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KR101079951B1 - 진공 라미네이터 - Google Patents

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KR101079951B1
KR101079951B1 KR1020100039299A KR20100039299A KR101079951B1 KR 101079951 B1 KR101079951 B1 KR 101079951B1 KR 1020100039299 A KR1020100039299 A KR 1020100039299A KR 20100039299 A KR20100039299 A KR 20100039299A KR 101079951 B1 KR101079951 B1 KR 101079951B1
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vacuum chamber
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vacuum
carrier film
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Abstract

본 발명은 진공 라미네이터에 관한 것으로, 특히 인쇄회로기판에 커버레이(Cover-lay film) 또는 감광 드라이 필름(Photo resist film)의 가접 후 이들을 진공장치에 의해 라미네이팅하는 진공 라미네이터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 진공 라미네이터는, 상부 진공챔버 실린더 작용에 의해 후단부가 고정된 상태에서 전단부가 개폐되어 하부 진공챔버와 결합되어 내부의 기판과 필름을 라미네이팅하는 상부 진공챔버와; 하부 진공챔버 실린더 작용에 의해 상하로 업-다운되어 상기 상부 진공챔버와 결합되어 내부의 기판과 필름을 라미네이팅하는 하부 진공챔버와; 상기 하부 진공챔버 내부로 이송된 필름이 가접된 기판상부에 올려지는 상부측 캐리어 필름을 로딩하는 상부 언-와인더 샤프트와; 가접장치로부터 이송된 기판을 상기 하부 진공챔버 내부로 이송하고, 기판하부에 위치되는 하부측 캐리어 필름을 로딩하는 하부 언-와인더 샤프트와; 상기 기판이 상기 상부 및 하부 진공챔버에 의해 라미네이팅된 후 상부측 캐리어 필름을 재롤링하는 상부 리-와인더 샤프트와; 상기 기판이 상기 상부 및 하부 진공챔버에 의해 라미네이팅된 후 하부측 캐리어 필름을 재롤링하는 하부 리-와인더 샤프트와; 상기 상하부측 캐리어 필름을 그립하여 소정 길이만큼 이송되도록 그립하는 립 롤러;를 포함하여 이루어진다.

Description

진공 라미네이터{VACUUM LAMINATOR}
본 발명은 진공 라미네이터에 관한 것으로, 특히 인쇄회로기판에 커버레이(Cover-lay film) 또는 감광 드라이 필름(Photo resist film)의 가접 후 이들을 진공장치에 의해 라미네이팅하는 진공 라미네이터에 관한 것이다.
인쇄회로기판(Printed circuit board, PCB), 연성인쇄회로기판(Flexible printed circuit board, FPCB) 등의 기판에는 회로를 구성하는 도전성을 갖는 패턴(Pattern)이 인쇄되어 있다.
기판의 제조 공정 및 사용 중에 패턴을 보호하기 위하여 폴리이미드 필름(Polyimide film)과 같은 커버레이 필름이 기판의 표면에 가접(Pre-attach)되거나, 반도체 집적회로 실장에 사용되는 리드프레임이나 프린트 배선 기판의 제조시에 에칭 레지스트(etching resist)로서 사용되는 감광층을 형성하기 위해 감광 드라이 필름(드라이 필름 레지스트(Dry filim resist; DFR) 또는 감광성 필름)이 기판의 표면에 가접된 후 롤러에 의해 또는 진공 라미네이터에 의해 라미네이팅된다.
롤러에 의해 필름을 기판상에 라미네이팅을 하는 경우는 속도면이나 생산성면에서 우수하나 수개가 적층된 기판은 패턴 형상에 따라 요홈과 돌기에 의해 굴곡면이 존재하고 이를 롤링방법에 의해 라미네이팅을 하는 경우 요홈 부위에 필름이 기판 상에 완전히 밀착되어 라미네이팅이 되지 않아 제품 불량의 요인이 되는 문제가 있다.
또한, 진공 라미네이터는 적층 기판에 대한 필름 라미네이팅 성능이 우수하여 주로 이용되지만, 제품을 이송하는 캐리어 필름의 이송방식이 그립퍼 방식으로서 그립퍼가 장착되는 만큼의 영역이 필요하여 그 만큼 장치의 크기가 대형화되는 문제가 있고 제품 이송의 정밀도가 떨어지는 문제가 있다. 또한, 상하부 진공챔버에 의한 제품의 라미네이팅 방식에 미세한 차이가 존재하나 가장 효율적인 진공 및 라미네이팅 방식에는 근접하지 못하는 실정이다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 필름이 가접된 기판을 이송하는 방식을 립 롤러와 서보 모터를 사용하여 기판의 정확한 위치로의 이송를 가져와 효율적인 라미네이팅이 구현이 가능한 진공 라미네이터를 제공하고자 한다.
또한, 필름이 가접된 기판의 이송 방식을 롤 방식이나 컨베이어 방식을 사용하지 않고 캐리어 필름을 이용한 립 롤러 방식을 채택하여 설비의 크기를 소형화할 수 있는 진공 라미네이터를 제공하고자 한다.
또한, 하부 진공 챔버를 수직 업-다운하도록 하고 상부 진공 챔버에 다이아 프램을 장착하여 상부측에서 하부측으로 압력을 가하고 하부측에서 진공을 잡는 방식을 채택하여 라미네이팅의 효율성을 높일 수 있는 진공 라미네이터를 제공하고자 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 진공 라미네이터는, 상부 진공챔버 실린더 작용에 의해 후단부가 고정된 상태에서 전단부가 개폐되어 하부 진공챔버와 결합되어 내부의 기판과 필름을 라미네이팅하는 상부 진공챔버와; 하부 진공챔버 실린더 작용에 의해 상하로 업-다운되어 상기 상부 진공챔버와 결합되어 내부의 기판과 필름을 라미네이팅하는 하부 진공챔버와; 상기 하부 진공챔버 내부로 이송된 필름이 가접된 기판상부에 올려지는 상부측 캐리어 필름을 로딩하는 상부 언-와인더 샤프트와; 가접장치로부터 이송된 기판을 상기 하부 진공챔버 내부로 이송하고, 기판하부에 위치되는 하부측 캐리어 필름을 로딩하는 하부 언-와인더 샤프트와; 상기 기판이 상기 상부 및 하부 진공챔버에 의해 라미네이팅된 후 상부측 캐리어 필름을 재롤링하는 상부 리-와인더 샤프트와; 상기 기판이 상기 상부 및 하부 진공챔버에 의해 라미네이팅된 후 하부측 캐리어 필름을 재롤링하는 하부 리-와인더 샤프트와; 상기 상하부측 캐리어 필름을 그립하여 소정 길이만큼 이송되도록 그립하는 립 롤러;를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 상하부 언-와인더 샤프트에는 상기 상하부측 캐리어 필름이 상기 립 롤러에 의해 소정 길이만큼 이송된 후 이송 정지가 가능하도록 각각 파우더 브레이크가 장착되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 립 롤러는 상하부 롤러 쌍으로 이루어지며, 그 사이에 상기 상하부측 캐리어 필름이 위치되고, 상기 상하부측 캐리어 필름에 일정의 압력을 가하도록 측면에 가압 실린더가 장착되고, 상기 기판 및 상기 상하부측 캐리어 필름의 정확한 이송 위치를 제어하도록 서보 모터가 장착되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 상부 진공챔버는 상기 기판과 닿는 면이 단열판, 러버히터, 실리콘 판 및 다이아 프램으로 이루어지며, 상기 하부 진공챔버는 상기 기판과 닿는 면이 단열판, 러버히터 및 실리콘 판으로 이루어지는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 상부 진공챔버는 후단부가 고정된 상태에서 전단부가 수평위치된 상태에서 고정블록 및 고정블록 나사에 의해 고정되며, 상기 상부 진공챔버가 고정된 상태에서 상기 하부 진공챔버가 수직으로 업되어 상기 상하부 진공챔버가 결합되어 기판의 라미네이팅이 이루어지도록 구현된다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면, 필름이 가접된 기판을 이송하는 방식을 립 롤러와 서보 모터를 사용하여 기판의 정확한 위치로의 이송과, 이송 방식을 립 롤러 방식을 채택하여 설비의 크기를 소형화할 수 있고, 하부 진공챔버와 상부 진공챔버 구조를 라미네이팅의 효율을 극대화할 수 있는 구조를 채택한 진공 라미네이터를 제공할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 평면도이다.
도 5는 도 2의 A-A 단면도를 도시한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 구조, 동작 및 작용효과를 설명한다.
본 발명에 따른 진공 라미네이터는 인쇄회로기판 상하면에 라미네이팅되는 필름은 인쇄회로기판의 가접장치에 의해 가접된 커버레이 필름(Cover-lay film) 또는 감광 드라이 필름(Photo resist film)일 수 있다.
커버레이 필름은 기판의 제조 공정 및 사용 중에 패턴을 보호하기 위하여 폴리이미드 필름(Polyimide film)과 같은 필름이 기판의 표면에 가접(Pre-attach)되어 사용되고, 감광 드라이 필름은 드라이 필름 레지스트(Dry filim resist; DFR) 또는 감광성 필름이라고 하며 반도체 집적회로 실장에 사용되는 리드프레임이나 프린트 배선 기판의 제조시에 에칭 레지스트(etching resist)로서 사용되는 감광층을 형성하기 위해 가접되어 사용된다. 이하에서 '기판'이라 함은 가접 필름 즉 커버레이 필름이나 감광 드라이 필름이 가접된 인쇄회로기판을 의미하며, 특히 적층된 인쇄회로기판을 의미한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 측면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 진공 라미네이터의 평면도이고, 도 5는 도 2의 A-A 단면도를 도시한 것이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 라미네이터는 상부 베이스(130), 하부 베이스(100), 지지축(110), 측면 베이스(120) 및 후면 프레임(140)에 의해 지지되고 외관을 이룬다.
진공 라미네이터는 상부 진공챔버(1), 하부 진공챔버(2), 상하부 언-와인더 샤프트(3a, 3b), 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b) 및 립 롤러(7)를 포함하여 이루어진다.
상부 진공챔버(1)와 하부 진공챔버(2)는 서로 맞물려 결합되며, 내부에 캐리어 필름에 의해 이송된 기판을 진공상태에서 열을 가하여 라미네이팅하는 주요부를 구성한다.
상부 진공챔버(1)는 후면측이 고정부(25)에 연결되어 힌지 고정되며, 상부 진공챔버 암(26)은 상부 진공챔버 실린더(14)에 연결되어 고정부(25)를 기준으로 전면측이 상하로 개폐되는 구조를 갖으며, 내부에는 진공라인이 형성된다.
또한, 상부 진공챔버(1)의 내면은 도 5에 도시된 바와 같이 단열판(17a), 러버히터(18a), 실리콘 판(19a) 및 다이아 프램(20)으로 이루어진다. 러버히터(18a)는 라미네이팅시 열을 가하기 위한 장치이며, 단열판(17a)은 외부로 열손실이 발생하는 것을 최소화하기 위한 것이고, 다이아 프램(20)은 에어 팽창에 의해 기판의 굴곡된 패턴에 필름이 완전히 밀착되도록 라미네이팅 하기 위한 장치이다.
하부 진공챔버(2)는 하부 진공챔버 실린더(13)에 의해 상하 수직으로 업-다운되며 내부에는 진공라인이 형성되어 상부 진공챔버(1)와 함께 내부에 이송된 기판의 라미네이팅을 구현하게 된다. 하부 진공챔버(2) 하부로는 하부 진공챔버 실린더(13)와 하부 진공챔버 서포터(12)가 위치되며, 하부 진공챔버 실린더(13)에 의해 상하 업-다운되고 하부 진공챔버 서포터(12)에 의해 지지된다.
하부 진공챔버(2)의 내면은 도 5에 도시된 바와 같이, 단열판(17b), 러버히터(18b) 및 실리콘 판(19b)으로 이루어진다.
기판의 라미네이팅을 위해 상부 진공챔버(1)는 상부 진공챔버 실린더(14)에 의해 하부로 수평면을 이루는 지점까지 하강하고, 이때 'ㄱ'자 형태로 이루어진 고정블록(10) 및 고정블록 나사(11)에 의해 고정되며, 상부 진공챔버(1)가 고정된 상태에서 하부 진공챔버(2)가 하부 진공챔버 실린더(13)에 의해 상부방향으로 업되면서 내부를 진공상태에서 기판을 라미네이팅하게 된다.
진공 라미네이터 좌측으로는 상하부 언-와인더 샤프트(3a, 3b)와 우측으로는 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b)가 형성되어진다.
상하부 언-와인더 샤프트(3a, 3b)에는 캐리어 필름이 롤 형태로 감겨진 상태에서 상하부 진공챔버(1, 2) 내부로 기판을 이송하면서 전진하게 된다.
라미네이팅이 완료된 후 캐리어 필름은 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b)로 리와인더되면서 회수되게 된다.
상부 언-와인더 샤프트(3a)는 롤러(21a)를 거치며, 하부 언-와인더 샤프트(3b)는 롤러(21b, 21c)를 거쳐 캐리어 필름을 이송시키며, 상부 리-와인더 샤프트(5a)는 롤러(21d)를 거쳐 상부측 캐리어 필름을 회수하고, 하부 리-와인더 샤프트(5b)는 롤러(21e)를 거쳐 하부측 캐리어 필름을 회수한다.
상하부 언-와인더 샤프트(3a, 3b)에는 각각 캐리어 필름의 기설정된 만큼의 이송이 이루어지도록 파우더 브레이크(16a, 16b)가 형성되며, 파우더 브레이크(16a, 16b)는 립 롤러(7)에 의해 캐리어 필름이 상하부 진공챔버(1, 2) 내부로 설정된 길이만큼 이송된 시점에 자동적으로 브레이킹하여 캐리어 필름의 이송을 저지시키는 역할을 한다.
상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b)에는 각각 토오크 모터(23, 24)가 장착되어 립 롤러(7)와 함께 정확한 회전수에 의한 캐리어 필름의 이송 거리를 제어하도록 한다.
상부 언-와인더 샤프트(3a, 3b) 및 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b) 각각은 가이드 브라켓(4a, 4b, 6a, 6b)에 의해 회동 가능하도록 고정된다.
롤러(21c)와 측면 베이스(120) 사이에는 지지 브라켓(22)이 형성되고, 롤러(21e)와 측면 베이스(120) 사이에는 지지 브라켓(23)과 회수 플레이트(9)가 형성되어, 기판상에 필름을 가접시키는 인쇄회로기판의 가접장치로부터 이송되는 기판을 캐리어 필름 위에 얹혀 이송시키고, 또 라미네이팅이 완료된 기판을 회수시키도록 구성된다.
상하부 진공챔버(1, 2)와 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b) 사이에는 립 롤러(7) 한 쌍이 형성되며, 립 롤러(7) 일측에는 서보 모터(15)가 장착되며, 타측에는 가압 실린더(8)가 형성된다.
상하부 언-와인더 샤프트(3a, 3b)를 거쳐 이송되는 상부 및 하부측 캐리어 필름은 립 롤러(7)를 통해 상부측 캐리어 필름은 상부 리-와인더 샤프트(5a)로 하부측 캐리어 필름은 하부 리-와인더 샤프트(5b)로 회수된다.
립 롤러(7)는 상하부측 캐리어 필름을 가압 실린더(8)에 의해 가압되어 서보 모터(15)에 의해 정확한 거리만큼 그립시켜 이송시키는 역할을 한다.
종래에는 립 롤러(7) 대신에 상하부 진공챔버(1, 2) 외부에서 그립방식에 의해 캐리어 필름을 이송하여 그립방식 장치만큼의 제품의 크기가 커져 전체적으로 부피가 커지는 단점이 있었으나, 본 발명은 상하부 진공챔버(1, 2) 측면에 립 롤러(7)을 형성시켜 전체적으로 제품의 크기를 소형화하도록 구현하였다.
이러한 구성을 갖는 진공 라미네이터의 동작을 살펴본다.
먼저, 본 발명에 따른 진공 라미네이터는 전단계에서 기판상에 커버레이 필름이나 감광 드라이 필름이 가접된 상태에서 인쇄회로기판의 가접장치로부터 수동 또는 자동으로 이송되는 기판과 가접 필름을 라미네이팅하게 된다.
인쇄회로기판의 가접장치로부터 이송되는 기판은 하부 언-와인더 샤프트(3b)에 롤링되어 풀어진 캐리어 필름 위(지지 브라켓(22) 상에 위치된 캐리어 필름 위)에 놓여진다.
기판이 캐리어 필름 위에 놓여진 상태에서, 립 롤러(7)의 서보 모터 구동에 의해 상하부측 캐리어 필름이 각각 상부 언-와인더 샤프트(3a) 및 하부 언-와인더 샤프트(3b)에 롤링된 상태에서 이송되며, 이때 기판은 하부측 캐리어 필름의 이송에 따라 진공챔버 내부로 인입된다. 캐리어 필름의 이송 길이는 릴 롤러(7)의 서보 모터에 의해 정확하게 제어되며, 이송되는 길이만큼 리와인더 되도록 토오크 모터(23, 24)에 의해 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b)가 회전 제어된다.
상부 진공챔버(1)가 열린 상태에서 하부측 캐리어 필름에 의해 이송된 기판은 하부 진공챔버(2) 상면 중심에 위치되며, 기판은 하부로는 하부측 캐리어 필름이 상부로는 상부측 캐리어 필름이 위치된 상태로 놓이게 된다.
상부 진공챔버(1)와 하부 진공챔버(2)는 진공라인을 통해 상시 진공상태를 유지하며, 캐리어 필름과 기판이 정위치로 이송되어지면 상부 진공챔버(1)의 진공은 오프상태로 된다.
이 상태에서 상부 진공챔버(1)가 상부 진공챔버 실린더(14)에 의해 하강하게 되고 수평 위치에 놓이면 고정블록(10)과 고정블록 나사(11)에 의해 상부 진공챔버(1)가 고정되어진다. 이 후, 하부 진공챔버(2)는 하부 진공챔버 실린더(13)에 의해 수직으로 상승하여 기판과 캐리어 필름을 사이에 두고 상부 진공챔버(1)의 다이아 프램(20)과 하부 진공챔버(2)의 실리콘 판(19b)이 맞닿게 된다.
이때, 상부 진공챔버(1)의 진공이 오프된 상태에서 에어 실린더에 의해 에어를 내부로 불어넣어 다이아 프램(20)이 팽창된 상태에서 하부 진공챔버(2)의 실리콘 판(19b)과 맞닿으며, 물론 상하부 진공챔버(1, 2)의 내부에 형성된 러버히터(18a, 18b)는 가열된 상태를 유지한다.
이러한 구조에서, 기판과 가접된 필름은 상부 진공챔버(1)의 가열과 에어압력, 하부 진공챔버(2)의 가열과 진공에 의해 기판의 상하면에 가접 필름이 완전히 라미네이팅 된다. 특히, 적층형 기판의 경우 요홈에 의해 형성된 굴곡부분에 가접 필름이 완전 밀착 라미네이팅될 수 있도록 구현된다.
라미네이팅이 완료된 후, 상부 진공챔버(1)는 다시 상부 진공챔버 실린더(14)에 의해 상방향으로 오픈되고, 하부 진공챔버(2)도 원래위치로 복귀하게 된다. 이 상태에서 서보 모터(15) 및 토오크 모터(23, 24)의 구동에 따라 립 롤러(7) 및 상하부 리-와인더 샤프트(5a, 5b) 구동이 이루어지고, 제어된 길이만큼 캐리어 필름이 회수된다.
캐리어 필름은 필름이 가접된 기판을 이송하는 역할을 하는 것과 동시에 상하부 진공챔버(1, 2)와 맞닿는 다이아 프램(20)과 실리콘 판(19b)을 라미네이팅시 발생되는 오염을 방지하는 역할을 한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 상부 진공챔버 2 : 하부 진공챔버
3a, 3b : 언-와인더 샤프트 5a, 5b : 리-와인더 샤프트
4a, 4b, 6a, 6b : 샤프트 가이드 브라켓
7 : 립 롤러 8 : 가압 실린더
9 : 회수 플레이트 10 : 고정블록
11 : 고정블록 나사 12 : 서포터
13 : 하부 진공챔버 실린더 14 : 상부 진공챔버 실린더
15, 23, 24 : 서보 모터 16a, 16b : 파우더 브레이크
17a, 17b : 단열판 18a, 18b : 러버히터
19a, 19b : 실리콘 판 20 : 다이아 프램
21a, 21b, 21c, 21d, 21e : 롤러
22, 23 : 지지 브라켓 25 : 고정부
26 : 상부 진공챔버 암 100 : 하부 베이스
110 : 측면 지지플레이트 120 : 지지대
130 : 상부 베이스

Claims (5)

  1. 상부 진공챔버 실린더 작용에 의해 후단부가 고정된 상태에서 전단부가 개폐되어 하부 진공챔버와 결합되어 내부의 기판과 필름을 라미네이팅하는 상부 진공챔버와;
    하부 진공챔버 실린더 작용에 의해 상하로 업-다운되어 상기 상부 진공챔버와 결합되어 내부의 기판과 필름을 라미네이팅하는 하부 진공챔버와;
    상기 하부 진공챔버 내부로 이송된 필름이 가접된 기판상부에 올려지는 상부측 캐리어 필름을 로딩하는 상부 언-와인더 샤프트와;
    가접장치로부터 이송된 기판을 상기 하부 진공챔버 내부로 이송하고, 기판하부에 위치되는 하부측 캐리어 필름을 로딩하는 하부 언-와인더 샤프트와;
    상기 기판이 상기 상부 및 하부 진공챔버에 의해 라미네이팅된 후 상부측 캐리어 필름을 재롤링하는 상부 리-와인더 샤프트와;
    상기 기판이 상기 상부 및 하부 진공챔버에 의해 라미네이팅된 후 하부측 캐리어 필름을 재롤링하는 하부 리-와인더 샤프트와;
    상기 상하부측 캐리어 필름을 그립하여 소정 길이만큼 이송되도록 그립하는 립 롤러;를 포함하는, 진공 라미네이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상하부 언-와인더 샤프트에는 상기 상하부측 캐리어 필름이 상기 립 롤러에 의해 소정 길이만큼 이송된 후 이송 정지가 가능하도록 각각 파우더 브레이크가 장착되는, 진공 라미네이터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 립 롤러는 상하부 롤러 쌍으로 이루어지며, 그 사이에 상기 상하부측 캐리어 필름이 위치되고, 상기 상하부측 캐리어 필름에 일정의 압력을 가하도록 측면에 가압 실린더가 장착되며,
    상기 기판 및 상기 상하부측 캐리어 필름의 정확한 이송 위치를 제어하도록 서보 모터가 장착되는, 진공 라미네이터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부 진공챔버는 상기 기판과 닿는 면이 단열판, 러버히터, 실리콘 판 및 다이아 프램으로 이루어지며,
    상기 하부 진공챔버는 상기 기판과 닿는 면이 단열판, 러버히터 및 실리콘 판으로 이루어지는, 진공 라미네이터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부 진공챔버는 후단부가 고정된 상태에서 전단부가 수평위치된 상태에서 고정블록 및 고정블록 나사에 의해 고정되며,
    상기 상부 진공챔버가 고정된 상태에서 상기 하부 진공챔버가 수직으로 업되어 상기 상하부 진공챔버가 결합되어 기판의 라미네이팅이 이루어지는, 진공 라미네이터.
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