KR101165948B1 - 터치 검지용 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2 내지 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 패널 제조 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
210 : 전극 패턴 30 : 광학박막
310 : 광학박막층 40 : 에칭보호용 패턴피막
410 : 에칭보호용 패턴피막층
Claims (12)
- 기판과;
상기 기판 상에 형성된 전극 패턴과;
상기 전극 패턴 사이에 충진된 광학 박막층을 포함하되;
상기 광학 박막층은 광학 시뮬레이션을 통해 상기 전극 패턴의 투과율, 반사율 및 색차값과 동일 또는 유사하게 설계된 절연성 산화물 또는 질화물로 형성된 적어도 하나의 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널.
- 제 1항에 있어서,
상기 기판 상에 형성된 베이스층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 광학 박막층은
절연성 산화물 또는 질화물로 형성될 수 있으며;
상기 산화물인 경우 Al2O3, SiO2, SiO, Nb2O5, HfO2, ITO(절연 사양), MgO, Ta2O5, TiO2, ZrO2, GeO, GeO2, CrO, CrO2중 선택된 어느 하나로 형성되고,
질화물인 경우 TiN, TiCN, CrN, AlN, BN, GaN, InN중 선택된 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널.
- 제 2항에 있어서,
상기 베이스층은
상기 광학 박막층과 동일한 절연성 산화물 또는 질화물로 형성되거나 다른 종류의 절연성 산화물 또는 질화물로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널.
- 제 3항에 있어서,
상기 광학 박막층은
기판 상에 투명 도전막과 에칭보호용 패턴피막을 형성하고, 상기 투명 도전막을 에칭하여 전극 패턴을 형성하고, 상기 전극 패턴 상에 에칭 보호용 패턴 피막층을 남긴 상태에서 광학박막을 형성하고, 상기 에칭 보호용 패턴 피막층을 리프트-오프(Lift-off)공정으로 제거하여 형성된 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널.
- 삭제
- 터치검지용 패널 제조 방법에 있어서,
기판 상에 상에 투명 도전막과 에칭보호용 패턴피막을 형성하고, 상기 투명 도전막을 에칭하여 전극 패턴을 형성하는 단계와;
상기 전극 패턴 상에 에칭 보호용 패턴 피막층을 남긴 상태에서 광학박막을 형성하고, 상기 에칭 보호용 패턴 피막층을 리프트-오프(Lift-off)공정으로 제거하여 상기 전극 패턴 사이에만 광학 박막층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,
기판 상에 전극 패턴을 형성하는 단계 전에
상기 기판 상에 베이스층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널 제조 방법.
- 삭제
- 삭제
- 제 7항에 있어서,
상기 에칭보호용 패턴피막층은
박리액에 용해되는 잉크, 드라이필름 및 포토레지스트 중 하나로 형성되고;
상기 리프트-오프 공정은
상기 박리액에 의해 상기 에칭보호용 패턴피막층이 용해되어 패턴피막층과 상부의 광학 박막이 제거되어 전극 패턴 이외의 영역에만 광학 박막층이 충진되는 것을 특징으로 하는 터치검지용 패널 제조 방법.
- 제 11항에 있어서,
상기 박리액은
TMAH, Na2CO3(aq), K2CO3(aq), NaOH 용액, KOH 용액, 아세톤, 알콜류, MEK 중 선택된 어느 하나인 것 혹은 2종이상이 일정 비율로 혼합된 것을 특징으로 하는 터치스크린용 패널 제조 방법.
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