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KR100987890B1 - 액정표시소자의 검사장치 및 그 검사방법 - Google Patents

액정표시소자의 검사장치 및 그 검사방법 Download PDF

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KR100987890B1
KR100987890B1 KR1020030080296A KR20030080296A KR100987890B1 KR 100987890 B1 KR100987890 B1 KR 100987890B1 KR 1020030080296 A KR1020030080296 A KR 1020030080296A KR 20030080296 A KR20030080296 A KR 20030080296A KR 100987890 B1 KR100987890 B1 KR 100987890B1
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Abstract

본 발명은 대면적 액정표시소자에 적합하고, 검사시간을 줄일 수 있는 액정표시소자의 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것으로, 제1투명전극을 포함하는 검사하고자 하는 TFT(thin film transistor) 어레이기판; 상기 TFT 어레이기판 상부에 설치되고, 투명한 기판 위에 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 형성된 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능하여 상기 TFT 어레이기판의 크기에 따라 교체가 가능한 MEP(microencapsulated electrophoretic)필름을 포함하는 모듈레이터; 및 상기 모듈레이터 상부에 설치되어 이미지의 밝기를 측정하는 카메라를 포함하여 구성되며, 상기 MEP필름은 빛을 반사시키는 화이트잉크를 포함하고 있어 상기 MEP필름 외측에 반사판을 형성할 필요가 없는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시소자의 검사장치 및 그 검사방법{APPARATUS FOR TESTING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND TESTING METHOD THEREOF}
도 1은 종래 액정표시소자의 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 일 실시예에 따른 액정표시소자의 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 TFT 어레이기판을 상세하게 나타낸 도면.
도 4는 검사장치의 모듈레이터를 상세하게 나타낸 도면.
도 5는 모듈레이터의 MEP필름을 상세하게 나타낸
도 6은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 도면.
도 7a 및 도 7b는 전자종이의 구동을 나타낸 도면.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
100: 액정표시소자 검사장치 110: TFT 어레이기판
111,211: 제1투명전극 120: 투명기판
130: MEP필름 131,231: 제2투명전극
132: 폴리머바인더 133: 캡슐
133a: 화이트잉크 133b: 블랙잉크
135: 모듈레이터 137: 보호필름
140: 카메라 232: 탄성중합체
230: 전자종이 233a: 화이트입자
233b: 블랙입자
본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로, 특히, 대면적 액정표시소자에 적합하고, 검사시간을 줄일 수 있는 액정표시소자의 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다.
근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.
일반적으로, 액정표시소자는 하부기판과 상부기판 및 이들 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되어 있다. 하부기판은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되고, 상부기판은 칼라필터(Color Filter)기판 으로써, 실제 칼라를 구현하기 위한 칼라필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판 및 상부기판에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.
상기 하부기판 및 상부기판은 기판의 외곽에 형성된 실런트에 의해 합착되며, 이들(상부기판 및 하부기판) 사이에 형성된 스페이서에 의해 일정한 셀갭을 유지한다. 그리고, 상기 기판들 사이에 형성된 액정층이 상기 하부기판에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.
상기와 같이 구성된 액정표시소자는 하부기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정에 의해서 형성되고, 상기 상부기판은 칼라필터를 형성하는 칼라필터기판공정에 의해서 형성된다.
구동소자 어레이기판공정은 하부기판상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Date Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한 후, 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성함으로써 이루어진다.
또한, 칼라필터기판공정은 상부기판에 블랙매트릭스를 형성한 후, 그 상부에 칼라필터를 형성한 다음, 공통전극을 형성함으로써 이루어진다.
이후에, 스페이서 및 실런트 형성공정을 통해 상기 두 기판을 합착한 후, 단위패널로 절단함으로써, 액정표시소자가 완성된다.
한편, 상기 두 기판을 합착하기 전, 박막트랜지스터(TFT) 어레이기판 상에 형성된 박막트랜지스터 및 라인들 간의 단락/단선등과 같은 불량을 검출해내기 위한 검사공정이 추가로 이루어진다.
도 1은 TFT 어레이기판의 검사방법을 개략적으로 나타낸 것이다.
도면에 도시된 바와 같이, TFT 어레이기판의 검사장치(1)는 검사하고자 하는 TFT 어레이기판(10)과, 상기 TFT 어레이기판(10) 상에 설치되는 모듈레이터(35)와, 상기 모듈레이터(35) 상에 설치된 카메라(40)으로 구성된다.
상기 모듈레이터(35)는 투명전극(31)이 형성된 기판(20)과 반사판(33) 사이에 주입된 폴리머 분산형 액정(Polymer Dispersed Liquid Crystal : 이하 'PDLC'라 함, 30)층으로 이루어진다. 상기 PDLC층(30)은 액정과 폴리머를 혼합하여 자외선을 조사한 후 액정을 폴리머로부터 분리시켜 원형의 액정방울로 형성된다. PDLC층(30)의 재료는 수지와 경화제로 구성된 에폭시수지이다. PDLC층(30)은 모듈레이터(35)의 기판(20) 상에 형성된 투명전극(31)과 TFT 어레이기판(10) 상에 형성된 화소전극(11)의 전압차에 의해 구동된다.
즉, PDLC층(30)은 전압이 인가되지 않은 경우, 액정방울들이 무질서하게 배열되어 입사된 광을 산란시키게 되고, 카메라(40)에서는 어두운 이미지가 관찰된다. 반면에, 투명전극(31)과 화소전극(11)에 전압을 인가하게 되면, PDLC층(30)의 액정방울 안의 액정분자들은 전기장과 나란한 방향으로 배열되어 입사된 광을 반사판(33)통해 반사시켜 투과시키게 되고, 카메라(40)에는 밝은 이미지가 관찰된다. 따라서, 상기 TFT 어레이기판(10)에 형성된 화소전극(11) 상기 모듈레이터(30)에 형성된 투명전극(31) 사이의 전압을 변화시켜, 카메라로부터 보여지는 이미지의 밝기를 관찰하게 된다.
따라서, 상기 TFT 어레이기판(10)에 단선 또는 단락과 같은 불량이 발생된 경우, 상기 카메라를 통해 관찰되는 이미지의 밝기가 다른 영역과 차별화되기 때문에, 불량유무를 쉽게 검출할 수가 있다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 TFT 어레이기판의 검사장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 기존의 검사장비에 사용되는 모듈레이터(35)는 TiO2 와 SiO2가 교대로 적층된 구조를 가지는 반사판이 형성되어야 하기 때문에, 대면적 생산이 어렵다. 따라서, TFT 어레이기판 전면을 검사하기 위해서는 모듈레이터의 위치를 옮겨가며, 테스트를 반복해야 하기 때문에, 검사시간이 오래 걸리고, 대면적 액정표시소자에는 적합하지 않은 문제점이 있다.
또한, 상기 모듈레이터(35)는 TFT 어레이기판(10)과 10∼20㎛ 사이의 거리를 유지하게 된다. 그런데, TFT 어레이기판(10) 공정상 개구율 확보를 위해 유기 보호막을 사용하는 경우, 그 표면에 돌기가 형성되기도 한다. 이러한 경우, 상기 돌기부에 모듈레이터의 반사판이 접촉하게 되면, 반사판이 찢어지게 된다. 이에 따라, 모듈레이터의 교체로 인해 비용이 증가하게 된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 TFT 어레이기판을 검사하기 위해 사용되는 검사장비의 모듈레이터를 전기영동필름(electrophoretic) 예를들면, PDLC층 대신 MEP(Microencapsulated Electrophoretic)필름을 사용함으로써, 대면적 액정표시소자에 적합하고, 검사시간을 단축시킬 수 있는 액정표시소자의 검사장비를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시소자의 검사장치는 제1투명전극을 포함하는 검사하고자 하는 TFT(thin film transistor) 어레이기판; 상기 TFT 어레이기판 상부에 설치되고, 투명한 기판 위에 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 형성된 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능하여 상기 TFT 어레이기판의 크기에 따라 교체가 가능한 MEP(microencapsulated electrophoretic)필름을 포함하는 모듈레이터; 및 상기 모듈레이터 상부에 설치되어 이미지의 밝기를 측정하는 카메라를 포함하여 구성되며, 상기 MEP필름은 빛을 반사시키는 화이트잉크를 포함하고 있어 상기 MEP필름 외측에 반사판을 형성할 필요가 없는 것을 특징으로 한다.
상기 MEP필름은 폴리머바인더(polymer binder)와 전자잉크 (electronic ink)를 포함하고 있으며, 상기 전자잉크는 화이트잉크와 블랙잉크로 구성된다. 이때, 화이트잉크는 양전하를 띄고, 블랙잉크는 음전하를 띄게된다.
또한, 상기 모듈레이터에 광을 조사하는 광원을 추가로 포함하여 구성되며, 상기 TFT 어레이기판은 투명한 기판, 상기 투명한 기판 위에 종횡으로 배열되어 화소를 정의하는 복수의 게이트라인 및 데이터라인, 상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에 형성된 박막트랜지스터 및 상기 화소영역에 형성되어 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속하는 화소전극을 포함한다.
따라서, 상기 TFT 어레이기판의 화소전극과 투명전극 사이에 전압을 인가하 면, 상기 MEP필름의 전자잉크가 동일극성을 가지는 잉크끼리 분리되어, 외부에서 조사되는 광원을 반사 또는 흡수(비반사)시키게 되며, 상기 카메라를 통해 전자잉크를 통해 반사 또는 흡수(비반사)되는 광을 관측하게 된다.
또한, 본 발명의 액정표시소자의 검사장치는 제1투명전극을 포함하는 검사하고자 하는 TFT(thin film transistor) 어레이기판; 상기 TFT 어레이기판 상부에 설치되고, 투명한 기판 위에 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 형성된 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능하여 상기 TFT 어레이기판의 크기에 따라 교체가 가능한 전자종이(electronic paper)를 포함하는 모듈레이터; 및 상기 모듈레이터 상부에 설치되어 이미지의 밝기를 측정하는 카메라를 포함하여 구성되며, 상기 전자종이는 빛을 반사시키는 화이트입자를 포함하고 있어 상기 전자종이 외측에 반사판을 형성할 필요가 없는 것을 특징으로 한다.
상기 전자종이는 반구가 각각 이산화타이타늄으로 이루어진 화이트와 탄소로 이루어진 블랙입자로 이루어진 볼로 구성되어 있으며, 상기 화이트입자는 음전하이고, 블랙입자는 양전하 특성을 갖는다.
또한, 본 발명의 액정표시소자의 제조방법은 제1투명전극을 포함하는 검사대상 기판을 제공하는 단계; 상기 검사대상 기판과 소정간격 이격되어 배치되며, 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 이루어진 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능한 전기영동필름(electrophoretic layer)으로 구성된 모듈레이터를 위치시키는 단계; 상기 모듈레이터에 광을 조사하는 단계; 상기 제1투명전극 및 제2투명전극 사이에 전압을 인가하는 단계; 상기 제1투명전극 및 제2투명전극의 전압에 의해 동일극성끼리 상·하로 분리된 전자잉크에 반사 또는 흡수(비반사)되어 나오는 광의 밝기를 카메라를 통해 관측하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 전기영동필름은 빛을 반사시키는 화이트잉크를 포함하고 있어 상기 전기영동필름 외측에 반사판을 형성할 필요가 없기 때문에 탈, 부착이 가능하여 상기 검사대상 기판의 크기에 따라 상기 전기영동필름을 교체하여 사용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전기영동필름을 탈부착이 가능하도록 되어 있기 때문에, 검사대상 기판의 크기가 바뀔때마다 이에 알맞은 전기영동필름의 사이즈를 선택하여 사용한다.
또는, 상기 전기영동필름은 검사대상 기판의 최대크기에 대응하도록 셋팅하며, 프로그램의 변경을 통해 크기가 다양한 검사대상 기판을 교체하는 방법도 가능하다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 MEP(microencapsulated electrophoretic)필름 또는 전자종이와 같은 전기영동필름(electrophoretic film)으로 구성된 모듈레이터를 포함하는 TFT 어레이기판의 검사장치 및 그 검사장비를 제공한다.
상기 전기영동필름은 서로 다른 극성을 가지는 입자군들이 외부전계에 의해 각각 분리되는 특성을 지닌 것으로, 본 발명에서는 화이트입자와 블랙입자로 구성된 전기영동필름, 예를 들면, MEP필름 또는 전자종이를 모듈레이터로 사용하는 것이다.
본 발명에 의한 검사장비의 모듈레이터는 그 크기를 크게 제작할 수 있기 때문에 대면적 액정표시소자에도 검사가 용이할 뿐아나라, 검사시간을 단축시킬 수 있는 잇점이 있다. 종래 모듈레이터에 사용되는 폴리머 분산형 액정층(PDLC layer)은 TiO2 및 SiO2가 교대로 적층된 반사판을 별도로 형성해야 하기 때문에, 모듈레이터의 대면적이 어려웠으나, 본 발명에서 사용되는 전기영동필름 즉, MEP(microencapsulated electrophoretic)필름 또는 전자종이는 반사특성이 우수하여, 반사판을 형성할 필요가 없기 때문에 대면적 제작이 가능하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기한 바와 같은 본 발명을 좀더 상세히 설명하도록 한다.
도 2 내지 도 3는 본 발명의 제1실시예를 나타낸 것으로, 도 2는 본 발명의 검사장치를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 3은 TFT 어레이기판의 평면도이고, 도 4는 검사장치의 모듈레이터를 상세하게 나타낸 도면이고, 도 4는 전계인가에 따른 모듈레이터의 MEP필름 내부에서 발생되는 전자잉크의 구동을 나타낸 도면이다.
먼저, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 의한 액정표시소자의 검사장치(100)는 검사하고자 하는 TFT 어레이기판(110)과, MEP필름(Microencapsulated Electrophoretic film; 130)으로 이루어진 모듈레이터(135) 및 상기 모듈레이터(135)의 밝기를 관측하는 카메라(140)를 포함하여 구성된다.
상기 TFT 어레이기판(110)은 도 3에 도시된 바와 같이, 종횡으로 배열되어 화소(101)를 정의하는 게이트라인(104)및 데이터라인(106)과, 이들의 교차영역에 형성된 TFT(thin film transistor)를 포함하고 있다. TFT는 상기 게이트라인(104)과 연결된 게이트전극(103)과, 상기 게이트전극(103) 위에 형성되어 게이트전극(103)에 주사신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(108)과, 상기 반도체층(108) 위에 형성된 소스/드레인전극(105)으로 구성된다. 상기 화소(101)의 표시영역에는 상기 소스/드레인전극(105a,105b)과 연결되어 반도체층(108)이 활성화됨에 따라 상기 소스/드레인전극(105a,105b)을 통해 화상신호가 인가되어 액정(도면표시하지 않음)을 동작시키는 화소전극(111)이 형성되어 있다. 이때, 상기 화 소전극(111)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 와 같은 투명한 전도성 물질로 형성되며, 이하, 상기 화소전극(111)을 제1투명전극이라 한다.
상기와 같이 구성된 액정표시소자는 상기 TFT의 소스/드레인전극(105a,105b)이 화소내에 형성된 화소전극(111)과 전기적으로 접속되어, 상기 소스/드레인전극(105a,105b)을 통해 화소전극(111)에 신호가 인가됨에 따라 액정을 구동하여 화상을 표시하게 된다.
상기 모듈레이터(135)는 도 4에 도시된 바와 같이, 유리 또는 플라스틱과 같은 투명한 기판(120) 위에 TFT 어레이기판(110)의 제1투명전극(111)과 동일한 물질로 이루어진 제2투명전극(131)이 형성되고, 그 위에는 MEP필름(130)이 형성되어 있다. 그리고, MEP필름(130) 표면에는 MEP필름(130)을 보호하기 위한 보호필름(137)이 구비될 수도 있다.
상기 MEP필름(130)은 폴리머중합체(polymer binder;132)에 전자잉크가 캡슐(133)을 형성하고 있는 것으로, 상기 캡슐(133) 내에 분포하는 전자잉크는 화이트잉크(133a)과 블랙잉크(133b)로 이루어진다.
상기 화이트잉크(133a)와 블랙잉크(133b)는 도 5에 도시된 바와 같이, 각각 양전하(+)와 음전하(-) 특성을 가진다. 즉, 화이트잉크(133a)는 양전하(+)로 대전되어 있으며, 블랙잉크(133b)는 음전하(-)로 대전되어 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2투명전극(111,131)에 전압이 인가되면, 두 전극(111,131) 사이에 발생되는 전계에 의해서 화이트잉크(133a)와 블랙잉크(133b)가 분리된다. 예를 들어, 상기 제1투명전극(111)에 (-)전압이 인가되고, 제2투명전극(131)에 (+)전압이 인가되면, (+) 전하를 띄는 화이트잉크(133a)는 제1투명전극(111) 쪽으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙잉크(133b)는 제2투명전극(131) 쪽으로 이동하게 된다. 반대로, 상기 제1투명전극(111)에 (+)전압을 인가하고, 제2투명전극(131)에 (-)전압을 인가하게 되며, 화이트잉크(133a)는 제2투명전극(131)으로 이동하고, 블랙잉크(133b)는 제1투명전극(111)으로 이동하게 된다. 이때, 상기 블랙잉크(133b)와 화이트잉크(133a)는 극성이 바뀔 수도 있다.
이와 같이, 극성이 서로 다른 화이트잉크(133a)와 블랙잉크(133b)를 제1및 제2투명전극(111,131) 사이 두고, 상기 두 전극 사이에 전계를 인가하게 되면, 극성이 서로 같은 색상의 잉크들끼리 모여 블랙잉크와 화이트잉크가 상·하로 분리된다.
본 발명은 전자잉크의 이러한 특성을 이용하여 TFT 어레이기판을 검사하고자 하는 것이다. 즉, 상기 모듈레이터(135)의 TFT 어레이기판(110)의 제1투명전극(111)에 (+)전압이 인가되고, 제2투명전극(131)에는 (-)전압을 인가한 상태에서 카메라(140)를 통해 밝은 이미지가 관찰되는데, 이것은 정상적인 화소의 동작을 의미한다. 왜냐하면, 제2투명전극(131) 쪽에 (-)전하를 갖는 화이트잉크(133a)가 분포되고, 상기 화이트잉크(133a)에 의해 외부광이 흡수되기 때문에 화면은 밝은 이미지를 나타내는 것이다.
또한, 상기 MEP필름(130)은 탈부착이 가능하기 때문에, 검사하고자 하는 기판의 크기에 따라, MEP필름(130)을 교체하여 사용할 수 있다. 즉, 모듈레이터를 교환하지 않고, 검사기판의 크기에 맞는 MEP필름(130)을 부착할 수 있다.
한편, 상기 MEP필름(130)을 교체하지 않고, 검사장비의 간단한 프로그램 변경을 통해 검사기판(110)의 크기를 바꿀 수도 있다. 즉, 상기 MEP필름(130)을 가장 큰 검사기판(110)의 크기에 알맞게 셋팅한 후, 검사기판(110)의 크기가 바뀔때 마다, 검사장치의 프로그램을 조작함으로써, MEP필름을 교체하지 않고도, 크기가 다양한 TFT 어레이기판을 검사할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 TFT 어레이기판(110)의 제1투명전극(111)과 모듈레이터(135)의 제2투명전극(131) 사이에 빛을 흡수하는 블랙잉크(133b)와 빛을 반사시키는 화이트잉크(133a)로 이루어지는 전자잉크를 두고, 이들을 전기적으로 분리시킴으로써, 카메라(140)로 관찰되는 이미지의 밝기를 통해 액정표시소자의 정상구동 검사를 가능하게 한다. 이때, 상기 모듈레이터(135)는 전자잉크 이외에 서로 반대의 극성을 가지며, 빛을 반사시키고 흡수시키는 특성을 동시에 가지는 전기영동필름이라면, 모두 가능하다. 예를 들어, 반구가 각각 화이트와 블랙으로 구성된 볼이 포함되어 있는 전자종이를 사용하는 것도 가능하다.
도 6은 전자종이를 이용한 본 발명의 제2실시예를 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 의한 모듈레이터(235)는 전자종이(230)를 사용하는 것이다. 상기 전자종이(230)는 탄성중합체(232)에 반구가 각각 화이트입자(233a)와 블랙입자(233b)으로 구성된 볼(233)이 혼합된 것으로, 상기 화이트입자(233a)는 이산화타이타늄으로 음전하를 띄고, 블랙입자(233b)는 탄소로써 양전하를 띈다.
상기 탄성중합체(232)에 혼합되어 있는 볼(233)은 제1 및 제2투명전극(211,231) 사이에 전계가 없는 상태에서는 도 6에 도시된 바와 같이, 화이트입자(233a)와 블랙입자(233b)의 방향이 무질서하게 배열되어 있다. 그러나, 상기 두전극(211,231) 사이에 전계를 인가하게 되면, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 화이트입자(233a)는 (+)전압이 인가된 전극 쪽으로 회전하고, 블랙입자(233b)는 (-)전압이 인가된 전극쪽으로 회전하게 된다.
즉, 도 7a에 도시된 바와 같이, 제1투명전극(211)에 (+)전압을 인가하고, 제2투명전극(231)에 (-)전압을 인가하게 되면, 화이트입자(233a)는 제1투명전극(211) 쪽을 향해 배열되고, 블랙입자(233b)는 제2투명전극(231) 쪽을 향해 배열된다. 따라서, 카메라(미도시)에 관측되는 이미지는 블랙이 된다.
또한, 도 7b에 도시된 바와 같이, 제1투명전극(211)에 (-)전압을 인가하고, 제2투명전극(231)에 (+)전압을 인가하게 되면, 블랙입자(233b)는 제1투명전극(211) 쪽을 향해 배열되고, 화이트입자(233a) 쪽을 향해 배열된다. 따라서, 카메라(미도시)에 관측되는 이미지는 화이트가 된다. 이때에도, 상기 블랙입자(233b)와 화이트입자(233a)의 극성이 바뀔 수도 있다.
위에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 액정표시소자의 검사장치를 제공한다. 특히, 본 발명은 반사특성이 우수한 MEP필름 또는 전자종이와 같은 전기영동필름을 사용함으로써, 반사판이 필요없고, 대면적 제작이 가능한 모듈레이터를 제공한다. 이에 따라, 액정표시소자의 검사시간을 단축시키고, 대면적 액정표시소자의 검사를 용이하게 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 전기영동필름을 포함하는 모듈레터를 검사장치로 사용함으로써, 대면적 액정표시소자에 적합하고, 검사시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수가 있다.

Claims (21)

  1. 제1투명전극을 포함하는 검사하고자 하는 TFT(thin film transistor) 어레이기판;
    상기 TFT 어레이기판 상부에 설치되고, 투명한 기판 위에 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 형성된 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능하여 상기 TFT 어레이기판의 크기에 따라 교체가 가능한 MEP(microencapsulated electrophoretic)필름을 포함하는 모듈레이터; 및
    상기 모듈레이터 상부에 설치되어 이미지의 밝기를 측정하는 카메라를 포함하여 구성된되며, 상기 MEP필름은 빛을 반사시키는 화이트잉크를 포함하고 있어 상기 MEP필름 외측에 반사판을 형성할 필요가 없는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2투명전극은 상기 투명한 기판과 MEP필름 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 MEP필름은 폴리머바인더(polymer binder)와 전자잉크 (electronic ink)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전자잉크는 빛을 반사시키는 화이트잉크와 빛을 흡수하는 블랙잉크로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 화이트잉크는 양전하를 띄고, 상기 블랙잉크는 음전하를 띄는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 화이트잉크는 음전하를 띄고, 상기 블랙잉크는 양전하를 띄는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 모듈레이터에 광을 조사하는 광원을 추가로 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 TFT 어레이기판은
    투명한 기판;
    상기 투명한 기판 위에 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인 및 데이터라인;
    상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에 형성된 박막트랜지스터; 및
    상기 화소영역에 형성되어, 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속하는 화소전극을 포함하여 구성된 액정표시소자의 검사장치.
  9. 제1투명전극을 포함하는 검사하고자 하는 TFT(thin film transistor) 어레이기판;
    상기 TFT 어레이기판 상부에 설치되고, 투명한 기판 위에 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 형성된 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능하여 상기 TFT 어레이기판의 크기에 따라 교체가 가능한 전자종이(electronic paper)를 포함하는 모듈레이터; 및
    상기 모듈레이터 상부에 설치되어 이미지의 밝기를 측정하는 카메라를 포함하여 구성되며, 상기 전자종이는 빛을 반사시키는 화이트입자를 포함하고 있어 상기 전자종이 외측에 반사판을 형성할 필요가 없는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 전자종이는 반구가 각각 빛을 반사시키는 화이트입자와 빛을 흡수하는 블랙입자로 이루어진 볼로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 화이트입자는 이산화타이타늄이고, 블랙입자는 탄소인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 화이트입자는 음전하이고, 블랙입자는 양전하 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 화이트입자는 양전하이고, 블랙입자는 음전하 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제1투명전극을 포함하는 검사대상 기판을 제공하는 단계;
    상기 검사대상 기판과 소정간격 이격되어 배치되며, 상기 제1투명전극과 동일한 물질로 이루어진 제2투명전극 및 탈, 부착이 가능한 전기영동필름(electrophoretic layer)으로 구성된 모듈레이터를 위치시키는 단계;
    상기 모듈레이터에 광을 조사하는 단계;
    상기 제1투명전극 및 제2투명전극 사이에 전압을 인가하는 단계;
    상기 제1투명전극 및 제2투명전극의 전압에 의해 동일극성끼리 상·하로 분리된 전자잉크에 반사 또는 흡수(비반사)되어 나오는 광의 밝기를 카메라를 통해 관측하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 전기영동필름은 빛을 반사시키는 화이트잉크를 포함하고 있어 상기 전기영동필름 외측에 반사판을 형성할 필요가 없기 때문에 탈, 부착이 가능하여 상기 검사대상 기판의 크기에 따라 상기 전기영동필름을 교체하여 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사방법.
  20. 삭제
  21. 제19항에 있어서, 상기 전기영동필름은 검사대상 기판의 최대크기에 대응하도록 셋팅하며, 프로그램의 변경을 통해 크기가 다양한 검사대상 기판을 교체하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사방법.
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