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KR101051672B1 - Backlight unit for flexible display and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR101051672B1
KR101051672B1 KR1020080136018A KR20080136018A KR101051672B1 KR 101051672 B1 KR101051672 B1 KR 101051672B1 KR 1020080136018 A KR1020080136018 A KR 1020080136018A KR 20080136018 A KR20080136018 A KR 20080136018A KR 101051672 B1 KR101051672 B1 KR 101051672B1
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KR
South Korea
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electrode
discharge lamp
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glass
manufacturing
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안성일
이성의
이희철
길병우
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한국과학기술원
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Abstract

본 발명은 작으면서도 다양한 크기를 갖는 관 형태로 이루어지며, 플라즈마 방전에 의해 발광되는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 각각 일면에 금속 박막의 전극을 포함하고, 고분자 점착층이 코팅된 한 쌍의 고분자 기판과; 상기 한 쌍의 고분자 기판에 개재되고, 상기 전극을 통하여 외부전원과 연결되어 플라즈마 방전에 의해 발광하게 되는 방전 램프 및; 상기 고분자 기판 중, 어느 하나의 고분자 기판에 적층되고, 상기 방전 램프와 전기적으로 연결되며, 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 포함하는 구성으로 이루어진 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛과, 이의 제조방법을 제공한다.The present invention relates to a flexible display backlight unit which is made of a tube shape having a small size and various sizes, and emits light by plasma discharge, and includes a metal thin film electrode on one surface thereof, and coated with a polymer adhesive layer. A pair of polymer substrates; A discharge lamp interposed on the pair of polymer substrates and connected to an external power source through the electrode to emit light by plasma discharge; Among the polymer substrates, a flexible display backlight unit which is laminated on any one of the polymer substrates, is electrically connected to the discharge lamp, and has a configuration including a flexible printed circuit board, and a method of manufacturing the same.

플렉시블, 디스플레이, 백라이트, 방전 램프, 플라즈마 Flexible, Display, Backlight, Discharge Lamp, Plasma

Description

플렉시블 디스플레이용 백라이트 유닛 및 그 제조방법{Back light unit for flexible display and method for manufacturing of that} Back light unit for flexible display and method for manufacturing of that}

본 발명은 플렉시블 디스플레이용 백라이트 유닛 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 작으면서도 다양한 크기를 갖는 관 형태로 이루어지며, 플라즈마 방전에 의해 발광되는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a backlight unit for a flexible display and a method of manufacturing the same. The present invention relates to a flexible display backlight unit and a method of manufacturing the same, which are formed in a tube shape having a small size and varying sizes.

일반적으로, 정보표시장치(information display device)는 전기적인 신호를 시각 영상으로 변환시켜 인간이 직접 정보를 해독할 수 있도록 하는데 사용되는 전기소자로서 일종의 전자-광학적(electro-optical) 소자이다.In general, an information display device (information display device) is an electro-optical device that is used to convert the electrical signal into a visual image so that humans can directly decode the information.

이러한 전자정보 표시장치로는 CRT(Cathode-Ray Tube), LED(Light Emitting Diode), PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display) 등이 있는데, 최근에는 대형화 및 박막화가 유리한 PDP와 LCD의 보급이 확산되고 있는 추세에 있다.Such electronic information display devices include CRT (Cathode-Ray Tube), LED (Light Emitting Diode), PDP (Plasma Display Panel), LCD (Liquid Crystal Display), etc. The spread is on the rise.

그런데, 최근의 디스플레이 장치는 대형화 위주의 개발에서 탈피하여 사용자 가 손쉽게 휴대하고 다니기 용이한 소형 디스플레이 장치의 기술개발이 늘어나고 있는 추세이며, 이로 인하여 보다 가볍고 얇으며, 디자인이 자유로우면서도 유연성을 갖는 디스플레이 장치인 플렉시블 디스플레이의 연구개발이 한창 진행되고 있다.However, recent developments in display devices have tended to increase the technological development of small display devices, which are easy to carry and carry by users, due to the development of large-scale development, and thus, display devices that are lighter, thinner, and have free design and flexibility. R & D of in-flexible displays is in full swing.

현재, 플렉시블 디스플레이는 유기발광소자, e-paper 및 LCD 기술을 이용하여 구현되고 있으며, 그 중에서도 LCD 기술을 이용한 플렉시블 디스플레이가 가장 진보되어 있는데, 이러한 LCD 기술을 이용한 플렉시블 디스플레이는 빛을 밝게 확산시켜 조사하는 백라이트 유닛을 필요로 한다.Currently, flexible displays are implemented using organic light emitting devices, e-papers, and LCD technologies. Among them, flexible displays using LCD technology are the most advanced. Flexible displays using such LCD technologies diffuse light brightly. It requires a backlight unit.

상기 백라이트 유닛은 LCD 패널의 하부에 광원을 두어 LCD 패널의 전면을 직접 조명하는 직하방식과, LCD 패널의 일 측면 또는 양 측면에 광원을 두어 도광판 및 반사판 등에 의하여 조명하는 에지(edge)방식으로 구분되는데, 휴대폰에 주로 사용되는 에지방식의 백라이트 유닛은 백라이트 조립체와 광학필름들의 결합으로 구성되어 그 구성이 매우 복잡하고 그로 인하여 박막화에 한계가 있었다.The backlight unit is divided into a direct method of directly illuminating the front of the LCD panel by placing a light source under the LCD panel, and an edge method of placing a light source on one side or both sides of the LCD panel to be illuminated by a light guide plate and a reflector. The edge type backlight unit, which is mainly used in a mobile phone, is composed of a combination of a backlight assembly and an optical film, and its configuration is very complicated, thereby limiting the thinning.

즉, 종래의 백라이트 유닛은, 도광판, 몰드 프레임, LED, 플렉시블 기판 및 반사필름으로 구성되는 백라이트 조립체와, 1차 확산필름, 1차 프리즘 필름, 2차 프리즘필름, 2차 확산필름, 차광필름 등으로 구성되는 광학필름으로 이루어져 있는바, 그 구성이 복잡하여 조립이 어렵고, 또한 제조단가가 많이 들며, 박막화에 한계가 따르는 문제점이 있었다.That is, the conventional backlight unit includes a backlight assembly including a light guide plate, a mold frame, an LED, a flexible substrate, and a reflective film, a primary diffusion film, a primary prism film, a secondary prism film, a secondary diffusion film, and a light shielding film. Consisting of an optical film consisting of, the configuration is complicated, difficult to assemble, and also cost a lot of manufacturing costs, there was a problem that the limitation in thinning.

이에, 상기와 같은 문제점에 기인하여 플라즈마 방전을 이용한 백라이트 발광장치인 '플라즈마 튜브 어레이'(대한민국 특허 제714948호)가 제안되어 있으나, 상기의 특허는 유리관을 제조한 후에, 그 내부에 형광체를 불어 넣는 방식으로 이루어짐으로써, 유리관의 내부에 유전체 및 형광체의 도포가 어려워 불균일하게 도포가 이루어져 결국 균일한 파장 및 강도의 빛을 방출하기 어려운 문제점이 있다.Accordingly, due to the problems described above, a plasma tube array (Korean Patent No. 714948), which is a backlight light emitting device using plasma discharge, has been proposed. However, the patent discloses a glass tube and then blows a phosphor therein. In this case, it is difficult to apply the dielectric and the phosphor to the inside of the glass tube so that the coating is made unevenly, so that it is difficult to emit light having a uniform wavelength and intensity.

또한, 크기도 상당히 커서 플렉시블 디스플레이에 적용하여 유연성을 갖게 하는데 제약을 가지며, 공정의 실시가 유리관에 대해 하나씩 실시되므로 생산성이 낮아 그 가격을 낮추기가 어려운 문제점도 있다.In addition, the size is also very large, there is a limitation to apply to a flexible display to have flexibility, and since the implementation of the process is carried out one by one for the glass tube, there is also a problem that it is difficult to lower the price due to low productivity.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점에 착안하여 안출된 것으로서, 유연성을 가지면서 발광 특성의 안정성이 높으며, 생산성이 우수하여 생산단가를 낮출 수 있는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has an object of providing a flexible display backlight unit and a method of manufacturing the same having high flexibility, high stability of light emitting characteristics, and low productivity due to high productivity. .

또한, 본 발명은 작으면서도 다양한 크기를 갖는 관 형태로 이루어지며, 플라즈마 방전에 의해 발광되는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법을 제공하는데에도 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a flexible display backlight unit which is made of a tube shape having a small size and various sizes, and emits light by plasma discharge, and a method of manufacturing the same.

또한, 본 발명은 패턴의 형태 및 크기를 마음대로 조절할 수 있어 방전 램프의 크기조절이 용이하여 다양한 분야에 널리 적용할 수 있는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법을 제공하는데에 다른 목적이 있다.In addition, the present invention has another object to provide a flexible display backlight unit and a method of manufacturing the same can be adjusted to the shape and size of the pattern at any time to facilitate the size adjustment of the discharge lamp widely applicable to various fields.

또, 본 발명은 방전 램프의 정렬을 고분자 점착층을 이용하여 실시함으로써, 유연성을 가지면서도 플라즈마 방전을 위한 주변 회로와 손쉽게 패키징할 수 있는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법을 제공하는데에도 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to provide a flexible display backlight unit and a method of manufacturing the same, which can be easily packaged with a peripheral circuit for plasma discharge by carrying out the alignment of the discharge lamp using a polymer adhesive layer. .

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛은, 각각 일면에 금속 박막의 전극을 포함하고, 고분자 점착층이 코팅된 한 쌍의 고분자 기판과; 상기 한 쌍의 고분자 기판에 개재되고, 상기 전극을 통 하여 외부전원과 연결되어 플라즈마 방전에 의해 발광하게 되는 방전 램프 및; 상기 고분자 기판 중, 어느 하나의 고분자 기판에 적층되고, 상기 방전 램프와 전기적으로 연결되며, 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flexible display backlight unit including: a pair of polymer substrates each including a metal thin film electrode on one surface thereof, and a polymer adhesive layer coated thereon; A discharge lamp interposed on the pair of polymer substrates and connected to an external power source through the electrode to emit light by plasma discharge; Among the polymer substrate, it is laminated on any one of the polymer substrate, and electrically connected to the discharge lamp, characterized in that it comprises a printed circuit board having flexibility.

여기서, 상기 방전 램프는, 내부에 비활성 기체가 봉입된 유리관 형태로 이루어지고, 상기 유리관의 외면에는 서로 대향되게 전극부들이 길이방향으로 형성되며, 상기 전극부들과 대응되는 유리관의 내면에는 각각 형광체 및 유전체가 길이방향으로 형성되는 것이 바람직하다.Here, the discharge lamp is formed in the form of a glass tube filled with an inert gas therein, the outer surface of the glass tube is formed with the electrode portions in the longitudinal direction to face each other, the inner surface of the glass tube corresponding to the electrode portion and the phosphor and Preferably, the dielectric is formed in the longitudinal direction.

이 경우, 상기 유리관은 원형 또는 삼각형 이상의 다각형상으로 형성될 수 있다.In this case, the glass tube may be formed in a polygonal shape of circular or triangular or more.

또한, 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛은, 일면에 금속 박막의 전극을 포함하는 고분자 점착층이 코팅된 고분자 기판과; 상기 고분자 기판과 적층되는 것으로서, 양방향으로 전극부가 형성되되, 어느 하나의 전극부는 상기 고분자 기판의 전극을 통하여 외부전원과 연결되고, 다른 하나의 전극부는 유연성을 갖는 박막 금속 또는 금속산화물로 이루어진 전극을 통하여 외부전원과 연결되어 플라즈마 방전에 의해 발광하게 되는 방전 램프 및; 상기 방전 램프와 전기적으로 연결되며, 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 포함하는 구성으로 이루어질 수도 있다.In addition, the flexible display backlight unit according to the present invention, the polymer substrate coated with a polymer adhesive layer including a metal thin film electrode on one surface; The polymer substrate is stacked with each other, and electrode parts are formed in both directions, and one electrode part is connected to an external power source through an electrode of the polymer substrate, and the other electrode part is made of a thin film metal or metal oxide having flexibility. A discharge lamp connected to an external power source to emit light by plasma discharge; The discharge lamp may be electrically connected to the discharge lamp, and may include a printed circuit board having flexibility.

이의 경우에도, 상기 방전 램프는, 내부에 비활성 기체가 봉입된 유리관 형태로 이루어지고, 상기 유리관의 외면에는 서로 대향되게 전극부들이 길이방향으로 형성되며, 상기 전극부들과 대응되는 유리관의 내면에는 각각 형광체 및 유전체가 길이방향으로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 유리관은 원형 또는 삼각형 이상의 다각형상으로 이루어질 수 있다.Even in this case, the discharge lamp is formed in the form of a glass tube in which an inert gas is sealed therein, and the outer surface of the glass tube is formed in the longitudinal direction opposite to each other, the inner surface of the glass tube corresponding to the electrode portion, respectively It is preferable that the phosphor and the dielectric are formed in the longitudinal direction, and the glass tube may be formed in a polygonal shape of circular or triangular or more.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법은, (a) 유리관의 대향되는 외면에 전극부가 형성되고, 상기 전극부들과 대응되는 유리관의 내면에 각각 형광체 및 유전체가 형성되며, 그 내부에 플라즈마 방전이 가능한 기체가 봉입된 복수의 방전 램프를 제조하는 단계; (b) 상기 방전 램프의 양 전극부와 접속되기 위하여 그 일면에 각각 금속 박막의 전극을 포함하는 점착층이 코팅된 고분자 기판을 구비하고, 상기 고분자 기판 사이에 상기 방전 램프를 위치시키는 단계; (c) 상기 고분자 기판 중, 어느 하나의 고분자 기판에 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 적층시키는 단계 및; (d) 상기 고분자 기판의 전극과 인쇄회로기판을 전기적으로 연결하여, 상기 고분자 기판의 전극과 접속하는 방전 램프의 전극부들에 전원을 공급하여 상기 방전 램프가 발광되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the manufacturing method of the flexible display backlight unit according to the present invention for achieving the above object, (a) the electrode portion is formed on the outer surface of the glass tube opposite, the inner surface of the glass tube corresponding to the electrode and the phosphor and Manufacturing a plurality of discharge lamps in which a dielectric is formed, and a gas capable of plasma discharge is enclosed therein; (b) providing a polymer substrate coated with an adhesive layer including electrodes of metal thin films on one surface thereof so as to be connected to both electrode portions of the discharge lamp, and placing the discharge lamp between the polymer substrates; (c) stacking a flexible printed circuit board on any one of the polymer substrates; (d) electrically connecting the electrodes of the polymer substrate and the printed circuit board to supply power to electrode portions of the discharge lamp that are connected to the electrodes of the polymer substrate to cause the discharge lamp to emit light. do.

여기서, 상기 (a) 단계인 방전 램프를 제조하는 단계는, (a-1) 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 복수의 오목부를 형성하고, 상기 오목부에 투명 산화물 전극부를 증착하며, 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층을 도포하고, 상기 실리콘 기판의 일면에서 오목부를 제외한 나머지 일면에 도포된 유리층을 제거하며, 상기 오목부에만 형성된 유리층에 형광체를 증착하는 단계를 포함하는 하부 기판의 제조단계; (a-2) 다른 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 복수의 오목부를 형성하고, 상기 오목부에 투명 산화물 전극부를 증착하며, 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층을 도포하고, 상기 실리콘 기판의 일면에서 오목부를 제외한 나머지 일면에 도포된 유리층을 제거하며, 상기 오목부에만 형성된 유리층에 유전체를 증착하는 단계를 포함하는 상부 기판의 제조단계; (a-3) 상기 하부 기판과 상부 기판을 서로 포개어 서로의 유리층들이 대응되도록 한 후, 일정온도에서 일정한 압력을 가하여 유리 천이에 따라 상기 유리층들이 접합되도록 하는 단계; (a-4) 식각에 의하여 실리콘이 제거되도록 하여 유리관 형태의 방전 램프가 제조되는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.In the manufacturing of the discharge lamp in the step (a), (a-1) a plurality of recesses are formed on one surface of the silicon substrate at predetermined intervals, the transparent oxide electrode portions are deposited on the recesses, and the silicon substrate is formed. A step of manufacturing a lower substrate comprising applying a glass layer on one side of the silicon substrate, removing the glass layer applied on one side of the silicon substrate except one of the recesses, and depositing a phosphor on the glass layer formed only on the recesses. ; (a-2) forming a plurality of recesses at regular intervals on one surface of another silicon substrate, depositing a transparent oxide electrode on the recess, applying a glass layer on one surface of the silicon substrate, and Removing the glass layer applied to the other surface except for the recess, and manufacturing a top substrate including depositing a dielectric on the glass layer formed only on the recess; (a-3) overlapping the lower substrate and the upper substrate with each other so that the glass layers correspond to each other, and then applying a constant pressure at a predetermined temperature to bond the glass layers according to the glass transition; (a-4) It is preferable to include the step of manufacturing a discharge tube in the form of a glass tube by removing the silicon by etching.

또한, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서, 상기 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 형성되는 복수의 오목부는, 등방성 식각에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the step (a-1) or the step (a-2), it is preferable that a plurality of recesses formed on one surface of the silicon substrate at regular intervals are formed by isotropic etching.

또, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서, 상기 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 형성되는 복수의 오목부는, 이방성 식각에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the step (a-1) or the step (a-2), it is preferable that a plurality of recesses formed on one surface of the silicon substrate at predetermined intervals are formed by anisotropic etching.

또, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서, 상기 오목부에 투명 산화물 전극부의 증착은, 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의하는 것이 바람직하다.Further, in the step (a-1) or the step (a-2), the deposition of the transparent oxide electrode portion in the concave portion is preferably by a printing printing technique using a screen mask or a vacuum deposition technique using a screen mask. Do.

또, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서, 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층의 도포는, 상기 실리콘 기판에 액상 유리를 부은 후 스핀 코팅하여 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, in the step (a-1) or (a-2), the coating of the glass layer on one surface of the silicon substrate is preferably performed by spin coating the liquid glass onto the silicon substrate.

또, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서, 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층의 도포는, 상기 실리콘 기판에 마이크로 씬 글라스를 올려놓고 가열하여 이루어질 수도 있다.In addition, in the step (a-1) or (a-2), the coating of the glass layer on one surface of the silicon substrate may be performed by placing a micro thin glass on the silicon substrate and heating it.

또, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서, 상기 실리콘 기판의 일면에서 오목부를 제외한 나머지 일면에 도포된 유리의 제거는, 화학 기계 연마 공정에 의하는 것이 바람직하다.In the step (a-1) or (a-2), the removal of the glass applied to one surface of the silicon substrate, except for the recesses, is preferably performed by a chemical mechanical polishing process.

한편, 상기 (a-1) 단계에서, 상기 오목부에만 형성된 유리층에 형광체의 증착은, 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의하는 것이 바람직하다.On the other hand, in the step (a-1), the deposition of the phosphor on the glass layer formed only in the concave portion, preferably by a printing method using a screen mask or a vacuum deposition method using a screen mask.

또한, 상기 (a-2) 단계에서의 상기 오목부에만 형성된 유리층에 유전체의 증착은, 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의하는 것이 바람직하다.In addition, the deposition of the dielectric on the glass layer formed only in the concave portion in the step (a-2) is preferably by a printing printing technique using a screen mask or a vacuum deposition technique using a screen mask.

또, 서로 접합되는 유리층 내부에 플라즈마 방전이 가능한 기체가 봉입되도록, 플라즈마 방전이 가능한 기체상에서 진행되는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to advance in the gas phase which can carry out plasma so that the gas which can carry out plasma may be enclosed inside the glass layer joined together.

또, 상기 (a-4) 단계는, 플루오르화크세논(XeF2) 상에 일정한 시간 동안 넣어 식각하는 것이 바람직하다.In addition, the step (a-4) is preferably etched by putting on xenon fluoride (XeF 2 ) for a predetermined time.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛 및 그 제조방법에 의하면, 유연성을 가지면서 발광 특성의 안정성이 높으며, 생산성이 우수하여 생산단가가 낮아지는 매우 유용한 효과가 있다.As described above, according to the flexible display backlight unit and the manufacturing method thereof according to the present invention, there is a very useful effect of having high flexibility, high stability of the light emitting characteristics, excellent productivity, and low production cost.

또한, 본 발명은 작으면서도 다양한 크기를 갖는 관 형태로 이루어지며, 플라즈마 방전에 의해 발광되는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛이 제공됨은 물론, 패턴의 형태 및 크기를 마음대로 조절할 수 있어 방전 램프의 크기조절이 용이하여 다양한 분야에 널리 적용할 수 있게 되는 효과도 제공된다.In addition, the present invention is made in the form of a tube having a small size and a variety of sizes, and is provided with a flexible display backlight unit that emits light by plasma discharge, as well as the shape and size of the pattern can be adjusted at will to easily control the size of the discharge lamp There is also an effect that can be widely applied in various fields.

또, 본 발명은 방전 램프의 정렬을 고분자 점착층을 이용하여 실시됨으로써, 유연성을 가지면서도 플라즈마 방전을 위한 주변 회로와 손쉽게 패키징할 수 있게 되는 효과도 제공된다.In addition, the present invention is carried out by using the polymer adhesive layer to align the discharge lamp, thereby providing an effect that can be easily packaged with the peripheral circuit for plasma discharge while having flexibility.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛을 개략적으로 도시한 분리사시도이고, 도 2는 도 1에 적용되는 방전 램프의 단면도이다.1 is an exploded perspective view schematically illustrating a flexible display backlight unit according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a discharge lamp applied to FIG. 1.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛(10)은, 각각 일면에 금속 박막의 전극(14,24)을 포함하고, 고분자 점착층이 코팅된 한 쌍의 고분자 기판(12,22)을 포함한다.As shown, the flexible display backlight unit 10 according to the present invention includes a pair of polymer substrates 12 and 22, each of which includes electrodes 14 and 24 of metal thin films on one surface thereof, and is coated with a polymer adhesive layer. It includes.

또한, 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛(10)은, 상기 한 쌍의 고분자 기판(12,22)들에 개재(介在)되고, 상기 고분자 기판(12,22)들의 전 극(14,24)을 통하여 외부전원과 연결되어 플라즈마 방전에 의해 발광하게 되는 복수의 방전 램프(100)를 포함한다.In addition, the flexible display backlight unit 10 according to the present invention is interposed between the pair of polymer substrates 12 and 22, and the electrodes 14 and 24 of the polymer substrates 12 and 22 are disposed. It includes a plurality of discharge lamp 100 is connected to the external power through the light emitting by the plasma discharge.

상기 방전 램프(100)는, 내부에 비활성 기체 즉, 플라즈마 방전이 가능한 He, Xe, Ne 등의 비활성 기체가 봉입되는 얇은 원형의 유리관 형태로 이루어져 있는데, 도 2에 도시된 바와 같이, 유리관(102)의 외면에는 서로 대향되게 전극부(104)들이 길이방향으로 형성되어 있고, 상기 전극부(104)들과 대응되는 유리관(102)의 내면에는 각각 형광체(106) 및 유전체(108)가 길이방향으로 형성된 구조로 이루어져 있다.The discharge lamp 100 is formed of a thin circular glass tube in which an inert gas, that is, inert gas such as He, Xe, Ne, etc., capable of plasma discharge, is enclosed therein, as shown in FIG. On the outer surface of the electrode), the electrode portions 104 are formed in the longitudinal direction so as to face each other, and the phosphor 106 and the dielectric 108 are formed in the longitudinal direction on the inner surface of the glass tube 102 corresponding to the electrode portions 104, respectively. Consists of a structure formed.

한편, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛에 적용되는 다른 실시 예에 따른 방전 램프를 도시한 단면도로서, 도시된 바와 같이 유리관(102)이 사각형상 또는 마름모꼴 형상으로 이루어질 수도 있으며, 이의 경우에도 서로 대향되는 외면에는 길이방향으로 전극부(104)들이 형성되고, 이 전극부(104)들과 대응되는 유리관(100)의 내면에는 형광체(106) 및 유전체(108)가 길이방향으로 형성된다.3A and 3B are cross-sectional views illustrating a discharge lamp according to another embodiment applied to the flexible display backlight unit of the present invention. As illustrated, the glass tube 102 may have a rectangular or rhombic shape. In this case, the electrode portions 104 are formed on the outer surface facing each other in the longitudinal direction, and the phosphor 106 and the dielectric 108 are formed on the inner surface of the glass tube 100 corresponding to the electrode portions 104 in the longitudinal direction. Is formed.

상기와 같은 구조로 이루어진 방전 램프(100)는 일정간격으로 복수개가 배열되고, 한 쌍의 고분자 기판(12,22)에 개재되는데, 이때 고분자 기판(12,22)의 일면에는 각각 금속 박막의 전극(14,24)이 포함되고 점착층이 코팅되어 있는 바, 점착층에 의해 방전 램프(100)들이 안정적으로 개재됨과 동시에 방전 램프(100)의 양 전극부(104)들이 각각 금속 박막의 전극(14,24)들과 접속이 이루어지게 된다.A plurality of discharge lamps 100 having the above structure are arranged at regular intervals, and interposed on a pair of polymer substrates 12 and 22, wherein electrodes of metal thin films are formed on one surface of the polymer substrates 12 and 22, respectively. (14,24) is included and the adhesive layer is coated, the discharge lamp 100 is stably interposed by the adhesive layer, and at the same time both electrode portions 104 of the discharge lamp 100 are formed of the electrode of the metal thin film ( 14, 24) will be made.

또한, 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 유닛(100)은, 회로가 패턴된 인 쇄회로기판(30)을 포함하는데, 상기 인쇄회로기판(30)은 한 쌍의 고분자 기판(12,22) 중, 어느 하나의 고분자 기판과 적층형성되며, 금속 박막의 전극(14,24)들과 전기적으로 연결된다.In addition, the flexible display unit 100 according to the present invention includes a printed circuit board 30 in which a circuit is patterned. The printed circuit board 30 may include any one of a pair of polymer substrates 12 and 22. It is stacked with one polymer substrate and electrically connected to the electrodes 14 and 24 of the metal thin film.

따라서, 상기 방전 램프(100)들은 인쇄회로기판(30)과 전기적으로 연결되어 전기적 신호에 따라 발광이 이루어지게 된다.Therefore, the discharge lamps 100 are electrically connected to the printed circuit board 30 to emit light according to the electrical signal.

한편, 도시하지는 않았지만, 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛은, 그 두께를 줄이기 위하여 하나의 고분자 기판만을 포함하여 구성될 수도 있다.Although not shown, the flexible display backlight unit according to the present invention may include only one polymer substrate in order to reduce the thickness thereof.

즉, 일면에 금속 박막의 전극을 포함하고 점착층이 코팅된 하나의 고분자 기판만을 구비하되, 이 고분자 기판의 전극이 방전 램프의 어느 한쪽 전극부와 접속되도록 하면, 방전 램프의 다른 한쪽 전극부에는 금속 박막 또는 금속산화물로 이루어진 전극을 접속시켜서 외부전원과 연결되도록 구성될 수도 있다.That is, if only one polymer substrate including an electrode of a metal thin film on one surface and the adhesive layer is coated, the electrode of the polymer substrate is connected to any one electrode portion of the discharge lamp, the other electrode portion of the discharge lamp It may be configured to be connected to an external power source by connecting an electrode made of a metal thin film or metal oxide.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛(10)의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the flexible display backlight unit 10 according to the present invention having the above configuration will be described below.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 따른 백라이트 유닛용 방전 램프를 제조하기 위한 하부 구조물의 가공 순서를 순차적으로 도시한 구성도이다.4A to 4E are diagrams sequentially illustrating a processing sequence of a lower structure for manufacturing a discharge lamp for a backlight unit according to the present invention.

먼저, 가공이 쉽고 비교적 가격이 저렴한 실리콘 기판(200)을 구비하고, 이 실리콘 기판(200)에 도 4a에 도시된 바와 같이, 패턴 및 식각을 실시하여 표면에 오목부(202)를 형성한다. First, a silicon substrate 200 which is easy to process and relatively inexpensive is provided, and as shown in FIG. 4A, the silicon substrate 200 is patterned and etched to form recesses 202 on the surface.

이와 같이 실리콘 기판(200)에 오목부(202)를 형성하는 것은 후 공정에서 유리관의 형태를 만들기 위한 것으로서, 원형의 유리관을 만들기 위해서는 도시된 바와 같이 반구(半球)형의 오목부가 형성되도록 완전 등방성 식각을, 직사각 형태의 유리관을 만들기 위해서는 이방성 식각을 활용하는 것이 바람직하다.The formation of the concave portion 202 in the silicon substrate 200 as described above is to form a glass tube in a later process, and in order to form a circular glass tube, a fully isotropic concave portion is formed as shown. It is preferable to use anisotropic etching in order to make an etching and a rectangular glass tube.

참고로, 본 발명의 실시 예에서는 원형의 유리관을 만드는 것을 일예로 설명하기에, 실리콘 기판(200)에 반구형의 오목부(202)가 형성된 것으로 설명하기로 한다.For reference, in the exemplary embodiment of the present invention, since a circular glass tube is described as an example, the hemispherical recess 202 is formed in the silicon substrate 200.

상기와 같이 실리콘 기판(200)에 패턴 및 식각을 실시하여 오목부(202)를 형성한 후, 이 오목부(202)에는 도 4b에 도시된 바와 같이, 플라즈마 방전 전원과의 연결을 위한 외부 전극으로 사용될 전극부(204)를 증착한다.After forming the recessed portion 202 by patterning and etching the silicon substrate 200 as described above, the recessed portion 202 has an external electrode for connection with a plasma discharge power source, as shown in FIG. 4B. The electrode portion 204 to be used is deposited.

이때, 상기 전극부(204)는 유리관 내에서 발광된 빛이 외부로 투과될 수 있도록 투명 산화물 전극부를 증착한다.In this case, the electrode unit 204 deposits a transparent oxide electrode unit so that light emitted from the glass tube can be transmitted to the outside.

여기서, 상기 전극부(204)의 패턴은 증착 후, 패턴 식각 또는 패턴 증착 후 리프트 오프(lift off) 공정을 통해 형성할 수 있으나, 오목부(202)의 깊이가 깊을 경우에는 광 리소그래피가 용이하지 않으므로 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의하여 형성하는 것이 바람직하다.Here, the pattern of the electrode portion 204 may be formed through deposition, pattern etching, or lift off after the pattern deposition, but when the depth of the recess 202 is deep, optical lithography is not easy. Therefore, it is preferable to form by printing printing technique using a screen mask or vacuum deposition technique using a screen mask.

다음에, 도 4c에 도시된 바와 같이, 오목부(202)가 형성되고 이 오목부에 전극부(204)가 증착된 상태에서 유리관으로 사용될 유리층(206)을 형성한다.Next, as shown in Fig. 4C, a concave portion 202 is formed, and a glass layer 206 to be used as a glass tube is formed with the electrode portion 204 deposited on the concave portion.

상기 유리층(206)은, 액상 유리를 오목부(202)가 형성된 기판(200) 상에 부은 후 스핀 코팅하여 형성할 수도 있고, 아주 얇은 두께의 마이크로 씬 글라스(micro thin glass)를 올려놓은 가열하여 주저 않게 하는 방법으로 형성할 수도 있다.The glass layer 206 may be formed by pouring liquid glass onto the substrate 200 having the concave portion 202 formed thereon, and then spin coating the glass layer 206 onto the substrate 200 on which the concave portion 202 is formed. It can also be formed by a method that does not hesitate.

따라서, 실리콘 기판(200) 상에는 얇은 유리층(206)이 형성되는데, 이 유리층(206)은 오목부(202)의 내면과, 이 내면 이외의 실리콘 기판(200) 표면에 형성된다.Thus, a thin glass layer 206 is formed on the silicon substrate 200, which is formed on the inner surface of the recess 202 and on the surface of the silicon substrate 200 other than this inner surface.

다음에, 도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 오목부(202)의 내부가 아닌 실리콘 기판(200)의 표면에 형성된 유리층을 화학 기계 연마(CMP : Chemical mechanical polishing) 공법으로 제거한다.Next, as shown in FIG. 4D, the glass layer formed on the surface of the silicon substrate 200 rather than the inside of the recess 202 is removed by a chemical mechanical polishing (CMP) method.

마지막으로, 도 4e에 도시된 바와 같이, 오목부(202)에 형성된 유리층(206)에, 유리관 내부에서의 발광을 이루기 위한 형광체(208)를 증착한다. 이 경우 상기 형광체(208)의 패턴을 위해서는 상기 전극부(204)와 마찬가지로 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의해 증착하는 것이 바람직하다.Finally, as shown in FIG. 4E, the phosphor 208 for emitting light in the glass tube is deposited on the glass layer 206 formed in the recess 202. In this case, for the pattern of the phosphor 208, as in the electrode unit 204, it is preferable to deposit by a printing printing technique using a screen mask or a vacuum deposition technique using a screen mask.

이와 같은 순서에 의해 방전 램프(100)를 이루는 유리관을 제조하기 위한 하부 실리콘 기판(200)의 가공이 마무리되면, 도 5a 내지 도 5e에 도시된 바와 같이, 방전 램프를 이루는 유리관을 제조하기 위한 상부 실리콘 기판(300)을 가공한다.When the processing of the lower silicon substrate 200 for manufacturing the glass tube of the discharge lamp 100 is completed in this order, as shown in FIGS. 5A to 5E, the upper part of the glass tube of the discharge lamp is manufactured. The silicon substrate 300 is processed.

여기서, 상부 실리콘 기판(300)을 가공하는 순서 중, 도 5a 내지 도 5d에 도시된 방법은, 앞선 하부 실리콘 기판(200)을 가공하는 순서인 도 4a 내지 도 4d에 도시된 방법과 동일하므로, 이하에서 반복되는 설명은 생략하기로 한다.Here, in the order of processing the upper silicon substrate 300, the method shown in Figs. 5a to 5d is the same as the method shown in Figs. Repeated descriptions will be omitted below.

도 5a 내지 도 5d에 도시된 바와 같은 순서가 마무리되면, 도 5e에 도시된 바와 같이, 오목부(302)에 형성된 유리층(306)에, 플라즈마 방전에 의해 발생되는 높은 에너지 상태의 이온 또는 라디칼 등으로부터 유리관 내부를 보호하기 위한 유전체(308)를 패턴한다.When the sequence as shown in Figs. 5A to 5D is completed, as shown in Fig. 5E, the glass layer 306 formed in the concave portion 302 has a high energy state of ions or radicals generated by plasma discharge. A dielectric 308 is patterned to protect the interior of the glass tube from the back.

상기 유전체(308) 또한 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의해 형성하는 것이 바람직하다.The dielectric 308 may also be formed by a printing printing technique using a screen mask or a vacuum deposition technique using a screen mask.

참고로, 도 5a 내지 도 5e에서 미설명 부호 (304)는, 전극부를 나타낸 것이다.For reference, reference numeral 304 in FIGS. 5A to 5E indicates an electrode part.

도 6a 및 도 6b는, 도 4a 내지 도 4e에 도시된 바와 같은 순서 및 방법으로 형성된 하부 실리콘 기판과, 도 5a 내지 도 5e에 도시된 바와 같이 순서 및 방법으로 형성된 상부 실리콘 기판의 형상을 나타낸 사시도로서, 방전 램프(100)를 이루는 유리관을 형성하기 위하여 도 7에 도시된 바와 같이, 하부 실리콘 기판(200)에 상부 실리콘 기판(300)을 서로 마주보도록 포갠 상태로 서로 접합이 이루어지도록 한다.6A and 6B are perspective views showing shapes of a lower silicon substrate formed in the order and method as shown in FIGS. 4A to 4E and an upper silicon substrate formed in the order and method as shown in FIGS. 5A to 5E. As shown in FIG. 7, in order to form a glass tube constituting the discharge lamp 100, the upper silicon substrate 300 is stacked on the lower silicon substrate 200 so as to face each other.

이때, 하부 실리콘 기판(200)과 상부 실리콘 기판(300)의 접합을 위해서는 일정온도 이상에서 소정의 압력을 가해서 유리 천이 온도에서 유동성을 가져 접합이 이루어지도록 하며, 특히 이 경우 두 기판(200,300) 사이의 정렬이 매우 중요하므로 적외선 현미경 또는 양면 사이에 삽입되는 현미경을 갖는 정열 기능이 있는 웨이퍼 접합 가압기를 사용하는 것이 바람직하다.In this case, in order to bond the lower silicon substrate 200 and the upper silicon substrate 300, a predetermined pressure is applied at a predetermined temperature or more to bring the fluidity at the glass transition temperature, and in this case, the bonding is performed between the two substrates 200 and 300. Since the alignment of is very important, it is preferable to use a wafer bonding presser with an alignment function with an infrared microscope or a microscope inserted between both sides.

또한, 상기와 같이 정열이 이루어진 상태에서 가압 및 가열은 유리관 내부로 플라즈마 방전을 가능하게 하는 기체가 봉입되게 하기 위하여 플라즈마 디스플레이 패널 제조에 사용되는 He, Xe, Ne 등의 비활성 기체 분위기에서 진행하는 것이 바람직하다.In addition, the pressurization and heating in the alignment state as described above is performed in an inert gas atmosphere such as He, Xe, Ne, etc. used in the manufacture of the plasma display panel in order to seal the gas that enables the plasma discharge into the glass tube. desirable.

상기와 같이 하부 실리콘 기판(200)과 상부 실리콘 기판(300)을 포개어 유리층(206,306)이 서로 접합되도록 한 후, 플루오르화크세논(XeF2) 상에 일정한 시간 동안 넣어 등방성 식각을 실시하면, 원형의 유리층(206,306)과, 전극부(204,304), 형광체(208) 및 유전체(308)를 제외한 실리콘 기판(200,300)이 모두 제거된다.After allowing the overlaid the lower silicon substrate 200 and the upper silicon substrate 300 as described above, the glass layer (206 306) are bonded to each other, fluorinated xenon (XeF 2) when put for a period of time in the embodiment is isotropic etching, circular The silicon substrates 200 and 300 except for the glass layers 206 and 306, the electrode portions 204 and 304, the phosphor 208, and the dielectric 308 are all removed.

따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 원형 단면의 유리관(102) 외면에 서로 대향되게 전극부(104)가 형성되고, 상기 전극부(104)들과 대응되는 유리관(102) 내면에 각각 형광체(106)와 유전체(108)가 형성된 복수의 방전 램프(100)가 동시에 형성된다.Therefore, as shown in FIG. 2, the electrode portions 104 are formed on the outer surface of the glass tube 102 having a circular cross section, and the phosphors are formed on the inner surfaces of the glass tube 102 corresponding to the electrode portions 104, respectively. 106 and a plurality of discharge lamps 100 formed with the dielectric 108 are formed at the same time.

이와 같이, 실리콘 기판(200,300)이 식각되면서 제거되면, 그 일면에 고분자 점착층이 코팅된 고분자 기판(12,22)을 이용해 방전 램프(100)를 전사(transfer)시켜서, 방전 램프(100)가 고분자 점착층이 각각 일면에 코팅된 고분자 기판(12,22)들 사이에 정열된 상태로 마치 샌드위치와 같이 개재되도록 한다.As such, when the silicon substrates 200 and 300 are removed while being etched, the discharge lamp 100 is transferred by using the polymer substrates 12 and 22 coated with a polymer adhesive layer on one surface thereof, thereby discharging the discharge lamp 100. The polymer adhesive layer is arranged between the polymer substrates 12 and 22 coated on one surface thereof, as if sandwiched.

이때, 상기 고분자 기판(12,22)의 일면에 코팅되는 고분자 점착층에는 외부의 전원과 연결되는 폭이 넓은 금속 박막의 전극(14,24)이 포함되어 있으며, 이 전극(14,24)은 방전 램프(100)의 전극부(104)와 통전이 이루어지게 된다.In this case, the polymer adhesive layer coated on one surface of the polymer substrates 12 and 22 includes electrodes 14 and 24 of a wide metal thin film connected to an external power source, and the electrodes 14 and 24 are The electricity is supplied to the electrode portion 104 of the discharge lamp 100.

이와 같이 형성된 방전 램프(100)는 전극부(104)로 전원이 공급됨에 따라 유리관(102) 내부에서 에너지 상태가 여기된 이온 및 라디칼을 포함하는 플라즈마가 생성되어 형광체(106)를 자극함으로써, 효율적인 발광이 일어나게 된다.As the discharge lamp 100 formed as described above is supplied with power to the electrode unit 104, a plasma including ions and radicals excited in an energy state is generated inside the glass tube 102 to stimulate the phosphor 106. Light emission will occur.

이때, 상기 형광체(106)의 종류 및 두께를 조절함으로써 발광되는 빛의 색깔 및 강도를 조절할 수 있음은 물론이다.At this time, it is a matter of course that the color and intensity of the light emitted can be adjusted by adjusting the type and thickness of the phosphor 106.

도 1은 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛을 개략적으로 도시한 분리사시도.1 is an exploded perspective view schematically showing a flexible display backlight unit according to the present invention.

도 2는 도 1에 적용되는 방전 램프의 단면도.2 is a cross-sectional view of a discharge lamp applied to FIG.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛에 적용되는 다른 실시 예의 방전 램프를 각각 도시한 단면도.3A and 3B are cross-sectional views each showing a discharge lamp of another embodiment applied to a flexible display backlight unit according to the present invention.

도 4a 내지 도 4e는, 도 2에 따른 방전 램프를 제조하기 위한 하부 구조물의 제작단계를 순차적으로 도시한 단면도.4a to 4e are cross-sectional views sequentially showing the manufacturing step of the lower structure for manufacturing the discharge lamp according to FIG.

도 5a 내지 도 5e는, 도 2에 따른 방전 램프를 제조하기 위한 상부 구조물의 제작단계를 순차적으로 도시한 단면도.5a to 5e are cross-sectional views sequentially showing the manufacturing step of the upper structure for manufacturing the discharge lamp according to FIG.

도 6a 및 도 6b는, 도 2에 따른 방전 램프를 제조하기 위한 하부 구조물 및 상부 구조물의 개략적인 사시도.6a and 6b are schematic perspective views of a lower structure and an upper structure for manufacturing the discharge lamp according to FIG. 2;

도 7은 도 6의 하부 구조물과 상부 구조물을 포개어서 방전 램프를 제조하는 과정을 도시한 단면도.7 is a cross-sectional view illustrating a process of manufacturing a discharge lamp by overlapping the lower structure and the upper structure of FIG.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

10 : 백라이트 유닛 12,22 : 고분자 기판10: backlight unit 12, 22: polymer substrate

14,24 : 전극 30 : 인쇄회로기판14,24 electrode 30 printed circuit board

100 : 발광 램프 102 : 유리관100: light emitting lamp 102: glass tube

104 : 전극부 106 : 형광체104: electrode portion 106: phosphor

108 : 유전체 200 : 하부 실리콘 기판108: dielectric 200: lower silicon substrate

202 : 오목부 300 : 상부 실리콘 기판202: recess 300: upper silicon substrate

302 : 오목부302: recess

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete (a) 유리관의 대향되는 외면에 전극부가 형성되고, 상기 전극부들과 대응되는 유리관의 내면에 각각 형광체 및 유전체가 형성되며, 그 내부에 플라즈마 방전이 가능한 기체가 봉입된 복수의 방전 램프를 제조하되,(a) preparing a plurality of discharge lamps in which electrode portions are formed on the outer surfaces of the glass tubes, and phosphors and dielectrics are formed on the inner surfaces of the glass tubes corresponding to the electrode portions, and a gas capable of plasma discharge is enclosed therein; , (a-1) 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 복수의 오목부를 형성하고, 상기 오목부에 투명 산화물 전극부를 증착하며, 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층을 도포하고, 상기 실리콘 기판의 일면에서 오목부를 제외한 나머지 일면에 도포된 유리층을 제거하며, 상기 오목부에만 형성된 유리층에 형광체를 증착하는 단계를 포함하는 하부 기판의 제조단계;(a-1) forming a plurality of concave portions on one surface of the silicon substrate at regular intervals, depositing a transparent oxide electrode portion on the concave portion, applying a glass layer to one surface of the silicon substrate, and concave on one surface of the silicon substrate Removing a glass layer applied to one surface except for a portion, and manufacturing a lower substrate including depositing a phosphor on a glass layer formed only on the concave portion; (a-2) 다른 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 복수의 오목부를 형성하고, 상기 오목부에 투명 산화물 전극부를 증착하며, 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층을 도포하고, 상기 실리콘 기판의 일면에서 오목부를 제외한 나머지 일면에 도포된 유리층을 제거하며, 상기 오목부에만 형성된 유리층에 유전체를 증착하는 단계를 포함하는 상부 기판의 제조단계;(a-2) forming a plurality of recesses at regular intervals on one surface of another silicon substrate, depositing a transparent oxide electrode on the recess, applying a glass layer on one surface of the silicon substrate, and Removing the glass layer applied to the other surface except for the recess, and manufacturing a top substrate including depositing a dielectric on the glass layer formed only on the recess; (a-3) 상기 하부 기판과 상부 기판을 서로 포개어 서로의 유리층들이 대응되도록 한 후, 일정온도에서 일정한 압력을 가하여 유리 천이에 따라 상기 유리층들이 접합되도록 하는 단계;(a-3) overlapping the lower substrate and the upper substrate with each other so that the glass layers correspond to each other, and then applying a constant pressure at a predetermined temperature to bond the glass layers according to the glass transition; (a-4) 식각에 의하여 실리콘이 제거되도록 하여 유리관 형태의 방전 램프가 제조되는 단계로서,(a-4) manufacturing a discharge lamp in the form of a glass tube by removing silicon by etching; 복수의 방전 램프를 제조하는 단계와;Manufacturing a plurality of discharge lamps; (b) 상기 방전 램프의 양 전극부와 접속되기 위하여 그 일면에 각각 금속 박막의 전극을 포함하는 점착층이 코팅된 고분자 기판을 구비하고, 상기 고분자 기판 사이에 상기 방전 램프를 위치시키는 단계;(b) providing a polymer substrate coated with an adhesive layer including electrodes of metal thin films on one surface thereof so as to be connected to both electrode portions of the discharge lamp, and placing the discharge lamp between the polymer substrates; (c) 상기 고분자 기판 중, 어느 하나의 고분자 기판에 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 적층시키는 단계 및;(c) stacking a flexible printed circuit board on any one of the polymer substrates; (d) 상기 고분자 기판의 전극과 인쇄회로기판을 전기적으로 연결하여, 상기 고분자 기판의 전극과 접속하는 방전 램프의 전극부들에 전원을 공급하여 상기 방전 램프가 발광되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.(d) electrically connecting the electrodes of the polymer substrate and the printed circuit board to supply power to electrode portions of the discharge lamp that are connected to the electrodes of the polymer substrate to cause the discharge lamp to emit light. A method of manufacturing a flexible display backlight unit. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 9 was abandoned upon payment of a set-up fee. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 형성되는 복수의 오목부는, 등방성 식각에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The plurality of recesses formed on one surface of the silicon substrate at predetermined intervals are formed by isotropic etching. 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 10 was abandoned upon payment of a setup registration fee. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서,In the step (a-1) or (a-2), 상기 실리콘 기판의 일면에 일정간격마다 형성되는 복수의 오목부는, 이방성 식각에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The plurality of recesses formed on one surface of the silicon substrate at predetermined intervals are formed by anisotropic etching. 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 11 was abandoned upon payment of a setup registration fee. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서,In the step (a-1) or (a-2), 상기 오목부에 투명 산화물 전극부의 증착은, 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의한 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The deposition of the transparent oxide electrode portion in the concave portion is a method of manufacturing a flexible display backlight unit, characterized in that by printing printing technique using a screen mask or vacuum deposition technique using a screen mask. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 12 was abandoned upon payment of a registration fee. 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서,In the step (a-1) or (a-2), 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층의 도포는, 상기 실리콘 기판에 액상 유리를 부은 후 스핀 코팅하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The coating of the glass layer on one surface of the silicon substrate is performed by spin coating after pouring liquid glass on the silicon substrate. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서,In the step (a-1) or (a-2), 상기 실리콘 기판의 일면에 유리층의 도포는, 상기 실리콘 기판에 마이크로 씬 글라스를 올려놓고 가열하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The coating of the glass layer on one surface of the silicon substrate is performed by placing a micro thin glass on the silicon substrate and heating the flexible display backlight unit. 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 14 was abandoned when the registration fee was paid. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-1) 단계 또는 (a-2) 단계에서,In the step (a-1) or (a-2), 상기 실리콘 기판의 일면에서 오목부를 제외한 나머지 일면에 도포된 유리의 제거는, 화학 기계 연마 공정에 의한 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The removal of the glass applied to one surface of the silicon substrate, except for the recess, is performed by a chemical mechanical polishing process. 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 15 was abandoned upon payment of a registration fee. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-1) 단계에서,In the step (a-1), 상기 오목부에만 형성된 유리층에 형광체의 증착은, 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의한 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The deposition of the phosphor on the glass layer formed only in the concave portion, the method of manufacturing a flexible display backlight unit, characterized in that by printing printing technique using a screen mask or vacuum deposition technique using a screen mask. 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 16 was abandoned upon payment of a setup registration fee. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-2) 단계에서,In the step (a-2), 상기 오목부에만 형성된 유리층에 유전체의 증착은, 스크린 마스크를 이용한 인쇄 프린팅 기술 또는 스크린 마스크를 활용한 진공 증착 기술에 의한 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.The deposition of the dielectric on the glass layer formed only in the concave portion, the method of manufacturing a flexible display backlight unit, characterized in that by printing printing technique using a screen mask or vacuum deposition technique using a screen mask. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-3) 단계는,Step (a-3), 서로 접합되는 유리층 내부에 플라즈마 방전이 가능한 기체가 봉입되도록, 플라즈마 방전이 가능한 기체상에서 진행되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.A method of manufacturing a flexible display backlight unit, wherein the plasma discharge is performed in a gaseous phase such that a plasma dischargeable gas is enclosed in a glass layer bonded to each other. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (a-4) 단계는, Step (a-4), 플루오르화크세논(XeF2) 상에 일정한 시간 동안 넣어 식각하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛의 제조방법.Method of manufacturing a flexible display backlight unit characterized in that the etching by putting on a fluorine xenon (XeF 2 ) for a predetermined time. 각각 일면에 금속 박막의 전극을 포함하고, 고분자 점착층이 코팅된 한 쌍의 고분자 기판과;A pair of polymer substrates each including a metal thin film electrode on one surface thereof and coated with a polymer adhesive layer; 상기 한 쌍의 고분자 기판에 개재되고, 상기 전극을 통하여 외부전원과 연결되어 플라즈마 방전에 의해 발광하게 되는 것으로서, 청구항 8의 (a) 단계에 의해 제조된 방전 램프 및;A discharge lamp interposed on the pair of polymer substrates and connected to an external power source through the electrode to emit light by plasma discharge, the discharge lamp manufactured by step (a) of claim 8; 상기 고분자 기판 중, 어느 하나의 고분자 기판에 적층되고, 상기 방전 램프와 전기적으로 연결되며, 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛.The flexible display backlight unit of claim 1, further comprising a printed circuit board stacked on one of the polymer substrates, electrically connected to the discharge lamp, and having flexibility. 일면에 금속 박막의 전극을 포함하는 고분자 점착층이 코팅된 고분자 기판과;A polymer substrate coated with a polymer adhesive layer including an electrode of a metal thin film on one surface thereof; 상기 고분자 기판과 적층되는 것으로서, 양방향으로 전극부가 형성되되, 어느 하나의 전극부는 상기 고분자 기판의 전극을 통하여 외부전원과 연결되고, 다른 하나의 전극부는 유연성을 갖는 박막 금속 또는 금속산화물로 이루어진 전극을 통하여 외부전원과 연결되어 플라즈마 방전에 의해 발광하게 되는 것으로서, 청구항 8의 (a) 단계에 의해 제조된 방전 램프 및;The electrode substrate is stacked with the polymer substrate, and an electrode part is formed in both directions, and one electrode part is connected to an external power source through an electrode of the polymer substrate, and the other electrode part is made of a thin film metal or metal oxide having flexibility. A discharge lamp manufactured by step (a) of claim 8, which is connected to an external power source to emit light by plasma discharge; 상기 방전 램프와 전기적으로 연결되며, 유연성을 갖는 인쇄회로기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 백라이트 유닛.And a printed circuit board electrically connected to the discharge lamp and having a flexibility.
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