KR101234019B1

KR101234019B1 - Laminator for manufacturing oled

Info

Publication number: KR101234019B1
Application number: KR1020110103585A
Authority: KR
Inventors: 이완희; 조청래; 이장훈
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2011-10-11
Filing date: 2011-10-11
Publication date: 2013-02-18
Anticipated expiration: 2031-10-11

Abstract

유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터는, 내부 공간을 형성하는 진공 챔버; 진공 챔버에 마련되되, 기판과 기판의 저면에 배치한 하부 필름을 구비한 기판 모듈이 안착되는 스테이지 유닛; 진공 챔버에 마련되되, 진공 챔버의 내부로 반입된 도너 필름을 기판 모듈의 상면에 배치하는 이송유닛; 및 진공 챔버에 마련되되, 기판을 밀봉하도록 도너 필름의 테두리부를 가열 및 가압하여 도너 필름을 하부 필름에 접합하는 히팅 압착유닛을 포함한다.A laminator for manufacturing an organic light emitting display device is disclosed. According to an embodiment of the present invention, a laminator for manufacturing an organic light emitting display device may include a vacuum chamber forming an internal space; A stage unit provided in the vacuum chamber, the substrate unit having a substrate and a lower film disposed on a bottom surface of the substrate; A transfer unit provided in the vacuum chamber and disposing a donor film carried into the vacuum chamber on an upper surface of the substrate module; And a heating compression unit provided in the vacuum chamber to heat and press the edge of the donor film to seal the substrate to bond the donor film to the lower film.

Description

Laminator for manufacturing organic light emitting display device {LAMINATOR FOR MANUFACTURING OLED}

본 발명은, 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 도너 필름과 기판 사이에 파티클이 유입되는 것을 방지하는 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터에 관한 것이다.The present invention relates to a laminator for manufacturing an organic light emitting display device, and more particularly, to a laminator for manufacturing an organic light emitting display device which prevents particles from flowing between a donor film and a substrate.

유기전계 발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비전력이 낮고, 자체 발광이므로 넓은 시야각을 제공하여 영상 표시 매체로서 장점이 있다.An organic light emitting display (OLED) has a high response time with a response speed of 1 ms or less, low power consumption, and self-luminous, thus providing a wide viewing angle, which is an advantage as an image display medium.

또한, 유기전계 발광표시장치는 저온 제작이 가능하고 기존의 반도체 공정 기술과 유사한 방식으로 제조되며 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다.In addition, the organic light emitting display device is attracting attention as a next-generation flat panel display device because it can be manufactured at a low temperature, manufactured in a similar manner to the existing semiconductor process technology, and the manufacturing process is simple.

유기전계 발광표시장치는 제조 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형과 증착공정을 사용하는 저분자형으로 크게 나눌 수 있다.Organic light emitting display devices can be broadly classified into a polymer type using a wet process and a low molecular type using a deposition process according to a manufacturing process.

고분자형 유기전계 발광표시장치는 화소 전극을 포함한 기판 상에 잉크젯 프린팅 방법이나 스핀 코팅 방법을 사용하여 발광층을 포함한 유기층을 적층하여 제작하는 반면, 저분자형 유기전계 발광표시장치는 화소전극을 포함한 기판 상에 증착 공정에 의해 발광층을 포함한 유기층을 적층하여 제작한다.The polymer type organic light emitting display device is fabricated by laminating an organic layer including a light emitting layer by using an inkjet printing method or a spin coating method on a substrate including a pixel electrode, whereas the low molecular type organic light emitting display device is formed on a substrate including a pixel electrode. The organic layer including a light emitting layer is laminated | stacked and manufactured by the vapor deposition process in the above.

유기전계 발광표시장치는 차세대 발광표시장치로서, 발광층을 포함한 유기층을 형성하는 방법은 여러 가지가 있으나 그 중 열전사를 이용한 방법인 레이저 유도화 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging Method, LITI)을 설명하면 다음과 같다.The organic light emitting display device is a next generation light emitting display device, and there are various methods of forming an organic layer including a light emitting layer, but the laser induced thermal imaging method (LITI), which is a method using thermal transfer, is described next. Is the same as

레이저 유도화 열전사법(LITI)은 레이저인 광원을 도너 필름의 광-열 변환층에 투과시켜 도너 필름의 전사층이 기판 상에 전사되어 패턴이 형성되는 방법을 말한다.Laser induced thermal transfer (LITI) refers to a method in which a light source, which is a laser, is transmitted through a light-to-heat conversion layer of a donor film so that a transfer layer of the donor film is transferred onto a substrate to form a pattern.

도너 필름은 일반적으로 베이스 필름 상에 다수 개의 층이 형성된 구조로써, 베이스 필름과, 베이스 필름 상에 위치한 광-열 변환층, 광-열 변환층 상에 위치한 전사층으로 이루어진다.The donor film generally has a structure in which a plurality of layers are formed on the base film, and includes a base film, a light-to-heat conversion layer positioned on the base film, and a transfer layer located on the light-to-heat conversion layer.

광-열 변환층은 레이저 조사장치에서 조사된 레이저를 열에너지로 변환시키는 역할을 수행하고, 열에너지는 전사층과 광-열 변환층 사이의 접착력을 변화시킴으로써 전사층을 기판 상으로 전사하는 역할을 한다.The light-to-heat conversion layer serves to convert the laser irradiated from the laser irradiation device into thermal energy, and the heat energy transfers the transfer layer onto the substrate by changing the adhesion between the transfer layer and the light-to-heat conversion layer. .

전사 공정은 일반적으로 진공 챔버 내에서 이뤄지며, 진공 챔버 내부에는 스테이지가 마련되고, 스테이지 상에는 기판과 기판의 상부에 도너 필름이 위치한다.The transfer process is generally performed in a vacuum chamber, where a stage is provided inside the vacuum chamber, and a donor film is positioned on the substrate and on the substrate.

전사 공정은 기판의 패터닝하고자 하는 영역에 레이저를 조사하여 수행한다.The transfer process is performed by irradiating a laser to a region to be patterned on the substrate.

레이저가 조사된 영역은, 도너 필름 상의 광-열 변환층과 전사층 사이의 접착력이 저하되게 되고, 레이저가 조사된 영역의 전사층은 박리되어 대상 기판 상에 전사층이 패터닝된다.In the region irradiated with the laser, the adhesive force between the light-to-heat conversion layer and the transfer layer on the donor film is lowered, and the transfer layer in the region irradiated with the laser is peeled off to pattern the transfer layer on the target substrate.

패터닝 과정을 거친 후, 기판을 도너 필름으로부터 제거하고, 도너 필름을 제거한 기판을 다른 스테이지로 이동시킨다. 그리고, 패터닝된 유기막 상에 대향 전극을 형성하는 등의 후처리 공정을 수행하면 유기전계 발광장치가 완성되게 된다.After the patterning process, the substrate is removed from the donor film and the substrate from which the donor film has been removed is moved to another stage. The organic electroluminescent device is completed by performing a post-treatment process such as forming a counter electrode on the patterned organic film.

이와 같은 레이저 유도화 열전사법은, 대상 기판의 상부에 전사층이 형성된 도너 필름을 배치하고, 롤이나 프레스 등을 사용하여 대상 기판 상에 도너 필름을 압착하는 라미네이팅(laminating)공정 후에 도너 필름에 레이저 광원을 조사함으로써 전사가 이루어진다.In this laser induced thermal transfer method, a donor film having a transfer layer formed on an upper surface of a target substrate is disposed, and a laser light source is applied to the donor film after a laminating process of pressing the donor film onto the target substrate using a roll or a press. By irradiating the transcription is made.

그러나, 종래와 같이 대상 기판 상에 도너 필름을 라미네이팅하는 경우에, 파티클이 대상 기판과 도너 필름 사이에 개입되어 라미네이팅이 제대로 되지 않고, 유기층이 대상 기판 상에 전사되지 않아 유기전계 발광표시장치의 발광영역의 스팟이나 화소 불량 등의 결함이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, in the case of laminating a donor film on a target substrate as in the related art, particles are interposed between the target substrate and the donor film and lamination is not properly performed, and the organic layer is not transferred onto the target substrate, thereby emitting light of the organic light emitting display device. There is a problem that defects such as spots or defective pixels in an area may occur.

[문헌1] KR 10-2005-0119896 A ((주)삼성에스디아이) 2005.12.22.Document 1 KR 10-2005-0119896 A (Samsung SDI Co., Ltd.) 2005.12.22.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 도너 필름과 기판 사이에 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위하여 진공 분위기에서 기판을 도너 필름과 하부 필름으로 밀봉하는 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a laminator for manufacturing an organic light emitting display device that seals a substrate with a donor film and a lower film in a vacuum atmosphere in order to prevent particles from flowing between the donor film and the substrate.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부 공간을 형성하는 진공 챔버; 상기 진공 챔버에 마련되되, 기판과 상기 기판의 저면에 배치한 하부 필름을 구비한 기판 모듈이 안착되는 스테이지 유닛; 상기 진공 챔버에 마련되되, 상기 진공 챔버의 내부로 반입된 도너 필름을 상기 기판 모듈의 상면에 배치하는 이송유닛; 및 상기 진공 챔버에 마련되되, 상기 기판을 밀봉하도록 상기 도너 필름의 테두리부를 가열 및 가압하여 상기 도너 필름을 상기 하부 필름에 접합하는 히팅 압착유닛을 포함하는 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터가 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, the vacuum chamber to form an inner space; A stage unit provided in the vacuum chamber, the substrate unit having a substrate and a lower film disposed on a bottom surface of the substrate; A transfer unit provided in the vacuum chamber and disposing a donor film carried into the vacuum chamber on an upper surface of the substrate module; And a heating pressing unit provided in the vacuum chamber to heat and press the edge of the donor film to seal the substrate to bond the donor film to the lower film. have.

상기 히팅 압착유닛은, 상기 도너 필름의 테두리부를 독립적으로 가열 및 가압하는 복수의 단위 히팅 압착유닛을 포함할 수 있다.The heating pressing unit may include a plurality of unit heating pressing unit for independently heating and pressing the edge of the donor film.

상기 복수의 단위 히팅 압착유닛 중 상기 기판의 대향되는 변에 위치한 복수의 상기 단위 히팅 압착유닛은 1조를 이루어 상호 연동하며, 상기 1조의 단위 히팅 압착유닛은 상기 도너 필름의 테두리부를 동시에 가열 및 가압할 수 있다.The plurality of unit heating pressing units located on opposite sides of the substrate among the plurality of unit heating pressing units are interlocked with each other to form a set, and the set of unit heating pressing units simultaneously heats and presses the edges of the donor film. can do.

상기 복수의 단위 히팅 압착유닛 각각은, 상기 도너 필름의 테두리부를 가열 및 가압하는 히팅 모듈; 및 상기 히팅 모듈에 결합되되, 상기 히팅 모듈을 상기 진공 챔버의 높이방향으로 승강시키는 제1 승강부를 포함할 수 있다.Each of the plurality of unit heating compression units, the heating module for heating and pressing the edge of the donor film; And coupled to the heating module, may include a first lifting unit for lifting the heating module in the height direction of the vacuum chamber.

상기 히팅 모듈은, 상기 도너 필름의 테두리부에 접촉하여 상기 도너 필름을 가열 및 가압하는 히팅 바; 및 상기 히팅 바에 결합되되, 상기 히팅 바를 지지하는 홀더부를 포함할 수 있다.The heating module may include: a heating bar configured to contact the edge of the donor film to heat and pressurize the donor film; And coupled to the heating bar, it may include a holder for supporting the heating bar.

상기 히팅 바는, 상기 도너 필름의 각 변의 길이에 대응되게 길게 형성되고, 길이방향을 따라 열선이 내재될 수 있다.The heating bar may be formed long to correspond to the length of each side of the donor film, and a heating wire may be embedded along the length direction.

상기 제1 승강부는, 상기 홀더부에 결합되되, 상기 진공 챔버를 관통하는 적어도 하나 이상의 제1 샤프트 부재; 및 상기 제1 샤프트 부재에 결합되되, 상기 제1 샤프트 부재를 상기 진공 챔버의 높이방향으로 승강시키는 제1 LM 가이드부를 포함할 수 있다.At least one first shaft member coupled to the holder portion and penetrating the vacuum chamber; And a first LM guide unit coupled to the first shaft member and configured to lift the first shaft member in a height direction of the vacuum chamber.

상기 제1 LM 가이드부는, 상기 진공 챔버의 상부에 마련되되, 상기 진공 챔버의 높이방향으로 설치된 제1 LM 레일; 및 상기 진공 챔버의 상부에 마련되되, 일측부가 상기 제1 샤프트 부재에 결합되고 타측부가 상기 제1 LM 레일을 따라 이동가능하게 결합된 제1 LM 블록을 포함할 수 있다.The first LM guide unit, the first LM rail is provided on the upper portion of the vacuum chamber, the first LM rail installed in the height direction of the vacuum chamber; And a first LM block provided at an upper portion of the vacuum chamber, one side of which is coupled to the first shaft member and the other of which is movably coupled along the first LM rail.

상기 제1 LM 가이드부는, 같은 방향으로 이동되는 적어도 하나 이상의 상기 제1 LM 블록을 연결하며, 상기 적어도 하나 이상의 제1 LM 블록을 일체로 이동시키는 제1 LM 블록 연결 판넬을 더 포함할 수 있다.The first LM guide unit may further include a first LM block connection panel connecting at least one first LM block moved in the same direction and integrally moving the at least one first LM block.

상기 복수의 단위 히팅 압착유닛 각각은, 상기 히팅 모듈에 결합되되, 상기 히팅 모듈을 상기 진공 챔버의 수평방향으로 이송시키는 수평 이송부를 더 포함할 수 있다.Each of the plurality of unit heating pressing units may further include a horizontal transfer unit coupled to the heating module to transfer the heating module in a horizontal direction of the vacuum chamber. Can be.

상기 수평 이송부는, 상기 홀더부에 설치되되, 상기 히팅 바의 폭 방향으로 배치된 랙 기어; 및 상기 홀더부에 설치되되, 상기 랙 기어에 치합하는 피니언 기어를 포함할 수 있다.The horizontal transfer unit is installed in the holder portion, the rack gear disposed in the width direction of the heating bar; And a pinion gear installed on the holder and engaged with the rack gear.

상기 스테이지 유닛은, 상기 기판 모듈이 안착되는 스테이지부; 및 상기 스테이지부의 하부에 결합되되, 상기 스테이지부를 상기 진공 챔버의 높이방향으로 승강시키는 제2 승강부를 포함할 수 있다.The stage unit may include a stage unit on which the substrate module is mounted; And a second elevating unit coupled to a lower portion of the stage unit to elevate the stage unit in a height direction of the vacuum chamber.

상기 제2 승강부는, 상기 스테이지부의 하부에 결합되되, 상기 진공 챔버를 관통하는 적어도 하나 이상의 제2 샤프트 부재; 및 상기 제2 샤프트 부재에 결합되되, 상기 제2 샤프트 부재를 상기 진공 챔버의 높이방향으로 승강시키는 제2 LM 가이드부를 포함할 수 있다.The second lifting unit is coupled to the lower portion of the stage, at least one second shaft member penetrating the vacuum chamber; And a second LM guide unit coupled to the second shaft member and configured to lift the second shaft member in a height direction of the vacuum chamber.

상기 제2 LM 가이드부는, 상기 진공 챔버의 하부에 마련되되, 상기 진공 챔버의 높이방향으로 설치된 제2 LM 레일; 및 상기 진공 챔버의 하부에 마련되되, 일측부가 상기 제2 샤프트 부재에 결합되고 타측부가 상기 제2 LM 레일을 따라 이동가능하게 결합된 제2 LM 블록을 포함할 수 있다.The second LM guide unit is provided in the lower portion of the vacuum chamber, the second LM rail installed in the height direction of the vacuum chamber; And a second LM block provided at a lower portion of the vacuum chamber, one side of which is coupled to the second shaft member and the other of which is movably coupled along the second LM rail.

상기 이송유닛은, 상기 스테이지 유닛의 외측에 마련되되, 상기 도너 필름이 안착되는 안착부; 및 상기 안착부의 하부에 결합되되, 상기 안착부를 상기 진공 챔버의 높이방향으로 승강시키는 제3 승강부를 포함할 수 있다.The transfer unit is provided on the outside of the stage unit, the mounting portion is the donor film is seated; And a third elevating unit coupled to a lower portion of the seating unit and configured to lift the seating unit in a height direction of the vacuum chamber.

상기 제3 승강부는, 상기 안착부의 하부에 결합되되, 상기 진공 챔버를 관통하는 적어도 하나 이상의 제3 샤프트 부재; 및 상기 제3 샤프트 부재에 결합되되, 상기 제3 샤프트 부재를 상기 진공 챔버의 높이방향으로 승강시키는 제3 LM 가이드부를 포함할 수 있다.The third elevating unit may include: at least one third shaft member coupled to a lower portion of the seating unit and penetrating the vacuum chamber; And a third LM guide unit coupled to the third shaft member and configured to elevate the third shaft member in a height direction of the vacuum chamber.

상기 제3 LM 가이드부는, 상기 진공 챔버의 하부에 마련되되, 상기 진공 챔버의 높이방향으로 설치된 제3 LM 레일; 및 상기 진공 챔버의 하부에 마련되되, 일측부가 상기 제3 샤프트 부재에 결합되고 타측부가 상기 제3 LM 레일을 따라 이동가능하게 결합된 제3 LM 블록을 포함할 수 있다.The third LM guide unit is provided in the lower portion of the vacuum chamber, the third LM rail installed in the height direction of the vacuum chamber; And a third LM block provided at a lower portion of the vacuum chamber, one side of which is coupled to the third shaft member and the other of which is movably coupled along the third LM rail.

상기 이송유닛은, 상기 안착부의 일측부에 설치되되, 상기 도너 필름과 상기 기판 모듈을 얼라인시키는 복수의 가이드 블록을 더 포함할 수 있다.The transfer unit may be installed on one side of the seating portion, and may further include a plurality of guide blocks for aligning the donor film and the substrate module.

상기 하부 필름의 테두리부에는 상기 하부 필름이 상기 도너 필름에 접착되어 상기 기판을 밀봉하도록 접착부재가 도포되며, 상기 접착부재는 열경화 실런트를 포함할 수 있다.An adhesive member may be applied to an edge portion of the lower film to bond the lower film to the donor film to seal the substrate, and the adhesive member may include a thermosetting sealant.

본 발명의 실시예들은, 진공 챔버 내에서 기판을 도너 필름과 하부 필름으로 밀봉함으로써 도너 필름과 기판 사이에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 히팅 바를 이용하여 도너 필름을 가열 및 가압하는 동작에 의해 라미네이팅 공정을 수행할 수 있어 라미네이팅 공정을 용이 및 단순화할 수 있다.Embodiments of the present invention may prevent particles from flowing between the donor film and the substrate by sealing the substrate with the donor film and the lower film in the vacuum chamber, and may be used to heat and pressurize the donor film using a heating bar. The laminating process can be performed by this, so that the laminating process can be easily and simplified.

또한, 유기전계 발광표시장치의 발광영역의 스팟이나 화소 불량 등의 결함이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, defects such as spots and pixel defects in the emission region of the organic light emitting display device can be prevented from occurring.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이터를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 유닛 및 이송유닛을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 A방향에서 바라본 스테이지 유닛 및 이송유닛을 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 2의 B방향에서 바라본 스테이지 유닛 및 이송유닛을 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 압착유닛을 나타내는 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 압착유닛을 나타내는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 바의 작동상태를 나타내는 개략도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이팅 동작 시 도너 필름, 기판, 하부 필름 및 히팅 바의 배치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이팅 동작에 의해 제조된 기판의 밀봉상태를 나타내는 개략도이다.1 is a perspective view showing a laminator according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view showing a stage unit and a transfer unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view illustrating the stage unit and the transfer unit viewed in the direction A of FIG. 2.
4 is a side view illustrating the stage unit and the transfer unit viewed in the direction B of FIG. 2.
5 is a front view showing a heating pressing unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a side view showing a heating pressing unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a schematic diagram showing the operating state of the heating bar according to an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view schematically showing the arrangement of the donor film, the substrate, the lower film and the heating bar in the laminating operation according to an embodiment of the present invention.
9 is a schematic view showing a sealed state of a substrate manufactured by a laminating operation according to an embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이터를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 유닛 및 이송유닛을 나타내는 평면도이고, 도 3은 도 2의 A방향에서 바라본 스테이지 유닛 및 이송유닛을 나타내는 측면도이고, 도 4는 도 2의 B방향에서 바라본 스테이지 유닛 및 이송유닛을 나타내는 측면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 압착유닛을 나타내는 정면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 압착유닛을 나타내는 측면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 바의 작동상태를 나타내는 개략도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이팅 동작 시 도너 필름, 기판, 하부 필름 및 히팅 바의 배치를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 라미네이팅 동작에 의해 제조된 기판의 밀봉상태를 나타내는 개략도이다.1 is a perspective view showing a laminator according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view showing a stage unit and a transfer unit according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a stage unit seen from the direction A of Figure 2 And a side view showing a transfer unit, FIG. 4 is a side view showing a stage unit and a transfer unit viewed from the direction B of FIG. 2, FIG. 5 is a front view showing a heating pressing unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. Figure 7 is a side view showing a heating pressing unit according to an embodiment of the present invention, Figure 7 is a schematic diagram showing the operating state of the heating bar according to an embodiment of the present invention, Figure 8 is a laminating operation according to an embodiment of the present invention FIG. 9 is a cross-sectional view schematically illustrating the arrangement of a donor film, a substrate, a lower film, and a heating bar, and FIG. 9 illustrates a laminating operation according to an embodiment of the present invention. It is a schematic view showing the sealed state of the prepared substrate.

본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터는, 레이저 유도화 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging Method, LITI)을 이용하여 유기전계 발광표시장치를 제조하는 라미네이팅 공정에 있어서, 기판과 도너 필름 사이에 파티클이 유입되는 것을 방지하여 유기전계 발광표시장치의 발광영역의 스팟이나 화소 불량 등의 결함이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다.In the laminator for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention, in a laminating process of manufacturing an organic light emitting display device using a laser induced thermal imaging method (LITI), particles are formed between a substrate and a donor film. It prevents the inflow and prevents defects such as spots or defective pixels in the light emitting area of the organic light emitting display device.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터(100)에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the laminator 100 for manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터(100)는, 내부 공간을 형성하는 진공 챔버(200)와, 진공 챔버(200)에 마련되되 기판(11)과 기판(11)의 저면에 배치한 하부 필름(13)을 구비한 기판 모듈(10)이 안착되는 스테이지 유닛(300)과, 진공 챔버(200)에 마련되되 진공 챔버(200)의 내부로 유입된 도너 필름(20)을 기판 모듈(10)의 상면에 배치하는 이송유닛(400)과, 진공 챔버(200)에 마련되되 기판(11)을 밀봉하도록 도너 필름(20)의 테두리부를 가열 및 가압하여 도너 필름(20)을 하부 필름(13)에 접합하는 히팅 압착유닛(500)을 포함한다.1 to 9, the laminator 100 for manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber 200 forming an internal space and a substrate provided in the vacuum chamber 200. The stage unit 300, on which the substrate module 10 having the lower film 13 disposed on the bottom surface of the substrate 11 and the substrate 11, is mounted, is provided in the vacuum chamber 200. The donor film 20 introduced into the donor film 20 disposed on the upper surface of the substrate module 10 and the vacuum chamber 200 are disposed in the edge portion of the donor film 20 to seal the substrate 11. Heating and pressing unit comprises a heating pressing unit 500 for bonding the donor film 20 to the lower film (13).

본 실시예에 의한 라미네이터(100)는 기판(11)과 도너 필름(20) 사이에 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위하여 진공 챔버(200) 내에서 라이네이팅 공정을 수행한다.The laminator 100 according to the present embodiment performs a laminating process in the vacuum chamber 200 to prevent particles from flowing between the substrate 11 and the donor film 20.

진공 챔버(200)는 내부에 기판 모듈(10) 및 도너 필름(20)을 수용한다. 그리고, 진공 챔버(200) 내부에는 스테이지 유닛(300), 이송유닛(400) 및 히팅 압착유닛(500)이 마련된다. 그리고, 진공 챔버(200)는 기판 모듈(10)과 도너 필름(20)이 반입되고 반출되는 유출입구(210)를 구비한다.The vacuum chamber 200 accommodates the substrate module 10 and the donor film 20 therein. In addition, the stage unit 300, the transfer unit 400, and the heating compression unit 500 are provided in the vacuum chamber 200. In addition, the vacuum chamber 200 includes an outlet 210 through which the substrate module 10 and the donor film 20 are loaded and taken out.

진공 챔버(200)에서 기판(11)을 진공 상태에서 도너 필름(20) 및 하부 필름(13)으로 밀봉한 후, 대기압하의 다른 공정으로 밀봉된 기판(11)을 이송하면 기압차에 의해 기판(11)을 감싸는 도너 필름(20) 및 하부 필름(13)은 기판(11)에 밀착된다.After the substrate 11 is sealed in the vacuum chamber 200 with the donor film 20 and the lower film 13 in a vacuum state, and the sealed substrate 11 is transferred by another process under atmospheric pressure, the substrate ( The donor film 20 and the lower film 13 surrounding the 11 are in close contact with the substrate 11.

본 실시예에서 기판 모듈(10)은, 도 9에서 도시한 바와 같이, 전사층이 형성될 기판(11)과 기판(11)의 저면에 접촉되게 배치된 하부 필름(13)을 포함한다. 여기서 하부 필름(13)은 후술할 히팅 압착유닛(500)의 히팅 바(531)에 의해 도너 필름(20)과 접합, 즉 라미네이팅되어 기판(11)을 밀봉하는 역할을 한다.In the present exemplary embodiment, the substrate module 10 includes a substrate 11 on which a transfer layer is to be formed and a lower film 13 disposed to contact the bottom surface of the substrate 11, as shown in FIG. 9. The lower film 13 is bonded to the donor film 20 by the heating bar 531 of the heating pressing unit 500 to be described later, that is, laminated to serve to seal the substrate 11.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에서 스테이지 유닛(300)에는 기판 모듈(10)이 안착된다. 그리고, 스테이지 유닛(300)은 후술할 히팅 압착유닛(500)의 히팅 바(531)를 이용하여 도너 필름(20)을 가열 및 가압하는 경우에 기판 모듈(10) 및 도너 필름(20)을 하부에서 지지하는 역할을 한다.2 to 4, the substrate module 10 is seated on the stage unit 300 in this embodiment. The stage unit 300 lowers the substrate module 10 and the donor film 20 when the donor film 20 is heated and pressurized using the heating bar 531 of the heating pressing unit 500 which will be described later. To play a supporting role.

스테이지 유닛(300)은, 기판 모듈(10)이 안착되는 스테이지부(310)와, 스테이지부(310)의 하부에 결합되되 스테이지부(310)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 제2 승강부(330)를 포함한다.The stage unit 300 may include a stage unit 310 on which the substrate module 10 is seated, and a lower unit coupled to a lower portion of the stage unit 310 to elevate the stage unit 310 in the height direction of the vacuum chamber 200. And two lifting portions 330.

스테이지부(310)는 하부 필름(13)과 기판(11)이 순차로 적층된 기판 모듈(10)이 안착되며, 히팅 압착유닛(500)의 히팅 바(531)의 가압에 대응하여 기판 모듈(10)의 하부를 지지하는 역할을 한다. 스테이지부(310)는 상면이 평탄한 사각 플레이트 형상을 갖도록 형성된다.The stage 310 is mounted with a substrate module 10 in which the lower film 13 and the substrate 11 are sequentially stacked, and in response to the pressing of the heating bar 531 of the heating pressing unit 500, the substrate module ( 10) to support the lower part. The stage 310 is formed to have a flat rectangular plate shape.

그리고, 제2 승강부(330)는 스테이지부(310)의 저면에 결합되며, 진공 챔버(200) 내부로 기판 모듈(10)이 반입된 경우에 스테이지부(310)를 상승시켜 기판 모듈(10)을 스테이지부(310)에 안착한 후, 라미네이팅 공정을 수행할 위치로 스테이지부(310)를 하강시킨다.The second lifting unit 330 is coupled to the bottom surface of the stage unit 310, and when the substrate module 10 is loaded into the vacuum chamber 200, the second lifting unit 330 raises the stage unit 310 to raise the substrate module 10. ) Is seated on the stage 310, and lowers the stage 310 to a position to perform the laminating process.

이와 같은, 제2 승강부(330)는 스테이지부(310)의 하부에 결합되되 진공 챔버(200)를 관통하는 적어도 하나 이상의 제2 샤프트 부재(331)와, 제2 샤프트 부재(331)에 결합되되 제2 샤프트 부재(331)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 제2 LM 가이드부(333)를 포함한다.As such, the second lifting unit 330 is coupled to the lower portion of the stage unit 310, but coupled to the second shaft member 331 and at least one or more second shaft members 331 penetrating the vacuum chamber 200. A second LM guide portion 333 for raising and lowering the second shaft member 331 in the height direction of the vacuum chamber 200.

제2 샤프트 부재(331)는 일단부가 스테이지부(310)의 하면에 결합되고, 제2 LM 가이드부(333)에 의해 스테이지부(310)를 진공 챔버(200)의 내부에서 높이방향으로 승강시키는 역할을 한다.One end of the second shaft member 331 is coupled to the lower surface of the stage 310, and the second LM guide 333 raises and lowers the stage 310 in the height direction in the vacuum chamber 200. Play a role.

제2 샤프트 부재(331)는 스테이지부(310)의 승강 시에 균형을 유지하기 위하여 사각형의 스테이지부(310)의 하면에 쌍을 이루어 대칭되게 복수개 설치될 수 있다.A plurality of second shaft members 331 may be symmetrically installed in pairs on the lower surface of the square stage 310 to maintain balance when the stage 310 is elevated.

그리고, 제2 LM 가이드부(333)는 제2 샤프트 부재(331)를 승강운동시키는 역할을 한다.In addition, the second LM guide part 333 serves to raise and lower the second shaft member 331.

본 실시예에서 제2 LM 가이드부(333)는 진공 챔버(200)의 하부에 마련되되 진공 챔버(200)의 높이방향으로 설치된 제2 LM 레일(335)과, 진공 챔버(200)의 하부에 마련되되 일측부가 제2 샤프트 부재(331)에 결합되고 타측부가 제2 LM 레일(335)을 따라 이동가능하게 결합된 제2 LM 블록(336)을 포함한다.In the present embodiment, the second LM guide part 333 is provided at the lower part of the vacuum chamber 200, but is installed in the height direction of the vacuum chamber 200 and the lower part of the vacuum chamber 200. A second LM block 336 is provided, one side of which is coupled to the second shaft member 331 and the other side of which is movably coupled along the second LM rail 335.

제2 LM 레일(335)은 진공 챔버(200)의 하부에서 소정 간격 이격되어 진공 챔버(200)의 높이방향으로 설치된다. 제2 LM 레일(335)은 제2 LM 블록(336)의 이동을 가이드하는 한편 제2 LM 블록(336)과 결합하여 제2 LM 블록(336)을 지지하는 역할을 한다.The second LM rail 335 is spaced apart from the lower portion of the vacuum chamber 200 by a predetermined interval and installed in the height direction of the vacuum chamber 200. The second LM rail 335 guides the movement of the second LM block 336 and serves to support the second LM block 336 in combination with the second LM block 336.

그리고, 제2 LM 블록(336)은 일측부가 제2 샤프트 부재(331)와 결합되어 제2 샤프트 부재(331)와 연동하여 이동하고, 타측부는 제2 LM 레일(335)과 슬라이딩 결합되어 제2 LM 레일(335)을 따라 직선 운동한다. 이때, 제2 LM 레일(335)은 진공 챔버(200)의 하부에 설치된 제2 지지 프레임(350) 상에 마련되어 제2 LM 블록(336)을 가이드한다.In addition, one side portion of the second LM block 336 is coupled to the second shaft member 331 to move in conjunction with the second shaft member 331, and the other side is slidably coupled to the second LM rail 335 to be formed. 2 linear motion along the LM rail (335). In this case, the second LM rail 335 is provided on the second support frame 350 installed under the vacuum chamber 200 to guide the second LM block 336.

그리고, 본 실시예에서 이송유닛(400)은, 도 2 내지 도 4에서 도시한 바와 같이, 도너 필름(20) 및/또는 도너 필름(20)을 파지하는 도너 필름 트레이(25, 도 8 참조)를 파지하고, 도너 필름(20) 및/또는 도너 필름 트레이(25)를 기판(11)의 상면에 배치하는 역할을 한다.And, in the present embodiment, the transfer unit 400, as shown in Figs. 2 to 4, the donor film tray 25 (see Fig. 8) holding the donor film 20 and / or the donor film 20) And to hold the donor film 20 and / or donor film tray 25 on the upper surface of the substrate (11).

이송유닛(400)은 스테이지 유닛(300)의 외측에 마련되되 도너 필름(20)이 안착되는 안착부(410)와, 안착부(410)의 하부에 결합되되 안착부(410)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 제3 승강부(430)와, 안착부(410)의 일측부에 설치되되 도너 필름(20)과 기판 모듈(10)을 얼라인시키는 복수의 가이드 블록(450)을 포함한다.The transfer unit 400 is provided on the outer side of the stage unit 300, but is mounted on the seating portion 410 on which the donor film 20 is seated, and is coupled to the lower portion of the seating portion 410, but the seating portion 410 is formed in a vacuum chamber ( A plurality of guide blocks 450 installed at one side of the third elevating part 430 and the seating part 410, and aligning the donor film 20 and the substrate module 10. It includes.

안착부(410)에는 진공 챔버(200)로 반입된 도너 필름(20) 또는 도너 필름(20)을 파지한 도너 필름 트레이(25)가 안착된다. 안착부(410)는 스테이지부(310)의 외측에 마련되어 도너 필름(20) 또는 도너 필름 트레이(25)가 스테이지부(310)를 덮을 수 있도록 설치된다.The donor film 20 carried into the vacuum chamber 200 or the donor film tray 25 holding the donor film 20 is mounted on the seating part 410. The seating portion 410 is provided outside the stage 310 so that the donor film 20 or the donor film tray 25 may cover the stage 310.

안착부(410)는 도너 필름(20)이 기판(11)의 상면에 접촉될 수 있도록 도너 필름(20) 또는 도너 필름 트레이(25)의 대향되는 양쪽 테두리를 따라 길게 형성된 플레이트 형상으로 형성될 수 있다.The seating part 410 may be formed in a plate shape that is elongated along opposite edges of the donor film 20 or the donor film tray 25 so that the donor film 20 may contact the upper surface of the substrate 11. have.

그리고, 제3 승강부(430)는 안착부(410)의 저면에 결합되며, 진공 챔버(200) 내부로 도너 필름(20) 및/또는 도너 필름 트레이(25)가 반입된 경우에 안착부(410)를 상승시켜 도너 필름(20) 및/또는 도너 필름 트레이(25)를 안착부(410)에 안착한 후, 라미네이팅 공정을 수행할 위치, 즉 기판(11)의 상면에 도너 필름(20)이 접하도록 안착부(410)를 하강시킨다.And, the third lifting unit 430 is coupled to the bottom of the seating portion 410, when the donor film 20 and / or the donor film tray 25 is carried into the vacuum chamber 200 seating portion ( After the donor film 20 and / or donor film tray 25 is seated on the seating portion 410 by raising the 410, the donor film 20 may be disposed on the upper surface of the substrate 11. The seating portion 410 is lowered to be in contact.

이와 같은, 제3 승강부(430)는 안착부(410)의 하부에 결합되되 진공 챔버(200)를 관통하는 적어도 하나 이상의 제3 샤프트 부재(431)와, 제3 샤프트 부재(431)에 결합되되 제3 샤프트 부재(431)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 제3 LM 가이드부(433)를 포함한다.As such, the third lifting unit 430 is coupled to the lower portion of the seating portion 410 but coupled to the third shaft member 431 and at least one third shaft member 431 passing through the vacuum chamber 200. The third LM guide portion 433 to raise and lower the third shaft member 431 in the height direction of the vacuum chamber 200.

제3 샤프트 부재(431)는 일단부가 안착부(410)의 하면에 결합되고 제3 LM 가이드부(433)의 운동에 의해 안착부(410)를 진공 챔버(200)의 내부에서 높이방향으로 승강시키는 역할을 한다.One end portion of the third shaft member 431 is coupled to the bottom surface of the seating portion 410, and the seating portion 410 is elevated in the height direction in the vacuum chamber 200 by the movement of the third LM guide portion 433. It plays a role.

제3 샤프트 부재(431)는 안착부(410)의 승강 시에 균형을 유지하기 위하여 안착부(410)의 하면에 복수개 설치될 수 있다.The third shaft member 431 may be provided in plural on the lower surface of the seating portion 410 to maintain a balance when the seating portion 410 is elevated.

그리고, 제3 LM 가이드부(433)는 제3 샤프트 부재(431)를 승강시키는 역할을 한다.In addition, the third LM guide portion 433 serves to lift and lower the third shaft member 431.

본 실시예에서 제3 LM 가이드부(433)는, 진공 챔버(200)의 하부에 마련되되 진공 챔버(200)의 높이방향으로 설치된 제3 LM 레일(435)과, 진공 챔버(200)의 하부에 마련되되 일측부가 제3 샤프트 부재(431)에 결합되고 타측부가 제3 LM 레일(435)을 따라 이동가능하게 결합된 제3 LM 블록(436)을 포함한다.In the present embodiment, the third LM guide portion 433 is provided in the lower portion of the vacuum chamber 200, but installed in the height direction of the vacuum chamber 200, and the lower portion of the vacuum chamber 200. The third LM block 436 is provided in the one side is coupled to the third shaft member 431 and the other side is movably coupled along the third LM rail 435.

제3 LM 레일(435)은 진공 챔버(200)의 하부에서 소정 간격 이격되어 진공 챔버(200)의 높이방향으로 설치된다. 그리고, 제3 LM 레일(435)은 제3 LM 블록(436)의 이동을 가이드하는 한편, 제3 LM 블록(436)과 결합하여 제3 LM 블록(436)을 지지하는 역할을 한다.The third LM rail 435 is spaced apart from the lower portion of the vacuum chamber 200 by a predetermined interval and installed in the height direction of the vacuum chamber 200. The third LM rail 435 guides the movement of the third LM block 436, and serves to support the third LM block 436 in combination with the third LM block 436.

그리고, 제3 LM 블록(436)은 일측부가 제3 샤프트 부재(431)와 결합되어 제3 샤프트 부재(431)와 연동하여 이동하고, 타측부는 제3 LM 레일(435)과 슬라이딩 결합되어 제3 LM 레일(435)을 따라 직선 운동한다.In addition, one side portion of the third LM block 436 is coupled to the third shaft member 431 to move in conjunction with the third shaft member 431, and the other side thereof is slidably coupled to the third LM rail 435. 3 Linear movement along the LM rail (435).

이때, 제3 LM 레일(435)은 진공 챔버(200)의 하부에 설치된 제2 지지 프레임(350) 상에 마련되어 제3 LM 블록(436)을 가이드한다. 즉, 제2 지지 프레임(350)의 일측에는 제2 LM 레일(335)이 마련되고 타측에는 제3 LM 레일(435)이 설치될 수 있다.In this case, the third LM rail 435 is provided on the second support frame 350 installed under the vacuum chamber 200 to guide the third LM block 436. That is, the second LM rail 335 may be provided at one side of the second support frame 350 and the third LM rail 435 may be installed at the other side.

그리고, 가이드 블록(450)은 도너 필름(20)을 기판(11)의 상면에 얼라인시키는 역할을 한다.The guide block 450 serves to align the donor film 20 to the upper surface of the substrate 11.

가이드 블록(450)은 안착부(410)의 일측부, 특히 안착부(410)의 양끝단부에 쌍을 이루어 설치될 수 있다. 그리고, 가이드 블록(450)은 사각형 형상의 도너 필름(20) 또는 도너 필름 트레이(25)의 모서리에 맞춰 도너 필름(20) 또는 도너 필름 트레이(25)의 이동을 제한하는 "ㄱ"형상의 브라켓으로 형성될 수 있다.The guide block 450 may be installed in pairs at one end portion of the seating portion 410, particularly at both ends of the seating portion 410. And, the guide block 450 is a bracket of the "a" shape to limit the movement of the donor film 20 or the donor film tray 25 in accordance with the corner of the rectangular donor film 20 or the donor film tray 25 It can be formed as.

예를 들면, 안착부(410)가 스테이지부(310)의 양측에서 각각 소정간격 이격되게 설치되고 도너 필름(20) 또는 도너 필름 트레이(25, 도 8참조)의 테두리를 따라 길게 형성된 플레이트 형상으로 형성된 경우, 사각 형상의 도너 필름(20) 또는 도너 필름 트레이(25)의 모서리가 끼워지도록 플레이트 상면에 "ㄱ"형상의 브라켓을 복수개 설치한다.For example, the seating portion 410 is installed on both sides of the stage 310, respectively, spaced apart by a predetermined plate shape formed along the edge of the donor film 20 or the donor film tray 25 (see FIG. 8). When formed, a plurality of "a" shaped brackets are provided on the plate upper surface so that the corners of the square donor film 20 or the donor film tray 25 are fitted.

그리고, 도 1, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예에서 히팅 압착유닛(500)은 기판(11)의 상면 및 하면에 배치된 도너 필름(20)과 하부 필름(13)을 접합, 즉 라미네이팅하여 기판(11)을 밀봉하는 역할을 한다.1, 5 and 6, in the present embodiment, the heating pressing unit 500 bonds the donor film 20 and the lower film 13 disposed on the upper and lower surfaces of the substrate 11, That is, it serves to seal the substrate 11 by laminating.

그리고, 히팅 압착유닛(500)은 도너 필름(20)의 테두리부를 독립적으로 가열 및 가압하는 복수의 단위 히팅 압착유닛(510)으로 구성될 수 있다.In addition, the heating pressing unit 500 may be configured of a plurality of unit heating pressing unit 510 for heating and pressing the edge of the donor film 20 independently.

이는, 후술할 히팅 바(531)를 이용하여 도너 필름(20)의 테두리를 동시에 가열 및 압착하고자 하는 경우에 히팅 바(531)를 사각형으로 제작하여야 하는데, 히팅 바(531)의 온도가 높기 때문에 열변형에 의한 팽창 및 수축에 의해 사각형의 히팅 바(531)의 형상이 변형될 수 있다.This, when heating and pressing the edge of the donor film 20 at the same time using the heating bar 531 to be described later, the heating bar 531 should be made in a square, because the temperature of the heating bar 531 is high The shape of the rectangular heating bar 531 may be modified by expansion and contraction due to thermal deformation.

따라서, 히팅 바(531)의 열변형에 의해 변형을 방지하기 위하여 히팅 압착유닛(500)은 도너 필름(20)의 테두리부를 독립적으로 가열 및 가압하는 복수의 단위 히팅 압착유닛(510)으로 구성한다.Accordingly, in order to prevent deformation due to thermal deformation of the heating bar 531, the heating pressing unit 500 includes a plurality of unit heating pressing units 510 that independently heat and press the edges of the donor film 20. .

그리고, 기판(11)을 도너 필름(20) 및 하부 필름(13)으로 밀봉하는 라미네이팅 공정의 작업시간을 단축하기 위하여 복수의 단위 히팅 압착유닛(510) 중 대향되는 위치, 즉 사각형 기판(11)의 마주보는 변에 위치한 복수의 단위 히팅 압착유닛(510)은 1조를 이루어 상호 연동하며, 1조의 단위 히팅 압착유닛(510)은 도너 필름(20)의 테두리부를 동시에 가열 및 가압하여 도너 필름(20)을 하부 필름(13)에 접합하여 기판(11)을 밀봉한다.In addition, in order to shorten the working time of the laminating process of sealing the substrate 11 with the donor film 20 and the lower film 13, the opposing positions among the plurality of unit heating pressing units 510, that is, the rectangular substrate 11 A plurality of unit heating crimping unit 510 located on the opposite side of each other to form a set, the unit heating crimp unit 510 of the donor film 20 by heating and pressing the edge of the donor film 20 at the same time ( 20 is bonded to the lower film 13 to seal the substrate 11.

본 실시예에서 복수의 단위 히팅 압착유닛(510) 각각은, 도너 필름(20)의 테두리부를 가열 및 가압하는 히팅 모듈(530)과, 히팅 모듈(530)에 결합되되 히팅 모듈(530)을 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 제1 승강부(550)와, 히팅 모듈(530)에 결합되되 히팅 모듈(530)을 진공 챔버(200)의 수평방향으로 이송시키는 수평 이송부(570)를 포함한다.In the present embodiment, each of the plurality of unit heating pressing units 510 is coupled to the heating module 530 and the heating module 530 to heat and press the edge of the donor film 20, and vacuum the heating module 530. The first lifting unit 550 for elevating in the height direction of the chamber 200 and the horizontal conveying unit 570 coupled to the heating module 530 to transfer the heating module 530 in the horizontal direction of the vacuum chamber 200. Include.

히팅 모듈(530)은 도너 필름(20)을 가열 및 가압하여 도너 필름(20)을 하부 필름(13)에 접합하는 역할을 한다.The heating module 530 serves to bond the donor film 20 to the lower film 13 by heating and pressing the donor film 20.

히팅 모듈(530)은 도너 필름(20)의 테두리부에 접촉하여 도너 필름(20)을 가열 및 가압하는 히팅 바(531)와, 히팅 바(531)에 결합되되 히팅 바(531)를 지지하는 홀더부(533)를 포함한다.The heating module 530 is coupled to the heating bar 531 for heating and pressing the donor film 20 in contact with the edge of the donor film 20, and the heating bar 531 to support the heating bar 531. The holder part 533 is included.

히팅 바(531)는 도너 필름(20)의 테두리부에 접촉하는 요소로서, 도너 필름(20)의 각 변의 길이에 대응되는 길이를 갖도록 길게 형성되고, 도너 필름(20)을 가열하기 위하여 내부에는 길이방향을 따라 열선(532)이 내재된다.The heating bar 531 is an element in contact with the edge portion of the donor film 20, and is formed to have a length corresponding to the length of each side of the donor film 20, and is heated inside to heat the donor film 20. The hot wire 532 is embedded along the longitudinal direction.

한편, 기판(11)의 상면 및 하면에 각각 배치되는 도너 필름(20)과 하부 필름(13)은 기판(11)의 면적보다 큰 면적을 가진다.On the other hand, the donor film 20 and the lower film 13 which are respectively disposed on the upper and lower surfaces of the substrate 11 have an area larger than that of the substrate 11.

그리고, 히팅 바(531)의 가열 및 가압에 의해 도너 필름(20) 및 하부 필름(13)의 테두리부가 상호 접착되기 위해 하부 필름(13)의 테두리부를 따라 접착부재(30)가 도포될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 도너 필름(20)의 테두리부를 따라 접착부재(30)가 도포될 수 있다.In addition, the adhesive member 30 may be applied along the edge of the lower film 13 to bond the edges of the donor film 20 and the lower film 13 to each other by heating and pressing the heating bar 531. However, the present invention is not limited thereto, and the adhesive member 30 may be applied along the edge portion of the donor film 20.

여기서, 접착부재(30)는 가열에 의해 도너 필름(20)과 하부 필름(13)이 접합되어 기판(11)을 밀봉할 수 있도록 열경화 실런트(sealant)를 사용할 수 있다.Here, the adhesive member 30 may use a thermosetting sealant so that the donor film 20 and the lower film 13 may be bonded to each other to seal the substrate 11 by heating.

그리고, 홀더부(533)는 히팅 바(531)를 지지하고, 제1 승강부(550) 및 수평 이송부(570)와 결합되어 히팅 바(531)를 진공 챔버(200)의 높이방향 및 수평방향으로 이송되게 한다.The holder part 533 supports the heating bar 531, and is coupled to the first lifting part 550 and the horizontal transfer part 570 to move the heating bar 531 in the height direction and the horizontal direction of the vacuum chamber 200. To be transferred.

본 실시예에서 제1 승강부(550)는 홀더부(533)에 결합되며, 진공 챔버(200)의 내부에서 히팅 바(531)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 역할을 한다.In this embodiment, the first lifting unit 550 is coupled to the holder part 533, and serves to elevate the heating bar 531 in the height direction of the vacuum chamber 200 in the vacuum chamber 200.

이와 같은, 제1 승강부(550)는 홀더부(533)에 결합되되 진공 챔버(200)를 관통하는 적어도 하나 이상의 제1 샤프트 부재(551)와, 제1 샤프트 부재(551)에 결합되되 제1 샤프트 부재(551)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 제1 LM 가이드부(553)를 포함한다.As such, the first lifting unit 550 is coupled to the holder part 533, but is coupled to the first shaft member 551 and at least one first shaft member 551 passing through the vacuum chamber 200. And a first LM guide part 553 for elevating the first shaft member 551 in the height direction of the vacuum chamber 200.

제1 샤프트 부재(551)는 일단부가 홀더부(533)에 결합되고 제1 LM 가이드부(553)의 운동에 의해 히팅 바(531)를 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강시키는 역할을 한다.One end of the first shaft member 551 is coupled to the holder portion 533 and serves to elevate the heating bar 531 in the height direction of the vacuum chamber 200 by the movement of the first LM guide portion 553. .

제1 샤프트 부재(551)는 히팅 바(531)의 승강 시에 균형을 유지하기 위하여 히팅 바(531)의 길이 방향을 따라 복수개 설치될 수 있다.The first shaft member 551 may be provided in plural along the longitudinal direction of the heating bar 531 in order to maintain balance when the heating bar 531 moves up and down.

그리고, 제1 LM 가이드부(553)는 제1 샤프트 부재(551)를 승강시키는 역할을 한다.In addition, the first LM guide part 553 serves to lift and lower the first shaft member 551.

본 실시예에서 제1 LM 가이드부(553)는, 진공 챔버(200)의 상부에 마련되되 진공 챔버(200)의 높이방향으로 설치된 제1 LM 레일(555)과, 진공 챔버(200)의 상부에 마련되되 일측부가 제1 샤프트 부재(551)에 결합되고 타측부가 제1 LM 레일(555)을 따라 이동가능하게 결합된 제1 LM 블록(556)과, 같은 방향으로 이동되는 복수개의 제1 LM 블록(556)을 연결하며 복수개의 제1 LM 블록(556)을 일체로 이동시키는 제1 LM 블록 연결 판넬(557)을 포함한다.In the present embodiment, the first LM guide part 553 is provided on the upper part of the vacuum chamber 200, but is provided in the height direction of the vacuum chamber 200, and the upper part of the vacuum chamber 200. The first LM block 556 is provided in the one side portion is coupled to the first shaft member 551 and the other side is movably coupled along the first LM rail 555, a plurality of first to be moved in the same direction A first LM block connection panel 557 connects the LM block 556 and integrally moves the plurality of first LM blocks 556.

제1 LM 레일(555)은 진공 챔버(200)의 상부에서 소정 간격 이격되어 진공 챔버(200)의 높이방향으로 설치된다. 그리고, 제1 LM 레일(555)은 제1 LM 블록(556)의 이동을 가이드하는 한편, 제1 LM 블록(556)과 결합하여 제1 LM 블록(556)을 지지하는 역할을 한다.The first LM rail 555 is spaced apart from the upper portion of the vacuum chamber 200 by a predetermined interval and installed in the height direction of the vacuum chamber 200. In addition, the first LM rail 555 guides the movement of the first LM block 556, and serves to support the first LM block 556 in combination with the first LM block 556.

그리고, 제1 LM 블록(556)은 일측부가 제1 샤프트 부재(551)와 결합되어 제1 샤프트 부재(551)와 연동하여 이동하고, 타측부는 제1 LM 레일(555)과 슬라이딩 결합되어 제1 LM 레일(555)을 따라 직선 운동한다.In addition, one side portion of the first LM block 556 is coupled to the first shaft member 551 to move in conjunction with the first shaft member 551, and the other side is slidably coupled to the first LM rail 555 to be formed. 1 Linear motion along the LM rail (555).

이때, 제1 LM 레일(555)은 진공 챔버(200)의 상부에 설치된 제1 지지 프레임(560) 상에 마련되어 제1 LM 블록(556)을 가이드한다. 즉, 제1 지지 프레임(560)의 일측에 제1 LM 레일(555)이 마련되고 제1 LM 블록(556)은 제1 LM 레일(555)을 따라 진공 챔버(200)의 상부에서 승강한다.In this case, the first LM rail 555 is provided on the first support frame 560 installed on the vacuum chamber 200 to guide the first LM block 556. That is, the first LM rail 555 is provided on one side of the first support frame 560, and the first LM block 556 is elevated in the upper portion of the vacuum chamber 200 along the first LM rail 555.

그리고, 제1 LM 블록 연결 판넬(557)은 같은 방향으로, 즉 진공 챔버(200)의 높이방향으로 승강동작하는 적어도 하나 이상의 제1 LM 블록(556)을 연결하여 일체로 동작하게 한다.In addition, the first LM block connection panel 557 connects at least one first LM block 556 that moves up and down in the same direction, that is, in the height direction of the vacuum chamber 200 to operate integrally.

복수개의 제1 샤프트 부재(551)가 소정 간격 이격되어 홀더부(533)에 연결된 경우에, 히팅 바(531)의 바닥면이 도너 필름(20)에 동시에 접촉되도록 복수의 제1 샤프트 부재(551)는 일체로 동작한다.When the plurality of first shaft members 551 are connected to the holder part 533 at predetermined intervals, the plurality of first shaft members 551 may be disposed so that the bottom surface of the heating bar 531 contacts the donor film 20 simultaneously. ) Works integrally.

그리고, 도 7을 참조하면, 사각형 기판(11)의 마주보는 변에 위치한 복수의 히팅 바(531)는 1조를 이루어 상호 연동하므로, 1조의 히팅 바(535)를 이용하여 도너 필름(20)의 양변을 가압하고자 하는 경우에, 1조의 히팅 바(535)가 나머지 히팅 바(537)에 의해 간섭을 받는 것을 방지하기 위하여 나머지 히팅 바(537)는 1조의 히팅 바(535)의 길이방향 양 끝단부로부터 소정 간격 이격된 위치에 배치된다.In addition, referring to FIG. 7, since a plurality of heating bars 531 positioned on opposite sides of the rectangular substrate 11 form a set and interlock with each other, the donor film 20 may be formed using a set of heating bars 535. In order to pressurize both sides of, the remaining heating bar 537 is a longitudinal amount of the heating bar 535 in order to prevent the set of the heating bar 535 is not interfered by the remaining heating bar 537 It is arranged at a position spaced apart from the end by a predetermined interval.

그리고 1조의 히팅 바(535)는 가열 및 가압하고자 하는 도너 필름(20)의 테두리부에 대응되는 위치로 수평이동한 후 하강하여 도너 필름(20)을 가열 및 가압한다.In addition, the set of heating bars 535 moves horizontally to a position corresponding to the edge of the donor film 20 to be heated and pressed, and then descends to heat and press the donor film 20.

또한, 1조의 히팅 바(535)에 의한 가열 및 가압이 완료된 경우에, 1조의 히팅 바(535)는 상승하고 나머지 히팅 바(537)의 길이방향 양 끝단부로부터 소정 간격 이격된 위치로 수평 이동하고, 나머지 히팅 바(537)는 도너 필름(20)의 테두리부에 대응되는 위치로 수평이동한 후 하강하여 도너 필름(20)의 테두리부를 가열 및 가압하는 동작을 수행한다.In addition, when heating and pressurization by a set of the heating bar 535 is completed, a set of the heating bar 535 is raised and moved horizontally to a position spaced apart from the both ends in the longitudinal direction of the remaining heating bar 537 by a predetermined interval The remaining heating bar 537 moves horizontally to a position corresponding to the edge of the donor film 20 and then descends to heat and press the edge of the donor film 20.

이와 같은, 복수의 히팅 바(531)의 진공 챔버(200) 내부에서 수평이동은 수평 이송부(570)에 의해 수행된다.As such, horizontal movement in the vacuum chamber 200 of the plurality of heating bars 531 is performed by the horizontal transfer unit 570.

본 실시예에서 수평 이송부(570)는, 홀더부(533)에 설치되되 히팅 바(531)의 폭 방향으로 배치된 랙 기어(571)와, 홀더부(533)에 설치되되 랙 기어(571)에 치합하는 피니언 기어(573)를 포함한다. 서보 모터(미도시)의 동력에 의해 랙 기어(571)가 피니언 기어(573)를 따라 이동하면서 히팅 바(531)를 수평이동시킨다.In the present embodiment, the horizontal transfer part 570 is installed in the holder part 533, the rack gear 571 disposed in the width direction of the heating bar 531, and the rack gear 571 is installed in the holder part 533. And a pinion gear 573 meshing with it. The rack gear 571 moves along the pinion gear 573 by the power of a servo motor (not shown), and horizontally moves the heating bar 531.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치 제조용 라미네이터(100)의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the laminator 100 for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention configured as described above is as follows.

먼저, 진공 챔버(200)의 내부로 기판(11) 및 하부 필름(13)을 구비한 기판 모듈(10)이 반입된 경우에 스테이지부(310)를 상승시켜 기판 모듈(10)을 안착한다. 그리고, 접합, 즉 라미네이팅 위치로 기판 모듈(10)을 하강한다.First, when the substrate module 10 having the substrate 11 and the lower film 13 is loaded into the vacuum chamber 200, the stage 310 is raised to seat the substrate module 10. Then, the substrate module 10 is lowered to the bonding, that is, the laminating position.

또한, 도너 필름(20)이 진공 챔버(200)로 반입된 경우에 이송유닛(400)을 이용하여 도너 필름(20)을 스테이지부(310) 상의 기판(11)의 상면에 접하게 배치한다.In addition, when the donor film 20 is carried into the vacuum chamber 200, the donor film 20 is disposed in contact with the upper surface of the substrate 11 on the stage part 310 using the transfer unit 400.

그리고, 도너 필름(20)의 테두리부를 가열 및 가압하여 도너 필름(20)과 하부 필름(13)을 접합하여 기판(11)을 밀봉하고자 하는 경우에, 도 7에서 도시한 바와 같이, 1조의 히팅 바(535)를 수평 이동 및 하강하여 도너 필름(20)의 일측 테두리부를 가열 및 가압한 후 상승 및 수평 이동시키고, 나머지 히팅 바(537)를 수평 이동 및 하강하여 도너 필름(20)의 타측 테두리부를 가열 및 가압한다.In addition, when the edge of the donor film 20 is heated and pressed to bond the donor film 20 and the lower film 13 to seal the substrate 11, as shown in FIG. 7, a set of heating is performed. Horizontally moving and lowering the bar 535 to heat and press one side edge portion of the donor film 20, and then up and horizontally moving the other heating bar 537 to horizontally move and lower the other edge of the donor film 20. The part is heated and pressurized.

이때, 히팅 바(531)에 의한 가열 및 가압은, 도 8에서 도시한 바와 같이, 도너 필름(20) 및 하부 필름(13) 사이에 도포된 접착부재(30)의 상부위치에 해당한다. 이때, 히팅 바(531)는 도너 필름 트레이(25)와 간섭되지 않게 도너 필름(20)을 가압한다.At this time, heating and pressurization by the heating bar 531 corresponds to the upper position of the adhesive member 30 applied between the donor film 20 and the lower film 13, as shown in FIG. At this time, the heating bar 531 presses the donor film 20 so as not to interfere with the donor film tray 25.

이와 같이, 기판(11)을 진공 챔버(200) 내에서 밀봉하는 경우 기판(11)과 도너 필름(20) 사이에 파티클이 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 단순한 가열 및 가압 동작으로 용이하게 기판(11)을 밀봉할 수 있어 라미네이팅 공정에 소요되는 작업시간을 단축할 수 있다.As such, when the substrate 11 is sealed in the vacuum chamber 200, particles may be prevented from flowing between the substrate 11 and the donor film 20, and the substrate 11 may be easily heated by a simple heating and pressing operation. 11) It can be sealed to reduce the working time for laminating process.

그리고, 진공 상태에서 밀봉된 기판(11)을 대기압 상태에서 이송하여, 도 9에서 도시한 바와 같이, 도너 필름(20) 및 하부 필름(13)이 기판(11)에 밀착되도록 한 후 전사공정을 수행한다.Then, the sealed substrate 11 in a vacuum state is transferred at atmospheric pressure, and as shown in FIG. 9, the donor film 20 and the lower film 13 are brought into close contact with the substrate 11, and then the transfer process is performed. To perform.

전술한 실시예에서는 도너 필름(20)이 도너 필름 트레이(25)에 파지된 상태에서 접합, 즉 라미네이팅 공정이 수행되는 것에 대하여 상술하였으나, 도너 필름(20)만이 기판(11)의 상부에 배치되어 접합, 라미네이팅 공정이 수행될 수도 있을 것이다.In the above-described embodiment, the bonding, that is, the laminating process is performed while the donor film 20 is held on the donor film tray 25, but only the donor film 20 is disposed on the substrate 11. Bonding, laminating processes may be performed.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

10: 기판 모듈 20: 도너 필름
30: 접착부재 100: 라미네이터
200: 진공 챔버 300: 스테이지 유닛
310: 스테이지부 330: 제2 승강부
331: 제2 샤프트 부재 333: 제2 LM 가이드부
335: 제2 LM 레일 336: 제2 LM 블록
400: 이송유닛 410: 안착부
430: 제3 승강부 431: 제3 샤프트 부재
433: 제3 LM 가이드부 435: 제3 LM 레일
436: 제3 LM 블록 450: 가이드 블록
500: 히팅 압착유닛 510: 단위 히팅 압착유닛
530: 히팅 모듈 531: 히팅 바
532: 열선 533: 홀더부
550: 제1 승강부 551: 제1 샤프트 부재
553: 제1 LM 가이드부 555: 제1 LM 레일
556: 제1 LM 블록 557: 제1 LM 블록 연결 판넬
570: 수평 이송부10: substrate module 20: donor film
30: adhesive member 100: laminator
200: vacuum chamber 300: stage unit
310: stage unit 330: second lifting unit
331: Second shaft member 333: Second LM guide portion
335: second LM rail 336: second LM block
400: transfer unit 410: seating portion
430: third lifting unit 431: third shaft member
433: third LM guide portion 435: third LM rail
436: third LM block 450: guide block
500: heating pressing unit 510: unit heating pressing unit
530: heating module 531: heating bar
532: heating wire 533: holder portion
550: first lifting portion 551: first shaft member
553: first LM guide portion 555: first LM rail
556: First LM Block 557: First LM Block Connection Panel
570: horizontal feed unit

Claims

A vacuum chamber forming an inner space;
A stage unit provided in the vacuum chamber, the substrate unit having a substrate and a lower film disposed on a bottom surface of the substrate;
A transfer unit provided in the vacuum chamber and disposing a donor film carried into the vacuum chamber on an upper surface of the substrate module; And
And a heating pressing unit provided in the vacuum chamber to heat and press the edge of the donor film to seal the substrate to bond the donor film to the lower film.

The method of claim 1,
The heating pressing unit, a laminator for manufacturing an organic light emitting display device comprising a plurality of unit heating pressing unit for heating and pressing the edge of the donor film independently.

The method of claim 2,
The plurality of unit heating pressing units located on opposite sides of the substrate among the plurality of unit heating pressing units are interlocked with each other in a pair,
The unit heating pressing unit of the set is a laminator for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that for heating and pressing the edge of the donor film at the same time.

The method of claim 2,
Each of the plurality of unit heating pressing unit,
Heating module for heating and pressing the edge of the donor film; And
And a first lifter coupled to the heating module and configured to lift the heating module in a height direction of the vacuum chamber.

5. The method of claim 4,
The heating module includes:
A heating bar that contacts the edge of the donor film to heat and pressurize the donor film; And
A laminator for manufacturing an organic light emitting display device coupled to the heating bar, the holder including a holder supporting the heating bar.

The method of claim 5,
The heating bar,
Laminator for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that the length is formed corresponding to the length of each side of the donor film, the heating wire is embedded in the longitudinal direction.

The method of claim 5,
The first elevating portion includes:
At least one first shaft member coupled to the holder portion and penetrating the vacuum chamber; And
And a first LM guide unit coupled to the first shaft member and configured to elevate the first shaft member in the height direction of the vacuum chamber.

The method of claim 7, wherein
The first LM guide unit,
A first LM rail provided above the vacuum chamber and installed in a height direction of the vacuum chamber; And
And a first LM block provided at an upper portion of the vacuum chamber and having one side coupled to the first shaft member and the other side movably coupled along the first LM rail.

9. The method of claim 8,
The first LM guide unit,
And a first LM block connecting panel connecting at least one of the first LM blocks moved in the same direction and integrally moving the at least one first LM block.

The method of claim 5,
Each of the plurality of unit heating pressing unit,
And a horizontal transfer unit coupled to the heating module to transfer the heating module in a horizontal direction of the vacuum chamber.

The method of claim 10,
The horizontal transfer unit,
A rack gear installed in the holder and disposed in a width direction of the heating bar; And
Laminator for manufacturing an organic light emitting display device installed in the holder portion, comprising a pinion gear meshing with the rack gear.

The method of claim 1,
The stage unit,
A stage unit on which the substrate module is mounted; And
And a second lifter coupled to a lower portion of the stage, the lifter configured to lift the stage in a height direction of the vacuum chamber.

The method of claim 12,
The second elevation portion
At least one second shaft member coupled to a lower portion of the stage and penetrating the vacuum chamber; And
And a second LM guide unit coupled to the second shaft member and configured to elevate the second shaft member in a height direction of the vacuum chamber.

The method of claim 13,
The second LM guide unit,
A second LM rail provided below the vacuum chamber and installed in a height direction of the vacuum chamber; And
And a second LM block provided below the vacuum chamber, the second LM block having one side coupled to the second shaft member and the other coupled to be movable along the second LM rail.

The method of claim 1,
The transfer unit
A mounting portion provided on an outer side of the stage unit, on which the donor film is seated; And
And a third lifter coupled to a lower portion of the seater and configured to lift the seater in a height direction of the vacuum chamber.

16. The method of claim 15,
The third lifting unit,
At least one third shaft member coupled to a lower portion of the seating portion and penetrating the vacuum chamber; And
And a third LM guide unit coupled to the third shaft member and configured to elevate the third shaft member in the height direction of the vacuum chamber.

17. The method of claim 16,
The third LM guide unit,
A third LM rail provided below the vacuum chamber and installed in a height direction of the vacuum chamber; And
And a third LM block provided under the vacuum chamber, wherein one side is coupled to the third shaft member and the other side is movably coupled along the third LM rail.

16. The method of claim 15,
The transfer unit
And a plurality of guide blocks disposed on one side of the seating portion and aligning the donor film and the substrate module.

The method of claim 1,
An adhesive member is applied to the edge of the lower film so that the lower film is adhered to the donor film to seal the substrate.
The adhesive member is a laminator for manufacturing an organic light emitting display device including a thermosetting sealant.