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KR101293506B1 - 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진 - Google Patents

벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진 Download PDF

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KR101293506B1
KR101293506B1 KR1020110084524A KR20110084524A KR101293506B1 KR 101293506 B1 KR101293506 B1 KR 101293506B1 KR 1020110084524 A KR1020110084524 A KR 1020110084524A KR 20110084524 A KR20110084524 A KR 20110084524A KR 101293506 B1 KR101293506 B1 KR 101293506B1
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South Korea
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wafer
belt
magazine
lifting
fixed
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주식회사 포틱스
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Abstract

본 발명은 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 웨이퍼 매거진은, 정사각 형태로 이루어진 바닥판의 각 면에 웨이퍼가이드블럭이 각각 수직 설치 고정된 상단 개방형 함체를 이루되, 상기 웨이퍼승강장치 중 모터 구동에 따라 회전하는 볼스크류와 대응 결합된 너트이송부재에 고정되어 상기 너트이송부재와 함께 승하강을 이루는 고정브라켓에 볼트 고정된 무빙플레이트가 상기 함체 내에 내장된 상태로 바닥판의 상단에 위치되고, 상기 웨이퍼승강장치의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트와 결합된 상태로 상기 웨이퍼가이드블럭의 상,하단에 벨트전동승강수단이 연결 설치되어 상기 웨이퍼승강장치의 구동에 의한 무빙플레이트의 승하강 시 이와 함께 벨트전동승강수단이 회전 이송되면서 매거진 내에 적층 수용된 웨이퍼를 순차적으로 상승시키도록 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의하면, 웨이퍼가이드블럭이 고정식으로 이루어진 종래 웨이퍼 매거진에 비해 상기 웨이퍼승강장치의 상승작용에 따른 웨이퍼의 수직 이동 시 매거진의 내저면에 승강 가능하게 설치된 무빙플레이트와 결합되면서 웨이퍼가이드블럭의 상하단에 설치된 롤러에 감긴 상태로 장착된 벨트의 회전이송과 함께 웨이퍼를 동시에 상승시켜 보다 안정되게 웨이퍼의 공급이 이루어지면서 상기 웨이퍼가이드블럭 내면과의 마찰작용에 따른 웨이퍼에 충격이 가해지거나 이로 인해 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.

Description

벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진{The solar cell wafer magazine for using belt-type}
본 발명은 웨이퍼 매거진에 관한 것으로, 보다 상세하게는 별도의 장치에 웨이퍼를 공급하기 위한 콘베어벨트나 또는 웨이퍼이송배열장치의 전방(前方)에 이웃하게 대응 설치되는 웨이퍼공급장치 중 프레임 상단에 고정된 수평이송바의 전면(前面)에 좌우로 직선이송 가능하게 설치된 2개의 웨이퍼흡착장치와 각각 대응되도록 베이스판의 하단 좌우 양측에 배열 설치되는 웨이퍼승강장치의 상단 양측에 이격 설치된 매거진위치조정수단의 로딩벨트 상단에 안착되는 웨이퍼 매거진에 대하여, 정사각 형태를 이루는 매거진의 각 면에 고정된 웨이퍼가이드블럭에 상기 웨이퍼승강장치의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트와 결합된 상태로 롤러에 감긴 벨트를 회전 이송시켜 매거진 내에 적층 수용된 웨이퍼를 상승시키도록 구성된 벨트전동승강수단을 설치함으로써, 상기 웨이퍼가이드블럭이 고정식으로 이루어진 종래 웨이퍼 매거진에 비해 상기 웨이퍼승강장치의 상승작용에 따른 웨이퍼의 수직 이동 시 매거진의 내저면에 승강 가능하게 설치된 무빙플레이트와 결합되면서 웨이퍼가이드블럭의 상하단에 설치된 롤러에 감긴 상태로 장착된 벨트의 회전이송과 함께 웨이퍼를 동시에 상승시켜 보다 안정되게 웨이퍼의 공급이 이루어지면서 상기 웨이퍼가이드블럭 내면과의 마찰작용에 따른 웨이퍼에 충격이 가해지거나 이로 인해 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있도록 한 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진에 관한 것이다.
일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.
이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.
한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계)→ 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.
그리고, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키기 위하여 기상증착법(Vapor Deposion) 중 그 일종인 챔퍼 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 솔라 셀 웨이퍼의 사용면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 장치인 PECVD 시스템이 주로 사용되며, 여기에 초기 웨이퍼를 별도의 장치에 공급하기 위한 콘베어벨트나 또는 웨이퍼이송배열장치에 공급하기 위한 장치로서 상기 콘베어벨트나 웨이퍼이송배열장치의 전방(前方)에 이웃하게 대응 설치되는 웨이퍼공급장치가 사용된다.
이러한 상기 웨이퍼공급장치(1)는, 도 2에 도시한 바와 같은 동일 구조로서 크게 프레임(3)의 상단 전면(前面)에 설치 고정되며, 내부에 리니어방식의 모터(미도시) 구동과 연동되어 레일부(12)를 따라 좌우로 직선이송되는 2개의 이송블럭(11)을 구비한 수평이송바(10)와; 상기 수평이송바(10)의 이송블럭(11) 전면(前面) 상,하 양단에 각각 설치 고정되며, 상기 리니어방식의 모터 구동에 따라 좌우 직선이송되는 각각의 이송블럭(11)과 함께 동일방향으로 직선이송됨과 동시에 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의해 웨이퍼 매거진(70)로부터 상승 공급된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착하는 2개의 웨이퍼흡착장치(20)와; 상기 프레임(3)의 중앙에 돌출된 베이스판(5)의 중앙에 설치 고정되며, 웨이퍼흡착장치(20)를 통해 흡착 공급된 웨이퍼(W)를 후방에 이웃하게 설치된 별도의 콘베어벨트(미도시)나 웨이퍼이송배열장치(미도시) 측으로 공급하도록 모터(31) 구동에 따른 이송벨트(34)의 회전 이송작용이 이루어지는 벨트전동수평이송수단(30)과; 상기 베이스판(5)의 하단 좌우 양측에 배열 설치되며, 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 승강작용을 통해 상기 이송봉(44)의 상단에 고정되어 너트이송부재(43) 및 이송봉(44)과 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45)의 상단에 고정된 무빙플레이트(77)가 상기 웨이퍼 매거진(70) 내부를 승하강하면서 적층 수용된 웨이퍼(W)를 순차적으로 상승시키는 웨이퍼승강장치(40)와; 상기 웨이퍼승강장치(40)의 상단 양측에 이격 설치되며, 모터(61) 구동에 의한 벨트 이송의 로딩작용을 통해 로딩벨트(62)에 안착된 웨이퍼 매거진(70)의 정위치를 조정하는 벨트전동방식의 매거진위치조정수단(60)과; 상기 매거진위치조정수단(60) 중 로딩벨트(62) 일측에 설치 고정되며, 유,공압에 의한 로드(66)의 길이신장을 통해 상기 로딩벨트(62)에 안착되어 정위치에 로딩된 웨이퍼 매거진(70)을 고정시키는 매거진고정실린더(65)와; 상기 웨이퍼승강장치(40)의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트(77)와 결합된 상태로 매거진위치조정수단(60)의 로딩벨트(62)에 안착되며, 정사각의 바닥판(71) 각 면에 웨이퍼가이드블럭(73)이 수직으로 설치되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 상승 시 이와 함께 웨이퍼(W)가 순차적으로 상승될 수 있도록 내부에 다수의 웨이퍼(W)가 적층 수용되는 웨이퍼 매거진(70)으로 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 웨이퍼공급장치(1) 중 상기 웨이퍼 매거진(70)의 경우 전술한 바와 같이 정사각의 바닥판(71) 각 면에 웨이퍼가이드블럭(73)이 수직으로 설치되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 상승 시 이와 함께 웨이퍼(W)가 순차적으로 상승되는 등 도 1과 같이 상기 바닥판(71)에 대한 웨이퍼가이드블럭(73)이 고정식 구조로 이루어져 있기 때문에 상기 웨이퍼승강장치(40)의 상승작용에 따른 웨이퍼(W)의 수직 이동 시 상기 웨이퍼가이드블럭(73) 내면과의 마찰작용에 따른 웨이퍼(W)에 충격이 가해지면서 이로 인해 웨이퍼(W)가 파손되게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.
또한, 상기 웨이퍼 매거진(70)의 경우 상기와 같이 웨이퍼(W)의 상승작용에 따른 수직 이동시에 웨이퍼가이드블럭(73) 내면과의 마찰로 인해 작용된 충격으로 웨이퍼(W)가 파손될 시 작업자가 파손된 웨이퍼(W)를 일일이 제거한 후 다시 웨이퍼(W) 공급작업을 재개해야 하는 등의 번거로움과 아울러, 이로 인해 상기 웨이퍼(W) 공급에 대한 작업성 및 생산성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.
상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 웨이퍼공급장치 중 베이스판의 하단 좌우 양측에 배열 설치되는 웨이퍼승강장치의 상단 양측에 이격 설치된 매거진위치조정수단의 로딩벨트 상단에 안착되는 웨이퍼 매거진에 대하여, 정사각 형태를 이루는 매거진의 각 면에 고정된 웨이퍼가이드블럭에 상기 웨이퍼승강장치의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트와 결합된 상태로 롤러에 감긴 벨트를 회전 이송시켜 매거진 내에 적층 수용된 웨이퍼를 상승시키도록 구성된 벨트전동승강수단을 설치함에 따라 상기 웨이퍼가이드블럭이 고정식으로 이루어진 종래 웨이퍼 매거진에 비해 상기 웨이퍼승강장치의 상승작용에 따른 웨이퍼의 수직 이동 시 매거진의 내저면에 승강 가능하게 설치된 무빙플레이트와 결합되면서 웨이퍼가이드블럭의 상하단에 설치된 롤러에 감긴 상태로 장착된 벨트의 회전이송과 함께 웨이퍼를 동시에 상승시켜 보다 안정되게 웨이퍼의 공급이 이루어지면서 상기 웨이퍼가이드블럭 내면과의 마찰작용에 따른 웨이퍼에 충격이 가해지거나 이로 인해 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 경우 상기와 같이 웨이퍼승강장치의 상승작용에 따른 웨이퍼의 수직 이동 시 매거진의 내저면에 승강 가능하게 설치된 무빙플레이트와 결합되면서 웨이퍼가이드블럭의 상하단에 설치된 롤러에 감긴 상태로 장착된 벨트의 회전이송과 함께 웨이퍼를 동시에 상승시켜 보다 안정되게 웨이퍼의 공급이 이루어지기 때문에 종래 웨이퍼 매거진을 통한 웨이퍼의 상승작용에 따른 수직 이동시 충격에 의해 파손된 웨이퍼를 작업자가 일일이 제거한 후 다시 웨이퍼의 공급작업을 실행해야 하는 등의 번거로움을 방지함과 동시에 상기 웨이퍼 공급에 대한 작업성 및 생산성 역시 향상시킬 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.
본 발명의 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진은, 정사각 형태로 이루어진 바닥판의 각 면에 웨이퍼가이드블럭이 각각 수직 설치 고정된 상단 개방형 함체를 이루되, 상기 웨이퍼승강장치 중 모터 구동에 따라 회전하는 볼스크류와 대응 결합된 너트이송부재에 고정되어 상기 너트이송부재와 함께 승하강을 이루는 고정브라켓에 볼트 고정된 무빙플레이트가 상기 함체 내에 내장된 상태로 바닥판의 상단에 위치되고, 상기 웨이퍼승강장치의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트와 결합된 상태로 상기 웨이퍼가이드블럭의 상,하단에 벨트전동승강수단이 연결 설치되어 상기 웨이퍼승강장치의 구동에 의한 무빙플레이트의 승하강 시 이와 함께 벨트전동승강수단이 회전 이송되면서 매거진 내에 적층 수용된 웨이퍼를 순차적으로 상승시키도록 구성된 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명에 의하면, 웨이퍼가이드블럭이 고정식으로 이루어진 종래 웨이퍼 매거진에 비해 상기 웨이퍼승강장치의 상승작용에 따른 웨이퍼의 수직 이동 시 매거진의 내저면에 승강 가능하게 설치된 무빙플레이트와 결합되면서 웨이퍼가이드블럭의 상하단에 설치된 롤러에 감긴 상태로 장착된 벨트의 회전이송과 함께 웨이퍼를 동시에 상승시켜 보다 안정되게 웨이퍼의 공급이 이루어지면서 상기 웨이퍼가이드블럭 내면과의 마찰작용에 따른 웨이퍼에 충격이 가해지거나 이로 인해 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.
또한, 상기와 같이 웨이퍼승강장치의 상승작용에 따른 웨이퍼의 수직 이동 시 매거진의 내저면에 승강 가능하게 설치된 무빙플레이트와 결합되면서 웨이퍼가이드블럭의 상하단에 설치된 롤러에 감긴 상태로 장착된 벨트의 회전이송과 함께 웨이퍼를 동시에 상승시켜 보다 안정되게 웨이퍼의 공급이 이루어지기 때문에 종래 웨이퍼 매거진을 통한 웨이퍼의 상승작용에 따른 수직 이동시 충격에 의해 파손된 웨이퍼를 작업자가 일일이 제거한 후 다시 웨이퍼의 공급작업을 실행해야 하는 등의 번거로움을 방지함과 동시에 상기 웨이퍼 공급에 대한 작업성 및 생산성 역시 향상시킬 수 있는 효과 역시 있다.
도 1은 종래 웨이퍼 매거진을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 2는 본 발명이 적용된 웨이퍼공급장치를 개략적으로 나타낸 구성도.
도 3은 본 발명이 적용된 웨이퍼공급장치 중 웨이퍼승강장치를 개략적으로 나타낸 사시 상태도.
도 4는 본 발명의 웨이퍼 매거진을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 웨이퍼 매거진에 대한 분해 사시도.
도 6a 내지 도 6f는 본 발명의 웨이퍼 매거진이 적용된 웨이퍼공급장치의 전체 작동과정을 나타낸 상태도.
본 발명의 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진(이하, 웨이퍼 매거진이라 함)을 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명이 적용된 웨이퍼공급장치를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 3은 본 발명이 적용된 웨이퍼공급장치 중 웨이퍼승강장치를 개략적으로 나타낸 사시 상태도를 나타낸 것이다.
또한, 도 4는 본 발명의 웨이퍼 매거진을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명의 웨이퍼 매거진에 대한 분해 사시도를 나타낸 것이다.
본 발명의 웨이퍼 매거진(70a)에 대한 세부구성을 상세히 설명하기에 앞서, 본 발명이 적용된 웨이퍼공급장치(1)에 대해 간략히 설명하며, 종래 웨이퍼공급장치(1) 및 웨이퍼 매거진(70)과 동일 구조 및 구성에 대해서는 동일부호를 적용하기로 한다.
이러한 본 발명이 적용된 웨이퍼공급장치(1)의 경우 도 2에 도시한 바와 같이 프레임(3)의 상단 전면(前面)에 설치 고정되며, 내부에 모터(미도시) 구동과 연동되어 레일부(12)를 따라 좌우로 직선이송되는 2개의 이송블럭(11)을 구비한 수평이송바(10)와; 상기 수평이송바(10)의 이송블럭(11) 전면(前面) 상,하 양단에 각각 설치 고정되며, 모터 구동에 따라 좌우 직선이송되는 각각의 이송블럭(11)과 함께 동일방향으로 직선이송됨과 동시에 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의해 웨이퍼 매거진(70a)로부터 상승 공급된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착하는 2개의 웨이퍼흡착장치(20)와; 상기 프레임(3)의 중앙에 돌출된 베이스판(5)의 중앙에 설치 고정되며, 웨이퍼흡착장치(20)를 통해 흡착 공급된 웨이퍼(W)를 후방에 이웃하게 설치된 별도의 콘베어벨트(미도시)나 웨이퍼이송배열장치(미도시) 측으로 공급하도록 모터(31) 구동에 따른 이송벨트(34)의 회전 이송작용이 이루어지는 벨트전동수평이송수단(30)과; 상기 베이스판(5)의 하단 좌우 양측에 배열 설치되며, 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 승강작용을 통해 상기 이송봉(44)의 상단에 고정되어 너트이송부재(43) 및 이송봉(44)과 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45)의 상단에 고정된 무빙플레이트(77)가 상기 웨이퍼 매거진(70a) 내부를 승하강하면서 적층 수용된 웨이퍼(W)를 순차적으로 상승시키는 웨이퍼승강장치(40)와; 상기 웨이퍼승강장치(40)의 상단 양측에 이격 설치되며, 모터(61) 구동에 의한 벨트 이송의 로딩작용을 통해 로딩벨트(62)에 안착된 웨이퍼 매거진(70a)의 정위치를 조정하는 벨트전동방식의 매거진위치조정수단(60)과; 상기 매거진위치조정수단(60) 중 로딩벨트(62) 일측에 설치 고정되며, 유,공압에 의한 로드(66)의 길이신장을 통해 상기 로딩벨트(62)에 안착되어 정위치에 로딩된 웨이퍼 매거진(70a)을 고정시키는 매거진고정실린더(65)와; 상기 웨이퍼승강장치(40)의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트(77)와 결합된 상태로 매거진위치조정수단(60)의 로딩벨트(62)에 안착되며, 정사각의 바닥판(71) 각 면에 수직으로 설치된 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단에 벨트전동승강수단(80)을 구비함과 동시에 상기 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 상승 시 이와 함께 벨트전동승강수단(80)이 회전 이송되면서 웨이퍼(W)가 순차적으로 상승될 수 있도록 내부에 다수의 웨이퍼(W)가 적층 수용되는 웨이퍼 매거진(70a)으로 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 상기 수평이송바(10)의 경우 내부에 모터(미도시) 구동과 연동되어 전면(前面) 상하 양단에 형성된 레일부(12)를 따라 좌우로 직선이송되는 2개의 이송블럭(11)을 구비한 상태로 프레임(3)의 상단 전면(前面)에 설치되는 구성요소로서, 이때 상기 모터로는 일반 회전형 모터를 축 방향으로 잘라서 펼쳐 놓은 형태로, 기존의 일반 모터가 회전형의 운동력을 발생시키는 것에 비해 일렬로 배열된 자석 사이에 위치한 코일에 전류를 흐르게 함으로써 이송력을 발생하는 리니어모터가 사용되며, 이러한 직선이송작용에 사용되는 리니어모터와 이송블럭(11)이 적용된 수평이송바(10)는 통상적으로 이송블럭(11)이 승하강하거나 또는 직선왕복이송하는데 있어, 해당기술분야에서 종사하는 통상의 기술자라면 누구나 알고 있고, 누구나 사용하는 기성품의 일반적인 공지의 기술 및 구조라는 것임을 밝혀둔다.
또한, 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 상기 웨이퍼흡착장치(20)의 경우 리니어방식의 모터 구동에 따라 좌우 직선이송되는 이송블럭(11)과 함께 각기 동일방향으로 직선이송됨과 동시에 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의해 웨이퍼 매거진(70a)로부터 상승 공급된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착하는 구성요소로서, 도 2에 도시한 바와 같이 수평이송바(10)의 이송블럭(11) 전면(前面) 상,하 양단에 각각 설치 고정되는 주고정판(21)과; 상기 주고정판(21)의 전면(前面)에 설치 고정되며, 공급된 유,공압에 의해 길이신장되는 로드(미도시)의 하단과 연결된 "L"자 형태의 전면구동부(23a)가 후면고정부(23b)로부터 상하 슬라이드 이송되는 승강실린더(22)와; 상기 승강실린더(22)의 전면구동부(23a)에 설치 고정되는 진공흡착블럭고정판(24)과; 상기 진공흡착블럭고정판(24)의 하단에 설치 고정되며, 웨이퍼 매거진(70a)로부터 상승 공급된 웨이퍼(W)를 진공흡착력을 통해 흡착 취부하는 진공흡착블럭(25)으로 구성되어 있다.
이와 더불어, 상기 진공흡착블록고정판의 일측 상단과 상기 진공흡착블록 상단에는 승강실린더(22) 구동에 의한 진공흡착블록고정판의 승하강작용과, 상기 진공흡착블록의 하단에 웨이퍼(W)가 흡착되었지 여부를 각각 감지하기 위한 실린더감지센서(26a) 및 웨이퍼감지센서(26b)가 설치 고정되어 있다.
그리고, 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 베이스판(5)의 중앙에 설치 고정된 상기 벨트전동수평이송수단(30)의 경우 웨이퍼흡착장치(20)를 통해 흡착 공급된 웨이퍼(W)를 후방에 이웃하게 설치된 별도의 콘베어벨트나 웨이퍼이송배열장치 측으로 이송 공급하는 구성요소로서, 도 2에 도시한 바와 같이 상기 웨이퍼흡착장치(20)를 통해 흡착 이송된 웨이퍼(W)를 이송시키는데 대한 통상적인 벨트전동방식 즉, 모터(31)와 직결되는 구동축(32)에 결합된 구동롤러(33a)와 종동롤러(33b)의 사이에 이송벨트(34)가 연결 설치되어 상기 모터(31) 구동에 의해 회전하는 구동롤러(33a)와 이송벨트(34) 간의 마찰작용을 통해 회전 이송되면서 종동롤러(33b)에 회전력을 전달하는 벨트전동방식으로 이루어져 있는 등 이 기술 역시 해당기술분야에서 종사하는 통상의 기술자라면 누구나 알고 있고, 누구나 사용하는 기성품의 일반적인 공지의 기술 및 구조라는 것임을 밝혀둔다.
또한, 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 상기 웨이퍼승강장치(40)의 경우 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 승강작용을 통해 상기 이송봉(44)의 상단에 고정되어 너트이송부재(43) 및 이송봉(44)과 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45)의 상단에 고정된 무빙플레이트(77)가 상기 웨이퍼 매거진(70a) 내부를 승하강하면서 적층 수용된 웨이퍼(W)를 상승 또는 하강시키는 구성요소로서, 도 3에 도시한 바와 같이 구동롤러(41a)가 축결합된 모터(41)와; 상기 구동롤러(41a)와 벨트 연결되도록 일단에 종동롤러(42a)를 구비한 볼스크류(42)와; 상기 볼스크류(42)에 나사 결합되며, 모터(41) 구동에 의한 볼스크류(42)의 회전 시 이와 대응되는 나사이송력을 통해 상하로 직선이송되는 너트이송부재(43)와; 상기 너트이송부재(43)의 양측단과 고정브라켓(45) 사이에 연결 설치되며, 모터(41) 구동에 따른 볼스크류(42)의 회전작용과 대응되어 상하로 직선이송되는 너트이송부재(43)와 함께 승하강하면서 고정브라켓(45) 및 이의 상단에 고정된 무빙플레이트(77)를 승하강시키는 이송봉(44)과; 상기 이송봉(44)의 상단에 설치 고정되며, 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)를 따라 상하로 직선이송되는 너트이송부재(43)와 함께 승하강을 이루는 이송봉(44)을 통해 승하강하면서 무빙플레이트(77) 측에 이송봉(44)의 상하 이송력을 전달하는 고정브라켓(45)으로 구성되어 있다.
이와 더불어, 상기와 같이 구성된 웨이퍼승강장치(40)의 작동을 통해 웨이퍼 매거진(70a)으로부터 웨이퍼(W)를 상승시키기에 앞서, 리니어방식의 모터나 실린더 등의 승강구동수단(미도시)을 통해 상기 웨이퍼승강장치(40) 전체를 초기 설정된 높이까지 상승시킬 수 있도록 하기 위한 장치적 수단이 더 구비되게 되는데, 이때 상기한 장치적 수단으로서, 상기 웨이퍼승강장치(40)의 배면(背面)에는 모터(41)와 볼스크류(42)를 고정시키기 위한 수직구동판(48)이 설치 고정되고, 또한 상기 승강구동수단에 의한 수직구동판(48) 전체가 상하로 직선이송 될 수 있도록 상기 수직구동판(48)의 배면(背面)과 이의 후방에 위치되는 수직고정판(49) 사이에는 승강구동수단인 실린더(미도시)와 함께 상호 슬라이드 결합된 이송부재(50) 및 레일부재(51)가 각각 설치 고정된 것으로 구성되어 있으며, 더욱이 상기 수직구동판(48)의 상단에는 모터(61) 구동에 의한 벨트 이송의 로딩작용을 통해 로딩벨트(62)에 안착된 웨이퍼 매거진(70a)의 정위치를 조정하는 벨트전동방식의 매거진위치조정수단(60)이 좌우 이격된 상태로 장착되기 위한 매거진로딩고정판(47)이 설치 고정되어 있는데, 이때 상기 매거진로딩고정판(47)의 중앙에는 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의해 상승되는 고정브라켓(45)이 매거진로딩고정판(47)을 관통하여 웨이퍼 매거진(70a) 내부로 상승되도록 하기 위한 통공이 형성되어 있다. 미 설명 부호 "52", "53"은 승강구동수단인 실린더의 작동부와 이송부재(50)를 하나로 연결하기 위한 연결판(52) 및 상기 연결판(52)을 수직구동판(48)의 배면에 연결시키기 위한 연결블럭(53)을 각각 나타낸 것이다.
그리고, 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 본 발명에 해당하는 상기 웨이퍼 매거진(70a)의 경우 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이 정사각 형태로 이루어진 바닥판(71)의 각 면에 수직으로 웨이퍼가이드블럭(73)이 각각 설치 고정된 상단 개방형 함체를 이루되, 상기 웨이퍼승강장치(40) 중 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 승강작용을 통해 상기 이송봉(44)의 상단에 고정되어 너트이송부재(43) 및 이송봉(44)과 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45)의 상단에 고정된 무빙플레이트(77)가 상기 함체 내에 내장된 상태로 바닥판(71)의 상단에 위치되고, 상기 웨이퍼승강장치(40)의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트(77)와 결합된 상태로 상기 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단에 벨트전동승강수단(80)이 연결 설치되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의한 무빙플레이트(77)의 승하강 시 이와 함께 벨트전동승강수단(80)이 회전 이송되면서 매거진 내에 적층 수용된 웨이퍼(W)가 순차적으로 상승되는 구조로 이루어져 있다. 미 설명 부호 "WB" 는 무빙플레이트(77)의 상단에 웨이퍼(W)의 적층 시 철 재질로 이루어진 상기 무빙플레이트(77)와의 마찰에 의한 긁힘이나 충격으로부터 웨이퍼(W)가 손상되는 것을 방지하기 위하여 상기 무빙플레이트(77)와 웨이퍼(W)의 사이에 설치되는 수지재질의 웨이퍼리프트블럭(WB)을 나타낸 것이다.
이와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 매거진(70a) 중 상기 바닥판(71) 중앙에는 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의해 무빙플레이트(77)와 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45)이 바닥판(71)을 관통하기 위한 통공이 관통 형성되어 있고, 상기 바닥판(71)의 각 면에는 웨이퍼가이드블럭(73)을 각각 고정시키기 위한 "요(凹)" 형태의 블럭고정홈(72)이 형성되되, 한면에 2씩 총 8개의 블럭고정홈(72)이 형성되어 있다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 매거진(70a) 중 상기 무빙플레이트(77)의 경우 웨이퍼 매거진(70a) 내에 내장되기 위한 정사각 형태의 플레이트로 형성되어 있는데, 이때 상기 무빙플레이트(77)의 외측 둘레에는 벨트전동승강수단(80)과 결합되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의한 무빙플레이트(77)의 승하강 시 이와 함께 벨트전동승강수단(80)의 회전 이송작용이 이루어지도록 하기 위한 벨트결합홈(78)이 형성되어 있다.
그리고, 본 발명의 웨이퍼 매거진(70a) 중 상기 웨이퍼가이드블럭(73)의 경우 전체형상이 "ㅂ"자 형태로 형성되어 상기 웨이퍼 매거진(70a)의 바닥판(71) 각 면의 블럭고정홈(72)에 각각 대응 설치 고정되어 있는데, 이때 상기 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단 및 전,후면에는 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 따라 승,하강하는 무빙플레이트(77)에 의한 벨트전동승강수단(80)의 작동이 원활하도록 각기 "요(凹)" 형태를 이루는 롤러장착홈(74)과 벨트작동홈(75)이 각각 형성되어 있고, 상기 웨이퍼가이드블럭(73)의 좌우 양측에는 이웃한 웨이퍼가이드블럭(73)과 상호 나사 고정시킬 수 있도록 각기 나사홀(79a)이 구비된 블럭고정부(79)가 돌출 형성되어 있다.
그 다음, 본 발명의 웨이퍼 매거진(70a) 중 마지막 구성요소인 상기 벨트전동승강수단(80)의 경우 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단에 각각 힌지 고정된 상부롤러(81) 및 하부롤러(82)와; 상기 상부롤러(81)와 하부롤러(82) 사이에 감겨 설치되는 승강이송벨트(83)와; 상기 승강이송벨트(83)의 일측면에 일체로 돌출 형성됨과 동시에 무빙플레이트(77)의 외측 둘레 즉, 벨트결합홈(78)에 결합 고정되며, 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 승하강 시 이에 대한 직선이송력이 상,하부롤러(81,82)에 감긴 승강이송벨트(83)의 회전 이송력으로 전환되어 상기 무빙플레이트(77)의 승하강작용과 함께 승강이송벨트(83)의 회전이송작용이 동시에 이루어지면서 웨이퍼 매거진(70a) 내에 적층 수용된 웨이퍼를 순차적으로 상승되도록 하는 벨트고정블럭(84)으로 구성되어 있다.
이하, 본 발명의 웨이퍼 매거진(70a)이 적용된 웨이퍼공급장치(1)에 대한 전체 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.
도 6a 내지 도 6f는 본 발명의 웨이퍼 매거진이 적용된 웨이퍼공급장치의 전체 작동과정을 나타낸 상태도이다.
먼저, 웨이퍼 매거진(70a)에 적층 수용된 웨이퍼(W)를 웨이퍼공급장치(1)를 이용해 이의 후방에 이웃하게 설치된 별도의 콘베어벨트나 웨이퍼이송배열장치 측으로 공급 이송시킬 수 있도록 상기 웨이퍼공급장치(1)의 구성요소인 웨이퍼승강장치(40)의 상단 좌우 양측으로 서로 대향되게 이격 설치된 벨트전동방식의 매거진위치조정수단(60) 즉, 상기 매거진위치조정수단(60) 중 로딩벨트(62) 상단에 웨이퍼(W)가 적층 수용된 웨이퍼 매거진(70a)을 안착시키게 되면, 도 6a에 도시한 바와 같이 모터(61) 구동에 의한 구동롤러(63a)와 종동롤러(63b)를 연결하는 로딩벨트(62)의 좌우 이송에 의한 로딩작용을 통해 웨이퍼 매거진(70a)의 안착위치를 조정하여 상기 웨이퍼 매거진(70a)이 웨이퍼승강장치(40)와 대응되는 정위치에 위치되게 된다.
이와 같이 상기 로딩벨트(62)의 로딩작용을 통해 웨이퍼 매거진(70a)이 정위치에 위치되게 되면, 도 6b에 도시한 바와 같이 웨이퍼승강장치(40)의 작동을 통해 웨이퍼 매거진(70a)으로부터 웨이퍼(W)를 상승시키기에 앞서, 리니어방식의 모터나 실린더 등의 승강구동수단을 통해 상기 웨이퍼승강장치(40) 전체를 초기 설정된 높이까지 상승시킬 수 있도록 상기 웨이퍼승강장치(40)의 배면(背面)에 모터(41)와 볼스크류(42)를 고정시키기 위해 설치된 수직구동판(48)과 이의 후방에 위치되는 수직고정판(49) 사이에 상기 승강구동수단인 실린더와 함께 상호 슬라이드 결합된 이송부재(50) 및 레일부재(51)가 각각 설치된 상태에서 상기 승강구동수단인 실린더의 작동에 의한 수직구동판(48)이 이송부재(50)와 레일부재(51)간의 슬라이드 이송작용을 통해 수직고정판(49)으로부터 상승하는 등 상기 수직구동판(48)의 전면(前面)에 고정된 웨이퍼승강장치(40) 전체가 초기 설정된 높이까지 상승하게 된다.
그리고, 상기와 같이 승강구동수단을 통해 상기 수직구동판(48)과 함께 웨이퍼승강장치(40) 전체가 초기 설정된 높이까지 상승되게 되면, 이와 연동적으로 웨이퍼승강장치(40)가 작동되면서 웨이퍼 매거진(70a)으로부터 웨이퍼(W)를 상승시키게 되는데, 이의 과정을 좀 더 상세히 설명하면, 도 6c에 도시한 바와 같이 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 상승작용을 통해 상기 이송봉(44)의 상단에 고정된 고정브라켓(45)이 상승함과 동시에 상기 고정브라켓(45)의 상단에 고정된 무빙플레이트(77) 역시 웨이퍼 매거진(70a) 내부로부터 상승하면서 적층 수용된 웨이퍼(W)를 상승시키게 된다.
이때, 상기 과정에서 상기 웨이퍼 매거진(70a) 내에 적층 수용된 웨이퍼(W)는 종래 웨이퍼 매거진(70)과는 다르게 상기와 같이 웨이퍼승강장치(40) 중 무빙플레이트(77)의 외측 둘레에 결합된 상태로 정사각 형태의 바닥판(71) 각 면에 수직으로 설치되는 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단에 벨트전동승강수단(80)이 연결 설치되어 도 6d에 도시한 바와 같이 상기 웨이퍼승강장치(40)의 작동 즉, 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 상승작용에 의한 고정브라켓(45)과 함께 무빙플레이트(77)의 상승 시 이와 함께 벨트전동승강수단(80)이 회전 이송 즉, 상기 무빙플레이트(77)의 외측 둘레에 형성된 벨트결합홈(78)에 상기 벨트전동승강수단(80) 중 승강이송벨트(83)의 일측면에 일체로 돌출 형성된 벨트고정블럭(84)이 결착된 상태로 결합되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 상승 시 이에 대한 직선 이송력이 상,하부롤러(81,82)에 감긴 승강이송벨트(83)의 회전 이송력으로 전환되어 상기 무빙플레이트(77)의 상승작용과 함께 승강이송벨트(83)의 회전이송작용이 동시에 이루어지면서 웨이퍼 매거진(70a) 내에 적층 수용된 웨이퍼(W)를 순차적으로 상승되게 된다.
이와 더불어, 상기와 같이 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 상승작용을 통해 웨이퍼 매거진(70a) 내에 적층 수용된 웨이퍼(W)가 흡착장치와 근접되게 상승하게 되면, 이와 대응되게 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 수평이송바(10)의 이송블럭(11)에 설치 고정된 웨이퍼흡착장치(20) 즉, 도 6e에 도시한 바와 같이 수평이송바(10)의 이송블럭(11) 전면(前面)에 설치 고정된 주고정판(21)과 진공흡착블럭(25)이 고정된 진공흡착블럭고정판(24) 사이에 설치된 승강실린더(22)의 길이신장에 따른 상기 진공흡착블럭고정판(24)이 하향 이송되면서 웨이퍼 매거진(70a)로부터 상승 공급된 웨이퍼(W)를 진공흡착블럭(25)이 진공흡착력을 통해 흡착 취부한 다음, 상기 승강실린더(22)의 길이단축과 함께 상기 진공흡착블럭고정판(24)이 원위치로 상승 복귀됨과 동시에 수평이송바(10)의 내부에 설치된 리니어방식의 모터 구동에 의한 이송블록이 레일부(12)를 따라 중앙측 베이스판(5) 상단에 고정된 벨트전동수평이송수단(30) 측으로 직선이송되어 상기 진공흡착블럭(25)의 진공흡착력 해제와 함께 상기 벨트전동수평이송수단(30) 중 구동롤러(33a) 및 종동롤러(33b)의 사이에 설치되어 모터(31) 구동에 의해 회전 이송되는 이송벨트(34) 위에 웨이퍼(W)를 분리 안착시킴과 아울러, 상기와 같이 이송벨트(34) 위에 안착된 웨이퍼(W)는 도 6f에 도시한 바와 같이 모터(31) 구동에 의한 이송벨트(34)의 회전 이송작용을 통해 상기 이송벨트(34)의 후방인 출구 측에 이웃하게 설치된 별도의 콘베어벨트나 웨이퍼이송배열장치 측으로 공급하게 된다.
이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.
1. 웨이퍼공급장치 3. 프레임
5. 베이스판 10. 수평이송바
11. 이송블럭 12. 레일부
20. 웨이퍼흡착장치 21. 주고정판
22. 승강실린더 24. 진공흡착블럭고정판
25. 진공흡착블럭 30. 벨트전동수평이송수단
31, 41, 61. 모터 33a, 41a, 63a. 구동롤러
33b, 42a, 63b. 종동롤러 34. 이송벨트
40. 웨이퍼승강장치 42. 볼스크류
43. 너트이송부재 44. 이송봉
45. 고정브라켓 47. 매거진로딩고정판
48. 수직구동판 49. 수직고정판
50. 이송부재 51. 레일부재
60. 매거진위치조정수단 62. 로딩벨트
65. 매거진고정실린더 70, 70a. 웨이퍼 매거진
71. 바닥판 72. 블록고정홈
73. 웨이퍼가이드블럭 74. 롤러장착홈
75. 벨트작동홈 77. 무빙플레이트
78. 벨트결합홈 79. 블록고정부
80. 벨트전동승강수단 81. 상부롤러
82. 하부롤러 83. 승강이송벨트
84. 벨트고정블럭 W. 웨이퍼

Claims (5)

  1. 웨이퍼공급장치(1)로부터 이의 후방에 이웃하게 설치된 별도의 콘베어벨트(미도시)나 웨이퍼이송배열장치(미도시) 측으로 웨이퍼(W)를 공급하기 위한 상기 웨이퍼공급장치(1) 중 프레임(3) 상단에 고정된 수평이송바(10)의 전면(前面)에 설치되어 리니어방식의 모터(미도시) 구동에 따라 좌우로 직선이송되면서 진공작용을 통해 웨이퍼(W)를 흡착하는 2개의 웨이퍼흡착장치(20)와 각기 대응되도록 베이스판(5)의 하단 좌우 양측에 배열 설치되는 웨이퍼승강장치(40)의 상단 양측으로 이격 설치된 벨트전동방식의 매거진위치조정수단(60)에 안착되어 모터(61) 구동에 의한 벨트(62) 이송의 로딩작용을 통해 정위치에 위치되는 웨이퍼 매거진(70a)에 있어서,
    상기 웨이퍼 매거진(70a)은 정사각 형태로 이루어진 바닥판(71)의 각 면에 수직으로 웨이퍼가이드블럭(73)이 각각 설치 고정된 상단 개방형 함체를 이루되, 상기 웨이퍼승강장치(40) 중 모터(41) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(42)와 대응 결합된 너트이송부재(43) 및 이의 양측에 고정된 이송봉(44)의 승강작용을 통해 상기 이송봉(44)의 상단에 고정되어 너트이송부재(43) 및 이송봉(44)과 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45) 상단에 고정된 무빙플레이트(77)가 상기 함체 내의 바닥판(71) 상단에 위치되고,
    상기 웨이퍼승강장치(40)의 승강작용을 통해 승하강되는 무빙플레이트(77)와 결합된 상태로 상기 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단에 벨트전동승강수단(80)이 연결 설치되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의한 무빙플레이트(77)의 승하강 시 이와 함께 벨트전동승강수단(80)이 회전 이송되면서 매거진 내에 적층 수용된 웨이퍼(W)를 순차적으로 상승시키도록 구성되며,
    상기 무빙플레이트(77)는 웨이퍼 매거진(70a) 내에 내장되기 위한 정사각 형태의 플레이트로 형성되되, 그 외측 둘레에는 벨트전동승강수단(80)과 결합되어 상기 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의한 무빙플레이트(77)의 승하강 시 이와 함께 벨트전동승강수단(80)의 회전 이송작용이 이루어지도록 하기 위한 벨트결합홈(78)이 형성된 것을 특징으로 하는 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 바닥판(71) 중앙에는 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 의해 무빙플레이트(77)와 함께 승하강을 이루는 고정브라켓(45)이 바닥판(71)을 관통하기 위한 통공이 관통 형성되고,
    상기 바닥판(71)의 각 면에는 웨이퍼가이드블럭(73)을 각각 고정시키기 위한 "요(凹)" 형태의 블럭고정홈(72)이 형성된 것을 특징으로 하는 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼가이드블럭(73)은 전체형상이 "ㅂ"자 형태로 형성되어 상기 웨이퍼 매거진(70a)의 바닥판(71) 각 면의 블럭고정홈(72)에 각각 대응 설치 고정되되, 그 상,하단 및 전,후면에는 웨이퍼승강장치(40)의 구동에 따라 승,하강하는 무빙플레이트(77)에 의한 벨트전동승강수단(80)의 작동이 원활하도록 각기 "요(凹)" 형태를 이루는 롤러장착홈(74)과 벨트작동홈(75)이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 벨트전동승강수단(80)은 웨이퍼가이드블럭(73)의 상,하단에 각각 힌지 고정된 상부롤러(81) 및 하부롤러(82)와;
    상기 상부롤러(81)와 하부롤러(82) 사이에 감겨 설치되는 승강이송벨트(83)와;
    상기 승강이송벨트(83)의 일측면에 일체로 돌출 형성됨과 동시에 무빙플레이트(77)의 외측 둘레에 결합 고정되며, 웨이퍼승강장치(40)의 작동에 의한 무빙플레이트(77)의 승하강 시 이에 대한 직선 이송력이 상,하부롤러(81,82)에 감긴 승강이송벨트(83)의 회전 이송력으로 전환되어 상기 무빙플레이트(77)의 승하강작용과 함께 승강이송벨트(83)의 회전이송작용이 동시에 이루어지면서 웨이퍼 매거진(70a) 내에 적층 수용된 웨이퍼(W)를 순차적으로 상승되도록 하는 벨트고정블럭(84)으로 구성된 것을 특징으로 하는 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진.
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