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KR101299133B1 - 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법 - Google Patents

나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR101299133B1
KR101299133B1 KR1020110128939A KR20110128939A KR101299133B1 KR 101299133 B1 KR101299133 B1 KR 101299133B1 KR 1020110128939 A KR1020110128939 A KR 1020110128939A KR 20110128939 A KR20110128939 A KR 20110128939A KR 101299133 B1 KR101299133 B1 KR 101299133B1
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thin film
pressure sensor
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wrinkles
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서준교
강성철
이정훈
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한국과학기술연구원
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Abstract

본 발명은 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 압력 센서의 표면에 나노 구조물을 접착하여, 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 구조물을 갖는 압력 센서는, 기판; 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되어 배열되는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 배치되는 플렉시블 센서 레이어; 및 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착되며, 나노 크기의 주름을 갖는 나노 구조물을 포함한다.

Description

나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법 {PRESSURE SENSOR HAVING A NANO STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 압력 센서의 표면에 나노 구조물을 접착하여, 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
압력 센서는 액체 또는 기체의 압력을 검출하고, 계측이나 제어에 사용하기 쉬운 전기신호로 변환하여 전송하는 장치 및 소자이다.
최근에는 압력 센서를 뇌 수술 시 적용함으로써 압력 센서의 높은 응답 속도와 감도가 요구되고 있다. 즉, 뇌 수술 중 뇌압은 출혈량 및 합병증과 밀접한 관계를 가지게 되므로, 수술 중 지속적인 뇌압 측정이 매우 중요하며, 뇌압의 작은 변화에도 민감하게 반응하는 압력 센서가 요구되는 것이다.
압력 센서의 감도를 개선하기 위한 다양한 방법들이 제안되고 있으며, 도 1은 종래의 압력 센서에 부착되는 마이크로 구조의 ITO/PET 필름을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 실리콘 몰드를 통해 마이크로 구조의 ITO/PET 필름을 제조하며, 상기 ITO/PET 필름을 압력 센서에 부가함으로써, 압력 센서의 감도를 높인다.
그러나, 상기와 같은 실리콘 몰드를 통한 ITO/PET 필름의 제조는 마이크로 크기의 구조물의 제조에 한정되는 것이다. 따라서, 마이크로 구조보다 더 작은 나노 크기의 구조물을 제조에는 적용할 수 없으며, 압력 센서에 나노 크기의 구조물을 도입함으로써 압력 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 여지가 있다.
Highly sensitive flexible pressure sensors with microstructured rubber dielectric layers : Stefan C.B. Mannsfeld et al., Nature materials, vol 9, October 2010, 859-864면
본 발명의 목적은 압력 센서의 표면에 나노 구조물을 접착하여, 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 압력 센서 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 구조물을 갖는 압력 센서는, 기판; 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되어 배열되는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 배치되는 플렉시블 센서 레이어; 및 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착되며, 나노 크기의 주름을 갖는 나노 구조물을 포함한다.
상기 나노 구조물은, 선형의 1차원 선형 구조물, 지그재그 형태의 2차원 구조물 또는 나선형의 구조물로 구성될 수 있다.
상기 압력 센서는, 3차원 방향에 따른 압력 감지의 극대화를 위해 상기 나노 구조물의 표면에 접착되는 돔 구조물을 더 포함할 수 있다.
상기 돔 구조물은 PDMS, PMMA, SU8, 파릴린 또는 탄성 폴리머로 이루어질 수 있다.
상기 플렉시블 센서 레이어는, 박막 PVDF 또는 루브렌 크리스탈로 이루어질 수 있다.
상기 나노 구조물은 폴리머 재료로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 제조 방법은, 기판 상에 소스 전극과 드레인 전극을 배열하는 단계; 상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 플렉시블 센서 레이어를 배치하는 단계; 박막의 폴리머 재료에 나노 크기의 주름을 형성하여 나노 구조물을 제조하는 단계; 및 상기 주름이 형성된 나노 구조물을 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착하는 단계를 포함한다.
상기 나노 구조물을 제조하는 단계는, 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계는, 박막에 인장력을 가하면서, 마스크를 적용하고 UV 오존 또는 O2 플라즈마를 적용하여 마스크에 의해 선택적으로 노출된 표면을 개질시키고, 개질된 표면과 개질되지 않은 표면 사이의 국부적인 응력 차이로 인해 주름을 형성시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계는, 상대적으로 두께가 다른 영역들을 갖는 박막 상에 인장력과 UVO 처리를 통해 상대적으로 두께가 얇은 영역에 주름을 형성시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 나노 구조물을 제조하는 단계는, 지그재그 형태의 2차원 구조물을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 지그재그 형태의 2차원 구조물을 형성하는 단계는, 폴리머 재료의 박막의 표면에 인위적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 나노 구조물을 제조하는 단계는, 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계는, 박막의 양단에 인장응력을 가한 후, 주름이 생성될 영역을 제외한 나머지 부분을 PET 필름 또는 포토레지스트로 마스킹하고, UVO를 이용해 표면 개질을 행한 후, 상기 박막에 가해지던 인장응력을 제거함으로써 주름을 형성시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계는, PET 필름 또는 포토레지스트로 박막을 마스킹하고, 박막 표면에 인위적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 압력 센서의 제조 방법은, 나노 크기의 돔 구조물을 성형한 후, 상기 주름이 형성된 나노 구조물의 표면에 접착하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 압력 센서 및 그 제조 방법은, 센서의 표면에 접착된 나노 구조물로 인해 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 압력 센서 및 그 제조 방법은, 플렉시블 센서 레이어의 표면에 나노 구조물을 적용함으로써, 플렉시블 센서 레이어의 두께가 얇아져도 점탄성(viscoelastic) 특성의 발현이 저하될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 압력 센서에 부착되는 마이크로 구조의 ITO/PET 필름을 나타내는 도면이다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 구성을 도시하는 도면들이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2b의 나노 구조물의 주름을 생성하기 위한 방법을 도시하는 도면들이다.
도 4a 내지 도 4c는 도 2b의 나노 구조물의 주름을 생성하기 위한 다른 방법을 도시하는 도면들이다.
도 5는 도 2d 또는 도 2e의 나노 구조물의 주름을 생성하기 위한 방법을 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 센서를 도시하는 일부 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 제조 방법을 도시하는 순서도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 구성을 도시하는 도면들이다.
도 2a 내지 도 2e를 참조하면, 본 발명의 압력 센서(100)는, 기판(110), 소스 전극(120), 드레인 전극(130), 플렉시블 센서 레이어(140) 및 나노 구조물(150, 250, 350, 360)을 포함한다.
기판(110) 상에 소스 전극(120)과 드레인 전극(130)이 소정 간격으로 이격되어 배열되며, 플렉시블 센서 레이어(140)에 입력되는 압력이 전극을 통해 전기 신호로 변환된다.
소스 전극(120)과 드레인 전극(130) 상에는 플렉시블 센서 레이어(140)가 배치된다. 플렉시블 센서 레이어(140)는, 예를 들어, 폴리머 압전 재료인 박막 폴리비닐리덴 디플루오리드(PVDF) 또는 루브렌 크리스탈(rubrene crystal)로 제조될 수 있다.
도 2a에 도시한 플렉시블 센서 레이어(140)의 표면에 도 2b 내지 도 2e에 도시한 바와 같은 나노 크기의 주름(wrinkle)을 갖는 나노 구조물(150, 250, 350, 360)이 접착된다. 나노 구조물(150, 250, 350, 360)이 플렉시블 센서 레이어(140)에 접착되어 일체가 됨으로써, 압력 센서(100)의 감도와 응답 속도가 크게 증가할 수 있다.
나노 구조물(150, 250, 350, 360)은 다양한 형태로 제조 가능하며, 각각의 나노 구조물(150, 250, 350, 360)은 복수의 주름(152, 252, 352, 362)을 갖는다.
도 2b에서 나노 구조물(150)은 선형의 1차원 선형 구조물이며, 복수의 주름(152)이 선형으로 평행하게 연속하여 형성된다.
한편, 도 2c, 도 2d, 도 2e에서 나노 구조물(250, 350, 360)은 각각 지그재그(zigzag) 형태의 2차원 구조물과 나선형(spiral)의 구조물로 구성된다. 도 2c, 도 2d, 도 2e의 나노 구조물(250, 350, 360)은 그 구조적 형태로 인해 도 2b의 나노 구조물(150)보다 더 다양한 방향에서의 압력 변화에 민감하게 반응할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 도 2b의 나노 구조물의 주름을 생성하기 위한 방법을 도시하는 도면들이다.
도 3a를 참조하면, 박막(410) 상에 투명한 마스크(420, 430)를 배치하고, 박막(410)의 양단에서 인장력을 가하면서, UV 오존(ozone) 또는 O2 플라즈마(plasma) 등을 적용하면, 마스크(420, 430)에 의해 선택적으로 노출된 표면, 즉, 도 3a의 중간 영역이 개질(modification)되며, 개질된 중간 영역과 마스크(420, 430)에 의해 보호된 영역 간의 국부적인 응력(stress) 차이로 인해 도 3b에 도시한 바와 같이 중간 영역에 주름(412)이 형성된다.
상기 주름(412)이 형성된 영역을 중심으로 박막(410)의 일부를 절단하면 도 2b에 도시한 나노 구조물(150)로 사용할 수 있다. 여기서, 박막(410)은 열과 압력에 의한 성형이 용이한 폴리머 재료로 이루어질 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 도 2b의 나노 구조물의 주름을 생성하기 위한 다른 방법을 도시하는 도면들이다.
도 4a에서, 박막은 상대적으로 두께가 두꺼운 영역(510a, 510c)과 상대적으로 두께가 얇은 영역(510b)으로 구분된다. 도 3a 및 도 3b의 박막에서는 마스크를 적용하였으나, 본 방법에서는 도 4b와 같이 마스크를 적용하지 않은 상태에서, 박막의 양단에 인장력을 가하면서, 박막의 상부에서 UVO를 조사하는 UVO 처리를 한다.
상기 인장력과 UVO 처리로 인해 두께가 다른 영역들 사이에 국부적인 응력(stress) 차이가 발생하며, 도 4c에 도시한 바와 같이 상대적으로 응력에 취약한 두께가 얇은 영역(510b)에 주름(512)이 형성된다.
한편, 도 2c와 같은 지그재그 형태의 주름(252)을 갖는 나노 구조물(250)은, 선형 구조물과 마찬가지로 주름 또는 버클링(buckling) 현상에 의해 구현할 수 있다. 버클링은 기판 표면에 인위적으로 외부 응력, 일반적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 금속을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성한다.
지그재그 형태의 주름(252)을 갖는 경우, 2차원적인 힘의 전달을 통해 수직 압력(normal pressure) 뿐만 아니라 전단응력(shear stress)의 전달 및 감지가 가능하며, x-y 방향으로의 힘 성분의 전달이 극대화된다.
나아가, 도 2d 또는 도 2e와 같은 나선형 형태의 주름(352, 362)을 갖는 나노 구조물(350, 360)은, 앞서와 마찬가지로 주름 또는 버클링(buckling) 현상에 의해 구현할 수 있다.
도 5는 도 2d 또는 도 2e의 나노 구조물의 주름을 생성하기 위한 방법을 도시하는 도면이다.
도 5를 참조하면, 나선형 형태의 주름(352, 362)을 생성하기 위해, 우선 박막(610)에 인장응력을 가한 후, 주름이 생성될 영역을 제외한 나머지 부분은 PET 필름(620) 또는 포토레지스트로 마스킹한다. 이후, UVO를 이용해 표면 개질을 행한 후, 박막(610)에 가해지던 인장응력을 제거함으로써 나노 주름(352, 362)을 형성시킨다. 여기서, 상기 PET 필름(620)의 나선 패턴의 관통공(622)에 의해 박막(610) 표면이 UVO에 노출되어 나선 패턴의 관통공(622)의 형상에 대응하는 나노 주름이 생성된다.
한편, PET 필름(620) 또는 포토레지스트로 박막(610)을 마스킹하고, 박막(610) 표면에 인위적으로 외부 응력, 일반적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 나노 주름을 생성할 수 있다.
나선형 형태의 주름(352, 362)을 갖는 경우, 2차원적인 힘의 전달을 통해 수직 압력(normal pressure) 뿐만 아니라 전단응력(shear stress)의 전달 및 감지가 가능하며, x-y-z 방향으로의 압력 및 힘 성분의 전달이 극대화된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 센서를 도시하는 일부 단면도이다.
도 6을 참조하면, 플렉시블 센서 레이어(640) 상에 복수의 주름이 형성된 나노 구조물(650)이 접착되고, 나노 구조물(650) 상에 다시 돔 구조물(660)이 접착된다. 도 6에서 돔 구조물(660)은 하나로 도시되었으나, 돔 구조물의 크기를 변화시켜 2 이상의 돔 구조물이 접착될 수도 있다.
돔 구조물(660)은 볼록한 형태로 인해 전단응력(A)과 수직압력(B)의 전달 및 감지를 극대화할 수 있으며, 이를 위해, 돔 구조물(660)은 PDMS, PMMA, SU8, 파릴린 또는 탄성 폴리머로 이루어질 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서의 제조 방법을 도시하는 순서도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 압력 센서의 제조 방법은 우선 기판(110) 상에 소스 전극(120)과 드레인 전극(130)을 배열한다(S710). 이어서, 상기 소스 전극(120)과 드레인 전극(130) 상에 플렉시블 센서 레이어(140)가 배치된다(S720).
계속하여, 도 2b 내지 도 2e에 도시한 바와 같은, 박막의 폴리머 재료에 나노 크기의 주름을 형성하여 나노 구조물(150, 250, 350, 360)이 제조되며(S730), 주름이 형성된 나노 구조물(150, 250, 350, 360)이 플렉시블 센서 레이어(140)의 표면에 접착된다(S740).
한편, 나노 구조물(150, 250, 350, 360)은 앞서의 S710 단계와 S720 단계의 공정 이전에 미리 제조되어, 플렉시블 센서 레이어(140)의 표면에 접착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 나노 구조물은 도 2b에 도시한 바와 같은 선형의 1차원 구조물이며, 이를 제조하기 위해, 도 3a 및 3b에서 설명한 바와 같이 박막(410)에 인장력을 가하면서, 마스크(420, 430)를 적용하고 UV 오존 또는 O2 플라즈마를 적용하여 마스크(420, 430)에 의해 선택적으로 노출된 표면을 개질시키고, 개질된 표면과 개질되지 않은 표면 사이의 국부적인 응력 차이로 인해 주름을 형성하거나, 도 4a 내지 4c를 참조하여 설명된 바와 같이, 상대적으로 두께가 다른 영역들(510a, 510b, 510c)을 갖는 박막(510) 상에 인장력과 UVO 처리를 통해 상대적으로 두께가 얇은 영역(510b)에 주름을 형성시키는 방법이 적용될 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에서, 나노 구조물은 도 2c에 도시한 바와 같은 지그재그 형태의 2차원 구조물이며, 상기 구조물은 버클링(buckling) 현상을 적용하여 구현한다. 즉, 폴리머 재료의 박막의 표면에 인위적으로 외부 응력, 일반적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에서, 나노 구조물은 도 2d 또는 도 2e에 도시한 바와 같은 나선 형태의 구조물이며, 상기 구조물도 주름 또는 버클링 현상을 적용하여 구현한다.
이를 구체적으로 살펴보면, 도 5에 나타낸 바와 같이 박막(610)에 인장응력을 가한 후, 주름이 생성될 영역을 제외한 나머지 부분은 PET 필름(620) 또는 포토레지스트로 마스킹하고, UVO를 이용해 표면 개질을 행한 후, 인장응력을 제거함으로서 나노 주름을 형성시킨다. 여기서, 상기 PET 필름(620)의 나선 패턴의 관통공(622)에 의해 박막(610) 표면이 UVO 처리되어 나선 패턴의 관통공(622)의 형상에 대응하는 나노 주름이 생성된다.
한편, PET 필름(620) 또는 포토레지스트로 박막(610)을 마스킹하고, 박막(610) 표면에 인위적으로 외부 응력, 일반적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 나노 주름을 생성할 수 있다.
나아가, 주름이 형성된 나노 구조물이 플렉시블 센서 레이어(140)의 표면에 접착된 후에(S740), 나노 크기의 돔 구조물(660)을 성형한 후, 상기 주름이 형성된 나노 구조물의 표면에 접착하는 공정이 더 포함될 수 있다.
돔 구조물(660)은 하나 이상의 나노 구조물의 표면에 접착될 수 있으며, x-y-z의 3차원 방향에 대한 센서의 응답속도 및 감도를 보다 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100: 압력 센서
110: 기판
120: 소스 전극
130: 드레인 전극
140, 640: 플렉시블 센서 레이어
150, 250, 350, 360, 650: 나노 구조물
152, 252, 352, 362, 652: 주름
410, 510, 610: 박막
412: 주름
420, 430: 마스크
510a, 510c: 두꺼운 영역
510b: 얇은 영역
512: 주름
620: PET 필름
622: 나선 패턴의 관통공
660: 돔 구조물

Claims (16)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되어 배열되는 소스 전극과 드레인 전극;
    상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 배치되는 플렉시블 센서 레이어;
    상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착되며, 나노 크기의 주름을 갖는 나노 구조물; 및
    3차원 방향에 따른 압력 감지의 극대화를 위해 상기 나노 구조물의 표면에 접착되는 돔 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은, 선형의 1차원 선형 구조물, 지그재그 형태의 2차원 구조물 또는 나선형의 구조물인 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 돔 구조물은 PDMS, PMMA, SU8, 파릴린 또는 탄성 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  5. 제1항에 있어서, 상기 플렉시블 센서 레이어는, 박막 PVDF 또는 루브렌 크리스탈인 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  6. 제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은 폴리머 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
  7. 기판 상에 소스 전극과 드레인 전극을 배열하는 단계;
    상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 플렉시블 센서 레이어를 배치하는 단계;
    박막의 폴리머 재료에 나노 크기의 주름을 형성하여 나노 구조물을 제조하는 단계;
    상기 주름이 형성된 나노 구조물을 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착하는 단계; 및
    나노 크기의 돔 구조물을 성형한 후, 상기 주름이 형성된 나노 구조물의 표면에 접착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 나노 구조물을 제조하는 단계는,
    선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계는,
    박막에 인장력을 가하면서, 마스크를 적용하고 UV 오존 또는 O2 플라즈마를 적용하여 마스크에 의해 선택적으로 노출된 표면을 개질시키고, 개질된 표면과 개질되지 않은 표면 사이의 국부적인 응력 차이로 인해 주름을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계는,
    상대적으로 두께가 다른 영역들을 갖는 박막 상에 인장력과 UVO 처리를 통해 상대적으로 두께가 얇은 영역에 주름을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  11. 제7항에 있어서, 상기 나노 구조물을 제조하는 단계는,
    지그재그 형태의 2차원 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 지그재그 형태의 2차원 구조물을 형성하는 단계는,
    폴리머 재료의 박막의 표면에 인위적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  13. 제7항에 있어서, 상기 나노 구조물을 제조하는 단계는,
    나선 형태의 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계는,
    박막의 양단에 인장응력을 가한 후, 주름이 생성될 영역을 제외한 나머지 부분을 PET 필름 또는 포토레지스트로 마스킹하고, UVO를 이용해 표면 개질을 행한 후, 상기 박막에 가해지던 인장응력을 제거함으로써 주름을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계는,
    PET 필름 또는 포토레지스트로 박막을 마스킹하고, 박막 표면에 인위적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법.
  16. 삭제
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