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KR100974400B1 - Apparatus for testing vacuum leak of sealed product - Google Patents

Apparatus for testing vacuum leak of sealed product Download PDF

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KR100974400B1
KR100974400B1 KR1020100030091A KR20100030091A KR100974400B1 KR 100974400 B1 KR100974400 B1 KR 100974400B1 KR 1020100030091 A KR1020100030091 A KR 1020100030091A KR 20100030091 A KR20100030091 A KR 20100030091A KR 100974400 B1 KR100974400 B1 KR 100974400B1
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South Korea
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vacuum
pressure
vacuum pressure
measured
unit
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임귀당
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임귀당
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Abstract

본 발명은 진공 리크 테스트 장치에 관한 것으로, 디스플레이부를 통해 테스트 과정에 대한 모니터링 및 사용자의 조작이 가능하도록 하고 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 판단 결과를 실시간으로 출력하며, 테스트 정보를 편리하게 외부 저장 장치에 저장할 수 있도록 함으로써, 비숙련자라도 밀폐형 용기에 대한 진공 리크 테스트를 안정적이고 용이하게 수행할 수 있고, 실시간으로 피측정물에 대한 제작 안정성 및 신뢰성 여부를 판단할 수 있으며, 다양한 피측정물에 대한 정보를 데이터베이스화하여 활용함으로써 그 활용 범위를 더욱 확장시킬 수 있는 진공 리크 테스트 장치를 제공한다.The present invention relates to a vacuum leak test apparatus, which enables monitoring and user manipulation of a test process through a display unit, outputs a result of unsatisfactory determination of leakage of a measured object in real time, and conveniently stores test information externally. By allowing the device to be stored in the device, even a non-skilled person can perform a vacuum leak test on a closed container stably and easily, and can determine the production stability and reliability of the measured object in real time, It provides a vacuum leak test apparatus that can expand the scope of application by using the database of information about the database.

Description

진공 리크 테스트 장치{Apparatus for Testing Vacuum Leak of Sealed Product}Apparatus for Testing Vacuum Leak of Sealed Product}

본 발명은 진공 리크 테스트 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 디스플레이부를 통해 테스트 과정에 대한 모니터링 및 사용자의 조작이 가능하도록 하고 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 판단 결과를 실시간으로 출력하며, 테스트 정보를 편리하게 외부 저장 장치에 저장할 수 있도록 함으로써, 비숙련자라도 밀폐형 용기에 대한 진공 리크 테스트를 안정적이고 용이하게 수행할 수 있고, 실시간으로 피측정물에 대한 제작 안정성 및 신뢰성 여부를 판단할 수 있으며, 다양한 피측정물에 대한 정보를 데이터베이스화하여 활용함으로써 그 활용 범위를 더욱 확장시킬 수 있는 진공 리크 테스트 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum leak test apparatus. In more detail, the display unit enables monitoring and user manipulation of the test process, outputs the result of the determination of leakage of the measured object in real time, and conveniently stores the test information in an external storage device. Even non-skilled personnel can carry out the vacuum leak test on hermetically sealed containers stably and easily, determine the production stability and reliability of the measured objects in real time, and use the information on various measured objects as a database. The present invention relates to a vacuum leak test apparatus that can further expand its application range.

일반적으로 각종 기계 부품이나 용기 등 산업 전반에 널리 사용되는 가공품 또는 주조품 등은 그 기능에 따라 내부 공간의 기밀성이 보장되어야 하는 제품들이 있는데, 이러한 밀폐형 제품은 그 구조적인 특성상 제작 과정에서 미세한 크랙 등의 원인으로 내부 공간의 기밀 상태가 해제되어 제품에 리크(leak)가 발생할 수 있으므로 이에 대한 신뢰성 테스트가 매우 중요하다 할 것이다.In general, processed products or castings, which are widely used in various industries such as various mechanical parts or containers, have to have airtightness of the internal space depending on their functions. Such closed products have fine cracks in the manufacturing process due to their structural characteristics. As a cause, the confidentiality of the internal space may be released, and a leak may occur in the product, so the reliability test for this will be very important.

이러한 테스트는 일반적으로 외부와 차단된 일정 크기의 진공 챔버에 피측정물을 배치시킨 상태에서 외부 장치를 통해 진공 챔버에 진공압을 가한 후 진공 챔버 내의 진공압 변화 상태를 측정하는 방식으로 진행되며, 이는 일반적으로 진공 챔버 및 진공압 장치 등을 구비한 진공 리크 테스트 장치를 통해 수행된다. 즉, 진공 챔버에 일정 시간 동안 일정 크기의 진공압을 유지한 상태에서 진공 챔버 내부의 진공압의 변화 상태가 일정하게 유지되면 피측정물에 리크가 발생하지 않는다고 판단할 수 있고, 반대로 진공 챔버 내부의 진공압이 시간에 따라 증가하는 등의 변화가 발생하게 되면 피측정물에 리크가 발생하는 것으로 판단할 수 있다.This test is generally performed by applying a vacuum pressure to the vacuum chamber through an external device and placing a measurement object in a vacuum chamber of a predetermined size, which is isolated from the outside. This is generally done via a vacuum leak test apparatus having a vacuum chamber, a vacuum pressure device and the like. That is, when the change state of the vacuum pressure inside the vacuum chamber is kept constant while the vacuum pressure of the predetermined size is maintained in the vacuum chamber for a predetermined time, it may be determined that no leakage occurs in the object to be measured. It can be determined that leakage occurs in the measured object when the change in the vacuum pressure of the gas increases with time.

이때, 피측정물의 크기 또는 형상이 매우 크거나 복잡한 경우 진공 챔버 내부에 배치시킬 수 없는 경우가 발생할 수 있는데, 이러한 경우 해당 피측정물에 적용할 수 있는 별도의 진공 챔버를 포함하는 또 다른 진공 리크 테스트 장치를 추가로 주문 제작하여 테스트를 진행해야 한다. 이러한 점에서 종래 기술에 의한 진공 리크 테스트 장치는 진공 챔버의 크기 또는 형상 등에 의해 그 적용 범위가 크게 제한된다는 문제가 있었다.In this case, if the size or shape of the object to be measured is very large or complex, it may not be possible to place it inside the vacuum chamber, in which case another vacuum leak including a separate vacuum chamber applicable to the object to be measured. Additional test equipment must be customized and tested. In this regard, the vacuum leak test apparatus according to the prior art has a problem that its application range is greatly limited by the size or shape of the vacuum chamber.

또한, 진공 챔버에 진공압을 가한 상태에서 진공 챔버 내부의 진공압 변화 상태를 파악하는 테스트 방식은 피측정물의 특성이나 테스트 조건 등에 따라 과도한 진공압이 진공 챔버 내부에 작용할 수 있는데, 이러한 경우 진공 챔버에 변형이 발생하여 테스트 장치의 내구성이 저하되거나 또는 진공 챔버의 밀봉 상태가 양호하게 유지되지 못하여 테스트 결과에 오차가 발생하는 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 이를 방지하기 위해서는 진공 챔버에 가할 수 있는 진공압의 크기 또한 일정 범위 이내로 제한해야 하므로 이 또한 테스트 장치의 적용 범위를 제한하는 요인으로 작용하고 있다.
In addition, in a test method of detecting a change in vacuum pressure inside the vacuum chamber while applying a vacuum pressure to the vacuum chamber, excessive vacuum pressure may act on the inside of the vacuum chamber depending on the characteristics of the object or the test conditions. Deformation may occur such that the durability of the test apparatus may be degraded, or the sealing state of the vacuum chamber may not be maintained well, thereby causing an error in the test result. Therefore, in order to prevent this, the amount of vacuum pressure that can be applied to the vacuum chamber must also be limited within a certain range, which also acts as a limiting factor of the application range of the test apparatus.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 진공압을 전달할 수 있는 연결 배관 및 센서 배관을 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있도록 구성되어 피측정물의 구조적인 특성이나 진공 챔버의 안전성 등을 고려하여 필요에 따라 서로 다른 방식의 진공 리트 테스트를 수행할 수 있으며, 이에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 그 적용 범위가 확장되는 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.The present invention is invented to solve the problems of the prior art, an object of the present invention is configured to selectively communicate with the connection pipe and the sensor pipe that can transmit the vacuum pressure to the internal space of the vacuum chamber or the object to be measured. In consideration of the structural characteristics of the object to be measured or the safety of the vacuum chamber, different types of vacuum limit tests can be performed as necessary, thereby enabling more accurate and stable test and In view of the possibility of testing for leaks, the present invention provides a vacuum leak test apparatus that can be expanded.

본 발명의 다른 목적은 밀폐형 용기에 대한 진공 리크 테스트 과정을 디스플레이부를 통해 상세하게 모니터링할 수 있고 디스플레이부를 터치 스크린 방식으로 제작하고 특히 사용자 편의성이 강화된 출력 화면으로 구성함으로써, 피측정물에 대한 진공 리크 테스트를 안정적이고 용이하게 수행할 수 있는 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to monitor the vacuum leak test process for a closed container in detail through the display unit, and to produce a display unit by the touch screen method, and in particular by configuring the output screen with enhanced user convenience, It is to provide a vacuum leak test apparatus that can perform a leak test stably and easily.

본 발명의 또 다른 목적은 피측정물에 대해 진공압을 가하며 측정된 진공압 변화 결과를 이용하여 제어부가 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 판단을 수행하며, 제어부에 의해 수행된 양불 판단 결과를 디스플레이부를 통해 사용자에게 출력함으로써, 사용자가 테스트 과정 중에 실시간으로 피측정물에 대한 제작 안정성 및 신뢰성 여부를 판단할 수 있는 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to apply a vacuum pressure to the object to be measured and using the result of the measured vacuum pressure change, the control unit performs a good judgment on the occurrence of leakage of the measured object, and displays the result of the poor judgment performed by the controller By outputting to the user through the unit, it is to provide a vacuum leak test apparatus that allows the user to determine the production stability and reliability of the measured object in real time during the test process.

본 발명의 또 다른 목적은 테스트 결과를 저장할 수 있는 임시 저장부와 이를 외부 저장 장치로 전송할 수 있는 USB 포트를 구비하여 피측정물에 대한 다양한 측정 데이터를 편리하게 저장할 수 있고, 이에 따라 다양한 피측정물에 대한 정보를 데이터베이스화하여 활용함으로써 그 활용 범위를 더욱 확장시킬 수 있는 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a temporary storage unit for storing test results and a USB port for transferring it to an external storage device to conveniently store various measurement data for an object to be measured, and thus It is to provide a vacuum leak test apparatus that can expand the scope of application by using database of water information.

본 발명의 또 다른 목적은 진공압 조절 유닛을 통해 진공 챔버 내부 압력 또는 피측정물의 내부 공간에 대한 압력을 정확하게 조절하여 더욱 정확한 테스트 결과를 산출함과 동시에 사고 위험을 방지할 수 있는 안전한 진공 리크 테스트 장치를 제공하는 것이다.
It is still another object of the present invention to provide a more accurate test result by accurately adjusting the pressure in the vacuum chamber or the pressure in the inner space of the object through the vacuum pressure control unit, while at the same time safe vacuum leak test that can prevent an accident risk. To provide a device.

본 발명은, 피측정물에 진공압을 작용시키며 진공압 변화 상태를 측정하여 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트하는 진공 리크 테스트 장치에 있어서, 내부에 수용 공간이 형성되는 본체 케이스; 상기 본체 케이스 내부에 배치되며 피측정물이 인입될 수 있도록 밀봉 가능한 진공 챔버가 형성되는 하우징; 일부 구간이 상기 진공 챔버 내에 위치하도록 상기 하우징에 관통 결합되는 연결 배관 및 센서 배관; 상기 연결 배관의 일단에 결합되며 진공압을 생성 및 해제하는 진공압 조절 유닛; 상기 센서 배관의 일단에 결합되어 센서 배관을 통해 전달되는 압력을 측정하는 압력 측정 센서; 상기 본체 케이스 일측에 장착되어 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 표시하며, 사용자가 입력 정보를 입력할 수 있도록 입력 조작부가 형성되는 디스플레이부; 및 사용자에 의해 입력되는 입력 정보에 따라 상기 진공압 조절 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 연결 배관 및 센서 배관의 타단은 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간과 선택적으로 연통 결합될 수 있도록 구성되어 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 진공압을 작용시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치를 제공한다.The present invention provides a vacuum leak test apparatus for testing whether leakage occurs on an object by applying a vacuum pressure to the object to be measured and measuring a change in vacuum pressure, the body case having an accommodation space formed therein; A housing disposed inside the main body case and having a sealable vacuum chamber formed therein to allow the measurement object to be drawn in; A connection pipe and a sensor pipe connected to the housing so that a portion of the section is located in the vacuum chamber; A vacuum pressure adjusting unit coupled to one end of the connection pipe to generate and release a vacuum pressure; A pressure measuring sensor coupled to one end of the sensor pipe and measuring a pressure transmitted through the sensor pipe; A display unit mounted on one side of the main body case to display a measurement value by the pressure measuring sensor, and an input operation unit formed to allow a user to input input information; And a controller configured to control an operation of the vacuum pressure adjusting unit according to input information input by a user, and the other ends of the connection pipe and the sensor pipe may be selectively communicated with the internal space of the vacuum chamber or the object to be measured. It is configured to provide a vacuum leak test apparatus which can selectively apply a vacuum pressure to the inner space of the vacuum chamber or the object to be measured.

이때, 상기 디스플레이부는 터치 스크린 방식으로 제작되어 사용자가 터치 조작에 의해 기능 메뉴를 선택할 수 있는 메뉴 선택부를 포함하며, 상기 입력 조작부는 상기 메뉴 선택부의 터치 조작에 의해 상기 디스플레이부의 표시 화면에 새로운 입력창이 활성화되는 방식으로 형성될 수 있다.In this case, the display unit is manufactured by a touch screen method and includes a menu selection unit for allowing a user to select a function menu by a touch operation, and the input operation unit includes a new input window on the display screen of the display unit by a touch operation of the menu selection unit. It can be formed in an activated manner.

또한, 상기 제어부는 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 인가받아 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 여부를 판단하고, 상기 디스플레이부는 상기 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 판단 결과를 표시하도록 구성될 수 있다.The controller may be configured to receive the measured value by the pressure measuring sensor to determine whether the leakage of the object to be measured is non-payment, and the display unit may be configured to display the result of the non-payment determination of the leakage of the object to be measured. .

또한, 상기 디스플레이부는 상기 진공압 조절 유닛을 통해 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 진공압이 작용되는 순간부터 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 시간에 대해 그래프화하여 실시간으로 표시할 수 있다.The display unit may display the measured value by the pressure measuring sensor with respect to time in real time from the moment when the vacuum pressure is applied to the vacuum chamber or the inner space of the object to be measured through the vacuum pressure adjusting unit. .

또한, 상기 제어부는 상기 진공압 조절 유닛이 설정 진공압을 발생시켜 설정 시간 동안 유지하도록 제어하고, 상기 압력 측정 센서에 의해 측정된 측정값을 인가받아 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에서 설정 진공압 유지 상태 또는 설정 진공압 도달 시간을 기준으로 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 여부를 판단하도록 구성될 수 있다.The control unit may control the vacuum pressure adjusting unit to generate a set vacuum pressure and maintain the set vacuum pressure for a set time, and receive a measured value measured by the pressure measuring sensor and set the set pressure in an internal space of the vacuum chamber or the measured object. It may be configured to determine whether or not the leakage of the object to be measured on the basis of the pneumatic holding state or the set vacuum pressure arrival time.

또한, 상기 진공 리크 테스트 장치는 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 포함하는 테스트 정보를 저장할 수 있는 임시 저장부; 및 상기 임시 저장부로부터 외부 저장 매체로 데이터를 전송할 수 있도록 상기 임시 저장부에 연결 설치되는 USB 포트를 더 포함하여 구성될 수 있다.
The vacuum leak test apparatus may further include a temporary storage unit configured to store test information including a measured value measured by the pressure measuring sensor; And a USB port connected to the temporary storage unit to transmit data from the temporary storage unit to an external storage medium.

본 발명에 의하면, 진공압을 전달할 수 있는 연결 배관 및 센서 배관을 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있도록 구성되어 피측정물의 구조적인 특성이나 진공 챔버의 안전성 등을 고려하여 필요에 따라 서로 다른 방식의 진공 리트 테스트를 수행할 수 있으며, 이에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 그 적용 범위가 확장되는 효과가 있다.According to the present invention, it is configured to selectively connect the connection pipe and the sensor pipe that can transfer the vacuum pressure to the vacuum chamber or the internal space of the object to be measured in consideration of the structural characteristics of the object to be measured or the safety of the vacuum chamber, etc. Different types of vacuum lit tests can be carried out as needed, which allows for more accurate and stable tests and further tests for leaks on a wider range of objects. It is effective.

또한, 밀폐형 용기에 대한 진공 리크 테스트 과정을 디스플레이부를 통해 상세하게 모니터링할 수 있고 디스플레이부를 터치 스크린 방식으로 제작하고 특히 사용자 편의성이 강화된 출력 화면으로 구성함으로써, 피측정물에 대한 진공 리크 테스트를 안정적이고 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.In addition, the vacuum leak test process of the sealed container can be monitored in detail through the display unit, and the display unit is manufactured by using a touch screen method, and the display screen is especially enhanced for user convenience. And there is an effect that can be easily performed.

또한, 피측정물에 대해 진공압을 가하며 측정된 진공압 변화 결과를 이용하여 제어부가 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 판단을 수행하며, 제어부에 의해 수행된 양불 판단 결과를 디스플레이부를 통해 사용자에게 출력함으로써, 사용자가 테스트 과정 중에 실시간으로 피측정물에 대한 제작 안정성 및 신뢰성 여부를 판단할 수 있는 효과가 있다.In addition, by applying a vacuum pressure to the object to be measured, the controller performs a good judgment on the occurrence of leakage of the measured object by using the measured vacuum pressure change result, and outputs the good judgment result performed by the controller to the user through the display. Thus, the user can determine whether the production stability and reliability of the measured object in real time during the test process.

또한, 테스트 결과를 저장할 수 있는 임시 저장부와 이를 외부 저장 장치로 전송할 수 있는 USB 포트를 구비하여 피측정물에 대한 다양한 측정 데이터를 편리하게 저장할 수 있고, 이에 따라 다양한 피측정물에 대한 정보를 데이터베이스화하여 활용함으로써 그 활용 범위를 더욱 확장시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, it has a temporary storage unit for storing test results and a USB port for transferring it to an external storage device to conveniently store various measurement data on an object to be measured, thereby providing information on various objects. It is effective to expand the scope of utilization by making it a database.

또한, 진공압 조절 유닛을 통해 진공 챔버 내부 압력 또는 피측정물의 내부 공간에 대한 압력을 정확하게 조절하여 더욱 정확한 테스트 결과를 산출함과 동시에 사고 위험을 방지할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the vacuum pressure adjusting unit accurately adjusts the pressure inside the vacuum chamber or the pressure on the inside space of the object to be measured, thereby producing more accurate test results and at the same time preventing an accident risk.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 개략적인 외부 형상을 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 전체적인 구성을 개념적으로 도시한 단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 다른 실시 태양을 개념적으로 도시한 단면도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 또 다른 실시 태양을 개념적으로 도시한 단면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치에 대한 기능 블록도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 각 구성요소에 대한 동작 선도를 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치에 의해 측정된 압력 선도와 변위 선도를 예시적으로 도시한 도면,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 디스플레이부의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 디스플레이부에 표시되는 입력 조작부에 대한 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
1 is a perspective view illustrating a schematic external shape of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view conceptually showing the overall configuration of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view conceptually showing another embodiment of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view conceptually showing another embodiment of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
5 is a functional block diagram of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
6 is a view showing an operation diagram for each component of the vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
7 is a diagram illustrating a pressure diagram and a displacement diagram measured by a vacuum leak test apparatus according to an exemplary embodiment of the present disclosure;
8 is a view schematically showing the configuration of a display unit of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention;
FIG. 9 is a diagram schematically illustrating a configuration of an input operation unit displayed on a display unit of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present disclosure.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 밀폐형 제품인 피측정물에 진공압을 작용시킨 후 진공압의 변화 상태를 측정하여 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트하는 장치로서, 별도의 진공 챔버 내에 피측정물을 배치 고정시킨 상태에서 진공 챔버에 진공압을 작용시키거나 또는 피측정물의 내부 공간에 직접 진공압을 작용시키는 방식으로 2가지 진공압 작용 방식을 선택적으로 적용할 수 있는 구조이다. 또한 이와 같이 측정된 결과를 이용하여 밀폐형 제품의 안전성 및 제작 신뢰성을 평가하고, 진공압 변화에 대한 실시간 테스트 결과와 제작 신뢰성에 대한 평가 결과를 별도의 디스플레이 수단을 통해 실시간으로 출력하도록 구성된다.The vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention is a device for testing whether a leak occurs on an object to be measured by measuring a change state of the vacuum pressure after applying a vacuum pressure to an object to be measured as a closed product. It is a structure that can selectively apply two types of vacuum action methods by applying a vacuum pressure to the vacuum chamber or directly applying the vacuum pressure to the inner space of the object under the condition that the object to be measured is placed and fixed in the chamber. . In addition, the measured results are used to evaluate the safety and manufacturing reliability of the hermetic product, and to output the real-time test results for the vacuum pressure change and the evaluation results for the manufacturing reliability in a separate display means in real time.

이러한 진공 리크 테스트 장치는 본체 케이스(100)와, 진공 챔버(C)를 구성하는 하우징(200)과, 진공 챔버(C)에 연통되도록 하우징(200)에 관통 결합되는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)과, 연결 배관(440)과 연통되어 진공압을 생성 및 해제하는 진공압 조절 유닛(400)과, 센서 배관(610)을 통해 전달되는 압력을 측정하는 압력 측정 센서(600)와, 측정 데이터를 실시간으로 디스플레이함과 동시에 사용자의 입력 조작을 가능하게 하는 디스플레이부(700)와, 진공압 조절 유닛(400) 등의 동작을 제어하는 제어부(800)를 포함하여 구성된다.The vacuum leak test apparatus includes a main body case 100, a housing 200 constituting the vacuum chamber C, and a connection pipe 440 and a sensor penetratingly coupled to the housing 200 so as to communicate with the vacuum chamber C. A vacuum pressure adjusting unit 400 in communication with the pipe 610, the connection pipe 440, and generating and releasing a vacuum pressure, a pressure measuring sensor 600 measuring the pressure transmitted through the sensor pipe 610, and The display unit 700 may display the measurement data in real time and enable a user input operation, and a controller 800 for controlling an operation of the vacuum pressure adjusting unit 400 or the like.

본체 케이스(100)는 전체 장치의 기본 외형 및 구조를 이루는 것으로 내부에 수용 공간이 형성되어 다양한 구성 요소가 본체 케이스(100) 내부에 장착된다. 본체 케이스(100)의 형상은 사용자의 필요에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 일측면에는 사용자의 조작 및 인식이 용이한 위치에 디스플레이부(700)가 노출되게 장착될 수 있다.The main body case 100 forms a basic appearance and structure of the entire apparatus, and an accommodation space is formed therein, and various components are mounted in the main body case 100. The shape of the main body case 100 may be formed in various forms according to a user's needs, and the display unit 700 may be mounted on one side of the main body case 100 in a position where the user's operation and recognition is easy.

하우징(200)은 본체 케이스(100)와 일체로 형성되거나 또는 도 2에 도시된 바와 같이 본체 케이스(100) 내부에 결합되는 형태로 분리 형성될 수 있으며, 내부 공간에 피측정물(M)을 인입할 수 있는 진공 챔버(C)를 형성한다. 이러한 진공 챔버(C)에는 테스트 과정에서 고도의 진공압이 작용하기 때문에 압력 유지를 위해 외부 공간으로부터 밀봉되게 형성된다. 예를 들면, 하우징(200)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상면이 개방된 형태로 형성되며, 개방된 상면에는 하우징(200)의 진공 챔버(C)를 회동 개폐할 수 있도록 별도의 하우징 도어(210)가 힌지축(213)을 중심으로 회동 가능하게 힌지 결합될 수 있다. 이때, 하우징 도어(210)와 하우징(200) 사이에는 하우징 도어(210)가 닫힌 상태에서 진공 챔버(C)가 밀봉될 수 있도록 별도의 실링부재(212)가 삽입 개재되는 것이 바람직하다. 또한, 하우징 도어(210)와 하우징(200) 간의 상호 밀착력 강화를 위해 하우징 도어(210)의 가장자리 부분에는 별도의 결합 볼트(211)가 장착되고 하우징(200)의 상부에는 결합 볼트(211)가 체결될 수 있도록 나사홀(미도시)이 대응되게 형성된다. 따라서, 진공 챔버(C)에 피측정물(M)을 인입한 상태에서 하우징 도어(210)를 닫고 결합 볼트(211)를 하우징(200)에 체결하면, 하우징 도어(210)가 진공 챔버(C)를 외부 공간으로부터 밀봉된 상태로 유지시키며 고정 장착되므로 진공 챔버(C)에 고도의 진공압이 작용하더라도 구조적으로 안전성을 유지할 수 있다.The housing 200 may be integrally formed with the main body case 100 or may be separately formed in a form that is coupled to the inside of the main body case 100 as shown in FIG. The vacuum chamber C which can be drawn in is formed. The vacuum chamber (C) is formed to be sealed from the external space for maintaining the pressure because a high vacuum pressure is applied during the test process. For example, the housing 200 is formed in an open shape as shown in FIGS. 1 and 2, and an open top surface is provided so that the vacuum chamber C of the housing 200 can be rotated and opened. The housing door 210 may be hinged to be rotatable about the hinge shaft 213. At this time, it is preferable that a separate sealing member 212 is inserted between the housing door 210 and the housing 200 so that the vacuum chamber C can be sealed while the housing door 210 is closed. In addition, in order to enhance mutual adhesion between the housing door 210 and the housing 200, a separate coupling bolt 211 is mounted at an edge of the housing door 210, and a coupling bolt 211 is provided at an upper portion of the housing 200. Screw holes (not shown) are formed to correspond to each other. Therefore, when the housing door 210 is closed and the coupling bolt 211 is fastened to the housing 200 in a state where the object M is introduced into the vacuum chamber C, the housing door 210 is connected to the vacuum chamber C. ) Is kept in a sealed state from the external space and fixedly mounted, thereby maintaining structural safety even if a high vacuum pressure is applied to the vacuum chamber (C).

연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 진공 챔버(C)와 연통되도록 하우징(200)에 관통 결합되는데, 이때 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 적어도 일부 구간 이상이 진공 챔버(C) 내에 위치하도록 하우징(200)에 관통 결합된다. 즉, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 도 2에 도시된 바와 같이 중단 부위가 하우징(200)의 일측면을 관통하도록 결합되어 일부 구간이 진공 챔버(C) 내에 돌출되도록 장착된다. 이때, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 연성 재질로 형성되어 진공 챔버(C) 내에서 자유로이 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 진공 챔버(C) 외부에 위치하는 일단이 진공압 조절 유닛(400) 및 압력 측정 센서(600)에 연통 결합되고 진공 챔버(C) 내에 위치하는 타단이 진공 챔버(C)에 연통되도록 구성되거나 이와 달리 일단이 각각 진공압 조절 유닛(400) 및 압력 측정 센서(600)에 연통 결합되고 진공 챔버(C) 내에 위치하는 타단이 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되도록 구성될 수도 있다.The connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled to the housing 200 so as to communicate with the vacuum chamber (C), wherein at least a portion or more of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is a vacuum chamber ( C) is penetrated through the housing 200 to be located in C). That is, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled so that the interruption portion penetrates one side surface of the housing 200 as shown in FIG. 2 so that some sections protrude in the vacuum chamber C. In this case, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is preferably formed of a flexible material so as to be able to move freely in the vacuum chamber (C). One end of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 located outside the vacuum chamber C is communicatively coupled to the vacuum pressure control unit 400 and the pressure measuring sensor 600 and positioned in the vacuum chamber C. The other end is configured to be in communication with the vacuum chamber (C) or alternatively one end is in communication with the vacuum pressure control unit 400 and the pressure measuring sensor 600, and the other end located in the vacuum chamber (C) is the object to be measured (M). It may be configured to communicate with the internal space of the).

좀 더 자세히 살펴보면, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 전술한 바와 같이 연성 재질로 형성되어 자유로이 이동 가능하게 구성되며, 이에 따라 도 2에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통되게 배치될 수도 있고, 도 3에 도시된 바와 같이 진공 챔버(C) 내에서 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되게 결합될 수도 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)의 외부 공간까지 연장되어 진공 챔버(C)의 외부에서 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되게 결합될 수도 있으며, 이를 위해 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 길이가 상대적으로 길게 형성되는 것이 바람직할 것이다.Looking in more detail, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is formed of a flexible material as described above is configured to be free to move, according to the connection pipe 440 and the sensor pipe as shown in FIG. 610 may be disposed in communication with the vacuum chamber (C), it may be coupled in communication with the internal space of the measurement object (M) in the vacuum chamber (C) as shown in FIG. In addition, as shown in FIG. 4, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 extend to the outer space of the vacuum chamber C, and the inner space of the measurement object M outside the vacuum chamber C. It may be coupled in communication, for this purpose it will be preferable that the length of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is formed relatively long.

이와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)은 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되게 결합될 수 있는데, 이때 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통되는 경우에는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 하우징(200)과 관통 결합되는 부위에 전술한 바와 같이 별도의 실링 부재(P)가 장착되며 이를 통해 진공 챔버(C)의 밀봉 상태가 유지된다. 그러나 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되는 경우에는 피측정물(M)에 관통홀(미도시)을 형성하고 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 관통홀에 삽입하며 관통 결합시키는 방식으로 연통되는데, 이때 피측정물(M)의 내부 공간이 밀봉 상태가 유지되어야 하므로 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단부에는 피측정물(M)의 내부 공간과 밀봉 결합될 수 있도록 별도의 실링 부재(P)가 결합되는 것이 바람직하다. 이에 따라 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 피측정물(M)의 관통홀에 삽입하는 과정만으로 실링 부재(P)에 의해 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)과 밀봉 상태를 유지하며 연통 결합될 수 있다.In this way, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 may be coupled to communicate with the internal space of the vacuum chamber (C) or the measurement object (M), wherein the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is When communicating with the vacuum chamber (C), as described above, a separate sealing member (P) is mounted at a portion where the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled to the housing 200 through the vacuum chamber. The sealed state of (C) is maintained. However, when the connecting pipe 440 and the sensor pipe 610 communicates with the internal space of the measurement object M, a through hole (not shown) is formed in the measurement object M, and the connection pipe 440 and the sensor The pipe 610 is inserted into the through-hole and communicates with each other through the coupling. In this case, the inner space of the measurement object M must be kept sealed so that the other ends of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are connected to each other. It is preferable that a separate sealing member P is coupled to seal the inner space of the measurement object M. Accordingly, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are measured by the sealing member P only by inserting the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 into the through hole of the object M. It can be coupled in communication with (M) while maintaining a sealed state.

진공압 조절 유닛(400)은 진공압을 생성 및 해제하도록 구성되는데, 연결 배관(440)의 일단에 연통 결합되어 연결 배관(440)의 타단에 결합된 특정 공간에 대해 진공압을 전달되도록 구성된다. 즉, 연결 배관(440)의 타단에 진공 챔버(C)가 연통 결합된 경우 진공압 조절 유닛(400)에 의해 발생된 진공압은 진공 챔버(C)에 전달되고, 연결 배관(440)의 타단에 피측정물(M)의 내부 공간이 연통 결합된 경우 진공압 조절 유닛(400)에 의해 발생된 진공압은 피측정물(M)의 내부 공간에 전달된다. The vacuum pressure control unit 400 is configured to generate and release a vacuum pressure, and is communicatively coupled to one end of the connection pipe 440 and configured to transmit a vacuum pressure to a specific space coupled to the other end of the connection pipe 440. . That is, when the vacuum chamber C is communicatively coupled to the other end of the connection pipe 440, the vacuum pressure generated by the vacuum pressure control unit 400 is transmitted to the vacuum chamber C and the other end of the connection pipe 440. When the internal space of the object to be measured (M) is communicatively coupled, the vacuum pressure generated by the vacuum pressure adjusting unit 400 is transmitted to the internal space of the object to be measured (M).

이러한 진공압 조절 유닛(400)은 테스트 과정에서 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압을 가하기 위해 진공압을 생성 유지하며, 테스트 과정이 완료되면 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 작용하는 진공압을 해제하는 방식으로 작동한다. 진공압 조절 유닛(400)의 진공압 조절 성능은 테스트 결과의 신뢰성에 중요한 역할을 하므로, 진공압 조절 유닛(400)은 진공압의 크기 및 진공압 유지 시간 등이 정확하게 제어되도록 구성되는 것이 바람직하다.The vacuum pressure control unit 400 generates and maintains a vacuum pressure to apply a vacuum pressure to the internal space of the vacuum chamber C or the object M during the test process, and the vacuum chamber C when the test process is completed. Or by releasing the vacuum pressure acting on the internal space of the object under test (M). Since the vacuum pressure regulating performance of the vacuum pressure regulating unit 400 plays an important role in the reliability of the test result, the vacuum pressure regulating unit 400 is preferably configured such that the magnitude of the vacuum pressure and the vacuum pressure holding time are accurately controlled. .

도 2에는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단이 진공 챔버(C)와 연통 결합된 사용 태양이 도시되어 있는바, 이를 중심으로 설명하면, 진공압 조절 유닛(400)은 도 2에 도시된 바와 같이 진공 챔버(C)에 대기압보다 낮은 진공압을 제공하도록 연결 배관(440)의 일단에 연결 결합되는 압축 펌프(410)와, 연결 배관(440) 상에 장착되어 연결 배관(440)을 개폐하는 제 1 개폐 밸브(420)와, 일단이 연결 배관(440)에 연결되고 타단이 외부와 연통되게 개방된 분기 배관(441) 상에 장착되어 분기 배관(441)을 개폐하는 제 2 개폐 밸브(430)를 포함하여 구성된다. 이때, 연결 배관(440) 및 분기 배관(441)과 하우징(200)이 결합되는 부위에는 진공 챔버(C)의 밀봉을 위해 별도의 실링 부재(P)가 삽입 장착되는 것이 바람직하다.FIG. 2 illustrates a usage mode in which the other ends of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are connected to the vacuum chamber C. In detail, the vacuum pressure adjusting unit 400 is illustrated in FIG. 2. Compression pump 410 is connected to one end of the connection pipe 440 to provide a vacuum pressure lower than atmospheric pressure to the vacuum chamber (C), as shown in the connection pipe 440 is mounted on the connection pipe 440 The first on-off valve 420 for opening and closing the) and the second end for opening and closing the branch pipe 441 is mounted on the branch pipe 441, one end is connected to the connecting pipe 440, the other end is open in communication with the outside It is configured to include an on-off valve 430. At this time, it is preferable that a separate sealing member P is inserted into and mounted to the connection pipe 440 and the branch pipe 441 and the housing 200 to seal the vacuum chamber C.

또한, 제 1 개폐 밸브(420)와 제 2 개폐 밸브(430)는 좀 더 정확한 동작을 위해 전기적으로 개폐 동작하는 솔레노이드 밸브 형태로 구성되는 것이 바람직한데, 제 1 개폐 밸브(420)는 상시 열림형으로 구성되고 제 2 개폐 밸브(430)는 상시 닫힘형으로 구성된다. 이러한 구성에 따라 제 1 개폐 밸브(420)가 열린 상태이고 제 2 개폐 밸브(430)가 닫힌 상태에서 진공 펌프(410)가 작동하게 되면, 연결 배관(440)을 통해 진공압이 전달되어 진공 챔버(C)에 진공압이 발생하게 되고, 이후 테스트가 완료되면, 진공 펌프(410)의 작동을 정지시키고 제 1 개폐 밸브(420) 및 제 2 개폐 밸브(430)를 열린 상태로 동작시킨다. 이에 따라 진공 챔버(C)는 분기 배관(441)을 통해 외부와 연통되어 외부와 동일한 대기압 상태를 이루게 되며, 아울러 진공 펌프(410) 및 연결 배관(440)의 진공압 또한 분기 배관(441)을 통해 외부와 연통되며 최초 대기압 상태를 이루게 된다. 한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)의 내부 공간에 연통 결합된 경우에도 진공압 조절 유닛(400)의 동작 상태는 이상에서 설명한 동작 상태에 따라 작동하며, 다만 이 경우에는 진공 챔버(C) 대신 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압이 작용 및 해제된다는 점만 다르므로 상세한 설명은 생략한다.In addition, the first on-off valve 420 and the second on-off valve 430 is preferably configured in the form of a solenoid valve electrically opened and closed for a more accurate operation, the first on-off valve 420 is always open type The second on-off valve 430 is configured as a normally closed type. According to this configuration, when the vacuum pump 410 is operated while the first opening / closing valve 420 is open and the second opening / closing valve 430 is closed, the vacuum pressure is transmitted through the connection pipe 440 to form a vacuum chamber. The vacuum pressure is generated in (C), and after the test is completed, the operation of the vacuum pump 410 is stopped and the first on-off valve 420 and the second on-off valve 430 are operated in an open state. Accordingly, the vacuum chamber C communicates with the outside through the branch pipe 441 to achieve the same atmospheric pressure as the outside, and the vacuum pressure of the vacuum pump 410 and the connection pipe 440 also causes the branch pipe 441. It communicates with the outside and achieves the initial atmospheric pressure. Meanwhile, even when the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are communicatively coupled to the internal space of the measurement object M, as shown in FIGS. 3 and 4, the operation state of the vacuum pressure control unit 400 is The operation is performed according to the operation state described above. However, in this case, since the vacuum pressure is applied to and released from the internal space of the object M instead of the vacuum chamber C, detailed description thereof will be omitted.

이러한 제 1 개폐 밸브(420) 및 제 2 개폐 밸브(430)의 개폐 동작 및 진공 펌프(410)의 동작은 전기적 신호에 따라 개폐되도록 제어부(800)에 의해 동작 제어되는 것이 바람직하며, 이는 사용자에 의해 입력되는 입력 정보에 따라 제어부(800)가 진공압 조절 유닛(400)의 동작을 제어하는 방식으로 구성되는데 이에 대한 상세한 설명은 후술한다. 또한 제어부(800)는 진공압 조절 유닛(400)의 동작을 제어하는 것뿐만 아니라 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 후술하는 압력 측정 센서(600) 및 디스플레이부(700) 등과 전기적 신호를 송수신하며 제어하도록 구성된다.The opening / closing operation of the first opening / closing valve 420 and the second opening / closing valve 430 and the operation of the vacuum pump 410 are preferably controlled by the controller 800 so as to be opened and closed according to an electrical signal. According to the input information input by the control unit 800 is configured in a manner to control the operation of the vacuum pressure control unit 400, a detailed description thereof will be described later. In addition, the controller 800 not only controls the operation of the vacuum pressure control unit 400 but also transmits and receives electrical signals such as the pressure measuring sensor 600 and the display unit 700 which will be described later, as shown in FIGS. 2 and 5. And configured to control.

디스플레이부(700)는 본체 케이스(100)의 일측에 장착되어 압력 측정 센서(600)에 의한 측정값을 표시하며, 디스플레이부(700)에는 사용자가 테스트를 위한 입력 정보를 입력할 수 있도록 별도의 입력 조작부(730)가 형성되는데, 이러한 디스플레이부(700)에 대한 상세한 설명은 도 8 및 도 9를 참조로 후술한다.The display unit 700 is mounted on one side of the main body case 100 to display the measured value by the pressure measuring sensor 600, and the display unit 700 allows a user to input input information for a test. An input operation unit 730 is formed. A detailed description of the display unit 700 will be described later with reference to FIGS. 8 and 9.

압력 측정 센서(600)는 센서 배관(610)의 일단에 결합되어 센서 배관(610)을 통해 전달되는 압력을 측정하도록 구성된다. 센서 배관(610)의 타단에 진공 챔버(C)가 연통 결합된 경우 센서 배관(610)을 통해 진공 챔버(C)의 내부 압력이 전달되므로 압력 측정 센서(600)는 진공 챔버(C)의 압력을 측정하게 되고, 센서 배관(610)의 타단에 피측정물(M)의 내부 공간이 연통 결합된 경우 센서 배관(610)을 통해 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력에 전달되므로 압력 측정 센서(600)는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력을 측정하게 된다.The pressure measuring sensor 600 is coupled to one end of the sensor pipe 610 and configured to measure the pressure transmitted through the sensor pipe 610. When the vacuum chamber C is communicatively coupled to the other end of the sensor pipe 610, the internal pressure of the vacuum chamber C is transmitted through the sensor pipe 610, so that the pressure measuring sensor 600 is the pressure of the vacuum chamber C. When the internal space of the measurement object (M) is in communication communication with the other end of the sensor pipe 610 is transmitted to the pressure for the internal space of the measurement object (M) through the sensor pipe 610 pressure The measurement sensor 600 measures the pressure on the internal space of the object M.

이러한 구조에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단에 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간이 선택적으로 연통 결합될 수 있기 때문에, 진공 리크 테스트 진행 방식을 2가지 방식 중 어느 하나를 선택하여 진행할 수 있다. 즉, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단을 진공 챔버(C)에 연통되도록 배치시킨 상태에서 진공 챔버(C)에 피측정물(M)을 배치한 후 진공 챔버(C)에 진공압을 작용시키고 진공 챔버(C)의 진공압 변화 상태를 측정하는 방식으로 피측정물(M)에 대한 리크 발생 여부를 판단하거나 또는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단을 피측정물(M)의 내부 공간에 연통되도록 결합시킨 후 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압을 작용시키고 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 진공압 변화 상태를 측정하는 방식으로 피측정물(M)에 대한 리크 발생 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 필요에 따라 더욱 정확하고 안정적인 테스트 수행이 가능하며, 더욱 다양한 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트할 수 있다는 점에서 테스트 장치의 적용 범위가 확장된다. 또한, 진공 챔버(C)의 내부 압력 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력을 실시간으로 측정하여 디스플레이부(700)에 출력하도록 구성됨으로써, 테스트 과정을 실시간으로 모니터링할 수 있다.
According to this structure, the vacuum leak test apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention selectively communicates an internal space of the vacuum chamber C or the object M to the other end of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610. Since it can be combined, the vacuum leak test procedure can be selected by one of two methods. That is, the other end of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is arranged to communicate with the vacuum chamber (C), and the measurement object (M) is placed in the vacuum chamber (C), and then the vacuum chamber (C) By determining the leakage of the object to be measured (M) by operating the vacuum pressure and measuring the vacuum pressure change state of the vacuum chamber (C) or avoiding the other ends of the connection pipe 440 and the sensor pipe 610. After coupling to communicate with the internal space of the measurement object (M), by applying a vacuum pressure to the internal space of the object to be measured (M) and measuring the change in the vacuum pressure with respect to the internal space of the object (M) It may be determined whether or not a leak occurs with respect to the measurement object M. Therefore, it is possible to perform a more accurate and stable test as needed, and to extend the scope of application of the test apparatus in that it is possible to test whether a leak occurs on a wider variety of objects. In addition, since the internal pressure of the vacuum chamber C or the pressure on the internal space of the measurement object M is measured in real time and output to the display unit 700, the test process may be monitored in real time.

다음으로 이와 같이 구성된 진공 리크 테스트 장치의 동작 상태를 동작 흐름에 따라 살펴보면, 먼저 도 2에 도시된 바와 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통 결합되는 경우, 하우징 도어(210)를 개방하여 진공 챔버(C) 내부에 피측정물(M)을 인입한 후 하우징 도어(210)를 닫고 결합 볼트(211)를 체결하여 진공 챔버(C)의 밀봉 상태를 유지한다. 이후 진공압 조절 유닛(400)을 작동시켜 진공 챔버(C)에 진공압을 작용시키고 목표 진공압에 도달하면 목표 진공압 상태가 일정 시간 유지되도록 하고, 일정 시간이 지난 후 진공압 조절 유닛(400)을 통해 진공 챔버(C)의 진공압을 해제시킨다. 이때, 진공 챔버(C)의 내부 진공압은 센서 배관(610)을 통해 압력 측정 센서(600)에 전달되며, 이를 통해 진공 챔버(C)의 내부 압력이 측정된다. 이와 같이 측정된 진공 챔버(C)의 내부 압력은 제어부(800)로 인가된 후 디스플레이부(700)로 전송되어 디스플레이부(700)에 실시간으로 출력 표시된다. 이와 같은 사용 태양은 피측정물(M)의 외부에 진공압을 작용하는 것으로, 피측정물(M)의 종류나 형상 크기 등이 진공 챔버(C) 내에 인입되기 적당하고 또한 테스트를 위해 요구되는 진공압의 크기가 진공 챔버(C)의 구조적인 안전상 허용될 수 있는 정도인 경우에 적용될 수 있을 것이다. Next, referring to the operation state of the vacuum leak test apparatus configured as described above according to the operation flow, first, as shown in FIG. 2, when the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are in communication with the vacuum chamber C, Open the housing door 210 to introduce the object M into the vacuum chamber C, close the housing door 210 and fasten the coupling bolt 211 to maintain the sealing state of the vacuum chamber C. do. Thereafter, the vacuum pressure control unit 400 is operated to apply a vacuum pressure to the vacuum chamber C, and when the target vacuum pressure is reached, the target vacuum pressure state is maintained for a certain time, and after a predetermined time, the vacuum pressure control unit 400 ) To release the vacuum pressure of the vacuum chamber (C). At this time, the internal vacuum pressure of the vacuum chamber (C) is transmitted to the pressure measuring sensor 600 through the sensor pipe 610, through which the internal pressure of the vacuum chamber (C) is measured. The internal pressure of the vacuum chamber C measured as described above is applied to the control unit 800 and then transmitted to the display unit 700 to be displayed on the display unit 700 in real time. This use mode is to apply a vacuum pressure to the outside of the measurement object (M), and the kind or shape size of the measurement object (M) is suitable to be introduced into the vacuum chamber (C) and is required for testing. The magnitude of the vacuum pressure may be applied when the structural safety of the vacuum chamber C is acceptable.

만약, 테스트를 위해 요구되는 진공압의 크기가 진공 챔버(C)의 구조적인 안전상 허용될 수 없는 정도의 고도 진공압인 경우이거나 또는 피측정물(M)의 특성상 진공 챔버(C)에 인입할 수 없는 경우에는 도 2와 같은 사용 태양은 적용될 수 없다. 이 경우에는 도 3과 같이 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C) 내에 인입된 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되도록 하여 테스트하는 것이 바람직하다. 따라서, 테스트 수행 전 피측정물(M)에 관통홀을 형성하고, 관통홀이 형성된 피측정물(M)을 하우징 도어(210)를 열어 진공 챔버(C) 내에 인입시킨 후 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)의 타단을 피측정물(M)의 관통홀에 삽입함으로써, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)과 피측정물(M)의 내부 공간이 밀봉 연통 결합되도록 한다. 이후 테스트 수행 과정은 도 2에서 설명한 바와 같이 진공압 조절 유닛(400)을 통해 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압을 작용 유지시킨 후 해제하는 과정으로 진행되며, 마찬가지로 압력 측정 센서(600)에 의해 측정된 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력은 제어부(800)를 통해 디스플레이부(700)에 실시간으로 출력된다. 이때, 테스트 과정에서 진공 챔버(C)의 밀봉 여부는 중요하지 않으므로, 도 3에 도시된 바와 같이 하우징 도어(210)를 개방한 상태로 테스트를 수행할 수도 있고, 필요에 따라서는 하우징 도어(210)를 폐쇄하여 진공 챔버(C)의 밀봉 상태에서 테스트를 수행할 수도 있다. 이와 같은 사용 태양은 피측정물(M)의 내부 공간에 직접 진공압을 작용시키는 것으로, 전술한 바와 같이 피측정물(M)을 진공 챔버(C)에 인입할 수 없거나 또는 진공 챔버(C)의 안전성 등이 문제되는 경우 적용할 수 있으며, 또한, 피측정물(M)의 구조적인 특성상 피측정물의 외부 진공압보다 내부 진공압을 이용해서 리크 발생 여부를 테스트해야 하는 경우 등에 적용할 수 있을 것이다.If the magnitude of the vacuum pressure required for the test is an unacceptably high degree of vacuum pressure due to the structural safety of the vacuum chamber C or the characteristic of the measurement object M may be introduced into the vacuum chamber C. If not, the use mode as shown in FIG. 2 cannot be applied. In this case, as shown in FIG. 3, the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are preferably communicated with the internal space of the measurement object M introduced into the vacuum chamber C. Therefore, before the test is performed, through-holes are formed in the object to be measured M, the measurement object M having the through-holes is opened and introduced into the vacuum chamber C by opening the housing door 210, and then the connection pipe 440. And inserting the other end of the sensor pipe 610 into the through hole of the object to be measured M so that the connection pipe 440 and the internal space of the sensor pipe 610 and the object M are connected in sealed communication. Thereafter, the process of performing the test proceeds to the process of releasing and maintaining the vacuum pressure in the internal space of the measurement object M through the vacuum pressure control unit 400 as described in FIG. 2. The pressure on the internal space of the measured object M measured by) is output to the display unit 700 in real time through the control unit 800. At this time, whether the vacuum chamber (C) is sealed during the test process is not important, and as shown in FIG. 3, the test may be performed while the housing door 210 is opened, and, if necessary, the housing door 210. ) May be performed in a sealed state of the vacuum chamber (C). This mode of use applies a vacuum pressure directly to the interior space of the object M, and as described above, the object M cannot be introduced into the vacuum chamber C or the vacuum chamber C May be applied when the safety of the device is a problem, and also when the leak is to be tested by using an internal vacuum pressure rather than an external vacuum pressure due to the structural characteristics of the object under test (M). will be.

이에 더불어 피측정물(M)의 크기가 커서 피측정물(M)이 진공 챔버(C)에 인입될 수 없거나 진공 챔버(C)의 구조적인 안전이 문제되는 경우에는 도 4에 도시된 바와 같이 피측정물(M)을 진공 챔버(C)의 외부에 배치하고 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 연장하여 피측정물(M)의 내부 공간과 연통되도록 결합하는 방식으로 테스트가 수행될 수 있다. 이후 테스트 과정은 도 3에서 설명한 바와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.In addition, when the size of the measured object M is large and the measured object M cannot be drawn into the vacuum chamber C or structural safety of the vacuum chamber C is a problem, as shown in FIG. 4. The test is performed by arranging the object to be measured outside the vacuum chamber C and extending the connecting pipe 440 and the sensor pipe 610 so as to communicate with the internal space of the object M. Can be. Since the test process is the same as described in FIG. 3, a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)을 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 선택적으로 연통 결합시킬 수 있기 때문에, 더욱 다양한 피측정물(M)에 대한 진공 리크 테스트가 가능하다.As such, the vacuum leak test apparatus according to the exemplary embodiment may selectively connect the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 to the internal space of the vacuum chamber C or the object M. As a result, a vacuum leak test for a more diverse measurement object M is possible.

한편, 이러한 각 구성요소의 동작 상태는 도 6에 도시되는데, 테스트 과정을 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력 변화 구간으로 구분하면, 도 6에 도시된 바와 같이 최초 진공압이 가해지며 압력이 감소하는 진공압 발생 구간과, 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력이 설정 진공압에 도달하면 그 상태로 일정 시간 유지하는 진공압 유지 구간과, 일정 시간이 지나면 진공압을 해제하는 진공압 해제 구간으로 구분할 수 있다. 압력 측정 센서(600)는 테스트 과정의 전 구간에서 on 상태가 유지되도록 작동하고, 진공 펌프(410)는 전술한 바와 같이 테스트 시작과 함께 진공압 발생 구간에서만 on 상태가 되도록 작동한다. 또한, 제 1 개폐 밸브(420)는 상시 열림형으로 진공압 유지 구간에서만 close 상태가 되도록 작동하며, 제 2 개폐 밸브(430)는 상시 닫힘형으로 진공압 해제 구간에서만 open 상태가 되도록 작동한다. 이러한 동작을 통해 전술한 테스트 과정이 수행 완료된다.Meanwhile, an operating state of each of these components is shown in FIG. 6. When the test process is divided into pressure change sections with respect to the internal space of the vacuum chamber C or the object M, as shown in FIG. 6. Vacuum pressure generation section in which the initial vacuum pressure is applied and the pressure decreases, and the pressure in the vacuum chamber (C) or the internal space of the object to be measured (M) maintains for a predetermined time as it reaches the set vacuum pressure. It can be divided into a maintenance section and a vacuum release section for releasing the vacuum pressure after a predetermined time. The pressure measuring sensor 600 operates to maintain the on state in all sections of the test procedure, and the vacuum pump 410 operates to be turned on only in the vacuum generating section at the beginning of the test as described above. In addition, the first on-off valve 420 is normally open to operate in a close state only in the vacuum pressure maintaining section, and the second on / off valve 430 is normally closed to operate in an open state only in the vacuum pressure release section. Through this operation, the aforementioned test process is completed.

도 7은 이러한 테스트 과정을 통해 압력 측정 센서(600)에 의해 측정되는 진공압 선도(L)를 예시적으로 도시한 그래프로서, 테스트가 정상적으로 진행되고 피측정물(M)에 리크가 발생되지 않는다면, 진공압 발생 구간에서 압력은 계속 감소하고(A-B), 진공압 유지 구간에서는 설정 진공압으로 일정하게 유지되며(B-C), 진공압 해제 구간에서는 압력이 급격히 증가하며 최초 상태인 대기압 상태로 복귀되는 과정을 거치게 된다(C-D). 이때, 테스트 장치의 사용 태양에 따라 A-B-F-D 선도 또는 A-E-G-D 선도 등의 과정을 나타낼 수도 있다. 예를 들어, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 진공 챔버(C)와 연통되게 결합된 상태에서 테스트 과정 중 피측정물(M)에 리크가 발생한 경우라면, 진공압 발생 구간에서 압력 변화는 동일하게 나타나고 이후 진공압 유지 구간에서 피측정물(M)의 리크 발생에 의해 압력이 증가하여 진공압이 일정하게 유지되지 못하고 B-F 선도를 따라 진공압이 증가하는 형태로 나타날 수 있다(A-B-F-D). 한편, 연결 배관(440) 및 센서 배관(610)이 피측정물(M)의 내부 공간에 연통 결합된 상태에서 피측정물(M)에 리크가 발생한 경우라면, 진공압 발생 구간에서 피측정물(M)의 리크 발생에 의해 설정 진공압에 도달하는 시간이 길어지게 되어 A-E 선도를 따라 압력 변화가 나타나고, 이후 진공압 유지 구간에서도 계속되는 리크 발생에 의해 진공압이 일정 정도 증가하여 E-G 선도를 따라 압력 변화가 나타날 수 있다(A-E-G-D). 이는 예시적인 상황을 도시한 것으로 리크의 정도나 리크 발생 시점 등에 따라 다양한 형태의 진공압 선도가 나타날 수 있다.FIG. 7 is a graph illustrating an example of the vacuum pressure line L measured by the pressure measuring sensor 600 through such a test process. If the test proceeds normally and no leakage occurs in the measured object M, FIG. In the vacuum pressure generating section, the pressure continues to decrease (AB), and in the vacuum maintaining section, the pressure is kept constant at the set vacuum pressure (BC), and in the vacuum pressure release section, the pressure increases rapidly and returns to the initial state of atmospheric pressure. Go through the process (CD). At this time, a process such as an A-B-F-D diagram or an A-E-G-D diagram may be indicated according to the use aspect of the test apparatus. For example, if the leakage occurs in the measurement object M during the test process while the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 are coupled to communicate with the vacuum chamber (C), the pressure in the vacuum pressure generating section The change appears to be the same, and since the pressure increases due to the leakage of the measured object M in the vacuum pressure maintaining section, the vacuum pressure cannot be kept constant and the vacuum pressure increases along the BF diagram (ABFD). ). On the other hand, if the leakage occurs in the measurement object M in a state in which the connection pipe 440 and the sensor pipe 610 is in communication with the internal space of the measurement object M, the measurement object in the vacuum pressure generation section Due to the leakage of (M), the time to reach the set vacuum pressure becomes longer, so that the pressure change appears along the AE diagram, and the vacuum pressure increases to a certain degree due to the leakage occurring continuously in the vacuum pressure maintaining section. Pressure changes may appear (AEGD). This illustrates an exemplary situation, and various types of vacuum diagrams may appear depending on the degree of leakage or the time of leakage.

따라서, 정상적인 진공압 선도(A-B-C-D)가 나타나지 않는 한, 피측정물(M)은 진공압 테스트 과정에서 진공압에 견디지 못하고 리크가 발생한 것이거나 또는 제작 당시부터 미세한 크랙 등에 의해 리크가 발생한 상태일 수 있으므로, 이러한 측정 결과에 따라 피측정물(M)에 대한 리크 발생 여부를 판단하여 피측정물(M)의 리크 발생에 대한 제작 신뢰성을 판단할 수 있다.Therefore, unless the normal vacuum curve (ABCD) is shown, the measured object (M) may not leak the vacuum pressure during the vacuum test process, or may be leaked due to a minute crack or the like at the time of manufacture. Therefore, according to the measurement result, it is possible to determine whether or not the leakage of the object to be measured (M) to determine the manufacturing reliability of the leakage of the object to be measured (M).

이와 같은 피측정물(M)에 대한 제작 신뢰성 판단은 본 발명의 일 실시예에 따라 제어부(800)가 측정 데이터를 연산하여 수행하는 방식으로 구성된다. 즉, 제어부(800)는 압력 측정 센서(600)에 의한 측정 데이터를 인가받아 이를 연산하여 피측정물(M)의 리크 발생에 대한 양불 여부를 판단하도록 구성된다. 이러한 판단 작업은 전술한 바와 같이 테스트 전 구간에서 진공압 변화가 정상적으로 이루어는지 여부를 판단하는 방식으로 수행되며, 이와 같이 수행된 양불 판단 결과는 테스트 완료 후 디스플레이부(700)에 표시되도록 구성된다.The manufacturing reliability determination of the measurement object M is configured in such a manner that the control unit 800 calculates and performs measurement data according to an embodiment of the present invention. That is, the control unit 800 is configured to receive the measurement data by the pressure measuring sensor 600 and calculate it to determine whether the leakage of the leakage of the measured object (M). The determination operation is performed in a manner of determining whether the vacuum pressure change is normally performed in the entire test section as described above, and the result of the non-payment determination performed as described above is configured to be displayed on the display 700 after the test is completed.

예를 들면, 제어부(800)는 진공압 조절 유닛(400)이 설정 진공압을 발생시켜 설정 시간 동안 유지되도록 제어하고, 압력 측정 센서(600)에 의해 측정된 측정값을 인가받아 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에서 설정 진공압 유지 상태 또는 설정 진공압 도달 시간을 기준으로 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 여부를 판단할 수 있다. 즉, 전술한 바와 같이 제어부(800)에 의해 진공압 조절 유닛(400)이 작동하게 되면, 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 대한 압력은 일정 시간 후에 사용자에 의해 입력된 설정 진공압 상태에 도달하게 되고 이후 사용자에 의해 입력된 설정 시간 동안 설정 진공압 상태로 유지된다. 이때, 도 7에서 설명한 바와 같이 피측정물(M)에 리크가 발생하게 되면, 진공압 발생 구간에서 설정 진공압 도달 시간이 길어지거나 또는 진공압 유지 구간에서 내부 압력이 증가하여 일정한 진공압 유지 상태를 이루지 못한다. 따라서, 이와 같이 정상 상태와 다른 진공압 변화 상태가 측정되면, 이는 피측정물(M)에 리크가 발생한 것으로 제어부(800)에 의해 판단되며, 이러한 피측정물(M)에 대한 양불 판단은 디스플레이부(700)로 전송되어 후술할 결과 표시부(740)를 통해 출력되도록 구성된다.
For example, the controller 800 controls the vacuum pressure control unit 400 to generate a set vacuum pressure to be maintained for a set time, and receives a measurement value measured by the pressure measuring sensor 600 to receive a vacuum chamber C. Alternatively, it is possible to determine whether the leakage of the measured object is poor or not based on the set vacuum pressure maintaining state or the set vacuum pressure attainment time in the internal space of the object under test (M). That is, when the vacuum pressure control unit 400 is operated by the controller 800 as described above, the pressure to the internal space of the vacuum chamber (C) or the object to be measured (M) is input by the user after a predetermined time. The set vacuum state is reached and then maintained at the set vacuum state for the set time input by the user. In this case, when leakage occurs in the measurement target object M as described in FIG. 7, the set vacuum pressure arrival time becomes long in the vacuum pressure generation section or the internal pressure increases in the vacuum pressure maintenance section, thereby maintaining a constant vacuum pressure. Does not achieve. Accordingly, when the vacuum pressure change state different from the normal state is measured, it is determined by the controller 800 that leakage occurs in the object to be measured M, and the determination of the non-payment of the object to be measured M is displayed. It is transmitted to the unit 700 is configured to be output through the result display unit 740 to be described later.

이상에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치의 테스트 방법 및 구성에 대해 주로 살펴보았는데, 이하에서는 디스플레이부(700)의 구성 및 조작 방법과 제어부(800)에 대해 좀 더 자세히 살펴본다.In the above, the test method and configuration of the vacuum leak test apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention have been mainly described. Hereinafter, the configuration and operation method of the display unit 700 and the control unit 800 will be described in more detail.

디스플레이부(700)는 본 발명의 일 실시예에 따라 도 8에 도시된 바와 같이 표시 화면 상에 출력 표시부(710)와, 메뉴 선택부(720)와, 결과 표시부(740)와, 목표값 표시부(750)를 포함하며, 입력 조작부(730)는 도 9에 도시된 바와 같이 별도의 입력창을 통해 디스플레이부(700)의 화면 상에 표시된다.As shown in FIG. 8, the display unit 700 includes an output display unit 710, a menu selection unit 720, a result display unit 740, and a target value display unit on a display screen as shown in FIG. 8. 750, and the input operation unit 730 is displayed on the screen of the display unit 700 through a separate input window as shown in FIG. 9.

이때, 사용자가 조작할 수 있도록 형성되는 메뉴 선택부(720) 및 입력 조작부(730)는 별도의 화면이나 버튼으로 디스플레이부(700)와 별도로 구성되고 디스플레이부(700)는 출력 표시 기능만 수행하도록 구성될 수도 있으나, 이와 달리 사용자의 조작 편의성을 위해 디스플레이부(700)는 터치 스크린 방식으로 제작되어 사용자가 터치 조작에 의해 메뉴 선택부(720) 및 입력 조작부(730)를 조작할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.In this case, the menu selection unit 720 and the input operation unit 730, which are formed to be operated by the user, are configured separately from the display unit 700 by a separate screen or button, and the display unit 700 performs only an output display function. Alternatively, the display unit 700 may be manufactured in a touch screen manner so that the user may operate the menu selection unit 720 and the input operation unit 730 by a touch operation. It is preferable.

출력 표시부(710)는 도 8에 도시된 바와 같이 진공압 조절 유닛(400)을 통해 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압이 가해지는 순간부터 압력 측정 센서(600)에 의한 측정값을 시간에 대해 그래프화하여 실시간으로 표시하는 그래프 표시부(711)와, 이러한 측정값을 문자화하여 실시간으로 각각 표시하는 현재 진공압 표시부(714)로 구성된다. 이때, 그래프 표시부(711)에는 그래프가 표시되는 영역에 직교 좌표 라인이 표시되는 좌표 표시부(712)가 형성되며, 그래프 표시부(711)의 가장자리에는 직교 좌표 라인의 각 단위 좌표값을 표시하는 단위 표시부(713)가 형성된다. 예를 들어, 단위 표시부(713)에 시간 0.5 sec 라고 표시된다면, 직교 좌표 라인의 각 단위 좌표값은 가로축으로 1 라인당 0.5초 시간을 의미한다. 이때, 각 단위 좌표값은 별도의 입력 조작부(730)를 통해 입력하거나 변경하도록 구성되는데, 이에 대한 설명은 후술한다.As shown in FIG. 8, the output display unit 710 is a pressure measuring sensor 600 from the moment the vacuum pressure is applied to the internal space of the vacuum chamber C or the object M through the vacuum pressure adjusting unit 400. And a graph display unit 711 for graphing the measured values by time and displaying them in real time, and a current vacuum pressure display unit 714 for textifying these measured values in real time. At this time, the graph display unit 711 is formed with a coordinate display unit 712 that displays a rectangular coordinate line in the area where the graph is displayed, the unit display unit for displaying each unit coordinate value of the rectangular coordinate line on the edge of the graph display unit 711 713 is formed. For example, if the unit display unit 713 displays time 0.5 sec, each unit coordinate value of the Cartesian coordinate line means 0.5 second time per line on the horizontal axis. In this case, each unit coordinate value is configured to be input or changed through a separate input operation unit 730, which will be described later.

결과 표시부(740)는 도 8에 도시된 바와 같이 출력 표시부(710)와는 별도의 영역에 표시되는 것이 바람직하며, 여기에는 제어부(800)에 의한 피측정물(M)의 양불 판단 결과를 표시한다. 표시하는 방법은 파랑/빨강과 같은 색상을 이용하거나 O/X와 같은 기호를 이용하여 양불 판단 결과를 표시하는 방법 등 다양하게 구성할 수 있으며, 도 8에 도시된 바와 같이 OK/NG 와 같은 문자를 이용하여 양불 판단 결과를 표시할 수도 있다.As shown in FIG. 8, the result display unit 740 is preferably displayed in a separate area from the output display unit 710. Here, the result display unit 740 displays the result of the non-payment determination of the measured object M by the controller 800. . The display method may be configured in various ways such as using a color such as blue / red, or displaying a result of a judgment on the non-payment by using a symbol such as O / X, and as shown in FIG. It may also display the result of the determination of the good or bad.

목표값 표시부(750) 또한 출력 표시부(710)와 별도의 영역에 표시되는 것이 바람직하며, 입력 조작부(730)를 통해 입력된 목표 진공압을 표시하는 설정 진공압 표시부(751)와, 입력 조작부(730)를 통해 입력된 진공압 유지 시간을 표시하는 설정 시간 표시부(752)를 포함하여 구성될 수 있다.The target value display unit 750 is also preferably displayed in a separate area from the output display unit 710, the set vacuum pressure display unit 751 for displaying the target vacuum pressure input through the input operation unit 730, and the input operation unit ( It may be configured to include a set time display unit 752 for displaying the vacuum pressure holding time input through the 730.

메뉴 선택부(720)는 사용자에 의해 터치 조작 가능하도록 구성되는데, 테스트 과정의 시작을 가능하게 하는 시작 버튼부(722)와, 테스트 과정의 정지를 가능하게 하는 정지 버튼부(723)와, 입력 조작부(730)를 활성화시키기 위한 설정 버튼부(721)를 포함하여 구성될 수 있다. 따라서, 시작 버튼부(722)를 터치 조작하면 진공압 조절 유닛(400)을 통해 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간에 진공압이 제공되는 방식으로 테스트 과정이 시작되고, 정지 버튼부(723)를 터치 조작하면 진공압 조절 유닛(400)을 통해 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M)의 내부 공간으로부터 진공압이 해제되는 방식으로 테스트 과정이 정지된다. 설정 버튼부(721)를 터치 조작하면 도 9에 도시된 바와 같이 디스플레이부(700)의 표시 화면에 별도의 입력창이 활성화되며 입력 조작부(730)가 형성된다. The menu selection unit 720 is configured to be touch-operated by the user, the start button unit 722 for enabling the start of the test process, the stop button unit 723 for enabling the stop of the test process, and an input. It may be configured to include a setting button unit 721 for activating the operation unit 730. Therefore, when the touch button operation 722 is touched, the test process is started in such a manner that the vacuum pressure is provided to the internal space of the vacuum chamber C or the object M through the vacuum pressure adjusting unit 400. When the touch button 723 is touched, the test process is stopped in such a manner that the vacuum pressure is released from the internal space of the vacuum chamber C or the object M through the vacuum pressure adjusting unit 400. When the touch button 721 is touched, a separate input window is activated on the display screen of the display 700, and an input manipulation unit 730 is formed.

이와 같이 활성화된 입력 조작부(730)는 도 9에 도시된 바와 같이 진공 챔버(C) 또는 피측정물(M) 내부 공간의 압력에 대한 목표 진공압을 설정하는 진공압 설정부(731)와, 목표 진공압의 유지 시간을 설정하는 시간 설정부(732)와, 직교 좌표 라인에 대한 가로축 단위 좌표값을 설정하는 시간 스케일 설정부(733)를 포함하며, 입력 커서를 이동시킬 수 있는 커서 조정부(735)와, 입력 완료 기능을 수행하며 동시에 입력 조작부(730)의 입력창을 비활성화하여 표시 화면 상에서 지워지도록 하는 엔터 버튼부(736)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 구성에 따라 사용자는 입력 커서를 진공압 설정부(731)와 시간 설정부(732)로 이동시킨 후 커서 조정부(735)의 조작을 통해 목표 진공압과 이를 유지하는 시간을 숫자 입력 방식으로 설정할 수 있다. 또한, 시간 스케일 설정부(733)를 통해 시간 단위에 대한 단위 좌표값을 다양하게 설정함으로써, 진공압 그래프에 대한 전체적인 스케일을 필요에 따라 조절할 수 있다.As shown in FIG. 9, the activated input operation unit 730 includes a vacuum pressure setting unit 731 for setting a target vacuum pressure with respect to the pressure in the vacuum chamber C or the space under measurement M; A time setting unit 732 for setting a holding time of the target vacuum pressure, and a time scale setting unit 733 for setting a horizontal axis unit coordinate value with respect to the Cartesian coordinate line, and a cursor adjusting unit for moving the input cursor ( 735 and an enter button unit 736 which performs an input completion function and simultaneously inactivates an input window of the input operation unit 730 to be erased on the display screen. According to this configuration, the user moves the input cursor to the vacuum pressure setting unit 731 and the time setting unit 732, and then sets the target vacuum pressure and the time for maintaining the same by a numeric input method through the manipulation of the cursor adjusting unit 735. Can be. In addition, by variously setting the unit coordinate value for the time unit through the time scale setting unit 733, the overall scale for the vacuum graph can be adjusted as needed.

이때, 시간 스케일 설정부(733)에는 전체 스케일에 대한 시간을 입력하도록 구성되며, 이에 따라 단위 표시부(713)에 표시되는 단위 좌표값은 시간 스케일 설정부(733)에 입력된 시간값을 가로축에 대한 직교 좌표 라인의 총 개수로 나눈 값이 표시된다. 즉, 시간 스케일 설정부(733)에 20분이 입력되고 가로축 직교 좌표 라인의 총 개수가 30개로 구성되었다면, 시간 단위 좌표값은 (20분(1200초)/30) 이므로 40초가 되며, 단위 표시부(713)에는 가로축 시간 단위 좌표값에 대해 40초가 표시된다.
At this time, the time scale setting unit 733 is configured to input the time for the full scale. Accordingly, the unit coordinate value displayed on the unit display unit 713 is a time value input to the time scale setting unit 733 on the horizontal axis. The value divided by the total number of Cartesian coordinate lines is displayed. That is, if 20 minutes is input to the time scale setting unit 733 and the total number of the horizontal axis Cartesian coordinate lines is 30, the time unit coordinate value is (20 minutes (1200 seconds) / 30), so 40 seconds becomes the unit display unit ( 713 is displayed for 40 seconds with respect to the horizontal time unit coordinate value.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 리크 테스트 장치는 압력 측정 센서(600)에 의한 측정값과 입력 조작부(730)에 의한 사용자의 입력 정보 및 피측정물(M)에 대한 양불 판단 결과 등의 테스트 정보를 저장할 수 있는 임시 저장부(900)를 더 포함하여 구성될 수 있으며, 이러한 임시 저장부(900)는 제어부(800)와 통신하며 정보를 송수신하도록 구성될 수 있다. 또한, 임시 저장부(900)에 저장된 데이터를 외부 저장 매체로 전송할 수 있도록 임시 저장부(900)에 연결되는 별도의 USB 포트(910)가 설치될 수 있다. 이러한 구성에 따라 테스트 과정에서 수집된 각종 테스트 정보는 제어부(800)를 통해 임시 저장부(900)에 임시 저장되고, 사용자의 필요에 따라 USB 포트(910)를 통해 외부 저장 매체로 편리하게 전송 저장할 수 있다. 이는 다양한 피측정물에 대한 테스트 결과를 편리하게 데이터베이스화하여 활용할 수 있다는 점에서 테스트 장치의 활용 범위를 더욱 확장시키는 기능을 수행한다.
On the other hand, the vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention, the measurement value by the pressure measuring sensor 600 and the user's input information by the input operation unit 730 and the result of the non-payment judgment for the object to be measured (M) The temporary storage unit 900 may be configured to further store test information of the temporary storage unit 900. The temporary storage unit 900 may be configured to communicate with the control unit 800 and to transmit and receive information. In addition, a separate USB port 910 connected to the temporary storage unit 900 may be installed to transmit data stored in the temporary storage unit 900 to an external storage medium. According to this configuration, the various test information collected in the test process is temporarily stored in the temporary storage unit 900 through the control unit 800, and conveniently stored in the external storage medium via the USB port 910 according to the user's needs Can be. This function extends the scope of application of the test device in that the test results for various objects can be conveniently databased and utilized.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.

100: 본체 케이스 200: 하우징
210: 하우징 도어 400: 진공압 조절 유닛
410: 진공 펌프 420: 제 1 개폐 밸브
430: 제 2 개폐 밸브 440: 연결 배관
600: 압력 측정 센서 610: 센서 배관
700: 디스플레이부 710: 출력 표시부
720: 메뉴 선택부 730: 입력 조작부
740: 결과 표시부 750: 목표값 표시부
800: 제어부 900: 임시 저장부
910: USB 포트
100: main body case 200: housing
210: housing door 400: vacuum pressure control unit
410: vacuum pump 420: first opening and closing valve
430: second on-off valve 440: connection piping
600: pressure measuring sensor 610: sensor piping
700: display unit 710: output display unit
720: menu selection unit 730: input operation unit
740: result display unit 750: target value display unit
800: control unit 900: temporary storage unit
910: USB port

Claims (6)

피측정물에 진공압을 작용시키며 진공압 변화 상태를 측정하여 피측정물에 대한 리크 발생 여부를 테스트하는 진공 리크 테스트 장치에 있어서,
내부에 수용 공간이 형성되는 본체 케이스;
상기 본체 케이스 내부에 배치되며 피측정물이 인입될 수 있도록 밀봉 가능한 진공 챔버가 형성되는 하우징;
일부 구간이 상기 진공 챔버 내에 위치하도록 상기 하우징에 관통 결합되는 연결 배관 및 센서 배관;
상기 연결 배관의 일단에 결합되며 진공압을 생성 및 해제하는 진공압 조절 유닛;
상기 센서 배관의 일단에 결합되어 센서 배관을 통해 전달되는 압력을 측정하는 압력 측정 센서;
상기 본체 케이스 일측에 장착되어 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 표시하며, 사용자가 입력 정보를 입력할 수 있도록 입력 조작부가 형성되는 디스플레이부; 및
사용자에 의해 입력되는 입력 정보에 따라 상기 진공압 조절 유닛의 동작을 제어하는 제어부
를 포함하고, 상기 연결 배관 및 센서 배관의 타단은 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간과 선택적으로 연통 결합될 수 있도록 구성되어 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 선택적으로 진공압을 작용시킬 수 있고,
상기 제어부는 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 인가받아 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 여부를 판단하고, 상기 디스플레이부는 상기 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 판단 결과를 표시하며,
상기 디스플레이부는 상기 진공압 조절 유닛을 통해 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에 진공압이 작용되는 순간부터 상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 시간에 대해 그래프화하여 실시간으로 표시하는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
In the vacuum leak test apparatus for applying a vacuum pressure to the object to be measured and measuring the state of the vacuum pressure change to test whether leakage to the object to be measured,
A main body case having an accommodation space formed therein;
A housing disposed inside the main body case and having a sealable vacuum chamber formed therein to allow the measurement object to be drawn in;
A connection pipe and a sensor pipe connected to the housing so that a portion of the section is located in the vacuum chamber;
A vacuum pressure adjusting unit coupled to one end of the connection pipe to generate and release a vacuum pressure;
A pressure measuring sensor coupled to one end of the sensor pipe and measuring a pressure transmitted through the sensor pipe;
A display unit mounted on one side of the main body case to display a measurement value by the pressure measuring sensor, and an input operation unit formed to allow a user to input input information; And
Control unit for controlling the operation of the vacuum pressure control unit according to the input information input by the user
And the other ends of the connection pipe and the sensor pipe are configured to be selectively communicatively coupled with the internal space of the vacuum chamber or the object under test to selectively apply a vacuum pressure to the internal space of the vacuum chamber or the object under test. There is,
The control unit receives the measured value by the pressure measuring sensor to determine whether the leakage of the object to be measured or not, and the display unit displays a result of determining whether the leakage of the object to be leaked,
The display unit displays the measured value by the pressure measurement sensor with respect to time in real time from the moment the vacuum pressure is applied to the vacuum chamber or the internal space of the object to be measured through the vacuum pressure adjusting unit, and displays in real time. Vacuum leak test device.
제 1 항에 있어서,
상기 디스플레이부는 터치 스크린 방식으로 제작되어 사용자가 터치 조작에 의해 기능 메뉴를 선택할 수 있는 메뉴 선택부를 포함하며, 상기 입력 조작부는 상기 메뉴 선택부의 터치 조작에 의해 상기 디스플레이부의 표시 화면에 새로운 입력창이 활성화되는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
The method of claim 1,
The display unit may be manufactured in a touch screen manner so that a user may select a function menu by a touch operation, and the input operation unit may activate a new input window on a display screen of the display unit by a touch operation of the menu selection unit. Vacuum leak test apparatus, characterized in that formed in the manner.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 진공압 조절 유닛이 설정 진공압을 발생시켜 설정 시간 동안 유지하도록 제어하고, 상기 압력 측정 센서에 의해 측정된 측정값을 인가받아 상기 진공 챔버 또는 피측정물의 내부 공간에서 설정 진공압 유지 상태 또는 설정 진공압 도달 시간을 기준으로 피측정물의 리크 발생에 대한 양불 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
The method of claim 1,
The control unit controls the vacuum pressure adjusting unit to generate a set vacuum pressure to maintain the set vacuum pressure, and to receive the measured value measured by the pressure measuring sensor and maintain the set vacuum pressure in the inner space of the vacuum chamber or the object to be measured. A vacuum leak test apparatus, characterized in that it is determined whether or not the leakage of the measured object on the basis of the state or the set vacuum pressure arrival time.
제 1 항에 있어서,
상기 압력 측정 센서에 의한 측정값을 포함하는 테스트 정보를 저장할 수 있는 임시 저장부; 및
상기 임시 저장부로부터 외부 저장 매체로 데이터를 전송할 수 있도록 상기 임시 저장부에 연결 설치되는 USB 포트
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리크 테스트 장치.
The method of claim 1,
A temporary storage unit capable of storing test information including a measured value by the pressure measuring sensor; And
USB port connected to the temporary storage unit for transmitting data from the temporary storage unit to an external storage medium
Vacuum leak test apparatus further comprising a.
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