KR101295670B1 - 압전 발전기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자동차의 타이어 내부 공기압의 변화 등의 타이어 내부 환경을 모니터링 하는 TPMS(Tire pressure monitoring systems) 장치의 무선 센서망 시스템에 응용될 소형 압전기 발생 장치를 고안한 것으로 특히, 자동차의 타이어 압력 모니터링 시스템(TPMS)의 타이어 내부의 공기압 변화와 온도, 가속도 센서가 탑재된 시스템 운용 시, 전원을 기존의 배터리를 대신하여 공급할 수 있는 TPMS용 소형 전원 발생 장치를 고안한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 압전 발전기는 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판, 기판 위에 형성된 금속판, 및 금속판 위에 마련되어 압전에 의해 생성된 전력을 전극으로 전달하는 압전체를 포함한다.

미세기전집적시스템(MEMS), 압전 발전기, TPMS

Description

압전 발전기 {piezoelectric power generator}

본 발명은 소형 압전 발전기에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 자동차의 타이어에 설치되어, 타이어의 진동, 공기압 변화를 이용하여 전력을 발생시키는 압전 발전기에 관한 것 이다.

자동차의 타이어 압력 모니터링 시스템(Tire Pressure Monitoring Systems)는 타이어 상태를 파악하여 운전자가 안전운행을 할 수 있도록 지원하는 시스템이다. 최근 TPMS를 무선 센서망으로 구성하고, 타이어에 TPMS 모듈을 설치하여 실시간 정보를 주고 받을 수 있는 시스템이 출현하였다. 이의 출현으로 여러 가지 기능을 담당하는 MEMS소자들에 대한 연구개발 필요성과 더불어 센서 운용에 필요한 전원을 자급자족할 수 있는 기술 개발의 중요성이 강조 되고 있다.

그리고 자동차의 타이어에 한번 장착된 TPMS는 10년 이상의 수명을 요구하고 있다. 이에 따라, 기존의 전지가 아닌 타이어 환경의 물리량 즉, 진동이나 타이어 내부 공기 압력변화를 이용하여 전기를 발생 시킬 수 있는 소자에 대한 관심이 증가되고 있다.

다양한 환경에서의 센서나 액츄에이터 모듈의 운용에 있어, 배터리 없이 센 서 모듈을 운용하는 하기 위해, 자급형 전원 발생 소자 개발은 아직도 숙제로 남아있다. 연구자들은 그 에너지원으로 바람, 태양, 진동 등에 대한 연구를 진행 중이다. 이들 물리량으로부터 무선 센서망에 적용되는 센서 모듈에 필요한 에너지를 공급하여 이들 센서들의 운용 시간을 더욱 연장 시키는 기술은, 우리에게 더욱 유익한 환경 및 상황 판단 정보를 제공해 줄 수 있을 것이다.

종래의 기술로, 단위소자 레벨의 전기발생 소자나 같은 소자를 여러 개 배열하여 발생 전원을 공급하는 소자, 그리고 벌크형으로 제작된 연구 결과들이 존재한다. 또한, 단위 소자 레벨의 출력이 약한 단점을 보완하기 위해 어레이 형태 기술로 연구개발이 진행되고 있다. 그러나, 현재로서 전원 공급 소자의 출력 파워에 관한 문제가 있다.

본 발명은 상기 출력 파워에 관한 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한다. 이를 통해, 타이어 압력 모니터링 시스템에 필요한 전원을 충분히 자급자족할 수 있도록 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 압전 발전기는 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판, 기판 위에 형성된 금속판, 및 금속판 위에 마련되어 압전에 의해 생성된 전력을 전극으로 전달하는 압전체를 포함한다.

금속판에 형성되어, 금속판에 진동이 가해질 때 금속판의 변형 범위를 증가 시키는 질량체를 더 포함한다. 금속판은 질량체를 중심으로 복수개의 다리를 가지는 브릿지 구조로 되어 있다. 기판에 연결되어 금속판을 둘러싸는 하우징을 더 포함한다. 하우징은 금속판의 상면을 둘러싸는 상부 하우징과, 금속판의 하면을 둘러싸는 하부 하우징을 포함한다. 금속판의 상면, 하면에 형성되어, 금속판에 진동이 가해질 때 금속판의 변형 범위를 증가시키는 질량체 및 하우징에 형성되어 금속판이 특정 범위 이상으로 변형되지 않도록 질량체 변위를 제한하는 스톱퍼를 더 포함한다. 하우징에는 음향 홀이 마련되고 하우징의 내부 공간은 헬름홀쯔 공진기 구조로 형성되어 하우징의 내부 공간에서 음향 공진이 일어 날 수 있다. 하우징의 내부 공간의 체적의 변화를 일으켜 특정 주파수 영역에서 음향 공진이 잘 일어나게 하는 볼을 더 포함한다. 하우징의 내부 공간에서 금속판을 때리도록 움직일 수 있는 베어링을 더 포함한다. 하우징 내부 공간은 진공으로 밀봉된다. 금속판은 황동, 스테인레스 스틸 또는 인바로 형성된다. 타이어에 장착되어 타이어의 진동과 공기압의 변화를 전력원으로 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 발전기는 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판, 기판 위에 형성된 복수의 금속판, 및 복수의 금속판 각각에 마련되어 압전에 의해 생성된 전력을 전극으로 전달하는 압전체를 포함하고, 복수의 금속판은 각각 다른 고유의 진동 주파수를 가진다.

복수의 금속판은 서로 치수가 다른 캔틸레버 구조로 형성된다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압전 발전기는 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판, 기판 위에 형성된 실리콘 재료의 판, 실리콘 재료의 판 위에 마 련되어 압전에 의해 생성된 전력을 전극으로 전달하는 압전체, 기판과 접합하고 실리콘 재료의 판의 상면을 둘러싸는 상부 하우징, 및 기판과 접합하고, 실리콘 재료의 판의 하면을 둘러싸는 하부 하우징을 포함한다.

본 발명의 실시예에서는 진동, 공기압 변화를 갖는 곳에 설치되는 기계, 예를 들어 자동차의 타이어 내부에 설치될 TPMS에 사용될 수 있는, 배터리리스(batteryless) 전원 공급 소자를 고안한 것이다. TPMS의 전원공급 소자로 사용되는 경우에는, 타이어의 진동이나, 타이어 내부의 공기압의 변화량을 전기를 일으키는 소스로 이용한다. 본 발명의 실시예서는 이러한 전압원을 이용한 전력 발생이 효율적으로 되도록 한다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 TPMS 구조를 나타낸다.

도 1a는 멤브레인 구조의 금속판에 장착된 압전 발전기의 평면도이다. 도 1a를 참조하면, 금속 패턴(140)이 형성된 PCB 기판(100) 위에 스테인레스 스틸, 황 동, 인바(Invar)와 같은 탄성이 있는 합금 성분의 멤브레인 구조의 얇은 금속판(120)이 마련된다. 그리고, 금속판(120)상에 압전체(110)가 접합되어 마련된다. 또한, 금속판(120)은 외부 진동에 반응 할 수 있도록 끝단 부분이 기판(100)에 접하고, 중앙 부분은 자유롭게 진동할 수 있다. 압전체(110)와 금속판(120)은 도전성을 띄게 에폭시(114)로 접합되고, 압전체(110)상에는 압전체 상부 전극(112)이 적층되고, 압전체 상부 전극(112)은 금속 패턴(140)과 금속 와이어(150)를 통해 연결된다.

PCB 기판(100)에는 압전체(110)에서 발생된 전력을 수집하기 위한 상부 전극(142), 하부 전극(144)이 함께 패터닝 되어있다. 상부 전극(142)은 금속 패턴(140)을 통해 압전체 상부 전극(112)와 연결된다. 하부 전극(144)은 금속 패턴(140)과 금속판(120)을 통해 압전체(110)에 연결된다. 그리고, 압전체(110)에서 생성된 전력은 상부 전극(112)와 하부전극(144)에 전달되고, 전달된 전력은 전파정류기(Full wave-rectifier)에 의해 정류되고, 전해 콘덴서나 수퍼 캐패시터에 저장되게 된다.

상기 구조물은, 레이저 가공 및 접합 기술을 활용하여 PCB 기판(100)에 금속판(120)과 같은 금속 구조물이 위치할 부분을 구멍을 뚫고, 그 주위에 구리 및 금 도금을 이용하여 도전성을 띄는 금속패턴(140), 상부 전극 패드(142), 하부 전극 패드(144)를 형성하여 제작된다.

그리고, 압전체(110)로는 벌크 PZT, AlN, PZN-PT 등의 압전 세라믹을 이용할 수가 있으며, 기계적 항복 강도가 걸리지 않는 범위 내에서 변위가 최대가 되도록 설계 제작된다.

도 1b는 멤브레인 구조의 중앙에 상하부 질량체를 가진 압전 발전기 단면도이다. 도 1b와 같이 타이어 내부 알루미늄 휠에 장착된 소자가 기계적인 진동이나 타이어 내부공기압의 변화를 모두 전기 발생원으로 이용할 경우에는, 소자 패키징 시 상부 캐비티(170)에 음향 홀(172)을 제작하여 공기압의 변화에 따른 주파수와 잘 튜닝 될 수 있도록 설계 제작한다. 이와 같은 구조를 음향적으로는 헬름홀쯔 공진기 구조라고 한다. 헬름홀쯔 공진기 는 일상 생활에서 호루라기나 병을 입에 대고 불 경우 특정 주파수 성분이 강하게 증폭되어 울리는 것과 같은 자연 현상을 나타내는 구조물이다. 또한 하부에는 변위에 의해 압축된 공기의 반발력을 없애기 위해 조그마한 홀(174)을 뚫어 상하부 캐비티의 압력이 등압이 이루어지도록 해 준다. 캐비티(170)를 가진 상하부 패키지(180, 182)는 금속이나 열에 내구성이 있는 플라스틱 재질로 제작 할 수 있다.

그리고, 제작된 기판을 상부 하우징과 같은 역할을 하는 상부 패키지(180)와 접합시키고, 또한 하부 하우징과 같은 역할을 하는 하부 패키지(182)도 준비하여 접합한다. 패키지 내부에는 기계적인 큰 충격 등에 소자가 파손되지 않도록 자동차의 범퍼와 같은 기능을 할 수 있는 스톱퍼(160)가 마련된다. 이는 충격 흡수 및 전원발생 장치의 기계재료 구조적인 파괴나 피로(fatigue)를 줄이는 역할을 하는 것으로, 자동차와 같은 진동이 심한 환경 속에서 전기 발생 소자의 내구성을 높이기 위해 고안한 것이다. 구체적으로, 질량체(130)의 변위를 제한하여, 금속판(120)이 특정한 변위 이상으로 변형되지 않도록 한다. 그리고, 기판(100)과 상하부 패키 지(180, 182)사이는 절연 에폭시(116)를 마련하여 절연할 수 있다.

도 1c는 멤브레인 구조의 중앙에 하부 질량체와 상부 코르크 볼을 가진 압전 발전기 단면도이다. 도 1c를 참조하면, 상부 패키지(180, 182)에는 음향 홀(172)이 형성되어 있고, 헬름홀쯔 공진기 구조 내부에는 열에 강하고 가벼운 재질의 볼(190)이 마련되어 있다. 상기 볼(190)은 헬름홀쯔 공진기 내부의 체적을 변화시켜, 특정 주파수 대역의 변위가 크게 일어날 수 있도록 한다. 본 발명의 압전 발전기가, 타이어 내부의 알루미늄 휠에 설치된다면, 타이어 내부에 발생하는 공기압의 변화와 기계적인 진동의 두가지 물리량을 함께 압전기 발생원으로 이용될 수 있다.

공기압의 변화에 의해 금속판(120)의 변위가 최대가 되도록 소자의 한쪽면을 헬름홀쯔 공진기 구조의 캐비티(170)로 설계하여 공기압의 변화에 의해 음향공진이 일어날 수 있도록 제작한다. 또한 호루라기의 원리와 같이 내부에 열에 강한 가벼운 볼(190)을 위치 시켜 음향적인 체적의 변화를 일으켜 특정 주파수에서 음향 공진을 잘 일으켜 금속판(120)의 변위를 더욱 더 증가시킬 수 있는 구조로도 변형 시킬 수 있다. 이는, 실제 호루라기를 불 때 코르크 볼이 회전함에 따라 공진기 내부의 볼륨 변화를 일으켜 특정 주파수 영역에서의 소리가 더욱 증폭 되는 것과 같은 효과이다.

상기의 설명에서는 압전체(110)을 금속판(120)을 적층하는 것에 대해서만 설명하였지만, 금속판(110) 대신 실리콘 재료를 사용하여 반도체 공정에 의해 압전체와 접합하여 상기의 압전 발전기를 제작할 수도 있다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 TPMS 구조를 나타낸다. 도 2a는 브릿지 금속판 구조에 장착된 압전 발전기의 평면도이다.

도 2a를 참조하면, 도 1a와 달리 금속판(200)은 질량체(130)를 중심으로 복수개의 다리(202)를 가지는 브릿지 구조를 가진다. 이는, 진동에 대한 변위를 더욱 키우기 위한 형상이다. 상기 금속판(200)은 펨토 레이저로 가공하거나, 포토리쏘그래피를 통하여 패터닝 한 다음, 습식 식각을 통하여 제작된다.

도 2b는 브릿지 구조의 중앙에 상하부 질량체를 가진 압전 발전기 단면도이다. 도 2b를 참조하면, 금속판(200)의 상, 하부에 금속 질량체(130)를 접합하여 진동 주파수를 튜닝한다. 그리고, 상하부 패키지(180, 182)의 내부에 스톱퍼(160)를 설치한다. 브릿지 구조의 금속판(200)과 금속 질량체(130)를 통해, 진동에 의한 전기 발생을 높일 수 있다.

도 2c는 브릿지 구조의 중앙에 금속 베어링이 장착된 압전 발전기 단면도이다. 도 2c를 참조하면, 상하부 패키지(180, 182)를 중앙이 움푹 들어가는 구조로 가공, 제작하여 그 움푹 들어간 공간에 금속 베어링(210)를 마련한다. 진동이 발생할 경우, 베어링(210)이 브릿지 구조물의 금속판(200)을 때리도록 하여, 이때 발생되는 금속판(200)의 진동을 압전체(110)에서 수집할 수 있다. 이는 베어링의 무게와 위치에너지, 그리고 발생되는 진동 에너지를 전기 발생 소스로 이용하는 방법이다. 파인 세라믹 분말을 제조할 경우 볼밀을 사용하여 위치 에너지를 가지고 떨어지면서 파우더를 곱게 빻아 내는 원리와 같은 것이다.

본 실시예에 따른 압전 발전기가 자동차의 알루미늄 휠과 같은 회전 운동을 하는 기구에 설치 할 경우, 소자의 위아래 바뀜의 위치 에너지를 추가적으로 전력 소스로서 이용할 수도 있는 장점이 있다.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제3 실시예에 따른 TPMS 구조를 나타낸다. 도 3a는 3단 캔틸레버 구조를 가진 소형 압전 발전기 평면도이다. 도3a를 참조하면, 3단의 캔틸레버 구조의 금속판(310, 312, 314)을 가공하여 제작한 것이다. 3개의 금속체(300, 302, 304)를 각각 부착하여, 동일 소자에서 공진점이 각각 다른 3개의 금속판(310, 312, 314)를 구현할 수 있는 구조이다. 이러한 공진점이 다른 3개의 캔틸레버 구조의 금속판(310, 312, 314)는 자동차가 움직일 때 속도 변화 등에 의해 발생되는 진동의 주파수가 변화하더라도 효율적으로 전력을 생산할 수 있다. 즉, 제1, 제2 실시예의 방법과 차이가 있는 것은 3단 캔틸레버 구조의 금속판(310, 312, 314)로서 각 금속판(310, 312, 314)의 주파수 밴드를 조금씩 차이가 나도록 하여, 높은 출력 파워를 넓은 주파수 범위에서 구현되도록 한 점이 차이가 있다. 본 실시예에서는 3단의 캔틸레버를 설명하였으나, 4단, 5단의 캔틸레버의 구조로 구성하여도 무방하다.

도 3c는 진공 패키징된 3단 캔틸레버 구조의 소형 압전 발전기의 단면도이다. 도 3c를 참조하면, 소형 압전 발전기 내부가 진공 패키징 되었다. 이와 같이, 소자를 패키징 할 때 내부를 진공 패키징하여 공기 댐핑에 의한 영향을 줄여, 금속판(310, 312, 314)의 변위가 더욱 크게 일어날 수 있도록 한다. 이를 통해, 실제 운용 시에 타이어 압력 모니터링 무선 센서망에 필요한 전원을 충분히 자급자족할 수 있도록 한다.

상, 하부 전극(142, 144)는 금속 리드선(340)을 통해 패키지 외부로 전력을 전달할 수 있다. 이 때, 금속 리드선(340)을 절연 에폭시(350)으로 둘러싸서 상하부 패키지(180, 182)와 절연시킨다. 소형 압전 발전기의 패키지(180, 182)에는 내부 공간으로부터 공기를 빼내 진공상태로 만들기 위해 이용되는 구리관의 끝단(320)이 형성된다. 구리관의 끝단(320)은 압전 발전기 내부가 진공상태가 된 후 밀봉된다.

도 4는 3단 캔틸레버 구조를 가진 소형 압전 발전기의 진공 패키징 공정 설명도이다. 진공 챔버(440)와 제작 된 소자를 구리관(430)으로 밸브(410)를 통해 연결 시켜 진공 챔버 내부의 압력을 소자의 내부 압력과 동일하게 제어한다. 그리고, 소자의 작은 구리관(430)을 강한 힘을 부여할 수 있는 롤러(420)와 같은 기구로 강하게 압착하여 작은 구리관이 진공의 상태로 밀봉이 되게 하는 구조이다.

본 발명의 제 1, 2, 3의 실시예에 따라 제작된 압전 발전기는 전파정류기를 통하여 발생 전기를 정류하고 콘덴서에 계속 축적 시킨다. 축적된 전기는 무선 센서 망에 적용된 센서 모듈에 전원을 공급하여 진동이 존재하는 범위 내에서 상시 우리에게 센서 모듈로부터 환경에 관한 정보를 제공 할 수가 있게 해줄 수 있다. 이렇게 무선 센서 망에서 항상 문제가 되는 배터리 없이 전원 공급을 하는 기존의 문제를 해결할 수가 있게 되는 것이다.

본 발명의 제 1, 2, 3의 실시예에 따라 제작된 압전 발전기를 자동차의 타이어 내부 공기압의 변화 등의 타이어 내부 환경을 모니터링 하는 TPMS(Tire pressure monitoring systems) 장치의 무선 센서망(wireless sensor network) 시스템에 응용할 수 있다. 특히, 자동차의 타이어 압력 모니터링 시스템(TPMS)의 타이 어 내부의 공기압 변화와 온도, 가속도 센서가 탑재된 시스템 운용 시, 전력원으로 기존의 배터리를 대신하여 본 발명의 실시예에 따른 소형 전원 발생 장치를 사용할 수 있다.

자동차의 타이어 내부는 운전시에 일정한 진동과 타이어의 노면 접촉면과 접촉하지 않는 면에 의해 발생하는 공기압의 변화, 그리고 속력이 빨라짐에 따른 타이어 내부 환경 변화 등이 존재하는데, 본 발명의 실시예에 따른 압전 발전기는 타이어 내부에 발생되는 진동, 압력의 변화를 이용하여 전력을 생성할 수 있다. 또한, 진동이나 압력의 변화가 항상 존재하는 특정 환경을 모니터링 하는 센서 모듈을 운용시에, 기존의 전원 장치를 대체할 소자로서 설치될 수 있다.

그리고, 본 고안된 발명의 또 다른 응용분야의 일례로서 해양의 풍속이나 파도의 높이 등을 측정하기 위한 해양 관측 시스템의 무선 센서 모듈에 이용할 수 있다. 통상적으로 해양 표면에서의 관측 시스템은 바다나 강의 물 표면에 부양될 수 있는 부표와 같은 형태로 시스템이 구성되며 본 고안된 발명을 내부에 설치하여 바다의 파도 높이가 바람 등의 영향으로 높낮이가 바뀌는 현상을 그 입력 진동 소스로 활용하여 해양 관측 센서 망의 전원 공급 소자로서도 그 기능을 할 수 있게 된다.

본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지로 변형할 수 있다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허 청구범위뿐만 아니라 이 발명의 특허 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한 다.

도 1a는 멤브레인 금속판 구조에 장착된 압전 발전기의 평면도이다.

도 1b는 멤브레인 구조의 중앙에 상하부 질량체를 가진 압전 발전기 단면도이다.

도 1c는 멤브레인 구조의 중앙에 하부 질량체와 상부 코르크 볼을 가진 압전 발전기 단면도이다.

도 2a는 브릿지 금속판 구조에 장착된 압전 발전기의 평면도이다.

도 2b는 브릿지 구조의 중앙에 상하부 질량체를 가진 압전 발전기 단면도이다.

도 2c는 브릿지 구조의 중앙에 금속 베어링이 장착된 압전 발전기 단면도이다.

도 3a는 3단 캔틸레버 구조를 가진 소형 압전 발전기 평면도이다.

도 3b는 3단 캔틸레버 구조 및 금속 질량체를 가진 소형 압전 발전기의 단면도이다.

도 3c는진공 패키징된 3단 캔틸레버 구조의 소형 압전 발전기의 단면도이다.

도 4는3단 캔틸레버 구조를 가진 소형 압전 발전기의 진공 패키징 공정 설명도이다.

Claims (15)

1. 음향 홀이 마련된 하우징으로서, 상기 하우징의 내부 공간은 헬름홀쯔 공진기 구조로 형성되어 상기 내부 공간에서 음향 공진이 일어 날 수 있도록 구성된, 상기 하우징;

   상기 하우징 내에 구비되어, 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판;

   상기 기판 위에 형성된 1개 이상의 금속판;

   상기 금속판 위에 마련되어 압전에 의해 생성된 전력을 상기 전극으로 전달하는 압전체; 및

   상기 하우징의 내부 공간의 체적의 변화를 일으켜 특정 주파수 영역에서 상기 음향 공진이 잘 일어나게 하는 볼을 포함하는 압전 발전기.
2. 제1항에 있어서,

   상기 금속판에 형성되어, 상기 금속판에 진동이 가해질 때 상기 금속판의 변형 범위를 증가시키는 질량체를 더 포함하는 압전 발전기.
3. 제2항에 있어서,

   상기 금속판은 상기 질량체를 중심으로 복수개의 다리를 가지는 브릿지 구조로 되어 있는 압전 발전기.
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,

   상기 하우징은 상기 금속판의 상면을 둘러싸는 상부 하우징과, 상기 금속판의 하면을 둘러싸는 하부 하우징을 포함하는 압전 발전기.
6. 제1항에 있어서,

   상기 금속판의 상면 또는 하면에 형성되어, 상기 금속판에 진동이 가해질 때 상기 금속판의 변형 범위를 증가시키는 질량체; 및

   상기 하우징에 형성되어 상기 금속판이 특정 범위 이상으로 변형되지 않도록 상기 질량체의 변위를 제한하는 스톱퍼를 더 포함하는 압전 발전기.
7. 삭제
8. 삭제
9. 제1항에 있어서,

   상기 하우징의 내부 공간에서 상기 금속판을 때리도록 움직일 수 있는 베어링을 더 포함하는 압전 발전기.
10. 제1항에 있어서,

    상기 하우징 내부 공간은 진공으로 밀봉된 압전 발전기.
11. 제1항에 있어서,

    상기 금속판은 황동, 스테인레스 스틸 또는 인바로 형성된 압전 발전기
12. 제1항에 있어서,

    타이어에 장착되어 상기 타이어의 진동과 공기압의 변화를 전력원으로 하는 압전 발전기
13. 제1항에 있어서,

    상기 금속판은 복수 개이고 서로 치수가 다른 캔틸레버 구조로 형성된 압전 발전기.
14. 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판;

    상기 기판 위에 형성된 실리콘 재료의 판;

    상기 실리콘 재료의 판위에 마련되어 압전에 의해 생성된 전력을 상기 전극으로 전달하는 압전체;

    상기 기판과 접합하고 상기 실리콘 재료의 판의 상면을 둘러싸는 상부 하우징;

    상기 기판과 접합하고, 상기 실리콘 재료의 판의 하면을 둘러싸는 하부 하우징; 및

    상기 상부 하우징 및 상기 하부 하우징 중 적어도 하나 내에 마련되어 내부 공간의 체적의 변화를 일으켜 특정 주파수 영역에서 음향 공진이 잘 일어나게 하는 볼을 포함하고,

    상기 상부 하우징 및 상기 하부 하우징 중 적어도 하나 내에는 음향 홀이 마련되고, 상기 음향 홀이 마련된 상부 하우징 또는 하부 하우징의 내부 공간은 헬름홀쯔 공진기 구조로 형성되어 상기 내부 공간에서 음향 공진이 일어 날 수 있도록 구성된, 압전 발전기.
15. 제14항에 있어서,

    상기 실리콘 재료의 판에 형성되어, 상기 실리콘 재료의 판에 진동이 가해질 때 상기 실리콘 재료의 판의 변형 범위를 증가시키는 질량체를 더 포함하는 압전 발전기.

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