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KR101176296B1 - Aluminum pastes and use thereof in the production of silicon solar cells - Google Patents

Aluminum pastes and use thereof in the production of silicon solar cells Download PDF

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KR101176296B1
KR101176296B1 KR1020107025421A KR20107025421A KR101176296B1 KR 101176296 B1 KR101176296 B1 KR 101176296B1 KR 1020107025421 A KR1020107025421 A KR 1020107025421A KR 20107025421 A KR20107025421 A KR 20107025421A KR 101176296 B1 KR101176296 B1 KR 101176296B1
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aluminum
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리차드 존 쉐필드 영
알리스테르 그라엠 프린스
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이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니
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Abstract

미립자 알루미늄, 주석-유기 성분 및 유기 비히클을 포함하는 알루미늄 페이스트, 및 규소 태양 전지의 p형 알루미늄 후면 전극을 형성하는 데 있어서의 알루미늄 페이스트의 용도를 제공한다.An aluminum paste comprising particulate aluminum, a tin-organic component, and an organic vehicle, and the use of an aluminum paste in forming a p-type aluminum back electrode of a silicon solar cell.

Figure 112010073904514-pct00002
Figure 112010073904514-pct00002

Description

알루미늄 페이스트 및 규소 태양 전지 제조시의 그 용도{ALUMINUM PASTES AND USE THEREOF IN THE PRODUCTION OF SILICON SOLAR CELLS}The use in the manufacture of aluminum pastes and silicon solar cells {ALUMINUM PASTES AND USE THEREOF IN THE PRODUCTION OF SILICON SOLAR CELLS}

본 발명은 알루미늄 페이스트, 및 규소 태양 전지 제조시의, 즉 규소 태양 전지의 알루미늄 후면 전극 및 개별 규소 태양 전지 제조시의 그 용도에 관한 것이다.The present invention relates to aluminum pastes and their use in the production of silicon solar cells, ie in the production of aluminum back electrodes and individual silicon solar cells of silicon solar cells.

p형 베이스를 갖는 종래의 태양 전지 구조물은 전형적으로 전지의 전면 또는 태양측 면(sun side) 상에 있는 음극과 후면 상에 있는 양극을 갖는다. 반도체 몸체의 p-n 접합부에 떨어지는 적절한 파장의 방사선은 그 몸체 내에서 정공-전자 쌍을 생성하기 위한 외부 에너지원으로서 작용한다는 것은 잘 알려져 있다. p-n 접합부에 존재하는 전위차는 반대 방향으로 접합부를 가로질러 정공 및 전자를 이동시키고, 이로써 전력을 외부 회로에 전달할 수 있는 전류의 흐름을 일어나게 한다. 대부분의 태양 전지는 금속배선화된, 즉 전기 전도성인 금속 접촉부를 구비한 규소 웨이퍼의 형태이다.Conventional solar cell structures with a p-type base typically have a cathode on the front or sun side of the cell and an anode on the back. It is well known that radiation of the appropriate wavelength falling at the p-n junction of a semiconductor body acts as an external energy source for generating hole-electron pairs in the body. The potential difference present in the p-n junction moves holes and electrons across the junction in the opposite direction, resulting in a current flow that can transfer power to external circuitry. Most solar cells are in the form of silicon wafers with metallized, ie, electrically conductive, metal contacts.

규소 태양 전지의 형성 동안, 알루미늄 페이스트는 일반적으로 규소 웨이퍼의 후면에 스크린 인쇄되고 건조된다. 이어서, 웨이퍼가 알루미늄의 융점보다 높은 온도에서 소성되어 알루미늄-규소 용융물을 형성하고, 이어서 냉각 단계 동안 알루미늄으로 도핑된 규소의 에피택셜 성장된 층(epitaxially grown layer)이 형성된다. 이러한 층은 일반적으로 후면 전계(back surface field, BSF) 층으로 불리며, 태양 전지의 에너지 변환 효율을 개선하는 데 도움을 준다.During the formation of silicon solar cells, aluminum paste is generally screen printed and dried on the backside of the silicon wafer. The wafer is then baked at a temperature above the melting point of aluminum to form an aluminum-silicon melt, followed by the formation of an epitaxially grown layer of silicon doped with aluminum during the cooling step. This layer is commonly called a back surface field (BSF) layer and helps to improve the energy conversion efficiency of solar cells.

현재 사용되는 대부분의 전력-생성 태양 전지는 규소 태양 전지이다. 대량 생산에서의 공정 흐름은 일반적으로 최대한의 단순화를 달성하고 제조 비용을 최소화하는 것을 목표로 한다. 특히, 전극은 금속 페이스트로부터 스크린 인쇄와 같은 방법을 사용함으로써 제조된다.Most power-generating solar cells in use today are silicon solar cells. Process flow in mass production is generally aimed at achieving maximum simplification and minimizing manufacturing costs. In particular, the electrode is produced from a metal paste by using a method such as screen printing.

이러한 제조 방법의 예가 도 1과 함께 이하에 설명된다. 도 1a는 p형 규소 기재(10)를 도시한다.An example of such a manufacturing method is described below in conjunction with FIG. 1. 1A shows a p-type silicon substrate 10.

도 1b에서, 역방향 전도성 유형의 n형 확산층(20)이 인(P) 등의 열확산에 의해 형성된다. 옥시염화인(POCl3)이 기체 인 확산 공급원으로서 일반적으로 사용되며, 다른 액체 공급원은 인산 등이다. 임의의 특정 변형 없이, 확산층(20)이 규소 기재(10)의 표면 전체에 걸쳐 형성된다. p형 도펀트의 농도가 n형 도펀트의 농도와 같아지는 곳에서 p-n 접합부가 형성되며; 태양측 면 가까이에 p-n 접합부를 갖는 종래의 전지는 접합부 깊이가 0.05 내지 0.5 ㎛이다.In FIG. 1B, an n-type diffusion layer 20 of reverse conductivity type is formed by thermal diffusion such as phosphorus (P). Phosphorus oxychloride (POCl 3 ) is commonly used as the gaseous phosphorus diffusion source, other liquid sources are phosphoric acid and the like. Without any particular modification, a diffusion layer 20 is formed over the entire surface of the silicon substrate 10. a pn junction is formed where the concentration of the p-type dopant is equal to the concentration of the n-type dopant; Conventional cells having pn junctions near the solar side have a junction depth of 0.05 to 0.5 μm.

이러한 확산층의 형성 후, 불화수소산과 같은 산에 의해 에칭함으로써 나머지 표면으로부터 과잉의 표면 유리가 제거된다.After formation of this diffusion layer, excess surface glass is removed from the remaining surface by etching with an acid such as hydrofluoric acid.

다음으로, n형 확산층(20) 상에, 예를 들어 플라즈마 화학 증착(CVD)과 같은 공정에 의해 도 1d에 도시된 방법으로 0.05 내지 0.1 ㎛의 두께로 반사방지 코팅(antireflective coating; ARC)(30)이 형성된다.Next, an antireflective coating (ARC) is applied on the n-type diffusion layer 20 to a thickness of 0.05 to 0.1 μm by a method such as plasma chemical vapor deposition (CVD), for example, in FIG. 1D ( 30) is formed.

도 1e에 도시된 바와 같이, 전면 전극을 위한 전면 은 페이스트(전면 전극 형성 은 페이스트)(500)가 반사방지 코팅(30) 위에 스크린 인쇄되고 이어서 건조된다. 추가적으로, 이어서, 후면 은 또는 은/알루미늄 페이스트(70) 및 알루미늄 페이스트(60)가 기재의 후면에 스크린 인쇄 (또는 어떤 다른 적용 방법으로 적용)되고 그리고 연속하여 건조된다. 통상, 후면 은 또는 은/알루미늄 페이스트는 상호 접속 스트링들을 납땜하도록 준비된 2개의 평행 스트립(버스바(busbar))들로서 또는 직사각형(탭)들로서 먼저 규소에 스크린 인쇄되고, 이어서 알루미늄 페이스트가 후면 은 또는 은/알루미늄 위에 약간 중첩된 상태로 노출 영역(bare area)에 인쇄된다. 일부 경우에, 알루미늄 페이스트가 인쇄된 후에 은 또는 은/알루미늄 페이스트가 인쇄된다. 이어서, 전형적으로 1 내지 5분 동안 벨트 소성로(belt furnace) 내에서 소성이 수행되는데, 이때 웨이퍼는 700 내지 900℃ 범위의 피크 온도에 도달한다. 전면 전극 및 후면 전극은 순차적으로 소성되거나 또는 동시소성(cofiring)될 수 있다.As shown in FIG. 1E, a front silver paste (front electrode forming silver paste) 500 for the front electrode is screen printed onto the antireflective coating 30 and then dried. In addition, backside silver or silver / aluminum paste 70 and aluminum paste 60 are then screen printed (or applied in some other application method) to the backside of the substrate and subsequently dried. Typically, the back silver or silver / aluminum paste is first screen printed onto silicon as two parallel strips (busbars) or rectangles (tabs) prepared to solder the interconnect strings, and then the aluminum paste is back silver or silver It is printed on the bare area with a slight overlap on aluminum. In some cases, silver or silver / aluminum paste is printed after the aluminum paste is printed. Subsequently, firing is typically performed in a belt furnace for 1 to 5 minutes, at which time the wafer reaches a peak temperature in the range of 700 to 900 ° C. The front electrode and back electrode may be fired sequentially or cofired.

결과적으로, 도 1f에 도시된 바와 같이, 소성 공정 동안 페이스트로부터의 용융 알루미늄이 규소를 용해시키고, 이어서 이는 냉각시 규소 기부(10)로부터 에피택셜 성장하는 공융층(eutectic layer)을 형성하여 고농도의 알루미늄 도펀트를 함유하는 p+ 층(40)을 형성하게 된다. 이러한 층은 일반적으로 후면 전계(BSF) 층이라 불리며, 태양 전지의 에너지 변환 효율을 개선하는 데 도움을 준다. 알루미늄의 박층이 일반적으로 이러한 에피택셜 층의 표면에 존재한다.As a result, as shown in FIG. 1F, molten aluminum from the paste dissolves silicon during the firing process, which then forms an eutectic layer epitaxially growing from the silicon base 10 upon cooling to a high concentration of A p + layer 40 containing aluminum dopant will be formed. This layer is commonly called a back field (BSF) layer and helps to improve the energy conversion efficiency of solar cells. A thin layer of aluminum is generally present on the surface of this epitaxial layer.

알루미늄 페이스트는 건조된 상태(60)로부터 소성에 의해 알루미늄 후면 전극(61)으로 변환된다. 후면 은 또는 은/알루미늄 페이스트(70)는 동시에 소성되어, 은 또는 은/알루미늄 후면 전극(71)으로 된다. 소성 동안, 후면 알루미늄과 후면 은 또는 은/알루미늄 사이의 경계는 합금 상태를 나타내며, 마찬가지로 전기적으로 접속된다. 알루미늄 전극은 후면 전극의 대부분의 영역을 차지하는데, 이는 p+ 층(40)을 형성할 필요성에 일부 기인된다. 은 또는 은/알루미늄 후면 전극은 사전-납땜된 구리 리본 등에 의해 태양 전지들을 상호 접속시키기 위한 전극으로서 (흔히 2 내지 6 ㎜ 폭의 버스바로서) 후면의 일부에 걸쳐 형성된다. 추가적으로, 전면 은 페이스트(500)가 소성 동안 소결되고 반사방지 코팅(30)을 관통하며, 이로써 n형 층(20)과 전기적으로 접촉할 수 있다. 이러한 유형의 공정은 일반적으로 "소성 도통"(firing through)이라 불린다. 이러한 소성 도통 상태는 도 1f의 층(501)에 잘 나타나 있다.The aluminum paste is converted into the aluminum back electrode 61 by firing from the dried state 60. The backside silver or silver / aluminum paste 70 is fired at the same time, resulting in a silver or silver / aluminum backside electrode 71. During firing, the boundary between the backside aluminum and the backside silver or silver / aluminum indicates an alloy state and is likewise electrically connected. The aluminum electrode occupies most of the area of the back electrode, due in part to the need to form the p + layer 40. The silver or silver / aluminum back electrode is formed over a portion of the back side (often as a busbar 2-6 mm wide) as an electrode for interconnecting solar cells by pre-soldered copper ribbons or the like. Additionally, the front silver paste 500 may be sintered during firing and penetrate the antireflective coating 30, thereby allowing electrical contact with the n-type layer 20. This type of process is commonly referred to as "firing through." This plastic conduction state is well illustrated in layer 501 of FIG. 1F.

규소 웨이퍼로부터 제조되고 알루미늄 후면 전극을 갖는 규소 태양 전지는 규소/알루미늄 2금속 스트립이며 이른바 휨 거동(bowing behavior)을 나타낼 수 있다. 휨은 그것이 태양 전지의 균열 및 파손으로 이어질 수 있다는 점에서 바람직하지 않다. 휨은 또한 규소 웨이퍼의 가공에 관하여 문제를 일으킨다. 가공 동안, 규소 웨이퍼는 흡착 패드를 사용하는 자동화 취급 설비를 사용하여 일반적으로 위로 들어 올려지는데, 이는 과도한 휨의 경우에는 신뢰성 있게 작동할 수 없다. 광전지 산업에서의 휨 요건은 전형적으로 태양 전지의 1.5 ㎜ 미만의 처짐(deflection)이다. 휨 현상을 극복하고자 하는 것은, 대형 및/또는 박막 규소 웨이퍼, 예를 들어 두께가 180 ㎛ 미만, 특히 120 내지 180 ㎛ 미만의 범위이고, 면적이 250 초과 내지 400 ㎠의 범위인 규소 웨이퍼로부터 제조되는 규소 태양 전지를 특히 고려할 때 난제(challenge)가 된다.Silicon solar cells made from silicon wafers and having aluminum back electrodes are silicon / aluminum bimetallic strips and may exhibit so-called bowing behavior. Warpage is undesirable in that it can lead to cracking and breakage of the solar cell. Warping also causes problems with the processing of silicon wafers. During processing, silicon wafers are generally lifted up using automated handling equipment that uses suction pads, which cannot operate reliably in case of excessive warpage. Warping requirements in the photovoltaic industry are typically deflection less than 1.5 mm of solar cells. It is desired to overcome the warpage of large and / or thin-film silicon wafers, for example silicon wafers produced from less than 180 μm thick, in particular from 120 to 180 μm thick, with areas ranging from more than 250 to 400 cm 2. It is a challenge especially when considering silicon solar cells.

알루미늄 페이스트와 관련된 추가 문제는 자유 알루미늄 또는 알루미나 분진의 다른 금속 표면으로의 더스팅(dusting) 및 이전(transfer)이며, 이로써 상기 표면에 탭 형성(tabbed)되는 리본의 납땜성 및 점착성이 감소된다. 이는 소성 공정이 적층된 태양 전지에 대하여 수행될 때 특히 관련이 있다.A further problem associated with aluminum pastes is the dusting and transfer of free aluminum or alumina dust to other metal surfaces, thereby reducing the solderability and tack of the ribbon tabbed to the surface. This is particularly relevant when the firing process is performed on stacked solar cells.

미국 특허 출원 공개 US-A-2007/0079868호는 규소 태양 전지의 알루미늄 후면 전극을 형성하는 데 사용될 수 있는 알루미늄 후막 조성물을 개시한다. 알루미늄 분말, 비히클로서의 유기 매질 및 선택적인 성분으로서의 유리 프릿은 별도로 하고, 알루미늄 후막 조성물은 필수 성분으로서 비정질 이산화규소를 포함한다. 비정질 이산화규소는 특히 규소 태양 전지의 휨 거동을 감소시키는 역할을 한다.US Patent Application Publication US-A-2007 / 0079868 discloses an aluminum thick film composition that can be used to form the aluminum back electrode of a silicon solar cell. Apart from the aluminum powder, the organic medium as the vehicle and the glass frit as an optional component, the aluminum thick film composition comprises amorphous silicon dioxide as an essential component. Amorphous silicon dioxide, in particular, serves to reduce the bending behavior of silicon solar cells.

미국 특허 출원 공개 US-A-2007/0079868호에 개시된 알루미늄 후막 조성물이 비정질 이산화규소 대신에 또는 그에 추가하여 소정의 주석-유기 성분을 포함할 때, 유사하거나 심지어는 더 우수한 성능을 갖는 알루미늄 후막 조성물이 얻어질 수 있음이 이제서야 밝혀졌다.Aluminum thick film compositions having similar or even better performance when the aluminum thick film compositions disclosed in US Patent Application Publication No. US-A-2007 / 0079868 include certain tin-organic components in place of or in addition to amorphous silicon dioxide. It has now been found that this can be obtained.

본 발명은 규소 태양 전지의 p형 알루미늄 후면 전극을 형성하는 데 사용하기 위한 알루미늄 페이스트 (알루미늄 후막 조성물)에 관한 것이다. 본 발명은 추가로 규소 태양 전지의 제조시 알루미늄 페이스트의 형성 및 사용 방법과 규소 태양 전지 그 자체에 관한 것이다.The present invention relates to an aluminum paste (aluminum thick film composition) for use in forming a p-type aluminum back electrode of a silicon solar cell. The invention further relates to the formation and use of aluminum pastes in the manufacture of silicon solar cells and to silicon solar cells themselves.

본 발명은 미립자 알루미늄, 주석-유기 성분, 유기 비히클, 및 선택적인 성분으로서 아연-유기 성분, 하나 이상의 유리 프릿 조성물 및 비정질 이산화규소를 포함하는 알루미늄 페이스트에 관한 것이다.The present invention relates to an aluminum paste comprising particulate aluminum, tin-organic components, organic vehicles, and optionally, zinc-organic components, one or more glass frit compositions and amorphous silicon dioxide.

본 발명은 추가로 p형 영역 및 n형 영역, 및 p-n 접합부를 갖는 규소 웨이퍼를 이용하는 규소 태양 전지의 형성 방법 및 규소 태양 전지 그 자체에 관한 것으로, 이 방법은 본 발명의 알루미늄 페이스트를 규소 웨이퍼의 후면에 적용하는, 특히 스크린-인쇄하는 단계 및 인쇄된 표면을 소성하여 웨이퍼가 700 내지 900℃ 범위의 피크 온도에 도달하게 하는 단계를 포함한다.The present invention further relates to a method for forming a silicon solar cell using a silicon wafer having a p-type region and an n-type region, and a pn junction, and the silicon solar cell itself, which method comprises the aluminum paste of the silicon wafer. Applying to the backside, in particular screen-printing, and firing the printed surface so that the wafer reaches a peak temperature in the range of 700 to 900 ° C.

<도 1>
도 1은 규소 태양 전지의 제작을 예시적으로 도시하는 공정 흐름도이다.
도 1에 도시된 도면 부호는 아래에 설명되어 있다.
10: p형 규소 웨이퍼
20: n형 확산층
30: 반사방지 코팅, 예를 들어 SiNx, TiOx, SiOx
40: p+ 층(후면 전계, BSF)
60: 후면에 형성된 알루미늄 페이스트
61: 알루미늄 후면 전극 (후면 알루미늄 페이스트를 소성함으로써 얻어짐)
70: 후면에 형성된 은 또는 은/알루미늄 페이스트
71: 은 또는 은/알루미늄 후면 전극 (후면 은 또는 은/알루미늄 페이스트를 소성함으로써 얻어짐)
500: 전면에 형성된 은 페이스트
501: 은 전면 전극 (전면 은 페이스트를 소성함으로써 얻어짐)
<도 2a 내지 도 2d>
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 전기전도성 알루미늄 페이스트를 사용하여 규소 태양 전지를 제조하는 제조 공정을 설명한다. 도 2에 도시된 도면 부호는 아래에 설명되어 있다.
102 규소 기재 (규소 웨이퍼)
104 수광 표면측 전극
106 제1 전극을 위한 페이스트 조성물
108 제2 전극을 위한 전기전도성 페이스트
110 제1 전극
112 제2 전극
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1 is a process flow diagram illustratively showing the fabrication of a silicon solar cell.
Reference numerals shown in FIG. 1 are described below.
10: p-type silicon wafer
20: n-type diffusion layer
30: antireflective coating, for example SiNx, TiOx, SiOx
40: p + layer (rear field, BSF)
60: aluminum paste formed on the back side
61: aluminum back electrode (obtained by firing rear aluminum paste)
70: silver or silver / aluminum paste formed on the back side
71: silver or silver / aluminum back electrode (obtained by firing back silver or silver / aluminum paste)
500: silver paste formed on the front surface
501: silver front electrode (obtained by firing the front silver paste)
2a to 2d
2A-2D illustrate a manufacturing process for producing a silicon solar cell using the electrically conductive aluminum paste of the present invention. Reference numerals shown in FIG. 2 are described below.
102 Silicon Substrate (Silicone Wafer)
104 Light receiving surface side electrode
106 Paste Composition for the First Electrode
108 Electroconductive Paste for Second Electrode
110 first electrode
112 second electrode

전술한 알루미늄 더스팅 문제는 신규한 알루미늄 후막 조성물을 사용하여 최소화되거나 심지어는 제거할 수 있다. 규소 태양 전지의 알루미늄 후면 전극의 제조시 상기 신규한 알루미늄 후막 조성물을 사용함으로써, 낮은 휨 거동 및 우수한 전기 성능을 나타낼 뿐만 아니라 알루미늄 후면 전극과 규소 웨이퍼 기재 사이의 점착력 손실의 경향이 감소되거나 심지어는 전혀 없는 규소 태양 전지가 생성된다. 알루미늄 후면 전극과 규소 웨이퍼 기재 사이의 우수한 점착력은 규소 태양 전지의 내구성 또는 사용 수명의 연장으로 이어진다.The aforementioned aluminum dusting problem can be minimized or even eliminated using the novel aluminum thick film composition. The use of the novel aluminum thick film composition in the production of aluminum back electrodes of silicon solar cells not only exhibits low bending behavior and excellent electrical performance, but also reduces or even eliminates the tendency of adhesion loss between the aluminum back electrodes and silicon wafer substrates. Silicon solar cells are produced. The good adhesion between the aluminum back electrode and the silicon wafer substrate leads to an increase in the durability or service life of the silicon solar cell.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 미립자 알루미늄, 주석-유기 성분 및 유기 비히클 (유기 매질)을 포함한다. 상이한 실시 형태들에서, 알루미늄 페이스는 또한 하나 이상의 유리 프릿, 아연-유기 성분, 또는 하나 이상의 유리 프릿 및 아연-유기 성분을 포함한다.The aluminum paste of the present invention comprises particulate aluminum, tin-organic components and organic vehicles (organic medium). In different embodiments, the aluminum face also includes one or more glass frits, zinc-organic components, or one or more glass frits and zinc-organic components.

미립자 알루미늄은 알루미늄이나 또는 예컨대 아연, 주석, 은 및 마그네슘과 같은 하나 이상의 다른 금속과의 알루미늄 합금으로 구성될 수 있다. 알루미늄 합금의 경우, 알루미늄 함량은 예컨대 99.7 내지 100 중량% 미만이다. 미립자 알루미늄은 다양한 형상의 알루미늄 입자, 예를 들어 알루미늄 박편(flake), 구형 알루미늄 분말, 결절형(nodular-shaped; 불규칙형) 알루미늄 분말 또는 임의의 그 조합을 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 미립자 알루미늄은 알루미늄 분말의 형태이다. 알루미늄 분말은, 예를 들어 4 내지 10 ㎛의, 레이저 산란에 의해 측정된 평균 입자 크기(평균 입자 직경)를 나타낸다. 미립자 알루미늄은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 50 내지 80 중량%의 비율로, 또는 일 실시 형태에서는 70 내지 75 중량%의 비율로 본 발명의 알루미늄 페이스트에 존재할 수 있다.Particulate aluminum may be composed of aluminum or an aluminum alloy with one or more other metals such as, for example, zinc, tin, silver and magnesium. In the case of aluminum alloys, the aluminum content is, for example, 99.7 to less than 100% by weight. Particulate aluminum can include various shaped aluminum particles, such as aluminum flakes, spherical aluminum powder, nodular-shaped aluminum powder, or any combination thereof. In one embodiment, the particulate aluminum is in the form of aluminum powder. The aluminum powder exhibits an average particle size (average particle diameter) measured by laser scattering, for example of 4 to 10 μm. The particulate aluminum may be present in the aluminum paste of the present invention in a proportion of 50 to 80% by weight, or in one embodiment in a proportion of 70 to 75% by weight based on the total aluminum paste composition.

평균 입자 크기와 관련하여 본 명세서 및 특허청구범위에 행해진 모든 언급은 알루미늄 페이스트 조성물에 존재하는 관련 물질들의 평균 입자 크기에 관한 것이다.All references made in this specification and in the claims with respect to the average particle size relate to the average particle size of the relevant materials present in the aluminum paste composition.

알루미늄 페이스트에 존재하는 미립자 알루미늄은, 예를 들어 은 또는 은 합금 분말과 같은 다른 미립자 금속(들)을 수반할 수 있다. 그러한 다른 미립자 금속(들)의 비율은, 미립자 알루미늄 + 미립자 금속(들)의 총계를 기준으로, 예를 들어 0 내지 10 중량%이다.Particulate aluminum present in the aluminum paste may involve other particulate metal (s) such as, for example, silver or silver alloy powder. The proportion of such other particulate metal (s) is, for example, from 0 to 10% by weight, based on the total amount of particulate aluminum + particulate metal (s).

본 발명의 알루미늄 페이스트는 주석-유기 성분을 포함하며, 일 실시 형태에서 주석-유기 성분은 액체 주석-유기 성분일 수 있다. 본 명세서에서 용어 "주석-유기 성분"은 고체 주석-유기 성분 및 액체 주석-유기 성분을 말한다. 용어 "액체 주석-유기 성분"은 유기 용매(들) 중 하나 이상의 주석-유기 화합물의 용액, 또는 일 실시 형태에서는 하나 이상의 액체 주석-유기 화합물 그 자체를 의미한다.The aluminum paste of the present invention comprises a tin-organic component, in one embodiment the tin-organic component may be a liquid tin-organic component. The term "tin-organic component" as used herein refers to solid tin-organic components and liquid tin-organic components. The term "liquid tin-organic component" means a solution of one or more tin-organic compounds in the organic solvent (s), or in one embodiment one or more liquid tin-organic compounds themselves.

본 발명과 관련하여, 용어 "주석-유기 화합물"은 분자 내에 적어도 하나의 유기 부분을 포함하는 주석 화합물을 포함한다. 주석-유기 화합물은, 예를 들어 본 발명의 알루미늄 페이스트의 제조, 저장 및 적용 동안 우세한 조건 하에서, 대기 중 산소 또는 공기 습기의 존재 하에서 안정하거나 또는 본질적으로 안정하다. 규소 웨이퍼의 후면으로의 알루미늄 페이스트의 적용 조건 하에서도, 특히 알루미늄 페이스트의 스크린 인쇄 동안 우세한 조건 하에서도 마찬가지이다. 그러나, 알루미늄 페이스트의 소성 동안, 주석-유기 화합물의 유기 부분은 제거되거나 또는 본질적으로 제거될, 예를 들어 연소(burn) 및/또는 탄화(carbonize)될 것이다. 주석-유기 화합물 그 자체만으로는 주석 함량이 일 실시 형태에서는 25 내지 35 중량%의 범위이다. 주석-유기 화합물은 공유결합 주석-유기 화합물을 포함할 수 있으며, 특히 이들은 주석-유기 염 화합물을 포함한다. 적합한 주석-유기 염 화합물의 예에는 특히 주석 레지네이트 (산성 수지, 특히 카르복실 기를 갖는 수지의 주석 염) 및 주석 카르복실레이트 (주석 카르복실산 염)가 포함된다. 일 실시 형태에서, 주석-유기 화합물은 주석(II) 옥토에이트, 또는 더 정확하게는 주석(II) 2-에틸헥사노에이트일 수 있으며, 이는 실온에서 액체이다. 주석(II) 2-에틸헥사노에이트는, 예를 들어 롬 앤드 하스(Rohm and Haas)로부터 구매가능하다. 주석(II) 2-에틸헥사노에이트와 같은 액체 주석-유기 화합물의 경우, 비용해(undissolved) 액체 주석-유기 화합물(들) 그 자체가 본 발명의 알루미늄 페이스트를 제조할 때 사용될 수 있으며, 주석(II) 2-에틸헥사노에이트는 액체 주석-유기 성분을 형성할 수 있다.In the context of the present invention, the term “tin-organic compound” includes tin compounds comprising at least one organic moiety in the molecule. The tin-organic compounds are stable or essentially stable in the presence of oxygen or air moisture in the atmosphere, for example under conditions prevailing during the preparation, storage and application of the aluminum pastes of the invention. The same is true under the conditions of application of the aluminum paste to the back side of the silicon wafer, especially under conditions prevailing during screen printing of the aluminum paste. However, during firing of the aluminum paste, the organic portion of the tin-organic compound will be removed or essentially removed, eg burned and / or carbonized. The tin-organic compound per se alone has a tin content in the range of 25 to 35% by weight in one embodiment. Tin-organic compounds may comprise covalent tin-organic compounds, in particular they include tin-organic salt compounds. Examples of suitable tin-organic salt compounds include, in particular, tin resinates (tin salts of acid resins, in particular resins having carboxyl groups) and tin carboxylates (tin carboxylic acid salts). In one embodiment, the tin-organic compound may be tin (II) octoate, or more precisely tin (II) 2-ethylhexanoate, which is liquid at room temperature. Tin (II) 2-ethylhexanoate is commercially available from Rohm and Haas, for example. In the case of liquid tin-organic compounds such as tin (II) 2-ethylhexanoate, the undissolved liquid tin-organic compound (s) per se can be used when preparing the aluminum paste of the invention, (II) 2-ethylhexanoate may form a liquid tin-organic component.

주석-유기 성분은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 0.01 내지 0.5 중량%, 또는 일 실시 형태에서는 0.1 내지 0.15 중량%의 주석 기여분에 상응하는 비율로 본 발명의 알루미늄 페이스트에 존재할 수 있다. 주석(II) 2-에틸헥사노에이트의 경우, 알루미늄 페이스트 내의 그 비율은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 0.1 내지 1 중량% 또는 일 실시 형태에서는 0.3 내지 0.5 중량%의 범위일 수 있다.The tin-organic component may be present in the aluminum paste of the present invention in proportions corresponding to 0.01 to 0.5% by weight, or in one embodiment 0.1 to 0.15% by weight tin contribution, based on the total aluminum paste composition. In the case of tin (II) 2-ethylhexanoate, the proportion in the aluminum paste may range from 0.1 to 1% by weight or in one embodiment from 0.3 to 0.5% by weight, based on the total aluminum paste composition.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 아연-유기 성분을 추가로 포함할 수 있으며, 일 실시 형태에서 아연-유기 성분은 액체 아연-유기 성분일 수 있다. 본 명세서에서 용어 "아연-유기 성분"은 고체 아연-유기 화합물 및 액체 아연-유기 성분을 말한다. 용어 "액체 아연-유기 성분"은 유기 용매(들) 중 하나 이상의 아연-유기 화합물의 용액, 또는 일 실시 형태에서는 하나 이상의 액체 아연-유기 화합물 그 자체를 의미한다.The aluminum paste of the present invention may further comprise a zinc-organic component, and in one embodiment the zinc-organic component may be a liquid zinc-organic component. The term "zinc-organic component" as used herein refers to solid zinc-organic compounds and liquid zinc-organic components. The term "liquid zinc-organic component" means a solution of one or more zinc-organic compounds in the organic solvent (s), or in one embodiment one or more liquid zinc-organic compounds themselves.

비제한적인 실시 형태에서 본 발명의 알루미늄 페이스트의 아연-유기 성분은 비산화(unoxidized) 아연 금속을 사실상 함유하지 않으며, 추가의 실시 형태에서 아연-유기 성분은 90% 초과가 비산화 아연 금속을 함유하지 않을 수 있으며, 추가의 실시 형태에서는 아연-유기 성분은 95%, 97% 또는 99% 초과가 비산화 아연 금속을 함유하지 않을 수 있다. 일 실시 형태에서, 아연-유기 성분은 비산화 아연 금속을 함유하지 않을 수 있다.In a non-limiting embodiment the zinc-organic component of the aluminum paste of the present invention contains virtually no unoxidized zinc metal, and in further embodiments the zinc-organic component contains more than 90% non-oxidizing zinc metal. In a further embodiment, the zinc-organic component may not contain more than 95%, 97% or 99% non-oxide metal. In one embodiment, the zinc-organic component may not contain non-oxidizing zinc metal.

본 발명과 관련하여, 용어 "아연-유기 화합물"은 분자 내에 적어도 하나의 유기 부분을 포함하는 그러한 아연 화합물을 포함한다. 아연-유기 화합물은, 예를 들어 본 발명의 알루미늄 페이스트의 제조, 저장 및 적용 동안 우세한 조건 하에서, 대기 중 산소 또는 공기 습기의 존재 하에서 안정하거나 또는 본질적으로 안정하다. 규소 웨이퍼의 후면으로의 알루미늄 페이스트의 적용 조건 하에서도, 특히 알루미늄 페이스트의 스크린 인쇄 동안 우세한 조건 하에서도 마찬가지이다. 그러나, 알루미늄 페이스트의 소성 동안, 아연-유기 화합물의 유기 부분은 제거되거나 또는 본질적으로 제거될, 예를 들어 연소 및/또는 탄화될 것이다. 아연-유기 화합물 그 자체만으로는 아연 함량이 일 실시 형태에서는 15 내지 30 중량%의 범위이다. 아연-유기 화합물은 공유결합 아연-유기 화합물을 포함할 수 있으며, 특히 이들은 아연-유기 염 화합물을 포함한다. 적합한 아연-유기 염 화합물의 예에는 특히 아연 레지네이트 (산성 수지, 특히 카르복실 기를 갖는 수지의 아연 염) 및 아연 카르복실레이트 (아연 카르복실산 염)가 포함된다. 일 실시 형태에서, 아연-유기 화합물은 아연 네오데카노에이트일 수 있으며, 이는 실온에서 액체이다. 아연 네오데카노에이트는, 예를 들어 셰퍼드 케미칼 컴퍼니(Shepherd Chemical Company)로부터 구매가능하다. 아연 네오데카노에이트와 같은 액체 아연-유기 화합물의 경우, 비용해 액체 아연-유기 화합물(들) 그 자체가 본 발명의 알루미늄 페이스트를 제조할 때 사용될 수 있으며, 아연 네오데카노에이트는 액체 아연-유기 성분을 형성할 수 있다.In the context of the present invention, the term “zinc-organic compound” includes such zinc compounds comprising at least one organic moiety in the molecule. Zinc-organic compounds are stable or essentially stable in the presence of oxygen or air moisture in the atmosphere, for example under conditions prevailing during the manufacture, storage and application of the aluminum pastes of the invention. The same is true under the conditions of application of the aluminum paste to the back side of the silicon wafer, especially under conditions prevailing during screen printing of the aluminum paste. However, during firing of the aluminum paste, the organic portion of the zinc-organic compound will be removed or essentially removed, for example burned and / or carbonized. The zinc-organic compound per se alone has a zinc content in the range of 15 to 30% by weight in one embodiment. Zinc-organic compounds may comprise covalent zinc-organic compounds, in particular they include zinc-organic salt compounds. Examples of suitable zinc-organic salt compounds include, in particular, zinc resinates (zinc salts of acidic resins, in particular resins having carboxyl groups) and zinc carboxylates (zinc carboxylic acid salts). In one embodiment, the zinc-organic compound may be zinc neodecanoate, which is liquid at room temperature. Zinc neodecanoate is commercially available from, for example, Shepherd Chemical Company. In the case of liquid zinc-organic compounds such as zinc neodecanoate, inexpensive liquid zinc-organic compound (s) can be used when preparing the aluminum paste of the invention, and zinc neodecanoate is liquid zinc- Organic components can be formed.

아연-유기 성분을 포함하는 알루미늄 페이스트의 경우, 아연-유기 성분은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 0.05 내지 0.6 중량% 또는 일 실시 형태에서는 0.1 내지 0.25 중량%의 아연 기여분에 상응하는 비율로 알루미늄 페이스트에 존재할 수 있다. 아연 네오데카노에이트의 경우, 알루미늄 페이스트 내의 그 비율은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 0.5 내지 3.0 중량% 또는 일 실시 형태에서는 0.5 내지 1.2 중량%의 범위일 수 있다.In the case of an aluminum paste comprising a zinc-organic component, the zinc-organic component is aluminum at a ratio corresponding to a zinc contribution of 0.05 to 0.6% by weight or in one embodiment 0.1 to 0.25% by weight, based on the total aluminum paste composition. May be present in the paste. In the case of zinc neodecanoate, its proportion in the aluminum paste may range from 0.5 to 3.0 weight percent, or in one embodiment 0.5 to 1.2 weight percent, based on the total aluminum paste composition.

일 실시 형태에서, 본 발명의 알루미늄 페이스트는 무기 결합제로서 적어도 하나의 유리 프릿 조성물을 포함한다. 유리 프릿 조성물은 PbO를 함유할 수 있으며, 일 실시 형태에서 유리 프릿 조성물은 무연(lead-free)일 수 있다. 유리 프릿 조성물은, 소성시 재결정화 또는 상분리를 겪고 원래의 연화점보다 더 낮은 연화점을 갖는 분리된 상(separated phase)을 갖는 프릿을 유리시키는 것들을 포함할 수 있다.In one embodiment, the aluminum paste of the present invention comprises at least one glass frit composition as an inorganic binder. The glass frit composition may contain PbO and in one embodiment the glass frit composition may be lead-free. Glass frit compositions may include those which undergo recrystallization or phase separation upon firing and liberate frits having a separated phase having a lower softening point than the original softening point.

유리 프릿 조성물의 (원래의) 연화점 (유리 전이 온도, 10 K/min의 가열 속도로 시차 열분석 (DTA)에 의해 측정됨)은 325 내지 600℃의 범위일 수 있다.The (original) softening point of the glass frit composition (glass transition temperature, measured by differential thermal analysis (DTA) at a heating rate of 10 K / min) may range from 325 to 600 ° C.

유리 프릿은, 예를 들어 2 내지 20 ㎛의, 레이저 산란에 의해 측정된 평균 입자 크기(평균 입자 직경)를 나타낸다. 유리-프릿(들)을 포함하는 알루미늄 페이스트의 경우, 유리 프릿(들) 함량은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 0.01 내지 5 중량%, 또는 일 실시 형태에서는 0.1 내지 2 중량%, 또는 추가의 실시 형태에서는 0.2 내지 1.25 중량%일 수 있다.The glass frit exhibits an average particle size (average particle diameter) measured by laser scattering, for example of 2 to 20 μm. For aluminum pastes comprising glass-frit (s), the glass frit (s) content is 0.01 to 5% by weight, or in one embodiment 0.1 to 2% by weight, or additionally based on the total aluminum paste composition. In embodiments, 0.2 to 1.25 weight percent.

알루미늄 페이스트에 유용한 유리 프릿들 중 일부는 본 기술 분야에서 통상적이다. 일부 예에는 보로실리케이트 및 알루미노실리케이트 유리가 포함된다. 예에는 추가로 B2O3, SiO2, Al2O3, CdO, CaO, BaO, ZnO, Na2O, Li2O, PbO, 및 ZrO2와 같은 산화물들의 조합이 포함되며, 이들은 독립적으로 또는 조합적으로 사용되어 유리 결합제를 형성할 수 있다.Some of the glass frits useful for aluminum pastes are conventional in the art. Some examples include borosilicate and aluminosilicate glass. Examples further include combinations of oxides such as B 2 O 3 , SiO 2 , Al 2 O 3 , CdO, CaO, BaO, ZnO, Na 2 O, Li 2 O, PbO, and ZrO 2 , which are independently Or may be used in combination to form a glass binder.

종래의 유리 프릿은 보로실리케이트 프릿, 예를 들어 납 보로실리케이트 프릿, 비스무트, 카드뮴, 바륨, 칼슘, 또는 다른 알칼리 토금속 보로실리케이트 프릿일 수 있다. 그러한 유리 프릿의 제조는 잘 알려져 있으며, 예를 들어 성분들의 산화물 형태로의 유리의 성분들을 함께 용융시키는 단계 및 그러한 용융된 조성물을 물에 부어 프릿을 형성하는 단계로 이루어진다. 물론, 배치(batch) 성분들은 프릿 제조의 통상적인 조건 하에서 원하는 산화물을 생성하게 될 임의의 화합물일 수 있다. 예를 들어, 산화붕소는 붕산으로부터 얻어질 것이고, 이산화규소는 플린트(flint)로부터 생성될 것이며, 산화바륨은 탄산바륨으로부터 생성될 것이다.Conventional glass frits may be borosilicate frits, for example lead borosilicate frits, bismuth, cadmium, barium, calcium, or other alkaline earth metal borosilicate frits. The preparation of such glass frits is well known and consists, for example, of melting the components of the glass in the form of oxides of the components together and pouring the molten composition into water to form the frit. Of course, the batch components can be any compound that will produce the desired oxide under the usual conditions of frit preparation. For example, boron oxide will be obtained from boric acid, silicon dioxide will be produced from flint, and barium oxide will be produced from barium carbonate.

유리는, 프릿의 입자 크기를 감소시키고 사실상 균일한 크기의 프릿을 얻기 위해서 물 또는 불활성 저점도, 저비점 유기 액체가 들어 있는 볼 밀(ball mill) 내에서 밀링(milling)될 수 있다. 이어서, 이는 물 또는 상기 유기 액체 중에 침강되어 미세분(fines)을 분리할 수 있으며, 이 미세분을 함유하는 상청 유체가 제거될 수 있다. 분급(classification)의 다른 방법이 마찬가지로 사용될 수 있다.The glass may be milled in a ball mill containing water or an inert low viscosity, low boiling organic liquid to reduce the particle size of the frit and to obtain a frit of substantially uniform size. It can then be precipitated in water or the organic liquid to separate fines, and the supernatant fluid containing the fines can be removed. Other methods of classification can likewise be used.

유리는 종래의 유리 제조 기술에 의해, 원하는 비율로 원하는 성분들을 혼합하고 혼합물을 가열하여 용융물을 형성함으로써 제조된다. 당업계에 잘 알져진 바와 같이, 가열은 용융물이 완전히 액체가 되어 균질하게 되는 시간 동안 그리고 피크 온도로 수행될 수 있다.Glass is produced by conventional glass making techniques by mixing the desired ingredients in the desired proportions and heating the mixture to form a melt. As is well known in the art, the heating may be carried out for a period of time during which the melt becomes completely liquid and homogeneous and at peak temperature.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 비정질 이산화규소를 포함할 수 있다. 비정질 이산화규소는 미분된 분말이다. 일 실시 형태에서, 이는 예를 들어 5 내지 100 nm의, 레이저 산란에 의해 측정된 평균 입자 크기 (평균 입자 직경)를 가질 수 있다. 특히, 이는 합성적으로 생성된 실리카, 예를 들어 발열성(pyrogenic) 실리카 또는 침전에 의해 생성된 실리카를 포함한다. 그러한 실리카들은 매우 다양한 유형으로 다양한 제조업자에 의해 공급된다.The aluminum paste of the present invention may comprise amorphous silicon dioxide. Amorphous silicon dioxide is a finely divided powder. In one embodiment, it may have an average particle size (average particle diameter) measured by laser scattering, for example between 5 and 100 nm. In particular, this includes synthetically produced silica, for example pyrogenic silica or silica produced by precipitation. Such silicas are supplied by various manufacturers in a wide variety of types.

본 발명의 알루미늄 페이스트가 비정질 이산화규소를 포함하는 경우, 비정질 이산화규소는, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 예를 들어 0 초과 내지 0.5 중량%, 예를 들어 0.01 내지 0.5 중량%, 또는 일 실시 형태에서는 0.05 내지 0.1 중량%의 비율로 알루미늄 페이스트에 존재할 수 있다.When the aluminum paste of the present invention comprises amorphous silicon dioxide, the amorphous silicon dioxide may, for example, be greater than 0 to 0.5% by weight, for example 0.01 to 0.5% by weight, or one embodiment, based on the total aluminum paste composition. May be present in the aluminum paste in a proportion of 0.05 to 0.1 wt%.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 유기 비히클을 포함한다. 매우 다양한 불활성 점성 물질이 유기 비히클로서 사용될 수 있다. 유기 비히클은 미립자 성분들 (미립자 알루미늄, 만약 있다면 비정질 이산화규소, 만약 있다면 유리 프릿)이 적절한 정도의 안정성을 갖고서 분산가능한 것일 수 있다. 유기 비히클의 특성, 특히 리올로지 특성은 그것이 알루미늄 페이스트 조성물에 대하여, 불용성 고형물의 안정한 분산, 적용, 특히 스크린 인쇄를 위한 적절한 점도 및 요변성(thixotropy), 규소 웨이퍼 기재 및 페이스트 고형물의 적절한 습윤성(wettability), 우수한 건조 속도, 및 우수한 소성 특성을 비롯한 우수한 적용 특성을 제공하는 그러한 것일 수 있다. 본 발명의 알루미늄 페이스트에 사용되는 유기 비히클은 비수성 불활성 액체일 수 있다. 유기 비히클은 유기 용매 또는 유기 용매 혼합물일 수 있으며, 일 실시 형태에서 유기 비히클은 유기 용매(들) 중 유기 중합체(들)의 용액일 수 있다. 일 실시 형태에서, 이러한 목적에 사용되는 중합체는 에틸 셀룰로오스일 수 있다. 단독으로 또는 조합하여 사용될 수 있는 중합체의 다른 예에는 에틸하이드록시에틸 셀룰로오스, 우드 로진(wood rosin), 페놀 수지 및 저급 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트가 포함된다. 적합한 유기 용매의 예에는 에스테르 알코올 및 테르펜, 예를 들어 알파- 또는 베타-테르피네올, 또는 케로센, 다이부틸프탈레이트, 다이에틸렌 글리콜 부틸 에테르, 다이에틸렌 글리콜 부틸 에테르 아세테이트, 헥실렌 글리콜 및 고비점 알코올과 같은 다른 용매와의 이들의 혼합물이 포함된다. 추가적으로, 규소 웨이퍼의 후면에 알루미늄 페이스트의 적용 후 신속한 경화를 촉진시키는 휘발성 유기 용매가 유기 비히클 내에 포함될 수 있다. 원하는 점도 및 휘발성 요건을 얻기 위해서 이들 용매와 다른 용매의 다양한 조합이 제형화될 수 있다.The aluminum paste of the present invention includes an organic vehicle. A wide variety of inert viscous materials can be used as the organic vehicle. The organic vehicle may be one in which the particulate components (particulate aluminum, amorphous silicon dioxide if present, glass frit if present) are dispersible with an adequate degree of stability. The properties of the organic vehicle, in particular the rheological properties, make it suitable for aluminum paste compositions, suitable viscosity and thixotropy for stable dispersion of insoluble solids, applications, in particular screen printing, suitable wettability of silicon wafer substrates and paste solids. ), Such as providing good application properties, including good drying rates, and good firing properties. The organic vehicle used in the aluminum paste of the present invention may be a non-aqueous inert liquid. The organic vehicle may be an organic solvent or an organic solvent mixture, and in one embodiment the organic vehicle may be a solution of organic polymer (s) in organic solvent (s). In one embodiment, the polymer used for this purpose may be ethyl cellulose. Other examples of polymers that can be used alone or in combination include poly (meth) acrylates of ethylhydroxyethyl cellulose, wood rosin, phenol resins and lower alcohols. Examples of suitable organic solvents include ester alcohols and terpenes such as alpha- or beta-terpineol, or kerosene, dibutylphthalate, diethylene glycol butyl ether, diethylene glycol butyl ether acetate, hexylene glycol and high boiling points Mixtures thereof with other solvents such as alcohols. Additionally, volatile organic solvents may be included in the organic vehicle that promote rapid cure after application of aluminum paste to the backside of the silicon wafer. Various combinations of these and other solvents may be formulated to obtain the desired viscosity and volatility requirements.

본 발명의 알루미늄 페이스트 내의 유기 용매 함량은, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 5 내지 25 중량%, 또는 일 실시 형태에서 10 내지 20 중량%의 범위일 수 있다. 5 내지 25 중량%의 수치는 액체 주석-유기 성분 및 선택적인 액체 아연-유기 성분으로부터의 가능한 유기 용매 기여분을 포함한다.The organic solvent content in the aluminum paste of the present invention may be in the range of 5-25 wt%, or in one embodiment 10-20 wt%, based on the total aluminum paste composition. Values of 5 to 25% by weight include possible organic solvent contributions from liquid tin-organic components and optional liquid zinc-organic components.

유기 중합체(들)는, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 0 내지 20 중량%, 또는 일 실시 형태에서는 5 내지 10 중량% 범위의 비율로 유기 비히클에 존재할 수 있다.The organic polymer (s) may be present in the organic vehicle in a proportion ranging from 0 to 20 wt%, or in one embodiment 5 to 10 wt%, based on the total aluminum paste composition.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 하나 이상의 유기 첨가제, 예를 들어 계면활성제, 증점제, 리올로지 조절제 또는 안정제를 포함할 수 있다. 유기 첨가제(들)는 유기 비히클의 일부일 수 있다. 그러나, 알루미늄 페이스트를 제조할 때 유기 첨가제(들)를 별도로 첨가하는 것이 또한 가능하다. 유기 첨가제(들)는, 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로, 예를 들어 0 내지 10 중량%의 전체 비율로 본 발명의 알루미늄 페이스트에 존재할 수 있다.The aluminum paste of the present invention may comprise one or more organic additives, for example surfactants, thickeners, rheology modifiers or stabilizers. The organic additive (s) can be part of an organic vehicle. However, it is also possible to add the organic additive (s) separately when preparing the aluminum paste. The organic additive (s) may be present in the aluminum pastes of the present invention, for example in a total proportion of 0 to 10% by weight, based on the total aluminum paste composition.

본 발명의 알루미늄 페이스트 내의 유기 비히클 함량은 페이스트의 적용 방법 및 사용되는 유기 비히클의 종류에 좌우될 수 있으며, 그것은 변할 수 있다. 일 실시 형태에서, 이는 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 20 내지 45 중량%일 수 있거나, 또는 일 실시 형태에서 22 내지 35 중량%의 범위일 수 있다. 20 내지 45 중량%의 수치는 유기 용매(들), 가능한 유기 중합체(들) 및 가능한 유기 첨가제(들)를 포함한다.The organic vehicle content in the aluminum paste of the present invention may depend on the method of applying the paste and the type of organic vehicle used, which may vary. In one embodiment, it may be 20 to 45 weight percent based on the total aluminum paste composition, or in one embodiment may be in the range of 22 to 35 weight percent. Values of 20 to 45% by weight include organic solvent (s), possible organic polymer (s) and possible organic additive (s).

일 실시 형태에서, 본 발명의 알루미늄 페이스트는In one embodiment, the aluminum paste of the present invention

70 내지 75 중량%의 미립자 알루미늄,70 to 75 weight percent particulate aluminum,

0.1 내지 0.15 중량%의 주석 기여분에 상응하는 비율의 주석-유기 성분(들), 특히 0.3 내지 0.5 중량%의 주석(II) 2-에틸헥사노에이트,Tin-organic component (s) in a proportion corresponding to 0.1 to 0.15 wt% tin contribution, in particular 0.3 to 0.5 wt% tin (II) 2-ethylhexanoate,

0.2 내지 1.25 중량%의 하나 이상의 유리 프릿,0.2 to 1.25 weight percent of one or more glass frits,

0 내지 0.5 중량%의 비정질 이산화규소,0-0.5% by weight of amorphous silicon dioxide,

10 내지 20 중량%의 하나 이상의 유기 용매,10-20% by weight of one or more organic solvents,

5 내지 10 중량%의 하나 이상의 유기 중합체, 및5-10% by weight of one or more organic polymers, and

0 내지 5 중량%의 하나 이상의 유기 첨가제를 포함한다.0-5% by weight of one or more organic additives.

일 실시 형태에서, 본 발명의 알루미늄 페이스트는In one embodiment, the aluminum paste of the present invention

70 내지 75 중량%의 미립자 알루미늄,70 to 75 weight percent particulate aluminum,

0.1 내지 0.15 중량%의 주석 기여분에 상응하는 비율의 주석-유기 성분(들), 특히 0.3 내지 0.5 중량%의 주석(II) 2-에틸헥사노에이트,Tin-organic component (s) in a proportion corresponding to 0.1 to 0.15 wt% tin contribution, in particular 0.3 to 0.5 wt% tin (II) 2-ethylhexanoate,

0.1 내지 0.25 중량%의 아연 기여분에 상응하는 비율의 아연-유기 성분(들), 특히, 0.5 내지 1.2 중량%의 아연 네오데카노에이트,Zinc-organic component (s) in a proportion corresponding to a zinc contribution of 0.1 to 0.25% by weight, in particular 0.5 to 1.2% by weight of zinc neodecanoate,

0.2 내지 1.25 중량%의 하나 이상의 유리 프릿,0.2 to 1.25 weight percent of one or more glass frits,

0 내지 0.5 중량%의 비정질 이산화규소,0-0.5% by weight of amorphous silicon dioxide,

10 내지 20 중량%의 하나 이상의 유기 용매,10-20% by weight of one or more organic solvents,

5 내지 10 중량%의 하나 이상의 유기 중합체, 및5-10% by weight of one or more organic polymers, and

0 내지 5 중량%의 하나 이상의 유기 첨가제를 포함한다.0-5% by weight of one or more organic additives.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 점성 조성물이며, 이는 미립자 알루미늄, 주석-유기 성분, 선택적인 아연-유기 성분, 선택적인 유리 프릿 조성물(들) 및 선택적인 비정질 이산화규소를 유기 비히클과 기계적으로 혼합함으로써 제조될 수 있다. 일 실시 형태에서, 제조 방법으로는, 전통적인 롤 밀링(roll milling)에 상당하는 분산 기술인 파워 믹싱(power mixing)이 사용될 수 있으며, 롤 밀링 또는 다른 혼합 기술이 또한 사용될 수 있다.The aluminum paste of the present invention is a viscous composition, which is prepared by mechanically mixing particulate aluminum, tin-organic component, optional zinc-organic component, optional glass frit composition (s) and optional amorphous silicon dioxide with an organic vehicle. Can be. In one embodiment, as a manufacturing method, power mixing, which is a dispersion technique corresponding to traditional roll milling, may be used, and roll milling or other mixing techniques may also be used.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 그대로 사용될 수 있거나, 또는 예를 들어 추가 유기 용매(들)의 첨가에 의해 희석될 수 있으며; 따라서, 알루미늄 페이스트의 다른 모든 성분들의 중량 퍼센트가 감소될 수 있다.The aluminum pastes of the invention can be used as such or diluted, for example by the addition of additional organic solvent (s); Thus, the weight percentage of all other components of the aluminum paste can be reduced.

본 발명의 알루미늄 페이스트는 규소 태양 전지의 알루미늄 후면 전극의 제조에 또는 규소 태양 전지의 제조에 각각 사용될 수 있다. 이러한 제조는 알루미늄 페이스트를 규소 웨이퍼의 후면에, 즉 특히 후면 은 또는 은/알루미늄 페이스트와 같은 다른 후면 금속 페이스트에 의해 덮여 있거나 또는 덮이지 않게 될 그의 표면 일부에 적용함으로써 수행될 수 있다. 규소 웨이퍼는 단결정질 또는 다결정질 규소를 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 규소 웨이퍼는 면적이 100 내지 250 ㎠이고, 두께가 180 내지 300 ㎛일 수 있다. 그러나, 본 발명의 알루미늄 페이스트는, 더 크고/크거나 두께가 더 작은 규소 웨이퍼, 예를 들어 두께가 180 ㎛ 미만, 특히 140 내지 180 ㎛ 미만의 범위이고/이거나 면적이 250 초과 내지 400 ㎠의 범위인 규소 웨이퍼의 후면 상에 알루미늄 후면 전극을 생성하는 것에도 성공적으로 사용될 수 있다.The aluminum paste of the present invention can be used for the production of aluminum back electrodes of silicon solar cells or for the production of silicon solar cells, respectively. This preparation can be carried out by applying aluminum paste to the backside of the silicon wafer, ie to a portion of its surface that will or will not be covered, in particular by other backside metal pastes such as backside silver or silver / aluminum paste. Silicon wafers may comprise monocrystalline or polycrystalline silicon. In one embodiment, the silicon wafer may have an area of 100 to 250 cm 2 and a thickness of 180 to 300 μm. However, the aluminum pastes of the invention are larger and / or smaller thickness silicon wafers, for example in the range of less than 180 μm, in particular in the range of 140 to less than 180 μm and / or in the range of more than 250 to 400 cm 2. It can also be used successfully to create aluminum back electrodes on the back side of phosphorus silicon wafers.

알루미늄 페이스트는, 예를 들어 15 내지 60 ㎛의 건조 필름 두께로 적용된다. 알루미늄 페이스트 적용의 방법은 인쇄, 예를 들어 실리콘 패드 인쇄, 또는 일 실시 형태에서는 스크린 인쇄일 수 있다. 본 발명의 알루미늄 페이스트의 적용 점도는, 브룩필드(Brookfield) HBT 점도계 및 #14 스핀들(spindle)을 사용하여 다용도 컵(utility cup)에 의해 10 rpm의 스핀들 속도 및 25℃에서 측정될 때, 20 내지 200 Pa?s일 수 있다.The aluminum paste is applied with a dry film thickness of, for example, 15 to 60 μm. The method of applying aluminum paste may be printing, for example silicon pad printing, or screen printing in one embodiment. The applied viscosity of the aluminum paste of the present invention is 20 to 20 when measured at a spindle speed of 10 rpm and 25 ° C. by a utility cup using a Brookfield HBT viscometer and a # 14 spindle. It can be 200 Pa? S.

규소 웨이퍼의 후면에의 알루미늄 페이스트의 적용 후, 페이스트는 예를 들어 1 내지 100분의 시간 동안 건조될 수 있으며, 이때 웨이퍼는 100 내지 300℃ 범위의 피크 온도에 도달하게 된다. 건조는 예를 들어 벨트, 회전 또는 고정 건조기, 특히 IR (적외선) 벨트 건조기를 사용하여 수행될 수 있다.After application of the aluminum paste to the backside of the silicon wafer, the paste may be dried, for example for a time of 1 to 100 minutes, at which time the wafer will reach a peak temperature in the range of 100 to 300 ° C. Drying can be carried out, for example, using belts, rotary or stationary dryers, in particular IR (infrared) belt dryers.

적용 후, 또는 일 실시 형태에서는 적용 및 건조 후, 본 발명의 알루미늄 페이스트는 소성되어 알루미늄 후면 전극을 형성하게 된다. 소성은 예를 들어 1 내지 5분의 시간 동안 수행될 수 있으며, 이때 규소 웨이퍼는 700 내지 900℃ 범위의 피크 온도에 도달하게 된다. 소성은 예를 들어 단일 또는 다중-구역 벨트 소성로, 특히 다중-구역 IR 벨트 소성로를 사용하여 수행될 수 있다. 소성은 산소의 존재 하에서, 특히 공기의 존재 하에서 일어난다. 소성 동안, 가능한 건조 단계 동안 증발되지 않은 유기 부분 및 비휘발성 유기 물질을 비롯한 유기 물질이 제거, 즉 연소 및/또는 탄화될 수 있고, 특히 연소될 수 있다. 소성 동안 제거되는 유기 물질에는 유기 용매(들), 가능한 유기 중합체(들), 가능한 유기 첨가제(들), 하나 이상의 주석-유기 화합물 및 가능한 하나 이상의 아연-유기 화합물의 유기 부분이 포함된다. 주석은 소성 후 주석 산화물로서 남을 수 있다. 일 실시 형태에서, 소성 후 주석 산화물은 예를 들어 SnO, SnO2 또는 이들의 혼합물일 수 있다. 알루미늄 페이스트가 아연-유기 화합물을 포함하는 경우, 아연은 소성 후 아연 산화물로서 남을 수 있다. 알루미늄 페이스트가 유리 프릿(들)을 포함하는 경우, 소성 동안 일어나는 추가의 공정, 즉 유리 프릿(들)의 소결이 있을 수 있다. 소성은 규소 웨이퍼에 적용된 추가의 금속 페이스트, 즉 적용된 전면 및/또는 후면 금속 페이스트와 함께 소위 동시소성으로서 수행되어, 소성 공정 동안 웨이퍼의 표면 상에 전면 및/또는 후면 전극을 형성할 수 있다. 일 실시 형태는 전면 은 페이스트 및 후면 은 또는 후면 은/알루미늄 페이스트를 포함한다.After application, or in one embodiment, after application and drying, the aluminum paste of the present invention is fired to form an aluminum back electrode. Firing may be performed for a time of, for example, 1 to 5 minutes, in which the silicon wafer will reach a peak temperature in the range of 700 to 900 ° C. Firing can be carried out, for example, using single or multi-zone belt firing furnaces, in particular multi-zone IR belt firing furnaces. Firing takes place in the presence of oxygen, in particular in the presence of air. During firing, organic materials, including organic portions and non-volatile organic materials, which have not evaporated during the possible drying steps can be removed, ie burned and / or carbonized, in particular burned. Organic materials removed during firing include organic solvent (s), possible organic polymer (s), possible organic additive (s), one or more tin-organic compounds and possibly one or more organic parts of zinc-organic compounds. Tin may remain as tin oxide after firing. In one embodiment, the tin oxide after firing may be, for example, SnO, SnO 2 or a mixture thereof. If the aluminum paste contains a zinc-organic compound, zinc may remain as zinc oxide after firing. If the aluminum paste comprises glass frit (s), there may be an additional process that occurs during firing, ie sintering of the glass frit (s). Firing can be carried out as so-called cofiring with additional metal pastes applied to the silicon wafer, ie applied front and / or back metal pastes, to form front and / or back electrodes on the surface of the wafer during the firing process. One embodiment includes front side silver paste and back side silver or back side silver / aluminum paste.

다음으로, 본 발명의 알루미늄 페이스트를 사용하여 규소 태양 전지를 제조하는 비제한적인 예가 도 2를 참고하여 설명된다.Next, a non-limiting example of producing a silicon solar cell using the aluminum paste of the present invention is described with reference to FIG. 2.

먼저, 규소 웨이퍼 기재(102)가 준비된다. 규소 웨이퍼의 수광측 면 (전면측 표면) - 통상적으로 p-n 접합부가 이 표면 가까이에 있음 - 상에, 전면 전극 (예를 들어, 은으로 주로 구성된 전극; 104)이 설치된다 (도 2a). 규소 웨이퍼의 후면 상에, 은 또는 은/알루미늄 전기전도성 페이스트 (예를 들어, PV202 또는 PV502 또는 PV583 또는 PV581; 이. 아이. 듀폰 디 네모아 앤드 컴퍼니(E. I. Du Pont de Nemours and Company)로부터 구매가능함)를 펴발라서 버스바 또는 탭을 형성하여 병렬 전기 구성으로 설정된 다른 태양 전지들과의 상호 접속을 가능하게 한다. 규소 웨이퍼의 후면 상에, 태양 전지를 위한 후면 (또는 p형 접촉) 전극(106)으로서 사용되는 본 발명의 신규한 알루미늄 페이스트가 위에 언급된 은 또는 은/알루미늄 페이스트 등과의 약간의 중첩을 가능하게 하는 패턴을 사용하여 스크린 인쇄에 의해 펴발라지고, 이어서 건조된다 (도 2b). 페이스트의 건조는, 예를 들어 1 내지 10분의 시간 동안 IR 벨트 건조기 내에서 수행되며, 이때 웨이퍼는 100 내지 300℃의 피크 온도에 도달하게 된다. 또한, 알루미늄 페이스트는 건조된 필름 두께가 15 내지 60 ㎛일 수 있으며, 은 또는 은/알루미늄 페이스트의 두께는 15 내지 30 ㎛일 수 있다. 또한, 알루미늄 페이스트와 은 또는 은/알루미늄 페이스트의 중첩된 부분은 약 0.5 내지 2.5 ㎜일 수 있다.First, the silicon wafer substrate 102 is prepared. On the light-receiving side (front side surface) of the silicon wafer, typically having a p-n junction near this surface, a front electrode (for example, an electrode mainly composed of silver; 104) is provided (FIG. 2A). On the backside of the silicon wafer, silver or silver / aluminum electroconductive pastes (eg, PV202 or PV502 or PV583 or PV581; available from EI Du Pont de Nemours and Company) ) To form a busbar or tab to allow interconnection with other solar cells set in a parallel electrical configuration. On the backside of the silicon wafer, the novel aluminum pastes of the invention used as backside (or p-type contact) electrodes 106 for solar cells allow for some overlap with the silver or silver / aluminum pastes and the like mentioned above. It is spread out by screen printing using a pattern to be dried and then dried (FIG. 2B). Drying of the paste is carried out, for example, in an IR belt dryer for a time of 1 to 10 minutes, at which time the wafer reaches a peak temperature of 100 to 300 ° C. In addition, the aluminum paste may have a dried film thickness of 15 to 60 μm, and the thickness of the silver or silver / aluminum paste may be 15 to 30 μm. In addition, the overlapped portion of the aluminum paste and the silver or silver / aluminum paste may be about 0.5 to 2.5 mm.

다음으로, 얻어진 기재는, 예를 들어 1 내지 5분의 시간 동안 벨트 소성로 내에서 소성되며, 이때 웨이퍼는 700 내지 900℃의 피크 온도에 도달하게 되고, 따라서 원하는 규소 태양 전지가 얻어지게 된다 (도 2d). 전극(110)은 알루미늄 페이스트로부터 형성되는데, 여기서 상기 페이스트는 소성되어 유기 물질이 제거되며, 알루미늄 페이스트가 유리 프릿을 포함하는 경우에는 유리 프릿이 소결된다.Next, the obtained substrate is fired in a belt firing furnace for a time of, for example, 1 to 5 minutes, at which time the wafer reaches a peak temperature of 700 to 900 ° C., thus obtaining a desired silicon solar cell (FIG. 2d). The electrode 110 is formed from an aluminum paste, where the paste is calcined to remove organic material, and when the aluminum paste comprises glass frit, the glass frit is sintered.

도 2d에 나타낸 바와 같이 본 발명의 알루미늄 페이스트를 사용하여 얻어지는 규소 태양 전지는 전극(104)을 규소 기재(102)의 수광면 (표면) 상에 그리고 알루미늄으로 주로 구성된 알루미늄 전극(110) 및 (은 또는 은/알루미늄 페이스트(108)를 소성함으로써 형성되는) 은 또는 은 및 알루미늄으로 주로 구성된 은 또는 은/알루미늄 전극(112)을 후면 상에 갖는다.As shown in FIG. 2D, a silicon solar cell obtained by using the aluminum paste of the present invention includes an aluminum electrode 110 and (silver) composed mainly of aluminum on the light-receiving surface (surface) of the silicon base material 102 Or silver or silver / aluminum electrodes 112 composed mainly of silver or silver and aluminum (formed by firing silver / aluminum paste 108) on the back surface.

[실시예][Example]

본 명세서에 언급된 실시예는 질화규소 반사방지 코팅 및 전면 n형 접촉 후막 은 도체를 갖는 종래의 태양 전지 상에 소성된 후막 금속배선 페이스트에 관한 것이다.Embodiments mentioned herein relate to thick film metallization paste fired on conventional solar cells having a silicon nitride antireflective coating and a front n-type contact thick film silver conductor.

본 발명은 광범위한 반도체 디바이스에 적용될 수 있지만, 그것은 광다이오드(photodiode) 및 태양 전지와 같은 수광 소자에 특히 효과적이다. 아래의 논의는 본 발명의 조성물(들)을 이용하여 태양 전지를 어떻게 형성하는지, 그리고 태양 전지가 그 기술적 특성(technological property)에 대하여 어떻게 시험하는지를 설명한다.Although the present invention can be applied to a wide range of semiconductor devices, it is particularly effective for light receiving devices such as photodiodes and solar cells. The discussion below describes how a solar cell is formed using the composition (s) of the present invention and how the solar cell is tested for its technical properties.

(1) 태양 전지의 제조(1) manufacture of solar cells

태양 전지를 다음과 같이 형성하였다:The solar cell was formed as follows:

(i) 전방 표면 상에 20 ㎛ 두께의 은 전극 (이. 아이. 듀폰 디 네모아 앤드 컴퍼니로부터 구매가능한 PV145 Ag 조성물)을 갖는 Si 기재 (면적 243 ㎠, p형 (붕소) 벌크 규소의 200 ㎛ 두께의 다결정질 규소 웨이퍼로, n형 확산된 POCl3 이미터, 산으로 텍스처링된 표면, CVD에 의해 적용된 웨이퍼의 이미터 상의 SiNx 반사방지 코팅(ARC)을 가짐)의 후면 상에, Ag/Al 페이스트 (PV202, 이. 아이. 듀폰 디 네모아 앤드 컴퍼니로부터 구매가능한 Ag/Al 조성물)를 5 ㎜ 폭의 버스 바로서 인쇄하고 건조시켰다. 이어서, 태양 전지의 후면 전극을 위한 알루미늄 페이스트를, 전기적 연속성(electrical continuity)을 확보하기 위해서 양쪽 에지에서 1 ㎜에 걸쳐 Ag/Al 버스바와 알루미늄 필름의 중첩을 제공하면서 30 ㎛의 건조된 필름 두께로 스크린-인쇄하였다. 스크린-인쇄된 알루미늄 페이스트를 건조시키고 이어서 소성하였다.(i) Si substrate (area 243 cm 2, p-type (boron) bulk silicon with a 20 μm thick silver electrode (PV145 Ag composition available from E. DuPont D. Nemoa & Company) on the front surface; A thick polycrystalline silicon wafer, with Ag / diffused POCl 3 emitter, acid textured surface, on the backside of SiN x antireflective coating (ARC) on the emitter of the wafer applied by CVD), Ag / Al paste (PV202, Ag / Al composition available from E. I. DuPont Di Nemoir & Company) was printed and dried on a 5 mm wide bus bar. The aluminum paste for the back electrode of the solar cell was then dried to a dry film thickness of 30 μm, providing overlap of the Ag / Al busbar and aluminum film over 1 mm at both edges to ensure electrical continuity. Screen-printed. The screen-printed aluminum paste was dried and then fired.

본 실시예의 알루미늄 페이스트는 72 중량%의 공기-분무된 알루미늄 분말(평균 입자 크기 6 ㎛), 중합체 수지 및 유기 용매의 26 중량%의 유기 비히클, 및 0.07 중량%의 비정질 실리카를 포함하였다. (본 발명에 따른) 본 실시예의 알루미늄 페이스트 C 내지 F는 주석(II) 2-에틸헥사노에이트 첨가물을 0.1 내지 0.5 중량%의 범위로 포함한 반면, 대조예의 알루미늄 페이스트 A 및 B (비교예)는 주석-유기 화합물의 어떠한 첨가물도 포함하지 않았다. 대조예의 알루미늄 페이스트 A는 어떠한 아연-유기 화합물도 포함하지 않은 반면, 대조예의 알루미늄 페이스트 B 및 본 실시예의 알루미늄 페이스트 C 내지 F는 1.0 중량%의 아연 네오데카노에이트를 포함하였다.The aluminum paste of this example included 72 wt% air-sprayed aluminum powder (average particle size 6 μm), 26 wt% organic vehicle of polymer resin and organic solvent, and 0.07 wt% amorphous silica. The aluminum pastes C to F of this example (according to the invention) contained tin (II) 2-ethylhexanoate additive in the range of 0.1 to 0.5% by weight, while the aluminum pastes A and B of the comparative examples (comparative) No additives of tin-organic compounds were included. Control aluminum paste A did not contain any zinc-organic compounds, whereas control aluminum paste B and aluminum pastes C to F of this example included 1.0% by weight of zinc neodecanoate.

(ii) 이어서, 인쇄된 웨이퍼를 구역 온도가 구역 1에서 450℃, 구역 2에서 520℃, 구역 3에서 570℃ 및 마지막 구역에서 950℃로 설정되게 정의된 센트로썸 소성로(Centrotherm furnace) 내에서 3000 ㎜/min의 벨트 속도로 소성하였으며, 이로써 웨이퍼는 850℃의 피크 온도에 도달하였다. 소성 후, 금속배선된 웨이퍼는 기능적인 광기전 장치로 되었다.(ii) The printed wafers were then 3000 in a Centrotherm furnace defined with zone temperatures set at 450 ° C. in zone 1, 520 ° C. in zone 2, 570 ° C. in zone 3 and 950 ° C. in the last zone. Firing was performed at a belt speed of mm / min, whereby the wafer reached a peak temperature of 850 ° C. After firing, the metallized wafer became a functional photovoltaic device.

전기 성능, 소성 점착력(fired adhesion) 및 휨에 대한 측정을 실시하였다.Measurements of electrical performance, fired adhesion and warpage were made.

(2) 시험 절차(2) test procedure

효율efficiency

광 변환 효율을 측정할 목적으로, 전술한 방법에 따라 형성된 태양 전지를 시판용 I-V 테스터 (이이티에스 리미티드(EETS Ltd.)에 의해 공급됨) 내에 넣었다. I-V 테스터 내의 램프는 알려진 세기(약 1000 W/㎡)의 태양광을 시뮬레이션하였으며, 전지의 이미터를 조명하였다. 이어서, 소성된 전지 상에 인쇄된 금속배선을 4개의 전기 프로브(probe)에 접촉시켰다. 태양 전지에 의해 발생된 광전류 (Voc: 개방 회로 전압, Isc: 단락 회로 전류)를 다양한 저항들에 걸쳐 측정하여 I-V 응답 곡선을 계산하였다. 이어서, I-V 응답 곡선으로부터 곡선 인자(fill factor, FF) 및 효율(Eff)을 도출하였다.For the purpose of measuring the light conversion efficiency, a solar cell formed according to the method described above was placed in a commercial I-V tester (supplied by EETS Ltd.). The lamp in the I-V tester simulated sunlight of known intensity (about 1000 W / m 2) and illuminated the emitters of the cell. The metallization printed on the fired cell was then contacted with four electrical probes. The photocurrent generated by the solar cell (Voc: open circuit voltage, Isc: short circuit current) was measured across various resistors to calculate the I-V response curve. The fill factor (FF) and efficiency (Eff) were then derived from the I-V response curve.

소성 점착력Plastic adhesion

Al 금속화의 응집 강도를 측정하기 위해서, 소성된 웨이퍼의 표면으로부터 떨어져 나간 물질의 양을 박리 시험을 사용하여 측정하였다. 이를 위해, 접착 테이프의 투명층을 적용하고 이어서 이를 박리시켰다. 표 1의 점착력 수치는 조성물의 주석-유기 함량의 증가에 상응하는 페이스트의 점착력의 증가를 보여준다. 실시예의 페이스트의 박리 강도는 유리 프릿의 첨가에 의해 추가로 향상될 수 있었다.In order to measure the cohesive strength of the Al metallization, the amount of material separated from the surface of the fired wafer was measured using the peel test. For this purpose, a transparent layer of adhesive tape was applied and then peeled off. The adhesion values in Table 1 show the increase in the adhesion of the paste corresponding to the increase in the tin-organic content of the composition. The peel strength of the paste of the example could be further improved by the addition of glass frit.

휨 측정Warpage measurement

휨 (전지 뒤틀림(cell warpage))은 편평한 표면 상에서 측정시 실온에서의 소성된 전지 중심의 최대 처짐 높이(deflection height)로 정의된다. 전지를 금속 평상(flat bed) 위에 놓고 ㎛ 단위의 분해능을 갖는 다이알 게이지(dial gauge)를 사용하여 각 전지의 최대 처짐을 측정함으로써, 즉 평상 표면으로부터 웨이퍼 중심의 거리를 측정함으로써, 휨 측정을 수행하였다.Warpage (cell warpage) is defined as the maximum deflection height of the fired cell center at room temperature when measured on a flat surface. A warpage measurement is performed by placing the cells on a metal flat bed and using a dial gauge with a resolution in μm to measure the maximum deflection of each cell, ie by measuring the distance from the flat surface to the center of the wafer. It was.

표 1에 언급된 실시예 C 내지 실시예 F는 주석-유기 첨가제를 함유하지 않는 조성물 (대조군 A 및 대조군 B)과 비교한, 주석-유기 함량의 함수로서의 알루미늄 페이스트의 전기 특성을 보여준다. 표 1의 데이터는 실시예 C 내지 실시예 F에 대한 점착력의 추가 향상과 함께 휨이 감소됨을 확인시켜 준다.Examples C to F mentioned in Table 1 show the electrical properties of aluminum pastes as a function of tin-organic content as compared to compositions that do not contain tin-organic additives (Control A and Control B). The data in Table 1 confirms that warpage is reduced with further improvement of adhesion to Examples C-F.

[표 1][Table 1]

Figure 112010073904514-pct00001
Figure 112010073904514-pct00001

Claims (16)

미립자 알루미늄, 주석-유기 성분 및 유기 용매(들)를 포함하는 유기 비히클을 포함하는 알루미늄 페이스트.An aluminum paste comprising an organic vehicle comprising particulate aluminum, tin-organic component and organic solvent (s). 제1항에 있어서, 하나 이상의 유리 프릿을 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 0.01 내지 5 중량%의 전체 비율로 추가로 포함하는 알루미늄 페이스트.The aluminum paste of claim 1, further comprising at least one glass frit in a total proportion of 0.01 to 5% by weight based on the total aluminum paste composition. 제1항 또는 제2항에 있어서, 아연-유기 성분을 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 0.05 내지 0.6 중량%의 아연 기여분(contribution)에 상응하는 비율로 추가로 포함하는 알루미늄 페이스트.The aluminum paste of claim 1 or 2, further comprising a zinc-organic component in a proportion corresponding to a zinc contribution of 0.05 to 0.6% by weight based on the total aluminum paste composition. 제1항 또는 제2항에 있어서, 비정질 이산화규소를 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 0 초과 내지 0.5 중량%의 비율로 추가로 포함하는 알루미늄 페이스트.The aluminum paste of claim 1 or 2, further comprising amorphous silicon dioxide in a ratio of greater than 0 to 0.5% by weight based on the total aluminum paste composition. 제1항 또는 제2항에 있어서, 미립자 알루미늄은 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 50 내지 80 중량%의 비율로 존재하는 알루미늄 페이스트.The aluminum paste of claim 1 or 2, wherein the particulate aluminum is present in a proportion of 50 to 80% by weight based on the total aluminum paste composition. 제1항 또는 제2항에 있어서, 주석-유기 성분은 하나의 고체 주석-유기 화합물, 둘 이상의 고체 주석-유기 화합물들의 조합, 하나의 액체 주석-유기 화합물, 둘 이상의 액체 주석-유기 화합물들의 조합, 고체 및 액체 주석-유기 화합물들의 조합, 및 유기 용매(들) 중 하나 이상의 주석-유기 화합물의 용액으로 이루어진 군으로부터 선택되는 알루미늄 페이스트.The tin-organic component of claim 1, wherein the tin-organic component comprises one solid tin-organic compound, a combination of two or more solid tin-organic compounds, one liquid tin-organic compound, a combination of two or more liquid tin-organic compounds , A combination of solid and liquid tin-organic compounds, and a solution of a tin-organic compound of at least one of the organic solvent (s). 제6항에 있어서, 주석-유기 성분은 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 0.01 내지 0.5 중량%의 주석 기여분에 상응하는 비율로 존재하는 알루미늄 페이스트.The aluminum paste of claim 6, wherein the tin-organic component is present in a proportion corresponding to 0.01 to 0.5% by weight tin contribution based on the total aluminum paste composition. 제6항에 있어서, 주석-유기 화합물(들)은 주석 레지네이트 및 주석 카르복실레이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 주석-유기 염 화합물인 알루미늄 페이스트.7. The aluminum paste of claim 6, wherein the tin-organic compound (s) is a tin-organic salt compound selected from the group consisting of tin resinates and tin carboxylates. 제6항에 있어서, 주석-유기 성분은 전체 알루미늄 페이스트 조성물을 기준으로 0.1 내지 1 중량%의 비율로 존재하는 주석(II) 2-에틸헥사노에이트인 알루미늄 페이스트.7. The aluminum paste of claim 6, wherein the tin-organic component is tin (II) 2-ethylhexanoate present in a proportion of 0.1 to 1% by weight based on the total aluminum paste composition. 제1항 또는 제2항에 있어서, 유기 비히클은 유기 중합체(들), 유기 첨가제(들), 또는 양자 모두를 추가로 포함하는 알루미늄 페이스트.The aluminum paste of claim 1, wherein the organic vehicle further comprises organic polymer (s), organic additive (s), or both. (i) 제1항 또는 제2항의 알루미늄 페이스트를 p형 영역, n형 영역 및 p-n 접합을 갖는 규소 웨이퍼의 후면에 적용하는 단계, 및
(ii) 알루미늄 페이스트를 구비한 표면을 소성하여, 웨이퍼가 700 내지 900℃의 피크 온도에 도달하게 하는 단계를 포함하는, 규소 태양 전지를 형성하는 방법.
(i) applying the aluminum paste of claim 1 or 2 to the backside of a silicon wafer having a p-type region, an n-type region and a pn junction, and
(ii) firing the surface with the aluminum paste to cause the wafer to reach a peak temperature of 700 to 900 ° C.
제11항에 있어서, 알루미늄 페이스트의 적용은 인쇄에 의해 수행되는 방법.The method of claim 11, wherein the application of the aluminum paste is performed by printing. 제11항에 있어서, 소성은 규소 웨이퍼에 적용된 다른 전면 금속 페이스트, 후면 금속 페이스트, 또는 양자 모두와 함께 동시소성(cofiring)으로서 수행되어 소성 중에 규소 웨이퍼 상에 전면 전극, 후면 전극, 또는 양자 모두를 형성하는 방법.12. The method of claim 11, wherein firing is performed as cofiring with other front metal pastes, back metal pastes, or both applied to the silicon wafer, to form a front electrode, a back electrode, or both on the silicon wafer during firing. How to form. 제11항의 방법에 의해 제조되는 규소 태양 전지.A silicon solar cell produced by the method of claim 11. 제1항 또는 제2항의 알루미늄 페이스트를 사용하여 생성되는 알루미늄 후면 전극을 포함하는 규소 태양 전지.A silicon solar cell comprising an aluminum back electrode produced using the aluminum paste of claim 1. 제15항에 있어서, 규소 웨이퍼를 추가로 포함하는 규소 태양 전지.The silicon solar cell of claim 15, further comprising a silicon wafer.
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