[go: up one dir, main page]

KR101019032B1 - 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법 - Google Patents

웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101019032B1
KR101019032B1 KR1020100082024A KR20100082024A KR101019032B1 KR 101019032 B1 KR101019032 B1 KR 101019032B1 KR 1020100082024 A KR1020100082024 A KR 1020100082024A KR 20100082024 A KR20100082024 A KR 20100082024A KR 101019032 B1 KR101019032 B1 KR 101019032B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wastewater
permeate
valve
storage tank
backwash
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020100082024A
Other languages
English (en)
Inventor
김성수
권혁윤
박병재
김남호
박진태
Original Assignee
주식회사 시노펙스케미코아
주식회사 시노펙스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 시노펙스케미코아, 주식회사 시노펙스 filed Critical 주식회사 시노펙스케미코아
Priority to KR1020100082024A priority Critical patent/KR101019032B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101019032B1 publication Critical patent/KR101019032B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/02—Hollow fibre modules
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B01D65/02—Membrane cleaning or sterilisation ; Membrane regeneration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2221/00—Applications of separation devices
    • B01D2221/14—Separation devices for workshops, car or semiconductor industry, e.g. for separating chips and other machining residues
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2321/00—Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/04—Backflushing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

본 발명은 웨이퍼 절삭가공시 발생되는 가공폐수를 재활용하기 위하여 상기 가공폐수를 중공사형 분리막을 이용하여 고형물질과 액상물질로 분리하고, 상기 중공사형 분리막 표면에 축적된 고형물질을 세정ㆍ처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법은 분리막에 축적된 고형물질을 투과액 흐름방향의 역방향과 폐수 흐름방향의 역방향으로 동시에 세척하게 되므로 세척효율이 증대되고, 분리막이 내장된 필터부의 액체 흐름 정체공간에 잔류할 수 있는 고형물질이 분리막 세척과 함께 제거되므로 분리막의 여과효율이 증가하며, 웨이퍼 가공폐수에 함유된 고형물질 및 액상물질을 서로 분리하여 고형물질인 연마제와 액상물질인 파라핀 또는 글리콜 등 오일성분, 계면활성제, 분산제, 증점제 등이 함유된 절삭유 또는 오일성분 미함유 세척액을 재활용할 수 있으므로 웨이퍼 제조원가 절감에 기여할 수 있다.

Description

웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법{treatment apparatus and method for wafer waste water}
본 발명은 웨이퍼 절삭가공시 발생되는 가공폐수를 재활용하기 위하여 상기 가공폐수를 중공사형 분리막을 이용하여 고형물질과 액상물질로 분리하고, 상기 중공사형 분리막 표면에 축적된 고형물질을 세정ㆍ처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 정보통신 및 반도체 산업의 발전과 석유 에너지 고갈, 지구온난화 방지를 위한 태양열 에너지를 이용하는 산업이 급부상하면서 실리콘 웨이퍼의 수요가 급증하고 있는 추세이다.
일반적으로 실리콘 웨이퍼는 실리콘 잉곳(sillicon ingot)에 절삭유와 연마재를 혼합한 절삭액을 절단 가공면에 연속적으로 공급하면서 와이어 소우(wire saw)로 절삭하여 제조된다.
통상 와이어 소우에 사용되는 절삭유는 석유계의 파라핀 오일을 주성분으로 하고 여기에 계면 활성제와 분산제, 증점제 등을 혼합한 물질로 구성되며, 상기 절삭유에 탄화규소, 산화 알류미늄, 이산화규소 등의 연마재가 고르게 분산되어 절삭액을 구성하고 있다.
또한, 절삭공정 후 절삭액이 묻어 있는 웨이퍼를 용이하게 세정하기 위하여 상기 파라핀 오일 대신에 수용성 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol) 또는 폴리프로필렌글리콜(polypropylene glycol)에 연마재를 혼합한 절삭액을 사용하기도 한다.
상기 절삭유는 와이어와 잉곳 사이에 연마재가 균일하게 들어가게 하고 절삭과정에서 발생되는 마찰열을 냉각시키고 윤활작용의 역할을 한다.
상기 절삭과정에서는 필연적으로 절삭분(切削粉)이 발생되고 이렇게 발생된 절삭분은 절삭액에 섞여 절삭액 용기 내에서 침적되거나, 연마재와 함께 절단 가공면에 공급되어 웨이퍼의 절삭면이 뒤틀리거나 휘어지는 등 웨이퍼의 품질을 저하시키는 문제가 발생한다.
따라서 일정기간 사용하여 성능이 저하된 절삭액은 폐기처분하게 되는데 이로 인해 웨이퍼의 생산원가가 증가하게 되며, 폐 절삭액은 절삭분과 절삭유를 함유하므로 소각 처리할 경우 대기오염이 발생할 수 있고, 단순 매립의 경우에는 심각한 토양오염이 우려된다.
또한, 절삭이 완료된 웨이퍼를 세정하면 세정폐수가 발생하는데, 상기 세정폐수에는 절삭과정에서 사용된 절삭액이 함유되어 상기와 같은 오염문제가 상존하고 있다.
이에 따라 폐 절삭액 및 세정폐수 등 웨이퍼 가공폐수의 재생에 관한 연구가 활발히 진행되고 있으며, 근래에는 웨이퍼 가공폐수에 포함되어 있는 연마재, 절삭분 및 절삭유를 회수하여 재사용하는 방안이 제시되고 있다.
이러한 방안의 일환으로서 분리막을 이용한 처리방법이 있는데, 안정적인 처리수질 확보, 경제성 및 청정기술이라는 면에서 많이 이용되고 있다.
상기 분리막은 분자의 크기 또는 분자와 분리막 간의 반발력 등에 따라 물질을 분리하는 장치로서 분리막의 종류에는 역삼투막, 나노여과막, 한외여과막, 정밀여과막, 이온교환막, 기체분리막, 투과증발막 등이 있다.
분리막 모듈의 형태에는 평판형, 관형, 나권형, 중공사형 등의 여러 종류가 있는데, 이 중에서 중공사형 분리막 모듈은 막 자체를 지지할 수 있는 가는 관의 안쪽 또는 바깥쪽에 분리막의 표면층이 있는 중공사막의 다발 형태이다.
중공사형 분리막 모듈의 여과 원리는, 내측 또는 외측으로 들어온 액이 가압되어 분리막을 투과하면서 분리막의 세공(pore)보다 큰 입자는 분리막에 포획되고 분리막의 세공보다 작은 입자는 분리막을 통과하여 서로 분리되도록 하는 것이다.
여과를 계속하게 되면 분리막 표면 또는 세공 표면에 입자성 또는 용존성 물질이 부착되어 분리막의 세공이 막히게 되고 분리막을 통과하는 여과액의 유량이 점차적으로 감소하게 된다.
이러한 막오염을 방지하기 위하여 분리막 여과 운전 도중에 주기적으로 분리막의 표면을 세척하거나 분리막 세공을 통하여 세척수를 여과 방향의 역방향으로 통과시키는 역세척으로 막의 여과 성능을 회복하여야 한다.
상기 역세척을 위한 세척수로는 여과하고자 하는 폐수의 종류에 따라 달라지나, 일반적으로 여과된 투과수 또는 투과수에 산, 알칼리, 무기 및 유기세제 등의 세척제를 혼합한 용액이 이용되며, 이러한 세척수를 펌프 등으로 가압하여 역세척을 수행한다.
그러나 종래의 역세척 방법은 분리막 여과방향의 반대방향으로 세척수를 흘려보내 분리막 표면의 고형물질을 제거하게 되는데, 초기 가동 후 운전 및 역세척이 반복됨에 따라 분리막 표면에 고형물질이 점점 고착되는 현상이 발생하고 이에 따라 역세척을 하여도 여과효율이 점점 저하되는 현상이 나타난다.
따라서 여과효율을 일정 수준 이상으로 유지하기 위하여 역세척 시간을 늘리거나 역세척 간격을 단축하게 되며, 나중에는 결국 분리막을 분해하여 고형물질을 제거해야 하므로 그만큼 운전시간이 줄어드는 단점이 있다.
따라서 이러한 중공사형 분리막을 오랫동안 연속운전하기 위하여는, 역세척 효율이 시간이 지남에 따라 저하되는 것을 방지할 수 있는 폐수 처리장치 및 처리방법의 개발이 요구되고 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는 웨이퍼 절삭가공공정에서 발생하는 폐수에 함유된 절삭유, 연마제, 절삭분 등을 중공사형 분리막으로 분리하여 재활용하고, 상기 분리과정에서 중공사형 분리막에 축적되는 고형물질을 효율적으로 세정ㆍ처리할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 폐수를 저장하는 폐수저장조(10); 상기 폐수저장조(10)의 폐수를 공급받아 내장된 중공사형 분리막을 이용하여 여과하는 필터부(20); 상기 필터부(20)의 폐수가 중공사형 분리막을 투과하면서 여과된 투과액을 저장하는 투과액저장조(30); 및 상기 필터부(20)를 세척하기 위한 공기압축기(40)를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치를 제공한다.
이때, 상기 필터부(20)는, 내부공간을 갖는 관형의 몸체(21); 상기 몸체(21)의 내부공간에 설치되어 폐수 중의 작은 크기의 입자물질을 투과시키는 복수 개의 중공사형 분리막(22); 상기 몸체(21)의 하단부에 설치되어 상기 폐수저장조(10)의 폐수가 인입되는 인입노즐(23); 상기 몸체(21)의 상단부에 설치되어 상기 분리막(22)을 통과하지 못한 폐수가 유출되는 유출노즐(24); 상기 몸체(21)의 외주면 상부에 설치되어 폐수가 상기 분리막(22)을 투과하여 여과된 투과액을 배출하는 투과액노즐(25); 및 상기 몸체(21)의 외주면 하부에 설치되고 상기 분리막(22)을 세척하기 위한 역세노즐(26)을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 폐수저장조(10)는, 일단이 상기 인입노즐(23)과 접속되고 도중에 폐수이송펌프(11)가 개재되어 있는 폐수공급관(L1)의 타단이 접속되어 상기 필터부(20)와 유통가능하게 연결되고; 상기 폐수공급관(L1)의 인입노즐(23)과 이송펌프(11) 도중에는 폐수유입밸브(V1)가 개재되고, 상기 폐수공급관(L1)의 인입노즐(23)과 상기 폐수유입밸브(V1) 도중에는, 일단이 외부와 유통하고 도중에 배수밸브(V6)가 개재된 배수관(L6)의 타단이 접속되어 있으며; 상기 필터부(20)의 유출노즐(24)은 일단이 상기 폐수저장조(10)와 접속되고 도중에 폐수유출밸브(V2)가 개재되어 있는 폐수회수관(L2)의 타단이 접속되어 상기 폐수저장조(10)와 유통가능하게 연결되어 있으며; 상기 필터부(20)의 투과액노즐(25)은 일단이 상기 투과액저장조(30)와 접속되고 도중에 투과액밸브(V3)가 개재되어 있는 투과액이송관(L3)의 타단이 접속되어 상기 투과액저장조(30)와 유통가능하게 연결되어 있으며; 상기 필터부(20)의 역세노즐(26)은 일단이 상기 투과액저장조(30)와 접속되고 도중에 역세펌프(31)가 개재되어 있는 역세관(L4)의 타단이 접속되어 상기 투과액저장조(30)와 유통가능하게 연결되고, 상기 역세관(L4)의 역세노즐(26)과 역세펌프(31) 도중에는 역세밸브(V4)가 개재되어 있으며; 일단이 상기 폐수회수관(L2)의 유출노즐(24)과 폐수유출밸브(V2) 사이에 접속되고 타단이 상기 역세관(L4)의 역세밸브(V4)와 역세펌프(31) 도중에 접속되어 서로 유통가능하게 연결되며 도중에 정세밸브(V7)가 개재된 정세관(L7)이 설치되어 있으며; 일단이 상기 폐수회수관(L2)의 유출노즐(24)과 폐수유출밸브(V2) 사이에 접속되고 타단이 상기 공기압축기(40)에 접속되어 유통가능하게 연결되며 도중에 공기공급밸브(V8)가 개재된 공기공급관(L8)이 설치되어 있는 것이 더욱 바람직하다.
또한, 일단이 상기 역세관(L4)의 역세펌프(31)와 역세밸브(V4) 사이에 접속되고 타단이 상기 투과액이송관(L3)의 투과액노즐(25)과 투과액밸브(V3) 사이에 접속되어 서로 유통가능하게 연결되며 도중에 분기밸브(V5)가 개재된 분기관(L5)이 더 설치되는 것이 더욱더 바람직하다.
또한, 일단이 상기 투과액저장조(30)에 접속되고 타단이 상기 정세밸브(V7) 상류단의 정세관(L7)에 접속되며 도중에 펌프가 개재된 설비가 추가되는 것이 좀더 바람직하다.
또한, 본 발명은 폐수를 저장하는 폐수저장조, 상기 폐수저장조의 폐수를 공급받아 내장된 중공사형 분리막을 이용하여 여과하는 필터부, 상기 필터부에 공급된 폐수가 중공사형 분리막을 투과하면서 여과된 투과액을 저장하는 투과액저장조 및 상기 필터부를 세척하기 위한 공기압축기를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치를 운전하기 위한 방법에 있어서, 상기 필터부의 폐수공급을 차단하고 필터부 내부의 폐수를 외부로 배출하는 단계; 및 상기 투과액저장조의 투과액을 필터부의 중공사형 분리막에 상기 폐수가 투과하는 흐름방향의 역방향으로 공급하는 동시에, 상기 공기압축기에서 가압된 공기를 필터부의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 폐수를 저장하는 폐수저장조, 상기 폐수저장조의 폐수를 공급받아 내장된 중공사형 분리막을 이용하여 여과하는 필터부, 상기 필터부에 공급된 폐수가 중공사형 분리막을 투과하면서 여과된 투과액을 저장하는 투과액저장조 및 상기 필터부를 세척하기 위한 공기압축기를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치를 운전하기 위한 방법에 있어서, 상기 필터부의 폐수공급을 차단하고 필터부 내부의 폐수를 외부로 배출하는 단계; 상기 공기압축기에서 가압된 공기를 필터부의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계; 상기 공기공급을 차단하고, 상기 투과액저장조의 투과액을 필터부의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계; 상기 투과액 공급을 차단하고, 상기 투과액저장조의 투과액을 필터부의 중공사형 분리막에 상기 폐수가 투과하는 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리방법을 제공한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법은 분리막에 축적된 고형물질을 투과액 흐름방향의 역방향과 폐수 흐름방향의 역방향으로 동시에 세척하게 되므로 세척효율이 증대된다.
또한, 분리막이 내장된 필터부의 액체 흐름 정체공간에 잔류할 수 있는 고형물질이 분리막 세척과 함께 제거되므로 분리막의 여과효율이 증가한다.
또한, 본 발명은 웨이퍼 가공폐수에 함유된 고형물질 및 액상물질을 서로 분리하여 고형물질인 연마제와 액상물질인 파라핀 또는 글리콜 등 오일성분, 계면활성제, 분산제, 증점제 등이 함유된 절삭유 또는 오일성분 미함유 세척액을 재활용할 수 있으므로 웨이퍼 제조원가 절감에 기여할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 가공폐수 처리장치의 개념도이다.
도 2는 글리콜 성분이 함유된 폐수를 여과공정과 역세공정을 번갈아 실시하면서 투과액의 유량을 측정하여 나타낸 도면이다.
도 3은 글리콜 성분이 함유되지 않은 폐수를 여과공정과 역세공정을 번갈아 실시하면서 투과액의 유량을 측정하여 나타낸 도면이다.
도 4는 글리콜 성분이 함유된 폐수를 역세와 공기세척을 동시에 실시하면서 투과액의 유량을 측정하여 나타낸 도면이다.
도 5는 글리콜 성분이 함유되지 않은 폐수를 역세와 공기세척을 동시에 실시하면서 투과액의 유량을 측정하여 나타낸 도면이다.
도 6은 글리콜 성분이 함유된 폐수를 공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시하면서 투과액의 유량을 측정하여 나타낸 도면이다.
도 7은 글리콜 성분이 함유되지 않은 폐수를 공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시하면서 투과액의 유량을 측정하여 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 도 1을 참조하여 상세히 설명한다.
단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐, 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 치환 및 균등한 타 실시예로 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
도 1에는 본 실시예의 웨이퍼 가공폐수 처리장치가 부호 100으로서 지시되어 있다.
상기 분리막 장치(100)는 폐수를 저장하는 폐수저장조(10), 상기 폐수저장조(10)의 폐수를 공급받아 내장된 중공사형 분리막을 이용하여 여과하는 필터부(20), 상기 필터부(20)의 폐수가 중공사형 분리막을 투과하면서 여과된 투과액을 저장하는 투과액저장조(30); 및 상기 필터부(20)를 세척하기 위한 공기압축기(40)를 포함한다.
상기 필터부(20)는 내부공간을 갖는 관형의 몸체(21), 상기 몸체(21)의 내부공간에 설치되어 폐수 중의 작은 크기의 입자물질을 투과시키는 복수 개의 중공사형 분리막(22), 상기 몸체(21)의 하단부에 설치되어 상기 폐수저장조(10)의 폐수가 인입되는 인입노즐(23), 상기 몸체(21)의 상단부에 설치되어 상기 분리막(22)을 통과하지 못한 폐수가 유출되는 유출노즐(24), 상기 몸체(21)의 외주면 상부에 설치되어 폐수가 상기 분리막(22)을 투과하여 여과된 투과액을 배출하는 투과액노즐(25) 및 상기 몸체(21)의 외주면 하부에 설치되고 상기 분리막(22)을 세척하기 위한 역세노즐(26)을 포함한다.
삭제
또한, 상기 필터부(20)는 폐수가 하부로부터 인입되어 상부로 유출되도록 수직방향으로 설치될 수도 있으며, 폐수가 일측방에서 인입되어 타측방으로 유출되도록 수평방향으로 설치될 수도 있다.
상기 폐수저장조(10)는, 일단이 상기 인입노즐(23)과 접속되고 도중에 폐수이송펌프(11)가 개재되어 있는 폐수공급관(L1)의 타단이 접속되어 상기 필터부(20)와 유통가능하게 연결되어 있다.
상기 폐수공급관(L1)의 인입노즐(23)과 이송펌프(11) 도중에는 폐수유입밸브(V1)가 개재되고, 상기 폐수공급관(L1)의 인입노즐(23)과 상기 폐수유입밸브(V1) 도중에는, 일단이 외부와 유통하고 도중에 배수밸브(V6)가 개재된 배수관(L6)의 타단이 접속되어 있다.
상기 필터부(20)의 유출노즐(24)은 일단이 상기 폐수저장조(10)와 접속되고 도중에 폐수유출밸브(V2)가 개재되어 있는 폐수회수관(L2)의 타단이 접속되어 상기 폐수저장조(10)와 유통가능하게 연결되어 있다.
상기 필터부(20)의 투과액노즐(25)은 일단이 상기 투과액저장조(30)와 접속되고 도중에 투과액밸브(V3)가 개재되어 있는 투과액이송관(L3)의 타단이 접속되어 상기 투과액저장조(30)와 유통가능하게 연결되어 있다.
상기 필터부(20)의 역세노즐(26)은 일단이 상기 투과액저장조(30)와 접속되고 도중에 역세펌프(31)가 개재되어 있는 역세관(L4)의 타단이 접속되어 상기 투과액저장조(30)와 유통가능하게 연결되어 있다.
상기 역세관(L4)의 역세노즐(26)과 역세펌프(31) 도중에는 역세밸브(V4)가 개재되고, 일단이 상기 역세관(L4)의 역세펌프(31)와 역세밸브(V4) 사이에 접속되고 타단이 상기 투과액이송관(L3)의 투과액노즐(25)과 투과액밸브(V3) 사이에 접속되어 서로 유통가능하게 연결되며 도중에 분기밸브(V5)가 개재된 분기관(L5)이 설치되어 있다.
일단이 상기 폐수회수관(L2)의 유출노즐(24)과 폐수유출밸브(V2) 사이에 접속되고 타단이 상기 역세관(L4)의 역세밸브(V4)와 역세펌프(31) 도중에 접속되어 서로 유통가능하게 연결되며 도중에 정세밸브(V7)가 개재된 정세관(L7)이 설치되어 있다.
일단이 상기 폐수회수관(L2)의 유출노즐(24)과 폐수유출밸브(V2) 사이에 접속되고 타단이 상기 공기압축기(40)에 접속되어 유통가능하게 연결되며 도중에 공기공급밸브(V8)가 개재된 공기공급관(L8)이 설치되어 있다.
도 1에서 도시하지는 않았으나, 상기 정세관(L7)에 투과액을 공급하는 펌프로서 역세펌프(31)와 별도로 추가 펌프를 1기 더 설치할 수도 있다.
즉, 일단이 상기 투과액저장조(30)에 접속되고 타단이 상기 정세관(L7)의 역세펌프(31)와 정세밸브(V7) 사이에 접속되며 도중에 펌프가 개재된 설비가 추가됨으로써, 상기 역세펌프(31) 고장시 추가된 펌프를 가동하고 역세펌프(31)를 수리할 수 있어서 연속운전에 유리하다.
상기와 같이 구성된 본 실시예의 분리막 장치는 다음과 같이 운전된다.
1) 여과공정
폐수유입밸브(V1), 폐수유출밸브(V2) 및 투과액밸브(V3)가 개방된 상태이고, 역세밸브(V4), 분기밸브(V5), 배수밸브(V6), 정세밸브(V7) 및 공기공급밸브(V8)가 폐쇄된 상태에서, 폐수이송펌프(11)를 가동하여 폐수저장조(10)의 폐수를 폐수공급관(1), 폐수이송펌프(11), 폐수유입밸브(V1), 인입노즐(23)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
상기 필터부(20)에 공급된 폐수 중의 작은 크기의 입자물질은 상기 폐수이송펌프(11)에서 발생되는 압력에 의해 상기 필터부(20)에 내장된 중공사형 분리막(22)을 투과하여 여과처리되고, 상기 여과처리된 투과액은 투과액노즐(25), 투과액이송관(L3), 투과액밸브(V3)를 순차적으로 경유하여 투과액저장조(30)에 저장된다.
상기 필터부(20)에 공급되고 분리막(22)을 통과하지 못한 폐수는 유출노즐(24), 폐수회수관(L2), 폐수유출밸브(V2)를 순차적으로 경유하여 상기 폐수저장조(10)로 순환된다.
2) 세척1방법 (역세공정)
상기 여과공정을 계속 운전하게 되면 폐수 중의 고형물질이 상기 중공사형 분리막(22) 표면에 부착되어 분리막(22)의 세공이 막히게 되고 상기 분리막(22)을 통과하는 투과액의 유량이 점차 감소하게 된다.
따라서 상기 고형물질을 분리막(22)으로부터 제거하기 위하여 역세를 실시한다.
역세밸브(V4) 및 배수밸브(V6)가 개방된 상태이고, 폐수유입밸브(V1), 폐수유출밸브(V2), 투과액밸브(V3), 분기밸브(V5), 정세밸브(V7) 및 공기공급밸브(V8)가 폐쇄된 상태에서, 역세펌프(31)를 가동하여 투과액저장조(30)의 투과액을 역세관(L4), 역세펌프(31), 역세밸브(V4), 역세노즐(26)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
상기 필터부(20)에 공급된 투과액은 상기 역세펌프(31)에서 발생되는 압력에 의해 상기 여과공정에서의 투과액 흐름방향의 역방향으로 상기 분리막(22)을 역세하게 되며, 상기 역세에 의하여 분리막(22) 표면의 고형물질이 상기 분리막(22) 표면으로부터 이탈된다.
상기 이탈된 고형물질은 투과액과 함께 인입노즐(23), 배수관(L6), 배수밸브(V6)를 순차적으로 경유하여 외부로 배출되어 제거된다.
다른 역세방법으로는, 상기 고형물질의 농도가 높지 않을 경우 고형물질과 투과액 혼합액을 외부로 배출하지 않고 폐수저장조(10)로 회수할 수도 있다.
상기 밸브들의 개폐상태에서 폐수유출밸브(V2)를 개방하고 배수밸브(V6)을 폐쇄하면 고형물질과 투과액 혼합액은 유출노즐(24), 폐수회수관(L2), 폐수유출밸브(V2)를 순차적으로 경유하여 상기 폐수저장조(10)로 회수된다.
또 다른 역세방법으로는, 상기 투과액의 유로를 역세노즐(26) 대신에 투과액노즐(25)을 통하는 방법으로서, 상기 역세과정에서 분기밸브(V5)를 개방하고 역세밸브(V4)를 폐쇄하면 투과액저장조(30)의 투과액은 역세관(L4), 역세펌프(31), 분기관(L5), 분기밸브(V5), 투과액이송관(L3), 투과액노즐(25)을 경유하여 필터부(20)에 공급된다.
3) 세척2방법 (역세와 공기세척을 동시에 실시하는 방법)
역세밸브(V4) 및 배수밸브(V6)가 개방된 상태이고, 폐수유입밸브(V1), 폐수유출밸브(V2), 투과액밸브(V3), 분기밸브(V5), 정세밸브(V7) 및 공기공급밸브(V8)가 폐쇄된 상태에서, 역세펌프(31)를 가동하여 투과액저장조(30)의 투과액을 역세관(L4), 역세펌프(31), 역세밸브(V4), 역세노즐(26)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
이와 동시에 공기압축기(40)를 가동하고 공기공급밸브(V8)를 개방하여, 공기압축기(40)에서 가압된 공기를 공기공급관(L8), 공기공급밸브(V8), 폐수회수관(L2), 유출노즐(24)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
상기 필터부(20)에 공급된 투과액은 상기 역세펌프(31)에서 발생되는 압력에 의해 상기 여과공정에서의 투과액 흐름방향의 역방향으로 상기 분리막(22)을 역세하게 되며, 상기 공기압축기(40)에서 공급된 압축공기는 폐수 흐름방향의 역방향으로 상기 분리막(22)을 세척하게 된다.
즉, 상기 분리막(22) 표면의 고형물질은 투과액의 역세에 의하여 상기 분리막(22) 표면과 수직방향으로 이탈되며, 또한 공기의 세척에 의하여 상기 분리막(22) 표면과 평행방향으로 이탈된다.
상기와 같이 투과액 역세와 공기세척을 동시에 실시하게 되면, 분리막(22) 표면의 고형물질은 분리막(22)의 수직 및 수평방향으로 동시에 이탈되도록 힘을 받게 되므로 단시간에 효율적으로 분리막(22)의 고형물질을 제거할 수 있다.
상기 이탈된 고형물질과 투과액은 압축공기에 의하여 인입노즐(23), 배수관(L6), 배수밸브(V6)를 순차적으로 경유하여 외부로 신속히 배출되며, 특히 상기 필터부(20) 하단의 액체 흐름 정체공간에 잔류할 수 있는 고형물질 또한 압축공기에 의하여 깨끗이 제거된다.
상기 투과액 역세시 상기 역세공정에서 상술한 바와 같이 투과액을 역세노즐(26) 대신에 투과액노즐(25)을 통하여 공급할 수도 있다.
4) 세척3방법 (공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시하는 방법)
배수밸브(V6)가 개방된 상태이고, 폐수유입밸브(V1), 폐수유출밸브(V2), 투과액밸브(V3), 역세밸브(V4), 분기밸브(V5), 정세밸브(V7) 및 공기공급밸브(V8)가 폐쇄된 상태에서, 공기압축기(40)를 가동하고 공기공급밸브(V8)를 개방하여, 공기압축기(40)에서 가압된 공기를 공기공급관(L8), 공기공급밸브(V8), 폐수회수관(L2), 유출노즐(24)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
상기 필터부(20)에 공급된 압축공기는 상기 공기압축기(40)에서 발생되는 압력에 의해 폐수 흐름방향의 역방향으로 상기 분리막(22)을 공기세척하게 된다.
압축공기에 의하여 이탈된 고형물질은 상기 압축공기와 함께 인입노즐(23), 배수관(L6), 배수밸브(V6)를 순차적으로 경유하여 외부로 신속히 배출되며, 특히 상기 필터부(20) 하단의 액체 흐름 정체공간에 잔류할 수 있는 고형물질 또한 압축공기에 의하여 깨끗이 제거된다.
다음은 상기 밸브들의 개폐상태에서 공기압축기(40) 정지 및 공기공급밸브(V8)를 폐쇄하고 역세펌프(31)를 가동한 다음 정세밸브(V7)를 개방하여, 상기 역세펌프(31)에서 가압된 저장조(30)의 투과액을 역세관(L4), 정세관(L7), 정세밸브(V7), 폐수회수관(L2), 유출노즐(24)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
상기 필터부(20)에 공급된 투과액은 상기 역세펌프(31)에서 발생되는 압력에 의해 폐수 흐름방향의 역방향으로 상기 분리막(22)을 세척하게 된다.
투과액에 의하여 이탈된 고형물질은 상기 투과액과 함께 인입노즐(23), 배수관(L6), 배수밸브(V6)를 순차적으로 경유하여 외부로 배출된다.
다음은 상기 밸브들의 개폐상태에서 정세밸브(V7)를 폐쇄하고 역세밸브(V4)를 개방하여, 투과액저장조(30)의 투과액을 역세관(L4), 역세펌프(31), 역세밸브(V4), 역세노즐(26)을 순차적으로 경유하여 필터부(20)에 공급한다.
상기 필터부(20)에 공급된 투과액은 상기 역세펌프(31)에서 발생되는 압력에 의해 상기 여과공정에서의 투과액 흐름방향의 역방향으로 상기 분리막(22)을 역세하게 되며, 상기 역세에 의하여 분리막(22) 표면의 고형물질이 상기 분리막(22) 표면으로부터 이탈된다.
상기 이탈된 고형물질은 투과액과 함께 인입노즐(23), 배수관(L6), 배수밸브(V6)를 순차적으로 경유하여 외부로 배출된다.
상기 투과액 역세시 상기 역세공정에서 상술한 바와 같이 투과액을 역세노즐(26) 대신에 투과액노즐(25)을 통하여 공급할 수도 있다.
상기와 같이 운전된 본 실시예의 웨이퍼 가공폐수 처리장치에서 분리막(22)을 투과하는 투과액의 유량을 측정하여 가장 효율적인 분리막(22) 세척방법을 도출하였다.
먼저 상기 1) 여과공정을 실시하면서 분리막(22)을 세척하지 않고 투과액의 유량을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
이때 폐수저장조(10)의 폐수는 웨이퍼 절삭폐수으로서, 디프로필렌글리콜(dipropylene glycol:DPG) 및 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol:PEG) 등 글리콜 성분이 함유된 폐수와 글리콜 성분이 함유되지 않은 폐수의 2가지 종류를 측정대상으로 하였고, 상기 중공사형 분리막(22)은 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile:PAN) 및 폴리설폰(polysulfone:PS)의 2가지 재질로 각각 시험하였으며, 분리막(22) 면적 0.1㎡, 운전압력 0.8㎏/㎠, 운전온도 20℃의 조건이었다.
글리콜 성분이 함유된
폐수의 투과액 유량(㎖/분)		 글리콜 성분이 함유되지 않은
폐수의 투과액 유량(㎖/분)
분리막 재질 폴리아크릴로니트릴 폴리설폰 폴리아크릴로니트릴 폴리설폰
운전시간 가동직후 39 39 162 153
40분 30.5 25 108 53
60분 18 0 38 0
65분 0 0 0 0
상기 표 1에서 알 수 있는 바와 같이 중공사형 분리막을 세척하지 않고 계속 운전하게 되면 폐수에 함유된 고형물질에 의하여 폐수의 종류 및 막의 재질 종류에 관계없이 분리막이 막혀 운전이 불가함을 알 수 있다.
다음은 상기 1) 여과공정과 2) 세척1방법을 번갈아 실시하면서 분리막(22)의 투과액의 유량을 측정하여 하기 표 2, 도 2 및 도 3에 나타내었다.
상기 표 1에서의 측정 결과 여과액 유량이 좀더 많은 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile:PAN)을 분리막(22) 재질로 하였으며 역세시간은 30초씩 실시하고, 폐수와 분리막(22)의 운전조건은 상기 표 1에서와 동일하다.
글리콜 성분이 함유된
폐수의 투과액 유량(㎖/분)		 글리콜 성분이 함유되지 않은
폐수의 투과액 유량(㎖/분)
운전시간 가동직후 39.0 162.0
40분 경과 30.5 129.0
역세 37.4 158.2
80분 경과 29.5 125.7
역세 36.2 153.1
120분 경과 28.2 119.3
역세 34.7 146.8
160분 경과 27.3 115.5
역세 33.2 140.4
200분 경과 25.9 109.6
역세 31.7 134.1
상기 결과에서 나타난 바와 같이 40분 간격으로 역세를 실시하면 유량이 어느 정도 회복되나, 시간이 경과할수록 점점 감소함을 알 수 있으며, 결국 필터부(20)를 분해하여 분리막(22)을 세척하여야 함을 알 수 있다.
다음은 상기 1) 여과공정과 3) 세척2방법을 번갈아 실시하면서 분리막(22)의 투과액의 유량을 측정하여 하기 표 3, 도 4 및 도 5에 나타내었다.
세척시간은 역세와 공기세척을 동시에 60초씩 실시하였으며, 운전조건은 상기 표 2에서와 동일하다.
글리콜 성분이 함유된
폐수의 투과액 유량(㎖/분)		 글리콜 성분이 함유되지 않은
폐수의 투과액 유량(㎖/분)
운전시간 가동직후 39.0 162.0
40분 경과 30.5 129.0
역세+공기세척 38.8 160.4
80분 경과 29.5 124.8
역세+공기세척 38.1 159.3
120분 경과 28.6 121.0
역세+공기세척 37.3 158.1
160분 경과 27.6 116.7
역세+공기세척 36.6 156.4
200분 경과 27.1 114.6
역세+공기세척 35.3 150.8
240분 경과 26.5 112.1
역세+공기세척 35.0 149.5
280분 경과 26.2 110.8
역세+공기세척 34.4 147.0
320분 경과 25.8 109.1
역세+공기세척 34.7 148.2
360분 경과 25.4 107.4
역세+공기세척 34.2 146.1
400분 경과 25.0 105.8
역세+공기세척 34.0 145.3
440분 경과 24.6 104.1
역세+공기세척 33.7 144.0
상기 표 3의 결과를 표 2와 비교하면, 역세만을 실시한 표 2에서의 결과보다 역세와 공기세척을 동시에 실시한 표 3의 결과가 시간 경과에 따른 여과액 유량이 높게 유지됨을 알 수 있다.
다음은 상기 1) 여과공정과 4) 세척3방법을 번갈아 실시하면서 분리막(22)의 투과액의 유량을 측정하여 하기 표 4, 도 6 및 도 7에 나타내었다.
역세시간은 공기세척, 정세 및 역세를 각각 30초간 순차적으로 실시하여 1회 역세시 90초가 소요되었으며, 운전조건은 상기 표 2에서와 동일하다.
글리콜 성분이 함유된
폐수의 투과액 유량
(㎖/분)		 글리콜 성분이 함유되지 않은
폐수의 투과액 유량
(㎖/분)
운전시간 가동직후 39.0 162.0
40분 경과 30.5 129.0
공기세척→정세→역세 38.7 160.5
80분 경과 29.4 124.4
공기세척→정세→역세 38.4 159.8
120분 경과 29.0 122.7
공기세척→정세→역세 38.2 159.4
160분 경과 28.4 120.1
공기세척→정세→역세 38.0 158.8
200분 경과 27.6 116.7
공기세척→정세→역세 38.0 158.7
240분 경과 27.0 114.2
공기세척→정세→역세 37.9 158.4
280분 경과 26.5 112.1
공기세척→정세→역세 37.7 158.0
320분 경과 26.3 111.2
공기세척→정세→역세 37.4 157.9
360분 경과 25.8 109.1
공기세척→정세→역세 37.2 157.4
400분 경과 25.4 107.4
공기세척→정세→역세 36.8 155.7
440분 경과 25.2 106.6
공기세척→정세→역세 36.9 156.1
공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시한 상기 표 4의 결과는 역세만을 실시한 표 2에서의 결과보다 분리막 세척에 훨씬 효과적임을 알 수 있다.
또한, 상기 표 3의 결과와 비교하면, 세척 후 유량회복에서는 공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시한 세척3방법이 역세와 공기세척을 동시에 실시한 세척2방법보다 좀더 효과적으로 판단되나, 이는 세척2방법보다 역세시간이 좀더 길어짐에 따른 결과로 보이며, 세척 전의 유량은 표 3과 표 4가 유의적인 차이를 보이지 않은 것으로 판단할 때 세척2방법과 세척3방법 모두 분리막의 세척에 매우 효과적임을 알 수 있다.
좀더 상세히 살펴보면, 세척 직후 유량은 세척3방법이 세척2방법에 비하여 크고, 운전하는 동안 유량이 서로 비슷하게 되므로 유량 적산량, 즉 투과액 총량에서는 세척3방법이 좀더 효율적이라고 판단된다.
상기의 측정결과들을 종합하여 분석하면, 가동 초기유량은 모두 39.0㎖/분 및 162.0㎖/분이었으며, 가동 200분 경과 후 세척시 투과액의 유량은 세척1방법(역세공정)은 31.7㎖/분 및 134.1㎖/분, 세척2방법(역세와 공기세척을 동시에 실시하는 방법)은 35.3㎖/분 및 150.8㎖/분, 세척3방법(공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시하는 방법)은 38.0㎖/분 및 158.7㎖/분으로서 회복률은 각각 81% 및 82%, 90% 및 93%, 97% 및 98%이었다.
상기의 결과로부터 중공사형 분리막의 운전 중 세척방법은 세척1방법의 단순한 역세보다는 세척2방법의 역세와 공기세척을 동시에 실시하거나, 세척3방법의 공기세척, 정세 및 역세를 순차적으로 실시하는 것이 매우 효과적인 방법임을 알 수 있다.
이상에서 기술된 바와 같이, 상기 측정은 웨이퍼 절삭폐수를 대상으로 재생과 세척하는 장치 및 방법에 관해 기술되어 있으나, 재생하는 대상으로 웨이퍼 절삭폐수 뿐만 아니라, 웨이퍼 절삭공정 후 절삭액이 묻어 있는 웨이퍼를 세정하는 과정에서 발생하는 세정폐수에도 적용할 수 있으며, 고형물질을 함유하는 용액 폐기물 전반에 걸쳐 적용될 수 있으므로 자원고갈방지, 환경보호 및 원가절감에 기여할 수 있다.
10:폐수저장조, 11:폐수이송펌프, 20:필터부, 21:몸체, 22:분리막, 23:인입노즐, 24:유출노즐, 25:투과액노즐, 26:역세노즐, 30:투과액저장조, 31:역세펌프, 40:공기압축기, 100:분리막 장치,
L1:폐수공급관, L2:폐수회수관, L3:투과액이송관, L4:역세관, L5:분기관, L6:배수관, L7:정세관, L8:공기공급관,
V1:폐수유입밸브, V2:폐수유출밸브, V3:투과액밸브, V4:역세밸브, V5:분기밸브, V6:배수밸브, V7:정세밸브, V8:공기공급밸브

Claims (7)

  1. 폐수를 저장하는 폐수저장조(10), 상기 폐수저장조(10)의 폐수를 공급받아 내장된 중공사형 분리막을 이용하여 여과하는 필터부(20), 상기 필터부(20)의 폐수가 중공사형 분리막을 투과하면서 여과된 투과액을 저장하는 투과액저장조(30) 및 상기 필터부(20)를 세척하기 위한 공기압축기(40)를 포함하며;
    상기 필터부(20)의 중공사형 분리막을 투과한 투과액이 투과액저장조(30)로 이송되는 투과액이송관(L3)과, 상기 투과액저장조(30)의 투과액이 상기 필터부(20)로 공급되는 역세관(L4)이 분기관(L5)에 의하여 유통가능하게 연결되고;
    상기 필터부(20)의 중공사형 분리막을 투과하지 못한 폐수가 상기 폐수저장조(10)로 이송되는 폐수회수관(L2) 도중에는, 상기 투과액저장조(30)의 투과액을 상기 필터부(20)의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하는 정세관(L7)과 상기 공기압축기(40)에서 가압된 공기를 상기 필터부(20)의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하는 공기공급관(L8)이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 필터부(20)는,
    내부공간을 갖는 관형의 몸체(21);
    상기 몸체(21)의 내부공간에 설치되어 폐수 중의 작은 크기의 입자물질을 투과시키는 복수 개의 중공사형 분리막(22);
    상기 몸체(21)의 하단부에 설치되어 상기 폐수저장조(10)의 폐수가 인입되는 인입노즐(23);
    상기 몸체(21)의 상단부에 설치되어 상기 분리막(22)을 통과하지 못한 폐수가 유출되는 유출노즐(24);
    상기 몸체(21)의 외주면 상부에 설치되어 폐수가 상기 분리막(22)을 투과하여 여과된 투과액을 배출하는 투과액노즐(25); 및
    상기 몸체(21)의 외주면 하부에 설치되고 상기 분리막(22)을 세척하기 위한 역세노즐(26)을 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 폐수저장조(10)는, 일단이 상기 인입노즐(23)과 접속되고 도중에 폐수이송펌프(11)가 개재되어 있는 폐수공급관(L1)의 타단이 접속되어 상기 필터부(20)와 유통가능하게 연결되고;
    상기 폐수공급관(L1)의 인입노즐(23)과 이송펌프(11) 도중에는 폐수유입밸브(V1)가 개재되고, 상기 폐수공급관(L1)의 인입노즐(23)과 상기 폐수유입밸브(V1) 도중에는, 일단이 외부와 유통하고 도중에 배수밸브(V6)가 개재된 배수관(L6)의 타단이 접속되어 있으며;
    상기 필터부(20)의 유출노즐(24)은 일단이 상기 폐수저장조(10)와 접속되고 도중에 폐수유출밸브(V2)가 개재되어 있는 폐수회수관(L2)의 타단이 접속되어 상기 폐수저장조(10)와 유통가능하게 연결되어 있으며;
    상기 필터부(20)의 투과액노즐(25)은 일단이 상기 투과액저장조(30)와 접속되고 도중에 투과액밸브(V3)가 개재되어 있는 투과액이송관(L3)의 타단이 접속되어 상기 투과액저장조(30)와 유통가능하게 연결되어 있으며;
    상기 필터부(20)의 역세노즐(26)은 일단이 상기 투과액저장조(30)와 접속되고 도중에 역세펌프(31)가 개재되어 있는 역세관(L4)의 타단이 접속되어 상기 투과액저장조(30)와 유통가능하게 연결되고, 상기 역세관(L4)의 역세노즐(26)과 역세펌프(31) 도중에는 역세밸브(V4)가 개재되어 있으며;
    일단이 상기 폐수회수관(L2)의 유출노즐(24)과 폐수유출밸브(V2) 사이에 접속되고 타단이 상기 역세관(L4)의 역세밸브(V4)와 역세펌프(31) 도중에 접속되어 서로 유통가능하게 연결되며 도중에 정세밸브(V7)가 개재된 정세관(L7)이 설치되어 있으며;
    일단이 상기 폐수회수관(L2)의 유출노즐(24)과 폐수유출밸브(V2) 사이에 접속되고 타단이 상기 공기압축기(40)에 접속되어 유통가능하게 연결되며 도중에 공기공급밸브(V8)가 개재된 공기공급관(L8)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    일단이 상기 역세관(L4)의 역세펌프(31)와 역세밸브(V4) 사이에 접속되고 타단이 상기 투과액이송관(L3)의 투과액노즐(25)과 투과액밸브(V3) 사이에 접속되어 서로 유통가능하게 연결되며 도중에 분기밸브(V5)가 개재된 분기관(L5)이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치.
  5. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
    일단이 상기 투과액저장조(30)에 접속되고 타단이 상기 정세밸브(V7) 상류단의 정세관(L7)에 접속되며 도중에 펌프가 개재된 설비가 추가되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치.
  6. 삭제
  7. 폐수를 저장하는 폐수저장조, 상기 폐수저장조의 폐수를 공급받아 내장된 중공사형 분리막을 이용하여 여과하는 필터부, 상기 필터부에 공급된 폐수가 중공사형 분리막을 투과하면서 여과된 투과액을 저장하는 투과액저장조 및 상기 필터부를 세척하기 위한 공기압축기를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리장치를 운전하기 위한 방법에 있어서,
    상기 필터부의 폐수공급을 차단하고 필터부 내부의 폐수를 외부로 배출하는 단계;
    상기 공기압축기에서 가압된 공기를 필터부의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계;
    상기 공기공급을 차단하고, 상기 투과액저장조의 투과액을 필터부의 중공사형 분리막에 폐수 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계;
    상기 투과액 공급을 차단하고, 상기 투과액저장조의 투과액을 필터부의 중공사형 분리막에 상기 폐수가 투과하는 흐름방향의 역방향으로 공급하면서 외부로 배출하는 단계;를 포함하는 웨이퍼 가공폐수 처리방법.
KR1020100082024A 2010-08-24 2010-08-24 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법 Active KR101019032B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100082024A KR101019032B1 (ko) 2010-08-24 2010-08-24 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100082024A KR101019032B1 (ko) 2010-08-24 2010-08-24 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101019032B1 true KR101019032B1 (ko) 2011-03-04

Family

ID=43938322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100082024A Active KR101019032B1 (ko) 2010-08-24 2010-08-24 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101019032B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105121095A (zh) * 2013-04-04 2015-12-02 株式会社可乐丽 浆料再生装置、浆料再生方法以及再生浆料
KR101769609B1 (ko) 2017-01-19 2017-08-18 문상욱 양방향 멤브레인 세척장치 및 이를 이용한 역삼투압 정수 시스템
KR20190059130A (ko) 2017-11-22 2019-05-30 월드시스템주식회사 연마 폐수 처리장치
KR20190059123A (ko) 2017-11-22 2019-05-30 월드시스템주식회사 연마 폐수 처리장치
JP2023002895A (ja) * 2021-06-23 2023-01-11 株式会社Ｍｆｃテクノロジー クロスフローろ過に用いられる分離膜を用いたスラリー濃縮装置の洗浄方法
KR20230104398A (ko) * 2021-12-31 2023-07-10 고려대학교 산학협력단 순환 여과 방식의 역세척이 가능한 중공사막 수처리 장치
CN116835677A (zh) * 2022-03-25 2023-10-03 陈国华 酸碱液再利用全自动过滤设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06170178A (ja) * 1992-12-03 1994-06-21 Toray Ind Inc 中空糸膜モジュール濾過装置
KR20000063340A (ko) * 2000-06-28 2000-11-06 주용현 한외여과막을 이용한 반도체 쇼잉공정폐수의 처리방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06170178A (ja) * 1992-12-03 1994-06-21 Toray Ind Inc 中空糸膜モジュール濾過装置
KR20000063340A (ko) * 2000-06-28 2000-11-06 주용현 한외여과막을 이용한 반도체 쇼잉공정폐수의 처리방법

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105121095A (zh) * 2013-04-04 2015-12-02 株式会社可乐丽 浆料再生装置、浆料再生方法以及再生浆料
KR101769609B1 (ko) 2017-01-19 2017-08-18 문상욱 양방향 멤브레인 세척장치 및 이를 이용한 역삼투압 정수 시스템
KR20190059130A (ko) 2017-11-22 2019-05-30 월드시스템주식회사 연마 폐수 처리장치
KR20190059123A (ko) 2017-11-22 2019-05-30 월드시스템주식회사 연마 폐수 처리장치
JP2023002895A (ja) * 2021-06-23 2023-01-11 株式会社Ｍｆｃテクノロジー クロスフローろ過に用いられる分離膜を用いたスラリー濃縮装置の洗浄方法
JP7691102B2 (ja) 2021-06-23 2025-06-11 株式会社Ｍｆｃテクノロジー クロスフローろ過に用いられる分離膜を用いたスラリー濃縮装置の洗浄方法
KR20230104398A (ko) * 2021-12-31 2023-07-10 고려대학교 산학협력단 순환 여과 방식의 역세척이 가능한 중공사막 수처리 장치
KR102676978B1 (ko) 2021-12-31 2024-06-20 고려대학교 산학협력단 순환 여과 방식의 역세척이 가능한 중공사막 수처리 장치
CN116835677A (zh) * 2022-03-25 2023-10-03 陈国华 酸碱液再利用全自动过滤设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101019032B1 (ko) 웨이퍼 가공폐수 처리장치 및 처리방법
US9592471B2 (en) Recycling method and device for recycling waste water containing slurry from a semi-conductor treatment process, in particular from a chemico-mechanical polishing process
KR102439657B1 (ko) 스크러버 배수의 정화 장치 및 방법, 그리고 염분 농도차 발전 시스템
RU2440180C2 (ru) Способ переработки моющих жидкостей и устройство для этой цели
KR102119838B1 (ko) 초순수 제조장치
KR101589763B1 (ko) 여과막의 세정 방법
KR102349872B1 (ko) 중공사막 모듈의 세정 방법 및 중공사막 여과 장치
CA3102361A1 (en) Method and apparatus for treating commercial and industrial laundry wastewater
KR101950246B1 (ko) 비상용 이동식 막여과 정수 장치
KR20120113979A (ko) 집수매거의 여과층 역세척장치 및 방법
WO2015080124A1 (ja) 排水処理方法、膜蒸留モジュールおよび排水処理装置
KR101508763B1 (ko) 가압식 중공사막 모듈 및 이를 이용한 역세척 방법
KR20140128841A (ko) 막모듈의 교차 정수 및 세정 장치와 이의 운전방법
KR101769609B1 (ko) 양방향 멤브레인 세척장치 및 이를 이용한 역삼투압 정수 시스템
KR100626173B1 (ko) 중공사막 모듈 및 이를 이용한 수처리 장치
JP3943748B2 (ja) 膜ろ過装置の洗浄方法
JPS644802B2 (ko)
JP4454922B2 (ja) 中空糸型分離膜を用いた濾過装置の制御方法
KR101513249B1 (ko) 2단 역세공정을 이용한 가압식 분리막 모듈의 세정방법
WO2011108589A1 (ja) 多孔質膜モジュールの洗浄方法および造水装置
KR101240258B1 (ko) 침지식 막여과 정수시스템에서 계내 회복세정시 회복세정수 재이용 장치 및 방법
JP7691102B2 (ja) クロスフローろ過に用いられる分離膜を用いたスラリー濃縮装置の洗浄方法
JP5251472B2 (ja) 膜モジュールの洗浄方法
JP2000084377A (ja) 管状膜装置の膜汚染物質除去方法
KR20160146725A (ko) 제탁막 모듈의 운전 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20100824

PA0201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
PA0302 Request for accelerated examination

Patent event date: 20100826

Patent event code: PA03022R01D

Comment text: Request for Accelerated Examination

Patent event date: 20100824

Patent event code: PA03021R01I

Comment text: Patent Application

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20100928

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20101201

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20110224

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20110224

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140207

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20140207

Start annual number: 4

End annual number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150223

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20150223

Start annual number: 5

End annual number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180212

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180212

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200205

Year of fee payment: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20200205

Start annual number: 10

End annual number: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20220215

Start annual number: 12

End annual number: 12

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20230117

Start annual number: 13

End annual number: 13

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20250110

Start annual number: 15

End annual number: 15