[go: up one dir, main page]

KR100958574B1 - Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device - Google Patents

Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device Download PDF

Info

Publication number
KR100958574B1
KR100958574B1 KR1020030074609A KR20030074609A KR100958574B1 KR 100958574 B1 KR100958574 B1 KR 100958574B1 KR 1020030074609 A KR1020030074609 A KR 1020030074609A KR 20030074609 A KR20030074609 A KR 20030074609A KR 100958574 B1 KR100958574 B1 KR 100958574B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser light
glass
laser
mark
beam splitter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020030074609A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050039184A (en
Inventor
금창석
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020030074609A priority Critical patent/KR100958574B1/en
Publication of KR20050039184A publication Critical patent/KR20050039184A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100958574B1 publication Critical patent/KR100958574B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 레이저를 이용하여 글라스 아이디 및 패널 아이디를 패터닝하는 타이틀 공정과 글라스 외곽을 노광하는 주변노광 공정을 동시에 할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display device, which enables a title process of patterning a glass ID and a panel ID using a laser and an ambient exposure process of exposing the outside of the glass.

본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 포토 레지스터가 도포된 글라스와, 상기 글라스를 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지를 이송시키는 구동부와, 적어도 하나의 레이저 소스로부터 조사되는 레이저 광을 상기 구동부에 의해 이송되는 상기 글라스 상에 조사하여 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝함과 동시에 상기 레이저 광을 상기 글라스 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광하는 타이틀링/주변노광 모듈을 구비하는 것을 특징으로 한다. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a glass coated with a photoresist, a stage for supporting the glass, a driver for transferring the stage, and laser light irradiated from at least one laser source. A title ring / peripheral exposure module for irradiating the glass to the outside and patterning any one of a panel ID mark and a glass ID mark and simultaneously irradiating the laser light to the outer portion of the glass. It is characterized by including.

이러한, 본 발명은 대형 글라스 상에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크의 패터닝과 대형 글라스의 가장자리에 불필요한 포토 레지스터를 제거하는 주변노광을 동시에 실시 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 액정표시장치의 제조시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
Such, the present invention can simultaneously perform the patterning of the panel ID mark or the glass ID mark on the large glass and the peripheral exposure to remove the unnecessary photoresist on the edge of the large glass. Accordingly, the present invention can shorten the manufacturing time of the liquid crystal display and improve productivity.

Description

액정표시장치의 제조장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FABRICATION LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE} Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device {APPARATUS AND METHOD FABRICATION LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}             

도 1은 다수의 액정표시장치용 패널이 형성된 대형 글라스를 나타내는 평면도.1 is a plan view illustrating a large glass on which a plurality of panels for liquid crystal display devices are formed.

도 2는 도 1에 도시된 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크와 글라스의 주변 노광을 실시하게 위한 타이틀링 모듈 및 주변노광 모듈을 나타내는 사시도.FIG. 2 is a perspective view illustrating a panel ID mark or a glass ID mark shown in FIG. 1 and a titleing module and an ambient exposure module for performing peripheral exposure of the glass. FIG.

도 3은 도 2에 도시된 타이틀러를 나타내는 사시도.3 is a perspective view showing the titler shown in FIG. 2;

도 4는 도 2에 도시된 주변노광 모듈을 나타내는 도면.4 is a diagram illustrating an ambient exposure module shown in FIG. 2.

도 5 내지 도 13은 종래의 타이틀링 모듈 및 주변노광 모듈을 이용한 글라스 상에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크의 패터닝 공정 및 글라스의 주변 노광 공정을 단계적으로 나타내는 도면.5 to 13 are diagrams illustrating a step of patterning a panel ID mark or a glass ID mark and a peripheral exposure process of the glass on a glass using a conventional titled module and an ambient exposure module.

도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 나타내는 사시도.14 is a perspective view illustrating an apparatus for manufacturing a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 15는 도 14에 도시된 타이틀링/주변노광 모듈을 나타내는 사시도.FIG. 15 is a perspective view illustrating a title ring / peripheral exposure module shown in FIG. 14; FIG.

도 16은 도 14에 도시된 레이저 소스로부터의 레이저 광을 분리하는 것을 나 타내는 도면.FIG. 16 shows separation of laser light from the laser source shown in FIG.

도 17a 및 도 17b는 도 14에 도시된 다수의 집광렌즈를 이용하여 글라스 상에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크를 형성하는 과정을 나타내는 도면.17A and 17B illustrate a process of forming a panel ID mark or a glass ID mark on glass using a plurality of condenser lenses shown in FIG. 14.

도 18 및 도 19는 도 14에 도시된 제 1 및 제 2 확대렌즈를 이용하여 글라스의 외곽부를 주변노광하는 과정을 나타내는 도면.18 and 19 illustrate a process of peripherally exposing an outer portion of a glass by using the first and second magnifying lenses illustrated in FIG. 14.

도 20 내지 도 26은 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 단계적으로 나타내는 도면.20 to 26 are steps illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 27은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치에서 타이틀링/주변노광 모듈을 나타내는 사시도.FIG. 27 is a perspective view illustrating a title / peripheral exposure module in a manufacturing apparatus of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention. FIG.

도 28은 도 27에 도시된 레이저 소스들 각각으로부터 방출되는 레이저 광의 경로를 나타내는 도면.
FIG. 28 shows a path of laser light emitted from each of the laser sources shown in FIG. 27; FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10, 110 : 대형 글라스 12 : 글라스 아이디 마크10, 110: large glass 12: glass ID mark

20 : 액정표시장치용 패널 22 : 패널 아이디 마크20 panel for liquid crystal display 22 panel ID mark

24, 124 : 스테이지 25, 125 : 리프트 핀24, 124: stage 25, 125: lift pin

30 : 타이틀링 모듈 32 : 타이틀러30: Titleing Module 32: Titler

52 : 자외선 램프 62 : 마스크52: UV lamp 62: mask

80 : 주변노광 모듈 82, 84 : 주변 노광기80: peripheral exposure module 82, 84: peripheral exposure machine

130, 330 : 타이틀링/주변노광 모듈 132, 432 : 집광렌즈 130, 330: Titleing / Near Exposure Modules 132, 432: Condensing Lens                 

182a, 182b, 382a, 382b : 확대렌즈 200, 300, 302 : 레이저 소스182a, 182b, 382a, 382b: magnifying lens 200, 300, 302: laser source

220, 222, 320, 322 : 빔 스플리터 224, 324 : 반사경220, 222, 320, 322: beam splitter 224, 324: reflector

232, 234, 332, 334 : 고정 반사경 236, 336 : 회전 반사경232, 234, 332, 334: fixed reflectors 236, 336: rotating reflectors

250, 350 : 광경로 변환장치
250, 350: optical path inverter

본 발명은 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 레이저를 이용하여 글라스 아이디 및 패널 아이디를 패터닝하는 타이틀 공정과 글라스 외곽을 노광하는 주변노광 공정을 동시에 할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to manufacturing a liquid crystal display device capable of simultaneously performing a title process for patterning a glass ID and a panel ID using a laser and an ambient exposure process for exposing the outer glass. An apparatus and method are provided.

통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액티브 영역과 액티브 영역의 액정셀들을 구동하기 위한 구동회로들을 포함하게 된다.In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image corresponding to a video signal on a liquid crystal panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix form by adjusting light transmittance of liquid crystal cells according to a video signal. To this end, the liquid crystal display device includes an active region in which liquid crystal cells are arranged in an active matrix and driving circuits for driving liquid crystal cells in the active region.

통상적인 액정표시장치는 상부기판 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스, 컬러필터, 공통전극 및 배향막으로 구성되는 상판과; 하부기판 상에 순차적으로 형성된 TFT와, 화소전극 및 배향막으로 구성되는 하판과; 상판과 하판 사이에 형성된 스페이서와, 상판 및 하판 사이의 공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. A typical liquid crystal display device includes: a top plate composed of a black matrix, a color filter, a common electrode, and an alignment layer sequentially formed on an upper substrate; A lower plate composed of a TFT sequentially formed on the lower substrate, a pixel electrode and an alignment layer; A spacer formed between the upper plate and the lower plate, and a liquid crystal (not shown) injected into a space between the upper plate and the lower plate.

하판의 TFT는 게이트 라인에서 돌출된 게이트 전극, 데이터 라인에서 돌출된 소스 전극 및 접촉홀을 통해 화소 전극에 접속된 드레인 전극을 구비한다. 또한, TFT는 게이트 전극과 소스 전극 및 드레인 전극의 절연을 위한 게이트 절연막과, 게이트 전극에 공급되는 게이트전압에 의해 소스 전극과 드레인 전극간에 도통채널을 형성하기 위한 반도체층을 더 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터라인으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극에 공급한다. TFT를 통해 공급되는 데이터신호와 공통전극에 공급되는 공통전압(Vcom)의 전압차에 의해 액정이 회전하게 되며 액정의 회전 정도에 따라서 광투과량이 결정된다. 화소 전극은 데이터라인과 게이트라인에 의해 분할된 셀영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성물질로 이루어진다. 화소 전극은 하부기판 전면에 도포되는 보호막 위에 형성되며, 보호막에 형성된 접촉홀을 통해 드레인 전극과 전기적으로 접속된다. 화소 전극이 형성된 하부기판 상부에 배향막을 도포한 후 러빙공정을 수행하여 하판이 완성된다. The lower TFT includes a gate electrode protruding from the gate line, a source electrode protruding from the data line, and a drain electrode connected to the pixel electrode through the contact hole. The TFT further includes a gate insulating film for insulating the gate electrode, the source electrode and the drain electrode, and a semiconductor layer for forming a conductive channel between the source electrode and the drain electrode by a gate voltage supplied to the gate electrode. Such TFT selectively supplies the data signal from the data line to the pixel electrode in response to the gate signal from the gate line. The liquid crystal rotates by the voltage difference between the data signal supplied through the TFT and the common voltage Vcom supplied to the common electrode, and the light transmittance is determined according to the degree of rotation of the liquid crystal. The pixel electrode is positioned in a cell region divided by a data line and a gate line and is made of a transparent conductive material having high light transmittance. The pixel electrode is formed on the passivation layer applied to the entire lower substrate, and is electrically connected to the drain electrode through the contact hole formed in the passivation layer. After the alignment layer is coated on the lower substrate on which the pixel electrode is formed, a rubbing process is performed to complete the lower plate.

상판은 상부기판 상에 TFT 형성영역과 대응되는 블랙 매트릭스를 형성하여 컬러필터가 형성될 셀영역을 마련한다. 블랙 매트릭스는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터는 블랙 매트릭스에 의해 분리된 영역에 형성된다. 컬러필터는 특정파장의 광을 선택적으로 투과시킴으로써 R, G, B 색상을 구현한다. 공통전극에는 액정의 움직임을 제어하기 위한 공통전압(Vcom)이 공급되며, 공통전극 상에 배향막을 형성한 후 러빙공정을 수행함으로써 상판이 완성된다.The top plate forms a black matrix corresponding to the TFT formation region on the upper substrate to prepare a cell region where a color filter is to be formed. The black matrix prevents light leakage and enhances contrast by absorbing external light. The color filter is formed in the area separated by the black matrix. The color filter selectively transmits light of a specific wavelength to realize R, G, and B colors. The common electrode is supplied with a common voltage Vcom for controlling the movement of the liquid crystal, and the upper plate is completed by performing a rubbing process after forming an alignment layer on the common electrode.

이와 같이, 별도의 공정을 통해 완성된 상판과 하판 중 어느 하나의 기판에 분사노즐을 사용하여 구 형상의 스페이서를 산포한다. 이후, 상판과 하판을 정위치시켜 합착한 후 액정을 주입하여 봉지함으로써 액정표시장치를 완성한다.As such, the spherical spacers are dispersed using the spray nozzles on any one of the upper and lower substrates completed through separate processes. Subsequently, the upper and lower plates are bonded to each other, and then the liquid crystal is injected and sealed to complete the liquid crystal display.

상기에 같은 액정표시장치의 제조공정시 전 공정의 자동화에 따른 공정의 효율을 위하여 도 1에 도시된 바와 같이 대형 글라스(10) 상에 글라스 아이디 마크(Glass ID Mark)(12) 및 대형 글라스(10) 상에 다수로 형성되는 액정표시장치의 패널(20) 상에 패널 아이디 마크(Panel ID Mark)(22)를 형성하는 타이틀링(titling) 공정과, 대형 글라스(10)의 외곽부의 불필요한 포토 레지스트를 일정한 규격으로 제거하기 위한 주변 노광공정이 수반된다. As shown in FIG. 1, a glass ID mark 12 and a large glass on the large glass 10 are shown in FIG. 1 for the efficiency of the process according to the automation of all processes in the manufacturing process of the liquid crystal display device. 10) a titleling process of forming a panel ID mark 22 on the panel 20 of the liquid crystal display device formed on the plurality of liquid crystal devices, and unnecessary photos of the outer portion of the large glass 10; A peripheral exposure process is involved to remove the resist to a certain specification.

상기 글라스 아이디 마크(12) 및 패널 아이디 마크(22)는 추후 광학적 문자 판독기(Optical Character Reader ; OCR) 또는 VCR(Veri-Code Reader)를 통해 빛이 반사/투과되는 차이를 이용하여 아이디를 인식하기 위하여 형성된다.The glass ID mark 12 and the panel ID mark 22 may be used to recognize the ID using a difference in which light is reflected / transmitted through an optical character reader (OCR) or a VCR (Veri-Code Reader). Is formed.

이러한, 글라스 아이디 마크(12)와 패널 아이디 마크(22) 및 주변 노광은 포토 레지스트(Photo Resist)층의 도포, 노광, 현상, 식각 등의 일련의 공정을 포함하는 사진식각(photolithography) 공정에 의한 패터닝(patterning)된다. 이 때, 사진식각 공정은, 한 예로 패널 상에 금속 물질을 증착하는 단계와, 금속 물질 상부에 포토 레지스트 층을 도포하는 단계와, 포토 레지스트 층 상부에 노광부를 가지는 마스크를 배치한 후, 마스크의 노광부를 통해 PR 물질을 노광, 현상하여 일정 패턴을 가지는 포토 레지스트 층을 형성하는 단계와, 포토 레지스트 층을 마스크로 하여 금속물질을 식각하여 금속 물질을 패터닝하는 단계를 포함한다.The glass ID mark 12, the panel ID mark 22, and the peripheral exposure may be formed by a photolithography process including a series of processes such as application, exposure, development, and etching of a photoresist layer. It is patterned. In this case, the photolithography process includes, for example, depositing a metal material on a panel, applying a photoresist layer on the metal material, and disposing a mask having an exposed portion on the photoresist layer, and then removing the mask. Exposing and developing the PR material through the exposure unit to form a photoresist layer having a predetermined pattern, and etching the metal material using the photoresist layer as a mask to pattern the metal material.

이를 위해, 일반적인 액정표시장치의 제조장치는 도 2에 도시된 바와 같이 포토 레지스트가 도포된 대형 글라스(10) 상의 다수의 액정표시장치의 패널(20) 각각의 일측에 패널 아이디 마크(22)를 패터닝함과 아울러 대형 글라스(10)의 일측에 글라스 아이디 마크(12)를 패터닝하는 타이틀링 모듈(30)과, 타이틀링 모듈(30)에 인접하게 설치되어 대형 글라스(10)의 외곽부를 주변 노광하는 주변노광 모듈(80)을 구비한다.To this end, a general apparatus for manufacturing a liquid crystal display device includes a panel ID mark 22 on one side of each panel 20 of a plurality of liquid crystal display devices on a large glass 10 coated with photoresist as shown in FIG. 2. In addition to the patterning, the titled module 30 for patterning the glass ID mark 12 on one side of the large glass 10, and adjacent to the titled module 30 is installed to expose the outer portion of the large glass 10 to the peripheral exposure A peripheral exposure module 80 is provided.

타이틀링 모듈(30)은 프레임(31)과, 프레임(31)의 전면에 설치되어 자외선 램프로부터의 타이틀링 광(40)을 대형 글라스(10)의 액정표시장치의 패널(20) 상에 조사하여 패널 아이디 마크(22) 또는 글라스 아이디 마크(12)를 패터닝하는 다수의 타이틀러(32)를 구비한다.The title module 30 is provided on the frame 31 and the front of the frame 31 to irradiate the title light 40 from the ultraviolet lamp on the panel 20 of the liquid crystal display of the large glass 10. And a plurality of titlers 32 for patterning the panel ID mark 22 or the glass ID mark 12.

다수의 타이틀러(32) 각각은 도 3에 도시된 바와 같이 패널 아이디 마크(22) 또는 글라스 아이디 마크(12)의 패턴이 형성된 마스크(62)와, 상기 마스크(62)를 경유하여 대형 글라스(10) 상에 자외선을 조사하는 자외선 램프(52)를 포함한다.Each of the plurality of titlers 32 includes a mask 62 having a pattern of a panel ID mark 22 or a glass ID mark 12 as shown in FIG. 3, and a large glass (via the mask 62). 10) an ultraviolet lamp 52 for irradiating ultraviolet light.

이러한, 다수의 타이틀러(32) 각각은 마스크(62)를 경유하여 자외선 램프(52)로부터 대형 글라스(10) 상에 조사되는 자외선(40)을 이용하여 대형 글라스(10) 상에 글라스 아이디 마크(12)를 패터닝하거나, 대형 글라스(10) 상에 형성된 다수의 액정표시장치용 패널(20) 각각에 패널 아이디 마크(22)를 패터닝하게 된다. Each of the plurality of titlers 32 has a glass ID mark on the large glass 10 using ultraviolet rays 40 irradiated onto the large glass 10 from the ultraviolet lamp 52 via the mask 62. The panel ID mark 22 is patterned on each of the plurality of liquid crystal display panels 20 formed on the large glass 10.                         

주변노광 모듈(80)은 구동 프레임(81)과, 구동 프레임(81)의 양끝단에 설치되는 제 1 및 제 2 주변노광기(82, 84)를 구비한다.The peripheral exposure module 80 includes a driving frame 81 and first and second peripheral exposure devices 82 and 84 installed at both ends of the driving frame 81.

구동 프레임(81)은 제 1 및 제 2 주변노광기(82, 84) 각각을 자신의 길이방향으로 이송시킴과 아울러 지지하게 된다.The driving frame 81 transports and supports each of the first and second peripheral exposure devices 82 and 84 in its longitudinal direction.

제 1 및 제 2 주변노광기(82, 84) 각각은 도 4에 도시된 바와 같이 몸체(96)와, 몸체(96) 내부에 설치되는 자외선 램프(90)와, 몸체(96)의 하단에 설치되어 자외선 램프(90)로부터의 자외선(70)을 확대하여 대형 글라스(10)의 외곽부에 조사하는 렌즈(94)를 구비한다.Each of the first and second peripheral exposure devices 82 and 84 is installed at the bottom of the body 96, the ultraviolet lamp 90 installed inside the body 96, and the body 96 as shown in FIG. 4. And a lens 94 for expanding the ultraviolet rays 70 from the ultraviolet lamp 90 and irradiating the outer portion of the large glass 10.

이러한, 제 1 및 제 2 주변노광기(82, 84) 각각은 구동 프레임(81)에 의해 구동 프레임(81)의 길이 방향으로 이송된 후, 렌즈(94)에 의해 확대되어 출사되는 자외선 램프(90)로부터의 자외선을 이용하여 대형 글라스(10)의 장축 변 및 단축 변을 노광하게 된다. 이 때, 제 1 및 제 2 주변노광기(82, 84) 각각은 일정량의 자외선(70)을 대형 글라스(10)의 외곽부로부터 대략 5mm 정도까지 균일하게 조사해야 하므로 대형 글라스(10)의 이송 중에 실시하여야 한다.Each of the first and second peripheral exposure devices 82 and 84 is transferred to the longitudinal direction of the drive frame 81 by the drive frame 81, and then is extended by the lens 94 to emit an ultraviolet lamp 90. Ultraviolet rays from) are used to expose the long and short sides of the large glass 10. At this time, each of the first and second peripheral exposure devices 82 and 84 should uniformly irradiate a certain amount of ultraviolet light 70 to about 5 mm from the outer portion of the large glass 10 during transport of the large glass 10. It must be done.

이와 같은 종래의 타이틀링 공정 및 주변 노광공정을 도 5 내지 13을 참조하여 단계적으로 설명하면 다음과 같다.The conventional titled process and the peripheral exposure process will be described step by step with reference to FIGS. 5 to 13.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이 도시하지 않은 로딩장치에 의해 포토 레지스트가 도포된 대형 글라스(10)가 스테이지(24) 상에 설치된 리프트 핀(25)에 로딩된다. 그리고, 리프트 핀(25)이 하강함과 동시에 스테이지(24) 상에 발생되는 진공 흡착력에 의해 대형 글라스(10)가 스테이지(24) 상에 진공흡착된다. First, as shown in FIG. 5, a large glass 10 coated with photoresist is loaded on a lift pin 25 provided on a stage 24 by a loading device not shown. As the lift pin 25 descends, the large glass 10 is vacuum-adsorbed on the stage 24 by the vacuum suction force generated on the stage 24.                         

그런 다음, 도 6에 도시된 바와 같이 스테이지(24)를 이송시켜 스테이지(24) 상에 설치된 타이틀링 모듈(30) 및 주변노광 모듈(80)과 대형 글라스(10) 간의 얼라인시키게 된다.Then, as illustrated in FIG. 6, the stage 24 is transferred to align the title module 30 and the peripheral exposure module 80 and the large glass 10 installed on the stage 24.

이어서, 도 7에 도시된 바와 같이 구동축(28)에 의해 스테이지(24)가 일정한 속도로 이송함과 아울러 주변노광 모듈(80)이 구동되어 대형 글라스(10)의 장축 변에 자외선을 조사하게 된다. 이에 따라, 대형 글라스(10)의 장축 변은 주변노광 모듈(80)로부터 조사되는 자외선에 의해 노광된다.Subsequently, as shown in FIG. 7, the stage 24 is transferred at a constant speed by the drive shaft 28, and the peripheral exposure module 80 is driven to irradiate ultraviolet rays to the long axis side of the large glass 10. . Accordingly, the long axis side of the large glass 10 is exposed by ultraviolet light emitted from the peripheral exposure module 80.

대형 글라스(10)의 장축 변의 주변노광이 완료되면, 스테이지(24)는 도 8에 도시된 바와 같이 도시하지 않은 구동장치에 의해 90도 회전하게 된다.When the peripheral exposure of the long axis side of the large glass 10 is completed, the stage 24 is rotated 90 degrees by a driving device (not shown) as shown in FIG. 8.

그런 다음, 90도 회전된 스테이지(24)는 도 9에 도시된 바와 같이 구동축(28)의 회전에 의해 다시 직선운동하게 된다. 스테이지(24)의 이송함과 동시에 타이틀 모듈(30)이 구동되어 마스크(62)를 경유하는 자외선(40)을 대형 글라스(10) 상에 조사함으로써 대형 글라스(10) 상에 패널 아이디 마크(22) 또는 글라스 아이디 마크(12)를 패터닝하게 된다. 이 때, 패널 아이디 마크(22) 또는 글라스 아이디 마크(12)의 노광공정은 스테이지(24)의 정지 및 노광 -> 스테이지(24) 이송 -> 스테이지(24)의 정지 및 노광 -> 스테이지(24) 이송을 반복하여 타이틀링하게 된다.Then, the stage 24 rotated 90 degrees is again linearly moved by the rotation of the drive shaft 28 as shown in FIG. At the same time as the stage 24 is transferred, the title module 30 is driven to irradiate the ultraviolet light 40 passing through the mask 62 on the large glass 10 to display the panel ID mark 22 on the large glass 10. Or the glass ID mark 12 is patterned. At this time, the exposure process of the panel ID mark 22 or the glass ID mark 12 is performed by stopping and exposing the stage 24-> conveying the stage 24-> stopping and exposing the stage 24-> stage 24 ) Titleing will be repeated.

이어서, 도 10에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 주변노광기(82, 84) 각각은 구동 프레임(81)에 의해 구동 프레임(81)의 가장자리로 이송하게 되고, 스테이지(24)는 구동축(28)에 의해 직선운동하게 된다. 그리고, 주변노광 모듈(80)이 구동된다.Subsequently, as shown in FIG. 10, each of the first and second peripheral exposure devices 82 and 84 is transferred to the edge of the drive frame 81 by the drive frame 81, and the stage 24 is driven by the drive shaft 28. Linear motion. Then, the peripheral exposure module 80 is driven.

이에 따라, 도 11에 도시된 바와 같이 대형 글라스(10) 상의 단축 변은 주변노광 모듈(80)로부터 조사되는 자외선(70)에 의해 주변 노광된다.Accordingly, as shown in FIG. 11, the short axis on the large glass 10 is peripherally exposed by the ultraviolet light 70 emitted from the peripheral exposure module 80.

이와 같이, 장축 및 단축 변을 포함하는 외곽부가 주변노광 모듈(80)에 의해 주변노광 됨과 아울러, 타이틀 모듈(30)에 의해 패널 아이디 마크(22) 또는 글라스 아이디 마크(12)가 패터닝된 대형 글라스(10)는 도 12에 도시된 바와 같이 스테이지(24)의 직선운동에 의해 글라스 로딩위치로 복귀하게 된다. 그런 다음, 글라스 로딩위치로 복귀된 스테이지(24)는 구동장치에 의해 90도 회전함과 동시에 이송되게 된다.As described above, the outer portion including the long axis and the short axis is exposed to the surroundings by the peripheral exposure module 80, and the large-size glass on which the panel ID mark 22 or the glass ID mark 12 is patterned by the title module 30. 12 returns to the glass loading position by the linear movement of the stage 24 as shown in FIG. Then, the stage 24 returned to the glass loading position is transported at the same time as it is rotated 90 degrees by the drive device.

마지막으로, 도 13에 도시된 바와 같이 회전된 스테이지(24) 상에 발생되는 진공 흡착력이 제거됨과 아울러 스테이지(24) 상에서 리프트 핀(25)이 상승되어져 스테이지(24) 상의 대형 글라스(10)를 소정 높이로 들어올리게 된다. 스테이지(24) 상에서 리프트 핀(25)에 의해 들어올려진 대형 글라스(10)는 도시하지 않은 글라스 언로딩장치에 의해 언로딩된다.Finally, as shown in FIG. 13, the vacuum suction force generated on the rotated stage 24 is removed, and the lift pin 25 is raised on the stage 24 to lift the large glass 10 on the stage 24. It is lifted to a predetermined height. The large glass 10 lifted by the lift pins 25 on the stage 24 is unloaded by a glass unloading device (not shown).

이와 같은, 액정표시장치의 제조공정은 타이틀링 공정과 주변 노광공정을 별도의 공정으로 수행함으로써 제조공정 시간이 길어지며, 자외선 램프의 짧은 수명으로 인한 일정기간 마다 자외선 램프를 교환해야만 한다.
Such a manufacturing process of the liquid crystal display device has a long manufacturing process time by performing the title process and the peripheral exposure process in separate processes, and the UV lamps must be replaced at regular intervals due to the short life of the UV lamps.

따라서, 본 발명의 목적은 레이저를 이용하여 글라스 아이디 및 패널 아이디 를 패터닝하는 타이틀 공정과 글라스 외곽을 노광하는 주변노광 공정을 동시에 할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조장치 및 방법을 제공하는데 있다.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display device which can simultaneously perform a title process for patterning a glass ID and a panel ID using a laser and an ambient exposure process for exposing an outer portion of the glass.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 포토 레지스터가 도포된 글라스와, 상기 글라스를 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지를 이송시키는 구동부와, 적어도 하나의 레이저 소스로부터 조사되는 레이저 광을 상기 구동부에 의해 이송되는 상기 글라스 상에 조사하여 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝함과 동시에 상기 레이저 광을 상기 글라스 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광하는 타이틀링/주변노광 모듈을 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, an apparatus for manufacturing a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a glass coated with a photoresist, a stage for supporting the glass, a driver for transferring the stage, and at least one laser source. Irradiating the laser light irradiated from the glass onto the glass transferred by the driving unit to pattern any one of a panel ID mark and a glass ID mark, and simultaneously irradiate the laser light to the glass outer part to expose the glass to the surroundings. And a titleing / peripheral exposure module.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 타이틀링/주변노광 모듈은, 프레임과, 상기 프레임의 내부에 설치되어 상기 레이저 광을 발생하는 상기 레이저 소스와, 반사율 및 투과율에 따라 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 광 분리부와, 상기 광분리 부에 의해 분리된 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환시키기 위한 광경로 변환부와, 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하기 위한 다수의 집광렌즈와, 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하기 위한 다수의 확대렌즈를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display, the title / peripheral exposure module includes a frame, the laser source installed inside the frame to generate the laser light, and the laser from the laser source according to reflectance and transmittance. An optical separation unit for separating the light, an optical path conversion unit for converting paths of the laser light separated by the optical separation unit, and a laser beam incident from the optical path conversion unit to focus the light on the glass And a plurality of condensing lenses for illuminating, and a plurality of condensing lenses for enlarging the laser light incident from the light path converting portion and illuminating the outer portion of the glass.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 광 분리부는, 상기 레이저 소스로부 터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 1 빔 스플리터와, 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 2 빔 스플리터와, 상기 제 2 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광을 반사시키는 반사경을 구비하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device, the optical separation unit comprises: a first beam splitter reflecting half of the laser light from the laser source and transmitting the remaining beam; and the laser beam transmitted through the first beam splitter And a second beam splitter for reflecting half of the light and transmitting the other, and a reflector for reflecting the laser light transmitted through the second beam splitter.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 광경로 변환부는, 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경과, 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 1 고정 반사경과, 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 2 고정 반사경을 구비하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display, the light path converting unit may be configured to have a predetermined angle according to a pattern of the panel ID mark and the glass ID mark so that the laser light reflected from the first beam splitter is irradiated to any one of the plurality of condensing lenses. A plurality of rotational reflectors rotating at a second direction, a plurality of first fixed reflectors reflecting the laser light reflected from the second beam splitter to be irradiated to a first one of the plurality of magnification lenses, and the reflections reflected from the reflector And a plurality of second fixed reflectors reflecting the laser light so as to be irradiated to the second magnifying lens of the plurality of magnifying lenses.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device, each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotation reflectors, and irradiates the condensed laser light onto the glass to display the panel ID mark and the glass. Patterning any one of the ID mark.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 한다. In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device, each of the plurality of magnifying lenses is reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors to enlarge the laser light incident thereon, and to apply the enlarged laser light to the edge region of the glass. Characterized in that.                     

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 타이틀링/주변노광 모듈은, 프레임과, 상기 프레임의 내부에 설치되어 상기 레이저 광을 발생하는 상기 제 1 및 제 2 레이저 소스와, 반사율 및 투과율에 따라 상기 제 1 및 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 광 분리부와, 상기 광분리 부에 의해 분리된 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환시키기 위한 광경로 변환부와, 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하기 위한 다수의 집광렌즈와, 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광 각각을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하기 위한 다수의 확대렌즈를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display, the title / peripheral exposure module includes a frame, the first and second laser sources installed inside the frame to generate the laser light, and the reflecting and transmittance according to the first and second exposure sources. An optical separation unit for separating the laser light from the first and second laser sources, an optical path conversion unit for converting a path of each of the laser lights separated by the optical separation unit, and an incident from the optical path conversion unit And a plurality of condensing lenses for condensing the laser light to be irradiated onto the glass, and a plurality of condensing lenses for enlarging each of the laser lights incident from the light path converting portion and irradiating the outer portion of the glass. It features.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 광 분리부는, 상기 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 1 빔 스플리터와, 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 2 빔 스플리터와, 상기 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 반사시키는 반사경을 구비하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display, the optical separation unit includes: a first beam splitter reflecting half of the laser light from the first laser source and transmitting the remaining beam; and the laser beam transmitted through the first beam splitter And a second beam splitter for reflecting half of the light and transmitting the other, and a reflector for reflecting the laser light from the second laser source.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 광경로 변환부는 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 1 고정 반사경과, 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 2 고정 반사경과, 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경을 구비하는 것을 특징으로 한다.And a plurality of first fixed reflectors reflecting the laser light reflected from the first beam splitter to be irradiated to a first magnification lens among the plurality of magnification lenses in the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device; A plurality of second fixed reflectors for reflecting the laser light reflected from the two-beam splitter to be irradiated to a second one of the plurality of magnifying lenses, and the laser light reflected from the reflectors to any one of the plurality of condensing lenses And a plurality of rotating reflectors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark to be irradiated.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device, each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotation reflectors, and irradiates the condensed laser light onto the glass to display the panel ID mark and the glass. Patterning any one of the ID mark.

상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device, each of the plurality of magnifying lenses is reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors to enlarge the laser light incident thereon, and to apply the enlarged laser light to the edge region of the glass. Characterized in that.

본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 포토 레지스터가 도포된 글라스를 마련하는 제 1 단계와, 상기 글라스를 스테이지 상에 진공흡착하는 제 2 단계와, 상기 스테이지를 직선 방향으로 이송시키는 제 3 단계와, 적어도 하나의 레이저 소스로부터 조사되는 레이저 광을 상기 이송되는 글라스 상에 조사하여 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝함과 동시에 상기 레이저 광을 상기 글라스 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, a method of manufacturing a liquid crystal display device includes a first step of preparing a glass coated with a photoresist, a second step of vacuum sucking the glass on a stage, and transferring the stage in a linear direction. In a third step, the laser light irradiated from at least one laser source is irradiated onto the transported glass to pattern any one of a panel ID mark and a glass ID mark, and simultaneously irradiate the outer portion of the glass with the laser light. And a fourth step of peripherally exposing the glass.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 제 4 단계는 상기 레이저 소스로부터 상기 레이지 광을 발생하는 단계와, 반사율 및 투과율에 따라 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 단계와, 상기 분리된 레이저 광 각각의 경로를 변환시키는 단계와, 상기 광 경로가 변환된 상기 레이저 광을 집광하여 상기 글 라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝함과 동시에 상기 광 경로가 변환된 상기 레이저 광 각각을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing method of the liquid crystal display device, the fourth step includes generating the laser light from the laser source, separating the laser light from the laser source according to reflectance and transmittance, and separating the laser light. Converting each path, condensing the laser light converted by the optical path, irradiating onto the glass, and patterning any one of the panel ID mark and the glass ID mark, and simultaneously with the patterning And enlarging each of the laser beams in which the optical path is converted and irradiating the outer portion of the glass to peripherally expose the glass.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 레이저 광을 분리하는 단계는 제 1 빔 스플리터를 이용하여 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 단계와, 제 2 빔 스플리터를 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 단계와, 반사경을 이용하여 상기 제 2 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광을 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing the liquid crystal display, the separating of the laser light may include reflecting half of the laser light from the laser source and transmitting the remaining light by using a first beam splitter, and using a second beam splitter. Reflecting half of the laser light transmitted through the first beam splitter and transmitting the rest of the laser light; and reflecting the laser light emitted through the second beam splitter using a reflector. It features.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 레이저 광의 경로를 변환하는 단계는, 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경을 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 반사시키는 단계와, 다수의 제 1 고정 반사경을 이용하여 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계와, 다수의 제 2 고정 반사경을 이용하여 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The converting of the laser light path in the method of manufacturing the liquid crystal display includes reflecting from the first beam splitter using a plurality of rotating reflectors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark. Reflecting the laser light to be irradiated to any one of the plurality of condensing lenses, and the laser light reflected from the second beam splitter using a plurality of first fixed reflectors is a first magnifying lens of the plurality of magnifying lenses And reflecting the laser light reflected from the reflector using a plurality of second fixed reflectors to irradiate the second magnification lens among the plurality of magnification lenses.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수 의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing the liquid crystal display device, each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotation reflectors, and irradiates the condensed laser light onto the glass to display the panel ID mark and the glass. Patterning any one of the ID mark.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing the liquid crystal display device, each of the plurality of magnifying lenses enlarges the laser light reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors, and irradiates the enlarged laser light to the edge region of the glass. Characterized in that.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 제 4 단계는 상기 제 1 및 제 2 레이저 소스를 이용하여 상기 레이저 광을 발생하는 단계와, 반사율 및 투과율에 따라 상기 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 단계와, 반사경을 이용하여 상기 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 반사시키는 단계와, 상기 분리된 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환하는 단계와, 상기 반사된 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환하는 단계와, 상기 광 경로가 변환된 상기 제 2 레이저 소스로부터의 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝함과 동시에 상기 광 경로가 변환된 상기 제 1 레이저 소스로부터의 레이저 광 각각을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing method of the liquid crystal display device, the fourth step includes generating the laser light using the first and second laser sources, and separating the laser light from the first laser source according to reflectance and transmittance. Reflecting the laser light from the second laser source using a reflector, converting a path of each of the laser light from the separated first laser source, and reflecting the second reflected light. Converting a path of each of the laser light beams from a laser source, condensing the laser light from the second laser source from which the light path is converted, and irradiating the glass onto any one of the panel ID mark and the glass ID mark. Patterning one, and simultaneously with the patterning, the optical path is converted into the first laser source By expanding the laser beam is irradiated to each of the emitter outer part of the glass is characterized by comprising the step of exposing the surrounding glass.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 레이저 광을 분리하는 단계는, 제 1 빔 스플리터를 이용하여 상기 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 단계와, 제 2 빔 스플리터를 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광을 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Separating the laser light in the method of manufacturing the liquid crystal display device includes: reflecting half of the laser light from the first laser source and transmitting the remaining light by using a first beam splitter; And reflecting the laser light that is irradiated through the first beam splitter.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 레이저 광의 경로를 변환하는 단계는 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경을 이용하여 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 반사시키는 단계와, 다수의 제 1 고정 반사경을 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계와, 다수의 제 2 고정 반사경을 이용하여 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing the liquid crystal display, the converting of the laser light path may include converting the laser light reflected from the reflector using a plurality of rotating reflectors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark. Reflecting to be irradiated with any one of the plurality of condensing lenses, and reflecting the laser light reflected from the first beam splitter using a plurality of first fixed reflectors to be irradiated to a first magnifying lens of the plurality of magnifying lenses And reflecting the laser light reflected from the second beam splitter using a plurality of second fixed reflectors to be irradiated to a second magnification lens of the plurality of magnification lenses.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 한다.In the manufacturing method of the liquid crystal display device, each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected from the plurality of rotating reflectors and is incident on the glass. The condensed laser light is irradiated onto the glass to display the panel ID mark and the glass. Patterning any one of the ID mark.

상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 한다. In the method of manufacturing the liquid crystal display device, each of the plurality of magnifying lenses enlarges the laser light reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors, and irradiates the enlarged laser light to the edge region of the glass. Characterized in that.                     

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 14 내지 도 28을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 14 to 28.

도 14를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 포토 레지스트가 도포된 대형 글라스(110)가 안착되는 스테이지(124)와, 스테이지(124)를 이송시키기 위한 구동장치(128)와, 대형 글라스(110) 상에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크를 패터닝함과 동시에 대형 글라스(110)의 외곽부를 주변노광하기 위한 타이틀링/주변노광 모듈(130)을 구비한다.Referring to FIG. 14, an apparatus for manufacturing a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention may include a stage 124 on which a large glass 110 coated with photoresist is mounted, and a drive for transferring the stage 124. Apparatus 128 and a title ring / peripheral exposure module 130 for patterning the panel ID mark or glass ID mark on the large glass 110 and for peripheral exposure of the outer portion of the large glass 110.

대형 글라스(110) 상에는 다수의 도시하지 않은 액정표시장치용 패널이 형성되고, 전면 상에는 포트 레지스트가 도포된다.A large number of panels for liquid crystal display devices (not shown) are formed on the large glass 110, and a port resist is coated on the entire surface thereof.

구동장치(128)는 스테이지(124)를 X축 및 Y축 방향으로 이송시킴과 아울러 스테이지(124)를 회전시키는 역할을 한다. 스테이지(124)는 진공흡착에 의해 대형 글라스(110)를 지지하게 된다.The driving device 128 serves to rotate the stage 124 while feeding the stage 124 in the X and Y axis directions. The stage 124 supports the large glass 110 by vacuum suction.

타이틀링/주변노광 모듈(130)은 도 15에 도시된 바와 같이 몸체(131)와, 몸체(131)의 배면 양 가장자리에 설치되는 제 1 및 제 2 확대렌즈(182a, 182b)와, 제 1 및 제 2 확대렌즈(182a, 182b) 사이에 나란하게 배치되는 다수의 집광렌즈(132)와, 몸체(131) 내부의 일측에 설치되어 레이저 광(210)을 발생하는 레이저 소스(200)와, 레이저 소스(200)의 전면에 설치되어 투과율 및 반사율에 따라 레이저 소스(200)로부터의 레이저 광(210)을 분리하는 제 1 및 제 2 빔 스플리터(220, 222)와, 제 2 빔 스플리터(222)를 투과하여 입사되는 레이저 광(210)을 반사시키기 위한 반사경(224)과, 제 1 및 제 2 빔 스플리터(220, 222)) 각각으로부터 반사되어져 입사되는 레이저 광(210)을 제 1 및 제 2 확대렌즈(182a, 182b)로 입사되도록 레이저 광(210)의 경로를 변환함과 아울러 반사경(224)으로부터 반사되어져 입사되는 레이저 광(210)의 경로를 다수의 집광렌즈(132) 중 어느 하나로 입사되도록 레이저 광(210)의 경로를 변환하는 광경로 변환장치(250)를 구비한다.As shown in FIG. 15, the title ring / peripheral exposure module 130 includes a body 131, first and second magnifying lenses 182a and 182b installed at both edges of the rear surface of the body 131, and a first And a plurality of condensing lenses 132 disposed side by side between the second magnification lenses 182a and 182b, a laser source 200 installed on one side of the body 131 to generate the laser light 210, First and second beam splitters 220 and 222 and second beam splitter 222 which are installed in front of the laser source 200 to separate the laser light 210 from the laser source 200 according to the transmittance and reflectance. The first and second reflection mirrors 224 for reflecting the laser light 210 incident through the light beam and the laser light 210 reflected and incident from the first and second beam splitters 220 and 222, respectively. 2 is converted to the path of the laser light 210 to be incident to the magnification lens (182a, 182b) and reflected from the reflector 224 And a conversion unit 250, the optical path for converting the path of the laser light 210 to be incident either one of the path of the laser light 210 which is used a plurality of light-converging lens 132.

레이저 소스(200)는 도 16에 도시된 바와 같이 레이저 광(210)을 발생하고, 발생된 레이저 광(210)을 제 1 및 제 2 빔 스플리터(220, 222)와 반사경(224)으로 입사시키게 된다. 이 때, 제 1 및 제 2 빔 스플리터(220, 222) 각각은 레이저 소스(200)로부터 입사되는 100%의 레이저 광(210) 중 50%의 레이저 광(210)을 반사시키고 나머지는 투과시키게 된다. 이에 따라, 제 1 빔 스플리터(220)에 의해 반사되는 50%의 레이저 광(210)은 광경로 변환장치(250)에 의해 다수의 집광렌즈(132) 중 어느 하나로 조사된다. 또한, 제 2 빔 스플리터(222)는 제 1 빔 스플리터(220)를 투과하여 레이저 소스(200)로부터 조사되는 50%의 레이저 광(210)을 반사시키고 나머지는 반사경(224)으로 투과시키게 된다. 이에 따라, 제 2 빔 스플리터(222)에 의해 반사되는 50%(레이저 소스(200)로부터 조사되는 100%의 레이저 광(120) 중 25%)의 레이저 광(210)은 광경로 변환장치(250)에 의해 제 1 확대렌즈(182a)로 조사된다. 한편, 반사경(224)은 제 1 및 제 2 빔 스플리터(220, 222)를 경유하여 입사되는 레이저 광(210)을 반사시키게 된다. 이 때, 반사경(224)에 의해 반사되는 레이저 광(210)은 제 1 및 제 2 빔 스플리터(220, 222) 각각에 의해 반사된 나머지 의 레이저 광(210)으로써 레이저 소스(200)로부터 조사되는 100%의 레이저 광(120) 중 25%에 대응된다. 이에 따라, 반사경(224)에 의해 반사되는 25%(제 2 빔 스플리터(222)에 의해 반사되는 광량과 동일함)의 레이저 광(210)은 광경로 변환장치(250)에 의해 제 2 확대렌즈(182b)로 조사된다.The laser source 200 generates the laser light 210 as shown in FIG. 16 and causes the generated laser light 210 to enter the first and second beam splitters 220, 222 and the reflector 224. do. At this time, each of the first and second beam splitters 220 and 222 reflects 50% of the laser light 210 of the 100% of the laser light 210 incident from the laser source 200 and transmits the rest. . Accordingly, 50% of the laser light 210 reflected by the first beam splitter 220 is irradiated to any one of the plurality of condenser lenses 132 by the light path converter 250. In addition, the second beam splitter 222 transmits the first beam splitter 220 to reflect 50% of the laser light 210 irradiated from the laser source 200 and transmits the rest to the reflector 224. Accordingly, the laser light 210 of the 50% (25% of the 100% laser light 120 irradiated from the laser source 200) reflected by the second beam splitter 222 is the light path converter 250 Is irradiated to the first magnification lens 182a. Meanwhile, the reflector 224 reflects the laser light 210 incident through the first and second beam splitters 220 and 222. At this time, the laser light 210 reflected by the reflector 224 is irradiated from the laser source 200 with the remaining laser light 210 reflected by each of the first and second beam splitters 220 and 222. Corresponds to 25% of the laser light 120 of 100%. Accordingly, 25% of the laser light 210 reflected by the reflector 224 (equivalent to the amount of light reflected by the second beam splitter 222) is transferred by the optical path converter 250 to the second magnifying lens. It is investigated at 182b.

광경로 변환장치(250)는 제 1 빔 스플리터(220)에 의해 반사되어 입사되는 레이저 광(210)이 다수의 집광렌즈(132) 중 어느 하나에 조사되도록 일정한 간격을 가지도록 지그재그 형태로 배치되는 다수의 회전 반사경(236)과, 제 2 빔 스플리터(222)에 의해 반사되어 입사되는 레이저 광(210)이 제 1 확대렌즈(182a)에 조사되도록 일정한 간격을 가지도록 지그재그 형태로 배치되는 다수의 제 1 고정 반사경(232)과, 반사경(224)에 의해 반사되어 입사되는 레이저 광(210)이 제 2 확대렌즈(182b)에 조사되도록 일정한 간격을 가지도록 지그재그 형태로 배치되는 다수의 제 2 고정 반사경(234)을 구비한다.The optical path converting apparatus 250 is disposed in a zigzag form so as to have a predetermined interval so that the laser light 210 reflected and incident by the first beam splitter 220 is irradiated to any one of the plurality of condenser lenses 132. The plurality of rotating reflectors 236 and the plurality of laser beams 210 reflected and incident by the second beam splitter 222 are arranged in a zigzag form so as to have a predetermined interval so as to be irradiated to the first magnifying lens 182a. A plurality of second fixings arranged in a zigzag form such that the first fixed reflector 232 and the laser light 210 reflected and incident by the reflector 224 are spaced apart so as to be irradiated to the second magnifying lens 182b. The reflector 234 is provided.

다수의 회전 반사경(236) 각각은 도시하지 않은 구동장치에 의해 소정 각도를 회전하게 된다. 이에 따라, 다수의 회전 반사경(236) 각각은 구동장치에 의해 소정 각도로 회전함으로써 제 1 빔 스플리터(220)로부터 입사되는 레이저 광(210)의 경로를 변환하여 다수의 집광렌즈(132) 중 원하는 집광렌즈(132)로 조사하게 된다.Each of the plurality of rotating reflecting mirrors 236 rotates a predetermined angle by a driving device (not shown). Accordingly, each of the plurality of rotating reflecting mirrors 236 rotates at a predetermined angle by the driving device, thereby converting the path of the laser light 210 incident from the first beam splitter 220 and thus desired among the plurality of condenser lenses 132. The light is collected by the condenser lens 132.

다수의 제 1 고정 반사경(232) 각각은 제 2 빔 스플리터(222)로부터 입사되는 레이저 광(210)이 제 1 확대렌즈(182a)로 조사되도록 배치된다. 이에 따라, 다수의 제 1 고정 반사경(232) 각각은 제 2 빔 스플리터(222)로부터 입사되는 레이저 광(210)이 제 1 확대렌즈(182a)로 조사되도록 반사시키게 된다.Each of the plurality of first fixed reflectors 232 is disposed to irradiate the laser light 210 incident from the second beam splitter 222 to the first magnifying lens 182a. Accordingly, each of the plurality of first fixed reflectors 232 reflects the laser light 210 incident from the second beam splitter 222 to be irradiated to the first magnifying lens 182a.

다수의 제 2 고정 반사경(234) 각각은 반사경(224)으로부터 입사되는 레이저 광(210)이 제 2 확대렌즈(182b)로 조사되도록 배치된다. 이에 따라, 다수의 제 2 고정 반사경(234) 각각은 반사경(224)으로부터 입사되는 레이저 광(210)이 제 2 확대렌즈(182b)로 조사되도록 반사시키게 된다.Each of the plurality of second fixed reflectors 234 is disposed so that the laser light 210 incident from the reflector 224 is irradiated to the second magnifying lens 182b. Accordingly, each of the plurality of second fixed reflectors 234 reflects the laser light 210 incident from the reflector 224 to be irradiated to the second magnifying lens 182b.

다수의 집광렌즈(132) 각각은 다수의 회전 반사경(236) 각각의 회전에 의해 반사되어 입사되는 제 1 빔 스플리터(220)로부터의 레이저 광(210)을 집광하고, 집광된 광(140)을 대형 글라스(110) 상에 도포된 포토 레지스터에 조사함으로써 대형 글라스(110) 상에 도포된 포토 레지스터를 노광하여 원하는 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크를 패터닝하게 된다. 구체적으로, 다수의 집광렌즈(132) 각각은 도 17a에 도시된 바와 같이 대형 글라스(110) 상의 X지점을 노광할 경우, 제 1 빔 스플리터(220)로부터의 레이저 광(210)이 다수의 집광렌즈(132) 중 X지점에 집광된 광(140)을 조사하는 집광렌즈(132)로 조사되도록 도시하지 않은 구동장치를 이용하여 다수의 회전 반사경(126)을 소정 각도로 회전시키게 된다. 또한, 다수의 집광렌즈(132) 각각은 도 17b에 도시된 바와 같이 대형 글라스(110) 상의 X지점에 인접한 Y지점을 노광할 경우, 제 1 빔 스플리터(220)로부터의 레이저 광(210)이 다수의 집광렌즈(132) 중 Y지점에 집광된 광(140)을 조사하는 집광렌즈(132)로 조사되도록 도시하지 않은 구동장치를 이용하여 다수의 회전 반사경(126)을 소정 각도로 회전시키게 된다.Each of the plurality of condenser lenses 132 condenses the laser light 210 from the first beam splitter 220 that is reflected and incident by the rotation of each of the plurality of rotating reflectors 236, and condenses the condensed light 140. By irradiating the photoresist applied on the large glass 110, the photoresist applied on the large glass 110 is exposed to pattern a desired panel ID mark or glass ID mark. Specifically, when each of the plurality of condenser lenses 132 exposes the X point on the large glass 110 as shown in FIG. 17A, the laser light 210 from the first beam splitter 220 condenses the plurality of condensed lenses. A plurality of rotating reflectors 126 are rotated at a predetermined angle by using a driving device (not shown) to be irradiated to the condensing lens 132 irradiating the light 140 condensed at the X point of the lens 132. In addition, each of the plurality of condenser lenses 132 exposes the Y point adjacent to the X point on the large glass 110, as shown in FIG. 17B, so that the laser light 210 from the first beam splitter 220 may be exposed. A plurality of rotating reflectors 126 are rotated at a predetermined angle by using a driving device (not shown) to be irradiated to the condensing lens 132 that irradiates the light 140 condensed at the Y point among the plurality of condenser lenses 132. .

제 1 확대렌즈(182a)는 도 18에 도시된 바와 같이 다수의 제 1 고정 반사경(232)에 의해 반사되어 입사되는 제 2 빔 스플리터(222)로부터의 레이저 광(210)을 확대하고, 확대된 광(170)을 대형 글라스(110)의 일측 끝단으로부터 대략 5mm정도까지의 일측 가장자리(172)에 조사함으로써 대형 글라스(110) 상기 도포된 포토 레지스터를 노광하여 대형 글라스(110)를 주변 노광하게 된다.As shown in FIG. 18, the first magnifying lens 182a enlarges the laser light 210 from the second beam splitter 222 that is reflected by the plurality of first fixed reflectors 232 and is incident. By irradiating light 170 to one side edge 172 up to approximately 5 mm from one end of the large glass 110, the large glass 110 exposes the coated photoresist to expose the large glass 110 to the peripheral exposure. .

제 2 확대렌즈(182b)는 도 19에 도시된 바와 같이 다수의 제 2 고정 반사경(234)에 의해 반사되어 입사되는 반사경(224)으로부터의 레이저 광(210)을 확대하고, 확대된 광(170)을 대형 글라스(110)의 타측 끝단으로부터 대략 5mm정도까지의 타측 가장자리(174)에 조사함으로써 대형 글라스(110) 상기 도포된 포토 레지스터를 노광하여 대형 글라스(110)를 주변 노광하게 된다.As shown in FIG. 19, the second magnification lens 182b magnifies the laser light 210 from the reflector 224 that is reflected and incident by the plurality of second fixed reflectors 234, and enlarges the light 170. ) Is irradiated to the other edge 174 up to approximately 5 mm from the other end of the large glass 110 to expose the large glass 110 to the coated photoresist to expose the large glass 110 to the peripheral exposure.

도 20 내지 도 26을 결부하여 상술한 바와 같은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크와 주변 노광 방법을 설명하면 다음과 같다.20 to 26, the panel ID mark or the glass ID mark and the peripheral exposure method using the manufacturing apparatus of the liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention as described above will be described.

우선, 도 20에 도시된 바와 같이 도시하지 않은 로딩장치에 의해 포토 레지스트가 도포된 대형 글라스(110)가 스테이지(124) 상에 설치된 리프트 핀(125)에 로딩된다. 그리고, 리프트 핀(125)이 하강함과 동시에 스테이지(124) 상에 발생되는 진공 흡착력에 의해 대형 글라스(110)가 스테이지(124) 상에 진공흡착된다.First, as shown in FIG. 20, a large glass 110 coated with photoresist is loaded on a lift pin 125 provided on a stage 124 by a loading device not shown. As the lift pin 125 descends, the large glass 110 is vacuum-adsorbed on the stage 124 by the vacuum suction force generated on the stage 124.

그런 다음, 도 21에 도시된 바와 같이 스테이지(124)를 이송시켜 스테이지(124) 상에 설치된 타이틀링/주변노광 모듈(130)과 대형 글라스(110) 간의 얼라인시키게 된다.Next, as shown in FIG. 21, the stage 124 is transferred to align the title / peripheral exposure module 130 and the large glass 110 installed on the stage 124.

이어서, 도 22에 도시된 바와 같이 구동축(128)에 의해 스테이지(124)가 일 정한 속도로 이송함과 아울러 타이틀링/주변노광 모듈(130)을 구동시켜 대형 글라스(110)의 장축 변에 레이저 광을 조사함과 동시에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크를 패터닝하게 된다. 구체적으로, 대형 글라스(110)의 장축 변 일측은 다수의 제 1 고정 반사경(232)에 의해 광경로가 변환되는 제 2 빔 스플리터(222)를 경유하는 레이저 광(210)이 제 1 확대렌즈(182a)에 의해 확대되어 조사됨으로써 주변 노광되고, 대형 글라스(110)의 장축 변 타측은 다수의 제 2 고정 반사경(234)에 의해 광경로가 변환되는 반사경(224)을 경유하는 레이저 광(210)이 제 2 확대렌즈(182b)에 의해 확대되어 조사됨으로써 주변 노광된다. 이와 동시에, 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크는 다수의 회전 반사경(236) 각각의 회전에 의해 광경로가 변환되는 제 1 빔 스플리터(220)를 경유하는 레이저 광(210)이 다수의 집광렌즈(132) 각각에 의해 집광되어 대형 글라스(110) 상에 원하는 패턴에 따라 순차적으로 스캔됨으로써 대형 글라스(110) 상에 패터닝된다.Subsequently, as illustrated in FIG. 22, the stage 124 is moved at a constant speed by the drive shaft 128, and the title / peripheral exposure module 130 is driven to laser the long axis side of the large glass 110. The panel ID mark or the glass ID mark is patterned at the same time as the light is irradiated. In detail, one side of the long axis side of the large glass 110 may include a laser beam 210 passing through a second beam splitter 222 whose optical path is converted by a plurality of first fixed reflectors 232. 182a is enlarged and irradiated to surround the laser light 210 passing through the reflector 224, the peripheral side of the large-scale glass 110, the optical path is converted by the plurality of second fixed reflector 234 It is enlarged and irradiated by this 2nd magnifying lens 182b, and is exposed to peripheral exposure. At the same time, the panel ID mark or the glass ID mark includes a plurality of condenser lenses 132 in which the laser light 210 passes through the first beam splitter 220 whose optical path is converted by the rotation of each of the plurality of rotating reflecting mirrors 236. The light is condensed by each of the plurality of patterns and sequentially scanned according to a desired pattern on the large glass 110 to be patterned on the large glass 110.

대형 글라스(110)의 장축 변의 주변노광 및 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크의 노광이 완료되면, 스테이지(124)는 도 23에 도시된 바와 같이 도시하지 않은 구동장치에 의해 90도 회전하게 된다.When the peripheral exposure of the long axis side of the large glass 110 and the exposure of the panel ID mark or the glass ID mark are completed, the stage 124 is rotated by 90 degrees by a driver not shown as shown in FIG. 23.

그런 다음, 90도 회전된 스테이지(124)는 도 24에 도시된 바와 같이 구동축(128)의 회전에 의해 다시 직선운동하게 된다. 이러한, 스테이지(124)의 이송 중에 타이틀링/주변노광 모듈(130)을 구동시켜 대형 글라스(110)의 단축 변에 레이저 광을 조사하게 된다. 구체적으로, 대형 글라스(110)의 단축 변 일측은 다수의 제 1 고정 반사경(232)에 의해 광경로가 변환되는 제 2 빔 스플리터(222)를 경유하는 레이저 광(210)이 제 1 확대렌즈(182a)에 의해 확대되어 조사됨으로써 주변노광되고, 대형 글라스(110)의 단축 변 타측은 다수의 제 2 고정 반사경(234)에 의해 광경로가 변환되는 반사경(224)을 경유하는 레이저 광(210)이 제 2 확대렌즈(182b)에 의해 확대되어 조사됨으로써 주변노광된다.Then, the stage 124 rotated 90 degrees is again linearly moved by the rotation of the drive shaft 128 as shown in FIG. During the transfer of the stage 124, the title ring / peripheral exposure module 130 is driven to irradiate laser light to a short side of the large glass 110. In detail, one side of the short side of the large glass 110 may include a laser beam 210 passing through a second beam splitter 222 whose optical path is converted by a plurality of first fixed reflectors 232. The laser beam 210 passes through the reflector 224 through which the light path is converted by the plurality of second fixed reflectors 234. It is magnified and irradiated by the second magnification lens 182b to expose the surroundings.

이와 같이, 스테이지(124)의 이송 중에 대형 글라스(110)의 단축 변의 주변노광이 완료되면 스테이지(124)는 글라스 로딩위치로 복귀하게 된다.As such, when the peripheral exposure of the short side of the large glass 110 is completed during the transfer of the stage 124, the stage 124 returns to the glass loading position.

스테이지(124)가 글라스 로딩위치로 복귀된 스테이지(124)는 도 25에 도시된 바와 같이 구동장치에 의해 90도 회전하게 된다. 이에 따라, 스테이지(124) 상에 진공 흡착된 대형 글라스(110)는 로딩위치로 복귀하게 된다.When the stage 124 is returned to the glass loading position, the stage 124 is rotated 90 degrees by the driving device as shown in FIG. Accordingly, the large glass 110 vacuum-adsorbed on the stage 124 is returned to the loading position.

마지막으로, 도 26에 도시된 바와 같이 회전된 스테이지(124) 상에 발생되는 진공 흡착력이 제거됨과 아울러 스테이지(124) 상에서 리프트 핀(125)이 상승되어져 스테이지(124) 상의 대형 글라스(110)를 소정 높이로 들어올리게 된다. 스테이지(124) 상에서 리프트 핀(125)에 의해 들어올려진 대형 글라스(110)는 도시하지 않은 글라스 언로딩장치에 의해 언로딩된다.Finally, as shown in FIG. 26, the vacuum suction force generated on the rotated stage 124 is removed, and the lift pin 125 is raised on the stage 124 to lift the large glass 110 on the stage 124. It is lifted to a predetermined height. The large glass 110 lifted by the lift pin 125 on the stage 124 is unloaded by a glass unloading device (not shown).

상술한 바와 같이 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 레이저 스캔 방식을 이용하여 대형 글라스(110)의 이송 중에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크의 패터닝과 대형 글라스(110)의 가장자리에 불필요한 포토 레지스터를 제거하는 주변노광을 동시에 실시 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 액정표시장치의 제조시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the apparatus and method for manufacturing the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention may be used to pattern the panel ID mark or the glass ID mark and transport the large glass 110 during the transfer of the large glass 110 using a laser scanning method. Ambient exposure can be performed at the same time to remove unnecessary photoresist at the edges. Accordingly, the present invention can shorten the manufacturing time of the liquid crystal display and improve productivity.

또한, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 하나의 레이저 소스(200)로부터의 레이저 광(210)을 분리하여 이용함으로써 종래의 타이틀링 모듈과 주변노광 모듈이 하나로 일원화되어 장비가 차지하는 공간을 감소시킬 수 있다. 그리고, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 수명이 짧은 자외선 램프 대신에 수명이 긴 레이저 소스를 사용함으로써 초기 투자 비용이 증가하는 반면에 종래의 자외선 램프 교환시간으로 인한 생산성 저하를 방지할 수 있다.In addition, the apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention separates and uses the laser light 210 from one laser source 200 so that the conventional title module and the peripheral exposure module are combined into one. It can be centralized to reduce the space used by equipment. In addition, the apparatus and method for manufacturing the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention increase the initial investment cost by using a laser source having a long lifetime instead of the ultraviolet lamp having a short lifetime, while the conventional UV lamp replacement time is increased. It is possible to prevent the decrease in productivity.

한편, 도 27을 참조하면 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 두 개의 레이저 소스(300, 302)를 포함하는 타이틀링/주변노광 모듈(330)을 제외하고는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 구성요소와 동일하게 된다. 따라서, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치에서는 타이틀링/주변노광 모듈(330)을 제외한 다른 구성요소들에 대한 설명은 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 대한 설명으로 대신하기로 한다.Meanwhile, referring to FIG. 27, the apparatus for manufacturing a liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention is described above except for the titled / peripheral exposure module 330 including two laser sources 300 and 302. The same as the components of the manufacturing apparatus of the liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention. Accordingly, in the apparatus for manufacturing the liquid crystal display according to the second embodiment of the present invention, descriptions of other components except for the title / ambient exposure module 330 are described in the liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention. The description of the manufacturing apparatus and method of the apparatus will be replaced.

본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 타이틀링/주변노광 모듈(330)은 몸체(331)와, 몸체(331)의 배면 양 가장자리에 설치되는 제 1 및 제 2 확대렌즈(382a, 382b)와, 제 1 및 제 2 확대렌즈(382a, 382b) 사이에 나란하게 배치되는 다수의 집광렌즈(432)와, 몸체(331) 내부의 일측에 설치되어 레이저 광(310)을 발생하는 제 1 및 제 2 레이저 소스(300, 302)와, 제 1 레이저 소스(300)의 전면에 설치되어 투과율 및 반사율에 따라 제 1 레이저 소스(300)로부터의 레이저 광(310)을 분리하는 제 1 및 제 2 빔 스플리터(320, 322)와, 제 2 레 이저 소스(302)로부터의 레이저 광(310)을 다수의 집광렌즈(432)로 반사시키는 반사경(324)과, 제 1 및 제 2 빔 스플리터(320, 322) 각각으로부터 반사되어져 입사되는 레이저 광(310)을 제 1 및 제 2 확대렌즈(382a, 382b)로 입사되도록 레이저 광(310)의 경로를 변환함과 아울러 반사경(324)으로부터 반사되어져 입사되는 레이저 광(310)의 경로를 다수의 집광렌즈(432) 중 어느 하나로 입사되도록 레이저 광(310)의 경로를 변환하는 광경로 변환장치(350)를 구비한다.The title ring / peripheral exposure module 330 of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention includes a body 331 and first and second magnifying lenses installed at both edges of the rear surface of the body 331. 362a and 382b, a plurality of condenser lenses 432 arranged side by side between the first and second magnification lenses 382a and 382b, and one side of the body 331 to be installed on the laser light 310 The first and second laser sources 300 and 302 which are generated, and are installed in front of the first laser source 300 to separate the laser light 310 from the first laser source 300 according to the transmittance and the reflectance. First and second beam splitters 320 and 322, reflectors 324 for reflecting the laser light 310 from the second laser source 302 to the plurality of condenser lenses 432, and the first and second beams. The laser light 31 is incident to the first and second magnifying lenses 382a and 382b so that the laser light 310 reflected and incident from the two-beam splitters 320 and 322 is incident. An optical path for converting the path of the laser light 310 to convert the path of the laser beam 310 reflected by the reflector 324 into one of the plurality of condenser lenses 432. An inverter 350 is provided.

제 1 레이저 소스(300)는 도 28에 도시된 바와 같이 레이저 광(310)을 발생하고, 발생된 레이저 광(310)을 제 1 및 제 2 빔 스플리터(320, 322)로 입사시키게 된다. 이 때, 제 1 빔 스플리터(320)는 제 1 레이저 소스(300)로부터 입사되는 100%의 레이저 광(310) 중 50%의 레이저 광(310)을 반사시키고 나머지는 투과시키게 된다. 이에 따라, 제 1 빔 스플리터(320)에 의해 반사되는 50%의 레이저 광(310)은 광경로 변환장치(350)에 의해 제 1 확대렌즈(382a)로 조사된다. 또한, 제 2 빔 스플리터(322)는 제 1 빔 스플리터(320)를 투과하여 제 1 레이저 소스(300)로부터 조사되는 50%의 레이저 광(310)을 반사시키게 된다. 이에 따라, 제 2 빔 스플리터(322)에 의해 반사되는 50%(레이저 소스(200)로부터 조사되는 100%의 레이저 광(120) 중 50%)의 레이저 광(310)은 광경로 변환장치(350)에 의해 제 2 확대렌즈(382b)로 조사된다.As shown in FIG. 28, the first laser source 300 generates the laser light 310 and injects the generated laser light 310 into the first and second beam splitters 320 and 322. At this time, the first beam splitter 320 reflects 50% of the laser light 310 of the 100% laser light 310 incident from the first laser source 300 and transmits the rest. Accordingly, 50% of the laser light 310 reflected by the first beam splitter 320 is irradiated to the first magnifying lens 382a by the optical path converter 350. In addition, the second beam splitter 322 may pass through the first beam splitter 320 and reflect 50% of the laser light 310 emitted from the first laser source 300. Accordingly, the laser light 310 of the 50% (50% of the 100% laser light 120 irradiated from the laser source 200) reflected by the second beam splitter 322 is the light path converter 350 Is irradiated to the second magnifying lens 382b.

제 2 레이저 소스(302)는 도 27에 도시된 바와 같이 레이저 광(310)을 발생하고, 발생된 레이저 광(310)을 반사경(324)으로 입사시키게 된다. 이 때, 반사경(324)은 제 2 레이저 소스(302)로부터 입사되는 100%의 레이저 광(310)을 다수의 집광렌즈(432) 쪽으로 반사시키게 된다. 이에 따라, 반사경(324)에 의해 반사되는 레이저 광(310)은 광경로 변환장치(350)에 의해 다수의 집광렌즈(432) 중 어느 하나에 조사된다.The second laser source 302 generates the laser light 310 as shown in FIG. 27, and causes the generated laser light 310 to enter the reflector 324. In this case, the reflector 324 reflects 100% of the laser light 310 incident from the second laser source 302 toward the plurality of condenser lenses 432. Accordingly, the laser light 310 reflected by the reflector 324 is irradiated to any one of the plurality of condenser lenses 432 by the light path converter 350.

광경로 변환장치(350)는 반사경(324)에 의해 반사되어 입사되는 레이저 광(310)이 다수의 집광렌즈(432) 중 어느 하나에 조사되도록 일정한 간격을 가지도록 지그재그 형태로 배치되는 다수의 회전 반사경(336)과, 제 1 빔 스플리터(320)에 의해 반사되어 입사되는 레이저 광(310)이 제 1 확대렌즈(382a)에 조사되도록 일정한 간격을 가지도록 지그재그 형태로 배치되는 다수의 제 1 고정 반사경(332)과, 제 2 빔 스플리터(322)에 의해 반사되어 입사되는 레이저 광(310)이 제 2 확대렌즈(382b)에 조사되도록 일정한 간격을 가지도록 지그재그 형태로 배치되는 다수의 제 2 고정 반사경(234)을 구비한다.The optical path converter 350 includes a plurality of rotations arranged in a zigzag form such that the laser light 310 reflected and incident by the reflector 324 is irradiated to one of the plurality of condenser lenses 432 at a predetermined interval. A plurality of first fixings arranged in a zigzag form such that the reflector 336 and the laser light 310 reflected and incident by the first beam splitter 320 are irradiated to the first magnifying lens 382a at regular intervals. A plurality of second fixings arranged in a zigzag form such that the reflector 332 and the laser light 310 reflected and incident by the second beam splitter 322 are spaced at regular intervals to be irradiated to the second magnifying lens 382b. The reflector 234 is provided.

다수의 회전 반사경(336) 각각은 도시하지 않은 구동장치에 의해 소정 각도를 회전하게 된다. 이에 따라, 다수의 회전 반사경(336) 각각은 구동장치에 의해 소정 각도로 회전함으로써 반사경(324)으로부터 입사되는 레이저 광(310)의 경로를 변환하여 다수의 집광렌즈(432) 중 원하는 집광렌즈(432)로 조사하게 된다.Each of the plurality of rotating reflecting mirrors 336 rotates a predetermined angle by a driving device (not shown). Accordingly, each of the plurality of rotating reflecting mirrors 336 rotates at a predetermined angle by the driving device to convert the path of the laser light 310 incident from the reflecting mirror 324 to obtain a desired condensing lens among the plurality of condensing lenses 432. 432).

다수의 제 1 고정 반사경(332) 각각은 제 1 빔 스플리터(320)로부터 입사되는 레이저 광(310)이 제 1 확대렌즈(382a)로 조사되도록 배치된다. 이에 따라, 다수의 제 1 고정 반사경(332) 각각은 제 1 빔 스플리터(320)로부터 입사되는 레이저 광(310)이 제 1 확대렌즈(382a)로 조사되도록 반사시키게 된다.Each of the plurality of first fixed reflectors 332 is disposed so that the laser light 310 incident from the first beam splitter 320 is irradiated to the first magnifying lens 382a. Accordingly, each of the plurality of first fixed reflectors 332 reflects the laser light 310 incident from the first beam splitter 320 to be irradiated to the first magnifying lens 382a.

다수의 제 2 고정 반사경(334) 각각은 제 2 빔 스플리터(322)로부터 입사되 는 레이저 광(310)이 제 2 확대렌즈(382b)로 조사되도록 배치된다. 이에 따라, 다수의 제 2 고정 반사경(334) 각각은 제 2 빔 스플리터(322)로부터 입사되는 레이저 광(310)이 제 2 확대렌즈(382b)로 조사되도록 반사시키게 된다.Each of the plurality of second fixed reflectors 334 is disposed to irradiate the laser light 310 incident from the second beam splitter 322 to the second magnifying lens 382b. Accordingly, each of the plurality of second fixed reflectors 334 reflects the laser light 310 incident from the second beam splitter 322 to be irradiated to the second magnifying lens 382b.

다수의 집광렌즈(432) 각각은 다수의 회전 반사경(336) 각각의 회전에 의해 반사되어 입사되는 반사경(324)으로부터의 레이저 광(310)을 집광하고, 집광된 광(340)을 대형 글라스(310) 상에 도포된 포토 레지스터에 조사함으로써 대형 글라스(310) 상에 도포된 포토 레지스터를 노광하여 원하는 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크를 패터닝하게 된다. 이 때, 다수의 집광렌즈(432) 각각의 동작은 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 다수의 집광렌즈와 동일하게 된다.Each of the plurality of condenser lenses 432 condenses the laser light 310 from the reflector 324 that is reflected and incident by the rotation of each of the plurality of rotating reflectors 336, and collects the condensed light 340 into a large glass ( By irradiating the photoresist applied on the 310, the photoresist applied on the large glass 310 is exposed to pattern the desired panel ID mark or the glass ID mark. At this time, the operation of each of the plurality of condenser lenses 432 is the same as the plurality of condenser lenses according to the first embodiment of the present invention described above.

제 1 확대렌즈(382a)는 다수의 제 1 고정 반사경(332)에 의해 반사되어 입사되는 제 1 빔 스플리터(320)로부터의 레이저 광(310)을 확대하고, 확대된 광(370)을 대형 글라스(310)의 일측 끝단으로부터 대략 5mm정도까지의 일측 가장자리에 조사함으로써 대형 글라스(310) 상기 도포된 포토 레지스터를 노광하여 대형 글라스(310)를 주변 노광하게 된다.The first magnifying lens 382a enlarges the laser light 310 from the first beam splitter 320 that is reflected by the plurality of first fixed reflectors 332 and enters the enlarged light 370 into the large glass. The large glass 310 is exposed to the coated photoresist to expose the large glass 310 to the periphery by irradiating the one side edge up to approximately 5 mm from one end of the 310.

제 2 확대렌즈(382b)는 다수의 제 2 고정 반사경(334)에 의해 반사되어 입사되는 제 2 빔 스플리터(322)로부터의 레이저 광(310)을 확대하고, 확대된 광(370)을 대형 글라스(310)의 타측 끝단으로부터 대략 5mm정도까지의 타측 가장자리에 조사함으로써 대형 글라스(310) 상기 도포된 포토 레지스터를 노광하여 대형 글라스(310)를 주변 노광하게 된다. The second magnification lens 382b magnifies the laser light 310 from the second beam splitter 322 that is reflected by the plurality of second fixed reflectors 334 and enters the enlarged light 370 into the large glass. By irradiating the other edge up to approximately 5 mm from the other end of the 310, the large glass 310 is exposed to the coated photoresist to expose the large glass 310 to the peripheral exposure.

이와 같은, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 도 20 내지 도 26에 도시된 바와 같이 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법과 동일하게 된다. 따라서, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법의 설명으로 대신하기로 한다.As described above, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention is the same as the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention as shown in FIGS. 20 to 26. . Therefore, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention will be replaced by the description of the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 두 개의 레이저 소스를 이용한 레이저 스캔 방식을 이용하여 대형 글라스(310)의 이송 중에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크의 패터닝과 대형 글라스(310)의 가장자리에 불필요한 포토 레지스터를 제거하는 주변노광을 동시에 실시 할 수 있다.
As described above, the apparatus and method for manufacturing the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention may be applied to the panel ID mark or the glass ID mark during the transfer of the large glass 310 by using a laser scan method using two laser sources. Patterning and peripheral exposure to remove unnecessary photoresist on the edge of the large glass 310 can be performed simultaneously.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 적어도 하나의 레이저 소스로부터 입사되는 레이저 광을 분리하고, 분리된 각각의 레이저 광의 경로를 변환함으로써 대형 글라스 상에 패널 아이디 마크 또는 글라스 아이디 마크의 패터닝과 대형 글라스의 가장자리에 불필요한 포토 레지스터를 제거하는 주변노광을 동시에 실시 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 액정표시장치의 제조시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, an apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention provide a panel on a large glass by separating laser light incident from at least one laser source, and converting the path of each separated laser light. Patterning of ID mark or glass ID mark and ambient exposure to remove unnecessary photoresist on the edge of large glass can be performed simultaneously. Accordingly, the present invention can shorten the manufacturing time of the liquid crystal display and improve productivity.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 종래의 타이틀링 모듈과 주변노광 모듈이 하나로 일원화되어 장비가 차지하는 공간을 감소시킬 수 있다. 그리고, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방 법은 수명이 짧은 자외선 램프 대신에 수명이 긴 레이저 소스를 사용함으로써 종래의 자외선 램프 교환시간으로 인한 생산성 저하를 방지할 수 있다.In addition, the manufacturing apparatus and method of the liquid crystal display according to the embodiment of the present invention can reduce the space occupied by the equipment by unifying the conventional titleling module and the peripheral exposure module into one. In addition, the manufacturing apparatus and method of the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention can prevent the decrease in productivity due to the conventional UV lamp replacement time by using a laser source having a long life instead of the UV lamp having a short life.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (22)

포토 레지스터가 도포된 글라스와,Glass coated with photoresist, 상기 글라스를 지지하는 스테이지와,A stage for supporting the glass, 상기 스테이지를 이송시키는 구동부와,A driving unit for transferring the stage, 적어도 하나의 레이저 소스로부터 조사되는 레이저 광을 상기 구동부에 의해 이송되는 상기 글라스 상에 조사하여 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝함과 동시에 상기 레이저 광을 상기 글라스 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광하는 타이틀링/주변노광 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.Irradiating a laser beam irradiated from at least one laser source onto the glass transferred by the driving unit to pattern any one of a panel ID mark and a glass ID mark, and simultaneously irradiating the laser beam to the outer portion of the glass And a title ring / peripheral exposure module for peripherally exposing the glass. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 타이틀링/주변노광 모듈은,The title / peripheral exposure module, 프레임과,Frame, 상기 프레임의 내부에 설치되어 상기 레이저 광을 발생하는 상기 레이저 소스와,The laser source installed inside the frame to generate the laser light; 반사율 및 투과율에 따라 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 광 분리부와,A light separator for separating the laser light from the laser source according to reflectance and transmittance; 상기 광분리 부에 의해 분리된 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환시키기 위한 광경로 변환부와,An optical path conversion unit for converting paths of each of the laser beams separated by the optical separation unit; 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하기 위한 다수의 집광렌즈와,A plurality of condenser lenses for condensing laser light incident from the light path conversion unit and irradiating the glass onto the glass; 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하기 위한 다수의 확대렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And a plurality of magnifying lenses for enlarging and irradiating the laser light incident from the light path converting portion to the outer portion of the glass. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 광 분리부는,The optical separation unit, 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 1 빔 스플리터와,A first beam splitter that reflects half of the laser light from the laser source and transmits the remainder; 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 2 빔 스플리터와,A second beam splitter which reflects half of the laser light transmitted through the first beam splitter and transmits the other beam; 상기 제 2 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광을 반사시키는 반사경을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And a reflecting mirror for reflecting the laser light transmitted through the second beam splitter. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 광경로 변환부는,The optical path conversion unit, 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경과,A plurality of rotating reflecting mirrors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark so that the laser light reflected from the first beam splitter is irradiated to any one of the plurality of condensing lenses; 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 1 고정 반사경과,A plurality of first fixed reflectors reflecting the laser light reflected from the second beam splitter so as to be irradiated to the first one of the plurality of magnification lenses; 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 2 고정 반사경을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And a plurality of second fixed reflectors for reflecting the laser light reflected from the reflector so as to be irradiated to a second magnifying lens of the plurality of magnifying lenses. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.Each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotating reflectors, and irradiates the condensed laser light on the glass to pattern one of the panel ID mark and the glass ID mark. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And each of the plurality of magnifying lenses is configured to magnify the laser light reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors, and to irradiate the enlarged laser light to an edge region of the glass. Manufacturing equipment. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 타이틀링/주변노광 모듈은,The title / peripheral exposure module, 프레임과,Frame, 상기 프레임의 내부에 설치되어 상기 레이저 광을 발생하는 상기 제 1 및 제 2 레이저 소스와,The first and second laser sources installed inside the frame to generate the laser light; 반사율 및 투과율에 따라 상기 제 1 및 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 광 분리부와,A light separator for separating the laser light from the first and second laser sources according to reflectance and transmittance; 상기 광분리 부에 의해 분리된 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환시키기 위한 광경로 변환부와,An optical path conversion unit for converting paths of each of the laser beams separated by the optical separation unit; 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하기 위한 다수의 집광렌즈와,A plurality of condenser lenses for condensing laser light incident from the light path conversion unit and irradiating the glass onto the glass; 상기 광경로 변환부로부터 입사되는 레이저 광 각각을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하기 위한 다수의 확대렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And a plurality of magnifying lenses for enlarging each of the laser beams incident from the light path converter and irradiating the outer portion of the glass. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 광 분리부는,The optical separation unit, 상기 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 1 빔 스플리터와,A first beam splitter that reflects half of the laser light from the first laser source and transmits the remainder; 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 제 2 빔 스플리터와,A second beam splitter which reflects half of the laser light transmitted through the first beam splitter and transmits the other beam; 상기 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 반사시키는 반사경을 구비 하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And a reflector for reflecting the laser light from the second laser source. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 광경로 변환부는,The optical path conversion unit, 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 1 고정 반사경과,A plurality of first fixed reflectors reflecting the laser light reflected from the first beam splitter so as to be irradiated to the first one of the plurality of magnification lenses; 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 다수의 제 2 고정 반사경과,A plurality of second fixed reflectors reflecting the laser light reflected from the second beam splitter to be irradiated to a second one of the plurality of magnification lenses; 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And a plurality of rotating reflectors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark so that the laser light reflected from the reflector is irradiated to any one of the plurality of condenser lenses. Manufacturing equipment. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.Each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotating reflectors, and irradiates the condensed laser light on the glass to pattern one of the panel ID mark and the glass ID mark. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.And each of the plurality of magnifying lenses is configured to magnify the laser light reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors, and to irradiate the enlarged laser light to an edge region of the glass. Manufacturing equipment. 포토 레지스터가 도포된 글라스를 마련하는 제 1 단계와,A first step of preparing glass coated with photoresist, 상기 글라스를 스테이지 상에 진공흡착하는 제 2 단계와,A second step of vacuum adsorbing the glass on a stage; 상기 스테이지를 직선 방향으로 이송시키는 제 3 단계와,A third step of transferring the stage in a linear direction, 적어도 하나의 레이저 소스로부터 조사되는 레이저 광을 상기 이송되는 글라스 상에 조사하여 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝함과 동시에 상기 레이저 광을 상기 글라스 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.Irradiating laser light from at least one laser source onto the transported glass to pattern any one of a panel ID mark and a glass ID mark, and simultaneously irradiate the glass to the outer edge of the glass to illuminate the glass. And a fourth step of manufacturing the liquid crystal display device. 제 12 항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 제 4 단계는,The fourth step, 상기 레이저 소스로부터 상기 레이지 광을 발생하는 단계와,Generating the laser light from the laser source; 반사율 및 투과율에 따라 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 단계와,Separating the laser light from the laser source according to reflectance and transmittance; 상기 분리된 레이저 광 각각의 경로를 변환시키는 단계와,Converting a path of each of the separated laser lights; 상기 광 경로가 변환된 상기 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하 여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 단계와,Condensing the laser light converted by the optical path and irradiating the glass onto the glass to pattern one of the panel ID mark and the glass ID mark; 상기 패터닝함과 동시에 상기 광 경로가 변환된 상기 레이저 광 각각을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And enlarging each of the laser beams whose light path is converted and irradiating the outer portion of the glass at the same time as the patterning to expose the glass. 제 12 항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 레이저 광을 분리하는 단계는,Separating the laser light, 제 1 빔 스플리터를 이용하여 상기 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 단계와,Reflecting half of the laser light from the laser source and transmitting the remainder using a first beam splitter, 제 2 빔 스플리터를 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 단계와,Reflecting half of the laser light irradiated through the first beam splitter using a second beam splitter and transmitting the other one; 반사경을 이용하여 상기 제 2 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광을 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And reflecting the laser light irradiated through the second beam splitter using a reflector. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 레이저 광의 경로를 변환하는 단계는,Converting the path of the laser light, 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경을 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 반사시키는 단 계와,Reflecting the laser light reflected from the first beam splitter to be irradiated to any one of the plurality of condenser lenses by using a plurality of rotating reflectors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark. Wow, 다수의 제 1 고정 반사경을 이용하여 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계와,Reflecting the laser light reflected from the second beam splitter using a plurality of first fixed reflectors to be irradiated to a first one of the plurality of magnifying lenses; 다수의 제 2 고정 반사경을 이용하여 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And reflecting the laser light reflected from the reflector to be irradiated to a second magnification lens among the plurality of magnification lenses by using a plurality of second fixed reflectors. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.Each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotating reflectors, and irradiates the condensed laser light on the glass to pattern one of the panel ID mark and the glass ID mark. Method of manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And each of the plurality of magnifying lenses is configured to magnify the laser light reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors, and to irradiate the enlarged laser light to an edge region of the glass. Manufacturing method. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 제 4 단계는,The fourth step, 상기 제 1 및 제 2 레이저 소스를 이용하여 상기 레이저 광을 발생하는 단계와,Generating the laser light using the first and second laser sources; 반사율 및 투과율에 따라 상기 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 분리하는 단계와,Separating the laser light from the first laser source according to reflectance and transmittance; 반사경을 이용하여 상기 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광을 반사시키는 단계와,Reflecting the laser light from the second laser source using a reflector; 상기 분리된 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환하는 단계와,Converting a path of each of the laser lights from the separated first laser source; 상기 반사된 제 2 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 각각의 경로를 변환하는 단계와,Converting a path of each of the laser lights from the reflected second laser source; 상기 광 경로가 변환된 상기 제 2 레이저 소스로부터의 레이저 광을 집광하여 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 단계와,Condensing the laser light from the second laser source with the converted optical path and irradiating the glass onto the glass to pattern one of the panel ID mark and the glass ID mark; 상기 패터닝함과 동시에 상기 광 경로가 변환된 상기 제 1 레이저 소스로부터의 레이저 광 각각을 확대하여 상기 글라스의 외곽부에 조사하여 상기 글라스를 주변노광 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And enlarging each of the laser beams from the first laser source to which the optical path is converted and irradiating the outer portion of the glass at the same time as the patterning to expose the glass to the peripheral exposure of the liquid crystal display device. Manufacturing method. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 레이저 광을 분리하는 단계는,Separating the laser light, 제 1 빔 스플리터를 이용하여 상기 제 1 레이저 소스로부터의 상기 레이저 광 중 절반을 반사시키고 나머지는 투과시키는 단계와,Reflecting half of the laser light from the first laser source and transmitting the remainder using a first beam splitter; 제 2 빔 스플리터를 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터를 투과하여 조사되는 상기 레이저 광을 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And reflecting the laser light irradiated through the first beam splitter using a second beam splitter. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 레이저 광의 경로를 변환하는 단계는,Converting the path of the laser light, 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크의 패턴에 따라 소정 각도로 회전하는 다수의 회전 반사경을 이용하여 상기 반사경으로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 집광렌즈 중 어느 하나로 조사되도록 반사시키는 단계와,Reflecting the laser light reflected from the reflector to one of the plurality of condenser lenses by using a plurality of rotating reflectors rotating at a predetermined angle according to the pattern of the panel ID mark and the glass ID mark; 다수의 제 1 고정 반사경을 이용하여 상기 제 1 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 1 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계와,Reflecting the laser light reflected from the first beam splitter using a plurality of first fixed reflectors to be irradiated to a first one of the plurality of magnification lenses; 다수의 제 2 고정 반사경을 이용하여 상기 제 2 빔 스플리터로부터 반사되는 상기 레이저 광이 상기 다수의 확대렌즈 중 제 2 확대렌즈로 조사되도록 반사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And reflecting the laser light reflected from the second beam splitter using a plurality of second fixed reflectors to be irradiated to a second one of the plurality of magnification lenses. . 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 다수의 집광렌즈 각각은 상기 다수의 회전 반사경으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 집광하고, 집광된 상기 레이저 광을 상기 글라스 상에 조사하여 상기 패널 아이디 마크 및 글라스 아이디 마크 중 어느 하나를 패터닝하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.Each of the plurality of condensing lenses collects the laser light reflected and incident from the plurality of rotating reflectors, and irradiates the condensed laser light on the glass to pattern one of the panel ID mark and the glass ID mark. Method of manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 다수의 확대렌즈 각각은 다수의 제 1 및 제 2 고정 반사경 각각으로부터 반사되어져 입사되는 상기 레이저 광을 확대하고, 확대된 상기 레이저 광을 상기 글라스의 가장자리 영역에 조사하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And each of the plurality of magnifying lenses is configured to magnify the laser light reflected from each of the plurality of first and second fixed reflectors, and to irradiate the enlarged laser light to an edge region of the glass. Manufacturing method.
KR1020030074609A 2003-10-24 2003-10-24 Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device Expired - Fee Related KR100958574B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030074609A KR100958574B1 (en) 2003-10-24 2003-10-24 Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030074609A KR100958574B1 (en) 2003-10-24 2003-10-24 Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050039184A KR20050039184A (en) 2005-04-29
KR100958574B1 true KR100958574B1 (en) 2010-05-18

Family

ID=37241459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030074609A Expired - Fee Related KR100958574B1 (en) 2003-10-24 2003-10-24 Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100958574B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102649376B (en) 2011-06-21 2014-04-02 北京京东方光电科技有限公司 Titling method and equipment
KR101502786B1 (en) * 2012-12-17 2015-03-17 주식회사 프로텍 Apparatus for Manufacturing TFT LCD Panel

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010110650A (en) * 2000-06-06 2001-12-13 히가시 데쓰로 Substrate processing apparatus and method
KR20020058276A (en) * 2000-12-29 2002-07-12 구본준, 론 위라하디락사 Identity Mark Formative Method of Array Panel for Liquid Crystal Display Device
KR20030057615A (en) * 2001-12-29 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid Crystal Display Mask for Panel ID Titler

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010110650A (en) * 2000-06-06 2001-12-13 히가시 데쓰로 Substrate processing apparatus and method
KR20020058276A (en) * 2000-12-29 2002-07-12 구본준, 론 위라하디락사 Identity Mark Formative Method of Array Panel for Liquid Crystal Display Device
KR20030057615A (en) * 2001-12-29 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid Crystal Display Mask for Panel ID Titler

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050039184A (en) 2005-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8797510B2 (en) Gradient refractive index lens array projection exposure
US8994916B2 (en) Double-sided maskless exposure system and method
KR100958574B1 (en) Manufacturing apparatus and method of liquid crystal display device
TW201248337A (en) Light exposure device and light shield board
CN103257530A (en) Proximity exposure apparatus, method of forming exposure light in the proximity exposure apparatus and method of manufacturing a display panel substrate
JP4144059B2 (en) Scanning exposure equipment
JP2005215686A (en) Exposure apparatus
US8477288B2 (en) Digital exposure method and digital exposure device for performing the method
CN100561357C (en) Direct-write lithography apparatus with focusing mechanism
TWI275822B (en) Projection optical system and pattern writing apparatus
KR101458208B1 (en) Maskless pattern forming apparatus and method for forming a pattern
CN216288360U (en) Equipment for transferring light-emitting diode chip
KR100806810B1 (en) Exposure machine
JP2000299273A (en) Peripheral aligner and its method
KR20070078243A (en) Device for marking bar codes and texts using micro mirror array and marking method thereof
CN201097106Y (en) Novel direct writing light recording device with focusing machine
JPH0917719A (en) Aligner and device manufacturing method using it
JP2000284494A (en) Exposure equipment
US20060147845A1 (en) Electrically reconfigurable photolithography mask for semiconductor and micromechanical substrates
JP2000155377A (en) Photo printing equipment
KR0163091B1 (en) Expose apparatus
US6921628B2 (en) Exposure device and method of fabricating liquid crystal display panel using the same
CN119948408A (en) Synthetic optical element, illumination unit, exposure apparatus, and exposure method
JP5747305B2 (en) Exposure apparatus and microlens array structure
JP2024032060A (en) Exposure device and exposure method

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20031024

PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20081002

Comment text: Request for Examination of Application

Patent event code: PA02011R01I

Patent event date: 20031024

Comment text: Patent Application

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20100324

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20100511

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20100512

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20130329

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20140328

Start annual number: 5

End annual number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150429

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20150429

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160428

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20160428

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170413

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20170413

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180416

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180416

Start annual number: 9

End annual number: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190417

Year of fee payment: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20190417

Start annual number: 10

End annual number: 10

PC1903 Unpaid annual fee