KR101314046B1 - 온도 제어된 가스를 제공하는 장치 및 방법 - Google Patents
온도 제어된 가스를 제공하는 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2a 및 2b는 도 1의 냉각제 전달 시스템에 사용되는 혼합 튜브의 실시예들로써, 도 1의 2-2 부분의 확대 부분도를 나타낸다.
도 3은 도 1의 냉각제 전달 시스템에 대한 냉각제 전달 온도를 제어하는 방법의 일 실시예를 보여주는 흐름도이다.
도 4는 도 1의 냉각제 전달 시스템에 사용되는 용기의 일 실시예에 대한 측 단면도이다. 그리고,
도 5는 도 4에 도시되는 냉각제 전달 장치의 저면도이다.
Claims (20)
- 혼합 영역에 가스를 공급하는 단계;
상기 혼합 영역에 한제를 공급하는 단계;
상기 혼합 영역으로부터 용기로 상기 가스와 상기 한제를 포함하는 냉각 가스를 배출하는 단계;
센서를 이용하여 제1 온도를 측정하는 단계; 및
상기 한제가 상기 혼합 영역으로 공급되는 유량을 조절하는 것에 의해 설정점 온도의 기 설정된 제1 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하는 단계;
를 포함하는, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법. - 청구항 1에 있어서, 상기 제1 온도를 유지하는 단계는 상기 가스가 상기 혼합 영역으로 공급되는 유량을 조절하지 않고 상기 기 설정된 제1 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하는 것을 더 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 제1 온도를 유지하는 단계는 비례 밸브를 조절하는 것에 의해 상기 설정점 온도의 기 설정된 제1 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 제1 온도를 유지하는 단계는, 상기 제1 온도가 상기 설정점 온도를 넘어 기 설정된 제2 범위 밖으로 올라간 경우에는 상기 한제가 상기 혼합 영역으로 공급되는 유량을 증가시키고, 상기 제1 온도가 상기 설정점 온도 밑으로 상기 기 설정된 제2 범위 밖으로 내려간 경우에는 상기 한제가 상기 혼합 영역으로 공급되는 유량을 감소시키는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 제1 온도를 유지하는 단계는 상기 설정점 온도보다 화씨 5도(섭씨 2.7도)이하로 높거나 낮은 소정의 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하는 것을 더 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 가스를 공급하는 단계는 상기 한제가 상기 혼합 영역에 공급되는 제2 압력보다 큰 제1 압력으로 상기 혼합 영역에 상기 가스를 공급하는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 가스를 공급하는 단계는 상기 한제가 상기 혼합 영역에 공급되는 제2 압력보다 20psig(1.4kg/㎠) 이상 큰 제1 압력으로 상기 혼합 영역에 상기 가스를 공급하는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 가스를 공급하는 단계는 상기 한제와 동일한 화학 조성을 갖는 가스를 상기 혼합 영역에 공급하는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 제1 온도를 측정하는 단계는 상기 용기 내에 위치하는 센서를 이용하여 제1 온도를 측정하는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 배출하는 단계는 1000 SCFH 이상의 유량으로 상기 혼합 영역으로부터 상기 냉각 가스를 용기로 배출하는 것을 포함하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 방법.
- 용기에 온도 제어된 가스를 제공하는 장치로서, 상기 장치는,
공급 가스의 공급원과 유체 연통하여 상기 공급 가스를 혼합 영역으로 공급하기 위한 가스 공급 라인;
한제의 공급원과 유체 연통하여 상기 한제를 상기 혼합 영역으로 공급하기 위한 한제 공급 라인;
상기 혼합 영역으로부터 냉각 가스를 냉각제 전달 장치로 공급하는 냉각제 전달 라인을 포함하는 냉각제 전달 어셈블리로서, 상기 냉각 가스는 상기 공급 가스와 상기 한제를 포함하고, 상기 냉각제 전달 라인은 상기 혼합 영역으로부터 하류에 위치되고 상기 혼합 영역과 유체 연통하며, 상기 냉각제 전달 장치는 상기 용기 내에 위치하는 적어도 하나의 구멍을 포함하는 것인 냉각제 전달 어셈블리;
제1 온도를 측정하기 위한 센서; 및
상기 센서로부터 신호를 받기 위한 제어기;를 포함하고,
상기 제어기는 한제 가스가 상기 혼합 영역에 공급되는 유량을 조절하는 것에 의해 설정점 온도의 기 설정된 제1 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하도록 프로그램되는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치. - 청구항 11에 있어서, 상기 한제 공급 라인은 비례 밸브를 포함하고 상기 제어기는 상기 비례 밸브를 조절하는 것에 의해 상기 설정점 온도의 기 설정된 제1 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하도록 프로그램되는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 제어기는 상기 공급 가스가 상기 혼합 영역으로 공급되는 유량을 조절하지 않고 상기 기 설정된 제1 범위 내에서 상기 제1 온도를 유지하도록 프로그램되는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 기 설정된 제1 범위는 상기 설정점 온도보다 화씨 5도(섭씨 2.7도)이내로 높거나 낮은 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 가스 공급 라인과 상기 공급 가스의 공급원은, 상기 한제 공급 라인이 상기 한제를 상기 혼합 영역으로 공급하는 제2 압력보다 큰 제1 압력에서 상기 공급 가스를 상기 혼합 영역으로 전달하도록 되어 있는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 15에 있어서, 상기 제1 압력은 상기 제2 압력보다 20psig(1.4kg/㎠) 이상 큰 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 공급 가스와 상기 한제는 동일한 화학 조성을 같는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 센서는 상기 용기 내에 위치하는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 가스 공급 라인, 상기 한제 공급 라인, 상기 혼합 영역, 상기 냉각제 전달 어셈블리는 4000SCFM 보다 큰 유량으로 냉각 가스를 상기 용기로 공급하게 작동하도록 구성되는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 가스 공급 라인, 상기 한제 공급 라인, 상기 혼합 영역, 및 상기 냉각제 전달 어셈블리는 화씨 -210 내지 85도(섭씨 -271 내지 16도) 범위의 온도에서 냉각 가스를 상기 용기로 공급하게 작동하도록 구성되는 것인, 온도 제어된 가스를 제공하는 장치.
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