KR101088438B1

KR101088438B1 - A device for printing thin films on flexible substrates

Info

Publication number: KR101088438B1
Application number: KR1020100001562A
Authority: KR
Inventors: 임근철; 이장환
Original assignee: 성안기계 (주)
Priority date: 2010-01-08
Filing date: 2010-01-08
Publication date: 2011-12-01
Also published as: KR20110081415A

Abstract

본 발명은 롤프린팅 시스템(roll printing system)에 인라인(in-line)되어 연성기판에 2도 프린팅 된 박막의 두께에 따라 다음에 프리팅 되는 2도 박막의 두께를 조절하기 위한 박막 프린팅 장치에 관한 것으로, 연성기판이 제1 롤프린팅부와 제2 롤프린팅부를 차례로 지나가도록 하면서 상기 제1 롤프린팅부에서 1도 박막 프린팅 되고 상기 제2 롤프린팅부에서 2도 박막 프린팅 되도록 하는 장치로서, 상기 2도 박막 프린팅을 위한 잉크를 공급하는 잉크 공급부; 상기 제2 롤프린팅부를 지난 직후의 상기 연성기판 위에 상기 연성기판을 가로질러 설치된 레일; 상기 레일에 매달려 상기 레일을 따라 상기 연성기판 위의 특정 구간을 왕복운동하면서 상기 1도 박막 프린팅 및 2도 박막 프린팅된 연성기판의 표면을 지그재그(zigzag)로 촬영하는 카메라; 및 상기 카메라로부터 촬영된 영상신호를 제공받아 상기 2도 박막의 표면에서 반사되는 광의 파형과 상기 2도 및 상기 1도의 경계면에서 반사되는 광의 파형의 간섭을 분석하여 상기 2도 박막의 두께를 측정해서, 상기 2도 박막의 두께에 따라 상기 잉크 공급부의 잉크 공급량과 상기 제2 롤프린팅부의 프린팅 속도를 제어하여 상기 2도 박막이 균일한 두께로 프린팅 되도록 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명은 롤프린팅 시스템에 인라인되어 연성기판에 2도 프린팅 된 박막의 두께에 따라 다음에 프리팅 되는 2도 박막의 두께를 조절하기 때문에, 2도 박막의 두께 제어를 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a thin film printing apparatus for adjusting the thickness of a second degree thin film to be printed next according to the thickness of a thin film in-line printed on a flexible substrate in-line with a roll printing system. An apparatus for allowing a flexible substrate to pass through a first roll printing unit and a second roll printing unit in order, and to print a 1 degree thin film on the first roll printing unit and to print a 2 degree thin film on the second roll printing unit. An ink supply unit for supplying ink for thin film printing; A rail provided across the flexible substrate on the flexible substrate immediately after the second roll printing unit; A camera for zigzag photographing the surfaces of the first degree thin film printed and the second degree thin film printed flexible substrate while reciprocating a specific section on the flexible substrate along the rail by hanging on the rail; And measuring the thickness of the second degree thin film by analyzing the interference of the waveform of the light reflected from the surface of the second degree thin film and the wave reflected from the boundary of the second degree and the first degree by receiving the image signal photographed from the camera. And controlling the ink supply amount of the ink supply part and the printing speed of the second roll printing part according to the thickness of the second degree thin film so as to print the second degree thin film with a uniform thickness.
As described above, the present invention adjusts the thickness of the second degree thin film to be printed next according to the thickness of the thin film inlined to the roll printing system and printed on the flexible substrate by two degrees. Therefore, the thickness of the second degree thin film can be easily controlled. It works.

Description

Apparatus for printing thin film on the flexible board

본 발명은 연성기판에 박막(thin film)을 프린팅 하는 장치에 관한 것으로, 특히 롤프린팅 시스템(roll printing system)에 인라인(in-line)되어 연성기판에 2도 프린팅 된 박막의 두께에 따라 다음에 프리팅 되는 2도 박막의 두께를 조절하기 위한 박막 프린팅 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus for printing a thin film on a flexible substrate, and in particular, according to the thickness of a thin film printed in-line on a roll printing system and printed 2 degrees on the flexible substrate. It relates to a thin film printing apparatus for adjusting the thickness of the second degree thin film to be printed.

도 1은 종래의 기술에 따른 두께 측정 장치의 일 실시 예를 나타낸 도면으로, X-선(X-ray) 발생기(100), 물체(102), X-선 검출기(104), 및 신호 처리기(106)로 구성된다.1 is a view showing an embodiment of a thickness measuring apparatus according to the prior art, the X-ray (100), the object 102, the X-ray detector 104, and the signal processor ( 106).

동 도면에 있어서, X-선 발생기(100)는 X-선을 발생시켜 물체(102)로 조사한다.In the figure, the X-ray generator 100 generates X-rays to irradiate the object 102.

X-선 검출기(104)는 물체(102)를 투과하는 X-선을 검출하고 검출된 X-선에 대응하는 신호를 신호 처리기(106)로 제공한다.X-ray detector 104 detects X-rays passing through object 102 and provides a signal to signal processor 106 corresponding to the detected X-rays.

신호 처리기(106)는 X-선 검출기(104)로부터 제공된 X-선 검출신호를 다음 단에서 이용할 수 있도록 처리하여 다음 단으로 출력한다.The signal processor 106 processes the X-ray detection signal provided from the X-ray detector 104 so that it can be used in the next stage and outputs it to the next stage.

도 2는 도 1에 도시된 X-선 검출기(104)가 검출한 신호를 그래프로 나타낸 도면으로, I=I₀e^- ^uT 이다. 이때 I₀ 는 물체(102)가 없을 때의 X-선 검출신호이고 I는 물체(102)를 투과한 X-선 검출신호이며, T는 물체(102)의 두께이고 u는 감쇠계수이다.
FIG. 2 is a graph showing a signal detected by the X-ray detector 104 shown in FIG. 1, wherein I = I ₀ e ⁻ ^uT to be. Where I ₀ X is the X-ray detection signal in the absence of the object 102, I is the X-ray detection signal transmitted through the object 102, T is the thickness of the object 102 and u is the attenuation coefficient.

이와 같은 종래의 기술에 있어서는 두께에 따른 X-선 흡수율의 변화를 측정하여 물체(102)의 두께를 측정하는데, 두께의 측정 정밀도는 수 um 정도이다. 즉, 두께의 측정 정밀도가 비교적 떨어진다.In this conventional technique, the thickness of the object 102 is measured by measuring the change in X-ray absorption rate according to the thickness, and the measurement accuracy of the thickness is about several um. That is, the measurement precision of thickness is comparatively inferior.

또한, X-선 외에 적외선(IR)이나 감마선, 알파선을 이용하여 물체의 두께를 측정하기도 하지만, 두께의 측정 정밀도는 수 um에 불과하다.
In addition to measuring the thickness of the object using infrared (IR), gamma rays, and alpha rays in addition to X-rays, the thickness measurement accuracy is only a few um.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위하여 안출한 것으로, 롤프린팅 시스템에 인라인되어 연성기판에 2도 프린팅 된 박막의 두께에 따라 다음에 프리팅 되는 2도 박막의 두께를 조절하기 위한 연성기판에 박막을 프린팅 하는 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
The present invention has been made in order to solve the above problems, the thin film on the flexible substrate for controlling the thickness of the second-degree thin film to be printed next in accordance with the thickness of the thin film inlined in the roll printing system and printed on the flexible substrate 2 degrees The purpose is to provide a device for printing.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여,In order to achieve this object,

본 발명의 일 형태에 따르면, 연성기판이 제1 롤프린팅부와 제2 롤프린팅부를 차례로 지나가도록 하면서 상기 제1 롤프린팅부에서 1도 박막 프린팅 되고 상기 제2 롤프린팅부에서 2도 박막 프린팅 되도록 하는 장치로서, 상기 2도 박막 프린팅을 위한 잉크를 공급하는 잉크 공급부; 상기 제2 롤프린팅부를 지난 직후의 상기 연성기판 위에 상기 연성기판을 가로질러 설치된 레일; 상기 레일에 매달려 상기 레일을 따라 상기 연성기판 위의 특정 구간을 왕복운동하면서 상기 1도 박막 프린팅 및 2도 박막 프린팅된 연성기판의 표면을 지그재그(zigzag)로 촬영하는 카메라; 및 상기 카메라로부터 촬영된 영상신호를 제공받아 상기 2도 박막의 표면에서 반사되는 광의 파형과 상기 2도 및 상기 1도의 경계면에서 반사되는 광의 파형의 간섭을 분석하여 상기 2도 박막의 두께를 측정해서, 상기 2도 박막의 두께에 따라 상기 잉크 공급부의 잉크 공급량과 상기 제2 롤프린팅부의 프린팅 속도를 제어하여 상기 2도 박막이 균일한 두께로 프린팅 되도록 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment of the present invention, the flexible substrate is passed through the first roll printing unit and the second roll printing unit in order to print a 1 degree thin film on the first roll printing unit and to print a 2 degree thin film on the second roll printing unit. An apparatus for supplying an ink for printing the second degree thin film; A rail provided across the flexible substrate on the flexible substrate immediately after the second roll printing unit; A camera for zigzag photographing the surfaces of the first degree thin film printed and the second degree thin film printed flexible substrate while reciprocating a specific section on the flexible substrate along the rail by hanging on the rail; And measuring the thickness of the second degree thin film by analyzing the interference of the waveform of the light reflected from the surface of the second degree thin film and the wave reflected from the boundary of the second degree and the first degree by receiving the image signal photographed from the camera. And controlling the ink supply amount of the ink supply part and the printing speed of the second roll printing part according to the thickness of the second degree thin film so as to print the second degree thin film with a uniform thickness.

상기 연성기판의 일 측 표면에 길이방향의 일정 간격으로 트리거 마크가 표시되며, 상기 레일 중 상기 트리거 마크 쪽에 고정설치되어 상기 트리거 마크가 위치되는 것을 감지하여 트리거 마크 검출신호를 상기 제어부로 제공해서, 상기 제어부가 상기 연성기판의 진행속도를 구할 수 있도록 하는 위치센서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Trigger marks are displayed on one surface of the flexible substrate at regular intervals in a longitudinal direction, and fixed to the trigger marks of the rails to detect the position of the trigger marks and provide a trigger mark detection signal to the controller. The control unit may further include a position sensor for obtaining a traveling speed of the flexible substrate.

상기 제어부는 상기 카메라로부터 촬영된 영상신호를 제공받아 상기 연성기판의 표면영상을 구비된 화면에 표시하여, 상기 연성기판의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태가 나타나도록 하는 것을 특징으로 한다.The control unit receives an image signal photographed from the camera and displays the surface image of the flexible substrate on a screen provided with the foreign matter, scratches, wrinkles, and layer alignment on the surface of the flexible substrate. do.

상기 카메라는 상기 연성기판의 폭방향으로 특정 간격을 두고 복수개로 설치되며, 상기 복수개의 각 카메라는 자신의 구간에서 왕복운동하면서 상기 1도 박막 프린팅 및 2도 박막 프린팅된 연성기판의 표면을 지그재그로 촬영하는 것을 특징으로 한다.The cameras are provided in plural numbers at a predetermined interval in the width direction of the flexible substrate, and each of the plurality of cameras zigzags the surfaces of the first degree thin film printed and the second degree thin film printed flexible substrate while reciprocating in its section. It is characterized by photographing.

상기 카메라는 전하결합소자를 사용한 카메라인 것을 특징으로 한다.
The camera is characterized in that the camera using a charge coupled device.

본 발명은, 롤프린팅 시스템에 인라인되어 연성기판에 2도 프린팅 된 박막의 두께에 따라 다음에 프리팅 되는 2도 박막의 두께를 조절하기 때문에, 2도 박막의 두께 제어를 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the thickness of the second degree thin film to be printed next is adjusted according to the thickness of the thin film inlined to the roll printing system and printed on the flexible substrate 2 degrees, the thickness control of the second degree thin film can be facilitated. There is.

제어부가 카메라로부터 촬영된 영상신호를 제공받아 연성기판의 표면영상을 구비된 화면에 표시하여, 연성기판의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태가 나타나도록 하기 때문에, 작업자가 연성기판의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태에 따른 조치를 용이하게 취할 수 있는 장점이 있다.
The controller receives an image signal photographed from the camera and displays the surface image of the flexible substrate on a screen provided so that foreign matters, scratches, wrinkles, and layer alignment appear on the surface of the flexible substrate. There is an advantage that it is easy to take measures depending on foreign matter, scratches, wrinkles, and layer alignment state on the surface.

도 1은 종래의 기술에 따른 두께 측정 장치의 일 실시 예를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 X-선 검출기가 검출한 신호를 그래프로 나타낸 도면이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 연성기판의 박막두께 측정의 원리를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 컴퓨터가 박막의 두께를 측정한 예를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 연성기판의 박막두께 측정을 위한 카메라가 연성기판 위에 연성기판을 가로질러 설치된 레일을 따라 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 카메라가 연성기판 위에서 지그재그로 진행하는 것을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 연성기판에 박막을 프린팅 하는 장치의 일 실시 예를 나타낸 도면이다.1 is a view showing an embodiment of a thickness measuring apparatus according to the prior art.
FIG. 2 is a graph illustrating signals detected by the X-ray detector shown in FIG. 1.
3 and 4 is a view showing the principle of the thin film thickness measurement of the flexible substrate according to the present invention.
5 is a diagram illustrating an example in which the computer shown in FIG. 4 measures the thickness of a thin film.
6 is a view showing a camera for measuring the thickness of a flexible substrate according to the present invention moves along a rail installed across the flexible substrate on the flexible substrate.
FIG. 7 is a diagram showing that the camera shown in FIG. 6 is zigzag on the flexible substrate.
8 is a view showing an embodiment of an apparatus for printing a thin film on a flexible substrate according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 연성기판의 박막두께 측정의 원리를 나타낸 도면이다.3 and 4 is a view showing the principle of the thin film thickness measurement of the flexible substrate according to the present invention.

도 5는 도 4에 도시된 컴퓨터(302)가 박막(202)의 두께를 측정한 예를 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating an example in which the computer 302 illustrated in FIG. 4 measures the thickness of the thin film 202.

먼저 연성기판(200)에 코팅된 박막(202)의 종류에 따라 광원(300)으로 가시광선이나 자외선(UV), 적외선을 사용한다.First, visible light, ultraviolet (UV), or infrared light is used as the light source 300 according to the type of the thin film 202 coated on the flexible substrate 200.

컴퓨터(302)는 광원(300)으로부터 제공되는 입사광선(204)이 박막(202)의 표면에서 반사되는 제1 반사광선(206)의 파형과 입사광선(204)이 연성기판(200)과 박막(202)의 경계면에서 반사되는 제2 반사광선(208)의 파형의 간섭을 분석하여 박막(202)의 두께를 측정한다.The computer 302 has a waveform of the first reflected light 206 in which the incident light 204 provided from the light source 300 is reflected from the surface of the thin film 202, and the incident light 204 is formed of the flexible substrate 200 and the thin film. The thickness of the thin film 202 is measured by analyzing the interference of the waveform of the second reflected light 208 reflected at the boundary surface of 202.

이와 같은 본 발명은 물질마다 반사율이 다르기 때문에, 다층구조로 된 각 박막의 두께를 측정할 수 있다.
Since the present invention has a different reflectance for each material, the thickness of each thin film having a multilayer structure can be measured.

도 6은 본 발명에 따른 연성기판의 박막두께 측정을 위한 카메라(406)가 연성기판(400) 위에 연성기판(400)을 가로질러 설치된 레일(402)을 따라 이동하는 것을 나타낸 도면으로, 연성기판(400), 레일(402), 위치센서(404), 카메라(전하결합소자(CCD))(406), 및 트리거 마크(408)로 구성된다.FIG. 6 is a view illustrating a camera 406 for measuring a thin film thickness of a flexible substrate according to the present invention, moving along a rail 402 installed across the flexible substrate 400 on the flexible substrate 400. 400, a rail 402, a position sensor 404, a camera (charge coupled device (CCD)) 406, and a trigger mark 408.

도 7은 도 6에 도시된 카메라(406)가 연성기판(400) 위에서 지그재그로 진행하는 것을 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a diagram illustrating that the camera 406 shown in FIG. 6 progresses zigzag on the flexible substrate 400.

트리거 마크(408)는 연성기판(400)의 일 측 표면에 길이방향 일정 간격으로 표시된다.The trigger mark 408 is displayed on one surface of the flexible substrate 400 at regular intervals in the longitudinal direction.

위치센서(404)는 트리거 마크(408)를 감지할 때마다 도 8의 제어부(502)로 트리거 마크 검출신호를 제공한다.The position sensor 404 provides the trigger mark detection signal to the controller 502 of FIG. 8 whenever the trigger mark 408 is detected.

카메라(406)는 제어부(502)의 제어에 따라 연성기판(400)의 폭방향으로 선형모터에 의해 이동된다.The camera 406 is moved by the linear motor in the width direction of the flexible substrate 400 under the control of the controller 502.

전수검사의 예로, 카메라(406)의 운영시간을 2sec로, 카메라(406)의 연성기판(400) 길이방향속도 V_MD를 5mpm(80mm/sec)로, 카메라(406)의 연성기판(400) 폭방향속도 V_CD를 1mm/2sec(0.5mm/sec)로, 및 카메라(406)의 특정 시간 당 촬영 회수를 300회로 각기 설정하고 연성기판(400)의 길이방향으로 48m 진행하여 연성기판(400)의 폭방향 전수검사를 완료한다.As an example of the total inspection, the operating time of the camera 406 is 2 sec, the longitudinal velocity V _MD of the flexible substrate 400 of the camera 406 is 5 mpm (80 mm / sec), and the flexible substrate 400 of the camera 406. The width direction V _{CD is set} to 1 mm / 2 sec (0.5 mm / sec), and the number of shots per specific time of the camera 406 is set to 300 times, and the length of the flexible substrate 400 is 48 m. Complete the full width inspection of.

즉, 연성기판(400)의 길이방향속도 V_MD가 1mpm일 경우 9.6m 코팅에 대한 폭 전수검사를 할 수 있다. 이때, 카메라를 구간별로 5대 설치할 경우 9.6m 코팅에 대한 폭 전수검사를 할 수 있다.
That is, when the longitudinal velocity V _MD of the flexible substrate 400 is 1mpm, it is possible to perform a full width inspection on the 9.6m coating. At this time, if five cameras are installed for each section, it is possible to inspect the width of the 9.6m coating.

도 8은 본 발명에 따른 연성기판에 박막을 프린팅 하는 장치의 일 실시 예를 나타낸 도면으로, 연성기판(400), 카메라(406), 잉크 콘트롤러(500), 펌프(502), 밸브(504), 제어부(506), 제1, 제2 롤프린팅부(510, 520), 제1, 제2, 제3 서보모터(514, 524, 528), 및 제1, 제2, 제3 드라이버(512, 522, 526)로 구성된다.8 is a view showing an embodiment of an apparatus for printing a thin film on a flexible substrate according to the present invention, the flexible substrate 400, the camera 406, the ink controller 500, the pump 502, the valve 504 , The control unit 506, the first and second roll printing units 510 and 520, the first, second and third servomotors 514, 524 and 528, and the first, second and third drivers 512. , 522, 526.

동 도면에 있어서, 제1 롤프린팅부(510)는 연성기판(400) 상에 1도 프린팅 하여 제1 박막을 패터닝하고 제2 롤프린팅부(520)는 1도 프린팅 된 연성기판(400) 상에 2도 프린팅 하여 제2 박막을 패터닝하는데, 이와 같은 1도 및 2도 프린팅에 대해 상세히 보면 다음과 같다. 이때 제1 서보모터(514)는 제1 드라이버(512)를 통해 제어부(506)의 제어를 받아 제1 롤프린팅부(510)의 1도 프린팅 동작을 수행시킨다. 제2 서보모터(524)는 제2 드라이버(522)를 통해 제어부(506)의 제어를 받아 제2 롤프린팅부(520)의 2도 프린팅 동작을 수행시킨다.In the same figure, the first roll printing unit 510 is printed on the flexible substrate 400 by 1 degree to pattern the first thin film, and the second roll printing unit 520 is printed on the flexible substrate 400 by 1 degree. The second thin film is patterned by printing at 2 degrees, and the first and second degrees of printing are described in detail as follows. At this time, the first servomotor 514 is controlled by the controller 506 through the first driver 512 to perform a 1 degree printing operation of the first roll printing unit 510. The second servomotor 524 performs the second degree printing operation of the second roll printing unit 520 under the control of the controller 506 through the second driver 522.

먼저 카메라(406)는 도 6과 같이 레일(402)에 장착되어 도 7과 같이 연성기판(400) 위에서 지그재그로 진행하면서 연성기판(400)의 표면을 촬영해서 해당 영상신호를 제어부(506)로 제공한다. 이때 카메라(406)는 연성기판(400)의 폭방향으로 왕복운동하는 동시에 연성기판(400)은 우측으로 진행하기 때문에, 결과적으로 카메라(406)는 연성기판(400) 위에서 지그재그로 진행하게 되는 것이다.First, the camera 406 is mounted on the rail 402 as shown in FIG. 6, and photographs the surface of the flexible board 400 while moving in a zigzag form on the flexible board 400 as shown in FIG. 7. to provide. At this time, since the camera 406 reciprocates in the width direction of the flexible board 400 and the flexible board 400 proceeds to the right, the camera 406 proceeds zigzag on the flexible board 400 as a result. .

제어부(506)는 카메라(406)로부터 제공된 영상신호로부터 연성기판(400) 상에 다층구조로 된 각 박막의 두께를 전술된 도 3과 같은 방법으로 측정하여 2도 프린팅에 따른 박막의 두께에 따라 각 부를 제어한다.The controller 506 measures the thickness of each thin film having a multi-layer structure on the flexible substrate 400 from the image signal provided from the camera 406 in the same manner as in FIG. 3 described above, according to the thickness of the thin film according to the second degree printing. Control each part.

예로, 제어부(506)는 연성기판(400) 상에 다층구조로 된 2도 프린팅에 따른 박막이 얇을 경우 잉크 콘트롤러(500)를 통해 2도 박막을 프린팅 하기 위한 잉크가 더 공급되도록 하거나 제2 롤프린팅부(520)가 2도 프린팅을 천천히 하도록 하여 2도 프린팅에 따른 박막이 더 두꺼워지도록 한다.For example, the controller 506 may further supply ink for printing the second degree thin film through the ink controller 500 or the second roll when the thin film according to the second degree printing having a multilayer structure on the flexible substrate 400 is thin. The printing unit 520 makes the 2-degree printing slow so that the thin film according to the 2-degree printing becomes thicker.

제어부(506)는 카메라(406)로부터 촬영된 영상신호를 제공받아 연성기판(400)의 표면영상을 구비된 화면(도면 중에 도시되지 않음)에 표시하여, 연성기판(400)의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태가 나타나도록 해서 작업자가 연성기판(400)의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태에 따른 조치를 용이하게 취할 수 있도록 할 수 있다. 이때 카메라(406)의 특정 부분에 전자현미경을 고정장착하여 이 전자현미경이 연성기판(400)의 표면영상을 제어부(506)로 제공하도록 할 수도 있다.The controller 506 receives an image signal photographed from the camera 406 and displays a surface image of the flexible substrate 400 on a screen (not shown) to display foreign matter on the surface of the flexible substrate 400. Scratches, wrinkles, and layer alignment may be indicated so that an operator may easily take measures according to foreign matter, scratches, wrinkles, and layer alignment on the surface of the flexible substrate 400. In this case, the electron microscope may be fixedly mounted on a specific portion of the camera 406 so that the electron microscope provides the surface image of the flexible substrate 400 to the controller 506.

위치센서(404)는 레일(402) 중 트리거 마크(408) 쪽에 고정설치되어 트리거 마크(408)가 위치되는 것을 감지하여 트리거 마크 검출신호를 제어부(506)로 제공해서, 제어부(506)가 연성기판(400)의 진행속도를 구할 수 있도록 한다. 이때 트리거 마크(408)는 연성기판(400)의 일 측 표면에 길이방향의 일정 간격으로 표시된다.The position sensor 404 is fixedly installed on the trigger mark 408 side of the rail 402 to detect the position of the trigger mark 408 and provides a trigger mark detection signal to the control unit 506, so that the control unit 506 is flexible. The traveling speed of the substrate 400 can be obtained. In this case, the trigger marks 408 are displayed at regular intervals in the longitudinal direction on one surface of the flexible substrate 400.

연성기판(400) 진행속도는 카메라(406) 및 연성기판(400)을 이송하는 제2 서보모터(524)에 설치된 엔코더(encoder)를 통해 구할 수 있다.The traveling speed of the flexible board 400 may be obtained through an encoder installed in the second servomotor 524 that transfers the camera 406 and the flexible board 400.

카메라(406)는 연성기판(400)의 길이방향속도 V_MD와 연동하여 연성기판(400)의 폭방향으로 왕복운동한다. 이때 작업 환경에 따라 카메라(406)의 특정 시간당 촬영회수를 조절할 수 있으며, 카메라(406)의 연성기판(400) 폭방향속도 V_CD는 수학식 1 및 수학식 2와 같이 나타낼 수 있다.The camera 406 reciprocates in the width direction of the flexible substrate 400 in conjunction with the longitudinal velocity V _MD of the flexible substrate 400. In this case, the specific number of photographing times of the camera 406 may be adjusted according to the working environment, and the flexible substrate 400 in the width direction speed V _CD of the camera 406 may be represented by Equations 1 and 2 below.

수학식 1을 보면, 카메라(406)의 연성기판(400) 폭방향속도 V_CD = ((Pi+dt)+Pi)/dt 이다.Referring to Equation 1, the flexible substrate 400 of the camera 406, the width direction speed V _CD = ((Pi + dt) + Pi) / dt.

수학식 2를 보면, 카메라(406)의 연성기판(400) 폭방향속도 V_CD = V_MD*β, 이때 β는 상수이다. β는 카메라(406)의 특정 시간당 촬영회수에 따라 변한다.In Equation 2, the flexible substrate 400 of the camera 406 has a widthwise velocity V _CD. = V _MD * β, where β is a constant. β varies depending on the specific number of shots per hour of the camera 406.

이와 같은 본 발명은 유기태양전지(OPV), 유기발광다이오드(OLED), 및 박막트랜지스터(TFT) 등의 전자소자를 제조하는데 사용할 수 있다.The present invention can be used to manufacture electronic devices such as organic solar cells (OPV), organic light emitting diodes (OLED), and thin film transistors (TFT).

여기서 연성기판(400)에 프린팅 되는 2도 박막이 투명할수록 카메라(406)가 2도 박막의 두께에 따른 영상을 잘 촬영할 수 있다.
Here, as the second degree thin film printed on the flexible substrate 400 is transparent, the camera 406 may capture an image according to the thickness of the second degree thin film.

이와 같은 본 발명은 롤프린팅 시스템에 인라인되어 연성기판에 2도 프린팅 된 박막의 두께에 따라 다음에 프리팅 되는 2도 박막의 두께를 조절하기 때문에, 2도 박막의 두께 제어를 용이하게 할 수 있는 장점이 있다.As described above, the present invention adjusts the thickness of the second degree thin film to be printed next according to the thickness of the thin film inlined to the roll printing system and printed on the flexible substrate by two degrees. Therefore, the thickness of the second degree thin film can be easily controlled. There is an advantage.

또한, 연속 공정에서의 실시간 연성기판(400)의 폭방향에서의 레이어 간 정렬 오차를 실시간으로 알 수 있기 때문에, 이와 같은 오차는 연성기판(400)의 폭방향 이송을 위한 제3 서보모터(528)를 구동시키는 제3 드라이버(526)의 오차보정값으로 피드백되어 자동 정렬 시스템으로 구축이 가능하다.In addition, since the alignment error between layers in the width direction of the real-time flexible substrate 400 in a continuous process can be known in real time, such an error is the third servomotor 528 for the widthwise transfer of the flexible substrate 400. It is fed back to the error correction value of the third driver 526 for driving the) can be constructed as an automatic alignment system.

제어부(506)가 카메라(406)로부터 촬영된 영상신호를 제공받아 연성기판(400)의 표면영상을 구비된 화면에 표시하여, 연성기판(400)의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태가 나타나도록 하기 때문에, 작업자가 연성기판(400)의 표면상의 이물질, 스크래치, 구겨짐, 및 레이어 정렬 상태에 따른 조치를 용이하게 취할 수 있는 장점이 있다.
The controller 506 receives the image signal photographed from the camera 406 and displays the surface image of the flexible board 400 on the screen provided with the foreign matter, scratches, wrinkles, and layer alignment on the surface of the flexible board 400. Since the state appears, there is an advantage that the operator can easily take measures according to the foreign matter, scratches, wrinkles, and the layer alignment state on the surface of the flexible substrate 400.

이상에서 본 발명에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been disclosed for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. In addition, it is obvious that any person skilled in the art can make various modifications and imitations without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

200, 400 : 연성기판
202 : 박막
204 : 입사광선
206, 208 : 제1, 제2 반사광선
300 : 광원
302 : 컴퓨터
402 : 레일
404 : 위치센서
406 : 카메라
408 : 트리거 마크
500 : 잉크 콘트롤러
502 : 펌프
504 : 밸브
506 : 제어부
510, 520 : 제1, 제2 롤프린팅부
514, 524, 528 : 제1, 제2, 제3 서보모터
512, 522, 526 : 제1, 제2, 제3 드라이버200, 400: flexible board
202: thin film
204: incident light
206 and 208: first and second reflected light beams
300 light source
302: Computer
402: rail
404: position sensor
406: camera
408: trigger mark
500: ink controller
502: pump
504: Valve
506 control unit
510, 520: first and second roll printing unit
514, 524, 528: first, second, third servomotor
512, 522, 526: first, second, third driver

Claims

An apparatus for allowing a flexible substrate to pass through a first roll printing unit and a second roll printing unit in order, and printing a 1 degree thin film on the first roll printing unit and a 2 degree thin film printing on the second roll printing unit.
An ink supply unit supplying ink for printing the second degree thin film;
A rail provided across the flexible substrate on the flexible substrate immediately after the second roll printing unit;
A camera which zigzag photographs the surface of the first degree thin film printed and the second degree thin film printed flexible substrate while reciprocating a specific section on the flexible substrate along the rail by hanging on the rail; And
The thickness of the second degree thin film is measured by analyzing the interference between the waveform of light reflected from the surface of the second degree thin film and the waveform of light reflected at the interface between the second degree and the first degree by receiving the image signal photographed from the camera. And a control unit for controlling the ink supply amount of the ink supply part and the printing speed of the second roll printing part according to the thickness of the second degree thin film so that the second degree thin film is printed with a uniform thickness. Device for printing.

The method according to claim 1,
Trigger marks are displayed on one surface of the flexible substrate at regular intervals in a longitudinal direction, and fixed to the trigger marks of the rails to detect the position of the trigger marks and provide a trigger mark detection signal to the controller. The apparatus for printing a thin film on a flexible substrate, characterized in that the control unit further comprises a position sensor for obtaining the traveling speed of the flexible substrate.

The method according to claim 1 or 2,
The control unit receives an image signal photographed from the camera and displays the surface image of the flexible substrate on a screen provided with the foreign matter, scratches, wrinkles, and layer alignment on the surface of the flexible substrate. Device for printing a thin film on a flexible substrate.

The method according to claim 1 or 2,
The cameras are provided in plural numbers at a predetermined interval in the width direction of the flexible substrate, and each of the plurality of cameras zigzags the surfaces of the first degree thin film printed and the second degree thin film printed flexible substrate while reciprocating in its section. Device for printing a thin film on a flexible substrate, characterized in that for shooting.

The method according to claim 1 or 2,
The camera is a device for printing a thin film on a flexible substrate, characterized in that the camera using a charge coupled device.