KR101066397B1 - 솔라웨이퍼 카세트 - Google Patents
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- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 47
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 6
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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Abstract
개시된 솔라웨이퍼 카세트는, 일정간격을 두고 상,하로 마주하게 배치되는 상,하부 앤드플레이트(200,300)와; 상기 상,하부 앤드플레이트(200,300) 사이를 연결하게 배치되되, 상기 두 앤드플레이트(200,300) 사이에 수납되는 사각형 솔라웨이퍼(w)의 제1 변(w1)을 지지하는 한 쌍의 제1 지지바(410), 상기 제1 변(w1)과 마주하는 제2 변(w2)을 지지하는 한 쌍의 제2 지지바(420), 상기 제1 변(w1)과 제2 변(w2) 사이에 위치하는 두 개의 변(w3,w4) 중 어느 하나인 제3 변(w3)을 지지하는 한 쌍의 제3 지지바(430)로 이루어진 지지바(400)와; 상기 두 앤드플레이트(200,300)의 일측 모서리에 회전 가능하게 설치되어 상기 솔라웨이퍼(w)의 제3 변(w3)과 마주하는 제4 변(w4)을 선택적으로 가로막는 로크부재(500)로 이루어진 솔라웨이퍼 카세트로서,
상기 상부 앤드플레이트(200)의 상기 제4 변(w4)과 대응하는 일변 모서리에, 상부 힌지공(202)이 형성되되, 상기 상부 힌지공(202)의 내부에는 걸림턱(202a)이 형성되며, 상기 상부 힌지공(202)으로부터 소정거리 이격된 일변상에 상부 로킹홈(203)이 형성되고, 상기 상부 힌지공(202)과 상부 로킹홈(203) 사이에 거치바(b)가 선택적으로 삽입되는 상부 거치홈(201)이 형성되며,
상기 하부 앤드플레이트(300)의 상기 상부 힌지공(202)과 대응하는 위치에 하부 힌지공(302)이 형성되고, 상기 상부 로킹홈(203)과 대응하는 위치에 하부 로킹홈(303)이 형성되며, 상기 상부 거치홈(201)과 대응하는 위치에 거치바(b)가 선택적으로 삽입되는 하부 거치홈(301)이 형성됨을 포함하고;
상기 로크부재(500)는,
상기 상부 힌지공(202) 내에 회전 가능하게 끼움 결합되며, 상단에 상기 걸림턱(202a)에 걸림되는 탄성후크부(531)가 마련된 상부 힌지축(530);
상기 상부 힌지축(530)의 외면에 일체로 형성되는 상부 브릿지(520);
상기 하부 힌지공(302) 내에 회전 가능하게 끼움 결합되는 하부 힌지축(550);
상기 하부 힌지축(550)의 외면에 일체로 형성되는 하부 브릿지(540);
상기 상부 브릿지(520)에 상부가 일체로 연결되고, 상기 하부 브릿지(540)에 하부가 일체로 연결되며, 최상단 및 최하단은 상기 상부 로킹홈(203) 및 하부 로킹홈(303)에 삽입됨에 따라 상기 솔라웨이퍼(w)의 제4 변(w4)을 가로막는 역할을 하며, 외주면 중 상기 솔라웨이퍼(w)를 향하는 면에 각 솔라웨이퍼(w) 사이를 이격되게 지지하기 위한 다수의 지지돌기(511)가 상기 상,하부 브릿지(520,540)에 대해 90°의 위상차를 갖도록 형성된 로크바(510)로 구성됨을 더 포함하며;
상기 상,하부 브릿지(520,540) 상에는, 상기 상,하부 브릿지(520,540)의 길이가 탄력성을 갖도록 반원형으로 내향 굴곡된 상부 탄성부(521) 및 하부 탄성부(541)가 각각 형성된 것을 더 포함하며;
상기 상부 브릿지(520) 및 하부 브릿지(540)의 각 상단에 상부 보강리브(522) 및 하부 보강리브(542)가 각각 형성되되, 상기 상,하부 보강리브(522,542)의 일부분은 상부 브릿지(520) 및 하부 브릿지(540)로부터 외향으로 일정거리만큼 후퇴된 부위에 배치되어, 상부 보강리브(522) 및 하부 보강리브(542)의 각 안쪽에 여유공간(s)이 확보되게 하여,
상기 로크바(510)가 상,하부 로킹홈(203,303)에 삽입되었을 때, 상기 상,하부 거치홈(201,301)과 상,하부 보강리브(522,542)의 각 여유공간(s)이 연통되도록 한 것을 더 포함하는 것이다.
Description
상기 상부 앤드플레이트(200)의 상기 제4 변(w4)과 대응하는 일변 모서리에, 상부 힌지공(202)이 형성되되, 상기 상부 힌지공(202)의 내부에는 걸림턱(202a)이 형성되며, 상기 상부 힌지공(202)으로부터 소정거리 이격된 일변상에 상부 로킹홈(203)이 형성되고, 상기 상부 힌지공(202)과 상부 로킹홈(203) 사이에 거치바(b)가 선택적으로 삽입되는 상부 거치홈(201)이 형성되며,
상기 하부 앤드플레이트(300)의 상기 상부 힌지공(202)과 대응하는 위치에 하부 힌지공(302)이 형성되고, 상기 상부 로킹홈(203)과 대응하는 위치에 하부 로킹홈(303)이 형성되며, 상기 상부 거치홈(201)과 대응하는 위치에 거치바(b)가 선택적으로 삽입되는 하부 거치홈(301)이 형성됨을 포함하고;
상기 로크부재(500)는,
상기 상부 힌지공(202) 내에 회전 가능하게 끼움 결합되며, 상단에 상기 걸림턱(202a)에 걸림되는 탄성후크부(531)가 마련된 상부 힌지축(530);
상기 상부 힌지축(530)의 외면에 일체로 형성되는 상부 브릿지(520);
상기 하부 힌지공(302) 내에 회전 가능하게 끼움 결합되는 하부 힌지축(550);
상기 하부 힌지축(550)의 외면에 일체로 형성되는 하부 브릿지(540);
상기 상부 브릿지(520)에 상부가 일체로 연결되고, 상기 하부 브릿지(540)에 하부가 일체로 연결되며, 최상단 및 최하단은 상기 상부 로킹홈(203) 및 하부 로킹홈(303)에 삽입됨에 따라 상기 솔라웨이퍼(w)의 제4 변(w4)을 가로막는 역할을 하며, 외주면 중 상기 솔라웨이퍼(w)를 향하는 면에 각 솔라웨이퍼(w) 사이를 이격되게 지지하기 위한 다수의 지지돌기(511)가 상기 상,하부 브릿지(520,540)에 대해 90°의 위상차를 갖도록 형성된 로크바(510)로 구성됨을 더 포함하며;
상기 상,하부 브릿지(520,540) 상에는, 상기 상,하부 브릿지(520,540)의 길이가 탄력성을 갖도록 반원형으로 내향 굴곡된 상부 탄성부(521) 및 하부 탄성부(541)가 각각 형성된 것을 더 포함하며;
상기 상부 브릿지(520) 및 하부 브릿지(540)의 각 상단에 상부 보강리브(522) 및 하부 보강리브(542)가 각각 형성되되, 상기 상,하부 보강리브(522,542)의 일부분은 상부 브릿지(520) 및 하부 브릿지(540)로부터 외향으로 일정거리만큼 후퇴된 부위에 배치되어, 상부 보강리브(522) 및 하부 보강리브(542)의 각 안쪽에 여유공간(s)이 확보되게 하여,
상기 로크바(510)가 상,하부 로킹홈(203,303)에 삽입되었을 때, 상기 상,하부 거치홈(201,301)과 상,하부 보강리브(522,542)의 각 여유공간(s)이 연통되도록 한 것을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 2는 종래 로크부재의 문제점을 설명하기 위한 앤드플레이트와 로크부재의 결합 관계도이다.
도 3은 본 발명에 따른 솔라웨이퍼 카세트의 일부 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 솔라웨이퍼 카세트의 결합 사시도로서, 로크부재의 로크전 상태도이다.
도 5는 도 4의 A부위의 확대도로서, 로크부재의 로킹후 상태도이다.
도 6은 도 4의 B-B선 단면도이다.
도 7은 도 5의 C-C선 단면도이다.
또한, 상기 상부 앤드플레이트(200)는, 상기 상부 힌지공(202)으로부터 소정거리로 이격된 일변상에 상부 로킹홈(203)이 형성된다.
또한, 상기 상부 앤드플레이트(200)는, 상기 상부 힌지공(202)과 상부 로킹홈(203) 사이에 도 7의 거치바(b)가 삽입될 수 있도록 상부 거치홈(201)이 형성된다.
상부 힌지축(530)은, 상기 상부 힌지공(202) 내에 회전 가능하게 끼움 결합된다.
이때, 상기 상부 힌지축(530)의 상단에는 상기 상부 힌지공(202)의 걸림턱(202a)에 걸림되는 탄성후크부(531)가 마련된다. 따라서, 상기 상부 힌지공(202)에 힌지축(530)을 끼워 넣었을 때, 탄성후크부(531)의 하단이 걸림턱(202a)에 걸림으로써 로크부재(500)가 하향으로 처지는 것을 예방할 수 있으며, 이로 인해 로크부재(500)가 상부 앤드플레이트(200)로부터 탈거되는 문제를 해결할 수 있다.
상기한 탄성 후크부(531)는 그 상부에 탄성홈(531a)의 간격범위 내에서 오므림과 벌어짐이 가능하다.
하부 힌지축(550)은, 상기 하부 힌지공(302) 내에 회전 가능하게 결합된다. 이 하부 힌지축(550)은 상부 힌지축(530)과 위치적 차이만 다를 뿐 그 구성이나 용도가 동일하다. 단지, 상기 상부 힌지축(530)에는 로크부재(500)의 처짐방지를 위해 탄성후크부(531)가 반드시 형성되어야 하나, 하부 힌지축(550)은 로크부재(500)의 처짐 방지와는 무관하므로 반드시 탄성후크부를 형성할 필요는 없다.
상기 하부 보강리브(542) 중, 하부 힌지축(550)에 가까운 부위에는 도 3, 4, 7에서 볼 수 있듯이, 하부 브릿지(540)로부터 외향으로 일정거리만큼 후퇴된 부위에 배치되어, 하부 보강리브(542)의 안쪽에 여유공간(s)이 확보되게 하여, 상기 로크바(510)가 하부 로킹홈(303)에 삽입되었을 때 상기 하부 거치홈(301)과 하부 보강리브(542)의 여유공간(s)이 상호 연통되도록 하였다.
이에 따라, 하부 거치홈(301)에 거치바(b)를 삽입하였을 때 여유공간(s) 만큼더 깊숙이 삽입할 수 있어서 보다 안정적인 거치가 가능하다.
로크바(510)는, 상기 상부 브릿지(520)에 상부가 일체로 연결되고, 상기 하부 브릿지(540)에 하부가 일체로 연결된다.
또한, 로크바(510)의 최상단 및 최하단은 상기 상부 로킹홈(203) 및 하부 로킹홈(303)에 각각 삽입됨에 따라 상기 솔라웨이퍼(w)의 제4 변(w4)을 가로막는 역할을 한다.
또한, 로크바(510)는 그 외주면 중 상기 솔라웨이퍼(w)를 향하는 면에 각 솔라웨이퍼(w)의 상,하 사이를 이격되게 지지하기 위한 다수의 지지돌기(511)가 형성된다. 이때, 상기 지지돌기(511)는 상기 상,하부 브릿지(520,540)에 대해서 90°의 위상차를 갖는다.
또한, 상기 로크바(510)의 상단 및 하단에는 여타 부위보다 작은 직경의 상,하부 로크핀(512,513)이 구성될 수 있다.
201 : 상부 거치홈 202 : 상부 힌지공
202a : 걸림턱 300 : 하부 앤드플레이트
301 : 하부 거치홈 302 : 하부 힌지공
400 : 지지바 500 : 로크부재
510 : 로크바 511 : 지지돌기
512 : 상부 로크핀 513 : 하부 로크핀
520 : 상부 브릿지 521 : 상부 탄성부
522 : 상부 보강리브 530 : 상부 힌지축
531 : 탄성후크부 531a : 탄성홈
540 : 하부 브릿지 541 : 하부 탄성부
542 : 하부 보강리브 550 : 하부 힌지축
551 : 탄성후크부
Claims (4)
- 일정간격을 두고 상,하로 마주하게 배치되는 상,하부 앤드플레이트(200,300)와; 상기 상,하부 앤드플레이트(200,300) 사이를 연결하게 배치되되, 상기 두 앤드플레이트(200,300) 사이에 수납되는 사각형 솔라웨이퍼(w)의 제1 변(w1)을 지지하는 한 쌍의 제1 지지바(410), 상기 제1 변(w1)과 마주하는 제2 변(w2)을 지지하는 한 쌍의 제2 지지바(420), 상기 제1 변(w1)과 제2 변(w2) 사이에 위치하는 두 개의 변(w3,w4) 중 어느 하나인 제3 변(w3)을 지지하는 한 쌍의 제3 지지바(430)로 이루어진 지지바(400)와; 상기 두 앤드플레이트(200,300)의 일측 모서리에 회전 가능하게 설치되어 상기 솔라웨이퍼(w)의 제3 변(w3)과 마주하는 제4 변(w4)을 선택적으로 가로막는 로크부재(500)로 이루어진 솔라웨이퍼 카세트로서,
상기 상부 앤드플레이트(200)의 상기 제4 변(w4)과 대응하는 일변 모서리에, 상부 힌지공(202)이 형성되되, 상기 상부 힌지공(202)의 내부에는 걸림턱(202a)이 형성되며, 상기 상부 힌지공(202)으로부터 소정거리 이격된 일변상에 상부 로킹홈(203)이 형성되고, 상기 상부 힌지공(202)과 상부 로킹홈(203) 사이에 거치바(b)가 선택적으로 삽입되는 상부 거치홈(201)이 형성되며,
상기 하부 앤드플레이트(300)의 상기 상부 힌지공(202)과 대응하는 위치에 하부 힌지공(302)이 형성되고, 상기 상부 로킹홈(203)과 대응하는 위치에 하부 로킹홈(303)이 형성되며, 상기 상부 거치홈(201)과 대응하는 위치에 거치바(b)가 선택적으로 삽입되는 하부 거치홈(301)이 형성됨을 포함하고;
상기 로크부재(500)는,
상기 상부 힌지공(202) 내에 회전 가능하게 끼움 결합되며, 상단에 상기 걸림턱(202a)에 걸림되는 탄성후크부(531)가 마련된 상부 힌지축(530);
상기 상부 힌지축(530)의 외면에 일체로 형성되는 상부 브릿지(520);
상기 하부 힌지공(302) 내에 회전 가능하게 끼움 결합되는 하부 힌지축(550);
상기 하부 힌지축(550)의 외면에 일체로 형성되는 하부 브릿지(540);
상기 상부 브릿지(520)에 상부가 일체로 연결되고, 상기 하부 브릿지(540)에 하부가 일체로 연결되며, 최상단 및 최하단은 상기 상부 로킹홈(203) 및 하부 로킹홈(303)에 삽입됨에 따라 상기 솔라웨이퍼(w)의 제4 변(w4)을 가로막는 역할을 하며, 외주면 중 상기 솔라웨이퍼(w)를 향하는 면에 각 솔라웨이퍼(w) 사이를 이격되게 지지하기 위한 다수의 지지돌기(511)가 상기 상,하부 브릿지(520,540)에 대해 90°의 위상차를 갖도록 형성된 로크바(510)로 구성됨을 더 포함하며;
상기 상,하부 브릿지(520,540) 상에는, 상기 상,하부 브릿지(520,540)의 길이가 탄력성을 갖도록 반원형으로 내향 굴곡된 상부 탄성부(521) 및 하부 탄성부(541)가 각각 형성된 것을 더 포함하며;
상기 상부 브릿지(520) 및 하부 브릿지(540)의 각 상단에 상부 보강리브(522) 및 하부 보강리브(542)가 각각 형성되되, 상기 상,하부 보강리브(522,542)의 일부분은 상부 브릿지(520) 및 하부 브릿지(540)로부터 외향으로 일정거리만큼 후퇴된 부위에 배치되어, 상부 보강리브(522) 및 하부 보강리브(542)의 각 안쪽에 여유공간(s)이 확보되게 하여,
상기 로크바(510)가 상,하부 로킹홈(203,303)에 삽입되었을 때, 상기 상,하부 거치홈(201,301)과 상,하부 보강리브(522,542)의 각 여유공간(s)이 연통되도록 한 것을 더 포함하는 솔라웨이퍼 카세트. - 삭제
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110026208A KR101066397B1 (ko) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 솔라웨이퍼 카세트 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110026208A KR101066397B1 (ko) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 솔라웨이퍼 카세트 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101066397B1 true KR101066397B1 (ko) | 2011-09-21 |
Family
ID=44957650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110026208A Active KR101066397B1 (ko) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 솔라웨이퍼 카세트 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101066397B1 (ko) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20110324 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20110324 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
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|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20110909 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20110915 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20110915 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140626 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20140626 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150820 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20150820 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170810 Year of fee payment: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20170810 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180910 Year of fee payment: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20180910 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190916 Year of fee payment: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20190916 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200901 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210901 Start annual number: 11 End annual number: 11 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20220901 Start annual number: 12 End annual number: 12 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
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