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KR101067216B1 - Printed circuit board and semiconductor package having same - Google Patents

Printed circuit board and semiconductor package having same Download PDF

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KR101067216B1
KR101067216B1 KR1020100047975A KR20100047975A KR101067216B1 KR 101067216 B1 KR101067216 B1 KR 101067216B1 KR 1020100047975 A KR1020100047975 A KR 1020100047975A KR 20100047975 A KR20100047975 A KR 20100047975A KR 101067216 B1 KR101067216 B1 KR 101067216B1
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KR
South Korea
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region
insulating pattern
trench
underfill
circuit board
Prior art date
Application number
KR1020100047975A
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Korean (ko)
Inventor
김병찬
신영환
김진관
김동원
강귀원
Original Assignee
삼성전기주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은 반도체 칩이 실장되는 제1 영역 및 제1 영역 외측의 제2 영역을 갖는 베이스 기판, 베이스 기판을 덮으며 제2 영역 상에 형성된 트렌치를 구비하는 제1 절연 패턴, 그리고 제2 영역의 제1 절연 패턴으로부터 돌출된 형상을 갖는 제2 절연 패턴을 포함한다. 상기 트렌치와 상기 제2 절연 패턴은 언더필의 형성 공정시, 언더필 형성 물질을 기설정된 형상으로 한정시키는 구조체로 사용될 수 있다.The present invention relates to a printed circuit board, and a printed circuit board according to an embodiment of the present invention covers a base substrate having a first region on which a semiconductor chip is mounted and a second region outside the first region, and covering the base substrate. A first insulating pattern having a trench formed on the region, and a second insulating pattern having a shape protruding from the first insulating pattern of the second region. The trench and the second insulating pattern may be used as a structure to limit the underfill forming material to a predetermined shape in the process of forming the underfill.

Description

인쇄회로기판 및 이를 구비하는 반도체 패키지{PRINTED CIRCUIT BOARD AND SEMICONDUCTOR PACKAGE WITH THE SMAE}Printed circuit board and semiconductor package having same {PRINTED CIRCUIT BOARD AND SEMICONDUCTOR PACKAGE WITH THE SMAE}

본 발명은 인쇄회로기판 및 이를 구비하는 반도체 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 언더필의 형성 신뢰성을 향상시킨 인쇄회로기판 및 이를 구비하는 반도체 패키지에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board and a semiconductor package having the same, and more particularly, to a printed circuit board having improved reliability of forming an underfill and a semiconductor package having the same.

반도체 패키지 기술은 제조된 반도체 반도체 칩(IC)을 외부 환경으로부터 보호하고, 상기 반도체 반도체 칩을 외부 전자 장치에 장착시키기 위해 제공된다. 보통 상기 반도체 패키지는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)과 같은 회로 기판과 상기 회로 기판의 제1 영역에 실장된 반도체 칩을 구비한 구조를 갖는다. 또한, 상기 회로 기판과 상기 반도체 칩 사이에는 하부 충진재(underfill, 이하 '언더필'이라 함)가 구비될 수 있다. 상기 언더필은 상기 회로 기판과 상기 반도체 칩의 열팽창계수의 차이에 의한 반도체 패키지의 접합 신뢰성이 낮아지는 것을 보강해주고, 상기 접속 솔더를 외부 환경으로부터 보호하기 위한 것일 수 있다.Semiconductor package technology is provided to protect a manufactured semiconductor semiconductor chip (IC) from an external environment and to mount the semiconductor semiconductor chip to an external electronic device. Usually, the semiconductor package has a structure including a circuit board such as a printed circuit board (PCB) and a semiconductor chip mounted on a first region of the circuit board. In addition, an underfill (hereinafter, referred to as an "underfill") may be provided between the circuit board and the semiconductor chip. The underfill may reinforce that the bonding reliability of the semiconductor package is lowered due to a difference in thermal expansion coefficient between the circuit board and the semiconductor chip, and may protect the connection solder from an external environment.

최근 반도체 패키지의 고집적화에 의해, 상기 회로기판과 상기 반도체 칩 사이의 간격이 축소되는 추세에 있으며, 이에 대응하여, 상기 언더필 또한 정확하고 효과적으로 형성하기 위한 기술이 요구된다. 그러나, 상기 회로기판과 상기 반도체 칩의 간격이 극도로 감소하는 경우, 상기 언더필을 상기 회로기판의 제1 영역에 정확하게 형성하기 어려워, 상기 언더필이 상기 회로기판과 상기 반도체 칩 사이 공간으로부터 벗어나는 현상이 발생된다.
Recently, due to the high integration of the semiconductor package, the gap between the circuit board and the semiconductor chip has been reduced, and correspondingly, a technique for accurately and effectively forming the underfill is required. However, when the gap between the circuit board and the semiconductor chip is extremely reduced, it is difficult to accurately form the underfill in the first region of the circuit board, so that the phenomenon that the underfill deviates from the space between the circuit board and the semiconductor chip is Is generated.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 언더필의 형성 효율을 향상시킬 수 있는 구조를 갖는 인쇄회로기판을 제공하는 것에 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a printed circuit board having a structure that can improve the formation efficiency of the underfill.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 언더필의 형성 효율을 향상시킬 수 있는 반도체 패키지를 제공하는 것에 있다.
An object of the present invention is to provide a semiconductor package that can improve the formation efficiency of the underfill.

본 발명에 따른 인쇄회로기판은 반도체 칩이 실장되는 제1 영역 및 상기 제1 영역 외측의 제2 영역을 갖는 베이스 기판, 상기 베이스 기판을 덮으며, 상기 제2 영역 상에 형성된 트렌치를 구비하는 제1 절연 패턴, 그리고 상기 제2 영역의 상기 제1 절연 패턴으로부터 돌출된 형상을 갖는 제2 절연 패턴을 포함한다.A printed circuit board according to the present invention includes a base substrate having a first region on which a semiconductor chip is mounted and a second region outside the first region, and a trench covering the base substrate and formed on the second region. And a second insulating pattern having a shape protruding from the first insulating pattern and the first insulating pattern of the second region.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 경사진 구조를 가질 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the trench may have an inclined structure in which a depth deepens as the distance from the first region increases.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 계단 구조를 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the trench may have a stepped structure in which the depth becomes deeper as it moves away from the first region.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트렌치는 상기 반도체 칩을 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the trench may have a ring shape surrounding the semiconductor chip.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2 절연 패턴은 상기 트렌치를 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the second insulating pattern may have a ring shape surrounding the trench.

본 발명의 일 예에 따르면, 상기 제1 절연 패턴 및 상기 제2 절연 패턴은 솔더 레지스트 패턴을 이룰 수 있다.According to an example of the present invention, the first insulating pattern and the second insulating pattern may form a solder resist pattern.

본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 제1 절연 패턴은 솔더 레지스트를 포함하고, 상기 제2 절연 패턴은 에폭시 수지를 포함할 수 있다.
According to another example of the present invention, the first insulating pattern may include a solder resist, and the second insulating pattern may include an epoxy resin.

본 발명에 따른 반도체 패키지는 반도체 칩, 상기 반도체 칩이 실장되는 제1 영역 및 상기 제1 영역 외측의 제2 영역을 갖는 베이스 기판, 상기 베이스 기판과 상기 반도체 칩 사이에 개재된 언더필, 상기 베이스 기판을 덮으며, 상기 제2 영역 상에 형성된 트렌치를 구비하는 제1 절연 패턴, 그리고 상기 제2 영역의 상기 제1 절연 패턴으로부터 돌출된 형상을 갖는 제2 절연 패턴을 포함한다.A semiconductor package according to the present invention includes a base substrate having a semiconductor chip, a first region on which the semiconductor chip is mounted, and a second region outside the first region, an underfill interposed between the base substrate and the semiconductor chip, and the base substrate. And a first insulating pattern including a trench formed on the second region, and a second insulating pattern protruding from the first insulating pattern of the second region.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1 절연 패턴 및 상기 제2 절연 패턴은 상기 언더필을 기설정된 형상으로 한정시키는 구조체를 이룰 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first insulating pattern and the second insulating pattern may form a structure to limit the underfill to a predetermined shape.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 경사진 구조를 가질 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the trench may have an inclined structure in which a depth deepens as the distance from the first region increases.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 계단 구조를 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the trench may have a stepped structure in which the depth becomes deeper as it moves away from the first region.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트렌치는 상기 반도체 칩을 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the trench may have a ring shape surrounding the semiconductor chip.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2 절연 패턴은 상기 트렌치를 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the second insulating pattern may have a ring shape surrounding the trench.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2 절연 패턴은 상기 언더필의 측면을 둘러싸는 형상을 가질 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, the second insulating pattern may have a shape surrounding the side surface of the underfill.

본 발명에 따른 인쇄회로기판은 반도체 칩이 실장되는 제1 영역 및 상기 제1 영역 외측의 제2 영역을 갖는 베이스 기판, 상기 베이스 기판을 덮으며 상기 제2 영역 상에 형성된 트렌치를 구비하는 제1 절연 패턴, 그리고 상기 제2 영역의 상기 제1 절연 패턴으로부터 돌출된 형상을 갖는 제2 절연 패턴을 구비할 수 있다. 여기서, 상기 제1 절연 패턴의 트렌치와 상기 제2 절연 패턴은 언더필의 형성시, 상기 언더필의 형성 물질을 기설정된 형상으로 정의하는 구조체로 사용될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인쇄회로기판은 언더필의 형상을 한정하는 제1 및 제2 절연 패턴들을 구비함으로써, 언더필의 형성 신뢰성을 향상시킬 수 있는 구조를 가질 수 있다.A printed circuit board according to the present invention includes a base substrate having a first region in which a semiconductor chip is mounted and a second region outside the first region, and a first substrate having a trench formed on the second region and covering the base substrate. An insulating pattern and a second insulating pattern having a shape protruding from the first insulating pattern of the second region may be provided. Here, the trench of the first insulating pattern and the second insulating pattern may be used as a structure defining the material forming the underfill in a predetermined shape when the underfill is formed. Accordingly, the printed circuit board according to the present invention may have a structure capable of improving the formation reliability of the underfill by providing the first and second insulating patterns defining the shape of the underfill.

본 발명에 따른 반도체 패키지는 제1 영역과 제2 영역을 갖는 회로 기판, 상기 제2 영역 상에서 단차진 구조를 이루는 제1 절연 패턴과 상기 제2 절연 패턴을 갖는 솔더 레지스트 패턴, 그리고 상기 단차진 구조에 의해 상기 제1 영역에 한정되어 형성된 언더필을 구비할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 반도체 패키지는 상기 제1 영역에 언더필을 정밀하게 형성시킬 수 있어, 상기 언더필의 형성 신뢰성이 향상된 구조를 가질 수 있다.
A semiconductor package according to the present invention includes a circuit board having a first region and a second region, a first insulating pattern forming a stepped structure on the second region, a solder resist pattern having the second insulating pattern, and the stepped structure. The underfill can be provided limited to the first region by the. Accordingly, the semiconductor package according to the present invention may accurately form an underfill in the first region, and thus may have a structure in which the formation reliability of the underfill is improved.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 보여주는 순서도이다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 과정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 4는 도 1에 도시된 반도체 패키지의 일 변형예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 반도체 패키지의 다른 변형예를 보여주는 도면이다.1 illustrates a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
3A to 3E are diagrams for describing a manufacturing process of a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating a modified example of the semiconductor package shown in FIG. 1.
FIG. 5 is a diagram illustrating another modified example of the semiconductor package shown in FIG. 1.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. The embodiments may be provided to make the disclosure of the present invention complete, and to fully inform the scope of the invention to those skilled in the art. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprise' and / or 'comprising' refers to a component, step, operation and / or element that is mentioned in the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements. Or does not exclude additions.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 인쇄회로기판 및 이를 구비하는 반도체 패키지에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, a printed circuit board and a semiconductor package including the same according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 반도체 패키지(100)는 하부 충진재(underfill, 이하, '언더필'이라 함:140)를 개재하여 서로 접합된 전자 부품(130) 및 회로 기판(110)을 포함할 수 있다. 상기 회로 기판(110)은 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)일 수 있다.1 illustrates a semiconductor package according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the semiconductor package 100 may include an electronic component 130 and a circuit board 110 bonded to each other through an underfill (hereinafter, referred to as “underfill”) 140. The circuit board 110 may be a printed circuit board (PCB).

상기 회로 기판(110)은 상기 전자 부품(130)과 전기적인 신호를 전달받는 회로 배선을 갖는 기판일 수 있다. 일 예로서, 상기 회로 기판(110)은 복수의 세라믹 그린 시트들이 적층된 구조를 갖는 베이스 기판(112)을 포함할 수 있다. 상기 베이스 기판(112)은 내부 회로 배선, 상기 내부 회로 배선에 선택적으로 연결된 도전성 비아(conductive via), 그리고 상기 내부 회로 배선 및 상기 도전성 비아에 전기적으로 연결된 외부 회로 배선(114)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 회로 기판(110)은 상기 회로 기판(110)을 외부 전자 장치(미도시됨)에 전기적으로 접속시키기 위한 외부 접속 단자(116)를 더 포함할 수 있다.The circuit board 110 may be a board having a circuit wiring for receiving an electrical signal from the electronic component 130. As an example, the circuit board 110 may include a base substrate 112 having a structure in which a plurality of ceramic green sheets are stacked. The base substrate 112 may include an internal circuit wiring, a conductive via selectively connected to the internal circuit wiring, and an external circuit wiring 114 electrically connected to the internal circuit wiring and the conductive via. . In addition, the circuit board 110 may further include an external connection terminal 116 for electrically connecting the circuit board 110 to an external electronic device (not shown).

상기 회로 기판(110)은 상기 전자 부품(130)이 실장되는 제1 영역(a) 및 상기 제1 영역(a)의 외곽에 배치되며, 상기 전자 부품(130)이 실장되지 않는 제2 영역(b)을 가질 수 있다. 상기 제1 영역(a)은 상기 회로 기판(110)의 대체로 중앙 영역에 위치되며, 상기 제2 영역(b)은 상기 중앙 영역을 둘러싸는 가장자리 영역에 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 영역(a)은 대체로 상기 전자 부품(130)의 형상에 대체로 상응하는 형상을 가지고, 상기 제2 영역(b)은 상기 제1 영역(a)을 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다. 여기서, 상기 제1 영역(a)과 상기 제2 영역(b)은 상기 전자 부품(130)의 가장자리를 기준으로 임의로 구분된 영역들이며, 상기 제1 영역(a)과 상기 제2 영역(b)의 경계는 상기 전자 부품(130)의 가장자리에 한정되지 않을 수 있다. 예컨대, 상기 제1 영역(a)은 상기 전자 부품(130)에 직접적으로 대향되지 않는 일부 영역을 포함할 수도 있다.The circuit board 110 is disposed in the first region (a) on which the electronic component 130 is mounted and the outside of the first region (a), and in a second region in which the electronic component 130 is not mounted ( b). The first region a may be located in a generally central region of the circuit board 110, and the second region b may be located in an edge region surrounding the central region. Accordingly, the first region (a) has a shape generally corresponding to the shape of the electronic component 130, the second region (b) is a ring surrounding the first region (a) It may have a shape. Here, the first area (a) and the second area (b) are areas arbitrarily divided based on the edge of the electronic component 130, the first area (a) and the second area (b). The boundary of may not be limited to the edge of the electronic component 130. For example, the first region a may include a partial region that does not directly face the electronic component 130.

상기 전자 부품(130)은 반도체 칩(132) 및 접속 솔더(134)를 포함할 수 있다. 상기 반도체 칩(132)은 상기 회로 기판(110)의 제1 영역(a)에 대향되는 접합면(132a)을 가질 수 있다. 상기 접합면(132a)에는 복수의 접속 솔더들(134)이 구비될 수 있다. 여기서, 일반적인 반도체 칩은 사각 플레이트의 구조를 가지므로, 상기 제1 영역(a)은 대체로 사각형의 형상을 갖고, 상기 제2 영역(b)은 상기 제1 영역(a)을 둘러싸는 상기 사각의 링(ring) 형상을 가질 수 있다.The electronic component 130 may include a semiconductor chip 132 and a connection solder 134. The semiconductor chip 132 may have a bonding surface 132a opposite to the first region a of the circuit board 110. A plurality of connection solders 134 may be provided on the bonding surface 132a. Here, since a general semiconductor chip has a structure of a square plate, the first region (a) has a generally rectangular shape, and the second region (b) has a rectangular shape surrounding the first region (a). It may have a ring shape.

한편, 상기 회로 기판(110)은 상기 베이스 기판(112)을 덮는 솔더 레지스트 패턴(120)을 포함할 수 있다. 상기 솔더 레지스트 패턴(120)은 상기 베이스 기판(112)을 덮는 제1 절연 패턴(122) 및 상기 제1 절연 패턴(122)을 덮는 제2 절연 패턴(124)을 포함할 수 있다.The circuit board 110 may include a solder resist pattern 120 covering the base substrate 112. The solder resist pattern 120 may include a first insulating pattern 122 covering the base substrate 112 and a second insulating pattern 124 covering the first insulating pattern 122.

상기 제1 절연 패턴(122)은 상기 제1 영역(a)에 형성된 관통홀(122a) 및 상기 제2 영역(b)에 형성된 트렌치(122b)를 포함할 수 있다. 상기 관통홀(122a)은 상기 베이스 기판(112)의 외부 회로 배선(114)을 선택적으로 노출시킬 수 있다. 상기 트렌치(122b)는 상기 반도체 칩(130)을 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 상기 반도체 칩(130)이 사각 플레이트 형상인 경우, 상기 트렌치(122b)는 사각 링 형상을 가질 수 있다.The first insulating pattern 122 may include a through hole 122a formed in the first region a and a trench 122b formed in the second region b. The through hole 122a may selectively expose the external circuit wiring 114 of the base substrate 112. The trench 122b may have a ring shape surrounding the semiconductor chip 130. For example, when the semiconductor chip 130 has a rectangular plate shape, the trench 122b may have a rectangular ring shape.

상기 제2 절연 패턴(124)은 상기 제2 영역(b) 상에서, 상기 트렌치(122b)의 외곽에 배치될 수 있다. 상기 제2 절연 패턴(124)은 상기 제1 절연 패턴(122)으로부터 상부로 돌출된 형상을 가질 수 있다. 이에 더하여, 상기 제2 절연 패턴(124)은 상기 트렌치(122b)의 외측에서 상기 트렌치(122b)를 둘러싸는 링(ring) 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 절연 패턴(124)은 상기 언더필(140)의 측면을 둘러싸도록 구성될 수 있다.The second insulating pattern 124 may be disposed outside the trench 122b on the second region b. The second insulating pattern 124 may have a shape protruding upward from the first insulating pattern 122. In addition, the second insulating pattern 124 may have a ring shape surrounding the trench 122b on the outer side of the trench 122b. In addition, the second insulating pattern 124 may be configured to surround side surfaces of the underfill 140.

상기와 같은 구조의 솔더 레지스트 패턴(120)은 상기 베이스 기판(112) 상에서 적층된 상기 제1 절연 패턴(122)과 상기 제2 절연 패턴(124)을 갖는 다층 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 솔더 레지스트 패턴(120)은 상기 트렌치(122b)와 상기 제2 절연 패턴(124)이 서로 단차진 구조를 가질 수 있다. 이와 같은 단차진 구조는 상기 언더필(140)의 형성하는 과정에서, 상기 언더필(140)의 형성을 위한 물질이 제1 영역(a)으로부터 벗어나는 것을 방지하게 되는 구조체로 제공될 수 있다. 상기 솔더 레지스트 패턴(120)에 의해 상기 언더필(140)을 형성하는 구체적인 과정은 후술하겠다.The solder resist pattern 120 having the above structure may have a multilayer structure having the first insulating pattern 122 and the second insulating pattern 124 stacked on the base substrate 112. In addition, the solder resist pattern 120 may have a structure in which the trench 122b and the second insulating pattern 124 are stepped with each other. Such a stepped structure may be provided as a structure that prevents the material for forming the underfill 140 from escaping from the first region a in the process of forming the underfill 140. A detailed process of forming the underfill 140 by the solder resist pattern 120 will be described later.

한편, 본 실시예에서는 상기 제1 절연 패턴(122) 및 상기 제2 절연 패턴(124)이 솔더 레지스트(Solder Resist) 물질로 이루어진 경우를 예로 들어 설명하였으나, 상기 제1 및 제2 절연 패턴들(122, 124)의 물질은 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 상기 제1 절연 패턴(122)의 재질은 제2 절연 패턴(124)의 재질과 상이할 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 절연 패턴(122)은 솔더 레지스트로 형성되고, 상기 제2 절연 패턴(124)은 에폭시 수지(epoxy resin)로 형성될 수 있다.Meanwhile, in the present exemplary embodiment, the case where the first insulating pattern 122 and the second insulating pattern 124 are made of a solder resist material has been described as an example, but the first and second insulating patterns ( The materials of 122 and 124 can be variously modified. For example, the material of the first insulating pattern 122 may be different from the material of the second insulating pattern 124. As an example, the first insulating pattern 122 may be formed of a solder resist, and the second insulating pattern 124 may be formed of an epoxy resin.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지(100)는 제1 영역(a)과 제2 영역(b)을 가지며 외부 회로 배선(114)이 형성된 회로 기판(110), 트렌치(122b)를 갖는 제1 절연 패턴(122)와 제2 절연 패턴(124)으로 이루어져 단차 구조를 갖는 솔더 레지스트 패턴(120)을 구비할 수 있다. 여기서, 상기 트렌치(122b)와 상기 제2 절연 패턴(124)으로 이루어진 단차 구조는 상기 언더필(140)을 상기 제1 영역(a)에 한정하여 상기 제1 영역(a)에 정확하게 형성하기 위한 구조체로 사용될 수 있다. 이에 따라, 상기와 같은 반도체 패키지(100)는 상기 언더필(140)의 형성 신뢰성을 향상시킬 수 있는 구조를 가질 수 있다.
As described above, the semiconductor package 100 according to the embodiment of the present invention has a first region a and a second region b, and a circuit board 110 and a trench 122b in which an external circuit wiring 114 is formed. The first and second insulating patterns 122 and 124 having the step (b) may be provided with a solder resist pattern 120 having a stepped structure. Here, the stepped structure including the trench 122b and the second insulating pattern 124 may be a structure for accurately forming the underfill 140 in the first region a by defining the underfill 140 in the first region a. Can be used as Accordingly, the semiconductor package 100 as described above may have a structure capable of improving the formation reliability of the underfill 140.

계속해서, 앞서 살펴본 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 상세히 설명한다. 여기서, 상술한 반도체 패키지(100)에 대해 중복되는 설명은 생략하거나 간소화할 수 있다.Subsequently, a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention described above will be described in detail. Here, the overlapping description of the above-described semiconductor package 100 may be omitted or simplified.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 보여주는 순서도이고, 도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 과정을 설명하기 위한 도면들이다.2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3A to 3E are diagrams for describing a manufacturing process of a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3a를 참조하면, 베이스 기판(112)을 준비할 수 있다(S110). 예컨대, 상기 베이스 기판(112)을 준비하는 단계는 세라믹 기판 적층체를 제조하는 단계 및 상기 세라믹 기판 적층체에 도전성 비아 및 상기 도전성 비아(미도시됨)에 전기적으로 연결되는 외부 회로 배선(114)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 한편, 상기 베이스 기판(112)은 제1 영역(a) 및 제2 영역(b)을 포함할 수 있다.2 and 3A, the base substrate 112 may be prepared (S110). For example, the preparing of the base substrate 112 may include manufacturing a ceramic substrate stack and an external circuit wiring 114 electrically connected to a conductive via and the conductive via (not shown) to the ceramic substrate stack. It may include forming a. The base substrate 112 may include a first region a and a second region b.

도 2 및 도 3b를 참조하면, 베이스 기판(112) 상에 관통홀(122a) 및 트렌치(122b)를 갖는 제1 절연 패턴(122)을 형성할 수 있다(S120). 예컨대, 상기 제1 절연 패턴(122)을 형성하는 단계는 상기 제1 베이스 기판(112)을 덮는 제1 레지스트막을 형성하는 단계, 그리고 상기 제1 레지스트막에 상기 관통홀(122a) 및 상기 트렌치(122b)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 관통홀(122a)을 형성하는 단계는 제1 영역(a) 상의 상기 제1 레지스트막에 상기 베이스 기판(112)의 외부 회로 배선(114)을 노출시키는 포토 리소그래피 공정을 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 트렌치(122b)를 형성하는 단계는 상기 제2 영역(b) 상의 상기 제1 레지스트막에 대해 레이저 가공 공정 및 드릴링 가공 공정 중 어느 하나를 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 트렌치(122b)는 상기 제1 영역(a)을 둘러싸는 링(ring) 형상을 갖도록 형성될 수 있다.2 and 3B, a first insulating pattern 122 having a through hole 122a and a trench 122b may be formed on the base substrate 112 (S120). For example, the forming of the first insulating pattern 122 may include forming a first resist layer covering the first base substrate 112, and forming the through hole 122a and the trench in the first resist layer. 122b). The forming of the through hole 122a may include performing a photolithography process of exposing the external circuit wiring 114 of the base substrate 112 to the first resist layer on the first region a. Can be. The forming of the trench 122b may include performing one of a laser machining process and a drilling machining process on the first resist layer on the second region b. The trench 122b may be formed to have a ring shape surrounding the first region a.

도 2 및 도 3c를 참조하면, 제1 절연 패턴(122) 상에 제2 절연 패턴(124)을 형성할 수 있다(S130). 일 예로서, 상기 제2 절연 패턴(124)을 형성하는 단계는 상기 제1 절연 패턴(122)을 덮는 제2 레지스트막을 형성하는 단계, 그리고 제2 영역(b) 상의 상기 제2 레지스트막에 대해, 트렌치(122b)를 둘러싸는 링 형상의 영역을 제외한 나머지 영역의 상기 제2 레지스트막을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 레지스트막을 제거하는 단계는 상기 회로 기판(110)의 외부 회로 배선(114)을 노출시키는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 제2 영역(b)의 상기 제1 절연 패턴(122) 상에는 상기 제1 절연 패턴(122)으로부터 상방향으로 돌출되며, 상기 트렌치(122b)를 둘러싸는 링(ring) 형상을 갖는 제2 절연 패턴(124)이 형성될 수 있다. 상기와 같은 공정을 통해, 상기 베이스 기판(112) 및 상기 회로 기판(112) 상에 제1 및 제2 절연 패턴들(122, 124)이 차례로 적층된 구조를 갖는 솔더 레지스트 패턴(120)을 포함하는 회로 기판(110)이 제조될 수 있다.2 and 3C, a second insulating pattern 124 may be formed on the first insulating pattern 122 (S130). For example, the forming of the second insulating pattern 124 may include forming a second resist film covering the first insulating pattern 122, and for the second resist film on the second region b. The method may include removing the second resist layer in the remaining region except for the ring-shaped region surrounding the trench 122b. In addition, removing the second resist layer may include exposing the external circuit wiring 114 of the circuit board 110. Accordingly, the first protruding portion from the first insulating pattern 122 on the first insulating pattern 122 in the second region b has a ring shape surrounding the trench 122b. 2 insulating patterns 124 may be formed. Through the above process, the solder resist pattern 120 having a structure in which first and second insulating patterns 122 and 124 are sequentially stacked on the base substrate 112 and the circuit board 112 is included. The circuit board 110 can be manufactured.

한편, 상술한 실시예에서는 상기 제2 절연 패턴(124)을 레지스트막에 포토 리소그래피 공정을 수행하여 형성하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 상기 제2 절연 패턴(124)을 형성하는 공정은 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 다른 예로서, 상기 제2 절연 패턴(124)은 에폭시 수지로 형성될 수 있으며, 이 경우, 상기 제2 절연 패턴(124)은 상기 에폭시 수지를 잉크젯 프린팅 방법으로 상기 제1 절연 패턴(122)의 상에 도포하여 형성될 수 있다.Meanwhile, in the above-described embodiment, the second insulating pattern 124 is formed by performing a photolithography process on a resist film as an example, but the process of forming the second insulating pattern 124 is variously changed. Can be. For example, as another example, the second insulating pattern 124 may be formed of an epoxy resin. In this case, the second insulating pattern 124 may be formed of the first insulating pattern 122 by inkjet printing of the epoxy resin. It can be formed by applying on the).

도 2 및 도 3d를 참조하면, 회로 기판(110)에 전자 부품(130)을 실장할 수 있다(S140). 예컨대, 상기 전자 부품(130)을 실장하는 단계는 접속 솔더(134)가 형성된 접합면(132a)을 갖는 반도체 칩(132)을 준비하는 단계, 상기 접속 솔더(134)가 관통홀(122a)에 의해 노출된 외부 회로 배선(114) 상에 놓여지도록, 상기 반도체 칩(132)을 위치시키는 단계, 그리고 상기 접속 솔더(134)와 상기 외부 회로 배선(114)을 접합하는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 회로 기판(110)과 상기 반도체 칩(132)이 서로 접합될 수 있다.2 and 3D, the electronic component 130 may be mounted on the circuit board 110 (S140). For example, the mounting of the electronic component 130 may include preparing a semiconductor chip 132 having a joint surface 132a having a connection solder 134 formed therein, and the connection solder 134 may be formed in the through hole 122a. Positioning the semiconductor chip 132 to be placed on the external circuit wiring 114 exposed by, and bonding the connection solder 134 and the external circuit wiring 114. Accordingly, the circuit board 110 and the semiconductor chip 132 may be bonded to each other.

도 2 및 도 3e를 참조하면, 언더필 형성 물질을 솔더 레지스트 패턴(120)에 의해 제1 영역(a)에 한정시켜, 언더필(140)을 형성할 수 있다(S150). 예컨대, 상기 언더필(132)을 형성하는 단계는 회로 기판(110)과 전자 부품(130) 사이로 상기 언더필 형성 물질을 주입하는 단계를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 언더필 형성 물질은 제1 절연 패턴(122)의 트렌치(122b) 및 제2 절연 패턴(124)에 의해, 상기 제1 영역(a)으로부터 상기 제2 영역(b)으로 확장되는 것이 방지될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 제1 영역(a)으로 주입된 언더필 형성 물질은 먼저 상기 트렌치(122b)에 의해 일차적으로 상기 제2 영역(b)으로 확장되는 것이 방지될 수 있다. 이때, 상기 언더필 형성 물질 중 상기 트렌치(122b)에 의해 그 확장이 방지되지 않은 부분은 상기 제2 절연 패턴(124)에 의해, 2차적으로 상기 제2 영역(b)으로 확장되는 것이 방지될 수 있다. 그 후, 상기 언더필 형성 물질을 경화시켜, 상기 제1 영역(a) 상에 상기 언더필(140)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 솔더 레지스트 패턴(120)에 의해 상기 언더필(140)이 상기 회로 기판(110)과 상기 전자 부품(130) 사이의 상기 제1 영역(a) 내에서, 그 폭이 정확하게 한정되어 형성된 반도체 패키지(100)가 제조될 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3E, the underfill forming material may be limited to the first region a by the solder resist pattern 120 to form the underfill 140 (S150). For example, the forming of the underfill 132 may include injecting the underfill forming material between the circuit board 110 and the electronic component 130. Here, the underfill forming material is prevented from extending from the first region (a) to the second region (b) by the trench 122b and the second insulating pattern 124 of the first insulating pattern 122. Can be. More specifically, the underfill forming material injected into the first region a may be prevented from firstly expanding into the second region b by the trench 122b. In this case, a portion of the underfill forming material whose expansion is not prevented by the trench 122b may be prevented by the second insulating pattern 124 from being secondarily expanded into the second region b. have. Thereafter, the underfill forming material may be cured to form the underfill 140 on the first region a. Accordingly, the underfill 140 is formed by the solder resist pattern 120 in the first region a between the circuit board 110 and the electronic component 130 so that the width thereof is accurately defined. The semiconductor package 100 may be manufactured.

여기서, 상술한 실시예에서는 상기 회로 기판(110)과 상기 전자 부품(130)을 서로 접합시킨 이후에, 상기 언더필 형성 물질을 상기 회로 기판(110)과 상기 전자 부품(130) 사이로 주입하여, 상기 언더필(140)을 형성하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 상기 언더필(140)은 상기 회로 기판(110)에 상기 전자 부품(130)을 접합시키기 이전에, 상기 회로 기판(110)에 상기 언더필 형성 물질을 도포하고, 상기 회로 기판(110)에 상기 전자 부품(130)을 위치시킨 이후에, 상기 언더필 형성 물질을 경화시켜, 상기 언더필(140)을 형성할 수도 있다.Here, in the above-described embodiment, after the circuit board 110 and the electronic component 130 are bonded to each other, the underfill forming material is injected between the circuit board 110 and the electronic component 130, Although the case of forming the underfill 140 is described as an example, the underfill 140 is formed of the underfill forming material on the circuit board 110 before bonding the electronic component 130 to the circuit board 110. After the coating is performed and the electronic component 130 is positioned on the circuit board 110, the underfill forming material may be cured to form the underfill 140.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법은 제1 영역(a) 및 제2 영역(b)을 갖는 베이스 기판(112)을 준비하는 단계, 상기 회로 기판(112) 상에 상기 트렌치(122b)가 형성된 제1 절연 패턴(122)과 상기 제2 절연 패턴(124)의 적층 구조를 갖는 솔더 레지스트 패턴(120)을 형성하는 단계, 그리고 언더필 형성 물질을 상기 솔더 레지스트 패턴(120)에 의해 상기 제1 영역(a)에 한정시키면서, 상기 회로 기판(110)과 상기 전자 부품(130) 사이에 언더필(140)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 반도체 패키지의 제조 방법은 상기 언더필(140)을 기설정된 영역에 한정하여 정밀하게 형성시킬 수 있어, 반도체 패키지(100)의 언더필(140)의 형성 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
As described above, in the method of manufacturing the semiconductor package according to the embodiment of the present invention, preparing a base substrate 112 having a first region (a) and a second region (b), on the circuit board 112 Forming a solder resist pattern 120 having a stacked structure of the first insulating pattern 122 and the second insulating pattern 124 having the trench 122b formed therein, and an underfill forming material as the solder resist pattern ( The method may include forming an underfill 140 between the circuit board 110 and the electronic component 130 while confining the first region a by the reference numeral 120. Accordingly, in the method of manufacturing a semiconductor package according to the present invention, the underfill 140 may be precisely formed by being limited to a predetermined region, thereby improving the formation reliability of the underfill 140 of the semiconductor package 100. .

이하, 앞서 살펴본 반도체 패키지(100)의 변형예들에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 앞서 살펴본 반도체 패키지(100)에 대해 중복되는 내용은 생략하거나 간소화할 수 있다.Hereinafter, modified examples of the semiconductor package 100 described above will be described in detail. In this case, overlapping contents of the semiconductor package 100 described above may be omitted or simplified.

도 4는 도 1에 도시된 반도체 패키지의 일 변형예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 일 변형예에 따른 반도체 패키지(100a)는 서로 접합된 회로 기판(110a)과 전자 부품(130), 그리고 상기 회로 기판(110a)과 상기 전자 부품(130) 사이에 형성된 언더필(140a)을 포함하되, 상기 회로 기판(110a)은 외부 회로 배선(114)을 갖는 베이스 기판(112), 상기 외부 회로 배선(114)이 노출되도록 상기 베이스 기판(112)을 덮는 제1 절연 패턴(126), 그리고 상기 제1 절연 패턴(126)을 덮는 제2 절연 패턴(124)을 포함할 수 있다.4 is a diagram illustrating a modified example of the semiconductor package shown in FIG. 1. Referring to FIG. 4, a semiconductor package 100a according to a modified example may include an underfill formed between a circuit board 110a and an electronic component 130, and between the circuit board 110a and the electronic component 130. A first insulating pattern including a base substrate 112 having an external circuit wiring 114, and covering the base substrate 112 so that the external circuit wiring 114 is exposed. 126 and a second insulating pattern 124 covering the first insulating pattern 126.

상기 제1 절연 패턴(126)은 상기 전자 부품(130)을 둘러싸도록 형성되며, 상기 제1 영역(a)으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지도록 경사진 구조의 트렌치(126a)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 트렌치(126a)는 앞서 도 1을 참조하여 설명한 트렌치(122b)에 비해, 제2 영역(b)으로 갈수록 점진적으로 깊이가 깊어지도록 경사진 구조를 가질 수 있다.The first insulating pattern 126 may be formed to surround the electronic component 130, and may include a trench 126a having an inclined structure such that the depth increases as the distance from the first region a increases. That is, the trench 126a may have an inclined structure so as to gradually increase in depth toward the second region b, compared to the trench 122b described above with reference to FIG. 1.

한편, 상기 트렌치(126a)를 갖는 제1 절연 패턴(126)은 소정의 포토 리소그래피 공정을 수행하여 형성될 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 절연 패턴(126)을 형성하는 단계는 상기 베이스 기판(112)을 덮는 제1 레지스트막을 형성하는 단계 및 상기 제1 레지스트막의 상기 제2 영역(b)에 대해, 상기 제1 영역(b)으로부터 멀어질수록 식각세기가 높은 공정 조건을 갖는 포토 리소그래피 공정을 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제1 영역(b)으로부터 멀어질수록 식각세기를 증가시키기 위해, 상기 포토 리소그래피 공정은 상기 트렌치(126a)의 형성 영역에 조사되는 광의 세기가 상기 제1 영역(a)으로부터 멀어질수록 커지는 조건의 노광 공정을 포함할 수 있다. 또는, 상기 포토 리소그래피 공정은 상기 트렌치(126a)의 형성 영역에 대해, 상기 제1 영역(a)으로부터 멀어질수록 커지는 식각 세기가 큰 조건의 습식 식각 공정을 포함할 수 있다.Meanwhile, the first insulating pattern 126 having the trench 126a may be formed by performing a predetermined photolithography process. For example, the forming of the first insulating pattern 126 may include forming a first resist layer covering the base substrate 112 and for the second region b of the first resist layer. The method may include performing a photolithography process having a process condition with a higher etching intensity as it moves away from the first region (b). In order to increase the etching intensity as the distance from the first region (b) increases, the photolithography process is a condition in which the intensity of light irradiated to the formation region of the trench 126a increases as the distance from the first region (a) increases. The exposure process may be included. Alternatively, the photolithography process may include a wet etching process in which the etching intensity of the trench 126a is increased as the distance from the first region a increases.

상기와 같은 구조의 트렌치(126a)는 도 1을 참조하여 설명한 트렌치(122b)에 비해, 상기 언더필(140a)을 형성하는 과정에서, 언더필 형성 물질이 용이하게 유입되는 구조를 가질 수 있다. 즉, 상기 트렌치(126a)는 경사진 구조를 가지므로, 상기 제1 영역(a)으로 주입되어 상기 제2 영역(b)을 향해 흐르는 언더필 형성 물질은 용이하게 상기 트렌치(126a)로 유입될 수 있다. 이에 따라, 상기 반도체 패키지(100a)는 상기 언더필 형성 물질이 효과적으로 상기 제1 영역(a)에 한정되어 형성되도록 하여, 상기 언더필(140a) 내 보이드(void)의 발생을 방지함과 더불어, 상기 언더필(140a)의 형성을 정밀하는 구조를 가질 수 있다.
The trench 126a having the above structure may have a structure in which an underfill forming material is easily introduced in the process of forming the underfill 140a as compared with the trench 122b described with reference to FIG. 1. That is, since the trench 126a has an inclined structure, the underfill forming material injected into the first region a and flowing toward the second region b may be easily introduced into the trench 126a. have. Accordingly, the semiconductor package 100a allows the underfill forming material to be effectively limited to the first region a, thereby preventing the occurrence of voids in the underfill 140a and the underfill. It may have a structure for precisely forming the 140a.

도 5는 도 1에 도시된 반도체 패키지의 다른 변형예를 보여주는 도면이다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 변형예에 따른 반도체 패키지(100b)는 도 5를 참조하면, 다른 변형예에 따른 반도체 패키지(100b)는 서로 접합된 회로 기판(110b)과 전자 부품(130), 그리고 상기 회로 기판(110b)과 상기 전자 부품(130) 사이에 형성된 언더필(140b)을 포함하되, 상기 회로 기판(110b)은 외부 회로 배선(114)을 갖는 베이스 기판(112), 상기 외부 회로 배선(114)이 노출되도록 상기 베이스 기판(112)을 덮는 제1 절연 패턴(128), 그리고 상기 제1 절연 패턴(128)을 덮는 제2 절연 패턴(124)을 포함할 수 있다.FIG. 5 is a diagram illustrating another modified example of the semiconductor package shown in FIG. 1. Referring to FIG. 5, a semiconductor package 100b according to another modified embodiment of the present invention may be described with reference to FIG. 5. And an underfill 140b formed between the circuit board 110b and the electronic component 130, wherein the circuit board 110b includes a base substrate 112 having an external circuit wiring 114, the external The circuit board 114 may include a first insulating pattern 128 covering the base substrate 112 and a second insulating pattern 124 covering the first insulating pattern 128.

상기 제1 절연 패턴(128)은 상기 전자 부품(130)을 둘러싸도록 형성되며, 상기 제1 영역(a)으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 계단 형상의 트렌치(128a)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 트렌치(128a)는 앞서 도 1을 참조하여 설명한 트렌치(122b)에 비해, 제2 영역(b)으로 갈수록 점진적으로 깊이가 깊어지는 계단 구조를 가질 수 있다.The first insulating pattern 128 may be formed to surround the electronic component 130, and may include a stepped trench 128a that is deeper as it moves away from the first region a. That is, the trench 128a may have a stepped structure that gradually increases in depth toward the second region b as compared with the trench 122b described above with reference to FIG. 1.

한편, 상기 트렌치(128a)를 갖는 제1 절연 패턴(128)은 소정의 레이저 및 드릴링 가공 공정을 수행하여 형성될 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 절연 패턴(128)을 형성하는 단계는 상기 베이스 기판(112)을 덮는 제1 레지스트막을 형성하는 단계, 그리고 상기 제1 레지스트막의 상기 트렌치(128a)의 형성 영역에 대해, 상기 제1 영역(a)으로부터 멀어질수록 식각률이 큰 레이저 또는 드릴링 가공 공정을 차례로 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 이를 위해, 상기 레이저 또는 드릴링 가공 공정은 상기 제1 레지스트막에 대해 상이한 식각 세기를 갖는 공정 조건의 레이저 또는 드릴링 가공 공정들을 적어도 두 차례 이상 수행할 수 있다. 또는, 다른 예로서, 상기 트렌치(128a)는 상기 제1 레지스트막에 대해 상이한 식각 세기를 갖는 포토 리소그래피 공정들을 차례로 수행하여, 형성될 수도 있다.The first insulating pattern 128 having the trench 128a may be formed by performing a predetermined laser and drilling process. For example, the forming of the first insulating pattern 128 may include forming a first resist layer covering the base substrate 112, and forming a region of the trench 128a of the first resist layer. The method may include sequentially performing a laser or drilling process in which an etching rate is larger as the distance from the first region (a) increases. To this end, the laser or drilling machining process may perform at least two laser or drilling machining processes having different etching intensities with respect to the first resist film. Alternatively, as another example, the trench 128a may be formed by sequentially performing photolithography processes having different etching intensities with respect to the first resist film.

상기와 같은 구조의 트렌치(128a)는 도 1을 참조하여 설명한 트렌치(122b)에 비해, 상기 언더필(140b)을 형성하는 과정에서, 언더필 형성 물질이 용이하게 유입되는 구조를 가질 수 있다. 즉, 상기 트렌치(128a)는 계단 구조를 가지므로, 상기 제1 영역(a)으로 주입되어 상기 제2 영역(b)을 향해 흐르는 언더필 형성 물질은 용이하게 상기 트렌치(128a)로 유입될 수 있다. 이에 따라, 상기 반도체 패키지(100b)는 상기 언더필 형성 물질이 효과적으로 상기 제1 영역(a)에 한정되어 형성되도록 하여, 상기 언더필(140b) 내 보이드(void)의 발생을 방지함과 더불어, 상기 언더필(140b)의 형성을 정밀하는 구조를 가질 수 있다.
Compared to the trench 122b described with reference to FIG. 1, the trench 128a having the above structure may have a structure in which an underfill forming material easily flows in the process of forming the underfill 140b. That is, since the trench 128a has a stepped structure, the underfill forming material injected into the first region a and flowing toward the second region b may be easily introduced into the trench 128a. . Accordingly, the semiconductor package 100b allows the underfill forming material to be effectively formed in the first region a, thereby preventing the occurrence of voids in the underfill 140b and the underfill. It may have a structure for precisely forming the 140b.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
The foregoing detailed description illustrates the present invention. In addition, the foregoing description merely shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, it is possible to make changes or modifications within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, the disclosure and the equivalents of the disclosure and / or the scope of the art or knowledge of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the best state in carrying out the present invention, the use of other inventions such as the present invention in other state known in the art, and the specific fields of application and uses of the present invention. Various changes are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

100 : 반도체 패키지
110 : 회로 기판
112 : 베이스 기판
114 : 외부 회로 배선
120 : 솔더 레지스트 패턴
122 : 제1 절연 패턴
122a : 관통홀
122b : 트렌치
124 : 제2 절연 패턴
130 : 전자 부품
132 : 반도체 칩
132a : 접합면
134 : 접속 솔더
140 : 언더필100: semiconductor package
110: circuit board
112: base substrate
114: external circuit wiring
120: solder resist pattern
122: first insulating pattern
122a: through hole
122b: trench
124: second insulation pattern
130 electronic components
132: semiconductor chip
132a: joint surface
134: soldering connection
140: underfill

Claims (14)

반도체 칩이 실장되는 제1 영역 및 상기 제1 영역 외측의 제2 영역을 갖는 베이스 기판;
상기 베이스 기판을 덮으며, 상기 제2 영역 상에 형성된 트렌치를 구비하는 제1 절연 패턴; 및
상기 제2 영역의 상기 제1 절연 패턴으로부터 돌출된 형상을 갖는 제2 절연 패턴을 포함하는 인쇄회로기판.A base substrate having a first region on which a semiconductor chip is mounted and a second region outside the first region;
A first insulating pattern covering the base substrate and having a trench formed in the second region; And
And a second insulating pattern having a shape protruding from the first insulating pattern of the second region. 제 1 항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 경사진 구조를 갖는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The trench has an inclined structure in which a depth deepens as the distance from the first region increases. 제 1 항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 계단 구조를 갖는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The trench has a stepped structure in which the depth becomes deeper away from the first region. 제 1 항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 반도체 칩을 둘러싸는 링(ring) 형상을 갖는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The trench has a ring shape surrounding the semiconductor chip. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 절연 패턴은 상기 트렌치를 둘러싸는 링(ring) 형상을 갖는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The second insulating pattern has a ring shape surrounding the trench. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 절연 패턴 및 상기 제2 절연 패턴은 솔더 레지스트 패턴을 이루는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The first insulating pattern and the second insulating pattern is a printed circuit board forming a solder resist pattern. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 절연 패턴은 솔더 레지스트를 포함하고,
상기 제2 절연 패턴은 에폭시 수지를 포함하는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The first insulating pattern includes a solder resist,
The second insulating pattern is a printed circuit board comprising an epoxy resin. 반도체 칩;
상기 반도체 칩이 실장되는 제1 영역 및 상기 제1 영역 외측의 제2 영역을 갖는 베이스 기판;
상기 베이스 기판과 상기 반도체 칩 사이에 개재된 언더필;
상기 베이스 기판을 덮으며, 상기 제2 영역 상에 형성된 트렌치를 구비하는 제1 절연 패턴; 및
상기 제2 영역의 상기 제1 절연 패턴으로부터 돌출된 형상을 갖는 제2 절연 패턴을 포함하는 반도체 패키지.Semiconductor chips;
A base substrate having a first region on which the semiconductor chip is mounted and a second region outside the first region;
An underfill interposed between the base substrate and the semiconductor chip;
A first insulating pattern covering the base substrate and having a trench formed in the second region; And
And a second insulating pattern having a shape protruding from the first insulating pattern in the second region. 제 8 항에 있어서,
상기 제1 절연 패턴 및 상기 제2 절연 패턴은 상기 언더필을 기설정된 형상으로 한정시키는 구조체를 이루는 반도체 패키지.The method of claim 8,
And the first insulating pattern and the second insulating pattern form a structure to define the underfill to a predetermined shape. 제 8 항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 경사진 구조를 갖는 반도체 패키지.The method of claim 8,
The trench has a semiconductor package having an inclined structure that is deeper away from the first region. 제 8 항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 제1 영역으로부터 멀어질수록 깊이가 깊어지는 계단 구조를 갖는 반도체 패키지.The method of claim 8,
The trench has a stepped structure that is deeper as the distance away from the first region. 제 8 항에 있어서,
상기 트렌치는 상기 반도체 칩을 둘러싸는 링(ring) 형상을 갖는 반도체 패키지.The method of claim 8,
The trench has a ring shape surrounding the semiconductor chip. 제 8 항에 있어서,
상기 제2 절연 패턴은 상기 트렌치를 둘러싸는 링(ring) 형상을 갖는 반도체 패키지.The method of claim 8,
The second insulating pattern has a ring shape surrounding the trench. 제 8 항에 있어서,
상기 제2 절연 패턴은 상기 언더필의 측면을 둘러싸는 형상을 갖는 반도체 패키지.The method of claim 8,
The second insulating pattern has a shape surrounding the side surface of the underfill.
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