KR100974535B1 - 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이의 제조 방법 - Google Patents
필름 타입 프로브 컨텍터 및 이의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
상기와 같은 본 발명에 따르면 TCP 또는 COF 패키지의 출력단에 별도의 금속 단자를 적층하여 프로브 컨텍터를 형성함으로써 미세 피치의 프로브 컨텍터의 구현이 가능하다.
Description
도 2는 본 발명에 따른 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도,
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 설명도.
111 : 베이스 필름 113 : 입력단
113a : 제 1구리층 113b : 제 1주석층
113c : 입력 패드 114 : 구리 패턴
115 : 출력단 115a : 제 3구리층
115b : 제 2주석층 115c : 출력 패드
117 : 드라이브 IC 130 : 금속 단자
131 : 제 1금속층 133 : 제 2금속층
Claims (7)
- 베이스 필름의 일측면에 구리(Cu) 상면에 주석(Sn)이 도금된 입력 패드가 배열되는 입력단과, 각각의 입력 패드와 구리 패턴으로 연결되고, 구리 상면에 주석이 도금된 출력 패드를 구비하는 출력단 및 상기 입력단과 출력단 사이에 실장되는 드라이브 IC로 구성되는 TCP 패키지 또는 COF 패키지를 이용한 프로브 컨텍터의 제조 방법에 있어서,
상기 TCP 패키지 또는 COF 패키지의 출력단에 동종 재질의 금속 단자를 도금 방식 또는 증착 방식에 의해 1층 이상 적층하거나 이종 재질의 금속 단자를 도금 방식 또는 증착 방식에 의해 2층 이상 적층하되, 상기 주석을 일부 또는 모두 제거하여 상기 구리를 노출시킨 다음 상기 구리 상에 상기 금속 단자를 적층하여 프로브 컨텍터를 형성하는 것을 특징으로 하는 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 금속 단자는,
니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법. - 제 3 항에 있어서,
상기 금속 단자를 2층 이상 적층하는 경우,
상기 구리 상에 상기 니켈 또는 니켈-코발트 합금을 적층하여 제 1금속층을 형성하고, 상기 제 1금속층 상에 상기 금, 백금, 로듐중 어느 하나의 재질을 적층하여 제 2금속층을 형성하는 것을 특징으로 하는 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 주석은,
에칭 방식 또는 연마 방식에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법. - 삭제
- 제 1 항의 필름 타입 프로브 컨텍터의 제조 방법에 의해 상기 TCP 패키지 또는 COF 패키지의 출력단에 동종 재질의 금속 단자를 1층 이상 적층하거나 이종 재질의 금속 단자를 2층 이상 적층하여 프로브 컨텍터를 형성하는 것을 특징으로 하는 필름 타입 프로브 컨텍터.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020100025796A KR100974535B1 (ko) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이의 제조 방법 |
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KR100974535B1 true KR100974535B1 (ko) | 2010-08-10 |
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KR (1) | KR100974535B1 (ko) |
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Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20100323 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20100324 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination Patent event date: 20100323 Patent event code: PA03021R01I Comment text: Patent Application |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20100622 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20100731 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20100802 Patent event code: PR07011E01D |
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PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20100802 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
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PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
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PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20130802 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
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FPAY | Annual fee payment |
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PR1001 | Payment of annual fee |
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FPAY | Annual fee payment |
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|
PR1001 | Payment of annual fee |
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LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
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