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KR101280899B1 - 로봇 관절용 1축 토크 센서 - Google Patents

로봇 관절용 1축 토크 센서 Download PDF

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KR101280899B1
KR101280899B1 KR1020110143355A KR20110143355A KR101280899B1 KR 101280899 B1 KR101280899 B1 KR 101280899B1 KR 1020110143355 A KR1020110143355 A KR 1020110143355A KR 20110143355 A KR20110143355 A KR 20110143355A KR 101280899 B1 KR101280899 B1 KR 101280899B1
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KR
South Korea
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joint
torque sensor
pair
beams
axis
Prior art date
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Active
Application number
KR1020110143355A
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English (en)
Inventor
김봉석
황정훈
박창우
최승윤
Original Assignee
전자부품연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

본 발명은 로봇 관절용 1축 토크 센서에 관한 것으로, 측정하고자 하는 1축 방향의 토크 이외의 다른 외력에 의한 토크를 구조적으로 상쇄시켜 해당 방향에서 발생되는 토크를 정밀하게 측정하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 1축 토크 센서는 제1 관절 체결부, 게이지 설치부 및 제2 관절 체결부를 포함한다. 제1 관절 체결부는 원판 형태로, 제1 관절의 구동축이 결합되는 구동축 체결구멍이 중심에 형성되어 있다. 게이지 설치부는 제1 관절 체결부의 가장자리 둘레에서 축 방향으로 일정 높이로 형성되어 제1 관절의 구동축 부분을 둘러싸며, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔을 갖는 빔부가 복수 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 빔부의 경사진 한 쌍의 빔에 각각 스트레인 게이지가 설치된다. 그리고 제2 관절 체결부는 게이지 설치부에서 연장되어 형성되며, 외측면에 제2 관절이 체결된다.

Description

로봇 관절용 1축 토크 센서{1-axis torque sensor for robot joint}
본 발명은 토크 센서를 이용한 로봇 관절에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 측정하고자 하는 1축 방향의 토크 이외의 다른 외력에 의한 토크를 구조적으로 상쇄시켜 해당 방향에서 발생되는 토크를 정밀하게 측정할 수 있는 로봇 관절용 1축 토크 센서에 관한 것이다.
통제되어 있는 환경에서 작업하는 산업용 로봇의 경우, 로봇 암에 장착된 공구가 작업 대상에 가하는 힘을 측정하기 위하여 로봇 손목에 장착 가능한 형태의 6축 힘/토크(Force/Torque; F/T) 센서가 사용되어 왔다.
하지만, 로봇 암의 다른 부분이 알려지지 않은 물체나 사람과 충돌하였을 때, 이의 감지가 불가능하고 능동적 대응을 통해 안전성을 확보하기 어려운 문제점이 있다. 현재의 지능형 로봇(또는 휴머노이드 로봇)은 대부분 알려지지 않고 통제되지 않는 환경에서 작업을 수행하여야 하기 때문에, 산업용 로봇과 달리 로봇이나 사람의 안전을 최우선으로 고려하여 동작하여야 하는 특징이 있다.
로봇의 관절에 토크 센서를 장착하여 측정하는 방식은 동역학적 해석이 복잡하고 오차가 누적될 수 있어 산업용 로봇에서는 불리하나, 최근 들어 지능형 서비스 로봇 분야에서는 폭넓게 연구되고 있다.
특히 로봇의 관절에 사용되는 1축 토크 센서는 1축 방향으로 발생되는 토크를 측정하는 센서로서, 1축 방향으로의 변형률을 측정한다. 이러한 1축 토크 센서는 6축 힘/토크 센서와는 달리 1축 방향의 측정하고자 하는 위치에 스트레인게이지가 설치되고, 1축 방향으로 작용하는 변형을 스트레인게이지가 측정한다.
1축 토크 센서가 정확히 1축 방향의 토크를 측정하기 위해서, 측정하고자 하는 1축 방향의 토크 외에 다른 외력, 예컨대 2방향 토크, 3방향 힘에 대해서는 변형률이 측정하고자 하는 특정 토크에 비해 거의 무시할 수 있는 수준을 요구하고 있다.
하지만 통상적인 1축 토크 센서는 측정하고자 하는 1축 방향의 토크 외에 다른 외력에 의한 상호간섭오차(crosstalk-error)가 발생하기 때문에 1축 방향의 토크를 정확히 측정하는 데 한계가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 1축 토크 센서의 구조를 개선하여 구조적으로 측정하고자 하는 1축 방향의 토크 이외의 다른 외력에 의한 토크를 구조적으로 상쇄시켜 해당 방향에서 발생되는 토크를 정밀하게 측정할 수 있는 로봇 관절용 1축 토크 센서를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 제1 관절 체결부, 게이지 설치부 및 제2 관절 체결부를 포함하는 로봇 관절용 1축 토크 센서를 제공한다. 상기 제1 관절 체결부는 원판 형태로, 제1 관절의 구동축이 결합되는 구동축 체결구멍이 중심에 형성된다. 상기 게이지 설치부는 상기 제1 관절 체결부의 가장자리 둘레에서 축 방향으로 일정 높이로 형성되어 상기 제1 관절의 구동축 부분을 둘러싸며, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔을 갖는 빔부가 복수 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 상기 빔부의 경사진 한 쌍의 빔에 각각 스트레인 게이지가 설치된다. 그리고 상기 제2 관절 체결부는 상기 게이지 설치부에서 연장되어 형성되며, 외측면에 제2 관절이 체결된다.
본 발명에 따른 로봇 관절용 1축 토크 센서에 있어서, 상기 게이지 설치부는 상기 복수의 빔부는 짝수 개이며, 축 방향에 대해서 방사형으로 배치되어 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 로봇 관절용 1축 토크 센서에 있어서, 상기 게이지 설치부는 상기 복수의 빔부 사이를 연결하고, 상기 제1 관절 체결부와 상기 제2 관철 체결부를 연결하는 연결대를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 로봇 관절용 1축 토크 센서에 있어서, 상기 빔부는 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 "V"자형으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 로봇 관절용 1축 토크 센서에 있어서, 상기 스트레인 게이지는 상기 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 상기 한 쌍의 경사진 빔의 안쪽에 각각 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 로봇 관절용 1축 토크 센서에 있어서, 상기 빔부는 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 좌우 대칭되게 형성되며, 상기 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 만나는 부분은 제1 및 제2 관절 체결부 중에 하나에 연결될 수 있다.
본 발명은 또한, 구동축이 결합되는 면과 마주보는 쪽이 개방된 관형으로, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 연속적으로 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 상기 경사진 한 쌍의 빔에 각각 스트레인 게이지가 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서를 제공한다.
그리고 본 발명에 따른 로봇 관절용 1축 토크 센서에 있어서, 상기 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔은 "V"자형으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 1축 토크 센서는 구동축이 결합되는 면과 마주보는 쪽이 개방된 관형으로, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 연속적으로 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 한 쌍의 경사진 빔에 각각 설치된 스트레인 게이지를 이용하여 보상회로를 구성함으로써, 구동축이 회전하는 1축 방향의 토크 이외의 다른 외력에 의한 토크를 구조적으로 상쇄시켜 해당 방향에서 발생되는 토크를 정밀하게 측정할 수 있다. 즉 도 6에서 확인할 수 있는 바와 같이, 구동축이 회전하는 1축 방향 이외의 다른 방향으로 작용하는 외력에 따른 토크는 상쇄되는 것을 확인할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서를 보여주는 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서를 매개로 설치된 로봇의 관절을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서를 매개로 설치된 로봇의 관절을 보여주는 부분 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서에 6축 방향으로 발생하는 힘에 따른 4개의 스트레인 게이지에서 측정된 토크 값을 보여주는 표이다.
하기의 설명에서는 본 발명의 실시예를 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며, 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 흩트리지 않도록 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하자고 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서를 보여주는 사시도이다. 도 2 및 도 3은 도 1의 단면도이다. 이때 1축 토크 센서(10)의 구동축 체결구멍(21)은 X축 방향으로 형성되며, 여기서 1축은 X축을 의미한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)는 구동축이 결합되는 면과 마주보는 쪽이 개방된 관형으로, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔(33,35)이 연속적으로 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 경사진 한 쌍의 빔(33,35)에 각각 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)가 설치된 구조를 갖는다.
이와 같은 본 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)는 제1 관절 체결부(20), 게이지 설치부(30) 및 제2 관절 체결부(40)를 포함하며 일체로 형성된 구조를 갖는다. 이때 1축 토크 센서(10)의 소재로는 알루미늄 합금을 사용할 수 있다. 1축 토크 센서(10)의 소재로 알루미늄 합금을 사용하는 이유는 다음과 같다. 1축 토크 센서(10)의 소재로 철을 사용하는 경우, 강성을 높여 복원 응력을 확보함으로써 일종의 히스테리시스(hysteresis) 현상을 없앨 수 있는 장점이 있다. 하지만 철 소재는 알루미늄 소재보다 같은 부피 대비 3배 이상 무겁기 때문에, 로봇 관절용 1축 토크 센서(10)로 사용하기에는 적합하지 않다. 1축 토크 센서(10)의 소재로 순수 알루미늄을 사용하는 경우, 가벼운 이점이 있지만 강성이 철보다 낮기 때문에 토크가 가해졌다가 무부하 상태 시 히스테리시스 현상이 발생할 수 있다. 따라서 본 실시예에서는 1축 토크 센서(10)의 소재로 알루미늄 합금, 예컨대 알루미늄 70계열인 합금을 사용함으로써, 무게도 가볍게 하면서 강성을 높여 철 및 알루미늄 소재가 갖는 장점을 갖춘 1축 토크 센서(10)를 제공할 수 있다.
제1 관절 체결부(20)는 원판 형태를 가지며, 중심 부분에 제1 관절의 구동축이 결합되는 구동축 체결구멍(21)이 형성되어 있다.
게이지 설치부(30)는 제1 관절 체결부(20)의 가장자리 둘레에서 축 방향으로 일정 높이로 형성되어 제1 관절의 구동축 부분을 둘러싸는 형태를 갖는다. 게이지 설치부(30)는 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔(33,35)을 갖는 빔부(31)가 복수 형성된다. 게이지 설치부(30)는 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 빔부(31)의 한 쌍의 경사진 빔(33,35)에 각각 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)가 설치된다.
그리고 제2 관절 체결부(40)는 게이지 설치부(30)에서 연장되어 형성되며, 외측면에 제2 관절이 체결된다.
이때 게이지 설치부(30)에 형성된 복수의 빔부(31)는 축 방향에 대해서 방사형으로 배치되어 형성된다. 복수의 빔부(31)는 축 방향에 대해서 서로 마주보게 빔부(31)가 배치될 수 있도록 짝수 개이다. 게이지 설치부(30)는 복수의 빔부(31) 사이를 연결하고, 제1 관절 체결부(20)와 제2 관철 체결부(40)를 연결하는 복수의 연결대(37)를 구비한다. 연결대(37)는 제1 관절 체결부(20)와 제2 관절 체결부(30)를 연결하여 1축 토크 센서(10)에 강성을 제공하는 뼈대 역할을 한다.
빔부(31)는 복수의 연결대(37) 사이의 공간에 형성된다. 빔부(31)는 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔(33,35)이 "V"자형으로 형성될 수 있다. 이때 빔부(31)는 제1 빔(33)과 제2 빔(35)을 포함한다. 제1 빔(31)과 제2 빔(33)이 만나는 부분은 연결대(37) 사이의 공간의 중심 부분이다. 제1 및 제2 빔(33,35)은 좌우 대칭되게 형성되며, 제1 및 제2 빔(33,35)이 만나는 부분은 제1 및 제2 관절 체결부(20,30) 중에 하나에 연결된다. 본 실시예에서는 제1 및 제2 빔(33,35)이 만나는 일단은 제1 관절 체결부(20)의 외주면에 연결되고, 제1 및 제2 빔(33,35)의 타단은 각각 연결대(37)와 제2 관절 체결부(30)의 만나는 지점에 연결된다.
이때 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)는 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 한 쌍의 빔부(31)의 안쪽에 설치된다. 즉 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)는 경사진 한 쌍의 빔(33,35)의 안쪽에 각각 설치된다. 즉 4개의 스트레인 게이지가 구동축 체결구멍(21)을 중심으로 마주보는 두 개의 빔부(31)에 설치되고, 반시계 방향으로 제1 내지 제4 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)가 순차적으로 설치된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)는 구동축이 결합되는 면과 마주보는 쪽이 개방된 관형으로, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔(33,35)이 연속적으로 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 경사진 한 쌍의 빔(33,35)에 각각 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)가 설치된 구조를 갖기 때문에, 구동축이 회전하는 X축 방향의 토크(Mx) 이외의 다른 외력에 의한 토크를 구조적으로 상쇄시켜 해당 방향에서 발생되는 토크(Mx)를 정밀하게 측정할 수 있다. 즉 X축 방향에 대한 모멘트 하중이 발생되면, 1축 토크 센서(10)의 게이지 설치부(30)의 빔부(31)가 변형된다. 빔부(31)의 변형량을 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)가 감지하고, 감지한 변형량에 따른 토크를 측정한다. 이때 X축, Y축 및 Z축의 토크(Mx,My,Mz)는 제1 내지 제4 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)에서 측정된 변형량이 S1, S2, S3 및 S4라고 할 때, (S1-S2+S3-S4) 식으로 산출할 수 있다. 즉 제1 내지 제4 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)를 이용한 보상회로, 예컨대 풀브리지 회로를 이용하여 X축, Y축 및 Z축의 토크(Mx,My,Mz)를 산출한다.
이때 본 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)와 제1 내지 제4 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)를 이용한 보상회로를 사용할 경우, X축 방향의 토크(Mz) 이외의 다른 외력에 의한 토크는 상쇄시킬 수 있다. 즉 본 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)는 X축 방향의 토크(Mx) 외에 다른 외력에 의한 상호간섭오차를 상쇄시킬 수 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)가 1축 방향 이외의 다른 방향으로 작용하는 외력에 따른 토크는 상쇄되는 것을 확인하기 위해서, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 1축 토크 센서(10)를 이용하여 로봇 관절(100)에 작용하는 부하에 따른 모의 실험하였으며, 모의 실험 결과는 도 6과 같다. 여기서 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)를 매개로 설치된 로봇 관절(100)을 보여주는 도면이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)를 매개로 설치된 로봇 관절(100)을 보여주는 부분 단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 로봇 관절(100)은 1축 토크 센서(10)를 매개로 연결된 제1 관절(60)과 제2 관절(70)이 연결된 구조를 갖는다. 제1 관절(60)은 일측에 X축 방향으로 회전하는 구동축(63)을 갖는 구동 모터(61)가 설치되어 있다. 구동 모터(61)의 구동축(63)을 포함하는 일부가 1축 토크 센서(10)의 내부 공간(13)으로 삽입되어, 구동 모터(61)의 구동축(63)은 1축 토크 센서(10)의 구동축 체결구멍(21)에 삽입되어 제1 관절 체결부(20)에 체결된다. 그리고 제2 관절(70)은 1축 토크 센서(10)의 제2 관절 체결부(40)의 외주면에 결합된다.
이때 1축 토크 센서(10)에 작용하는 힘에 따른 변형력을 아래와 같은 모의 실험 조건에서 제1 내지 제4 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)를 통하여 측정하였다. 제1 내지 제4 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)를 이용한 보상회로, 예컨대 풀브리지 회로를 이용하여 X축, Y축 및 Z축의 토크(Mx,My,Mz)를 산출한다.
전술된 바와 같이 1축 토크 센서(10)는 제1 관절(60) 및 제2 관절(70)을 연결한다. 제1 관절(60)에 대해서 제2 관절(70)이 구동 모터(61)의 구동축(63) 방향인 X축 방향으로 회전 중, 외부 물체의 부딪혀 움직이지 못하는 상태라고 가정한다. 이때 1축 토크 센서(10)의 제2 관절 체결부(40)는 제2 관절(70)에 체결되어 외부 물체에 의해 움직이지 않는다고 가정하여 고정 조건을 부여한다. 1축 토크 센서(10)의 제1 관절 체결부(20)는 제1 관절(60)에 설치된 구동 모터(61)의 구동축(63)에 연결되어 모멘트 하중 조건이 부여한다. 그리고 1축 토크 센서(10)의 재질 물성치는 표1과 같다.
재질 7049 alloy
탄성계수(N/mm2) 71800
프와송비 0.336
질량밀도(kg/mm2) 2.86e-6
극한응력 인장(N/mm2) 482.5
압축(N/mm2) 403.5
전술된 바와 같은 조건으로 모의 실험을 실행하면, 게이지 설치부(30)의 빔부(31)가 변형되고, 빔부(31)의 변형량을 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)가 감지하고, 감지한 변형량에 따른 토크를 측정한다.
이러한 전술된 바와 같은 조건으로 모의 실험한 결과는 도 6과 같다. 여기서 도 6은 본 실시예에 따른 1축 토크 센서(10)에 6축 방향으로 발생하는 힘에 따른 4개의 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)에서 측정된 토크 값이다. 이때, "effective strain-elastic 부터 (S1-S2+S3-S4)까지"의 필드값은 소숫점 아래 둘째 자리로 표시하였다.
도 6을 참조하면, X축에 대한 모멘트 하중 즉 X축 방향의 토크(Mx)에 대해서 스트레인 게이지(S1,S2,S3,S4)의 증폭효과를 확인할 수 있다. X축 방향에 대한 집중 하중(Fx)의 경우에도 변형률이 작게 측정되기 때문에, 구동 모터(61)를 포함한 로봇 관절(100)의 제어를 효율적으로 수행할 수 있다. 그리고 X축 방향을 제외한 Y축 및 Z축에 대한 모멘트 하중(My,Mz) 및 집중 하중(Fy,Fz)은 서로 상쇄되어 상호간섭오차가 거의 발생하지 않는 것을 확인할 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
10 : 토크 센서
20 : 제1 관절 체결부
21 : 구동축 체결구멍
30 : 게이지 설치부
31 : 빔부
33 : 제1 빔
35 : 제2 빔
37 : 연결대
40 : 제2 관절 체결부
s1,s2,s3,s4 : 스트레인 게이지
60 : 제1 관절
61 : 구동 모터
63 : 구동축
70 : 제2 관절
100 : 로봇 관절

Claims (8)

  1. 제1 관절의 구동축이 결합되는 구동축 체결구멍이 중심에 형성된 원판 형태의 제1 관절 체결부;
    상기 제1 관절 체결부의 가장자리 둘레에서 축 방향으로 일정 높이로 형성되어 상기 제1 관절의 구동축 부분을 둘러싸며, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔을 갖는 빔부가 복수 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 상기 빔부의 경사진 한 쌍의 빔에 각각 스트레인 게이지가 설치되는 게이지 설치부;
    상기 게이지 설치부에서 연장되어 형성되며, 외측면에 제2 관절이 체결되는 제2 관절 체결부;
    를 포함하고,
    상기 게이지 설치부는
    상기 복수의 빔부 사이를 연결하고, 상기 제1 관절 체결부와 상기 제2 관철 체결부를 연결하는 연결대를 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 게이지 설치부는
    상기 복수의 빔부가 짝수 개이며, 축 방향에 대해서 방사형으로 배치되어 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서, 상기 빔부는
    서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 "V"자형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 스트레인 게이지는 상기 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 상기 한 쌍의 경사진 빔의 안쪽에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
  6. 제4항에 있어서, 상기 빔부는
    서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 좌우 대칭되게 형성되며, 상기 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 만나는 부분은 제1 및 제2 관절 체결부 중에 하나에 연결되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
  7. 구동축이 결합되는 면과 마주보는 쪽이 개방된 관형으로, 외주면에 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔이 연속적으로 형성되고, 축 방향에 대해서 서로 마주보는 쪽에 각각 위치하는 상기 경사진 한 쌍의 빔에 각각 스트레인 게이지가 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 서로 반대로 경사진 한 쌍의 빔은 "V"자형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 관절용 1축 토크 센서.
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