 is disposed at the same height as the feed roller 110 in order to minimize the impact generated when the substrate is taken over by the first feed device 12.

코팅롤러(24)는 기판의 표면에 코팅액을 도포한다. 코팅롤러(24)는 지지롤러(22)에서 일정거리 이격되어 배치된다. 코팅롤러(24)는 이송롤러(110)에서 지지롤러(22)로 이송되는 기판에 대하여 표면에 코팅액을 도포한다.The coating roller 24 applies a coating liquid to the surface of the substrate. The coating roller 24 is disposed spaced apart from the support roller 22 by a predetermined distance. The coating roller 24 applies a coating liquid to the surface of the substrate transferred from the feed roller 110 to the support roller 22.

코팅롤러(24)는 이송롤러(110)에서 기판이 지지롤러(22)에 옮겨지면 기판과 접촉하여 도포 층을 형성한다. 이때, 코팅롤러(24)는 정전기를 이용하여 비접촉 방식으로 기판 표면에 코팅액을 도포하여 도포 층을 형성할 수도 있다. 코팅롤러(24)는 지지롤러(22)와 반대 방향으로 회전한다. 이는, 기판의 흐름을 원활하게 유지하기 위함이다. 코팅롤러(24)의 양끝 단에는 코팅액이 떨어지는 홈이 형성되는 것이 바람직하다. 코팅롤러(24)는 회전으로 인해 코팅액이 일정두께를 유지한다. 즉, 코팅롤러(24)는 일정두께 이상으로 코팅액이 쌓이면 회전력에 의해 코팅롤러(24)의 길이 방향으로 코팅액이 이동한다.The coating roller 24 contacts the substrate when the substrate is transferred to the support roller 22 in the transfer roller 110 to form an application layer. In this case, the coating roller 24 may form a coating layer by applying a coating liquid to the surface of the substrate in a non-contact manner using static electricity. The coating roller 24 rotates in the opposite direction to the supporting roller 22. This is to keep the flow of the substrate smoothly. Both ends of the coating roller 24 is preferably formed with a groove in which the coating liquid falls. The coating roller 24 maintains a constant thickness of the coating liquid due to rotation. That is, in the coating roller 24, when the coating liquid is accumulated at a predetermined thickness or more, the coating liquid moves in the longitudinal direction of the coating roller 24 by the rotational force.

닥터롤러(26)는 코팅액을 일정두께로 유지한다. 닥터롤러(26)는 코팅롤러(24)와 일정거리 이격되어 배치된다. 닥터롤러(26)는 이송롤러(110)의 상단부에 배치된다. 닥터롤러(26)는 코팅롤러(24)와 반대방향으로 회전한다.The doctor roller 26 keeps the coating liquid at a constant thickness. The doctor roller 26 is spaced apart from the coating roller 24 by a predetermined distance. The doctor roller 26 is disposed at the upper end of the feed roller 110. The doctor roller 26 rotates in the opposite direction to the coating roller 24.

도포기(30)는 코팅기(20)에 코팅액을 떨어뜨린다. 도포기(30)는 닥터롤러(26)에 코팅액을 주입하는 노즐(32)과 코팅액을 닥터롤러(26)에 균등하게 주입하기 위하여 닥터롤러(26)의 길이만큼 직선운동 하는 구동부(34)가 포함된다.The applicator 30 drops the coating liquid onto the coater 20. The applicator 30 has a nozzle 32 for injecting a coating liquid into the doctor roller 26 and a driving part 34 that linearly moves by the length of the doctor roller 26 so as to uniformly inject the coating liquid into the doctor roller 26. Included.

노즐(32)은 일정액의 코팅액을 닥터롤러(26)에 떨어뜨린다. 노즐(32)는 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)이 접하는 부근에 배치된다. 노즐(32)는 일정 간격으로 코팅액을 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)가 배치되는 곳에 코팅액을 방울로 떨어뜨린다. 이는, 노즐(32)의 주입방식을 한정하기 위함은 아니며 경우에 따라서는 코팅 액을 연속적으로 주입하는 방식도 사용이 가능하다.The nozzle 32 drops a certain amount of coating liquid onto the doctor roller 26. The nozzle 32 is disposed in the vicinity where the coating roller 24 and the doctor roller 26 contact each other. The nozzle 32 drops the coating liquid into drops where the coating roller 24 and the doctor roller 26 are disposed at regular intervals. This is not intended to limit the injection method of the nozzle 32, and in some cases, a method of continuously injecting a coating liquid may be used.

구동부(34)는 닥터롤러(26)의 길이 범위 내에서 직선운동을 한다. 구동부(34)는 닥터롤러(26)의 상단부에 배치되는 것이 바람직하다. 구동부(34)는 직선 운동시 진동을 최소화하기 위하여 리니어 가이드를 사용하는 것이 바람직하다. 이는, 구동부(34)를 한정하기 위함은 아니며 직선운동이 가능한 어떠한 제품도 상관없다. 구동부(34)는 일정거리 이격되어 노즐(32)을 고정한다.The drive part 34 makes a linear motion within the length range of the doctor roller 26. The driving unit 34 is preferably disposed at the upper end of the doctor roller 26. The drive unit 34 preferably uses a linear guide to minimize vibration during linear motion. This is not intended to limit the drive 34, and any product capable of linear motion may be used. The driving unit 34 is spaced a predetermined distance to fix the nozzle (32).

구동부(34)는 닥터롤러(26)의 길이 방향을 따라 일정거리 이격되어 직선운동을 한다. 이는, 노즐(32)에서 떨어지는 코팅액이 일정간격을 갖으면서 코팅롤러(24)와 닥터롤러(26)에 일정간격으로 코팅액을 떨어지게 하기 위함이다.The driving part 34 is linearly spaced apart by a predetermined distance along the longitudinal direction of the doctor roller 26. This is to allow the coating liquid falling from the nozzle 32 to fall off the coating liquid at regular intervals to the coating roller 24 and the doctor roller 26 while having a predetermined interval.

제1 리드부(130)는 제1 서보모터(170)의 구동에 의해 작동되어 코팅재의 점성이나 코팅 두께에 따라 닥터롤(26)을 이동시킴으로써 코팅롤(24)과 닥터롤(26)의 간격을 조절한다. 즉, 제1 리드부(130)는 플레이트(150)에 형성된 홈(151)을 통해 닥터롤(26)의 중심축과 연결되어 제1 서보모터(170)의 구동에 의해 닥터롤(26)을 이동시켜 코팅롤(24)과의 간격을 조정한다. 플레이트(150)에는 코팅롤(24)과의 간격 조정을 위해 닥터롤(26)을 소정 길이의 범위 안에서 이동시킬 수 있는 홈(151)이 형성되어 있다.The first lead part 130 is operated by the driving of the first servomotor 170 to move the doctor roll 26 according to the viscosity or coating thickness of the coating material so that the gap between the coating roll 24 and the doctor roll 26 is achieved. Adjust. That is, the first lead part 130 is connected to the central axis of the doctor roll 26 through the groove 151 formed in the plate 150 to connect the doctor roll 26 by driving the first servomotor 170. It moves and adjusts the space | interval with the coating roll 24. The plate 150 is provided with a groove 151 for moving the doctor roll 26 within a predetermined length for adjusting the gap with the coating roll 24.

제2 리드부(190)는 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 작동되어 코팅롤(24)의 하부에 배치된 이송장치에 의해 이송되는 기판의 두께에 따라 플레이트(150)를 상,하 방향으로 이동시킨다. 플레이트(150)는 플레이트(150)의 내측에 형성된 부재에 고정되는 가이드 레일(미도시됨)을 따라 상하 방향으로 이동 가능한 구조를 갖는다. 이에 따라 플레이트(150)에 연결된 코팅롤(24)과 닥터롤(26)이 플레이트(150)의 이동 방향을 따라 상,하 방향으로 이동되어 기판을 이송하는 이송장치와 코팅롤(24) 간의 간격이 조정된다. 플레이트(150)의 내측면에는 코팅롤(24)의 중심축이 연결되어 고정되고, 닥터롤(26)의 중심축은 제1 리드부(130)와 연결되어 상기 플레이트(150)에 형성되어 있는 홈(151)을 따라 이동 가능한 구조를 갖는다. 즉, 제2 리드부(190)는 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 작동되어 가이드 레일을 따라 이동되는 플레이트(150)를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 플레이트(150)에 연결되어 있는 코팅롤(24)과 닥터롤(26)이 상하 방향으로 이동되어 기판을 이송하는 이송장치와 코팅롤(24) 간의 간격을 조정한다.The second lead part 190 is operated by the driving of the second servomotor 210 to move the plate 150 up and down according to the thickness of the substrate transferred by the transfer device disposed under the coating roll 24. To move in the direction of The plate 150 has a structure capable of moving in a vertical direction along a guide rail (not shown) fixed to a member formed inside the plate 150. Accordingly, the coating roll 24 and the doctor roll 26 connected to the plate 150 are moved in the up and down direction along the moving direction of the plate 150 to thereby separate the gap between the transfer device and the coating roll 24 to transfer the substrate. This is adjusted. The central axis of the coating roll 24 is connected and fixed to the inner surface of the plate 150, the central axis of the doctor roll 26 is connected to the first lead portion 130 is formed in the plate 150 It has a structure movable along 151. That is, the second lead part 190 is operated by the driving of the second servomotor 210 to move the plate 150 moving along the guide rail in the up and down direction, so that the coating roll is connected to the plate 150. 24 and the doctor roll 26 are moved in the vertical direction to adjust the distance between the transfer device and the coating roll 24 for transporting the substrate.

다이얼 게이지(230)는 제1 서보모터(170)의 구동에 의해 작동되는 제1 리드부(130)에 의해 닥터롤(26)이 이동되는 경우 코팅롤(24)과 닥터롤(26)의 간격 및 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 작동되는 제2 리드부(190)에 의해 코팅롤(24)이 이동되는 경우 기판을 이송하는 이송장치와 코팅롤(24)의 간격을 표시한다.The dial gauge 230 is a gap between the coating roll 24 and the doctor roll 26 when the doctor roll 26 is moved by the first lead part 130 operated by the driving of the first servomotor 170. And when the coating roll 24 is moved by the second lead portion 190 which is operated by the drive of the second servomotor 210 displays the distance between the transfer device and the coating roll 24 for transporting the substrate.

하기에서는 제1 서보모터(170)의 구동에 의해 작동되는 제1 리드부(130)에 의해 코팅재의 점성이나 코팅 두께에 따라 닥터롤(26)이 코팅롤(24)과의 간격이 조정되는 작동 방법에 대하여 설명하기로 한다.In the following operation, the interval between the doctor roll 26 and the coating roll 24 is adjusted according to the viscosity or coating thickness of the coating material by the first lead part 130 operated by the driving of the first servomotor 170. The method will be described.

먼저, 기판에 코팅되는 코팅재의 점성이나 코팅 두께가 설정된다. 기판에 코팅되는 코팅재의 점성이나 코팅 두께가 설정되면 제1 서보모터(170)가 구동된다. 제1 서보모터(170)의 구동에 의해 제1 리드부(130)가 작동된다. 제1 리드부(130)는 제1 서보모터(170)의 구동에 의해 작동되어 설정된 코팅재의 점성이나 코팅 두께에 따라 닥터롤(26)을 이동시킴으로써 코팅롤(24)과 닥터롤(26) 간의 간격이 조절된다. 이때 제1 리드부(130)는 플레이트(150)에 형성된 소정 길이의 홈(151)을 통해 닥터롤(26)의 중심축과 연결되어 홈(151)을 따라 사선 방향으로 이동됨으로써 제1 리드부(130)에 연결된 닥터롤(26)이 코팅롤(24)과의 간격 조정이 이루어지게 된다.First, the viscosity or coating thickness of the coating material coated on the substrate is set. When the viscosity or coating thickness of the coating material coated on the substrate is set, the first servomotor 170 is driven. The first lead part 130 is operated by the driving of the first servomotor 170. The first lead part 130 is operated by driving of the first servomotor 170 to move the doctor roll 26 according to the viscosity or coating thickness of the coating material set between the coating roll 24 and the doctor roll 26. The interval is adjusted. In this case, the first lead part 130 is connected to the central axis of the doctor roll 26 through a groove 151 of a predetermined length formed in the plate 150 and moved in an oblique direction along the groove 151 so that the first lead part is moved. The doctor roll 26 connected to the 130 is adjusted to the gap with the coating roll 24.

또한, 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 작동되는 제2 리드부(190)에 의해 기판의 두께에 따라 기판 이송장치와 코팅롤(24) 사이의 간격이 조정되는 방법에 대하여 설명하기로 한다.In addition, a method of adjusting the distance between the substrate transfer device and the coating roll 24 according to the thickness of the substrate by the second lead unit 190 operated by the driving of the second servomotor 210 will be described. do.

먼저, 코팅롤(24)의 하부에 배치된 이송장치에 의해 이송되는 기판의 두께가 설정된다. 기판의 두께가 설정되면 제2 서보모터(210)가 구동된다. 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 제2 리드부(190)가 작동된다. 제2 리드부(190)는 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 작동되어 코팅롤(24)의 하부에 배치된 이송장치에 의해 이송되는 기판의 두께에 따라 플레이트(150)를 상,하 방향으로 이동시킨다. 이에 따라 플레이트(150)에 연결된 코팅롤(24)과 닥터롤(26)이 플레이트(150)의 이동 방향을 따라 상,하 방향으로 이동되어 기판을 이송하는 이송장치와 코팅롤(24) 간의 간격이 조정된다. 즉, 제2 리드부(190)는 제2 서보모터(210)의 구동에 의해 작동되어 가이드 레일을 따라 이동되는 플레이트(150)를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 플레이트(150)에 연결되어 있는 코팅롤(24)과 닥터롤(26)이 상하 방향으로 이동되어 기판을 이송하는 이송장치와 코팅롤(24) 간의 간격이 조정된다.
First, the thickness of the substrate to be conveyed by the conveying apparatus disposed below the coating roll 24 is set. When the thickness of the substrate is set, the second servomotor 210 is driven. The second lead part 190 is operated by driving the second servomotor 210. The second lead part 190 is operated by the driving of the second servomotor 210 to move the plate 150 up and down according to the thickness of the substrate transferred by the transfer device disposed under the coating roll 24. To move in the direction of Accordingly, the coating roll 24 and the doctor roll 26 connected to the plate 150 are moved in the up and down direction along the moving direction of the plate 150 to thereby separate the gap between the transfer device and the coating roll 24 to transfer the substrate. This is adjusted. That is, the second lead part 190 is operated by the driving of the second servomotor 210 to move the plate 150 moving along the guide rail in the up and down direction, so that the coating roll is connected to the plate 150. 24 and the doctor roll 26 are moved in the vertical direction to adjust the distance between the transfer device and the coating roll 24 for transporting the substrate.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be understood that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 이송장치 110: 이송롤러
20: 코팅기 22: 지지롤러
24: 코팅롤러 26: 닥터롤러
30: 도포기 130 : 제1 리드부
150 : 플레이트 170 : 제1 서보모터
190 : 제2 리드부 210 : 제2 서보모터
230 : 다이얼 게이지 250 : 기판 감지 센서
270 : 스토퍼 290 : 기판 정렬기
10: feeder 110: feed roller
20: coating machine 22: support roller
24: coating roller 26: doctor roller
30: applicator 130: first lead portion
150: plate 170: first servomotor
190: second lead portion 210: second servomotor
230: dial gauge 250: substrate detection sensor
270: stopper 290: substrate aligner

Claims (6)

기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치로서,
다수개의 기판을 코팅하는 코팅장치의 전단에 위치한 제1 이송장치와 상기 코팅장치의 후단에 위치한 제2 이송장치에 각각 설치되어 이송되는 다수개의 기판을 각각 감지하는 다수개의 센서;
상기 센서에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 제어부;
상기 제어부의 제어에 의해 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 일시적으로 정지시키는 스토퍼;
상기 제어부의 제어에 의해 구동되는 서보모터;
상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판이 상기 스토퍼에 의해 일시적으로 정지된 상태에서 상기 서보모터의 구동에 의해 작동되어 각 기판의 양측 방향으로부터 접근하여 기판을 정렬시키는 정렬기;
상기 기판에 직접적인 코팅을 진행하는 코팅롤과 상기 코팅롤에 묻은 코팅재를 균일하게 펴주는 닥터롤의 간격을 제어하기 위한 제1 서보모터;
상기 제1 서보모터의 구동에 의해 작동되어 코팅재의 점성이나 코팅 두께에 따라 상기 닥터롤을 이동시켜 상기 코팅롤과 상기 닥터롤의 간격을 조정하는 제1 리드부;
상기 기판의 두께에 따라 다수개의 기판을 이송하는 이송장치와 상기 코팅롤 사이의 간격을 제어하기 위한 제2 서보모터; 및
상기 제2 서보모터의 구동에 의해 작동되어 상기 기판의 두께에 따라 상기 이송장치와 상기 코팅롤 사이의 간격을 조정하는 제2 리드부를 포함하는 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치.
As a control device for coating and transferring the substrate,
A plurality of sensors each sensing a plurality of substrates respectively installed and transported in a first transfer device located at a front end of a coating device for coating a plurality of substrates and a second transfer device located at a rear end of the coating device;
A controller configured to generate a substrate alignment signal when receiving a substrate detection signal detected and transmitted by the sensor;
A stopper for temporarily stopping a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus under control of the controller;
A servo motor driven by the control of the controller;
The plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus are operated by driving of the servomotor in a state of being temporarily stopped by the stopper to align the substrates by approaching from both sides of each substrate. Aligner;
A first servomotor for controlling a gap between a coating roll for directly coating the substrate and a doctor roll uniformly spreading the coating material on the coating roll;
A first lead part operated by driving of the first servomotor to adjust the gap between the coating roll and the doctor roll by moving the doctor roll according to the viscosity or coating thickness of the coating material;
A second servomotor for controlling an interval between the transfer device for transferring a plurality of substrates and the coating roll according to the thickness of the substrate; And
And a second lead part operated by driving of the second servomotor to adjust a distance between the transfer device and the coating roll according to the thickness of the substrate.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 코팅장치의 상단부에 배치되어 서로 다른 코팅액을 공정에 맞게 롤러에 떨어뜨리는 다수개의 노즐과 상기 다수개의 노즐을 상기 롤러의 길이 방향으로 일정하게 이동하면서 코팅액을 떨어뜨리도록 직선 운동하는 구동부를 구비하는 도포기; 및
상기 다수개의 노즐에 각각의 연결관을 이용하여 코팅액 또는 세정액을 공급하는 주입부재를 더 포함하고,
상기 도포기는 상기 롤러를 세척하기 위하여 세정액을 떨어뜨리는 노즐을 구비하는
것을 특징으로 하는 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어장치.
The method according to claim 1,
A plurality of nozzles disposed on an upper end of the coating apparatus to drop different coating liquids onto a roller according to a process, and a driving part linearly moving to drop the coating liquid while constantly moving the plurality of nozzles in a longitudinal direction of the roller; Applicator; And
Further comprising an injection member for supplying a coating liquid or a cleaning liquid to each of the plurality of nozzles using the respective connection pipe,
The applicator includes a nozzle for dripping a cleaning liquid to clean the roller.
Control device for coating and transfer of the substrate, characterized in that.
기판의 코팅 및 이송을 위한 제어방법으로서,
(a) 다수개의 센서가 다수개의 기판을 코팅하는 코팅장치의 전단에 위치한 제1 이송장치와 상기 코팅장치의 후단에 위치한 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 각각 감지하는 단계;
(b) 제어부가 상기 센서에서 감지되어 전송되는 기판 감지 신호를 수신하는 경우 기판 정렬 신호를 발생시키는 단계;
(c) 스토퍼가 상기 제어부의 제어에 의해 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판을 일시적으로 정지시키는 단계;
(d) 상기 제어부의 제어에 의해 서보모터가 구동되는 단계;
(e) 정렬기가 상기 제1 이송장치 또는 상기 제2 이송장치에 의해 이송되는 다수개의 기판이 상기 스토퍼에 의해 일시적으로 정지된 상태에서 상기 서보모터의 구동에 의해 작동되어 각 기판의 양측 방향으로부터 이동하여 기판을 정렬시키는 단계;
(f) 상기 다수개의 기판에 직접적인 코팅을 진행하는 코팅롤과 상기 코팅롤에 묻은 코팅재를 균일하게 펴주는 닥터롤의 간격을 제어하기 위한 제1 서보모터가 구동되는 단계;
(g) 상기 제1 서보모터의 구동에 의해 제1 리드부가 작동되는 단계;
(h) 상기 제1 리드부가 기 설정된 코팅재의 점성이나 코팅 두께에 따라 상기 닥터롤을 이동시키는 단계;
(i) 상기 닥터롤의 이동에 의해 상기 코팅롤과 상기 닥터롤 간의 간격이 조정되는 단계;
(j) 상기 다수개의 기판의 두께에 따라 다수개의 기판을 이송하는 이송장치와 기판에 직접적인 코팅을 진행하는 코팅롤 사이의 간격을 제어하기 위한 제2 서보모터가 구동되는 단계;
(k) 상기 제2 서보모터의 구동에 의해 제2 리드부가 작동되는 단계;
(l) 상기 제2 리드부가 상기 이송장치에 의해 이송되는 기판의 두께에 따라 상기 코팅롤의 중심축이 연결된 플레이트를 이동시키는 단계; 및
(m) 상기 플레이트의 이동에 의해 상기 플레이트에 연결된 상기 코팅롤이 이동되어 상기 이송장치와 상기 코팅롤 간의 간격이 조정되는 단계를 포함하는 기판의 코팅 및 이송을 위한 제어방법.
As a control method for coating and transferring the substrate,
(a) detecting a plurality of substrates respectively transported by the first transfer device located at the front of the coating device and the second transfer device located at the rear end of the coating device, the plurality of sensors coating the plurality of substrates;
(b) generating a substrate alignment signal when the controller receives a substrate detection signal detected and transmitted by the sensor;
(c) the stopper temporarily stopping a plurality of substrates conveyed by the first conveying apparatus or the second conveying apparatus under the control of the controller;
(d) driving the servo motor under control of the controller;
(e) A plurality of substrates to which the aligner is conveyed by the first conveying device or the second conveying device are operated by driving of the servomotor in a state where the stopper is temporarily stopped by the stopper to move from both directions of each substrate. To align the substrate;
(f) driving a first servomotor to control a gap between a coating roll for directly coating the plurality of substrates and a doctor roll uniformly spreading the coating material on the coating roll;
(g) operating a first lead part by driving the first servomotor;
(h) moving the doctor roll according to a viscosity or a coating thickness of a predetermined coating material of the first lead part;
(i) adjusting the distance between the coating roll and the doctor roll by moving the doctor roll;
(j) driving a second servomotor for controlling a distance between a transfer device for transferring the plurality of substrates and a coating roll for direct coating on the substrate according to the thickness of the plurality of substrates;
(k) operating a second lead part by driving the second servomotor;
(l) moving the plate to which the central axis of the coating roll is connected according to the thickness of the substrate transferred by the transfer device; And
(m) a control method for coating and transferring the substrate comprising the step of adjusting the distance between the transfer device and the coating roll by moving the coating roll connected to the plate by the movement of the plate.
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