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KR101179961B1 - Vacuum heat treatment furnace - Google Patents

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KR101179961B1
KR101179961B1 KR1020120063274A KR20120063274A KR101179961B1 KR 101179961 B1 KR101179961 B1 KR 101179961B1 KR 1020120063274 A KR1020120063274 A KR 1020120063274A KR 20120063274 A KR20120063274 A KR 20120063274A KR 101179961 B1 KR101179961 B1 KR 101179961B1
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KR
South Korea
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door
chamber
pressure
heat treatment
pivot shaft
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KR1020120063274A
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문유진
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문유진
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: A vacuum heat treatment furnace is provided to improve airtight seal in vacuum and compression processes by employing a deformation correcting member to correct deformation or drooping. CONSTITUTION: A vacuum heat treatment furnace comprises a chamber(110) providing a space for heat treating an object, a door(120) opening and closing the opening of the chamber, a pivot shaft(130) connected to the door to form the rotational center axis of the door, and a door support(140) connecting the door and the pivot shaft. A bearing is embedded in the pivot shaft to help smooth rotation of the door. A door deformation correcting member is provided in a door connecting part of the door support to correct deformation or drooping of the door.

Description

진공 열처리로{Vacuum heat treatment furnace}Vacuum heat treatment furnace

본 발명은, 진공 열처리로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 간단하고도 효율적인 구조를 가질 뿐만 아니라 챔버에 대하여 도어를 적은 힘으로 용이하게 개폐할 수 있고 변형처짐 보정부재를 이용하여 사용중의 변형이나 자중에 의한 처짐을 보정하여, 종래의 열처리로보다 사용상의 편의성과 진공 및 가압 기밀성이 대폭 증대될 수 있는 진공 열처리로에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum heat treatment furnace, and more particularly, not only has a simple and efficient structure, but also can easily open and close the door with respect to the chamber with a small force, The present invention relates to a vacuum heat treatment furnace capable of correcting sag caused by self weight and greatly increasing the convenience of use and vacuum and pressure tightness than conventional heat treatment furnaces.

열처리로는 처리대상물(금속, 비철금속 등)을 적당한 온도 및 진공분위기 하에서 가열하고, 고압의 냉각가스로 일정 단계를 거쳐 냉각하여 재료의 특성을 향상하거나 브레이징 등 용접을 실시하는 로를 총칭한다.The heat treatment furnace is a general term for a furnace that heats an object to be treated (metal, nonferrous metal, etc.) under an appropriate temperature and vacuum atmosphere, and cools it with a high-pressure cooling gas through a predetermined step to improve the properties of the material or perform welding such as brazing.

소둔로가 대표적인 열처리로이며, 이 외에도 연속식, 배치식, 무산화 연소식, 진공 열처리로 등이 있다.The annealing furnace is a typical heat treatment furnace, and there are continuous, batch, non-oxidation combustion, and vacuum heat treatment furnaces.

이중에서 진공 열처리로는 처리대상물을 챔버 내에 넣고 열처리하여 원하는 물질을 형성하는 장치인데, 특히 진공 상태에서 열처리를 수행하기 때문에 주위로부터의 오염이 상대적으로 적고, 브레이징 용접시 결합부에 용재의 침투가 균일하게 이루어져 접합성을 향상시키는 장점이 있다.Among them, the vacuum heat treatment furnace is a device that forms a desired material by placing the object in a chamber and performing heat treatment. In particular, since the heat treatment is performed in a vacuum state, contamination from the surroundings is relatively low, and penetration of the solvent into the joint part during brazing welding is relatively low. It is made uniform and there is an advantage of improving the bonding.

다만, 이러한 진공 열처리로의 경우, 챔버의 내부가 고진공 상태를 유지해야하고, 질소 등 가압된 냉각가스를 고압 상태로 유지해야 하기 때문에 챔버의 개구를 개폐하는 도어 역시 중량이 많이 나가는 거대한 구조물로 적용되는 것이 일반적인데, 이러한 도어가 적용될 때 만약 도어의 개폐에 많은 힘이 소요된다면 사용상의 편의성이 현저하게 저하될 수 있고, 진공이나 가압에 의한 사용중의 변형이나 자중에 의한 처짐을 보정할 수 없다면 기밀성이 저하되어 열처리 제품의 생산성이 현저하게 저하될 수 있으므로 이러한 사항을 감안한 구조 개선이 요구된다.
However, in the case of such a vacuum heat treatment furnace, the interior of the chamber must maintain a high vacuum state, and the pressurized cooling gas such as nitrogen must be maintained at a high pressure state, so the door for opening and closing the opening of the chamber is also applied as a heavy structure with a heavy weight. When such a door is applied, if a large amount of force is required to open and close the door, the ease of use may be remarkably degraded, and the airtightness may not be compensated for during deformation or sag caused by self-weight due to vacuum or pressure. Since this may lower the productivity of the heat treated product significantly, a structural improvement in view of such a problem is required.

US2003/0160088 A1US2003 / 0160088 A1 US2002/0195439 A1US2002 / 0195439 A1 US 6349108 B1US 6349108 B1 JP 2002-005575 AJP 2002-005575 A

본 발명의 목적은, 간단하고도 효율적인 구조를 가질 뿐만 아니라 챔버에 대하여 도어를 적은 힘으로 용이하게 개폐할 수 있고, 변형처짐 보정부재를 이용하여 사용중의 변형이나 자중에 의한 처짐을 보정하여, 종래의 열처리로보다 사용상의 편의성과 진공 및 가압 기밀성이 대폭 증대될 수 있는 진공 열처리로를 제공하는 것이다.
The object of the present invention is not only to have a simple and efficient structure, but also to easily open and close the door with respect to the chamber with a small force, and to correct the deflection caused by deformation or self-weight in use by using the deflection deflection correction member, It is to provide a vacuum heat treatment furnace that can greatly increase the ease of use and vacuum and pressure tightness than the heat treatment furnace of.

상기 목적은, 처리대상물이 열처리되는 장소를 형성하며, 일측에 상기 처리대상물에 대한 출입개구가 형성되는 챔버; 상기 챔버의 출입개구를 회동 개폐하는 도어; 상기 도어에 연결되어 상기 도어의 회전 축심을 형성하는 피봇 샤프트; 및 상기 도어와 상기 피봇 샤프트를 연결하는 도어 지지체를 포함하며, 상기 피봇 샤프트에는 상기 도어의 원활한 회전을 위한 베어링이 내장되는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로에 의해 달성된다.The object of the present invention is to form a place where the treatment object is heat-treated, the chamber is formed on one side of the entrance to the treatment object; A door that pivotally opens and closes the entrance and exit of the chamber; A pivot shaft connected to the door to form a center of rotation of the door; And a door support connecting the door and the pivot shaft, wherein the pivot shaft includes a bearing for smooth rotation of the door.

상기 도어 지지체는, 일단부는 상기 피봇 샤프트에 회전 가능하게 결합되고 타단부는 상기 도어 측에 결합되는 아암; 상기 아암의 단부 영역에 마련되는 손잡이; 및 상기 도어의 중앙 영역에서 상기 아암과 상기 도어를 연결하는 도어 연결부를 포함할 수 있다.The door support may include an arm having one end rotatably coupled to the pivot shaft and the other end coupled to the door side; A handle provided in an end region of the arm; And a door connection part connecting the arm and the door in a central area of the door.

상기 도어 연결부 영역에는 상기 도어의 사용중 변형이나 자중에 의한 처짐을 보정하는 도어 변형처짐 보정부재가 더 마련될 수 있다.The door connection area may further include a door deformation deflection correction member for correcting deflection due to deformation or self weight during use of the door.

상기 도어 변형처짐 보정부재는 상기 도어 연결부의 둘레 방향을 따라 다수 개 배치되고 상기 챔버에 상기 도어가 결합되는 방향을 따라 수직되게 배치되는 볼트일 수 있다.The door deformation deflection correction member may be a bolt disposed in a plurality in the circumferential direction of the door connecting portion and vertically disposed in the direction in which the door is coupled to the chamber.

상기 도어가 완전히 개방된 상태에서 상기 도어를 고정시키는 도어 고정부를 더 포함할 수 있다.The door fixing unit may further include a door fixing unit configured to fix the door in a completely open state.

상기 도어 고정부는, 상기 챔버와 상기 피봇 샤프트 중 어느 하나에 마련되는 마그네트; 및 상기 챔버와 상기 피봇 샤프트 중 다른 하나에 마련되어 상기 마그네트와 자기적으로 결합 또는 결합 해제되는 스토퍼용 플랜지를 포함할 수 있다.The door fixing unit, a magnet provided in any one of the chamber and the pivot shaft; And a stopper flange provided in the other one of the chamber and the pivot shaft to be magnetically coupled or decoupled with the magnet.

상기 챔버의 출입개구 영역에는 상기 도어와의 기밀유지를 위해 이중 패킹부재가 마련될 수 있다.A double packing member may be provided at the entrance / opening area of the chamber to maintain airtightness with the door.

상기 챔버에 마련되는 전극; 및 상기 전극이 중심부에 직접 냉각수를 공급하는 전극용 냉각수 공급유닛을 더 포함할 수 있다.An electrode provided in the chamber; And an electrode cooling water supply unit for supplying cooling water directly to the center of the electrode.

상기 챔버의 외측에 마련되어 상기 챔버를 냉각시키는 외장형 쿨러(HOT EXHAUST)를 더 포함할 수 있다.It may further include an external cooler (HOT EXHAUST) provided on the outside of the chamber to cool the chamber.

상기 외장형 쿨러는 다수 개 마련되며, 상기 다수의 외장형 쿨러는 쿨링 배관에 의해 상호간 연결되며, 상기 쿨링 배관의 일측에는 블러워가 마련될 수 있다.A plurality of external coolers may be provided, and the plurality of external coolers may be connected to each other by a cooling pipe, and a blower may be provided at one side of the cooling pipe.

상기 챔버 내의 압력을 감지할 수 있는 압력센서; 및 챔버 내의 압력을 측정하는 전기 접점식 압력계; 및 상기 챔버 내의 압력이 설정된 압력 한계치에 도달하기 전에 압력을 온오프로 조절할 수 있는 컨트롤 밸브; 및 상기 챔버 내의 압력이 설정된 한계치에 도달했을 때 작동하는 릴리프 밸브를 더 포함할 수 있다.
A pressure sensor capable of sensing a pressure in the chamber; And an electrical contact pressure gauge measuring the pressure in the chamber; And a control valve capable of adjusting the pressure on and off before the pressure in the chamber reaches a set pressure limit. And a relief valve that operates when the pressure in the chamber reaches a set threshold.

본 발명에 따르면, 간단하고도 효율적인 구조를 가질 뿐만 아니라 챔버에 대하여 도어를 적은 힘으로 용이하게 개폐할 수 있어, 종래의 열처리로보다 사용상의 편의성이 대폭 증대될 수 있고, 변형처짐 보정부재를 이용하여 진공이나 가압에 의한 사용중의 변형이나 자중에 의한 처짐을 보정할 수 있어, 진공시 및 가압시 기밀성 개선에 의한 열처리 효율을 향상하여, 종래의 열처리로보다 제품의 생산성이 대폭 증대될 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, not only has a simple and efficient structure, but also can easily open and close the door with respect to the chamber, so that the ease of use can be greatly increased than the conventional heat treatment furnace, and the deformation deflection correction member is used. It is possible to correct deformation during use or deflection caused by self-weight due to vacuum or pressurization, thereby improving heat treatment efficiency by improving airtightness during vacuum and pressurization, thereby significantly increasing the productivity of the product than conventional heat treatment furnaces. There is.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 열처리로의 측면 구조도이다.
도 2는 도어 영역의 이미지이다.
도 3은 도어 고정부 영역의 이미지이다.
도 4는 이중 패킹부재 영역의 이미지이다.
도 5는 도 1에서 도어 영역의 정면 구조도이다.
도 6은 도 1의 부분 평면도이다.
도 7은 챔버내의 압력을 조절하기 위한 압력조절 유닛의 부분 구조도이다.
도 8은 릴리프 밸브가 설치된 압력조절 유닛의 부분 구조도이다.
도 9는 전극용 냉각수 공급유닛의 부분 구조도이다.
1 is a side structural view of a vacuum heat treatment furnace according to an embodiment of the present invention.
2 is an image of a door area.
3 is an image of a door fixing area.
4 is an image of a double packing member region.
5 is a front structural view of the door area in FIG.
6 is a partial plan view of FIG. 1.
7 is a partial structural diagram of a pressure regulating unit for regulating pressure in a chamber.
8 is a partial structural diagram of a pressure regulating unit provided with a relief valve.
9 is a partial structural diagram of a cooling water supply unit for an electrode.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 열처리로의 측면 구조도, 도 2는 도어 영역의 이미지, 도 3은 도어 고정부 영역의 이미지, 도 4는 이중 패킹부재 영역의 이미지, 도 5는 도 1에서 도어 영역의 정면 구조도, 도 6은 도 1의 부분 평면도, 그리고 도 7은 챔버내의 압력을 조절하기 위한 압력조절 유닛의 부분 구조도, 도 8은 릴리프 밸브가 설치된 압력조절 유닛의 부분 구조도, 도 9는 전극용 냉각수 공급유닛의 부분 구조도이다.1 is a side structural view of a vacuum heat treatment furnace according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an image of a door area, FIG. 3 is an image of a door fixing part area, FIG. 4 is an image of a double packing member area, and FIG. FIG. 1 is a front structural view of the door region, FIG. 6 is a partial plan view of FIG. 1, and FIG. 7 is a partial structural view of a pressure regulating unit for regulating pressure in the chamber, and FIG. 8 is a part of a pressure regulating unit provided with a relief valve. 9 is a partial structural diagram of a cooling water supply unit for electrodes.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 열처리로는, 챔버(110)와, 챔버(110)의 출입개구를 회동 개폐하는 도어(120)와, 도어(120)에 연결되어 도어(120)의 회전 축심을 형성하는 피봇 샤프트(130)와, 도어(120)와 피봇 샤프트(130)를 연결하는 도어 지지체(140)를 포함한다.As shown in these figures, the vacuum heat treatment furnace according to the present embodiment, the chamber 110, the door 120 for opening and closing the opening and closing of the chamber 110, and the door 120 is connected to the door ( A pivot shaft 130 forming a rotation axis of the 120 and a door support 140 connecting the door 120 and the pivot shaft 130 are included.

챔버(110)는 금속 재질로 된 일종의 탱크(tank)로서 처리대상물이 열처리되는 장소를 형성한다.The chamber 110 is a kind of tank made of metal and forms a place where the object to be treated is heat treated.

종래와 달리 본 실시예의 챔버(110)는 1200mm에서 1550mm로 연장된 대형 구조물을 이룬다. 따라서 단위시간당 처리대상물의 열처리 수율을 종래보다 월등하게 향상시킬 수 있다.Unlike the conventional chamber 110 of the present embodiment forms a large structure extending from 1200mm to 1550mm. Therefore, the heat treatment yield of the object to be treated per unit time can be significantly improved than in the prior art.

또한 챔버(110) 내에서의 처리대상물에 대한 열처리 프로세스가 종래와 달리 예컨대, 8 단계의 온도와 시간을 거침으로써 열처리 시간을 현격하게 단축시킬 수 있도록 하고 있다.In addition, the heat treatment process for the object to be processed in the chamber 110, unlike the prior art, for example, by going through a temperature and time of eight steps, it is possible to significantly shorten the heat treatment time.

챔버(110)의 일측에는 챔버 내의 압력을 감지할 수 있는 압력센서(151), 챔버 내의 압력을 측정하는 전기 접점식 압력계(152), 챔버 내의 압력이 설정된 한계치에 도달하기 전에 압력을 온오프로 조절할 수 있는 컨트롤 밸브 및 챔버 내의 압력이 설정된 한계치 이상일 때 작동하는 릴리프 밸브(153)와 컨트롤 밸브의 작동시, 경고신호를 발생시키는 경고 램프(미도시)가 더 마련될 수 있다.On one side of the chamber 110 is a pressure sensor 151 that can sense the pressure in the chamber, an electrical contact pressure gauge 152 that measures the pressure in the chamber, the pressure is turned on and off before the pressure in the chamber reaches a set threshold An adjustable control valve and a relief valve 153 which operates when the pressure in the chamber is above a set threshold and a warning lamp (not shown) for generating a warning signal when the control valve is operated may be further provided.

도어(120)가 맞닿는 챔버(110)의 일측에는 처리대상물에 대한 출입개구가 형성된다. 도어(120)가 개방된 후, 챔버(110)의 출입개구를 통해 처리대상물이 챔버(110) 내로 들어올 수 있다.One side of the chamber 110 in which the door 120 abuts is formed in the entrance opening for the processing object. After the door 120 is opened, the object to be processed may enter the chamber 110 through the entrance and exit of the chamber 110.

참고로, 처리대상물은 금속 또는 비철금속일 수 있으며, 챔버(110) 내에서 적당한 온도 및 진공분위기 하에서 가열 또는 냉각됨으로써 재료의 특성이 향상될 수 있고 브레이징 등 용접이 이루어질 수 있다.For reference, the object to be treated may be a metal or a non-ferrous metal, and the characteristics of the material may be improved by welding or heating under appropriate temperature and vacuum atmosphere in the chamber 110, and welding may be performed.

챔버(110)의 출입개구 영역에는 도 4에 도시된 바와 같이, 도어(120)와의 기밀유지를 위해 이중 패킹부재(111, 112)가 마련된다. 종래에는 하나의 패킹부재 만이 사용되어 왔으나 본 발명에서는 진공시 및 가압시 기밀성 개선을 위하여 이중 패킹부재(111, 112)가 사용되었다. 이중 패킹부재(111, 112)는 동일한 것이 사용될 수도 있고, 서로 다른 사이즈와 단면의 것이 사용될 수 있는데, 원형 패킹부재(111)와 진공시 및 가압시 플로팅 되면서 가변적으로 기밀성을 유지할 수 있는 플로팅 패킹부재(112)의 사용이 바람직하다.As shown in FIG. 4, double packing members 111 and 112 are provided in the opening and closing area of the chamber 110 to maintain airtightness with the door 120. Conventionally, only one packing member has been used, but in the present invention, double packing members 111 and 112 are used to improve airtightness during vacuum and pressurization. The double packing members 111 and 112 may be the same, or different sizes and cross-sections may be used. The double packing members 111 and 112 may float with the circular packing member 111 and may float while being vacuumed and pressurized. The use of 112 is preferred.

이러한 이중 패킹부재(111)는 도어(120)가 닫히고 챔버(110)의 내부가 진공상태로 될 때나 질소 등 냉각 가스가 주입되면서 가압될 때, 모두 기밀성을 향상시킨다.The double packing member 111 improves airtightness when both the door 120 is closed and the chamber 110 is pressurized when the inside of the chamber 110 is in a vacuum state or when a cooling gas such as nitrogen is injected.

도어(120)는 챔버(110)의 출입개구를 회동 개폐한다. 챔버(110)의 내부가 고진공을 유지고 고압을 유지할 수 있기 때문에 도어(120)는 거대한 구조물로 마련될 수 있다.The door 120 pivotally opens and closes the entrance and exit of the chamber 110. Since the inside of the chamber 110 can maintain high vacuum and maintain high pressure, the door 120 may be provided in a huge structure.

피봇 샤프트(130)는 도어(120)에 연결되어 도어(120)의 회전 축심을 형성하는 구조체로서 상하 방향을 따라 길게 배치된다.The pivot shaft 130 is a structure that is connected to the door 120 to form the axis of rotation of the door 120 is disposed long along the vertical direction.

이러한 피봇 샤프트(130)의 내부에는 도어(120)의 원활한 회전을 위한 베어링(미도시)이 내장된다. 베어링은 볼 베어링으로부터 구름 베어링에 이르기까지 다양할 수 있으며, 피봇 샤프트(130)의 내부에 한 개 혹은 두 개 이상 배치됨으로써 도어(120)의 원활한 회전을 유도한다. 따라서 종래보다 적은 힘으로도 도어(120)를 원활하게 회전시킬 수 있다.A bearing (not shown) for smooth rotation of the door 120 is embedded in the pivot shaft 130. The bearings may vary from ball bearings to rolling bearings, and one or two or more bearings may be disposed inside the pivot shaft 130 to induce smooth rotation of the door 120. Therefore, the door 120 may be smoothly rotated with less force than before.

도어 지지체(140)는 도어(120)와 피봇 샤프트(130)를 연결하는 구조물로서, 거대한 구조물인 도어(120)를 피봇 샤프트(130)에 연결시키는 역할을 한다.The door support 140 is a structure connecting the door 120 and the pivot shaft 130, and serves to connect the door 120, which is a huge structure, to the pivot shaft 130.

이러한 도어 지지체(140)는 일단부는 피봇 샤프트(130)에 회전 가능하게 결합되고 타단부는 도어(120) 측에 결합되는 아암(141)과, 아암(141)의 단부 영역에 마련되는 손잡이(142)와, 도어(120)의 중앙 영역에서 아암(141)과 도어(120)를 연결하는 도어 연결부(143)를 포함한다.The door support 140 is rotatably coupled to one end of the pivot shaft 130 and the other end of the door 141 is coupled to the door 120, and a handle 142 provided at an end region of the arm 141. ), And a door connecting portion 143 connecting the arm 141 and the door 120 in the central region of the door 120.

도어 연결부(143) 영역에는 도어 변형처짐 보정부재(145)가 마련된다. 도어(120)는 사용회수가 누적됨에 따라 진공 및 가압에 의한 반복하중으로 팽창이나 수축에 의한 소성변형이 발생할 수 있으며, 챔버의 기밀성을 유지하기 위한 거대한 중량 구조물로서 자중에 의해 처짐이 발생할 수 있다. 가열과 냉각효율의 저하를 방지하여 열처리 효율을 높이기 위해서는 챔버(110)의 기밀성 유지가 반드시 필요하고, 따라서 사용중의 변형이나 처짐을 보정할 수 있는 수단이 필요하다. 본 실시예에서 도어 변형처짐 보정부재(145)는 볼트로 마련되며, 도어 연결부(143) 영역에서 그 둘레 방향을 따라 다수 개 배치되어 도어(120)의 변형 시 변형된 부분을 보정하는 역할을 한다. 본 발명의 일실시 예에서는 도어 연결부(143)의 중심을 직교하여 지나는 축에 4개의 볼트를 마련하여, 도어(120)를 90도 간격의 4분면으로 분할하여 4개의 볼트가 각 4분면에 대하여 변형이나 처짐을 보정한다. 도어 연결부(143)의 중심으로부터 도어 변형처짐 보정부재(145)의 위치는 아암(141)의 상단부에 제1 보정부재를 설치하여 아암(141)의 상단부를 포함하는 4분면을 변형처짐 보정하고 제2 보정부재는 아암(141)의 하단부에 제2 보정부재를 설치하여 아암(141)의 하단부를 포함하는 4분면을 변형처짐 보정한다. 마찬가지로 도어 연결부(143)의 중심으로부터 제1, 제2 보정부재의 위치와 동일한 거리로, 도어 연결부(143) 중심의 좌측과 우측에 제3, 제4 보정부재를 설치하여 아암(141)의 좌측단을 포함하는 4분면과 아암(141)의 우측을 포함하는 4분면을 변형처짐 보정하여 사용중의 팽창이나 수축에 의한 변형이나 자중에 의한 처짐을 도어(120)의 원주 방향 및 반경 방향 전체에 걸쳐 균일하고 정밀하게 보정하여 기밀성을 향상시킨다.The door deformation deflection correction member 145 is provided in the door connection portion 143. As the number of times of use of the door 120 accumulates, plastic deformation may occur due to expansion or contraction due to repeated loads by vacuum and pressure, and sag may occur due to its own weight as a huge weight structure for maintaining the airtightness of the chamber. . In order to prevent a decrease in heating and cooling efficiency and to increase the heat treatment efficiency, it is necessary to maintain the airtightness of the chamber 110, and therefore, a means for correcting deformation and deflection during use is necessary. In the present exemplary embodiment, the door deformation deflection correction member 145 is provided with a bolt, and a plurality of door deformation deflection correction members 145 are disposed along the circumferential direction of the door connection part 143 to compensate for the deformation of the door 120 when the door 120 is deformed. . According to one embodiment of the present invention, four bolts are provided on an axis passing through the center of the door connecting portion 143 orthogonally, and the door 120 is divided into four quadrants of 90 degree intervals. Correct deformation or deflection. The position of the door deformation deflection correction member 145 from the center of the door connecting portion 143 is provided with a first correction member at the upper end of the arm 141 to correct the deflection of the quadrant including the upper end of the arm 141, and The second correcting member is provided with a second correcting member at the lower end of the arm 141 to correct the deflection of the quadrant including the lower end of the arm 141. Similarly, at the same distance from the center of the door connecting portion 143 as the positions of the first and second correcting members, the third and fourth correcting members are installed on the left and right sides of the center of the door connecting portion 143 to form the left side of the arm 141. The quadrant including the stage and the quadrant including the right side of the arm 141 are deformed and corrected so that deformation or deflection due to expansion or contraction during use or deflection due to self-weight is applied to the entire circumferential and radial directions of the door 120. Uniform and precise calibration improves airtightness.

즉 도어 변형처짐 보정부재(145)로서의 볼트는 챔버(110)에 도어(120)가 결합되는 방향을 따라 마련될 수 있는데, 볼트를 조임에 따라 그 반대 방향으로 도어(120)가 힘을 받도록 함으로써 도어(120)의 변형이나 처짐을 보정할 수 있다.In other words, the bolt as the door deformation deflection correction member 145 may be provided along the direction in which the door 120 is coupled to the chamber 110, and by tightening the bolt, the door 120 receives the force in the opposite direction. Deformation or deflection of the door 120 can be corrected.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 진공 열처리로에는 도어(120)가 완전히 개방된 상태에서 도어(120)를 고정시키는 도어 고정부(146)가 마련된다.As shown in FIG. 3, the vacuum heat treatment furnace of the present embodiment is provided with a door fixing part 146 which fixes the door 120 in a state in which the door 120 is completely opened.

이러한 도어 고정부(146)는 챔버(110)에 마련되는 마그네트(146a)와, 피봇 샤프트(130)에 마련되어 마그네트(146a)와 자기적으로 결합 또는 결합 해제되는 스토퍼용 플랜지(146b)를 포함한다.The door fixing part 146 includes a magnet 146a provided in the chamber 110 and a stopper flange 146b provided in the pivot shaft 130 and magnetically coupled or decoupled with the magnet 146a. .

스토퍼용 플랜지(146b)는 도어(120)를 완전히 개방했을 때, 마그네트(146a)에 근접되게 위치되어 마그네트(146a)와 자기적으로 결합됨으로써 도어(120)의 완전 개방 상태를 지지한다. 이처럼 도어(120)의 완전 개방 상태가 지지됨으로써 도어(120)가 임의로 닫히는 등의 안전사고 발생을 미연에 예방할 수 있다.When the stopper flange 146b is fully opened, the stopper flange 146b is positioned close to the magnet 146a to magnetically couple with the magnet 146a to support the fully open state of the door 120. As such, the fully open state of the door 120 is supported to prevent the occurrence of a safety accident such as the door 120 being arbitrarily closed.

본 실시예에서 마그네트(146a)는 영구 자석으로 마련되나 필요에 따라 전자석으로 적용될 수도 있다.In this embodiment, the magnet 146a is provided as a permanent magnet, but may be applied as an electromagnet as necessary.

그리고 본 실시예의 경우, 챔버(110)에 마그네트(146a)가 마련되고 피봇 샤프트(130)에 스토퍼용 플랜지(146b)가 마련되고 있으나 반대의 경우도 충분히 가능하다. 즉 챔버(110)에 스토퍼용 플랜지(146b)가 마련되고 피봇 샤프트(130)에 마그네트(146a)가 마련되는 것도 충분히 가능하다.In the present embodiment, the magnet 146a is provided in the chamber 110, and the flange 146b for the stopper is provided in the pivot shaft 130, but the reverse may be sufficient. That is, it is also possible that the stopper flange 146b is provided in the chamber 110 and the magnet 146a is provided in the pivot shaft 130.

본 실시예의 열처리로는 질소 등 가압된 냉각가스를 공급하여 열처리 제품을 냉각하여 요구되는 재료의 물성을 얻게 되는데, 가스 공급 배관에는 도7 및 8에 도시된 바와 같이 설정된 압력 한계치에 도달하기 전에 압력을 미리 조절 할 수 있는 챔버(110) 압력조절 유닛(150)이 설치된다. 종래에는 질소 가스 가압 시 복압용 압력센서 하나만으로 운영되는데, 이는 복압용 압력센서의 기능 상실시 큰 사고로 이어질 수 있는 위험성이 있다. 600kg용 진공로를 예를 들면 전면 도어의 표면적에 질소 가스 2kg/cm2의 압력으로 가압 시 약 45톤의 힘이 도어에 작용하여 클러치를 파손시키며, 도어가 압력에 의해 도어 지지체에서 분리되어 날아갈 수 있다. 이를 방지하기 위해 본 발명에서는, 챔버(110) 내의 압력이 설정된 압력 한계치에 도달하기 전에 압력을 온오프로 조절할 수 있는 압력조절 유닛(150)에, 1차 안전장치로서 상기 챔버 내의 압력을 감지할 수 있는 압력센서(151), 2차 안전장치로서 챔버(110)내의 압력을 측정하는 전기 접점식 압력계(152), 3차 안전장치로서 챔버(110)내의 압력이 설정된 한계치에 도달했을 때 작동하는 기계식 릴리프 밸브(153)를 더 포함할 수 있다.The heat treatment furnace of this embodiment is supplied with pressurized cooling gas such as nitrogen to cool the heat treated product to obtain the required physical properties of the gas supply pipe. The chamber 110 that can adjust in advance the pressure control unit 150 is installed. Conventionally, only one pressure sensor for pressure is applied when nitrogen gas is pressurized, which may lead to a large accident when the pressure sensor for pressure is malfunctioned. Vacuum For 600kg for example sikimyeo the surface area to nitrogen gas 2kg / cm 2 pressure force of about 45 tons when pressed by the front door damage the clutch by acting on the door, and fly is the door is separated from the door support by a pressure Can be. In order to prevent this, in the present invention, the pressure control unit 150 that can adjust the pressure on and off before the pressure in the chamber 110 reaches the set pressure limit, to detect the pressure in the chamber as a primary safety device. Pressure sensor 151, an electrical contact pressure gauge 152 that measures the pressure in the chamber 110 as a secondary safety device, and acts when the pressure in the chamber 110 as a third safety device reaches a set limit. It may further include a mechanical relief valve 153.

종래에는 설정된 한계치 이상에서 작동하는 1차 복압용 압력센서(151)만이 마련되어 1차 복압용 압력센서(151)가 고장 시 챔버(110)내의 압력 상승으로 설비 파손 및 열처리 중인 제품의 산화, 변형 등으로 큰 손실이 발생하였으나 본 발명에서는 2차 안전장치인 전기 접점식 압력계(152), 2차 안전장치인 전기 접점식 압력계(152)가 고장 시 3차 안전장치인 기계식 릴리프 밸브(153)를 설치하여 챔버(110)내의 압력 상승으로 인한 사고를 방지하여 열처리 작업을 지속 할 수 있으며, 1차 복압용 압력센서(151), 2차 전기 접점식 압력계(152) 고장 시 경고 램프가 작동함으로써 작업자가 시스템 이상에 대한 정상화 조치를 취할 수 있다.Conventionally, only a primary pressure sensor 151 for operating above a set limit is provided so that when the primary pressure sensor 151 breaks down, the pressure of the chamber 110 rises, resulting in equipment damage and oxidation, deformation, etc. Although a large loss occurred in the present invention, in the present invention, a mechanical relief valve 153, which is a third safety device, is installed when a second safety device is an electric contact pressure gauge 152 that is a second safety device, or a second safety device is a third pressure device. The heat treatment work can be continued by preventing an accident due to the pressure increase in the chamber 110. When the primary pressure sensor 151 and the secondary electric contact pressure gauge 152 fail, the operator operates the warning lamp. Normalization measures can be taken for system anomalies.

챔버(110)내 압력조절 유닛(150)은 제어부에 의해 가스 공급관의 압력을 감지하여 온오프 솔레노이드 밸브로 제어되는 체크 밸브로서, 릴리프 밸브의 작동으로 인해 시스템이 정지되기 전에 온오프로 공급관의 압력을 피드백 제어하여, 열처리 작업을 계속할 수 있으며 장비를 보호할 수 있도록 압력을 배출하고, 경고 램프의 작동으로 시스템의 이상을 점검하고 조치할 수 있게 한다.The pressure regulating unit 150 in the chamber 110 is a check valve that is controlled by an on / off solenoid valve by sensing a pressure in a gas supply pipe by a control unit. The pressure in the supply pipe is turned on and off before the system is stopped due to the operation of the relief valve. By controlling the feedback, the heat treatment can be continued, the pressure is released to protect the equipment, and the operation of the warning lamp allows the system to check and correct any abnormalities.

본 실시예의 진공 열처리로의 챔버(110) 벽면에는 도9와 같이 열처리를 위한 수단으로서 전극(171)이 마련된다. 이때, 전극에는 전극용 냉각수 공급유닛(170)에 의해 전극의 중심부에 직접 냉각수가 공급됨으로써 그 내구성이 향상될 수 있다.On the wall surface of the chamber 110 of the vacuum heat treatment furnace of this embodiment, an electrode 171 is provided as a means for heat treatment as shown in FIG. In this case, the durability may be improved by directly supplying the cooling water to the center of the electrode by the electrode cooling water supply unit 170.

종래의 전극은 전극을 감싸는 절연재의 외부에 냉각수를 공급하여 냉각함으로써 냉각효율이 저하되고, 전극의 온도 상승으로 내구성이 저하되는 문제점이 있었으나, 본 발명에서는 전극(171)의 중심부에 냉각수 유로와 전극의 둘레에 냉각수 자켓(174)을 설치하고, 직접 냉각수가 공급될 수 있도록 전극측 배관 조립체(172)를 연결하여 냉각수가 직접 전극(171)을 냉각함으로서 냉각효율을 높일 수 있고, 이에 따라 전극의 내구성이 향상되는 효과를 가져올 수 있다.The conventional electrode has a problem that the cooling efficiency is lowered by supplying cooling water to the outside of the insulating material surrounding the electrode to cool, and the durability decreases due to an increase in temperature of the electrode. By installing the coolant jacket 174 around the electrode and connecting the electrode side pipe assembly 172 so that the coolant can be directly supplied, the coolant can directly cool the electrode 171 to increase the cooling efficiency. The durability can be improved.

한편, 도 1을 다시 참조하면, 챔버(110)의 외측에는 챔버(110)를 냉각시키는 수단으로서 외장형 쿨러(HOT EXHAUST, 161~163)가 마련된다. 종래의 고압 가스를 냉각하는 쿨러는 챔버의 내부에 설치되어 쿨러의 열교환기에서 냉각수가 유출될 경우, 제품에 손상을 줄 수 있으며 쿨러의 보수시 챔버를 비롯한 장비 전체의 분해가 불가피하여 많은 시간과 비용이 소요되는 문제점이 있었다. 또한 챔버의 열처리 제품을 적치할 수 있는 공간이 줄어들게 되어 쿨러 용량을 충분히 할 수 없는 제약이 따르게 되고, 따라서 냉각시간이 많이 소요되어 열처리 효율을 향상시키는데 많은 제약이 있었다.Meanwhile, referring back to FIG. 1, external coolers HOT EXHAUST 161 to 163 may be provided outside the chamber 110 as a means for cooling the chamber 110. The conventional high pressure gas cooler is installed inside the chamber, and if the coolant is leaked from the heat exchanger of the cooler, it may damage the product. There was a costly problem. In addition, the space for storing the heat treatment product of the chamber is reduced, and the constraint of not being able to sufficiently cool the capacity is followed. Therefore, a lot of cooling time is required, and there are many limitations in improving the heat treatment efficiency.

본 실시예의 경우, 외장형 쿨러(161~163)가 챔버(110)의 외측에서 그 위치별로 다수 개 배치된다. 이러한 외장형 쿨러(161~163)는 고장시 외부에서 수리할 수 있어 유지보수가 편리하고, 장비 전체를 분해할 필요가 없어 비용이 저렴하며, 챔버(110)의 제품 적치공간의 손실이 없으므로 냉각시간을 단축할 수 있도록 충분한 용량을 갖도록 추가로 더 설치할 수 있는 장점이 있다. 그리고 다수의 외장형 쿨러(161~163)는 쿨링 배관(165)에 의해 상호간 연결된다. 쿨링 배관(165)의 일측에는 블러워(166)가 마련된다. 블러워(166)가 동작되면 쿨링 배관(165)을 통해 외장형 쿨러(161~163)를 경유하여 챔버(110)로 향하게 됨으로써 챔버(110)의 내부를 냉각시킬 수 있다.In the case of the present embodiment, a plurality of external coolers 161 to 163 are disposed at respective positions outside the chamber 110. These external coolers (161 ~ 163) can be repaired from the outside in the event of a breakdown, convenient maintenance, low cost because there is no need to disassemble the whole equipment, cooling time because there is no loss of product storage space of the chamber 110 There is an advantage that can be installed further to have enough capacity to shorten the time. The plurality of external coolers 161 to 163 are connected to each other by the cooling pipe 165. A blower 166 is provided at one side of the cooling pipe 165. When the blower 166 is operated, the inside of the chamber 110 may be cooled by being directed to the chamber 110 via the external coolers 161 to 163 through the cooling pipe 165.

외장형 쿨러(161~163)에는 각각 열교환기가 설치되고 열교환기에는 열교환기용 냉각수 공급유닛을 통하여 냉각수가 공급된다.Heat exchangers are respectively installed in the external coolers 161 to 163, and the coolant is supplied to the heat exchangers through the coolant supply unit for the heat exchanger.

이처럼 다수의 외장형 쿨러(161~163)가 적용됨으로써 냉각수의 누출로 인한 유지보수를 챔버의 외부에서 용이하게 하면서도 챔버(110)의 용량을 감소시킬 필요가 없다. 외장형 쿨러(161~163)가 많으면 많을수록 그 냉각 효율은 높아질 수 있으나 과냉에 의한 제품의 변형 등을 방지하기 위해 그 수가 최적화 된다.As such a large number of external coolers (161 ~ 163) is applied, it is not necessary to reduce the capacity of the chamber 110 to facilitate the maintenance due to the leakage of cooling water from the outside of the chamber. The more the external coolers (161 to 163), the higher the cooling efficiency can be, but the number is optimized to prevent deformation of the product due to overcooling.

본 실시예의 경우, 외장형 쿨러(161~163)를 냉각시키는 열교환기용 냉각수 공급유닛의 동파이프와 냉각수 호스의 체결부가 종전과 달리 스테인리스 스틸(stainless steel) 재질로 변경됨으로써 강성이 향상되고, 또한 내구성이 증대되고 있다.In the present embodiment, unlike the former, the coupling portion of the copper pipe and the cooling water hose of the cooling water supply unit for the heat exchanger cooling the external coolers 161 to 163 is changed to a stainless steel material to improve rigidity and durability. It is increasing.

이와 같은 구성을 갖는 본 실시예의 진공 열처리로에 따르면, 간단하고도 효율적인 구조를 가질 뿐만 아니라 챔버(110)에 대하여 도어(120)를 적은 힘으로 용이하게 개폐할 수 있고, 변형처짐 보정부재를 이용하여 진공이나 가압에 의한 사용중의 변형이나 자중에 의한 처짐이 보정될 수 있어, 진공시 및 가압시 기밀성 개선에 의한 열처리 효율이 향상되어, 종래의 열처리로보다 제품의 생산성이 대폭 증대될 수 있게 된다.According to the vacuum heat treatment furnace of this embodiment having such a configuration, not only has a simple and efficient structure, but also can easily open and close the door 120 with respect to the chamber 110 using a deformation deflection correction member. Thus, deformation during use or deflection due to self-weight due to vacuum or pressurization can be corrected, and thus heat treatment efficiency is improved by improving airtightness during vacuum and pressurization, and the productivity of the product can be significantly increased compared to a conventional heat treatment furnace. .

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

110 : 챔버 111 : 원형 패킹부재
112 : 플로팅 패킹부재 120 : 도어
130 : 피봇 샤프트 140 : 도어 지지체
141 : 아암 142 : 손잡이
143 : 도어 연결부 145 : 도어 변형 보정부재
146 : 도어 고정부 146a: 마그네트
146b: 스토퍼용 플랜지 150 : 챔버 압력 조절유닛
151 : 복압용 압력센서 152 : 전기 접점식 압력계
153 : 릴리프 밸브 161~163: 외장형 쿨러
165 : 쿨링 배관 166 : 블러워
170 : 전극용 냉각수 공급유닛 171 : 전극
172 : 전극측 배관 조립체 173 : 냉각수 공급관
174 : 냉각수 자켓
110: chamber 111: circular packing member
112: floating packing member 120: door
130: pivot shaft 140: door support
141: arm 142: handle
143: door connection 145: door deformation correction member
146: door fixing part 146a: magnet
146b: flange for stopper 150: chamber pressure regulating unit
151: pressure sensor for double pressure 152: electrical contact pressure gauge
153: relief valve 161 to 163: external cooler
165: cooling piping 166: blower
170: cooling water supply unit for the electrode 171: electrode
172: electrode side pipe assembly 173: cooling water supply pipe
174: coolant jacket

Claims (12)

처리대상물이 열처리되는 장소를 형성하며, 일측에 상기 처리대상물에 대한 출입개구가 형성되는 챔버;
상기 챔버의 출입개구를 회동 개폐하는 도어;
상기 도어에 연결되어 상기 도어의 회전 축심을 형성하는 피봇 샤프트; 및
상기 도어와 상기 피봇 샤프트를 연결하는 도어 지지체를 포함하며,
상기 피봇 샤프트에는 상기 도어의 원활한 회전을 위한 베어링이 내장되는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
A chamber which forms a place where the object to be treated is heat treated, and an entrance and exit of the object is formed on one side;
A door that pivotally opens and closes the entrance and exit of the chamber;
A pivot shaft connected to the door to form a center of rotation of the door; And
A door support connecting the door and the pivot shaft,
The pivot shaft is a vacuum heat treatment furnace, characterized in that the bearing is built for smooth rotation of the door.
제1항에 있어서,
상기 도어 지지체는,
일단부는 상기 피봇 샤프트에 회전 가능하게 결합되고 타단부는 상기 도어 측에 결합되는 아암;
상기 아암의 단부 영역에 마련되는 손잡이; 및
상기 도어의 중앙 영역에서 상기 아암과 상기 도어를 연결하는 도어 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 1,
The door support,
An arm rotatably coupled to one end of the pivot shaft and the other end coupled to the door side;
A handle provided in an end region of the arm; And
And a door connection part connecting the arm and the door in a central area of the door.
제2항에 있어서,
상기 도어 연결부 영역에는 상기 도어의 사용중 변형이나, 자중에 의한 처짐을 보정하는 도어 변형처짐 보정부재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 2,
And the door deformation deflection correction member is further provided in the door connection area to correct deformation of the door during use or deflection due to its own weight.
제3항에 있어서,
상기 도어 변형처짐 보정부재는 상기 도어 연결부의 둘레 방향을 따라 다수 개 배치되고 상기 챔버에 상기 도어가 결합되는 방향을 따라 수직되게 배치되는 볼트인 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 3,
The door deformation deflection correction member is a vacuum heat treatment furnace, characterized in that a plurality of bolts are disposed in the circumferential direction of the door connection portion and arranged vertically along the direction in which the door is coupled to the chamber.
제1항에 있어서,
상기 도어가 완전히 개방된 상태에서 상기 도어를 고정시키는 도어 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 1,
And a door fixing part for fixing the door in a state in which the door is completely opened.
제5항에 있어서,
상기 도어 고정부는,
상기 챔버와 상기 피봇 샤프트 중 어느 하나에 마련되는 마그네트; 및
상기 챔버와 상기 피봇 샤프트 중 다른 하나에 마련되어 상기 마그네트와 자기적으로 결합 또는 결합 해제되는 스토퍼용 플랜지를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.

The method of claim 5,
The door fixing part,
A magnet provided in one of the chamber and the pivot shaft; And
And a stopper flange provided in the other one of the chamber and the pivot shaft to be magnetically coupled or decoupled with the magnet.

제1항에 있어서,
상기 챔버의 출입개구 영역에는 상기 챔버의 진공 이나 가압시 도어와의 기밀유지를 위해 이중 패킹부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 1,
The vacuum heat treatment furnace, characterized in that the double packing member is provided in the entrance opening area of the chamber to maintain the airtightness with the door during the vacuum or pressurization of the chamber.
제1항에 있어서,
상기 챔버에 마련되는 전극; 및
상기 전극으로 냉각수를 공급하는 전극용 냉각수 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 1,
An electrode provided in the chamber; And
And a cooling water supply unit for the electrode for supplying the cooling water to the electrode.
제8항에 있어서,
상기 전극용 냉각수 공급유닛은,
상기 전극의 중심부 측에 연결되는 전극측 배관 조립체; 및
상기 전극측 배관 조립체에 연결되며, 상기 전극측 배관 조립체로 냉각수를 공급하는 냉각수 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
9. The method of claim 8,
The cooling water supply unit for the electrode,
An electrode side pipe assembly connected to the center side of the electrode; And
And a coolant supply pipe connected to the electrode side pipe assembly and supplying coolant to the electrode side pipe assembly.
제1항에 있어서,
상기 챔버의 외측에 마련되어 상기 챔버를 냉각시키는 외장형 쿨러(HOT EXHAUST)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 1,
And an external cooler (HOT EXHAUST) provided at an outer side of the chamber to cool the chamber.
제10항에 있어서,
상기 외장형 쿨러는 다수 개 마련되며,
상기 다수의 외장형 쿨러는 쿨링 배관에 의해 상호간 연결되며,
상기 쿨링 배관의 일측에는 블러워가 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 10,
A plurality of external coolers are provided,
The plurality of external coolers are connected to each other by a cooling pipe,
Vacuum heat treatment furnace, characterized in that the blower is provided on one side of the cooling pipe.
제1항에 있어서,
상기 챔버 내의 압력을 감지할 수 있는 압력센서; 및
상기 챔버 내의 압력을 측정하는 전기 접점식 압력계; 및
상기 챔버 내의 압력이 설정된 압력 한계치에 도달하기 전에 압력을 온오프로 조절할 수 있는 컨트롤 밸브; 및
상기 챔버 내의 압력이 설정된 한계치에 도달했을 때 작동하는 릴리프 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리로.
The method of claim 1,
A pressure sensor capable of sensing a pressure in the chamber; And
An electrical contact pressure gauge for measuring the pressure in the chamber; And
A control valve capable of regulating the pressure on and off before the pressure in the chamber reaches a set pressure threshold; And
And a relief valve which operates when the pressure in the chamber reaches a set threshold.
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