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KR100921417B1 - Multi-sided thickness measuring device and measuring method using single point isotope radiation source - Google Patents

Multi-sided thickness measuring device and measuring method using single point isotope radiation source Download PDF

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KR100921417B1 KR1020070132383A KR20070132383A KR100921417B1 KR 100921417 B1 KR100921417 B1 KR 100921417B1 KR 1020070132383 A KR1020070132383 A KR 1020070132383A KR 20070132383 A KR20070132383 A KR 20070132383A KR 100921417 B1 KR100921417 B1 KR 100921417B1
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Abstract

본 발명은 하나의 동위원소 방사선원과 다수개의 방사선 검출기를 이용하여 물체의 두께를 여러 지점에서 비파괴, 비접촉식으로 측정하는 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단일 지점에 하나의 동위원소 방사선원을 구비하고, 방사선원으로부터 방출되어 물체를 투과한 방사선을 검출하기 위한 이온함 검출기를 다수의 측정 지점별로 각각 구비하되, 방사선원으로부터 먼 곳에 위치하여 입사되는 방사선량이 상대적으로 부족한 이온함 검출기에서도 방사선 검출에 필요한 최소전류값 이상의 전류 신호가 출력되도록 충진 기체의 종류, 부피 또는 압력을 이온함 검출기의 위치에 따라 다르게 설정함으로써, 요구되는 단일 방사선원의 양을 최소화하여 방사선 사용시의 안전성을 향상시키는 동시에, 방사선원의 유지·보수 비용을 절감할 수 있는 두께 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for non-destructively and non-contactly measuring the thickness of an object at several points using one isotope radiation source and a plurality of radiation detectors, and more particularly, having one isotope radiation source at a single point, The ion current detector for detecting radiation emitted from the radiation source and passing through the object is provided for each of a plurality of measurement points, and the minimum current value required for the radiation detection even in the ion chamber detector, which is located far from the radiation source and has a relatively low amount of incident radiation. By setting the type, volume or pressure of the filling gas differently according to the position of the ion-containing detector so that the above current signal is output, the amount of single radiation source required is improved to improve the safety of the use of the radiation and at the same time, the cost of maintenance and repair of the radiation source. To save money It relates to the measurement apparatus and method.

본 발명에 따른 다면적 두께 측정 장치는, 대상물 측으로 방사선을 조사하는 단일 방사선원과; 대상물을 사이에 두고, 상기 방사선원의 반대측의 다수의 측정 지점에 각각 배치되어, 상기 방사선원으로부터 조사되어 대상물을 통과하는 방사선을 검출하는 다수개의 이온함 검출기;를 포함하여 구성되되, 상기 다수개의 이온함 검출기는, 상기 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력이 상기 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력보다 더 크게 설정되어 구성되는 것을 특징으로 한다.A multi-faceted thickness measuring apparatus according to the present invention includes a single radiation source for irradiating radiation to an object side; And a plurality of ion-box detectors disposed between a plurality of measurement points on opposite sides of the radiation source and detecting radiation passing from the radiation source and passing through the object, with the object interposed therebetween. The detector is set such that the volume or pressure of the gas filled in the interior of the ion chamber detector located at a relatively distance from the radiation source is greater than the volume or pressure of the gas filled in the interior of the ion chamber detector located at a close distance from the radiation source. It is characterized in that the configuration.

동위원소, 방사선원, 이온함 검출기, 다면적, 두께 측정, 안전성 Isotope, Radiation Source, Ion Box Detector, Area, Thickness Measurement, Safety

Description

단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 장치 및 측정 방법{A device for measuring the thickness of a large area subject using one point radioactive isotope source and the measurement method}A device for measuring the thickness of a large area subject using one point radioactive isotope source and the measurement method}

본 발명은 하나의 동위원소 방사선원과 다수개의 방사선 검출기를 이용하여 물체의 두께를 여러 지점에서 비파괴, 비접촉식으로 측정하는 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단일 지점에 하나의 동위원소 방사선원을 구비하고, 방사선원으로부터 방출되어 물체를 투과한 방사선을 검출하기 위한 이온함 검출기를 다수의 측정 지점별로 각각 구비하되, 방사선원으로부터 먼 곳에 위치하여 입사되는 방사선량이 상대적으로 부족한 이온함 검출기에서도 방사선 검출에 필요한 최소전류값 이상의 전류 신호가 출력되도록 충진 기체의 종류, 부피 또는 압력을 이온함 검출기의 위치에 따라 다르게 설정함으로써, 요구되는 단일 방사선원의 양을 최소화하여 방사선 사용시의 안전성을 향상시키는 동시에, 방사선원의 유지·보수 비용을 절감할 수 있는 두께 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for non-destructively and non-contactly measuring the thickness of an object at several points using one isotope radiation source and a plurality of radiation detectors, and more particularly, having one isotope radiation source at a single point, The ion current detector for detecting radiation emitted from the radiation source and passing through the object is provided for each of a plurality of measurement points, and the minimum current value required for the radiation detection even in the ion chamber detector, which is located far from the radiation source and has a relatively low amount of incident radiation. By setting the type, volume or pressure of the filling gas differently according to the position of the ion-containing detector so that the above current signal is output, the amount of single radiation source required is improved to improve the safety of the use of the radiation and at the same time, the cost of maintenance and repair of the radiation source. To save money It relates to the measurement apparatus and method.

물체의 두께를 비접촉 또는 비파괴적으로 측정하기 위해서 동위원소로부터 나오는 방사선을 물체 방향으로 조사시킨 후에 물체를 투과한 방사선을 방사선 검 출기로 검출하여 측정하는 방법이 널리 이용되고 있다.In order to measure the thickness of an object in a non-contact or non-destructive manner, a method of irradiating radiation from an isotope toward the object and then detecting and measuring the radiation transmitted through the object by a radiation detector has been widely used.

도 1은 종래의 동위원소 방사선원을 이용한 두께 측정 장치의 구성을 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of the thickness measuring apparatus using the conventional isotope radiation source.

도 1에 도시된 바와 같이, 하나의 지점에 설치되어 해당 지점에서 물체의 두께를 동위원소 방사선원을 이용하여 측정하기 위한 종래의 두께 측정 장치는 방사성 동위원소를 포함하는 방사선원(10)과, 방사선원(10)으로부터 동위원소 용기(10)의 입구를 통해 조사되어 측정대상물(5)을 통과하는 방사선을 검출하는 방사선 검출기(20)로 구성되어, 생산 라인에 구비된 롤러(6)를 통해 이송되는 측정대상물(5)의 두께를 특정 지점에서 연속적으로 측정할 수 있다. 여기서, 동위원소는 하나의 지점에서 방사선을 방출하는 방사선원, 즉 점원(point source)로 간주되고, 이로부터 방출되어 물체를 투과한 방사선의 세기는 해당 물체의 두께에 따라서 일정 비율로 감소하게 된다.As shown in FIG. 1, a conventional thickness measuring apparatus for measuring the thickness of an object by using an isotope radiation source installed at one point is provided with a radiation source 10 including a radioisotope, and a radiation source ( 10 is a radiation detector 20 which detects radiation passing through the inlet of the isotope container 10 and passes through the measuring object 5, and is conveyed through the roller 6 provided in the production line. The thickness of the object 5 can be measured continuously at a specific point. Here, the isotope is regarded as a radiation source that emits radiation at one point, that is, a point source, and the intensity of the radiation emitted from and transmitted through the object decreases at a predetermined rate according to the thickness of the object.

일반적으로 철강과 같이 물체가 두꺼운 경우에는 엑스(Χ)선이나 감마(γ)선을, 종이나 섬유와 같이 물체가 비교적 얇을 때는 베타(β)선을 사용하는데, 사용되는 방사선 종류가 결정되면 해당 방사선을 방출할 수 있는 적합한 동위원소의 종류 및 양을 선정해야 한다.In general, X-rays or gamma rays are used when the object is thick, such as steel, and beta rays are used when the object is relatively thin, such as paper or fiber. The type and amount of suitable isotopes that can emit radiation should be selected.

방사선 검출기는 물체를 투과한 방사선의 선량을 측정할 수 있는 다양한 종류의 검출기가 사용될 수 있는데, 두께 측정 장치에서 주로 사용되는 방사선 검출기의 종류로는 내부에 기체를 포함하고 있는 이온함 검출기를 들 수 있다. 이온함 검출기에 방사선이 입사되면 검출기 내부의 기체가 이온화되는데, 이로부터 생성된 양이온과 전자가 인가된 전압에 의해서 전류를 형성하게 된다. 따라서, 이온함 검출기로부터 출력되는 전류량을 계측함으로서 그에 비례하는 방사선 세기를 측정 할 수 있다.As a radiation detector, various types of detectors capable of measuring the dose of radiation transmitted through an object may be used. A type of radiation detector mainly used in a thickness measuring device may be an ion-containing detector containing gas therein. have. When radiation is incident on the iontophore detector, the gas inside the detector is ionized, and the cations and electrons generated therefrom form a current by the applied voltage. Therefore, by measuring the amount of current output from the ion-containing detector it is possible to measure the radiation intensity proportional to it.

이온함 검출기에 사용되는 기체로는 일반적으로 1기압 공기를 사용하며, 검출기의 방사선 응답 전류 신호값은 검출기의 자체 잡음 신호인 누설 전류에 비해서 약 10배 이상이 되어야 정확한 방사선 측정이 가능하다. 일반적인 이온함 검출기의 누설전류는 수십 펨토암페어(fA)를 넘지 않으므로 검출기에서 출력되는 전류 신호는 최소 1 피코암페어(pA) 이상이 되어야 하며, 이를 위해서는 방사성 동위원소의 양과, 동위원소와 검출기 간의 거리를 적절히 설정하여 이온함 검출기에 도달하는 방사선량을 충분히 확보하여야 한다.The gas used in the ion-containing detector is generally 1 atmosphere of air, and the radiation response current signal of the detector should be about 10 times or more than the leakage current, which is the noise signal of the detector, for accurate radiation measurement. Since the leakage current of a typical ion-box detector does not exceed several tens of femtoamps (fA), the current signal output from the detector should be at least 1 picoamp (pA), which requires the amount of radioisotope and the distance between the isotope and the detector. Must be set appropriately to ensure sufficient radiation dose to reach the iontophor detector.

안전성 및 비용 측면에서 방사성 동위원소의 양은 최소화시킬수록 바람직하므로 동위원소와 이온함 검출기와의 거리는 가능한 한도에서 최소화시키고, 그 상태에서 공기 1기압으로 충진된 이온함 검출기으로부터 원하는 크기의 전류 신호값을 얻을 수 있도록 방사성 동위원소의 양을 설정한다. 이러한 방법으로 방사성 동위원소의 양과, 동위원소와 검출기 간의 거리에 대한 설정이 이루어지면 두께 측정대상물을 이송시켜가면서 전류값의 측정값 변화를 기록하고, 이를 기본 데이터로 활용하여 생산중인 물질의 두께를 고정된 한 지점에서 측정할 수 있다.In terms of safety and cost, it is desirable to minimize the amount of radioactive isotopes. Therefore, the distance between the isotope and the ion-containing detector is minimized as much as possible, and the current signal value of the desired size can be obtained from the ion-box detector filled with 1 atmosphere of air. Set the amount of radioactive isotopes to be obtained. In this way, when the amount of radioisotope and the distance between the isotope and the detector are set, the measured value change of the current value is recorded while transferring the thickness measurement object, and the thickness of the material being produced is used as the basic data. It can be measured at a fixed point.

이와 같은 종래의 두께 측정 장치를 이용하여 종이, 철강 또는 섬유 등과 같이 폭이 넓은 다면적(large area) 제품의 두께를 생산 과정에서 즉시 측정하고자 할 때는, 생산물의 두께를 한 지점만이 아닌 폭 방향의 여러 지점에서 동시에 측정 하여 전체적으로 고른 두께 분포가 유지되는지를 검사해야 할 필요가 있다.When using a conventional thickness measuring device to measure the thickness of a wide area product such as paper, steel or fiber immediately in the production process, the thickness of the product is measured in the width direction instead of only one point. It is necessary to check at several points simultaneously to ensure that an even thickness distribution is maintained throughout.

도 2는 여러 지점에 설치된 동위원소 방사선원을 이용하여 위치별 두께를 동시에 측정하는 종래의 두께 측정 장치의 구성을 나타내는 도면이다.2 is a view showing the configuration of a conventional thickness measuring apparatus for simultaneously measuring the thickness for each location using an isotope radiation source installed at several points.

종래에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 측정하고자 하는 제품(5)의 폭 방향에 따른 각 지점별로 해당 지점의 상부와 하부에 동일한 제원의 동위원소 방사선원(11, 12, 13)과 이온함 검출기(21, 22, 23)가 각각 설치된 두께 측정 장치를 이용하여, 각각의 방사선 검출기(21, 22, 23)로부터 출력되는 신호를 분석하여 각 지점별 두께 분포를 구하는 방식이 주로 이용되고 있다.Conventionally, as shown in FIG. 2, isotope radiation sources 11, 12, 13 and iontophor detectors of the same specification on the upper and lower portions of the respective points along the width direction of the product 5 to be measured. Using a thickness measuring device provided with (21, 22, 23), respectively, a method of analyzing the signals output from the radiation detectors (21, 22, 23) to obtain the thickness distribution for each point is mainly used.

그러나, 이러한 종래의 측정 방법은 측정 지점 수에 따라 동위원소 방사선원의 개수가 늘어나기 때문에, 방사선원 구입 및 교체에 따른 비용이 증가하게 되고, 동위원소에 대한 효율적인 안전 관리가 힘들어져 작업자가 방사선에 피폭될 위험이 높아지는 등 안전상의 위험도가 높아진다는 문제점이 있다.However, since the number of isotope radiation sources increases according to the number of measuring points in the conventional measuring method, the cost of purchasing and replacing the radiation source increases, and it is difficult to efficiently manage the isotopes, thereby exposing workers to radiation. There is a problem that the risk of safety increases, such as the risk of becoming higher.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 즉, 본 발명의 목적은, 단일 지점에 하나의 동위원소 방사선원을 구비하고, 물체를 투과한 방사선을 검출하기 위한 이온함 검출기를 측정 지점별로 각각 구비하되, 방사선원과 멀리 위치하여 입사되는 방사선량이 상대적으로 부족한 이온함 검출기에서도 방사선 검출에 필요한 최소전류값 이상의 전류 신호가 출력되도록, 각 이온함 검출기의 위치에 따라 검출기 내부에 충진되는 기체의 종류, 부피 또는 압력을 다르게 설정함으로써, 요구되는 단일 방사선원의 양을 최소화시키고, 이에 따라 방사선 사용시의 안전성 및 경제성을 보다 개선시키는 데에 있다.The present invention solves the problems of the prior art described above. That is, an object of the present invention is to include one isotope radiation source at a single point, and each ion point detector for detecting the radiation that has passed through an object, for each measurement point, and the radiation dose incident by being located far from the radiation source By setting the type, volume or pressure of the gas filled inside the detector according to the position of each ion chamber detector so that even the ion chamber detector that is insufficient is outputted the minimum current value required for the radiation detection, It is to minimize the amount, thereby further improving the safety and economics of using radiation.

상기의 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로서의 본 발명은, 대상물 측으로 방사선을 조사하는 단일 방사선원과; 대상물을 사이에 두고, 상기 방사선원의 반대측의 다수의 측정 지점에 각각 배치되어, 상기 방사선원으로부터 조사되어 대상물을 통과하는 방사선을 검출하는 다수개의 이온함 검출기;를 포함하여 구성되되, 상기 다수개의 이온함 검출기는, 상기 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력이 상기 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력보다 더 크게 설정되어 구성되는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 두께 측정 장치를 제공한다.
본 발명은, 대상물 측으로 방사선을 조사하는 단일 방사선원과; 대상물을 사이에 두고, 상기 방사선원의 반대측의 다수의 측정 지점에 각각 배치되어, 상기 방사선원으로부터 조사되어 대상물을 통과하는 방사선을 검출하는 다수개의 이온함 검출기;를 포함하여 구성되되, 상기 다수개의 이온함 검출기는, 상기 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체가 상기 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체보다 밀도가 더 크고 이온화 에너지가 더 작은 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 장치를 제공한다.
The present invention as a technical idea for achieving the above object, and a single radiation source for irradiating radiation to the object side; And a plurality of ion-box detectors disposed between a plurality of measurement points on opposite sides of the radiation source and detecting radiation passing from the radiation source and passing through the object, with the object interposed therebetween. The detector is set such that the volume or pressure of the gas filled in the interior of the ion chamber detector located at a relatively distance from the radiation source is greater than the volume or pressure of the gas filled in the interior of the ion chamber detector located at a close distance from the radiation source. It provides a thickness measuring device using a single point isotope radiation source characterized in that the configuration.
The present invention is a single radiation source for irradiating radiation to the object side; And a plurality of ion-box detectors disposed between a plurality of measurement points on opposite sides of the radiation source and detecting radiation passing from the radiation source and passing through the object, with the object interposed therebetween. The detector is characterized in that a gas filled in the interior of an iontophor detector located relatively far from the radiation source has a higher density and less ionization energy than a gas filled in the interior of the iontophor detector located close to the radiation source. Provided is a multi-faceted thickness measurement apparatus using a single point isotope radiation source.

본 발명은, 다수개의 이온함 검출기들의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력을 설정하는데 있어, 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력을 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력보다 더 크게 설정하는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 방법을 제공한다.
본 발명은, 다수개의 이온함 검출기들의 내부에 충진되는 기체의 종류를 설정하는데 있어, 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체는 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체보다 밀도가 더 크고 이온화 에너지가 더 작은 것으로 설정하는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 방법을 제공한다.
In the present invention, in setting the volume or pressure of a gas filled in a plurality of ion box detectors, the volume or pressure of a gas filled in an inside of an ion box detector located at a relatively long distance from the radiation source is determined by a distance close to the radiation source. It provides a multi-sided thickness measurement method using a single point isotope radiation source, characterized in that it is set larger than the volume or pressure of the gas filled in the inside of the ion box detector located at.
According to the present invention, in setting the type of gas filled inside a plurality of ion box detectors, the gas filled inside the ion box detector located relatively far from the radiation source is the It provides a multi-faceted thickness measurement method using a single point isotope radiation source, characterized in that the density is set higher than the gas filled therein and the ionization energy is smaller.

본 발명에 따른 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 두께 측정 장치 및 방법은, 동위원소의 양이 최소화된 하나의 방사선원만을 이용하여 물체의 두께를 여러 지점에서 효율적으로 측정할 수 있어, 방사선 사용시의 안전성을 향상시키는 동시에 방사선원의 구입 및 유지·보수에 소요되는 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.Thickness measuring apparatus and method using a single point isotope radiation source according to the present invention, by using only one radiation source with the minimum amount of isotope can be efficiently measured the thickness of the object at several points, thereby improving the safety of the use of radiation At the same time, the cost of purchasing, maintaining, and repairing a radiation source can be reduced.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 두께 측정 장치의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 이온함 검출기의 내부 구조를 보여주는 단면도이다.3 is a view showing the configuration of a large area thickness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view showing the internal structure of the ion box detector shown in FIG.

본 발명은 단일 지점에 구비된 동위원소 방사선원을 이용하여 여러 지점에서의 물체 두께를 동시에 측정하는 장치로서, 도 3에 도시된 바와 같이, 측정대상물 측으로 방사선을 조사하는 단일 방사선원(110)과, 대상물을 사이에 두고, 방사선원(110) 반대측의 다수의 측정 지점에 각각 배치되어, 방사선원(110)으로부터 조사되어 대상물을 통과하는 방사선을 검출하는 다수개의 이온함 검출기(121, 122, 123)를 포함하여 구성된다.The present invention is an apparatus for simultaneously measuring the thickness of the object at several points using an isotope radiation source provided at a single point, as shown in Figure 3, a single radiation source 110 for irradiating the radiation to the measurement object side, and the object And a plurality of ion box detectors 121, 122, 123 disposed at a plurality of measurement points opposite to the radiation source 110, respectively, for detecting radiation emitted from the radiation source 110 and passing through the object. It is composed.

이온함 검출기(121, 122, 123)는 생산 라인을 따라 길이 방향으로 이송되는 측정대상물의 두께를 길이 방향의 특정 위치에서 폭 방향의 여러 지점을 따라 측정할 수 있도록, 단일 방사선원(110)에 대응하여 제품의 폭 방향으로 다수개가 설치되는데, 이온함 검출기(121, 122, 123)의 방사선 입사면이 입사되는 방사선의 방향에 수직이 되도록 하여 입사되는 방사선의 양을 최대한 증가시켜줌으로써, 이온함의 방사선 검출 효율을 높혀주는 것이 바람직하다. 이온함 검출기(121, 122, 123)의 구조를 살펴보면, 도 4에서와 같이, 마일라(mylar)로 이루어진 방사선 입사창(130)에 의해 상부 개구가 폐쇄되어 내부에 기체를 수용하는 원통형 하우징(125)과, 하우징(125) 내부에 구비되는 신호 전극(140) 및 신호 전극(140)을 하우징(125)으로부터 절연시키는 절연체(150)로 구성된다. 이와 같은 이온함 검출기(121, 122, 123)의 내부에 기체를 충진하고, 500V 정도의 전압을 걸어주면 입사된 방사선에 의해서 이온화된 기체와 전자가 신호 전극을 통해서 수집되어 전류가 흐르게 되며, 이를 검출하여 방사선이 투과한 물체의 두께를 측정할 수 있다.Ion box detectors 121, 122, 123 correspond to a single radiation source 110 so that the thickness of the measurement object conveyed in the longitudinal direction along the production line can be measured along various points in the width direction at a specific position in the longitudinal direction. A plurality of products are installed in the width direction of the product. The radiation incident surfaces of the ion chamber detectors 121, 122, and 123 are perpendicular to the direction of the incident radiation, thereby increasing the amount of incident radiation as much as possible, thereby increasing the amount of incident radiation. It is desirable to increase the detection efficiency. Looking at the structure of the ion chamber detector (121, 122, 123), as shown in Figure 4, the upper opening is closed by the radiation incident window 130 made of mylar (mylar) to receive the gas therein ( 125 and an insulator 150 that insulates the signal electrode 140 and the signal electrode 140 provided inside the housing 125 from the housing 125. When the gas is filled in the ion chamber detectors 121, 122, and 123, and a voltage of about 500V is applied, gas and electrons ionized by the incident radiation are collected through the signal electrode and current flows. The thickness of the object through which radiation is transmitted can be measured.

이와 같이 본 발명은 단일 방사선원만을 이용하여 물체의 폭 방향으로 여러 위치에서 두께 측정이 가능하도록 구성되므로, 각 이온함 검출기에 대응되도록 다수의 방사선원을 구비하는 경우에 비하여 방사선원의 개수를 감소시킬 수 있다.As described above, since the present invention is configured to measure thickness at various positions in the width direction of the object by using only a single radiation source, the number of radiation sources can be reduced as compared with the case where a plurality of radiation sources are provided to correspond to each ion chamber detector. .

그러나, 본 발명에서와 같이 단일 방사선원(110)만을 사용하게 되면, 각 이온함 검출기(121, 122, 123)가 방사선원(110)과 이루는 거리가 서로 달라지게 되며, 측정대상물의 중심부 두께를 측정하기 위한 이온함 검출기(122)와 측정대상물의 가장자리 부위의 두께를 측정하기 위한 이온함 검출기(121, 123)가 방사선 원(110)과 이루는 거리는 측정대상물의 폭이 넓을 수록 큰 차이를 보이게 된다.However, when using only a single radiation source 110 as in the present invention, the distance between the ion chamber detector 121, 122, 123 and the radiation source 110 is different from each other, to measure the thickness of the center of the measurement object The distance between the ion chamber detector 122 and the ion chamber detectors 121 and 123 for measuring the thickness of the edge portion of the measurement object with the radiation source 110 becomes larger as the width of the measurement object is wider.

따라서, 각 이온함 검출기(121, 122, 123)에서 잡음 신호의 영향 없이 방사선 측정이 가능한 최소 전류값 이상의 전류 신호가 출력되도록 하기 위해서는, 방사선원(110)과 가장 먼 거리에 위치하여 단일 방사선원으로부터 조사되는 방사선량이 가장 적은 이온함 검출기(121, 123)에서 최소 전류값 이상의 전류 신호가 출력될 수 있도록 방사선원(110)의 양, 즉 방사성 동위원소의 양을 설정해 주어야 한다.Therefore, in order to output a current signal above the minimum current value capable of measuring radiation at each ion box detector 121, 122, and 123 without the influence of a noise signal, it is located farthest from the radiation source 110 and irradiated from a single radiation source. The amount of radiation source 110, i.e., the amount of radioactive isotopes, should be set so that the ion signal detectors 121 and 123 having the least amount of radiation can be outputted.

특정 위치에서의 방사선량은 방사선원(110)으로부터의 거리의 제곱에 반비례 하므로, 방사선원(110)과 거리가 가장 먼 이온함 검출기에서 최소 전류값 이상의 전류 신호가 출력되도록 하려면, 방사선원(110)과 거리가 가장 가까운 이온함 검출기에서 최소 전류값의 전류 신호를 출력시키기 위한 방사선원의 양에 비하여 더 많은 양의 방사선원 양이 요구된다.Since the radiation dose at a specific location is inversely proportional to the square of the distance from the radiation source 110, the distance between the radiation source 110 and the radiation source 110 is such that a current signal greater than or equal to the minimum current value is output from the ionization detector farthest from the radiation source 110. A larger amount of radiation source is required compared to the amount of radiation source for outputting the current signal of the minimum current value at the nearest ion-containing detector.

이와 같이 물체의 폭 방향으로 여러 지점에서 두께를 측정하기 위해서는 한 지점에서만 두께를 측정하는 경우에 비하여 요구되는 방사성 동위원소의 양이 증가하게 되며, 그로 인해 증가된 방사선원(110)에 대한 차폐 설비가 더 필요하게 되어 제조 및 유지 비용이 증가하는 동시에 관리시의 안전성 면에서 효율이 저하된다.As such, in order to measure the thickness at several points in the width direction of the object, the amount of radioisotopes required is increased as compared to the case where the thickness is measured at only one point, thereby increasing the shielding facility for the increased radiation source 110. The need for more increases manufacturing and maintenance costs while reducing efficiency in terms of safety in management.

따라서, 본 발명에서는 방사성 동위원소의 양을 증가시키는 대신 이온함 검출기(121, 122, 123) 내에 수용되는 충진 기체의 종류, 부피 또는 압력을 이온함 검출기(121, 122, 123)와 방사선원(110) 간의 거리에 따라 다르게 설정하여 각 검출기에서 출력되는 전류 신호가 최소 전류값 이상이 되도록 조절함으로써, 필요한 방사성 동위원소의 양을 최소화시킬 수 있다.Thus, in the present invention, instead of increasing the amount of radioactive isotopes, the type, volume, or pressure of the packed gas contained in the ion-containing detectors 121, 122, 123 is ionized. By setting different distances according to the distance between the terminals, the amount of radioisotope required can be minimized by adjusting the current signal output from each detector to be above the minimum current value.

이온함 검출기(121, 122, 123)의 내부에 충진된 기체가 입사되는 방사선에 의해 이온화됨에 따라 발생하는 전류의 크기는 기체의 종류에 따라 다르며, 같은 기체일 경우에는 기체의 부피와 압력에 비례하여 증가한다. 따라서 각 이온함 검출기(121, 122, 123)에 같은 종류의 충진 기체를 사용하고, 이온함 검출기(121, 122, 123)의 위치가 방사선원(110)으로부터 멀어질수록 충진되는 기체의 부피 또는 압력을 더 증가시켜줌으로써, 동위원소의 양을 증가시키지 않고도 각 이온함 검출기(121, 122, 123)에 대하여 요구되는 최소 전류값을 만족시킬 수 있다.The magnitude of the current generated as the gas filled in the ion-containing detectors 121, 122, and 123 is ionized by the incident radiation depends on the type of gas, and in the case of the same gas, it is proportional to the volume and pressure of the gas. To increase. Therefore, the same type of filling gas is used for each of the ion box detectors 121, 122, and 123, and the volume or pressure of the gas filled as the position of the ion box detectors 121, 122, and 123 moves away from the radiation source 110. By further increasing, it is possible to satisfy the minimum current value required for each iontophor detector 121, 122, 123 without increasing the amount of isotopes.

한편, 각 이온함 검출기(121, 122, 123)에 대하여 충진 기체의 부피 및 압력을 동일하게 설정하면, 충진 기체의 종류에 따라 출력되는 전류 신호의 크기가 변화되는데, 이는 충진 기체의 밀도, 이온화 에너지 등과 관계가 있으며, 충진 기체의 밀도가 크고 이온화 에너지가 작을수록 같은 양의 방사선에 대해서 더 큰 전류 신호를 생성하게 된다. 일반적인 이온함 검출기에서 많이 사용되는 공기보다 더 큰 전류 신호를 생성하는 기체로는 제논(Xe)이나 아르곤(Ar)이 있으며, 공기, 아르곤, 제논의 밀도 및 이온화 에너지는 다음의 표 1과 같다.On the other hand, if the volume and pressure of the filling gas are set to the same for each of the ionization detectors 121, 122, and 123, the magnitude of the output current signal is changed according to the type of the filling gas, which is the density and ionization of the filling gas. Energy, etc., the denser the filling gas and the smaller the ionization energy, the larger the current signal for the same amount of radiation. Gases that generate a larger current signal than air commonly used in the ion ion detector include xenon (Xe) and argon (Ar), and the density and ionization energy of air, argon and xenon are shown in Table 1 below.

기체 종류Gas type 밀도(g/cm3)Density (g / cm 3 ) 이온화 에너지 (eV)Ionization energy (eV) 공기air 0.0012050.001205 35.135.1 아르곤argon 0.0016620.001662 26.326.3 제논Xenon 0.0054850.005485 21.921.9

각 기체 종류별 전류 신호의 크기는, 상기 표 1에서와 같이, 밀도가 크고 이온화 에너지가 작은 순서인, 제노, 아르곤, 공기 순으로 큰 값을 갖는다.The magnitude of the current signal for each gas type has a larger value in the order of xeno, argon, and air, in the order of high density and low ionization energy, as shown in Table 1 above.

따라서, 이온함 검출기(121, 122, 123)의 위치가 방사선원(110)으로부터 멀어질수록 밀도가 더 크고 이온화 에너지가 더 작은 종류의 기체를 해당 검출기에 충진함으로써, 방사선원(110)으로부터 멀리 위치한 이온함 검출기의 전류 신호 크기를 증가시켜줄 수 있다. 예를 들어, 방사선원에 가장 가까운 검출기에는 일반적인 이온함에서 많이 사용되는 공기를 충진하고, 그보다 먼 검출기에는 아르곤을, 가장 멀리 위치한 검출기에는 제논을 충진하는 방법을 통해 요구되는 동위원소의 양을 최소화할 수 있다.Therefore, as the positions of the iontophoresis detectors 121, 122, and 123 move away from the radiation source 110, ions placed farther from the radiation source 110 are filled with a gas of a higher density and smaller ionization energy to the detector. This can increase the magnitude of the current signal in the detector. For example, the detector closest to the radiation source can be filled with air used in a typical ionic box, argon for the farthest detector, and xenon for the farthest detector to minimize the amount of isotope required. Can be.

또한, 충진 기체의 종류와 함께 그 부피 또는 압력을 변경시키는 방식으로도 각 검출기에서 출력되는 전류 신호가 최소 전류값 이상이 되도록 할 수 있다.In addition, the current signal output from each detector may be equal to or greater than the minimum current value by changing the volume or pressure along with the type of filling gas.

도 5는 도 3에 도시된 이온함 검출기의 배치 구조를 보여주는 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating an arrangement structure of the ion chamber detector illustrated in FIG. 3.

이하, 도 5과 같이 배치된 이온함 검출기(121, 122, 123)에 대하여 충진 기체의 종류 및 압력 변화에 따른 전류 신호값 변화를 모의실험한 결과에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a result of simulating the change of the current signal value according to the type and pressure change of the filling gas for the ion chamber detectors 121, 122, and 123 arranged as shown in FIG. 5 will be described.

모의실험은 MCNPX라는 몬테칼로 코드를 사용하여 수행되었으며, 방사선원(110)은 0.4 MeV 베타선으로 가정하였고, 측정 대상 물질(5)은 0.5 mm의 일정한 두께를 가지는 PVP(Poly Vinyl Pyrrolidone)로 설정하였다. 또한, 중앙에 위치한 검출기 A(122)와 방사선원과의 거리는 9 cm로, 검출기 B(121, 123)와 방사선원과의 거리는 12.5 cm로 설정하였으며, 검출기 A(122)와 B(121, 123)의 입사창 중심간의 거리는 9 cm로 설정하였다.Simulation was performed using a Monte Carlo code called MCNPX, the radiation source 110 was assumed to be 0.4 MeV beta-line, the measurement target material (5) was set to PVP (Poly Vinyl Pyrrolidone) having a constant thickness of 0.5 mm. In addition, the distance between the detector A 122 located at the center and the radiation source is set to 9 cm, and the distance between the detectors B 121 and 123 and the radiation source is set to 12.5 cm. The detectors A 122 and B (121, 123) The distance between the entrance window centers was set to 9 cm.

검출기 A(122)의 충진 기체를 1기압의 공기로 가정하고 모의실험을 수행한 결과 검출기의 최소 신호 수준인 1 pA의 전류 신호를 생성시키기 위해서는 71 μCi의 방사선원이 필요함을 알 수 있었다. 검출기 B(121, 123)에도 A(122)에서와 같이 1기압의 공기를 충진할 경우에 동일한 세기의 방사선원일때 0.2 pA의 전류 신호가 생성되는 것으로 나타났다. 이는 최소 전류값 수준인 1 pA에 미치지 못하므로 검출기 B의 기체 종류 및 압력을 변화시켜서 전류 신호 생성을 1 pA에 이르도록 할 수 있다. 모의실험 결과 검출기 B(121, 123)에 9기압의 공기를 충진시키면 1 pA, 6기압의 아르곤을 충진시키면 1.1 pA, 2기압의 제논을 충진시키면 1.4 pA의 전류 신호가 생성되어 최소 전류값 이상을 만족시켰다.The simulation results assuming that the filling gas of the detector A 122 is 1 atm of air, and it can be seen that a radiation source of 71 μCi is required to generate a current signal of 1 pA, which is the minimum signal level of the detector. When the detectors B 121 and 123 are filled with 1 atm of air as in A 122, a current signal of 0.2 pA is generated when the radiation source is the same intensity. Since this does not reach the minimum current value of 1 pA, the gas type and pressure of the detector B can be changed to generate a current signal of 1 pA. As a result of the simulation, when the detector B (121, 123) is filled with 9 atm of air, 1 pA is filled with 6 atm of argon and 1.1 pA is filled with 2 atm of xenon. Satisfied.

이와 같이, 각 이온함 검출기(121, 122, 123)의 위치에 따라 검출기 내에 충진되는 기체의 종류와 압력을 적절히 설정해 주면, 모든 이온함 검출기(121, 122, 123)에서 출력되는 전류신호값을 최소 전류값 이상이 되도록 만족시키면서 요구되는 방사선원(110)의 양을 최소화할 수 있다. 또한, 충진 기체의 압력은 동일하게 유지한체 이온함 검출기(121, 122, 123)의 크기를 변경시켜 기체의 부피를 변경하여도 압력을 변경시킨 경우와 같이 각 이온함 검출기(121, 122, 123)의 최소 전류값 조건을 만족시킬 수 있었다.As such, when the type and pressure of the gas filled in the detector are set appropriately according to the positions of the respective ion chamber detectors 121, 122, and 123, the current signal values output from all the ion chamber detectors 121, 122, and 123 are determined. The amount of radiation source 110 required can be minimized while satisfying to be equal to or greater than the minimum current value. In addition, the pressure of the packed gas remains the same, and the ion chamber detectors 121, 122, and 123 are changed as in the case where the pressure is changed even when the volume of the gas is changed by changing the sizes of the ion chamber detectors 121, 122, and 123. ) Could satisfy the minimum current value condition.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백하다 할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those of ordinary knowledge.

도 1은 종래의 동위원소 방사선원을 이용한 두께 측정 장치의 구성을 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure which shows the structure of the thickness measuring apparatus using the conventional isotope radiation source.

도 2는 여러 지점에 설치된 동위원소 방사선원을 이용하여 위치별 두께를 동시에 측정하는 종래의 두께 측정 장치의 구성을 나타내는 도면.2 is a view showing the configuration of a conventional thickness measuring apparatus for simultaneously measuring the thickness of each location using an isotope radiation source installed at several points.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 두께 측정 장치의 구성을 나타내는 도면.3 is a view showing the configuration of a large area thickness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 이온함 검출기의 내부 구조를 보여주는 단면도.4 is a cross-sectional view showing the internal structure of the ion chamber detector shown in FIG.

도 5는 도 3에 도시된 이온함 검출기의 배치 구조를 보여주는 도면.FIG. 5 is a view showing a layout structure of the ion box detector shown in FIG. 3. FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

5 : 측정대상물5: measuring object

10, 11, 12, 13, 110 : 방사선원10, 11, 12, 13, 110: radiation source

20, 21, 22, 23, 121, 122, 123 : 이온함 검출기20, 21, 22, 23, 121, 122, 123: ion box detector

125 : 하우징125: housing

130 : 방사선 입사창130: radiation incident window

140 : 신호 전극140: signal electrode

Claims (5)

동위원소 방사선원을 이용하여 물체의 두께를 여러 지점에서 동시에 측정하는 장치로서,A device that measures the thickness of an object simultaneously at several points using an isotope radiation source. 대상물 측으로 방사선을 조사하는 단일 방사선원과;A single radiation source for irradiating radiation to the object side; 대상물을 사이에 두고, 상기 방사선원의 반대측의 다수의 측정 지점에 각각 배치되어, 상기 방사선원으로부터 조사되어 대상물을 통과하는 방사선을 검출하는 다수개의 이온함 검출기;A plurality of ion-box detectors disposed at a plurality of measurement points on opposite sides of the radiation source with the object interposed therebetween, for detecting radiation emitted from the radiation source and passing through the object; 를 포함하여 구성되되,Consists of including 상기 다수개의 이온함 검출기는,The plurality of ion box detector, 상기 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력이 상기 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력보다 더 크게 설정되어 구성되는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 장치. The volume or pressure of the gas filled in the interior of the ion chamber detector located at a relatively long distance from the radiation source is set to be greater than the volume or the pressure of the gas filled in the interior of the ion chamber detector located at a distance from the radiation source measuring the thickness using a single multi-faceted point isotope radiation source, characterized in that. 동위원소 방사선원을 이용하여 물체의 두께를 여러 지점에서 동시에 측정하는 장치로서,A device that measures the thickness of an object simultaneously at several points using an isotope radiation source. 대상물 측으로 방사선을 조사하는 단일 방사선원과;A single radiation source for irradiating radiation to the object side; 대상물을 사이에 두고, 상기 방사선원의 반대측의 다수의 측정 지점에 각각 배치되어, 상기 방사선원으로부터 조사되어 대상물을 통과하는 방사선을 검출하는 다수개의 이온함 검출기;A plurality of ion-box detectors disposed at a plurality of measurement points on opposite sides of the radiation source with the object interposed therebetween, for detecting radiation emitted from the radiation source and passing through the object; 를 포함하여 구성되되,Consists of including 상기 다수개의 이온함 검출기는,The plurality of ion box detector, 상기 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체가 상기 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체보다 밀도가 더 크고 이온화 에너지가 더 작은 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 장치.A gas filled in the interior of the ion chamber detector located relatively far from the radiation source has a higher density and less ionization energy than a gas filled in the interior of the ion chamber detector located close to the radiation source Multi-sided thickness measurement apparatus using a point isotope radiation source. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 다수개의 이온함 검출기 각각은,Each of the plurality of ion box detectors, 상기 이온함 검출기의 방사선 입사면이 상기 방사선원으로부터 대상물을 통과하여 입사되는 방사선의 방향에 수직이 되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 장치.And a radiation incident surface of the iontophor detector is installed so as to be perpendicular to the direction of radiation incident through the object from the radiation source. 단일 지점에 구비된 하나의 방사선원과, 측정 지점별로 각각 배치된 다수개의 이온함 검출기를 이용하여, 물체의 두께를 여러 지점에서 동시에 측정하는 방법에 있어서,In a method for measuring the thickness of an object at the same time using a single radiation source provided at a single point and a plurality of ion-box detectors arranged for each measurement point, 상기 다수개의 이온함 검출기들의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력을 설정하는데 있어, 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력을 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체의 부피 또는 압력보다 더 크게 설정하는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 방법.In setting the volume or pressure of the gas filled in the interior of the plurality of ion box detectors, the ion or the volume of the gas filled in the interior of the ion box detector located at a relatively long distance from the radiation source Method for measuring the multi-area thickness using a single point isotope radiation source, characterized in that it is set larger than the volume or pressure of the gas filled inside the detector. 단일 지점에 구비된 하나의 방사선원과, 측정 지점별로 각각 배치된 다수개의 이온함 검출기를 이용하여, 물체의 두께를 여러 지점에서 동시에 측정하는 방법에 있어서,In a method for measuring the thickness of an object at the same time using a single radiation source provided at a single point and a plurality of ion-box detectors arranged for each measurement point, 상기 다수개의 이온함 검출기들의 내부에 충진되는 기체의 종류를 설정하는데 있어, 방사선원으로부터 상대적으로 먼 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체는 방사선원으로부터 가까운 거리에 위치한 이온함 검출기의 내부에 충진되는 기체보다 밀도가 더 크고 이온화 에너지가 더 작은 것으로 설정하는 것을 특징으로 하는 단일 지점 동위원소 방사선원을 이용한 다면적 두께 측정 방법.In setting the type of gas filled in the plurality of ion box detectors, the gas filled inside the ion box detector located relatively far from the radiation source is filled inside the ion box detector located close to the radiation source. A method for measuring thickness of a multifaceted area using a single point isotope radiation source, characterized in that it is set to have a higher density and smaller ionization energy than a gas to be used.
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