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KR101026161B1 - Power supply device for ion implanter - Google Patents

Power supply device for ion implanter Download PDF

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KR101026161B1
KR101026161B1 KR1020080128537A KR20080128537A KR101026161B1 KR 101026161 B1 KR101026161 B1 KR 101026161B1 KR 1020080128537 A KR1020080128537 A KR 1020080128537A KR 20080128537 A KR20080128537 A KR 20080128537A KR 101026161 B1 KR101026161 B1 KR 101026161B1
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high voltage
module
ion implanter
voltage terminal
power
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조용섭
권혁중
김한성
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한국원자력연구원
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Abstract

본 발명은 고전압 터미널의 전력공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고전압 터미널의 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급해주기 위한 전력공급장치에 있어서, 고전압 터미널 내부에 연료 전지 또는 이차 전지 등의 전력공급모듈을 설치하고, 고전압 터미널 외부에 상기 전력공급모듈들의 충전을 위한 충전모듈을 설치함으로써, 전력공급장치의 설치 공간을 줄이고, 전력공급장치의 가동을 지속적으로 유지시킬 수 있는 이온주입기용 전력공급장치에 관한 것이다. The present invention relates to a power supply device for a high voltage terminal, and more particularly, to a power supply device for supplying power to an ion implanter module accommodated inside a high voltage terminal, the power supply of a fuel cell or a secondary battery, etc. in the high voltage terminal. By installing a supply module and installing a charging module for charging the power supply modules outside the high voltage terminal, the power supply for the ion implanter can reduce the installation space of the power supply device and maintain the operation of the power supply device continuously. Relates to a device.

이를 위하여 본 발명은, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지 및 상기 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈을 포함한다.To this end, the present invention, in the device for supplying power to the ion implanter module accommodated in the high voltage terminal, the fuel cell and the high voltage provided in the high voltage terminal accommodated in the ion implanter module to supply power to the ion implanter module It is provided inside the terminal and includes a fuel supply module for supplying fuel to the fuel cell.

또한, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지 및 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어 절연 호스를 통해 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈을 포함한다.In addition, the apparatus for supplying power to the ion implanter module accommodated in the high voltage terminal, the apparatus is provided inside the high voltage terminal in which the ion implanter module is housed outside the fuel cell and the high voltage terminal for supplying power to the ion implanter module And a fuel supply module supplying fuel to the fuel cell through an insulated hose.

또한, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 이차 전지 및 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어, 상기 이차 전지의 방전시, 전력선을 통해 상기 이차 전지를 충전하기 위한 전력을 공급하는 전원을 포함한다.In addition, the apparatus for supplying power to the ion implanter module accommodated inside the high voltage terminal, the ion implanter module is provided inside the high voltage terminal accommodated in the secondary battery for supplying power to the ion implanter module and the outside of the high voltage terminal And a power source for supplying electric power for charging the secondary battery through a power line when the secondary battery is discharged.

이온, 이온빔, 조사, 주입, 모듈, 장치, 연료, 기체, 전력, 고전압, 터미널 Ion, ion beam, irradiation, implantation, module, device, fuel, gas, power, high voltage, terminal

Description

이온주입기용 전력공급장치{A power supply for an ion implanter}A power supply for an ion implanter

본 발명은 고전압 터미널의 전력공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고전압 터미널의 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급해주기 위한 전력공급장치에 있어서, 고전압 터미널 내부에 연료 전지 또는 이차 전지 등의 전력공급모듈을 설치하고, 고전압 터미널 외부에 상기 전력공급모듈들의 충전을 위한 충전모듈을 설치함으로써, 전력공급장치의 설치 공간을 줄이고, 전력공급장치의 가동을 지속적으로 유지시킬 수 있는 이온주입기용 전력공급장치에 관한 것이다. The present invention relates to a power supply device for a high voltage terminal, and more particularly, to a power supply device for supplying power to an ion implanter module accommodated inside a high voltage terminal, the power supply of a fuel cell or a secondary battery, etc. in the high voltage terminal. By installing a supply module and installing a charging module for charging the power supply modules outside the high voltage terminal, the power supply for the ion implanter can reduce the installation space of the power supply device and maintain the operation of the power supply device continuously. Relates to a device.

일반적으로 이온 주입기는 이온원으로부터 발생하는 이온빔을 가속 모듈을 통해 가속하여 대상 물체에 조사시키는 장치이다.In general, an ion implanter is a device that accelerates an ion beam generated from an ion source through an acceleration module and irradiates a target object.

이러한 이온 주입기는 고전압 방전을 방지하기 위해 금속으로 된 통, 즉 고전압 터미널을 애자 등의 절연체를 이용하여 접지로부터 절연하고 그 내부에 이온 주입기 모듈들이 설치되어 진다.In order to prevent high voltage discharge, the ion implanter insulates a metal tube, that is, a high voltage terminal from the ground using an insulator such as insulator, and ion implanter modules are installed therein.

이와 같은 고전압 터미널 내에 설치된 이온 주입기 모듈들은 전력을 공급받 아 이온 주입 공정을 수행하는데, 이들 이온 주입기 모듈들을 운전하기 위한 전력공급장치로는 절연 변압기 또는 전동기-절연봉-발전기 등이 주로 사용되고 있다.The ion implanter modules installed in the high voltage terminal are supplied with power to perform an ion implantation process. As an electric power supply device for operating the ion implanter modules, an isolation transformer or a motor-insulation rod generator is mainly used.

그러나, 절연 변압기의 경우, 고전압 터미널에 수백 kV이상의 전압을 인가할 시 충분한 절연 특성을 얻기 어려워 장치의 제작이 어려워지는데, 이는 통상적으로 고전압 터미널에 100kV 이상의 고전압을 인가하는 경우에는 고체 절연을 이용할 시 절연 성능 등에 한계가 있어 공기 절연을 사용하게 됨으로써, 상술한 바와 같은 공기 절연의 절연 변압기를 설치할 경우, 장치 자체가 매우 커지게 되어 전체 장치 제작에 어려움이 따르게 된다.However, in the case of an isolation transformer, it is difficult to obtain sufficient insulation characteristics when applying a voltage of more than several hundred kV to a high voltage terminal, which makes it difficult to fabricate a device, which is typically used when solid insulation is used when a high voltage of 100 kV or more is applied to a high voltage terminal. Since the insulation performance is limited and air insulation is used, when the insulation transformer of air insulation as described above is installed, the device itself becomes very large, and thus, the entire apparatus is difficult to manufacture.

전동기-절연봉-발전기의 경우 기계적인 진동 발생 및 주기적인 보수가 요구되는 단점이 있으며, 이러한 전동기-절연봉-발전기에 대한 상세한 설명은 도 1을 통해 상세하게 설명하기로 한다.In the case of the motor-insulation rod generator, mechanical vibrations are generated and periodic maintenance is required. A detailed description of the motor-insulation rod generator will be described in detail with reference to FIG. 1.

도 1은 종래의 이온주입기용 전력공급장치(20)의 일실시예를 보여주는 도면이다.1 is a view showing an embodiment of a power supply device 20 for a conventional ion implanter.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 이온주입기용 전력공급장치(20)는 고전압 터미널(10)의 일측에 형성되어 있으며, 회전운동의 동력을 발생시키는 전동기(21), 전동기(21)로부터 전달되는 회전동력을 발전기(23)에 전달하는 절연봉(22) 및 절연봉(22)의 회전에 따라 구동되어 전력을 생산하는 발전기(23)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, the conventional ion implanter power supply device 20 is formed on one side of the high voltage terminal 10 and is transmitted from the electric motor 21 and the electric motor 21 to generate power of a rotational motion. It is composed of a generator 23 that is driven in accordance with the rotation of the insulating rod 22 and the insulating rod 22 to transmit the rotating power to the generator 23 to produce electric power.

이러한 전력공급장치(20)는 전동기(21)에서 발생되는 동력에 의해 발전기(23)에서 전력이 생산되어 지는 바, 이때, 전동기(21)에서 발생되는 기계적인 진동은 전력공급장치(20)를 구성하는 전체 구성 부품에 전달되어, 구성 부품간의 결 합을 점차적으로 해제시키게 된다.The power supply device 20 is the power is produced in the generator 23 by the power generated in the electric motor 21, at this time, the mechanical vibration generated in the electric motor 21 is the power supply device 20 It is transmitted to all the constituent parts of the constituent element, thereby gradually releasing the union between the constituent parts.

이에 따라, 장치의 안전한 운전을 위한 주기적인 보수 작업이 요구되어 지며, 이에 따른 보수 비용 및 작업 시간이 소모되어 지는 문제점이 있다.Accordingly, the periodic maintenance work for the safe operation of the device is required, there is a problem that the maintenance cost and work time is consumed accordingly.

또한, 상술한 종래의 전력공급장치(20)는 고전압 터미널(10)의 외부에 형성됨으로써, 장치 설치에 따른 별도의 설치 공간이 요구되어 지는 문제점도 있다. In addition, the above-described conventional power supply device 20 is formed outside the high voltage terminal 10, there is also a problem that requires a separate installation space according to the installation of the device.

본 발명은 상기한 종래기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것이다. 즉, 본 발명의 목적은 이온 주입기 모듈이 내부에 수용된 고전압 터미널에 전력을 공급해주기 위한 전력공급장치에 있어서, 고전압 터미널 내부에 연료 전지 또는 이차 전지 등의 전력공급모듈을 설치하고, 고전압 터미널 외부에 상기 전력공급모듈들의 충전을 위한 충전모듈을 설치함으로써, 전력공급장치의 설치 공간을 줄이고, 주기적인 보수 작업 없이 전력공급장치의 가동을 지속적으로 유지하는 데에 있다.The present invention is to solve the above problems according to the prior art. That is, an object of the present invention is to provide a power supply device for supplying power to a high voltage terminal housed in the ion implanter module, the power supply module such as a fuel cell or a secondary battery installed inside the high voltage terminal, outside the high voltage terminal By installing a charging module for charging the power supply module, it is to reduce the installation space of the power supply device, and to continuously maintain the operation of the power supply device without periodic maintenance work.

상기의 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로서의 본 발명은, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지 및 상기 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈을 포함하여 구성된다.In accordance with an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for supplying power to an ion implanter module accommodated in a high voltage terminal, the apparatus being provided inside a high voltage terminal in which the ion implanter module is housed. And a fuel supply module provided inside the high voltage terminal and supplying fuel to the fuel cell.

또한, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지 및 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어 절연 호스를 통해 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈을 포함하여 구성된다. 또한, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 이차 전지 및 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어, 상기 이차 전지의 방전시, 전력선을 통해 상기 이차 전지를 충전하기 위한 전력을 공급하는 전원을 포함하여 구성된다.In addition, the apparatus for supplying power to the ion implanter module accommodated in the high voltage terminal, the apparatus is provided inside the high voltage terminal in which the ion implanter module is housed outside the fuel cell and the high voltage terminal for supplying power to the ion implanter module And a fuel supply module for supplying fuel to the fuel cell through an insulated hose. In addition, the apparatus for supplying power to the ion implanter module accommodated inside the high voltage terminal, the ion implanter module is provided inside the high voltage terminal accommodated in the secondary battery for supplying power to the ion implanter module and the outside of the high voltage terminal And a power source for supplying electric power for charging the secondary battery through a power line when the secondary battery is discharged.

본 발명에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 터미널 내부의 이온 주입기 모듈에 전력을 공급해주는 전력공급모듈을 고전압 터미널 내부에 설치함으로 써, 전력공급장치의 설치에 따른 별도의 설치 공간이 불필요한 효과가 있다.The power supply device for the ion implanter according to the present invention by installing a power supply module for supplying power to the ion implanter module inside the high voltage terminal inside the high voltage terminal, there is no need for a separate installation space according to the installation of the power supply device have.

또한, 본 발명에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 터미널 내부에 설치된 전력공급모듈의 충전을 위한 충전모듈을 고전압 터미널 외부에 설치하여 전력공급모듈에 전력원을 직접적으로 공급함으로써 전력공급모듈의 가동을 지속적으로 유지시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the power supply device for the ion implanter according to the present invention by installing a charging module for charging the power supply module installed inside the high voltage terminal outside the high voltage terminal to supply the power source directly to the power supply module to operate the power supply module It is effective to keep it constant.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치를 보여주는 도면이다.2 is a view showing a power supply device for an ion implanter according to a first embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 터미널(100) 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지(200) 및 상기 연료 전지(200)에 연료를 공급해주는 연료공급모듈(300)로 구성된다.As shown in FIG. 2, an ion implanter power supply apparatus according to a first embodiment of the present invention includes a fuel cell 200 and a fuel cell for supplying power to an ion implanter module accommodated in a high voltage terminal 100. It is composed of a fuel supply module 300 for supplying fuel to the 200.

연료 전지(200)는 고전압 터미널(100) 내부에 위치되며, 고전압 절연 성능이 우수한 기체 연료를 사용하여 전력을 생산한다.The fuel cell 200 is located inside the high voltage terminal 100 and generates electric power using gaseous fuel having excellent high voltage insulation performance.

이러한 연료 전지(200)의 일단에는, 연료 전지(200)의 전력원인 기체 연료를 연료 전지(200)에 공급해주는 연료공급모듈(300)이 연결되어 지는데, 상술한 바와 같은 연료공급모듈(300)은 내부에 수소 등의 기체 연료를 저장하여 상기 기체 연료 를 연료 전지(200)에 충전시켜준다.One end of the fuel cell 200, the fuel supply module 300 for supplying the gas fuel, which is the power source of the fuel cell 200 to the fuel cell 200 is connected, the fuel supply module 300 as described above Silver stores gaseous fuel, such as hydrogen, in the fuel cell 200.

이와 같이, 본 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치에서는 연료 전지(200) 및 연료 전지에 기체 연료를 공급해주는 연료공급모듈(300)이 고전압 터미널(100)의 내부에 위치됨으로써, 고전압 터미널(100)의 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 전력공급장치의 설치 공간이 불필요해 진다. As such, in the power supply device for the ion implanter according to the present embodiment, the fuel cell 200 and the fuel supply module 300 for supplying gaseous fuel to the fuel cell are positioned inside the high voltage terminal 100, thereby providing a high voltage terminal ( The installation space of the power supply device for supplying power to the ion implanter module housed inside of 100) becomes unnecessary.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치를 보여주는 도면이다.3 is a view showing a power supply device for an ion implanter according to a second embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 전술한 제1 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치의 연료 전지(200) 및 연료공급모듈(300)과 그 구성은 동일하나, 본 실시예에서는 연료공급모듈(300)이 고전압 터미널(100) 외부에 형성되어 절연 호스(400)를 통해 연료 전지(200)와 연결되어 진다.As shown in FIG. 3, the power supply device for an ion implanter according to the second embodiment of the present invention includes the fuel cell 200 and the fuel supply module 300 of the power supply device for the ion implanter according to the first embodiment described above. ) And the same configuration, but in this embodiment, the fuel supply module 300 is formed outside the high voltage terminal 100 and connected to the fuel cell 200 through the insulation hose 400.

다시 말해서, 연료 전지(200)는 고전압 터미널(100) 내부에 위치되고, 내부에 수소 등의 기체 연료를 저장하는 연료공급모듈(300)은 고전압 터미널(100) 외부에 위치되며, 연료 전지(200) 및 연료공급모듈(300) 사이에는 절연 호스(400)가 구비되어, 연료공급모듈(300) 내의 기체 연료가 절연 호스(400)를 통해 연료 전지(200)로 이송되어 진다.In other words, the fuel cell 200 is located inside the high voltage terminal 100, the fuel supply module 300 storing gaseous fuel such as hydrogen therein is located outside the high voltage terminal 100, and the fuel cell 200 And an insulation hose 400 are provided between the fuel supply module 300 and the gaseous fuel in the fuel supply module 300 is transferred to the fuel cell 200 through the insulation hose 400.

이때, 절연 호스(400)는 플라스틱 또는 세라믹 재질 등으로 이루어진다.At this time, the insulation hose 400 is made of a plastic or ceramic material.

상술한 바와 같은 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 절연 특성이 우수한 절연 호스(400)를 통해 기체 연료를 연료 전지(200)에 공급함으로써, 연료 전 지(200)의 고전압 운전이 용이하도록 하고, 또한, 연료 전지(200)의 무기한 연속 운전이 가능하도록 해준다.As described above, the ion implanter power supply device supplies gaseous fuel to the fuel cell 200 through an insulating hose 400 having excellent high voltage insulation characteristics, thereby facilitating high voltage operation of the fuel cell 200. In addition, the fuel cell 200 enables continuous continuous operation.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치를 보여주는 도면이다.4 is a view showing a power supply device for an ion implanter according to a third embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 터미널(100) 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 이차 전지(500) 및 이차 전지(500)의 방전시, 전력선(600)을 통해 상기 이차 전지(500)를 충전하기 위한 전력을 공급하는 전원(700)으로 구성된다.As shown in FIG. 4, the ion implanter power supply device according to the third embodiment of the present invention includes a secondary battery 500 and a secondary battery 500 that supply power to an ion implanter module accommodated in a high voltage terminal 100. At the time of discharging), the power supply 700 supplies power for charging the secondary battery 500 through the power line 600.

이차 전지(500)는 이온 주입기 모듈의 동작 시, 운전에 요구되는 전력을 공급하며, 내부 충전 전력이 방전되어 충전이 요구되는 경우, 외부에 구비된 전원(700)으로부터 전력을 공급받아 충전되어 재사용되어 진다.The secondary battery 500 supplies power required for operation during operation of the ion implanter module, and when the internal charging power is discharged to be charged, the secondary battery 500 is supplied with power from an external power source 700 and charged and reused. It is done.

다만, 상술한 바와 같이, 외부에 구비된 전원(700)으로부터 전력을 전력선(600)을 통해 공급받아 이차 전지(500)를 충전하기 위해서는, 운전중 고전압 터미널(100)에 인가되는 고전압 특성으로 인해, 이온 주입기의 이온빔 조사 과정이 정지되는 경우에 한하여 충전을 수행하여야 한다는 문제가 있어, 이온 주입기 모듈의 운전 중에는, 이차 전지(500)에 전력을 공급하지 못하므로, 장시간의 연속 운전이 어렵다는 문제점이 있다.However, as described above, in order to charge the secondary battery 500 by receiving power from the power source 700 provided through the power line 600, due to the high voltage characteristic applied to the high voltage terminal 100 during operation. The problem is that charging should be performed only when the ion beam irradiation process of the ion implanter is stopped. During operation of the ion implanter module, power cannot be supplied to the secondary battery 500. Therefore, continuous operation for a long time is difficult. have.

그러나, 통상적으로 대상 시료의 잦은 교체가 동반되는 실험용 이온빔 조사 과정에서는 이온빔의 조사 시간이 짧고, 조사가 정지되는 간격을 이용하여 충전하는 것도 가능하므로, 상술한 이차 전지(500)도 유용하게 사용할 수 있다. However, in the experimental ion beam irradiation process, which is often accompanied by frequent replacement of the target sample, since the irradiation time of the ion beam is short and it is possible to charge using the interval at which the irradiation is stopped, the secondary battery 500 described above may also be usefully used. have.

또한, 이차 전지(500)는 고전압 터미널(100)의 내부에 위치되어 이온 주입기 모듈에 전력을 공급해줌으로써 전체 장치의 설치 공간을 효율적으로 활용할 수 있다.In addition, the secondary battery 500 may be located inside the high voltage terminal 100 to supply power to the ion implanter module, thereby effectively utilizing the installation space of the entire apparatus.

이와 같이, 본 발명에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 터미널(100) 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급해주는 연료 전지(200) 또는 이차 전지(500) 등의 전력공급모듈을 고전압 터미널(100) 내부에 설치함으로써, 전력공급장치의 설치에 따른 별도의 설치 공간이 불필요해진다.As such, the power supply device for an ion implanter according to the present invention uses a power supply module such as a fuel cell 200 or a secondary battery 500 to supply power to an ion implanter module accommodated in the high voltage terminal 100. 100) By installing inside, there is no need for a separate installation space according to the installation of the power supply device.

또한, 본 발명에 따른 이온주입기용 전력공급장치는 고전압 터미널(100) 내부에 설치된 전력공급모듈의 충전을 위한 충전 모듈을 고전압 터미널(100) 외부에 설치하여 전력공급모듈에 전력원을 직접적으로 공급함으로써 전력공급모듈을 연속적으로 운전시킬 수 있다.In addition, the power supply device for the ion implanter according to the present invention by installing a charging module for charging the power supply module installed in the high voltage terminal 100 outside the high voltage terminal 100 to supply a power source directly to the power supply module. Thus, the power supply module can be operated continuously.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백하다 할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have knowledge of God.

도 1은 종래의 이온주입기용 전력공급장치의 일실시예를 보여주는 도면.1 is a view showing an embodiment of a power supply device for a conventional ion implanter.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치를 보여주는 도면.2 is a view showing a power supply device for an ion implanter according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치를 보여주는 도면.3 is a view showing a power supply device for an ion implanter according to a second embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 이온주입기용 전력공급장치를 보여주는 도면.4 is a view showing a power supply device for an ion implanter according to a third embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10, 100 : 고전압 터미널 20,: 전력공급장치10, 100: high voltage terminal 20 ,: power supply

21 : 전동기 22 : 절연봉21: electric motor 22: insulated rod

23 : 발전기 200 : 연료 전지23: generator 200: fuel cell

300 : 연료공급모듈 400 : 절연 호스300: fuel supply module 400: insulated hose

500 : 이차 전지 600 : 전력선500: secondary battery 600: power line

700 : 전원 700: power

Claims (5)

고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서,An apparatus for powering an ion implanter module housed inside a high voltage terminal, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지; 및A fuel cell provided inside the high voltage terminal in which the ion implanter module is accommodated to supply power to the ion implanter module; And 상기 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈;A fuel supply module provided in the high voltage terminal to supply fuel to the fuel cell; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 전력공급장치.Power supply device for an ion implanter, characterized in that comprises a. 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서,An apparatus for powering an ion implanter module housed inside a high voltage terminal, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지; 및A fuel cell provided inside the high voltage terminal in which the ion implanter module is accommodated to supply power to the ion implanter module; And 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어 절연 호스를 통해 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈;A fuel supply module provided outside the high voltage terminal to supply fuel to the fuel cell through an insulated hose; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 전력공급장치.Power supply device for an ion implanter, characterized in that comprises a. 제 1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 연료 전지는 수소 연료 전지인 것을 특징으로 하는 이온주입기용 전력공급장치. And the fuel cell is a hydrogen fuel cell. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 절연 호스는 플라스틱 또는 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 전력공급장치. The insulation hose is a power supply device for an ion implanter, characterized in that formed of plastic or ceramic material. 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서,An apparatus for powering an ion implanter module housed inside a high voltage terminal, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 이차 전지; 및A secondary battery provided inside the high voltage terminal accommodating the ion implanter module to supply power to the ion implanter module; And 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어, 상기 이차 전지의 방전시, 전력선을 통해 상기 이차 전지를 충전하기 위한 전력을 공급하는 전원;A power source provided outside the high voltage terminal to supply electric power for charging the secondary battery through a power line when the secondary battery is discharged; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기용 전력공급장치.Power supply device for an ion implanter, characterized in that comprises a.
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