KR101211613B1

KR101211613B1 - 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치

Info

Publication number: KR101211613B1
Application number: KR1020100139252A
Authority: KR
Inventors: 김진노; 이영준; 이승주; 권세진; 이동근
Original assignee: 웅진에너지 주식회사
Priority date: 2010-12-30
Filing date: 2010-12-30
Publication date: 2012-12-12
Anticipated expiration: 2030-12-30
Also published as: KR20120077326A

Abstract

본 발명은 승강되는 와이어와의 체결력을 향상시킨 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛은 승강 및 회전되는 와이어의 단부에 구비되는 체결 볼에 의해 지지되는 상단부와 시드가 결합되는 하단부를 형성하는 시드척 유닛으로서, 상단면에는 상기 와이어가 관통되도록 상방향으로 개구되는 관통공이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 상기 관통공의 하부와 연통되도록 측방향으로 개구되는 설치공이 형성되는 시드척 본체와; 상부가 상기 관통공에 인입되도록 상기 설치공에 배치되고, 내부가 상하로 연통되어 상기 와이어 및 체결 볼이 통과되는 소켓 홀더와; 상기 소켓 홀더의 하부에서 소켓 홀더의 내부로 압입되고, 내부가 상하로 연통되어 상기 와이어가 통과되며, 상기 체결 볼이 몸체의 하부 영역에 단속되는 와이어 소켓과; 상기 시드척 본체의 상부 영역 외주면에 체결되어 상기 설치공을 커버하는 링 홀더를 포함한다.

Description

시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치{Seed chuck unit and Apparatus for growing ingot using the same}

본 발명은 시드척 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 승강되는 와이어와의 체결력을 향상시킨 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 등의 전자부품을 생산하기 위한 소재로 사용되는 실리콘 단결정 잉곳은 쵸크랄스키(Czochralski, 이하 CZ라 함) 법에 의해 제조된다. CZ 법에 의하여 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 방법은, 석영 도가니에 적층된 다결정 실리콘(poly silicon)과 불순물(dopant)을 약 1400℃ 이상에서 용융시켜 실리콘 용액(melt)을 형성하고, 실리콘 단결정 잉곳으로 성장시키는 시드(seed; 종자정)를 시드척(seed chuck)에 장착하여 실리콘 용액의 표면에 디핑(dipping) 시키고, 시드를 따라 성장하는 성장 결정의 직경을 최대한 줄이면서 인상하는 넥킹(necking) 공정과, 성장 결정을 목적하는 결정직경까지 확장시키는 숄더링(shouldering) 공정을 거쳐, 몸체부 성장(body growth) 공정에서 시드를 천천히 인상시켜 실리콘 단결정 잉곳을 원하는 길이로 성장시킨다.

도 1은 일반적인 잉곳 성장 장치의 구조를 보여주는 구성도이고, 도 2a 및 도 2b는 종래의 시드척을 보여주는 사시도 및 단면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 잉곳 성장 장치는, 챔버(2) 내부(핫존 ; hot zone)에 실리콘 용액(M)이 수용되는 석영 도가니(3)와, 상기 석영 도가니(3)의 외주면을 감싸며 석영 도가니(3)를 일정한 형태로 지지하는 도가니 하우징(4)과, 상기 도가니 하우징(4) 하단에 설치되어 하우징(4)과 함께 석영 도가니(3)를 회전시키는 도가니 회전수단(5)과, 상기 도가니 하우징(4)의 측벽으로부터 소정 거리 이격되어 석영 도가니(3)를 가열하는 히터(6)와, 상기 히터(6)로부터 발생되는 열이 외부로 유출되는 것을 방지하는 단열수단(7)과, 실리콘 단결정 잉곳(IG)의 성장 소스인 시드(11)가 결합 고정되고, 고정된 시드(11)를 석영 도가니(3) 내에 수용된 실리콘 용액(M)에 디핑 시키고, 시드(11)로부터 성장하는 실리콘 단결정 잉곳(IG)의 하중을 지탱하는 시드척(10)을 포함한다. 이때 상기 시드척(10)은 승강 및 회전이 가능하도록 구비되는 와이어(8)에 연결된다.

도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 종래의 시드척(10)은 상단면에 와이어가 관통되는 관통공(11)이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 측방으로 개구되는 이 형성되어 상기 관통공(11)을 통하여 설치공(13)으로 인입된 와이어(8)의 단부에 와이어 소켓(20)을 설치할 수 있도록 구비된다. 이렇게 와이어(8)의 단부에 와이어 소켓(20)을 설치함에 따라 와이어 소켓(20)이 상기 관통공(11)에 단속되어 와이어(8)와 시드척(10)이 연결되는 것이다.

이렇게 와이어(8)에 시드척(10)이 연결되면 와이어(8)를 하강시켜 시드척(10)의 하단부에 연결된 시드(15)가 실리콘 용액에 디핑 시킨 다음 와이어(8)를 적절한 속도로 상승시키면서 상기 석영 도가니(3) 및 와이어(8)를 서로 반대 반향으로 회전시킨다. 그러면 잉곳(IG)이 성장된다. 성장이 완료된 잉곳(IG)은 잉곳(IG)의 넥(neck) 부위를 절단하게 되는데, 이때 잉곳(IG)의 하중(대략 100 ~ 200Kg)이 한꺼번에 제거되면서 와이어(8)의 탄성이 상부방향으로 작용하게 되어 시드척(10)이 상부방향으로 튀어 오르게 되고, 이에 따라 시드척(10)과 와이어(8)를 지지하고 있던 와이어 소켓(20)이 와이어(8) 및 시드척(10)에서 분리되고, 이에 따라 와이어(8)와 시드척(10)이 분리되는 현상이 발생되는 문제점이 있었다.

본 발명은 성장이 완료된 잉곳을 시드척 유닛에서 분리할 때 시드척 유닛과 와이어가 분리되는 현상을 방지할 수 있는 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치를 제공한다.

특히, 와이어의 단부에 고정된 체결 볼과 시드척 본체와의 체결력을 향상시킬 수 있는 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치를 제공한다.

또한, 시드척 본체에 형성되는 설치공의 빈공간을 제거하는 센터 블럭을 설치하고, 센터 블럭이 일방향으로 치우쳐서 회전이 편심되는 것을 방지할 수 있는 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치를 제공한다.

본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛은 승강 및 회전되는 와이어의 단부에 구비되는 체결 볼에 의해 지지되는 상단부와 시드가 결합되는 하단부를 형성하는 시드척 유닛으로서, 상단면에는 상기 와이어가 관통되도록 상방향으로 개구되는 관통공이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 상기 관통공의 하부와 연통되도록 측방향으로 개구되는 설치공이 형성되는 시드척 본체와; 상부가 상기 관통공에 인입되도록 상기 설치공에 배치되고, 내부가 상하로 연통되어 상기 와이어 및 체결 볼이 통과되는 소켓 홀더와; 상기 소켓 홀더의 하부에서 소켓 홀더의 내부로 압입되고, 내부가 상하로 연통되어 상기 와이어가 통과되며, 상기 체결 볼이 몸체의 하부 영역에 단속되는 와이어 소켓과; 상기 시드척 본체의 상부 영역 외주면에 체결되어 상기 설치공을 커버하는 링 홀더를 포함한다.

소켓 홀더는 상부 영역의 외경이 상기 관통공의 내경과 같고, 하부 영역의 외경은 상기 관통공의 내경보다 크게 형성되고, 내경은 상기 체결 볼의 직경보다 크며, 적어도 하부 영역의 내경이 하부방향으로 점점 커지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

와이어 소켓은 상부 영역의 외경이 상기 소켓 홀더의 하부 영역의 내경에 대응하여 하부방향으로 점점 커지고, 상부 영역의 내경은 상기 체결 볼의 직경보다 작으며, 하부 영역의 내경은 상기 체결 볼의 직경과 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 와이어 소켓은 상하 방향으로 분할되어 적어도 2개 이상의 분할 몸체로 분리되는 것을 특징으로 한다.

상기 설치공에는 상기 와이어 소켓의 직하부 공간을 채우는 센터 블럭이 구비되는 것을 특징으로 한다.

상기 센터 블럭의 상단면은 상기 와이어 소켓의 하단면에 근접 배치되는 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 도가니가 내부에 구비되는 챔버와; 상기 챔버의 상부에 구비되어 승강 및 회전가능하도록 구비되고, 단부에는 체결 볼이 고정되는 와이어와; 상기 체결 볼에 의해 지지되어 상단부가 상기 와이어에 연결되고, 하단부에는 상기 도가니에 투입 가능하도록 시드가 결합되는 시드척 유닛을 포함하고, 상기 시드척 유닛은 상단면에는 상기 와이어가 관통되도록 상방향으로 개구되는 관통공이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 상기 관통공의 하부와 연통되도록 측방향으로 개구되는 설치공이 형성되며, 하부 영역에 상기 시드가 결합되는 시드척 본체와; 상부가 상기 관통공에 인입되도록 상기 설치공에 배치되는 소켓 홀더와; 상기 소켓 홀더의 하부에서 소켓 홀더의 내부로 압입되는 와이어 소켓과; 상기 시드척 본체의 상부 영역 외주면에 체결되어 상기 설치공을 커버하는 링 홀더를 포함하며, 상기 와이어는 상기 소켓 홀더 및 와이어 소켓의 내부를 순차적으로 통과되고, 상기 체결 볼이 상기 와이어 소켓의 하부 영역에 단속되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 와이어와 시드척 본체와의 체결력을 향상시켜 시드척 본체에서 성장이 완료된 잉곳을 분리할 때 와이어와 시드척 본체가 분리되는 현상을 방지할 수 있다.

또한, 시드척 본체에 형성되는 설치공에 와이어의 단부가 연결된 후 발생되는 빈공간을 채워주는 센터 블럭을 마련하고, 설치공을 커버하는 링 홀더를 구비하여 센터 블럭이 편심되는 것을 방지할 수 있다.

이에 따라 시드척과 와이어의 체결력을 향상시키는 동시에 잉곳 성장시 시드척 본체의 회전이 편심되는 것을 방지할 수 있기 때문에 작업의 안전성을 향상시키면서 잉곳의 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 일반적인 잉곳 성장 장치의 구조를 보여주는 구성도이고,
도 2a 및 도 2b는 종래의 시드척을 보여주는 사시도 및 단면도이며,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛을 보여주는 사시도이고,
도 4a 및 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛을 보여주는 분해 사시도이며,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛을 보여주는 단면도이고,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 잉곳 성장 장치를 보여주는 구성도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛을 보여주는 사시도이고, 도 4a 및 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛을 보여주는 분해 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛을 보여주는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 잉곳 성장 장치를 보여주는 구성도이다.

먼저, 본 발명의 일실시예에 따른 시드척 유닛 및 이를 이용한 잉곳 성장 장치는 단결정 잉곳을 성장시켜 생산하기 위한 장치로서, 다양한 종류의 단결정 잉곳을 생산할 수 있을 것이다. 본 실시예에서는 실리콘 용액을 이용하여 실리콘 단결정 잉곳을 성장시켜 생산하는 장치를 예로 하여 설명하도록 한다.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 잉곳 성장 장치는 실리콘 용액(M)이 수용되는 도가니(110)가 내부에 구비되는 챔버(100)와; 상기 챔버(100)의 상부에 구비되어 승강 및 회전가능하도록 구비되고, 단부에는 체결 볼(210)이 고정되는 와이어(200)와; 상기 체결 볼(210)에 의해 지지되어 상단부가 상기 와이어(200)에 연결되고, 하단부에는 상기 실리콘 용액(M)에 디핑되어 잉곳을 성장시키는 시드(301)가 결합되는 시드척 유닛(300)을 포함한다.

상기 챔버(100)는 실리콘 용액(M)을 생성시키는 수단으로서, 챔버(100)의 내부에는 실리콘 용액(M)을 생성 및 수용하는 도가니(110)와, 상기 도가니(110)의 외주면을 감싸며 도가니(110)를 일정한 형태로 지지하는 도가니 하우징(120)과, 상기 도가니 하우징(120) 하단에 설치되어 도가니 하우징(120)과 함께 도가니(110)를 회전시키는 도가니 회전수단(130)과, 상기 도가니 하우징(120)의 측벽으로부터 소정 거리 이격되어 석영 도가니(110)를 가열하는 히터(140)와, 상기 히터(140)로부터 발생되는 열이 외부로 유출되는 것을 방지하는 단열수단(150)이 구비된다.

상기 챔버(100)의 구성은 제시된 실시예에 한정되지 않고, 실리콘 용액(M)을 생성하여 수용할 수 있는 수단이라면 어떠한 방식으로 구현되어도 무방하다.

상기 와이어(200)는 상기 시드척 유닛(300)을 승강시키면서 상기 도가니(110)의 회전방향과 반대방향으로 회전시키는 수단으로서, 도면에 도시되어 있지는 않지만 와이어(200)를 승강시키면서 회전시키는 승강 수단(미도시) 및 회전 수단(미도시)에 연결된다. 이때 상기 와이어(200)의 단부에는 상기 시드척 유닛(300)과의 연결을 위한 체결 볼(210)이 고정된다.

상기 시드척 유닛(300)은 상기 체결 볼(210)에 의해 상기 와이어(200)에 지지되어 와이어(200)의 승강에 의해 상기 도가니(110)에 수용된 실리콘 용액(M)에 디핑된 다음 상승되면서 잉곳(IG)을 성장시키는 수단이다.

상기 시드척 유닛(300)은 크게 시드척 본체(310), 소켓 홀더(320), 와이어 소켓(330), 링 홀더(340) 및 센터 블럭(350)으로 구성된다.

상기 시드척 본체(310)는 상부가 상기 와이어(200)에 연결되고 하부에는 시드(301)가 연결되는 수단으로서, 상기 시드척 본체(310)는 대략 상하로 긴 원기둥 형상을 갖는다.

상기 시드척 본체(310)의 상단면에는 상기 와이어(200)가 관통되도록 상방향으로 개구되는 관통공(311)이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 상기 관통공(311)의 하부와 연통되도록 측방향으로 개구되는 설치공(313)이 형성된다. 상기 설치공(313)은 일측 측방향으로 개구되거나 양측 측방향으로 개구될 수 있다. 본 실시예에서는 양측 측방향으로 개구되는 것을 예로 하여 설명하였다.

또한, 상기 시드척 본체(310)의 상부 영역 외주면에는 상기 링 홀더(340)가 체결되도록 단턱부(315)가 형성되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 시드척 본체(310)의 하부에는 시드(301)가 연결되는 시드 연결부(317)가 구비된다.

상기 시드 연결부(317)는 시드를 연결할 수 있다면 어떠한 방식으로 구현되어도 무방하다. 예를 들어 시드(301)가 시드 연결부(317)로 삽입되어 고정되도록 구현할 수 있다.

상기 소켓 홀더(320)는 상부가 상기 관통공(311)에 인입되도록 상기 설치공(313)에 배치되어, 상기 와이어(200) 및 체결 볼(210)이 통과되고, 상기 와이어 소켓(330)을 단속하는 수단으로서, 대략 파이프 형상으로 형성된다.

특히, 상기 소켓 홀더(320)는 상부 영역의 외경이 상기 관통공(311)의 내경과 같고, 하부 영역의 외경은 상기 관통공(311)의 내경보다 크게 형성되어 상기 소켓 홀더(320)의 하부 영역이 상기 관통공(311)에 단속되도록 이루어진다. 그리고, 상기 소켓 홀더(320)의 내경은 상기 체결 볼(210)의 직경보다 크게 형성되고, 적어도 하부 영역의 내경이 하부방향으로 점점 커지도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기 와이어 소켓(330)은 상기 소켓 홀더(320)를 통과하여 인입된 와이어(200)가 통과된 상태로 상기 체결 볼(210)이 단속되어 상기 소켓 홀더(320)에 압입되는 수단으로서, 대략 절두된 원추(cone)형상으로 이루어지고, 내부는 상하로 관통되는 형상을 갖는다.

특히, 상기 와이어 소켓(330)은 상부 영역의 외경이 상기 소켓 홀더(320)의 하부 영역의 내경에 대응하여 하부방향으로 점점 커지고, 상부 영역의 내경은 상기 체결 볼(210)의 직경보다 작으며, 하부 영역의 내경은 상기 체결 볼(210)의 직경과 같거나 크게 형성된다. 그래서, 상기 와이어 소켓(330)의 외주면이 상기 소켓 홀더(320)의 하부 영역의 내부로 인입된 다음, 와이어(200)가 당겨지면 그 힘에 의해 와이어 소켓(330)이 소켓 홀더(320)에 압입되어 고정되도록 한다.

이때 상기 와이어 소켓(330)은 도 4b에 도시된 바와 같이 상하 방향으로 분할되어 적어도 2개 이상의 분할 몸체(330a, 330b)로 분리되는 것이 바람직하다. 그래서 와이어 소켓(330)이 소켓 홀더(320)에 충분히 압입될 수 있도록 한다. 또한, 와이어(200)의 단부에 고정된 체결 볼(210)이 와이어 소켓(330)의 하부 영역에 고정된 상태로 상부 영역으로 빠져나가지 않도록 단속한다.

상기 링 홀더(340)는 상기 시드척 본체(310)의 상부 영역 외주면에 체결되어 상기 설치공(313)을 커버하는 수단으로서, 대략 파이프 형상으로 형성된다. 그래서 상기 시드척 본체(310)의 단턱부(315)에 끼워져서 상기 시드척 본체(310)의 측면으로 개구된 설치공(313)을 커버한다. 이렇게 링 홀더(340)에 의해 설치공(313)이 커버됨에 따라 설치공(313) 내부에 배치되는 소켓 홀더(320), 와이어 소켓(330) 및 센터 블럭(350)이 설치공(313)에서 이탈되는 것을 방지한다.

상기 링 홀더(340)는 상기 설치공(313)을 커버할 수 있다면 어떠한 형상으로 구비되어도 무방하다.

상기 센터 블럭(350)은 상기 설치공(313)에 설치되어 상기 와이어 소켓(330)의 직하부에 형성되는 빈공간을 채워주는 수단으로서, 상기 센터 블럭(350)은 소정의 중량을 유지하면서 중심점을 기준으로 양측이 대칭되도록 형성되는 것이 바람직하다. 그래서 시드척 본체(310)가 회전될 때 편심되어 회전되는 것을 방지한다.

상기 센터 블럭(350)은 상기 설치공(313)의 내부 형상에 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 특히, 상기 센터 블럭(350)의 상단면은 상기 와이어 소켓(330)의 하단면에 근접 배치되도록 하여 상기 시드척 유닛(300)에서 성장이 완료된 잉곳(IG)이 분리될 때 상기 와이어(200)에 발생되는 탄성력에 의해 상기 와이어 소켓(330)이 움직일 수 있는 공간을 제한하여 와이어 소켓(330)이 소켓 홀더(320)에서 분리되는 것을 방지한다.

상기와 같이 구성되는 시드척 유닛을 와이어에 체결하는 방법을 설명한다.

먼저, 시드척 본체(310)의 설치공(313)에 소켓 홀더(320)를 고정시킨다. 그리고 와이어(200)의 단부, 즉 체결 볼(210)을 소켓 홀더(320)를 관통하여 시드척 본체(310)의 설치공(313)으로 진입시킨다. 그리고 설치공(313)의 측면 개구부를 통하여 시드척 본체(310)의 외부로 와이어(200) 및 체결 볼(210)을 꺼낸다.

그런 다음, 와이어(200)의 단부에 와이어 소켓(330)을 체결한다. 이때 분리된 분할 몸체(330a, 330b) 사이에 와이어(200) 및 체결 볼(210)을 배치하고, 분할 몸체(330a, 330b)가 서로 접하도록 맞된다. 그래서 와이어 소켓(330)의 상부로 와이어(200)가 관통되면서 내부에 체결 볼(210)이 고정되도록 한다.

이렇게 와이어(200)의 단부에 와이어 소켓(330)이 체결되었다면, 와이어(200)를 당겨서 와이어 소켓(330)이 소켓 홀더(320)에 압입되어 고정되도록 한다. 그런 다음 설치공(313)의 측면 개구부를 통하여 센터 블럭(350)을 설치공(313)으로 진입시킨 다음 링 홀더(340)를 체결하여 설치공(313)을 커버한다.

상기와 같이 구비된 시드척 유닛(300)은 와이어(200)에 연결되어 잉곳(IG)의 성장을 위하여 도가니(110)에 수용된 실리콘 용액(M)에 디핑된 다음 와이어(200)의 승강에 의해 상승된다. 이때 와이어(200) 및 도가니(110)는 서로 반대 방향으로 회전된다. 잉곳(IG)의 성장이 완료된 다음에는 잉곳(IG)을 시드척 유닛(300)에서 분리시키는데, 이때 와이어(200)의 탄성에 의해 시드척 유닛(300)이 상부 방향으로 뛰어오르더라도 와이어(200)의 단부가 고정된 와이어 소켓(330)과 시드척 본체(310)에 고정된 소켓 홀더(320)가 압입에 의해 견고하게 체결되어 있고, 센터 블럭(350)에 의해 와이어 소켓(330)이 움직일 수 있는 공간이 제한되기 때문에 와이어 소켓(330)과 소켓 홀더(320)가 분리되는 것이 방지된다.

본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.

100: 챔버 110: 도가니
200: 와이어 210: 체결 볼
300: 시드척 유닛 310: 시드척 본체
311: 관통공 313: 설치공
315: 단턱부 317: 시드 연결부
320: 소켓 홀더 330: 와이어 소켓
340: 링 홀더 350: 센터 블럭

Claims

승강 및 회전되는 와이어의 단부에 구비되는 체결 볼에 의해 지지되는 상단부와 시드가 결합되는 하단부를 형성하는 시드척 유닛으로서,
상단면에는 상기 와이어가 관통되도록 상방향으로 개구되는 관통공이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 상기 관통공의 하부와 연통되도록 측방향으로 개구되는 설치공이 형성되는 시드척 본체와;
상부가 상기 관통공에 인입되도록 상기 설치공에 배치되고, 내부가 상하로 연통되어 상기 와이어 및 체결 볼이 통과되는 소켓 홀더와;
상기 소켓 홀더의 하부에서 소켓 홀더의 내부로 압입되고, 내부가 상하로 연통되어 상기 와이어가 통과되며, 상기 체결 볼이 몸체의 하부 영역에 단속되는 와이어 소켓과;
상기 시드척 본체의 상부 영역 외주면에 체결되어 상기 설치공을 커버하는 링 홀더를 포함하는 시드척 유닛.
청구항 1에 있어서,
소켓 홀더는 상부 영역의 외경이 상기 관통공의 내경과 같고, 하부 영역의 외경은 상기 관통공의 내경보다 크게 형성되고, 내경은 상기 체결 볼의 직경보다 크며, 적어도 하부 영역의 내경이 하부방향으로 점점 커지도록 형성되는 시드척 유닛.
청구항 1에 있어서,
와이어 소켓은 상부 영역의 외경이 상기 소켓 홀더의 하부 영역의 내경에 대응하여 하부방향으로 점점 커지고, 상부 영역의 내경은 상기 체결 볼의 직경보다 작으며, 하부 영역의 내경은 상기 체결 볼의 직경과 같거나 크게 형성되는 시드척 유닛.
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 와이어 소켓은 상하 방향으로 분할되어 적어도 2개 이상의 분할 몸체로 분리되는 시드척 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 설치공에는 상기 와이어 소켓의 직하부 공간을 채우는 센터 블럭이 구비되는 시드척 유닛.
청구항 5에 있어서,
상기 센터 블럭의 상단면은 상기 와이어 소켓의 하단면에 근접 배치되는 시드척 유닛.
단결정 잉곳을 성장시키는 장치로서,
도가니가 내부에 구비되는 챔버와;
상기 챔버의 상부에 구비되어 승강 및 회전가능하도록 구비되고, 단부에는 체결 볼이 고정되는 와이어와;
상기 체결 볼에 의해 지지되어 상단부가 상기 와이어에 연결되고, 하단부에는 상기 도가니에 투입 가능하도록 시드가 결합되는 시드척 유닛을 포함하고,
상기 시드척 유닛은 상단면에는 상기 와이어가 관통되도록 상방향으로 개구되는 관통공이 형성되고, 상부 영역의 측면에는 상기 관통공의 하부와 연통되도록 측방향으로 개구되는 설치공이 형성되며, 하부 영역에 상기 시드가 결합되는 시드척 본체와; 상부가 상기 관통공에 인입되도록 상기 설치공에 배치되는 소켓 홀더와; 상기 소켓 홀더의 하부에서 소켓 홀더의 내부로 압입되는 와이어 소켓과; 상기 시드척 본체의 상부 영역 외주면에 체결되어 상기 설치공을 커버하는 링 홀더를 포함하며,
상기 와이어는 상기 소켓 홀더 및 와이어 소켓의 내부를 순차적으로 통과되고, 상기 체결 볼이 상기 와이어 소켓의 하부 영역에 단속되는 잉곳 성장 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 설치공에는 상기 와이어 소켓의 직하부 공간을 채우는 센터 블럭이 구비되는 잉곳 성장 장치.