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KR101151165B1 - 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치 - Google Patents

착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치 Download PDF

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KR101151165B1
KR101151165B1 KR1020120012701A KR20120012701A KR101151165B1 KR 101151165 B1 KR101151165 B1 KR 101151165B1 KR 1020120012701 A KR1020120012701 A KR 1020120012701A KR 20120012701 A KR20120012701 A KR 20120012701A KR 101151165 B1 KR101151165 B1 KR 101151165B1
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KR
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nozzle
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최형준
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Abstract

본 발명은 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 과제는 다양한 분무기 노즐을 코팅 부재 상에서 자동으로 이동시키면서 세라믹 진동자의 진동으로 코팅 유체를 코팅 부재에 분무하여 다양한 형상의 코팅 부재의 표면을 코팅할 수 있는 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치를 제공하는데 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치는 케이스와, 상기 케이스 내부에 설치되는 코팅 용기와, 상기 코팅 용기 내부에 구비되는 코팅 부재와, 상기 코팅 용기 상에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동하는 가이드 부재 및 상기 가이드 부재에 착탈 가능하게 연결되되 초음파에 의한 진동으로 코팅 유체를 분무하여 상기 코팅 부재를 코팅하는 초음파 분무기 노즐을 포함하고, 상기 초음파 분무기 노즐은 상기 케이스 외부에 구비된 유체 저장 탱크 내의 코팅 유체를 펌핑에 의해 상기 초음파 분무기 노즐로 공급하는 유체 공급 펌프와 착탈 가능하게 연결되는 것을 특징으로 한다.

Description

착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치{ultrasonic atomizer coater with removable nozzle}
본 발명은 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 관한 것으로서, 다양한 분무기 노즐을 결합하여 다양한 형상의 코팅 부재를 자동적으로 코팅할 수 있는 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 스프레이는 분사재를 압송시켜 안개 모양으로 만들어 살포하기 위한 것으로, 주로 저장된 탱크로부터 분사재가 제공되고 공압 펌프에서 공급되는 가압공기에 의해 도포액을 분사하는 가압노즐 방식이 다양한 분야에서 널리 사용되고 있다.
예를 들어, 대한민국 특허출원번호 제10-2006-0072057호는 여러 개의 노즐을 채용하여 한 번의 코팅 회수로서 빠른 시간 내에 대면적의 코팅 및 양면 코팅을 가능케 하는 저온 스프레이 장치를 소개하고 있다.
그러나, 상기 발명에 소개된 노즐은 고압력이 요구되어 대량의 원료손실이 발생할 뿐 아니라, 작업시간을 줄이기 위해 대상물에 스프레이 노즐팁을 근접시켜 분사재를 도포하는 경우 분사재가 대상물에 균일하게 코팅되지 못하는 문제점이 있다.
이에 따라, 가압식 노즐은 비용이 많이 들고 친환경적이지 못함은 물론이며, 액적 사이즈의 제어가 어렵기 때문에 균일하지 못한 액적의 형태로서 비산량이 많고 점착효율이 떨어져며 노즐 막힘 현상까지 발생하여 박막의 코팅에는 적절치 못한 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위해 발명된 것으로, 다양한 분무기 노즐을 코팅 부재 상에서 자동으로 이동시키면서 세라믹 진동자의 진동으로 코팅 유체를 코팅 부재에 분무하여 다양한 형상의 코팅 부재의 표면을 코팅할 수 있는 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치는 케이스와, 상기 케이스 내부에 설치되는 코팅 용기와, 상기 코팅 용기 내부에 구비되는 코팅 부재와, 상기 코팅 용기 상에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동하는 가이드 부재 및 상기 가이드 부재에 착탈 가능하게 연결되되 초음파에 의한 진동으로 코팅 유체를 분무하여 상기 코팅 부재를 코팅하는 초음파 분무기 노즐을 포함하고, 상기 초음파 분무기 노즐은 상기 케이스 외부에 구비된 유체 저장 탱크 내의 코팅 유체를 펌핑에 의해 상기 초음파 분무기 노즐로 공급하는 유체 공급 펌프와 착탈 가능하게 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드 부재는 상기 코팅 용기의 X축 측면에 구비된 X축 슬라이드바와, 상기 X축 슬라이드바를 따라 슬라이드 이동하되, 상기 X축 슬라이드바에 수직으로 끼워진 Y축 슬라이드바와, 상기 Y축 슬라이드바를 따라 슬라이드 이동하되, 상기 Y축 슬라이드바에 수직으로 끼워진 Z축 슬라이드바 및 상기 초음파 분무기 노즐을 구비하며 상기 Z축 슬라이드바를 따라 슬라이드 이동하는 노즐 홀더를 포함하되, 상기 노즐 홀더는 다양한 형태의 초음파 분무기 노즐을 착탈 가능하게 연결될 수 있다.
또한, 상기 초음파 분무기 노즐은 제 1노즐바디와, 상기 제 1노즐바디의 하부에 구비되며 외부로부터 공급된 초음파에 의해 압전되어 진동을 발생시키는 세라믹 진동자와, 상기 세라믹 진동자의 하부에 구비되는 제 2노즐바디와, 상기 제 2노즐바디에 일 단이 연결되며 타 단에 분무홀이 형성된 노즐팁 및 상기 제 1노즐바디, 세라믹 진동자, 제 2노즐바디 및 노즐 팁의 내부에 구비되며 외부로부터 공급된 코팅 유체가 이동되는 유체 이동 튜브를 포함하되, 상기 코팅 유체는 상기 세라믹 진동자의 진동으로 상기 분무홀을 통해 상기 코팅 부재로 분무될 수 있다.
또한, 상기 유체 공급 펌프와 초음파 분무기 노즐의 결합은 상기 유체 공급 펌프에 연결된 펌프 연결관과 상기 초음파 분무기 노즐에 연결된 노즐 연결관의 결합으로 이루어지되, 상기 펌프 연결관은 외주연을 둘러싸는 패킹 부재를 구비하면서 상기 노즐 연결관에 억지 삽입되어 상기 노즐 연결관과 착탈 가능하게 결합할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 의하면, 다양한 분무기 노즐을 코팅 부재 상에서 자동으로 이동시키면서 세라믹 진동자의 진동으로 코팅 유체를 코팅 부재에 분무하여 다양한 형상의 코팅 부재의 표면을 코팅할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치의 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 가이드 부재의 작동 원리를 보여주는 도.
도 3a 및 3b는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 다양한 초음파 분무기 노즐의 구성도.
도 4a 내지 도 4b는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 다양한 초음파 분무기 노즐을 보여주는 도.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 다양한 초음파 분무기 노즐의 코팅 유체 분무 형상을 보여주는 도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의해야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위해 생략한다.
도 1은 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치의 구성도이다.
본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 케이스(100)와, 코팅 용기(200)와, 코팅 부재(미도시)와, 가이드 부재(500) 및 초음파 분무기 노즐(400)을 포함한다.
상기 케이스(100)는 내부에 상기 코팅 용기(200), 코팅 부재, 가이드 부재(500) 및 초음파 분무기 노즐(400)을 포함하는데, 여기서, 상기 케이스(100)는 상기 코팅 용기(200)를 지지하는 지지판과, 상기 가이드 부재(500)를 제어하여 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 코팅 용기(200) 상에서 이동시키기 위한 제어부가 포함될 수 있다.
상기 코팅 용기(200)는 상기 케이스(100) 내부에 설치될 수 있는데, 여기서, 상기 코팅 용기(200)는 상기 지지판 상에 배치될 수 있다.
상기 코팅 부재는 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 통해 분무된 코팅 유체에 의해 표면이 코팅되는 구성 요소로, 상기 코팅 용기(200) 내부에 구비되며, 여기서, 상기 코팅 부재는 웨이퍼, 반도체 칩 등의 평판형 코팅 부재는 물론 주사기, 튜브 등의 원통형 코팅 부재 등 다양한 형상의 코팅 부재가 적용될 수 있다.
상기 가이드 부재(500)는 상기 코팅 용기 상에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동할 수 있는데, 여기서, 상기 가이드 부재(500)는 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 가이드 부재(500)에 구비된 후술할 노즐 홀더(540)에 착탈 가능하게 연결하며, 상기 노즐 홀더(5400)에 착탈 가능하게 연결된 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 코팅 용기(200) 상에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키면서 상기 코팅 부재의 표면을 코팅할 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 가이드 부재의 작동 원리를 보여주는 도이다.
구체적으로, 상기 가이드 부재(500)는 도 2에 도시된 바와 같이, X축 슬라이드바(510)와, Y축 슬라이드바(520)와, Z축 슬라이드바(530) 및 노즐 홀더(540)를 포함한다.
상기 X축 슬라이드바(510)는 상기 코팅 용기(200)의 X축 측면에 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 코팅 용기(200)의 양 측면 방향을 상기 코팅 용기의 X축 방향이라 가정할 때, 상기 X축 슬라이드바(510)는 상기 코팅 용기(200)의 좌측면 옆에 배치될 수 있다.
상기 Y축 슬라이드바(520)는 상기 X축 슬라이드바(510)에 수직으로 끼워지며 상기 X축 슬라이드바(510)를 따라 슬라이드 이동할 수 있다.
구체적으로, 상기 코팅 용기(200)의 정면 및 배면 방향을 상기 코팅 용기의 Y축 방향이라 가정할 때, 상기 Y축 슬라이드바(520)는 상기 X축 슬라이드바(510)에 끼워진 채로 상기 코팅 용기(200)의 정면 및 배면 방향, 즉, 상기 코팅 용기의 Y축 방향으로 배치될 수 있다. 여기서, 상기 Y축 슬라이드바(520)는 상기 제어부에 의해 이동 모터가 작동됨으로써 상기 X축 슬라이드바(510)를 따라 코팅 용기의 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다.
상기 Z축 슬라이드바(530)는 상기 Y축 슬라이드바(520)에 수직으로 끼워지며 상기 Y축 슬라이드바(520)를 따라 슬라이드 이동할 수 있다.
구체적으로, 상기 코팅 용기(200)의 X축 방향 및 Y축 방향과 각각 수직인 방향을 상기 코팅 용기의 Z축 방향이라 가정할 때, 상기 Z축 슬라이드바(530)는 상기 Y축 슬라이드바(520)에 끼워진 채로 상기 코팅 용기의 Z축 방향으로 배치될 수 있다. 여기서, 상기 Z축 슬라이드바(530)는 상기 제어부에 의해 이동 모터가 작동됨으로써 상기 Y축 슬라이드바(520)를 따라 코팅 용기의 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다.
상기 노즐 홀더(540)는 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 구비하며 상기 Z축 슬라이드바(530)를 따라 슬라이드 이동할 수 있다.
구체적으로, 상기 노즐 홀더(540)는 상기 초음파 분무기 노즐(400)과 착탈 가능하게 결합하여 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 코팅 부재(300) 상에 배치시킬 수 있다. 여기서, 상기 노즐 홀더(540)는 상기 제어부에 의해 이동 모터가 작동됨으로써 상기 Z축 슬라이드바(530)를 따라 코팅 용기의 Z축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 노즐 홀더(540)에 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 착탈 가능하게 결합시키기 위해, 예를 들어, 상기 초음파 분무기 노즐(400)의 외주면을 둘러싸는 탄성 재질의 결합링(미도시)을 구비하면서 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 노즐 홀더(540)에 억지 끼워 상기 노즐 홀더(540)와 초음파 분무기 노즐(400)을 결합시키거나, 상기 노즐 홀더(540)에 착탈홈(미도시)을 형성하고 상기 초음파 분무기 노즐(400)에 상기 착탈홈과 대응결합하는 착탈턱(미도시)을 형성하여 상기 착탈홈과 착탈턱의 결합으로 상기 노즐 홀더(540)와 초음파 분무기 노즐(400)을 착탈 가능하게 결합시킬 수 있다.
한편, 상기 노즐 홀더(540)와 초음파 분무기 노즐(400)을 착탈 가능하게 결합시키기 위해 본 명세서에 개시된 착탈 구조가 적용될 수 있으나, 이 외에도 상기 노즐 홀더(540)와 초음파 분무기 노즐(400)을 결합시키기 위한 다양한 착탈 구조가 구비될 수 있음은 물론이다. 상술한 바와 같이, 상기 노즐 홀더(540)와 초음파 분무기 노즐(400)이 착탈 가능하게 결합됨으로써 다양한 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 노즐 홀더(540)에 결합시킬 수 있고, 이에 따라 다양한 형상의 코팅 부재(300)를 코팅할 수 있다.
이처럼, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 상기 가이드 부재(500), 구체적으로, 상기 가이드 부재(500)의 노즐 홀더(540)에 착탈 가능하게 연결되며 상기 코팅 용기(200) 상에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동하되, 초음파에 의한 진동으로 코팅 유체를 분무하여 상기 코팅 부재(300)의 표면을 코팅할 수 있다.
도 3a 및 3b는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 다양한 초음파 분무기 노즐의 구성도이다.
구체적으로, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 제 1노즐바디(410)와, 세라믹 진동자(420)와, 제 2노즐바디(430)와, 노즐팁(440) 및 유체 이동 튜브(450)를 포함한다.
상기 제 1노즐바디(410)와, 세라믹 진동자(420) 및 제 2노즐바디(430)는 상기 초음파 분무기 노즐(400)의 노즐바디를 형성하는 구성요소로, 상기 세라믹 진동자(420)는 상기 제 1노즐바디(410)와 제 2노즐바디(420) 사이에 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 세라믹 진동자(420)는 상기 제 1노즐바디(410)의 하부와 상기 제 2노즐바디(420)의 상부에 구비될 수 있으며, 상기 제 1노즐바디(410) 외부로부터 공급된 초음파에 의해 압전되어 진동을 발생시킬 수 있다.
상기 노즐팁(440)은 도 3a에 도시된 바와 같이, 일 단이 상기 제 2노즐바디(430)에 연결되고 타 단에 코팅 유체가 분무되는 분무홀(441)이 형성되거나, 도 3b에 도시된 바와 같이, 일 단이 상기 제 2노즐바디(430)에 연결되고 타 단 측면에 코팅 유체가 분무되는 복수개의 분무홀(441)이 형성될 수 있다.
상기 유체 이동 튜브(450)는 코팅 유체가 이동되는 통로로, 상기 제 1노즐바디(410)의 내부로부터 노즐 팁(440)의 내부까지 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 제 1노즐바디(410), 세라믹 진동자(420), 제 2노즐바디(430) 및 노즐 팁(440)은 내부에 상기 유체 이동 튜브(450)가 안착되는 안착홀이 구비될 수 있는데, 상기 유체 이동 튜브(450)가 상기 안착홀에 안착됨으로써, 상기 유체 이동 튜브(450)는 상기 제 1노즐바디(410), 세라믹 진동자(420), 제 2노즐바디(430) 및 노즐 팁(440) 내부에 구비될 수 있다.
여기서, 상기 코팅 유체는 상기 제 1노즐바디(410) 외부로부터 공급될 수 있는데, 상기 코팅 유체는 상기 세라믹 진동자(420)의 진동으로 상기 노즐팁(440)의 타 단에 형성된 분무홀(441)을 통해 상기 코팅 부재로 분무될 수 있다.
도 4a 내지 도 4b는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 다양한 초음파 분무기 노즐을 보여주는 도이다.
한편, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 노즐팁(440)의 끝 단에 팁연장부(tip extension,442)가 구비된 고온 분무형 노즐이나, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 노즐팁(440)의 끝 단에 테이퍼(taper,443)가 구비된 와이드 분무형 노즐로 이루어져 상기 노즐 홀더(540)에 결합될 수 있다.
여기서, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 제 1노즐바디(410)를 관통하여 상기 세라믹 진동자(420)에 연결되는 초음파 공급 부재(460)를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 초음파 공급 부재(400)는 상기 세라믹 진동자(420)에 초음파를 공급하여 상기 세라믹 진동자(420)를 작동시키기 위한 구성으로, 일 단이 상기 세라믹 진동자(420)에 연결되고, 타 단이 상기 제 1노즐바디(410)의 외부로 노출될 수 있다.
여기서, 상기 초음파 공급 부재(460)의 타 단은 상기 초음파 분무기 노즐(400)의 외부에 구비된 초음파 발생기(미도시)에 연결되는 부분으로, 상기 초음파 공급 부재(460)가 상기 초음파 발생기에 연결됨으로써, 상기 초음파 발생기로부터 발생된 초음파를 상기 세라믹 진동자(420)에 공급할 수 있다.
여기서, 상기 초음파 발생기는 상기 노즐 홀더(540)와 착탈 가능하게 연결되는 초음파 분무기 노즐(400)의 종류에 따라 다양한 초음파를 발생시킬 수 있다.
구체적으로, 상기 초음파 발생기는 다양한 주파수의 초음파를 발생시킬 수 있는데, 예를 들어, 상기 노즐 홀더(540)와 착탈 가능하게 연결된 초음파 분무기 노즐(400)이 높은 주파수의 초음파를 공급받아 진동하는 경우에는 고주파의 초음파를 공급할 수 있고, 이와 반대로, 상기 초음파 분무기 노즐(400)이 낮은 주파수의 초음파를 공급받아 진동하는 경우에는 저주파의 초음파를 공급할 수 있다.
즉, 상기 초음파 발생기는 상기 노즐 홀더(540)와 착탈 가능하게 연결되는 특정 초음파 분무기 노즐에 따라 해당 주파수의 초음파를 발생시켜 특정 초음파 분무기 노즐에 공급할 수 있다.
또한, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 상기 유체 이동 튜브(450)에 연결되며 상기 제 1노즐바디(410) 외부에 구비되는 유체 공급 부재(470)를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 유체 공급 부재(470)는 상기 유체 이동 튜브(450)에 코팅 유체를 공급하여 상기 유체 이동 튜브(450) 내에서 코팅 유체를 이동시키기 위한 구성으로, 일 단이 상기 유체 이동 튜브(450)에 연결되고, 타 단이 상기 제 1노즐바디(410)를 관통하여 제 1노즐바디(410)의 외부로 노출될 수 있다.
여기서, 상기 유체 공급 부재(470)의 타 단은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 케이스(100)의 외부에 구비된 유체 공급 펌프(700)에 연결될 수 있는데, 상기 유체 공급 부재(470)가 상기 유체 공급 펌프(700)에 연결됨으로써, 상기 유체 공급 펌프(700)로부터 공급된 코팅 유체를 상기 유체 이동 튜브(450)에 공급할 수 있다.
한편, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 상기 케이스(100) 외부에 구비된 유체 저장 탱크(600) 내의 코팅 유체를 펌핑에 의해 상기 초음파 분무기 노즐(400)로 공급하는 상기 유체 공급 펌프(700)와 착탈 가능하게 연결될 수 있다.
구체적으로, 상기 유체 공급 펌프(700)와 초음파 분무기 노즐(400)의 결합은 상기 유체 공급 펌프(700)에 연결된 펌프 연결관(810)과 상기 초음파 분무기 노즐(400)에 연결된 노즐 연결관(820)의 결합으로 이루어질 수 있는데, 여기서, 상기 펌프 연결관(810)은 외주연을 둘러싸는 패킹 부재(830)를 구비하면서 상기 노즐 연결관(820)에 억지 삽입되어 상기 노즐 연결관(820)과 착탈 가능하게 결합할 수 있다.
여기서, 상기 유체 공급 펌프(700)와 초음파 분무기 노즐(400)을 착탈 가능하게 결합시키기 위해 본 명세서에 개시된 착탈 구조가 적용될 수 있으나, 이 외에도 상기 유체 공급 펌프(700)와 초음파 분무기 노즐(400)을 결합시키기 위한 다양한 착탈 구조가 구비될 수 있음은 물론이다.
이처럼, 상기 유체 공급 펌프(700)가 상기 케이스(100)의 외부에 구비되어 상기 초음파 분무기 노즐(400)과 착탈 가능하게 연결됨으로써, 상기 케이스(100)의 부피를 최소화할 수 있고, 상기 유체 공급 펌프(700)에 이상이 발생되는 경우 상기 케이스(100)를 분해함이 없이 상기 유체 공급 펌프(700)를 상기 케이스(100) 외부에서 용이하게 교체하여 상기 초음파 분무기 노즐(400)에 연결할 수 있다.
더불어, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1노즐바디(410), 세라믹 진동자(420) 및 제 2노즐바디(420)의 외주면을 커버하는 커버 부재(480)를 더 포함할 수 있는데, 여기서, 상기 커버 부재(480)는 상기 제 1노즐바디(410), 세라믹 진동자(420) 및 제 2노즐바디(430)가 외력에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 구비된 다양한 초음파 분무기 노즐의 코팅 유체 분무 형상을 보여주는 도이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치(1)는 상기 Y축 슬라이드바(520)를 상기 X축 슬라이드바(510)를 따라 슬라이드 이동시키고, 또한, 상기 Z축 슬라이드바(530)를 Y축 슬라이드바(520)를 따라 슬라이드 이동시키며, 더불어, 상기 노즐 홀더(540)를 Z축 슬라이드바(530)를 따라 슬라이드 이동시킴으로써 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 상기 코팅 부재(300) 상에 배치할 수 있으며, 이후, 상기 Y축 슬라이드바(520)와 Z축 슬라이드바(530)를 상기 코팅 부재(300) 상에서 이동시키면서 상기 초음파 분무기 노즐(400)을 통해 코팅 유체를 상기 코팅 부재(300)에 분무하여 상기 코팅 부재(300)의 표면을 코팅할 수 있다.
여기서, 상기 초음파 분무기 노즐(400)은 외부에 구비된 초음파 공급 부재(460)와 유체 공급 부재(470)로부터 각각 초음파와 코팅 유체를 공급받아 상기 유체 이동 튜브(450)를 이동한 코팅 유체를 상기 세라믹 진동자(420)의 진동으로 도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 노즐팁(440)의 타 단에 형성된 분무홀(441)을 통해 와이드(wide)형으로 분무하여 박막 표면을 균일하게 코팅하거나, 도 5b에 도시된 바와 같이, 네로우(narrow)형으로 분무하여 반도체 칩 등의 표면을 정밀하게 코팅할 수 있으며, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 노즐팁(440)의 타 단 측면에 형성된 복수의 분무홀(441)을 통해 방사형(radial)으로 분무함으로써 주사기, 튜브 등의 측벽 표면을 용이하게 코팅할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치에 의하면, 다양한 분무기 노즐을 코팅 부재 상에서 자동으로 이동시키면서 세라믹 진동자의 진동으로 코팅 유체를 코팅 부재에 분무하여 다양한 형상의 코팅 부재의 표면을 코팅할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치를 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.
1:착탈식 분무기 노즐이 구비된 초음파 분무기 코팅 장치
100:케이스 200:코팅 용기
300:코팅 부재 400:초음파 분무기 노즐
410:제 1노즐바디 420:세라믹 진동자
430:제 2노즐바디 440:노즐팁
441:분무홀 442:팁연장부(tip extension)
443:테이퍼(taper) 450:유체 이동 튜브
460:초음파 공급 부재 470:유체 공급 부재
480:커버 부재 500:가이드 부재
510:X축 슬라이드바 520:Y축 슬라이드바
530:Z축 슬라이드바 540:노즐 홀더
600:유체 저장 탱크 700:유체 공급 펌프
810:펌프 연결관 820:노즐 연결관
830:패킹 부재

Claims (4)

  1. 케이스;
    상기 케이스 내부에 설치되는 코팅 용기;
    상기 코팅 용기 내부에 구비되는 코팅 부재;
    상기 코팅 용기 상에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동하는 가이드 부재; 및
    상기 가이드 부재에 착탈 가능하게 연결되되, 초음파에 의한 진동으로 코팅 유체를 분무하여 상기 코팅 부재를 코팅하는 초음파 분무기 노즐;을 포함하고,
    상기 초음파 분무기 노즐은 상기 케이스 외부에 구비된 유체 저장 탱크 내의 코팅 유체를 펌핑에 의해 상기 초음파 분무기 노즐로 공급하는 유체 공급 펌프와 착탈 가능하게 연결되고,
    상기 가이드 부재는,
    상기 코팅 용기의 X축 측면에 구비된 X축 슬라이드바;
    상기 X축 슬라이드바를 따라 슬라이드 이동하되, 상기 X축 슬라이드바에 수직으로 끼워진 Y축 슬라이드바;
    상기 Y축 슬라이드바를 따라 슬라이드 이동하되, 상기 Y축 슬라이드바에 수직으로 끼워진 Z축 슬라이드바; 및
    상기 초음파 분무기 노즐을 구비하며 상기 Z축 슬라이드바를 따라 슬라이드 이동하는 노즐 홀더;를 포함하되,
    상기 노즐 홀더는 다양한 형태의 초음파 분무기 노즐을 착탈 가능하게 연결하는 것을 특징으로 하는 초음파 분무기 코팅 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 초음파 분무기 노즐은,
    제 1노즐바디;
    상기 제 1노즐바디의 하부에 구비되며 외부로부터 공급된 초음파에 의해 압전되어 진동을 발생시키는 세라믹 진동자;
    상기 세라믹 진동자의 하부에 구비되는 제 2노즐바디;
    상기 제 2노즐바디에 일 단이 연결되며 타 단에 분무홀이 형성된 노즐팁; 및
    상기 제 1노즐바디, 세라믹 진동자, 제 2노즐바디 및 노즐 팁의 내부에 구비되며 외부로부터 공급된 코팅 유체가 이동되는 유체 이동 튜브;를 포함하되,
    상기 코팅 유체는 상기 세라믹 진동자의 진동으로 상기 분무홀을 통해 상기 코팅 부재로 분무되는 것을 특징으로 하는 초음파 분무기 코팅 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 유체 공급 펌프와 초음파 분무기 노즐의 결합은,
    상기 유체 공급 펌프에 연결된 펌프 연결관과 상기 초음파 분무기 노즐에 연결된 노즐 연결관의 결합으로 이루어지되,
    상기 펌프 연결관은 외주연을 둘러싸는 패킹 부재를 구비하면서 상기 노즐 연결관에 억지 삽입되어 상기 노즐 연결관과 착탈 가능하게 결합하는 것을 특징으로 하는 자동화 초음파 분무기 코팅 장치.
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