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KR100973757B1 - Sample holder transfer control device of electron microscope - Google Patents

Sample holder transfer control device of electron microscope Download PDF

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KR100973757B1
KR100973757B1 KR1020080133281A KR20080133281A KR100973757B1 KR 100973757 B1 KR100973757 B1 KR 100973757B1 KR 1020080133281 A KR1020080133281 A KR 1020080133281A KR 20080133281 A KR20080133281 A KR 20080133281A KR 100973757 B1 KR100973757 B1 KR 100973757B1
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윤수병
김윤중
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한국기초과학지원연구원
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Abstract

본 발명은 전자현미경에 구비되어 시료가 올려지는 시료홀더를 회전시키고 수평으로 이동시키는 이송장치를 제어하는 이송 제어장치에 관한 것으로 특히, 시료홀더를 회전시키는 수단을 제어하는 회전제어기와 수평으로 이동시키는 수단을 제어하는 X-Y이동제어기를 일괄적으로 제어할 수 있게 한 전자현미경의 시료홀더 이동 제어장치에 관한 것이다. The present invention relates to a transfer control device provided in the electron microscope to control the transfer device for rotating and horizontally moving the sample holder on which the sample is placed, in particular, to move horizontally with the rotation controller for controlling the means for rotating the sample holder An electron microscope sample holder movement control device capable of collectively controlling an XY movement controller for controlling means.

이러한 본 발명의 전자현미경의 시료홀더 이동 제어장치는 시료홀더를 회전시키는 회전모터를 제어하는 회전제어기와, 시료홀더를 수평으로 이동시키는 이중서보기구로 X축모터와, Y축모터를 제어하는 X-Y모터제어기와, 피에조 액츄에이터(Piezo Actuator)를 제어하는 액츄에이터제어기를 구비한 전자현미경의 시료홀더이송장치를 제어하는 제어장치에 있어서, 상기 X-Y모터제어기가 일체로 구성되고, 상기 회전제어기와 액츄에이터제어기에 제어신호를 전송하는 통합제어보드가 내장되어 있으며, 일측에는 상기 회전제어기와 액츄에이터제어기를 연결시키기 위한 제어기포트와, 전원이 연결되는 파워포트가 설치된 통합제어기와 ; 상기 통합제어기의 일측에 설치된 키패드포트에 접속되어 통합제어기에 제어신호를 입력하는 입력수단으로 상기 모터들과 액츄에이터에 공급되는 전압을 조절하는 전압조절다이얼들과, 회전모터의 회전방향을 조절하는 회전선택버튼들과, X축모터와 Y축모터 및 액츄에이터의 구동을 제어하여 시료홀더이송장치를 수평으로 이송시키는 조이스틱을 포함하는 키패드를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The electron microscope sample holder movement control device of the present invention is a rotary controller for controlling the rotation motor for rotating the sample holder, a double-circuit holder for moving the sample holder horizontally XY motor for controlling the X-axis motor, Y-axis motor A controller for controlling an electron microscope sample holder transfer device having a controller and an actuator controller for controlling a piezo actuator, wherein the XY motor controller is integrally formed, and the rotation controller and the actuator controller are controlled. An integrated control board for transmitting a signal, and on one side, an integrated controller having a controller port for connecting the rotation controller and an actuator controller and a power port to which power is connected; Voltage control dials for controlling voltages supplied to the motors and actuators as input means connected to a keypad port installed at one side of the integrated controller to input a control signal to the integrated controller, and a rotation for adjusting the rotational direction of the rotary motor. And a keypad including selection buttons and a joystick for horizontally transferring the sample holder transfer device by controlling driving of the X-axis motor, the Y-axis motor, and the actuator.

전자현미경, 통합제어, 통합제어기, 키패드 Electron Microscope, Integrated Control, Integrated Controller, Keypad

Description

전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치{Control device for transfering a sample holder for electronic microscope}Control device for transfering a sample holder for electronic microscope

본 발명은 전자현미경의 시료홀더의 이동을 제어하는 제어장치에 관한 것으로써, 상세하게는 전자현미경에 구비되어 시료가 올려지는 시료홀더를 회전시키고 수평으로 이동시키는 이송장치를 제어하는 이송 제어장치에 관한 것이다. The present invention relates to a control device for controlling a movement of a sample holder of an electron microscope, and more particularly, to a transfer control device for controlling a transport device provided in the electron microscope to rotate and horizontally move a sample holder on which a sample is placed. It is about.

특히, 시료홀더를 회전시키는 수단을 제어하는 회전제어기와 수평으로 이동시키는 수단을 제어하는 X-Y이동제어기를 일괄적으로 제어할 수 있게 한 전자현미경의 시료홀더 이동 제어장치에 관한 것이다. In particular, the present invention relates to an electron microscope sample holder movement control device capable of collectively controlling a rotation controller for controlling the means for rotating the sample holder and an X-Y movement controller for controlling the means for horizontally moving the sample holder.

통상적으로 전자현미경은 시료가 얹혀지는 시료홀더를 구비하고 있으며, 이 시료홀더는 시료를 회전시키면서 관찰할 수 있도록 구성되어 있다. Usually, the electron microscope has a sample holder on which a sample is placed, and the sample holder is configured to be observed while rotating the sample.

그러나 이렇게 구성된 전자현미경은 고배율로 고찰을 하고자 할 경우 시료가 중심으로부터 벗어나 관찰하고자 하는 부분이 현미경의 스크린으로부터 벗어나는 문제가 있었다. However, the electron microscope configured as described above has a problem in that the portion of the sample to be deviated from the center is deviated from the screen of the microscope when the high magnification is considered.

이러한 문제를 해소하기 위해 개발된 것이 시료홀더를 회전시킬 수 있음은 물론, 수평으로 이동시켜 시료가 현미경의 관찰영역 안으로 들어올 수 있게 하기 위한 수단을 더 설치한 것이다. Developed to solve this problem, it is possible to rotate the sample holder as well as to provide a means for moving the sample horizontally so that the sample can enter the field of view of the microscope.

이렇게 시료홀더를 회전시키고 수평이동시킬 수 있게 구성된 것을 TR Holder(Translation-Rotation Holder)라 부르며, 이는 회전 가능하게 설치된 회전홀더를 수평으로 이동시킬 수 있도록 이중서보기구를 설치하여 구성되며, 이 이중서보기구는 X-Y축 구동부로 모터와 피에조 액츄에이터(Piezo Actuator)를 포함하여 구성된다. The sample holder that can be rotated and moved horizontally is called a TR holder (Translation-Rotation Holder), which is configured by installing a double servo tool to move the rotating holder installed horizontally. The mechanism is an XY-axis drive unit and includes a motor and a piezo actuator.

이렇게 구성된 시료홀더 회전 및 이송 수단은 상기한 바와 같이 회전수단을 구동시키기 위한 회전제어기와 이중서보기구를 구성하는 모터의 구동을 제어하는 모터 제어기 및 피에조 액츄에이터를 제어하기 위한 피에조 액츄에이터 제어기가 따로 구성되어 있어 사용자는 각각의 제어기를 조작하여 회전 및 X-Y 이동을 제어하여야 함으로 전자현미경의 사용이 불편한 단점이 있었다. As described above, the sample holder rotation and transfer means includes a rotation controller for driving the rotation means, a motor controller for controlling the driving of the motor constituting the dual servo, and a piezo actuator controller for controlling the piezo actuator. Therefore, the user has to control the rotation and the XY movement by operating the respective controllers, there was a disadvantage in that the use of the electron microscope is inconvenient.

본 발명은 위와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 개발된 것으로써, 수평이동을 위한 모터와 피에조 액추에이터의 혼합 구동형으로 이루어진 X-Y이동제어기와 회전제어기를 하나의 프로세서로 통합하여 하나의 제어패널에서 제어할 수 있게 함으로써 전자현미경의 조작을 보다 용이하게 할 수 있을 뿐만 아니라 시스템 구성의 소요되는 비용을 절감할 수 있게 한 전자현미경의 시료홀더 이동 제어장치를 제공함을 목적으로 한다.The present invention was developed to solve the problems of the prior art as described above, in one control panel by integrating the XY movement controller and the rotation controller made of a mixed drive type of motor and piezo actuator for horizontal movement in one processor It is an object of the present invention to provide an electron microscope sample holder movement control device which not only makes it easier to operate the electron microscope but also reduces the cost of system configuration.

위와 같은 목적을 이루기 위한 본 발명의 전자현미경의 시료홀더 이동 제어장치는 시료홀더를 회전시키는 회전모터를 제어하는 회전제어기와, 시료홀더를 수평으로 이동시키는 이중서보기구로 X축모터와, Y축모터를 제어하는 X-Y모터제어기와, 피에조 액츄에이터(Piezo Actuator)를 제어하는 액츄에이터제어기를 구비한 전자현미경의 시료홀더이송장치를 제어하는 제어장치에 있어서, 상기 X-Y모터제어기가 일체로 구성되고, 상기 회전제어기와 액츄에이터제어기에 제어신호를 전송하는 통합제어보드가 내장되어 있으며, 일측에는 상기 회전제어기와 액츄에이터제어기를 연결시키기 위한 제어기포트와, 전원이 연결되는 파워포트가 설치된 통합제어기와 ; 상기 통합제어기의 일측에 설치된 키패드포트에 접속되어 통합제어기에 제어신호를 입력하는 입력수단으로 상기 모터들과 액츄에이터에 공급되는 전압을 조절하는 전압조절다이얼들과, 회전모터의 회전방향을 조절하는 회전선택버튼들과, X축모터와 Y축모터 및 액츄에이터의 구동을 제어하여 시료홀더이송장치를 수평으로 이송시키는 조이스틱을 포함하는 키패드를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The sample holder movement control apparatus of the electron microscope of the present invention for achieving the above object is a rotation controller for controlling the rotation motor for rotating the sample holder, X-axis motor, Y-axis motor as a dual-servophery for moving the sample holder horizontally A control device for controlling an electron microscope sample holder transfer device having an XY motor controller for controlling a control unit and an actuator controller for controlling a piezo actuator, wherein the XY motor controller is integrally formed, and the rotation controller And an integrated control board for transmitting a control signal to an actuator controller, and on one side, an integrated controller having a controller port for connecting the rotary controller and an actuator controller and a power port to which power is connected; Voltage control dials for controlling voltages supplied to the motors and actuators as input means connected to a keypad port installed at one side of the integrated controller to input a control signal to the integrated controller, and a rotation for adjusting the rotational direction of the rotary motor. And a keypad including selection buttons and a joystick for horizontally transferring the sample holder transfer device by controlling driving of the X-axis motor, the Y-axis motor, and the actuator.

본 발명은 시료홀더이송장치의 각각 제어기를 통합콘크롤러와 연결된 하나의 키패드를 이용하여 제어할 수 있으므로 각 제어기를 따로 조작하여 제어함에 따른 제어의 번거로움을 줄일 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, since each controller of the sample holder transfer device can be controlled by using a single keypad connected to the integrated controller, it is possible to reduce the cumbersome control by controlling each controller separately.

즉, 종래에는 액츄에이터의 제어를 위한 컴퓨터와 X-Y모터 제어용 X-Y제어기 를 따로 작동시켜 시료홀더이송장치의 수평이동을 제어하여야 하므로 두 제어기를 번갈아 조작하여야 하는 번거로움이 있었으나 본 발명은 하나의 키패드에서 회전제어기와 액츄에이터제어기 및 X-Y구동제어기를 모두 제어할 수 있으므로 보다 용이하게 시료홀더이송장치를 제어할 수 있는 효과가 있다. That is, in the related art, since the computer for controlling the actuator and the XY controller for controlling the XY motor must be controlled separately, the horizontal movement of the sample holder transfer device has to be controlled, so that the two controllers have to be operated alternately. Since both the controller, the actuator controller and the XY drive controller can be controlled, the sample holder transfer device can be easily controlled.

이하, 본 발명에 따른 전자현미경의 시료홀더 이동 제어장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a sample holder movement control apparatus of an electron microscope according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치를 구성하는 통합제어기와 키패드의 일예를 도시한 사시도이다. 1 is a block diagram of a sample holder feed control device of the electron microscope according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing an example of the integrated controller and the keypad constituting the sample holder feed control device of the electron microscope according to the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치는 시료홀더를 회전시키는 회전모터(110a)를 제어하는 회전제어기(110)와, 시료홀더를 수평으로 이동시키는 이중서보기구로 X축모터(120a)와, Y축모터(120b)를 제어하는 X-Y모터제어기(120)와, 피에조 액츄에이터(Piezo Actuator)(130a)를 제어하는 액츄에이터제어기(130)를 구비한 전자현미경의 시료홀더이송장치(100)를 제어하는 제어장치에 있어서, 상기 X-Y모터제어기(120)가 일체로 구성되고, 상기 회전제어기(110)와 액츄에이터제어기(130)에 제어신호를 전송하는 통합제어보드(11)가 내장되어 있으며, 일측에는 상기 회전제어기(110)와 액츄에이터제어기(130)를 연결시키기 위한 제어기포트(12, 13)와, 전원이 연결되는 파워포트(15)가 설치된 통합제어 기(1)와 ; 상기 통합제어기(1)의 일측에 설치된 키패드포트(14)에 접속되어 통합제어기(1)에 제어신호를 입력하는 입력수단으로 상기 모터들(110a, 120a, 120b)과 액츄에이터(130a)에 공급되는 전압을 조절하는 전압조절다이얼(21a, 21b, 21c, 21d)과, 회전모터(110a)의 회전방향을 조절하는 회전선택버튼(22a, 22b)과, X축모터(120a)와 Y축모터(120b) 및 액츄에이터(130a)의 구동속도를 제어하는 속도버튼(23)과, X축모터(120a)와 Y축모터(120b) 및 액츄에이터(130a)의 구동방향을 제어하여 시료홀더이송장치(100)를 수평으로 방향을 제어하는 조이스틱(24)을 포함하는 키패드(2)를 포함하여 구성된다. As shown, the electron microscope sample holder transfer control device according to the present invention is a rotary controller 110 for controlling the rotary motor 110a for rotating the sample holder, and the X-axis as a dual servo to move the sample holder horizontally A sample holder transfer device for an electron microscope having an motor (120a), an XY motor controller (120) for controlling the Y-axis motor (120b), and an actuator controller (130) for controlling a piezo actuator (130a). In the control device for controlling (100), the XY motor controller 120 is integrally formed, the integrated control board 11 for transmitting a control signal to the rotation controller 110 and the actuator controller 130 is built-in On one side, the integrated controller (1) is provided with a controller port (12, 13) for connecting the rotation controller 110 and the actuator controller 130, and a power port 15 is connected to the power; It is connected to the keypad port 14 installed on one side of the integrated controller 1 and is supplied to the motors 110a, 120a, 120b and the actuator 130a as input means for inputting a control signal to the integrated controller 1. Voltage adjusting dials 21a, 21b, 21c, 21d for adjusting the voltage, rotation selection buttons 22a, 22b for adjusting the rotation direction of the rotary motor 110a, X-axis motor 120a and Y-axis motor ( 120b) and the sample button holder 100 by controlling the driving direction of the speed button 23 for controlling the driving speed of the actuator 130a, the driving direction of the X-axis motor 120a, the Y-axis motor 120b and the actuator 130a. It comprises a keypad (2) comprising a joystick (24) to control the horizontal direction.

상기의 종래 기술에서 설명한 바와 같이 본 발명의 요지는 시료홀더를 회전시키는 회전모터를 제어하는 회전제어기(110)와, 시료홀더를 수평으로 이동시키는 X축모터, Y축모터를 제어하는 X-Y모터제어기(120) 및 액츄에이터의 구동을 제어하는 액츄에이터제어기(130)를 하나의 조작수단으로 제어하여 각 제어기를 따로 제어함에 따른 번거로움을 해소하기 위한 것이 목적이며, 이러한 목적을 이루기 위한 수단으로 상기한 통합제어기(1)와 키패드(2)를 구비하고 있다. As described in the above-described prior art, the gist of the present invention is a rotation controller 110 for controlling a rotation motor for rotating the sample holder, an X-axis motor for controlling the sample holder horizontally, and an XY motor controller for controlling the Y-axis motor. The purpose of controlling the controller 120 and the actuator controller 130 for controlling the driving of the actuator by one operation means is to eliminate the inconvenience of controlling each controller separately, and the above-mentioned integration as a means for achieving this purpose. The controller 1 and the keypad 2 are provided.

상기 통합제어기(1)는 내부에 통합제어보드(11)를 구비하고 있으며, 이 통합제어보드(11)는 상기 각 제어기들(110, 120, 130)에 제어신호를 전송하고 이들로부터 전송되는 신호를 수신하는 역할을 한다. The integrated controller 1 is provided with an integrated control board 11 therein, the integrated control board 11 transmits a control signal to each of the controllers (110, 120, 130) and transmitted from them It serves to receive.

상기 통합제어기(1)에는 상기 각 제어기들(120, 130)과 전기적으로 접속할 수 있게 하기 위한 제어기포트(12, 13)가 배면의 일측에 구비되어 있다. The integrated controller 1 is provided with a controller port 12, 13 on one side of the rear surface to be electrically connected to each of the controllers (120, 130).

상기 제어기포트(12, 13)들 중 하나인 제어기포트(12)는 회전제어기(110)가 접속되는 포트로서 회전제어기(110)의 제어신호의 전압과 통합제어보드(11)를 구동시키는 전원의 전압이 서로 다르며, 이렇게 서로 다른 전압을 갖는 신호가 서로 간섭을 일으켜 노이즈가 발생되는 것을 방지하기 위해 즉, 신호의 격리(isolation)를 위해 상기 회전제어기(110)가 접속되는 제어기포트(12)와 통합제어보드(11)사이에는 포토커플러가 설치되어 있다. The controller port 12, which is one of the controller ports 12 and 13, is a port to which the rotation controller 110 is connected, and the voltage of the control signal of the rotation controller 110 and the power supply for driving the integrated control board 11. Different voltages, and the controller port 12 to which the rotation controller 110 is connected to prevent the noise generated by the interference of the signals having different voltages, that is, the signal isolation (isolation) and Photocouplers are installed between the integrated control boards 11.

또한, 상기 통합제어기(1)의 전면 일측에는 표시수단(1a)이 설치되어 있다. In addition, the display means (1a) is provided on one side of the front surface of the integrated controller (1).

상기에서 통합제어기(1)의 통합제어보드(11)에는 X-Y모터제어기(120)가 일체로 구성되어 있어 이를 접속시키기 위한 제어기포트가 불필요하므로 제어기포트(12, 13)는 두 개만이 구비되어 있다. Since the XY motor controller 120 is integrally formed in the integrated control board 11 of the integrated controller 1, and there is no need for a controller port for connecting the integrated controller board 11, only two controller ports 12 and 13 are provided. .

상기 통합제어기(1)는 상기한 바와 같이 상기 각 제어기들(110, 120, 130)에 키패드(2)로부터 입력된 조작 신호를 전송하여 각 제어기들(110, 120, 130)에 제어신호를 전달하는 하나의 전송 수단의 역할을 하는 것으로 상기 통합제어보드(11)는 MCU(microcontroller unit)으로 구성되며, 하나의 실시예로 16MHz로 동작하는 8bit MCU로 구성하였으며, 프로그램이 설치되어 있어 제어기들에 제어신호를 전송하는 기능 및 입/출력 포트 즉, 파워포트, 제어기포트 등을 제어할 수 있게 하였다.The integrated controller 1 transmits a control signal to each of the controllers 110, 120, and 130 by transmitting an operation signal input from the keypad 2 to the controllers 110, 120, and 130 as described above. The integrated control board 11 is composed of a microcontroller unit (MCU), an 8-bit MCU operating at 16 MHz in one embodiment, and a program is installed in the controllers. It is possible to control the function of transmitting the control signal and the input / output ports, that is, the power port and the controller port.

상기 통합제어기(1)의 전면에 구비된 표시수단(1a)은 LCD(liquid crystal display)로 X축모터(120a), Y축모터(120b) 및 약츄에이터(130a)의 구동 전압을 표시해서 사용자가 X-Y축 구동부의 구동 전압을 알아보기 쉽게 했다.The display means 1a provided on the front of the integrated controller 1 is a liquid crystal display (LCD) to display driving voltages of the X-axis motor 120a, the Y-axis motor 120b, and the weak actuator 130a. Makes it easy to recognize the driving voltage of the XY axis driver.

상기 액츄에이터제어기(130)가 접속되는 제어기포트(13)는 액츄에이터제어기와의 RS-232 통신을 하고, 확장성을 위하여 Multi Channel RS-232 Drivers/Receivers인 MAX233을 사용할 수 있다. The controller port 13 to which the actuator controller 130 is connected may perform RS-232 communication with the actuator controller and use the MAX233, which is a multi-channel RS-232 drivers / receivers, for extensibility.

상기와 같이 구성된 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치에서 상기 키패드(2)에 구성된 각 구성요소는 상기에서 설명한 바와 같이 각 제어기(110, 120, 130)에 제어시호를 입력하기 위한 수단으로 상기 전압조절다이얼(21a~21d)은 사용자의 조작에 의해 X축모터(120a), Y축모터(120b), 액츄에이터(130a)에 공급되는 전압을 조절하도록 통합제어기(1)에 신호를 전송하고 통합제어기(1)에서 각 제어기들(120, 130)에 제어신호를 전송하여 X축모터(120a), Y축모터(120b), 액츄에이터(130a)에 공급되는 전압을 제어하게 하고, 회전선택버튼(22a, 22b)은 통합제어기(1)를 통해 상기 회전제어기(110)에 제어신호를 전송하여 회전모터(110a)의 회전방향을 조절하는 역할을 한다. In the electron microscope sample holder transfer control device configured as described above, each component configured in the keypad 2 is a means for inputting a control signal to each controller 110, 120, 130 as described above. The dials 21a to 21d transmit signals to the integrated controller 1 to adjust the voltage supplied to the X-axis motor 120a, the Y-axis motor 120b, and the actuator 130a by a user's manipulation. In 1), a control signal is transmitted to each of the controllers 120 and 130 to control the voltage supplied to the X-axis motor 120a, the Y-axis motor 120b, and the actuator 130a, and the rotation selection buttons 22a, 22b) transmits a control signal to the rotation controller 110 through the integrated controller 1 to adjust the rotation direction of the rotation motor 110a.

상기 키패드(2)에 구비된 조이스틱(24)은 상기 X-Y모터제어기(120)와 액츄에이터제어기(130)에 제어신호를 전송하여 시료홀더의 수평방향 위치를 조절 즉, X-Y 방향으로 시료홀더를 이송시키기 위한 신호를 입력하는 수단으로 이 조이스틱(24)이 움직이는 방향에 관련된 신호가 상기 통합제어기(1)에 전달되고 이 신호는 상기의 X-Y모터제어기(120)와 액츄에이터제어기(130)에 각각 전달되어 X축모터(120a)와 Y축모터(120b) 및 액츄에이터(130a)의 구동을 제어함으로써 시료홀더의 수평방향 위치가 조절된다. The joystick 24 provided on the keypad 2 transmits control signals to the XY motor controller 120 and the actuator controller 130 to adjust the horizontal position of the sample holder, that is, to transfer the sample holder in the XY direction. As a means for inputting a signal for the signal, a signal related to the direction in which the joystick 24 moves is transmitted to the integrated controller 1, and the signal is transmitted to the XY motor controller 120 and the actuator controller 130, respectively. The horizontal position of the sample holder is adjusted by controlling the driving of the shaft motor 120a, the Y-axis motor 120b, and the actuator 130a.

도 1은 본 발명에 따른 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치의 구성도이고, 1 is a block diagram of a sample holder feed control apparatus of an electron microscope according to the present invention,

도 2는 본 발명에 따른 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치를 구성하는 통합제어기와 키패드의 일예를 도시한 사시도이다. Figure 2 is a perspective view showing an example of the integrated controller and the keypad constituting the sample holder transport control device of the electron microscope according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 통합제어기 1a : 표시수단1: integrated controller 1a: display means

10 : 파워서플라이  10: power supply

11 : 통합제어보드  11: integrated control board

12, 13 : 제어기포트  12, 13: controller port

14 : 키패드포트  14: keypad port

15 : 파워포트   15: power port

2 : 키패드2: keypad

21a~21d : 전압조절다이얼  21a ~ 21d: Voltage control dial

22a, 22b : 회전선택버튼  22a, 22b: Rotation Selection Button

23 : 속도버튼   23: speed button

24 : 조이스틱  24: joystick

100 : 시료홀더이송장치 100: sample holder transfer device

110 : 회전제어기 110a : 회전모터110: rotation controller 110a: rotation motor

120 : X-Y모터제어기 120a : X축모터 120b : Y축모터120: X-Y motor controller 120a: X-axis motor 120b: Y-axis motor

130 : 액츄에이터제어기 130a : 액츄에이터 130: actuator controller 130a: actuator

Claims (3)

시료홀더를 회전시키는 회전모터(110a)를 제어하는 회전제어기(110)와, 시료홀더를 수평으로 이동시키는 이중서보기구로 X축모터(120a)와, Y축모터(120b)를 제어하는 X-Y모터제어기(120)와, 피에조 액츄에이터(Piezo Actuator)(130a)를 제어하는 액츄에이터제어기(130)를 구비한 전자현미경의 시료홀더이송장치(100)를 제어하는 제어장치에 있어서, A rotation controller 110 for controlling the rotation motor 110a for rotating the sample holder, and an XY motor controller for controlling the X-axis motor 120a and the Y-axis motor 120b as a dual servo to move the sample holder horizontally. In the control device for controlling the sample holder transfer device 100 of the electron microscope provided with an actuator controller 130 for controlling the 120 and the piezo actuator (130a), 상기 X-Y모터제어기(120)가 일체로 구성되고, 상기 회전제어기(110)와 액츄에이터제어기(130)에 제어신호를 전송하는 통합제어보드(11)가 내장되어 있으며, 일측에는 상기 회전제어기(110)와 액츄에이터제어기(130)를 연결시키기 위한 제어기포트(12, 13)와, 전원이 연결되는 파워포트(15)가 설치된 통합제어기(1)와 ; The XY motor controller 120 is integrally formed, and an integrated control board 11 for transmitting a control signal to the rotation controller 110 and the actuator controller 130 is built in, and one side of the rotation controller 110 is provided. An integrated controller (1) provided with controller ports (12, 13) for connecting the actuator controller (130) and a power port (15) to which power is connected; 상기 통합제어기(1)의 일측에 설치된 키패드포트(14)에 접속되어 통합제어기(1)에 제어신호를 입력하는 입력수단으로 상기 모터들(110a, 120a, 120b)와 액츄에이터(130a)에 공급되는 전압을 조절하는 전압조절다이얼(21a, 21b, 21c, 21d)과, 회전모터(110a)의 회전방향을 조절하는 회전선택버튼(22a, 22b)과, X축모터(120a)와 Y축모터(120b) 및 액츄에이터(130a)의 구동속도를 제어하는 속도버튼(23)과, X축모터(120a)와 Y축모터(120b) 및 액츄에이터(130a)의 구동방향을 제어하여 시료홀더이송장치(100)를 수평으로 방향을 제어하는 조이스틱(24)을 포함하는 키패드(2)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치.It is connected to the keypad port 14 installed on one side of the integrated controller 1 and is supplied to the motors 110a, 120a, 120b and the actuator 130a as input means for inputting a control signal to the integrated controller 1. Voltage adjusting dials 21a, 21b, 21c, 21d for adjusting the voltage, rotation selection buttons 22a, 22b for adjusting the rotation direction of the rotary motor 110a, X-axis motor 120a and Y-axis motor ( 120b) and the sample button holder 100 by controlling the driving direction of the speed button 23 for controlling the driving speed of the actuator 130a, the driving direction of the X-axis motor 120a, the Y-axis motor 120b and the actuator 130a. Electron microscope sample holder transfer control device, characterized in that it comprises a keypad (2) comprising a joystick (24) for controlling the horizontal direction. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 통합제어기(1)의 전면에는 표시수단(1a)이 설치됨을 특징으로 하는 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치.Sample holder transfer control device of the electron microscope, characterized in that the display means (1a) is installed on the front of the integrated controller (1). 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 회전제어기(110)가 접속되는 제어기포트(12, 13)와 통합제어보드(11)사이에는 구동 전압의 차이에 따른 신호의 간섭을 방지하기 위해 포토커플러가 설치됨을 특징으로 하는 전자현미경의 시료홀더 이송 제어장치.A sample of an electron microscope, characterized in that a photocoupler is installed between the controller ports 12 and 13 to which the rotation controller 110 is connected and the integrated control board 11 to prevent interference of a signal due to a difference in driving voltage. Holder transfer control.
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