KR101273017B1

KR101273017B1 - 진공 펌프

Info

Publication number: KR101273017B1
Application number: KR1020120008005A
Authority: KR
Inventors: 카즈야 미야타; 유사쿠 타나베; 슈스케 우에하라; 시즈오 나카무라
Original assignee: 울박 키코 인코포레이션
Priority date: 2011-02-03
Filing date: 2012-01-26
Publication date: 2013-06-10
Anticipated expiration: 2032-01-26
Also published as: TW201233904A; JP5763358B2; TWI467094B; JP2012162989A; CN102628441B; CN102628441A; KR20120089571A

Abstract

기어 기구가 안정된 윤활을 확보할 수 있는 진공 펌프를 제공한다.
상기 진공 펌프(1)는, 펌프부(2)와, 구동부(3)와, 회전 전달부(4)와, 규제 부재(60)를 구비한다. 펌프부(2)는, 로터(21, 22)와 로터(21, 22)를 수용하는 펌프실(23)을 가진다. 구동부(3)는, 로터(21)를 회전시키는 구동 기구와, 상기 구동 기구를 수용하는 모터실(33)과, 펌프실(23)과 모터실(33)를 연통시키는 제1 탈기통로(P1)를 가진다. 회전 전달부(4)는, 로터(21)와 로터(22)를 동기 회전시키는 동기 기어(41, 42)와 동기 기어(41, 42)를 수용하여 윤활유 G를 저장 가능한 기어실(43)과, 모터실(33)과 기어실(43)을 연통시키는 제2 탈기통로(P2)를 가진다. 규제 부재(60)는, 제2 탈기통로(P2)에 설치되고, 기어실(43)로부터 모터실(33)로의 윤활유 G의 흐름을 규제하는 규제부(61)를 가진다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}

본 발명은, 메커니컬 부스터 펌프(mechanical booster pump) 혹은 루츠(roots)형 진공 펌프라 칭해지는 진공 펌프에 관한 것이다.

메커니컬 부스터 펌프는, 케이싱(casing) 내에 배치된 두개의 마유(マユ)형 로터(rotor)를 서로 반대 방향으로 동기 회전 시킴으로써 흡기구로부터 배기구로 기체를 이송하는, 용적 이송형의 진공 펌프이다. 메커니컬 부스터 펌프는, 양 로터간 및 각 로터와 케이싱과의 사이에서의 접촉이 없기 때문에, 기계적 손실이 매우 적고, 예를 들면 기름 회전 진공 펌프와 같은 마찰 작용이 큰 진공 펌프에 비해, 구동에 요구되는 에너지를 줄일 수 있다고 하는 이점을 가진다.

메커니컬 부스터 펌프는, 양 로터를 수용하는 펌프실 내에서 윤활유를 필요로 하지 않기 때문에 기름에 의한 진공의 오염이 적다. 한편, 펌프의 운전상, 양 로터의 회전 위상이나 각 로터의 축의 중심을 항상 정확하게 유지할 필요가 있기 때문에, 각 로터를 동기 회전시키기 위한 기어, 각 로터의 회전축을 지지하는 베어링 등에 대해 윤활이 필요하다. 이 때문에, 상기 기어를 수용하는 기어실에 윤활유를 담아 두고, 운전시에 각부의 윤활을 실시하도록 하고 있다(예를 들면 하기 특허 문헌 1 참조).

또, 메커니컬 부스터 펌프에서는, 펌프실에 인접하고, 상기 기어를 수용하는 기어실과, 일방의 로터를 회전시키는 구동축을 수용하는 구동실이 배치된다. 펌프실 내의 씰성을 높이기 위해, 기어실 및 구동실은 펌프실과 각각 연통하고 있고, 이것에 의해 펌프의 작동 중, 각 실내의 압력은 균일화된다.

예를 들면 하기 특허 문헌 2에는, 한 쌍의 로터를 수용하는 펌프실과, 각 로터를 동기 회전시키는 톱니바퀴를 수용하는 제1 윤활실과, 로터축을 회전 자유롭게 지지하는 제2 윤활실을 구비한 회전형 진공 펌프의 윤활실 배기 장치가 기재되어 있다. 이 진공 펌프는, 제1 윤활실과 제2 윤활실과의 사이에 설치된 탈기용의 제1 통로와, 제2 윤활실과 펌프실과의 사이에 설치된 탈기용의 제2 통로를 가진다. 이것에 의해 제1 윤활실 내의 기름이 직접 펌프실로 유출하지 않게 하여, 펌프실의 기름에 의한 오염을 방지하도록 하고 있다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 평 6-185483호 공보 특허 문헌 2 : 일본특허공개 평 5-187375호 공보

하지만 상기 특허 문헌 2에 기재된 진공 펌프에서는, 특히 펌프의 기동시에서 탈기통로에 도달한 윤활유가 해당 탈기통로로부터 제1 윤활실 측으로 돌아올 수 없어, 제1 윤활실 내의 윤활유가 부족한 경향이 된다고 하는 문제가 있었다. 그 결과, 기어 기구가 안정된 윤활을 확보할 수 없다라고 하는 우려가 있었다.

이상과 같은 사정을 고려하여, 본 발명의 목적은, 기어 기구가 안정된 윤활을 확보할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태와 관련되는 진공 펌프는, 펌프부와, 구동부와, 회전 전달부와, 규제 부재를 구비한다.

상기 펌프부는, 제1 방향으로 회전 가능한 제1 로터와, 상기 제1 로터에 근접 배치되어 상기 제1 방향과는 반대측의 제2 방향으로 회전 가능한 제2 로터와, 상기 제1 로터와 상기 제2 로터를 수용하는 제1 실을 가진다.

상기 구동부는, 상기 제1 로터를 회전시키는 구동 기구와, 상기 구동 기구를 수용하는 제2 실과, 상기 제1 실과 상기 제2 실을 연통시키는 제1 탈기통로를 가진다.

상기 회전 전달부는, 상기 제1 로터와 상기 제2 로터를 동기 회전시키는 기어 기구와, 상기 기어 기구를 수용하여 상기 기어 기구를 윤활하는 윤활유를 저장 가능한 제3 실과, 상기 제3 실을 상기 제2 실 또는 상기 제1 실에 연통시키는 제2 탈기통로를 가진다.

상기 규제 부재는, 상기 제2 탈기통로에 설치되고, 상기 제3 실로부터 상기 제2 실로의 상기 윤활유의 흐름을 규제하는 규제부를 가진다.

도 1은 본 발명의 일실시 형태와 관련되는 진공 펌프의 개략 단면도이다.
도 2는 상기 진공 펌프의 펌프부의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 3은 상기 진공 펌프의 탈기통로의 구성을 설명하는 주요부 단면도이다.

본 발명의 일실시 형태와 관련되는 진공 펌프는, 펌프부와, 구동부와, 회전 전달부와, 규제 부재를 구비한다.

상기 회전 전달부는, 상기 제1 로터와 상기 제2 로터를 동기 회전시키는 기어 기구와, 상기 기어 기구를 수용하고 상기 기어 기구를 윤활하는 윤활유를 저장 가능한 제3 실과, 상기 제3 실을 상기 제2 실 또는 상기 제1 실에 연통시키는 제2 탈기통로를 가진다.

상기 진공 펌프에서, 제1 로터는, 구동 기구에 의해 구동력을 받아 제1 방향으로 회전한다. 제1 로터의 회전이 기어 기구를 통해 제2 로터에 전달되는 것으로, 제2 로터는 제2 방향으로 회전한다. 이것에 의해 제1 실은 배기되고, 구동 기구를 수용하는 제2 실 및 기어 기구를 수용하는 제3 실도 또한, 제1 탈기통로 및 제2 탈기통로를 통해 각각 배기된다.

상기 진공 펌프에서는, 제2 탈기통로에, 제3 실로부터 제2 실로의 윤활유의 흐름을 규제하는 규제부를 가지는 규제 부재를 구비한다. 이 때문에, 제3 실 내의 윤활유의 양의 감소를 억제하고, 기어 기구가 안정된 윤활을 확보하는 것이 가능해진다.

상기 회전 전달부는, 상기 제3 실을 구획하는 케이싱을 더 가져도 무방하다. 이 경우, 상기 제2 탈기통로는, 상기 케이싱의 내부에 형성된 통로부를 포함하고, 상기 규제 부재는, 상기 규제부에서 상기 통로부의 유로의 일부를 차단하도록 상기 케이싱에 장착된다.

이것에 의해, 제2 탈기통로에 침입한 윤활유가 제3 실로 복귀되기 때문에, 제3 실 내의 윤활유의 양을 안정적으로 유지할 수 있다.

상기 통로부는, 제1 유로와 제2 유로를 가져도 무방하다. 상기 제1 유로는, 중력 방향으로 평행한 축방향을 가지고, 상기 제3 실에 접한다. 상기 제2 유로는, 상기 제1 축방향과 교차하는 제2 축방향을 가진다. 이 경우, 상기 규제 부재는, 상기 제2 유로에 장착된 케이스로 형성되고, 해당 케이스는, 상기 규제부로서 상기 제1 유로 내에 위치하는 제1 단부를 가진다.

이것에 의해, 제2 유로로 윤활유가 들어가기 어려워지기 때문에, 제2 실측으로의 윤활유의 유출이 효과적으로 저해된다. 또, 규제부에 충돌한 윤활유를 중력 작용에 의해 효율적으로 제3 실로 복귀시킬 수 있다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태와 관련되는 진공 펌프를 나타내는 개략 단면도이다. 도 2는, 펌프부의 내부 구성을 나타내는 단면도이다. 각 도에서 X축 방향 및 Y축 방향은 서로 직교 하는 수평 방향을 각각 나타내고 있고, Z축 방향은 이들에 직교하는 연직 방향(중력 방향)을 나타내고 있다.

본 실시 형태의 진공 펌프(1)는, 일단의 메커니컬 부스터 펌프로 구성되어 있다. 진공 펌프(1)은, 펌프부(2)와 구동부(3)과 회전 전달부(4)를 가진다.

펌프부(2)는, 펌프실(23)을 형성하는 제1 케이싱(20)을 가진다. 제1 케이싱(20)은, 도시하지 않는 진공 챔버에 연락하는 흡기구(201)와, 후단의 펌프 장치(예를 들면 로터리 펌프)에 연락하는 배기구(202)를 가진다. 흡기구(201) 및 배기구(202)는 각각 펌프실(23)과 연통하고 있다. 펌프실(23)은, 제1 케이싱(20)과 제1 케이싱(20)의 양측으로 기밀하게 장착된 격벽(24, 25)에 의해 확정된다.

펌프부(2)는, 한 쌍의 로터(21, 22)를 가진다. 로터(21, 22)는, Y축 방향으로 평행하게 늘어나는 회전축(210, 220)을 각각 가진다. 로터(21, 22)는 마유(커쿤)형의 단면을 가지고, 도 2에 도시한 바와 같이 서로 근접 배치되어 펌프실(23)에 수용되고 있다. 이들 로터(21, 22)의 사이, 로터(21, 22)와 제1 케이싱(20)과의 사이, 및 로터(21, 22)와 격벽(24, 25)과의 사이에는, 각각 약간의 틈새(예를 들면 0.02~0.04 mm 정도)가 유지되고 있다.

회전축(210, 220)은 격벽(24, 25)을 각각 관통하고 있어, 회전축(210, 220)의 일방의 단부는, 구동부(3) 내의 모터실(33)에 위치하고 있다. 그리고, 회전축(210, 220)의 타방의 단부는, 회전 전달부(4) 내의 기어실(43)에 위치하고 있다.

구동부(3)는, 격벽(24)에 기밀하게 장착된 제2 케이싱(30)을 가지고, 모터실(33)은 제2 케이싱(30)의 내부에 형성된다. 격벽(24)의 모터실(33) 측에는 회전축(210, 220)을 회전 자유롭게 지지하는 베어링(31) 및 축씰(32)이 각각 설치되어 있다.

모터실(33)은, 제1 탈기통로(P1)를 통해 펌프실(23)과 연통하고 있다. 이것에 의해 모터실(33)은, 제1 탈기통로(P1)를 통해 탈기 가능하게 되고, 진공 펌프(1)의 작동시, 펌프실(23)의 압력과 균일화된다. 본 실시 형태에서 제1 탈기통로(P1)는, 격벽(24)을 Y축 방향으로 관통하는 통로에 형성되고 있다.

구동부(3)는, 로터(21)의 회전축(210)을 회전시키는 모터(35)를 가진다. 모터(35)는, 제2 케이싱(30)에 고정되고 있는 것과 동시에, 마그넷 커플링 기구(50)를 통해 회전축(210)과 연결되는 구동축(350)을 가진다. 마그넷 커플링 기구(50)는, 회전축(210)의 주위에 고정된 환상의 내주측 자석(51)과 구동축(350)의 주위에 고정된 환상의 외주측 자석(52)을 가지고, 이들 자석(51, 52) 사이의 자기 결합에 의해, 회전축(210)과 구동축(350)을 서로 연결한다.

내주측 자석(51)은, 회전축(210)의 선단에 고정된 지지 부재(53)의 외주부에 배치되고, 외주측 자석(52)은, 구동축(350)에 고정된 지지 부재(54)의 내주부에 배치되고 있다. 내주측 자석(51)과 외주측 자석(52)은, 칸막이 부재(55)를 통해 서로 대향하고 있다. 칸막이 부재(55)의 주연부는, 제2 케이싱(30)의 내주면에 형성된 환상 볼록부(30a)에 기밀하게 고정되고 있다. 내주측 자석(51)이 배치되는 모터실(33)과, 외주측 자석(52)이 배치되는 대기실(34)이, 칸막이 부재(55)에 의해 격리된다.

회전 전달부(4)는, 격벽(25)에 기밀하게 장착된 제3 케이싱(40)을 가지고, 기어실(43)은 제3 케이싱(40)의 내부에 형성된다. 격벽(25)의 기어실(43) 측에는 회전축(210, 220)을 회전 자유롭게 지지하는 베어링(45) 및 축씰(46)이 각각 설치되어 있다.

제3 케이싱(40)은, 로터(21, 22)를 서로 역방향으로 동기 회전시키는 기어 기구를 수용하는 기어실(43)을 형성한다. 상기 기어 기구는, 회전축(210)의 단부에 고정된 동기 기어(41)와 회전축(220)의 단부에 고정된 동기 기어(42)를 가진다. 이것에 의해, 모터(35)의 구동에 의해 일방의 회전축(210)이 그 축주위로 회전하면, 동기 기어(41, 42)를 통해 타방의 회전축(220)에 회전력이 전달된다. 이 때 회전축(220)은, 회전축(210)과는 역의 방향으로 회전된다.

기어실(43)에는, 기어 기구를 윤활하기 위한 윤활유 G가 저장된다. 동기 기어(41, 42)의 선단에는, 윤활유 G를 끌어올리는 플레이트(47)가 고정되어 있고, 동기 기어(41, 42)와 함께 회전하는 것으로 윤활유 G를 동기 기어(41, 42), 베어링(45) 등에 공급한다. 이것에 의해 로터(21, 22)를 그 상대 위치를 유지하면서 적정하게 회전시킬 수 있다. 제3 케이싱(40)에는, 기어실(43)에서의 윤활유 G의 저장량을 확인하기 위한 윈도우(44)가 설치되고 있다. 그리고 기어실(43)에는, 동기 기어(41, 42)의 회전에 의한 윤활유 G의 비산을 억제하기 위해서, 쉴드(48)가 설치되고 있다. 쉴드(48)는, 동기 기어(41, 42)의 상부를 가리도록 격벽(25)에 장착된 대략 평판 형상을 가진다.

기어실(43)은, 제2 탈기통로(P2)를 통해 모터실(33)과 연통하고 있다. 이것에 의해 기어실(43)은, 제2 탈기통로(P2)를 통해 탈기 가능하게 되고, 진공 펌프(1)의 작동시, 모터실(33) 및 펌프실(23)의 압력과 균일화된다.

본 실시 형태에서 제2 탈기통로(P2)는, 제3 케이싱(40), 격벽(25), 제1 케이싱(20) 및 격벽(24)을 통해 기어실(43)을 모터실(33)로 연통시킨다. 제2 탈기통로(P2)는 주로, 제1 케이싱(20), 격벽(24, 25)를 Y축 방향으로 관통하는 주통로부(P21)와, 제3 케이싱(40)에 형성된 연락 통로부(P22)에 의해 형성된다. 또한 제2 케이싱(30)에도 동일한 연락 통로부를 형성 함으로써, 주통로부(P21)와 모터실(33)를 서로 접속하여도 무방하다.

도 3은, 연락 통로부(P22)의 상세를 나타내는 주요부의 확대도이다. 연락 통로부(P22)는, 제1 유로(P221)와 제2 유로(P222)를 가진다. 제1 유로(P221)는, Z축 방향으로 축방향을 가지고, 그 일단부가 기어실(43)에 접하고 있다. 제2 유로(P222)는, Y축 방향으로 축방향을 가지고, 제1 유로(P221)와 주통로부(P21)와의 사이를 연락한다.

본 실시 형태의 진공 펌프(1)는, 규제 부재(60)를 가진다. 본 실시 형태에서 규제 부재(60)는, 원통 형상을 가지고 있고, 그 일단부는 제2 유로(P222)에 감합하며, 타단부는, 제1 유로(P221)의 일부를 차단하도록 제1 유로(P221) 내에 위치하고 있다. 이 규제 부재(60)의 타단부는, 기어실(43)로부터 모터실(33)로의 윤활유 G의 흐름을 규제하는 규제부(61)로서 기능한다.

규제 부재(60)의 재질은 특별히 한정되지 않고, 수지 재료라도 무방하며, 금속재료라도 무방하다. 본 실시 형태에서는, 스테인리스강이나 알루미늄 합금 등으로 규제 부재(60)가 형성된다.

다음으로, 이상과 같이 구성되는 진공 펌프(1)의 동작에 대해 설명한다.

도 1을 참조하여, 모터(35)의 작동에 의해, 마그넷 커플링 기구(50)를 통해 구동축(350)과 함께 회전축(210)이 회전 함으로써, 펌프실(23) 내에서 로터(21)가 회전한다. 또 회전축(210)의 회전력은, 회전 전달부(4)에서 로터(22)의 회전축(220)에 전달되고, 이것에 의해 로터(22)는, 로터(21)와 동기하고, 로터(21)와는 역방향으로 회전한다. 이들 로터(21, 22)의 회전에 의해, 펌프부(2)는, 흡기구(201)로부터 흡입된 가스를 배기구(202)로 향하여 배출하는 소정의 펌프 작용을 실시한다.

모터실(33) 및 기어실(43)은, 펌프실(23)의 압력의 저하에 동반하여, 제1 및 제2 탈기통로(P1, P2)를 통해 감압된다. 이에 의해 펌프실(23)과, 펌프실(23)에 인접하는 모터실(33) 및 기어실(43)과의 사이의 차압이 작아지기 때문에, 펌프실(23)의 리크(leak)에 의한 펌프 성능의 저하가 방지된다.

로터(21, 22)의 회전시, 동기 기어(41, 42)는, 기어실(43) 내에 저장된 윤활유 G에 의해 윤활된다. 상술한 바와 같이 기어실(43)은, 펌프실(23)과 함께 배기된다. 이 때 윤활유 G도 탈기 되고, 그 탈가스가 제2 탈기통로(P2)를 통해 모터실(33) 측으로 배기된다. 이 때 윤활유 G는, 탈기에 의해 격렬하게 거품이 일고, 게다가 플레이트(47)의 회전에 의한 교반작용도 동반하고, 윤활유의 비말(droplet)이 기어실(43)의 내부에서 비산한다. 쉴드(48)는, 윤활유 G의 비산을 억제하지만, 예를 들면 펌프 기동시와 같이 윤활유의 거품일기가 격렬한 경우는, 쉴드(48)를 따라 넘어 탈기통로(P2)에 도달하는 경우가 있다. 기어실(43)에 비산한 윤활유가 탈기통로(P2)에 도달하면, 기어실(43)의 잔류 가스와 함께 모터실(33) 측으로 유출한다. 이 상태를 방치하면, 윤활유 G의 저유량이 감소하고, 동기 기어(41, 42)나 베어링(45)의 윤활 작용을 안정하게 유지할 수 없는 우려가 생긴다.

때문에 본 실시 형태에서는, 탈기통로(P2)에 규제 부재(60)이 설치되고 있다. 규제 부재(60)의 규제부(61)는, 도 3에 도시한 바와 같이 제1 유로(P221)의 일부를 차단하도록 제2 유로(P222)에 장착되고 있다. 이것에 의해, 제1 유로(P221)에 침입한 윤활유 G의 비말을 규제부(61)에서 받아, 제2 유로(P222)로의 윤활유 G의 침입을 규제한다. 이것에 의해, 기어실(43)로부터 모터실(33)로의 윤활유 G의 유출을 저지하고, 동기 기어(41, 42)나 베어링(45) 등의 안정된 윤활 작용을 확보하는 것이 가능해진다.

또 규제 부재(60)는 케이스로 구성되어 있기 때문에, 규제 부재(60)의 내부를 통해 기어실(43) 내의 잔류 가스를 효율적으로 제2 유로(P222)로 유도될 수 있다.

더욱이 본 실시 형태에 의하면, 탈기통로(P2)의 연락 통로부(P22)가 제1 유로(P221)와 제2 유로(P222)로 구성되어 있기 때문에, 규제부(61)에서 받아 들인 윤활유 G를 중력 작용에 의해 효율적으로 기어실(43)로 되돌릴 수 있다. 이것에 의해, 연락 통로부(P22) 내의 윤활유 G의 정체를 방지할 수 있다.

제2 유로(P222)로부터 제1 유로(P221)로 돌출하는 규제부(61)의 돌출량은 특별히 한정되지 않고, 기어실(43)의 용적, 탈기통로(P2)의 단면적, 윤활유 G의 저장량 등에 따라 적당히 설정할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상에 근거하여 다양한 변경이 가능하다.

예를 들면 이상의 실시 형태에서는, 연락 통로부(P22)의 제2 유로(P222)를 제1 유로(P221)에 대해서 직교하는 방향으로 형성했지만, 이것에 한정되지 않고, 제2 유로(P222)는, 제1 유로(P221)로부터 주통로부(P21)를 향해 상향 경사로 형성되고 있어도 무방하다.

또 이상의 실시 형태에서는 규제부(61)가 케이스의 단부로 형성되었지만, 이것에 한정되지 않고, 평면적인 판부이라도 무방하다. 또, 해당 판부에 탈기용의 홀이 단수 또는 복수 형성된 형태이라도 무방하다. 이 경우, 해당 판부는, 제1 유로의 전역에 배치되어도 무방하다.

더욱이 이상의 실시 형태에서는, 제1 탈기통로(P1)를 격벽(24)으로 형성했지만, 해당 탈기통로(P1)는, 펌프실(23)과 모터실(33)을 연락하는 별도의 배관 부재로 구성되어도 무방하다. 또, 제1 탈기통로(P1)는, 모터실(33)을 펌프실(23)에 직접 연통시키는 경우에 한정되지 않고, 펌프실(23)의 흡기측 혹은 배기측에 연통시켜도 무방하다.

제2 탈기통로(P2)도 동일하게, 기어실(43)과 모터실(33)을 연락하는 별도의 배관 부재로 구성되어도 무방하다. 게다가 제2 탈기통로(P2)는, 모터실(33)을 경유하지 않고 기어실(43)을 직접 펌프실(23)에 연통시키도록 구성되어도 무방하다. 규제 부재(60)의 설치에 의해, 펌프실(23)로의 윤활유의 침입을 억제하고, 펌프실(23)을 깨끗한 상태로 유지할 수 있다.

게다가, 이상의 실시 형태에서는, 일단식의 메커니컬 부스터 펌프에 본 발명을 적용한 예를 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 다단형의 루츠 펌프 등의 다른 진공 펌프에도 본 발명은 적용 가능하다.

1 진공 펌프
2 펌프부
3 구동부
4 회전 전달부
20, 30, 40 케이싱
21, 22 로터
23 펌프실
33 모터실
41, 42 동기 기어
43 기어실
60 규제 부재
61 규제부
G 윤활유
P1 제1 탈기통로
P2 제2 탈기통로
P22 연락 통로부
P221 제1 유로
P222 제2 유로

Claims

제1 방향으로 회전 가능한 제1 로터와, 상기 제1 로터에 근접 배치되고 상기 제1 방향과는 반대측의 제2 방향으로 회전 가능한 제2 로터와, 상기 제1 로터와 상기 제2 로터를 수용하는 제1 실을 가지는 펌프부와,
상기 제1 로터를 회전시키는 구동 기구와, 상기 구동 기구를 수용하는 제2 실과, 상기 제1 실과 상기 제2 실을 연통시키는 제1 탈기통로를 가지는 구동부와,
상기 제1 로터와 상기 제2 로터를 동기 회전시키는 기어 기구와, 상기 기어 기구를 수용하여 상기 기어 기구를 윤활하는 윤활유를 저장 가능한 제3 실과, 상기 제3 실을 상기 제2 실 또는 상기 제1 실에 연통시키는 제2 탈기통로를 가지는 회전 전달부와,
상기 제2 탈기통로에 설치되고, 상기 제3 실로부터 상기 제2 실로의 상기 윤활유의 흐름을 규제하는 규제부를 가지는 규제 부재
를 구비하는 진공 펌프.
제1항에 있어서,
상기 회전 전달부는, 상기 제3 실을 구획하는 케이싱을 더 가지고,
상기 제2 탈기통로는, 상기 케이싱의 내부에 형성된 통로부를 포함하고,
상기 규제 부재는, 상기 규제부에서 상기 통로부의 유로의 일부를 차단하도록 상기 케이싱에 장착되는
진공 펌프.
제2항에 있어서,
상기 통로부는, 중력 방향으로 평행한 제1 축방향을 가지고 상기 제3 실에 접하는 제1 유로와, 상기 제1 축방향과 교차하는 제2 축방향을 가지는 제2 유로를 가지고,
상기 규제 부재는, 상기 규제부로서 상기 제1 유로 내에 위치하는 제1 단부를 가지는, 상기 제2 유로에 장착된 케이스인
진공 펌프.